JP2003002518A - 薄板枚葉品の整列積載機構 - Google Patents
薄板枚葉品の整列積載機構Info
- Publication number
- JP2003002518A JP2003002518A JP2001188630A JP2001188630A JP2003002518A JP 2003002518 A JP2003002518 A JP 2003002518A JP 2001188630 A JP2001188630 A JP 2001188630A JP 2001188630 A JP2001188630 A JP 2001188630A JP 2003002518 A JP2003002518 A JP 2003002518A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin sheet
- sheet material
- positioning
- pins
- products
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Pile Receivers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】従来の上記薄板枚葉品の整列積載機構において
は、材料外形９を基準に積載して重ねた際に、製品外形
５側面が不揃いで一致しない。また整列しにくい問題が
ある。 【解決手段】整列して積載する手段を備えた薄板枚葉品
を積載する台と、振動する手段を備えた２本以上からな
る位置決めピンからなる機構において、製品に予め備え
た位置決め孔を微振動台座の位置決めピンの真上に水平
移動して落とすことにより、位置決め孔は位置決めピン
に嵌合されて、ピン先端のテーパー沿って、或いはピン
の振動により整列しながら、製品は自重により徐々に落
下して、ピンの位置に正しく挿着して整列され、製品は
位置決め孔を基準に整列積載される為に、次工程のムシ
リ作業工程では一度に２〜１０枚毎に作業可能となる。
は、材料外形９を基準に積載して重ねた際に、製品外形
５側面が不揃いで一致しない。また整列しにくい問題が
ある。 【解決手段】整列して積載する手段を備えた薄板枚葉品
を積載する台と、振動する手段を備えた２本以上からな
る位置決めピンからなる機構において、製品に予め備え
た位置決め孔を微振動台座の位置決めピンの真上に水平
移動して落とすことにより、位置決め孔は位置決めピン
に嵌合されて、ピン先端のテーパー沿って、或いはピン
の振動により整列しながら、製品は自重により徐々に落
下して、ピンの位置に正しく挿着して整列され、製品は
位置決め孔を基準に整列積載される為に、次工程のムシ
リ作業工程では一度に２〜１０枚毎に作業可能となる。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フープ状材料から
枚葉状に断裁した薄板枚葉品４を積載する機構に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】フープ材料１３から同じ間隔に断裁した
薄板枚葉品４を積載して整列する工程を持った薄板枚葉
品４の製造工程、例えばシャドーマスク７の製造工程に
ついて説明する。シャドーマスクの製造工程では、始め
に、フープ状材料１３が製造工程に投入される。フープ
材料１３に連続して薄板枚葉品４の形成がおこなわれ
る。例えばフォトリソプロセスによる製造工程は、レジ
スト塗布工程と、マスクパターンによる露光照射工程
と、現像工程と、腐蝕工程と、剥膜工程と、が行われフ
ォトリソプロセスが終了する。次に、洗浄等による仕上
げ工程を終了後に、薄板枚葉品４が連続して面付け形成
されているフープ状材料１３を個個の薄板枚葉品４にす
るため断裁線１２に沿って、枚葉状に断裁され、断裁後
の枚葉材料は整列した後に、積載して規定の枚数を１ロ
ットとしてムシリ工程等の次工程に送る。 【０００３】図４は、シャドウマスクが形成された枚葉
品の一例を示す。図のように枚葉品４の段階では、最終
的に必要となるシャドウマスクの外形輪郭６の外側に不
要部９が形成する。シャドウマスク７と前記不要部９の
境界はムシリ線６と呼ばれる貫通線及びハーフエッチン
グ線で構成される人手により容易に破断する破断線が形
成されている。 【０００４】前記ムシリ工程は前記ムシリ線６に沿って
外側の不要部９をムシリ取り除去する工程であり、これ
により最終的に不要部９を除去して、必要となる前記ム
シリ線の内側のシャドウマスク７をうる工程である。 【０００５】ムシリ工程では、作業効率を上げる為、薄
板枚葉品４を複数枚積層した状態で、ムシリ線６に沿っ
て外側の不要部９をまとめて一度にムシリ取り除去する
のが一般的である。このため積層した際にムシリ線６が
一致している事が必要となる。 【０００６】ここで、前記整列積載工程では枚葉品４の
薄板枚葉品外形５を基準として積載行うことが一般的な
方法である。しかし、薄板枚葉品内に形成されたシャド
ウマスク７の向き一致させて、薄板枚葉品の外形５を一
致させて積層した場合もムシリ線６が一致しないことに
問題がある。（図３、ｂ参照） 【０００７】フープ状材料１３に面付けしてシャドウマ
スク７を形成する際、図５に示すように、断裁線１２に
よる枚葉状に断裁する場合がある。その場合不要部の幅
が異なるため、Ａ列とＢ列のシャドウマスク７は上側と
下側の外形５までの距離が異なる為 、ムシリ線６が平
面視で一致しない。その為、不要部の幅が異なるシャド
ウマスク７を薄板枚葉品の外形５のみ一致させ積層した
場合ムシリ線が積層状態で一致しなくなり、ムシリ工程
に支障をきたす。 【０００８】又、人手によりムシリ線６が積層状態で一
致するように整列する場合も作業効率が低下し、ムシリ
線６が積層状態で一致させることは難しい。 【０００９】上記の問題を解決するために、各枚葉状材
料の例えば、不要部９等の同一個所に位置あわせ用の孔
を予め形成して、ピンを有した積載台に人手によって位
置会わせ用の孔を挿入して積載する方法が提案されてい
る。 【００１０】また、枚葉状材料１３は薄板のため自重も
軽く、物理的強度も弱い。人手による作業では取り扱い
時に変形が発生しやすい。 【００１１】 【発明が解決しようとする課題】上記の状況を解決する
課題は、薄板枚葉品４を積載する際に、その整列作業の
作業効率を向上でき、且つ上下の薄板枚葉品４の同一個
所が精度よく合わせることができ、さらに変形を生じる
こともなく、積載可能な整列積載機構を提供することに
ある。 【００１２】 【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
発明は、所定の位置に位置決め孔３を形成する薄板枚葉
品４を積載する際に、整列して積載する手段を備えた薄
板枚葉品を積載する台１と、振動させる手段を備えた２
本以上からなる位置決めピン２からなる機構において、
薄板枚葉品４に形成する位置決め孔３を該位置決めピン
２に挿入して薄板枚葉品を該台上に積載する際に、該位
置決めピン２を振動させることにより整列させ、薄板枚
葉品を台上に整列積載することを特徴とする薄板枚葉品
の整列積載機構である。 【００１３】 【発明の実施の形態】本発明の、薄板枚葉品４の整列積
載機構の実施の形態に沿って以下に詳細に説明する。 【００１４】図１は、本発明の薄板枚葉品の整列積載機
構の実施形態の一例を示す。微振動台座１の台座表面の
少なくとも一方に台座に固定された複数個の位置決めピ
ン２を有し、該ピンの先端は細くテーパー形状となり、
底部は所定の径、例えば２．４３ｍｍφ〜２．４５ｍｍ
φ、となる。 【００１５】図１に示す積載機構は二つの台座間を往復
する水平移動の手段と、製品面までの上下移動と、製品
を持つ手段と、放す手段を備えている。例えばその手段
を用いて、台座８の真上まで水平移動後、製品面まで降
ろして、製品を持ち上げる。水平移動後、微振動台座１
真上まで製品４を移動後、製品４をピン２面まで降し
て、製品４を放す、以上の作業の繰返し機能を備えた機
構となっている。 【００１６】図２に示すように、すべての薄板枚葉品に
は、例えばシャドウマスクのパターンの形成と同時に位
置決め用孔３を形成している。位置決め用孔３はシャド
ウマスク７から見て同一の個所に形成しているが、位置
決め用孔３を形成する位置は最終製品に影響を与えない
ように不要部９に形成することが望ましい。 【００１７】積載台座８上の薄板枚葉品４は本発明の整
列積載機構の微振動台座１に逐次積載される。積載台座
８上の積載は人手で行っても、積載機構により行っても
構わない。微振動台座１に積載する作業は、薄板枚葉品
４に形成した位置決め孔３を微振動台座１の位置決めピ
ン２の真上にくるように移動させ、次に、薄板枚葉品４
を台座１に落として置くことにより、位置決め孔３がピ
ン２の先端のテーパー部に嵌挿される。微振動台座１は
別途設かられた微振動手段により、常時微振動している
ために、台座１に固定されたピンも微振動している。該
位置決め孔３がピン２の先端のテーパーに沿ってピン底
部まで落下する間に整列されて正しい位置に整列配置さ
れる。その為、該薄板枚葉品４は下方に落下ししなが
ら、微振動台座１上のピン２の振動によって、該薄板枚
葉品４の位置決め孔３はピン２と接触し、またピン２と
孔３の接触を繰り返えされて、上下の薄板枚葉品４は位
置決め孔３を中心にして一致して、ムシリ線６は同じ位
置に重なり積載する。（図７参照） 【００１８】 【作用】なお、位置決め孔３に位置決めピン２が挿入さ
れ、従来は薄板枚葉品４が下方に落ちる際、孔３とピン
２が引っかかる場合や、薄板枚葉品４の自重が軽い為引
っかかりにより下方に落ち無かった（図６参照）。本発
明ではピン２と孔３との振動の差により製品は徐々に整
列されるため、自重で落下する。このため、孔３とピン
２の引っかかりに起因するシャドウマスクの変形は防止
できる。 【００１９】薄板枚葉品４がシャドウマスク７の場合は
本発明の整列積載機構により所定の枚数を積載した後，
台１の微振動を止め、前記むしり作業をする。ムシリ作
業に当っては、所定の枚数の積載品４を台座１からはず
しても構わないが、そのまま、台座１上でムシリ作業を
行っても構わない。台座１上に備えたピン２よって整列
積載した製品の中央部を軽く押さえて固定した後、製品
の外形５に形成したムシリ線６により、不要の外周部９
を一度に切り離しを行う。ムシリ作業は人手であって
も、又機械的手段を用いても構わない。 【００２０】また、本発明の整列積載を用いた作業では
ピン２ひっかかつた薄板枚葉品４を下方に落とす動作が
不要になり、手で押さえない為シャドウマスク７変形は
発生しない。又この整列積載時、積載時重なり会う上下
の薄板枚葉品４上のムシリ線６が一致している為、一度
にムシリ線６によって外周の不用部９を除去するムシリ
作業は容易に行え、シャドウマスク７に不要な外力がか
からずにシャドウマスク７に変形が生じない。 【００２１】以上本発明の実施形態の一例に付き説明し
たが、本発明の整列積載機構は上記の説明に限定される
ものではなく、本発明の主旨に基すき種種の変形を行っ
ても構わない。例えば実施形態の一例として、微振動台
１上にピン２を固定しているが、微振動台１は固定とし
台座１に設けた孔内に、独立した微振動するピン２を設
けても構わない。また整列積載機構にムシリ機能を設け
たも構わない。 【００２２】 【発明の効果】本発明の薄板枚葉品の整列積載機構を用
いる事により、積載の作業効率が向上して、上下の薄板
枚葉品を精度良く整列積載することができる。このため
薄板枚葉品がシャドウマスクの場合には不要部のムシリ
作業を一度にまとめて行ってもシャドウマスクに変形は
生じない。又、整列積載にあたってもピン２にひっかか
りがなくなり、薄板枚葉品を人手で下方に落とす必要が
無い為シャドウマスクの変形を防止できる。
枚葉状に断裁した薄板枚葉品４を積載する機構に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】フープ材料１３から同じ間隔に断裁した
薄板枚葉品４を積載して整列する工程を持った薄板枚葉
品４の製造工程、例えばシャドーマスク７の製造工程に
ついて説明する。シャドーマスクの製造工程では、始め
に、フープ状材料１３が製造工程に投入される。フープ
材料１３に連続して薄板枚葉品４の形成がおこなわれ
る。例えばフォトリソプロセスによる製造工程は、レジ
スト塗布工程と、マスクパターンによる露光照射工程
と、現像工程と、腐蝕工程と、剥膜工程と、が行われフ
ォトリソプロセスが終了する。次に、洗浄等による仕上
げ工程を終了後に、薄板枚葉品４が連続して面付け形成
されているフープ状材料１３を個個の薄板枚葉品４にす
るため断裁線１２に沿って、枚葉状に断裁され、断裁後
の枚葉材料は整列した後に、積載して規定の枚数を１ロ
ットとしてムシリ工程等の次工程に送る。 【０００３】図４は、シャドウマスクが形成された枚葉
品の一例を示す。図のように枚葉品４の段階では、最終
的に必要となるシャドウマスクの外形輪郭６の外側に不
要部９が形成する。シャドウマスク７と前記不要部９の
境界はムシリ線６と呼ばれる貫通線及びハーフエッチン
グ線で構成される人手により容易に破断する破断線が形
成されている。 【０００４】前記ムシリ工程は前記ムシリ線６に沿って
外側の不要部９をムシリ取り除去する工程であり、これ
により最終的に不要部９を除去して、必要となる前記ム
シリ線の内側のシャドウマスク７をうる工程である。 【０００５】ムシリ工程では、作業効率を上げる為、薄
板枚葉品４を複数枚積層した状態で、ムシリ線６に沿っ
て外側の不要部９をまとめて一度にムシリ取り除去する
のが一般的である。このため積層した際にムシリ線６が
一致している事が必要となる。 【０００６】ここで、前記整列積載工程では枚葉品４の
薄板枚葉品外形５を基準として積載行うことが一般的な
方法である。しかし、薄板枚葉品内に形成されたシャド
ウマスク７の向き一致させて、薄板枚葉品の外形５を一
致させて積層した場合もムシリ線６が一致しないことに
問題がある。（図３、ｂ参照） 【０００７】フープ状材料１３に面付けしてシャドウマ
スク７を形成する際、図５に示すように、断裁線１２に
よる枚葉状に断裁する場合がある。その場合不要部の幅
が異なるため、Ａ列とＢ列のシャドウマスク７は上側と
下側の外形５までの距離が異なる為 、ムシリ線６が平
面視で一致しない。その為、不要部の幅が異なるシャド
ウマスク７を薄板枚葉品の外形５のみ一致させ積層した
場合ムシリ線が積層状態で一致しなくなり、ムシリ工程
に支障をきたす。 【０００８】又、人手によりムシリ線６が積層状態で一
致するように整列する場合も作業効率が低下し、ムシリ
線６が積層状態で一致させることは難しい。 【０００９】上記の問題を解決するために、各枚葉状材
料の例えば、不要部９等の同一個所に位置あわせ用の孔
を予め形成して、ピンを有した積載台に人手によって位
置会わせ用の孔を挿入して積載する方法が提案されてい
る。 【００１０】また、枚葉状材料１３は薄板のため自重も
軽く、物理的強度も弱い。人手による作業では取り扱い
時に変形が発生しやすい。 【００１１】 【発明が解決しようとする課題】上記の状況を解決する
課題は、薄板枚葉品４を積載する際に、その整列作業の
作業効率を向上でき、且つ上下の薄板枚葉品４の同一個
所が精度よく合わせることができ、さらに変形を生じる
こともなく、積載可能な整列積載機構を提供することに
ある。 【００１２】 【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
発明は、所定の位置に位置決め孔３を形成する薄板枚葉
品４を積載する際に、整列して積載する手段を備えた薄
板枚葉品を積載する台１と、振動させる手段を備えた２
本以上からなる位置決めピン２からなる機構において、
薄板枚葉品４に形成する位置決め孔３を該位置決めピン
２に挿入して薄板枚葉品を該台上に積載する際に、該位
置決めピン２を振動させることにより整列させ、薄板枚
葉品を台上に整列積載することを特徴とする薄板枚葉品
の整列積載機構である。 【００１３】 【発明の実施の形態】本発明の、薄板枚葉品４の整列積
載機構の実施の形態に沿って以下に詳細に説明する。 【００１４】図１は、本発明の薄板枚葉品の整列積載機
構の実施形態の一例を示す。微振動台座１の台座表面の
少なくとも一方に台座に固定された複数個の位置決めピ
ン２を有し、該ピンの先端は細くテーパー形状となり、
底部は所定の径、例えば２．４３ｍｍφ〜２．４５ｍｍ
φ、となる。 【００１５】図１に示す積載機構は二つの台座間を往復
する水平移動の手段と、製品面までの上下移動と、製品
を持つ手段と、放す手段を備えている。例えばその手段
を用いて、台座８の真上まで水平移動後、製品面まで降
ろして、製品を持ち上げる。水平移動後、微振動台座１
真上まで製品４を移動後、製品４をピン２面まで降し
て、製品４を放す、以上の作業の繰返し機能を備えた機
構となっている。 【００１６】図２に示すように、すべての薄板枚葉品に
は、例えばシャドウマスクのパターンの形成と同時に位
置決め用孔３を形成している。位置決め用孔３はシャド
ウマスク７から見て同一の個所に形成しているが、位置
決め用孔３を形成する位置は最終製品に影響を与えない
ように不要部９に形成することが望ましい。 【００１７】積載台座８上の薄板枚葉品４は本発明の整
列積載機構の微振動台座１に逐次積載される。積載台座
８上の積載は人手で行っても、積載機構により行っても
構わない。微振動台座１に積載する作業は、薄板枚葉品
４に形成した位置決め孔３を微振動台座１の位置決めピ
ン２の真上にくるように移動させ、次に、薄板枚葉品４
を台座１に落として置くことにより、位置決め孔３がピ
ン２の先端のテーパー部に嵌挿される。微振動台座１は
別途設かられた微振動手段により、常時微振動している
ために、台座１に固定されたピンも微振動している。該
位置決め孔３がピン２の先端のテーパーに沿ってピン底
部まで落下する間に整列されて正しい位置に整列配置さ
れる。その為、該薄板枚葉品４は下方に落下ししなが
ら、微振動台座１上のピン２の振動によって、該薄板枚
葉品４の位置決め孔３はピン２と接触し、またピン２と
孔３の接触を繰り返えされて、上下の薄板枚葉品４は位
置決め孔３を中心にして一致して、ムシリ線６は同じ位
置に重なり積載する。（図７参照） 【００１８】 【作用】なお、位置決め孔３に位置決めピン２が挿入さ
れ、従来は薄板枚葉品４が下方に落ちる際、孔３とピン
２が引っかかる場合や、薄板枚葉品４の自重が軽い為引
っかかりにより下方に落ち無かった（図６参照）。本発
明ではピン２と孔３との振動の差により製品は徐々に整
列されるため、自重で落下する。このため、孔３とピン
２の引っかかりに起因するシャドウマスクの変形は防止
できる。 【００１９】薄板枚葉品４がシャドウマスク７の場合は
本発明の整列積載機構により所定の枚数を積載した後，
台１の微振動を止め、前記むしり作業をする。ムシリ作
業に当っては、所定の枚数の積載品４を台座１からはず
しても構わないが、そのまま、台座１上でムシリ作業を
行っても構わない。台座１上に備えたピン２よって整列
積載した製品の中央部を軽く押さえて固定した後、製品
の外形５に形成したムシリ線６により、不要の外周部９
を一度に切り離しを行う。ムシリ作業は人手であって
も、又機械的手段を用いても構わない。 【００２０】また、本発明の整列積載を用いた作業では
ピン２ひっかかつた薄板枚葉品４を下方に落とす動作が
不要になり、手で押さえない為シャドウマスク７変形は
発生しない。又この整列積載時、積載時重なり会う上下
の薄板枚葉品４上のムシリ線６が一致している為、一度
にムシリ線６によって外周の不用部９を除去するムシリ
作業は容易に行え、シャドウマスク７に不要な外力がか
からずにシャドウマスク７に変形が生じない。 【００２１】以上本発明の実施形態の一例に付き説明し
たが、本発明の整列積載機構は上記の説明に限定される
ものではなく、本発明の主旨に基すき種種の変形を行っ
ても構わない。例えば実施形態の一例として、微振動台
１上にピン２を固定しているが、微振動台１は固定とし
台座１に設けた孔内に、独立した微振動するピン２を設
けても構わない。また整列積載機構にムシリ機能を設け
たも構わない。 【００２２】 【発明の効果】本発明の薄板枚葉品の整列積載機構を用
いる事により、積載の作業効率が向上して、上下の薄板
枚葉品を精度良く整列積載することができる。このため
薄板枚葉品がシャドウマスクの場合には不要部のムシリ
作業を一度にまとめて行ってもシャドウマスクに変形は
生じない。又、整列積載にあたってもピン２にひっかか
りがなくなり、薄板枚葉品を人手で下方に落とす必要が
無い為シャドウマスクの変形を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の薄板枚葉品の整列積載機構の平面図。
【図２】本発明の薄板枚葉品の平面図。
【図３】従来の製品の部分平面図であり、ａ薄板枚葉品
の平面図と、ｂ製品外形に整列した側断面図。 【図４】従来の製品の部分平面図であり、ａ薄板枚葉品
の平面図と、ｂシャドウマスク平面図。 【図５】フープ状材料に連続して面付けした薄板枚葉品
平面図。 【図６】積載時位置決めピンと位置決め孔の一例を説明
する平面図。 【図７】積載時位置決めピンと位置決め孔の一例を説明
する平面図。 【符号の説明】 １…微振動台座 ２…位置決めピン ３…位置決め孔（位置基準） ４…薄板枚葉品（製品） ５…薄板枚葉品（製品）の外形 ６…薄板枚葉品（製品）のムシリ線（薄板枚葉品の外形
輪郭） ７…シャドウマスク ８…製品積載台座 ９…不要部 １０…積層時表面１枚目に薄板枚葉品（製品）内の位置
決め孔 １１…積層時表面２枚目に薄板枚葉品（製品）内の位置
決め孔 １２…断裁線 １３…フープ状材料
の平面図と、ｂ製品外形に整列した側断面図。 【図４】従来の製品の部分平面図であり、ａ薄板枚葉品
の平面図と、ｂシャドウマスク平面図。 【図５】フープ状材料に連続して面付けした薄板枚葉品
平面図。 【図６】積載時位置決めピンと位置決め孔の一例を説明
する平面図。 【図７】積載時位置決めピンと位置決め孔の一例を説明
する平面図。 【符号の説明】 １…微振動台座 ２…位置決めピン ３…位置決め孔（位置基準） ４…薄板枚葉品（製品） ５…薄板枚葉品（製品）の外形 ６…薄板枚葉品（製品）のムシリ線（薄板枚葉品の外形
輪郭） ７…シャドウマスク ８…製品積載台座 ９…不要部 １０…積層時表面１枚目に薄板枚葉品（製品）内の位置
決め孔 １１…積層時表面２枚目に薄板枚葉品（製品）内の位置
決め孔 １２…断裁線 １３…フープ状材料
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】所定の位置に位置決め孔を形成する薄板枚
葉品を積載する際に、整列して積載する手段を備えた薄
板枚葉品を積載する台と、振動させる手段を備えた２本
以上からなる位置決めピンよりなる機構において、薄板
枚葉品に形成する位置決め孔を該位置決めピンに嵌挿し
て薄板枚葉品を該台上に積載する際に、該位置決めピン
を振動させることにより整列させ、薄板枚葉品を台上に
整列積載することを特徴とする薄板枚葉品の整列積載機
構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001188630A JP2003002518A (ja) | 2001-06-21 | 2001-06-21 | 薄板枚葉品の整列積載機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001188630A JP2003002518A (ja) | 2001-06-21 | 2001-06-21 | 薄板枚葉品の整列積載機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003002518A true JP2003002518A (ja) | 2003-01-08 |
Family
ID=19027702
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001188630A Pending JP2003002518A (ja) | 2001-06-21 | 2001-06-21 | 薄板枚葉品の整列積載機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003002518A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10258133A1 (de) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | MAPAL Fabrik für Präzisionswerkzeuge Dr. Kress KG | Schneidplatte |
-
2001
- 2001-06-21 JP JP2001188630A patent/JP2003002518A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE10258133A1 (de) * | 2002-11-29 | 2004-06-24 | MAPAL Fabrik für Präzisionswerkzeuge Dr. Kress KG | Schneidplatte |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH07509351A (ja) | 回路ダイスをウエーハから分離するための方法および装置 | |
| US20090025581A1 (en) | Mask for screen printing and screen printing method using the same | |
| SE538950C2 (sv) | Förfarande och robotcell för hantering av buntar av flexiblasubstrat | |
| US5382404A (en) | Method of cutting out a portion of a weak sheet | |
| JPH0699296A (ja) | 切断加工された板状製品とスクラップとの自動分離装置 | |
| JP2003002518A (ja) | 薄板枚葉品の整列積載機構 | |
| JP2001144037A (ja) | 半導体装置の製造方法及び製造装置 | |
| FI71918B (fi) | Anordning foer foerspaenning av en glasskiva | |
| JP2883182B2 (ja) | プリント配線板の切断方法 | |
| KR101812209B1 (ko) | 레이저 마킹 장치 및 레이저 마킹 방법 | |
| JP3827825B2 (ja) | シヤドウマスクのトリミング装置およびトリミング方法 | |
| JPH0353223B2 (ja) | ||
| JP5110078B2 (ja) | 薄板搬送方法と薄板加工装置 | |
| JP2005116588A (ja) | チップ部品の製造方法 | |
| CN111438626B (zh) | 一种抛光系统及抛光方法 | |
| JP5201277B2 (ja) | 実装基板の製造方法及び基板支持治具の製造方法 | |
| JP3410203B2 (ja) | 電子部品の取扱方法 | |
| CN116088273A (zh) | 薄片晶圆在匀胶过程中的加固方法 | |
| JPH0538530A (ja) | 薄膜部材の型抜き・供給方法 | |
| JPS62152814A (ja) | 半導体ウエハのダイシング方法 | |
| JP2549905B2 (ja) | セラミック生基板の加工装置 | |
| JPH06277972A (ja) | 位置決め機構および方法 | |
| JP3243035B2 (ja) | セラミックス多層基板の製造方法及びグリーンシートキャリア用治具 | |
| JPS6219630Y2 (ja) | ||
| JPH10199961A (ja) | チップ剥離装置及びチップ剥離方法 |