JP2002540641A - 電池式装置のためのスイッチ回路および半導体スイッチ - Google Patents

電池式装置のためのスイッチ回路および半導体スイッチ

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JP2002540641A JP2000608491A JP2000608491A JP2002540641A JP 2002540641 A JP2002540641 A JP 2002540641A JP 2000608491 A JP2000608491 A JP 2000608491A JP 2000608491 A JP2000608491 A JP 2000608491A JP 2002540641 A JP2002540641 A JP 2002540641A
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フランシスクス、エイ.シー.エム.スクーフス
ピーター、ジー.ブランケン
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Abstract

(57)【要約】 例えば、移動電話または携帯コンピュータのような電池式装置のスイッチ回路は、4端子両方向性の半導体スイッチ(M1)および保護ダイオード(Dbg)を具備する。スイッチ(M1)は、制御信号(Vg)を付与して上記スイッチの本体領域(11)において伝導経路(12)を形成し、電池(B)と上記装置の電力線(2)との間でスイッチ(M1)をオンおよびオフするための制御ゲート端子(g)を有する。スイッチ(M1)はまた、本体領域(11)にバイアス電位(Vmin)を付与するために作用するバイアス路においてバックゲート端子(b;bg)を有する。保護ダイオード(Dbg)は、例えば、電池(B)を再充電する際、スイッチ(M1)を横切る逆電圧極性の場合に、本体領域(11)とゲートバイアス端子(b、bg)との間の電流の流れを妨げる整流障壁(25;25′)を上記バイアス路に設けるように、バックゲート端子(b;bg)に直列であるダイオード通路を有する。好ましくは保護ダイオード(Dbg)は、本体領域(11)とゲートバイアス端子(bg)との間の上記バイアス路にその整流障壁を形成するp−n接合(25′)またはショットキー障壁(25)とともに、スイッチ(M1)の半導体装置本体(10)と集積される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】 本発明は、例えば移動電話または携帯コンピュータのような電池式装置のスイ
ッチ回路に関する。本発明はまた、このようなスイッチ回路における使用に適し
ている4端子両方向性の半導体スイッチ、およびこのようなスイッチ並びにスイ
ッチ回路を具備してなる電池式装置に関する。
【0002】 米国特許明細書US−A−5,682,050は、4端子両方向性スイッチお
よび保護ダイオードを具備してなる電池式装置用のいくつかのスイッチ回路を開
示している。スイッチは、電池と装置の電力線との間にスイッチを接続するため
に作用する第一および第二主端子の間に主電流路を有する。スイッチは、制御信
号をスイッチに付与してスイッチの本体領域に伝導路を形成するために作用する
制御ゲート端子を有し、伝導路はスイッチをオン並びにオフさせるための主電流
路の一部を形成している。スイッチは、本体領域にバイアス電位を付与するため
に作用するバイアス路にバックゲート端子を有する。US−A−5,682,0
50の全内容は参照資料としてここに準拠される。
【0003】 US−A−5,682,050には、スイッチの第一および第二主端子を横切
る逆電圧極性の場合にスイッチおよび電池を保護する回路構造が開示されている
。これは、例えばスイッチ回路が電池充電器に反転結線すなわち誤極性で接続さ
れていると生じうる。スイッチの本体領域は、スイッチと平行に接続されている
寄生2極性トランジスタのベース領域として作用する。US−A−5,682,
050の図12Bおよび12Cは、スイッチの端子、すなわち第一および第二主
端子のうち特定の端子に接続されているダイオード通路を有する保護ダイオード
(ショットキーダイオード)を有する保護回路構造を示す。この特定の一主端子
は、電池には接続されていないが電池充電器には接続されているものである。
【0004】 図12Bの回路において、ダイオードを通る電流は、接地電位でバックゲート
端子にダイオードを接続している抵抗器Rによって制限されている。図12C
の回路において、バックゲート端子と独立して、ダイオードは直接、接地に接続
されている。いずれの場合も、寄生2極性トランジスタのオンを防ぐことが意図
されている。US−A−5,682,050は、スイッチおよび電池を適切に保
護できないとしてこれらの簡単なダイオード回路を排除している。代わりに、U
S−A−5,682,050は、3つのMOSTを備えている、より複雑な保護
回路(図13)を提案している。US−A−5,682,050に示されている
すべての保護回路において(図12B〜12D、13A〜13E、および14A
&14B)、スイッチの本体領域は、別の/上記抵抗器Rを介して接地電位で
バックゲート端子に接続されている。
【0005】 本発明は、簡単であり、しかもスイッチの第一および第二主端子を横切る逆電
圧極性の場合に適切な保護を行うことができる保護ダイオード配置を備えたスイ
ッチ回路および4端子スイッチを提供することを目的としている。
【0006】 本発明によるスイッチ回路および/またはスイッチは、そのバイアス路におい
て整流障壁を設けるように、スイッチのバックゲート端子と直列のダイオード通
路を有する保護ダイオードを含む。この整流障壁は、上記スイッチの第一および
第二主端子を横切る逆電圧極性の場合、上記スイッチの本体領域およびバックゲ
ート端子間の電流の流れを妨げる。従って、上記スイッチの本体領域が寄生2極
性トランジスタのベース領域として作用する状態であると、本発明による保護ダ
イオードの上記整流障壁が上記バックゲート端子から本体領域(寄生ベース)へ
のベース電流を妨げる。
【0007】 ショットキー障壁またはp−n接合が上記保護ダイオードを形成してもよい。
上記スイッチおよび保護ダイオードは、それぞれが自体の端子とともに半導体を
具備してなる別体の部品である。あるいは、上記保護ダイオードは、上記スイッ
チの半導体装置本体または、例えば制御集積回路(IC)と集積してもよい。
【0008】 従って、例えば本発明は、請求項1〜3に記載の特徴を有する新規なスイッチ
回路の具体例を提供し、例えば、請求項4〜9に記載の特徴を有する(集積保護
ダイオードを備える)新規な4端子両方向性の半導体スイッチの具体例も提供さ
れている。
【0009】 本発明の具体例は、添付する概略図を参照して例証とし説明する。
【0010】 注目すべきはすべての図が略図である。図3〜8および10において図面の部
品の相対的寸法および割合は、明瞭並びに好都合に図示するために、サイズを誇
張または縮小して示されている。同じ参照記号は一般に、修正されたおよび異な
る具体例における相当するまたは同様の特徴を示すために使用される。
【0011】 図1、2、9、11および12のスイッチ回路は、例えば移動電話または携帯
コンピュータのような電池式装置に使用してもよい。上記回路は、上記装置の作
動において電池Bを接続および切断するために作用する4端子両方向性の半導体
スイッチM1を具備してなる。現在重要な一特定用途は、携帯電話における再充
電可能な電池パック(例えば、リチウム・イオン電池パック)である。スイッチ
M1は、(電池Bの充電または放電のいずれか)正規の操作時、両方向に伝導し
なければならない。スイッチM1は過剰充電または過剰放電その他の故障条件の
場合、閉塞しなければならない。過剰放電は、放出された電流によって上記電池
の電圧がある低限値よりも下がったために生じる。このような電流は、正規の操
作時に生じるかまたは短絡もしくは逆接続された充電器5によって生じる。
【0012】 スイッチM1はゲート電解効果装置、典型的な横形または縦形の電力MOST
、図3〜8に示されている特定の例である。スイッチM1は、電池Bと電力線2
との間にM1を接続するために作用する第一、第二主端子sとdとの間に主電流
路を有する。通常、線2は上記装置の電荷ELが接続されているものである。制
御ゲート端子gは周知の方法でM1に制御信号Vgを付与して上記スイッチの本
体領域11に伝導経路12を形成するために作用する。この伝導経路12(スイ
ッチのオン状態にのみ存在)は上記主電流路の一部を形成するので、M1をオン
並びにオフさせるために機能する。
【0013】 スイッチM1は、バイアス電位Vminを(線1で)本体領域11に付与する
ために作用するバイアス路におけるバックゲート端子を有する。このM1のバッ
クゲート端子は本体領域11への直接的な端子結線bかまたは本体領域11への
間接的な端子結線bgでもよい。それは、図11および12の周知の回路におけ
る直接的な端子結線bである。図3〜8の集積スイッチにおいて、M1のバック
ゲート端子bgとその本体領域11との間の上記バイアス路に追加の集積部品(
ダイオードDbg)がある。図1、2および9の回路において、上記スイッチの
バックゲート端子は、DbgがM1と集積されていない場合は直接端子bでもよ
く、Dbgが集積されている場合は間接的な端子bgでもよい。
【0014】 図示されている回路において、スイッチM1は電池Bの高い側(+)で接続さ
れ、線1は典型的に接地電位(Vmin=0V)である。制御回路C−IC(例
えば周知型の集積回路)は制御信号Vgをスイッチ端子gに付与し、また電圧V
ddを電力線2に対して付与および/または感知してもよい。これらの具体例に
示されているように、制御回路C−ICは電池Bの正負端子から感知入力VB+ およびVB−を取ってもよい。
【0015】 図1、2および9のスイッチ回路はさらに、上記スイッチの第一および第二主
端子sおよびdを横切る逆電圧極性の場合にスイッチM1および電池Bを保護す
る保護ダイオードDbgも具備してなる。本発明によれば、Dbgのダイオード
通路はM1のバックゲート端子(bまたはbg)に接続されている。従って、以
下に述べるように、Dbgのダイオード通路はバックゲート端子(bまたはbg
)と直列なので、第一および第二主端子sおよびdを横切る逆電圧極性の場合に
本体領域11と上記バックゲート端子との間の電流の流れを妨げる整流障壁がバ
イアス路aに設けられる。
【0016】 図11の周知回路において、高い側の両方向性スイッチM1は周知の型である
。その本体領域11はバックゲート端子bによって線Vmin、従って電池Bの
負端子に直接、接続されている。この電力MOSTスイッチM1のソースからバ
ックゲートへのp−n接合D1は、電池Bによるすべての状況下で逆バイアスさ
れる。ソースからバックゲートへのp−n接合D1は、上記電池電圧よりも高い
破壊電圧を有するように設計されている。(本体領域11のバイアスから生じる
)所謂本体効果またはバックゲート効果がMOSしきい値のわずかな増加を生じ
させる。
【0017】 外部電圧が正である限り(即ちVp−Vmin>0V)M1のドレーンからバ
ックゲートへのp−n接合D2も逆バイアスである。逆バイアス接合D1および
D2の両方の漏れ電流はバックゲート端子bからの結線を経て(電池Bの負端子
に接続されている)接地線1に流れる。
【0018】 しかしながら、図11のスイッチ回路において、高い側のスイッチM1のドレ
ーンからバックゲートへの接合D2は負の外部電圧に対して順バイアスとなるこ
とができる(即ちVp−Vmin<0V)。これは、例えば電池充電器5が図1
2に示されているように「誤」極性で接続されていると生じる。(誤極性電圧V
chを有する)充電器5は大きな電流を順バイアス接合D2に強制的に流す。2
つのバックゲート接合D1およびD2は実際に寄生2極性トランジスタT1を形
成しているので(図12)、この電流は寄生2極性トランジスタT1のベース電
流Ibと考えることができる。従って、図12に示されているように、コレクタ
電流Icは電池BからT1によって引かれる。
【0019】 電池放出電流Icの値は寄生2極性トランジスタT1の電流利得によるが、過
度に高いと予測してもよい。従って、電池Bは放電されて、制御C−ICは電池
Bが放電されることをやめさせるために何もすることができない。これは受け入
れられない。US−A−5,682,050に記載されているように、この状況
は、バックゲートバイアス路に直列抵抗器を設けても、ショットキー・ダイオー
ド・クランプをスイッチ端子dで設けても状態はうまく補修することができない
【0020】 本発明は、外部電圧が負である場合(例えば、電池充電器5が「誤」極性で接
続されていると)電池Bが放電されないということを確実にできない図11の回
路の簡単なダイオードの修正例を提供する。これは、図1、2および9の新規な
回路および図3〜8の新規な集積スイッチに示されているように、電力MOST
M1のバックゲート端子結線においてダイオードDbgを追加することによって
達成される。ダイオードDbgは寄生2極性トランジスタT1が有効となること
を防ぐ。
【0021】 スイッチM1が導電している場合(電池充電形態または電池放電形態のいずれ
かにおいて)端子dおよびsは、電池電圧にほぼ等しいので一般に1Vよりも大
きい電圧を有する。接合D1およびD2は両方とも、電池電圧Vbatにほぼ等
しい電圧によって逆バイアスされる。ダイオードDbgは、D1およびD2を通
る漏れ電流によって順バイアスされる。
【0022】 スイッチM1が閉塞して過剰充電を避ける場合、ダイオードDbgはなお順バ
イアスされる。接合D1はなお、電池電圧Vbatよりもわずかに小さい電圧に
よって逆バイアスされる。接合D2を横切る逆バイアス電圧は、無負荷時の充電
器の電圧Vchにほぼ等しい値まで増加する。
【0023】 スイッチM1が閉塞して過剰放電を避け且つ外部電圧がなお正(Vp−Vmi
n>0V)であると、逆バイアス電圧は上述した状況における電圧以下である。
【0024】 スイッチM1が閉塞して過剰放電を避け且つ外部電圧が負であると(例えば図
2に示されているように充電器5が「誤」極性で接続されているためにVp−V
min<0V)、接合D1およびダイオードDbgは両方とも逆バイアスされ;
接合D2はD1およびDbgを通る漏れ電流によって順バイアスされる。保護ダ
イオードDbgを横切る逆バイアス電圧はVchよりもわずかに小さい。接合D
1を横切る逆バイアス電圧は、ほぼ(Vch+Vbat)に等しい。D1および
Dbgを通る漏れ電流はともに(D1およびD2によって形成される)寄生2極
性トランジスタT1に対してベース電流を提供し、これは図2に示されているよ
うに、電流利得係数によって増幅される。しかしながら、(コレクタ電流Icに
相当している)電池Bを通る全放出電流は小さいので、これにより図11および
12の回路の上述した問題を解決する。
【0025】 保護ダイオードDbgは別体の部品として付加するか、制御回路C−ICに集
積するか、またはスイッチM1に集積することが可能である。
【0026】 例証として、図3および4は、そうでなければUS−A−5,682,050
に示されているような一般的な型である横形電力MOSトランジスタM1におい
てDbgを集積させる2つの異なる方法を示す。この2方向性MOSトランジス
タM1は、典型的にはシリコンからなる半導体10を具備してなる。M1の本体
領域11は本体10の基板領域でもよく、図3および4の実施例においてp型シ
リコンからなる。M1のソースおよびドレーンは、上記基板領域の上面でドーパ
ント植え込みおよび/または拡散によって周知の方法で形成してもよいn型ドー
プ領域を含む。図示されている具体例において、上記制御ゲートは、ゲート誘電
体16によって経路収納領域に接続されているゲート電極15を含む絶縁ゲート
(MOS)型である。上記ソースおよびドレーン端子は、この表面で厚い絶縁層
18における窓で領域13および14に接続されている別体の金属電極sおよび
dを含む。M1に対するこれまで説明してきた図3および4の構造は周知の型で
ある。
【0027】 しかしながら、本発明の集積型によれば、保護ダイオードDbgは、本体領域
11とM1のゲートバイアス端子bgとの間のバイアス路に整流障壁25または
25′を提供する。
【0028】 図3に示されている形式において、この整流障壁は、本体領域11と金属ベー
スの層20との間に直接形成されているショットキー接合25である。ショット
キー電極層20は、バックゲート端子bgの金属被覆の少なくともシリコン隣接
部を形成する。従って、特定の実施例において、図3の電極層20は、チタニウ
ム上でシリコン本体領域11およびより厚くて伝導性のある層(例えばアルミニ
ウム)に隣接しているチタニウムの薄い障壁層を含んでもよい。
【0029】 図4に示されている形式において、上記整流障壁は、本体領域11と、反対の
伝導型、すなわちこの特定の実施例においてn型のダイオード領域26との間の
p−n接合25′である。ダイオード領域26は、p型基板の裏面でドーパント
植え込みおよび/または拡散によって形成可能である。バックゲート端子bgは
、ダイオード領域26に接続されている基板のバック金属被覆によって設けられ
る。
【0030】 集積ダイオードDbgを備えていない周知のスイッチと異なり、図3および4
のスイッチにおける装置本体10に対するバック金属被覆は、p型本体領域11
とのオーム接触を何ら形成しない。
【0031】 本発明はUS−A−5,682,050に開示されている他の特徴と結合され
てもよい。従って、例えば、ショットキー・クランプ・ダイオードは、バックゲ
ート接続においてダイオードDbgを設けることに加えて、ソースsに結合され
てもよい。
【0032】 図3および4のスイッチは、ソースおよびドレーン領域13、14が本体10
の同じ表面に隣接して存在し且つ保護ダイオードDbgが反対の(即ち裏)面に
形成されている横形装置である。図5および6は横形装置の他の具体例を示して
いるが、この修正例において保護ダイオードDbgは、ソースおよびドレーン領
域13、14と同じ面で集積される。保護ダイオードDbgはこのシリコン面で
ショットキー障壁25と形成してもよい。しかしながら、図5および6はp−n
接合25′を備えたダイオードDbgを示す。
【0033】 このように、図5および6のダイオードDbgは、ソースおよびドレーン領域
13、14と同じドーピング段階で形成してもよい反対の伝導型(これら特定の
実施例においてp型)の半導体領域26を含む。これらの修正具体例において、
制御ゲート端子gおよびバックゲート端子bgは、スイッチ本体10の共通面に
隣接して存在している。これらは、制御ゲートgと同じ工程で形成してもよい絶
縁ゲートigによって互いに分離されている。しかしながら、絶縁ゲートigは
制御ゲートgから離れ且つ別にバイアスされてダイオード領域26に隣接してい
る経路12の形成を避ける。好ましくは、絶縁ゲートigはバックゲート端子b
g、従って0Vに接続されている。
【0034】 集積p−nダイオードDbgを備えている図5および6の横形装置において追
加の寄生2極性トランジスタT2およびT3が設けられている。これらの寄生T
2およびT3はダイオード領域26とソースおよびドレーン領域13、14との
間に形成される。それらはDbgを通る漏れ電流を増幅する。しかしながら、T
2およびT3の増幅効果は、(i)ダイオード領域26とスイッチ領域13、1
4との横方向の間隔を増加させ、および/または(ii)絶縁ゲートigの下の
本体領域11のドーピング濃度を局所的に増加させ、および/または(iii)
図6に示されているように別の2極性トランジスタT4を形成することによって
、許容されるレベルまで低減させることができる。
【0035】 図6の装置は、領域13、14および26と同じ(反対の)伝導型の追加の半
導体領域60を有する。この領域60は領域11および26とともにT4を形成
する。追加の半導体領域60は、保護ダイオードDbgを通る漏れ電流に基づき
T2およびT3の増幅効果を相殺するように金属被覆トラック61によって本体
領域11に接続されている。
【0036】 本発明はまた、縦形のスイッチM1で採用されてもよい。このように、例えば
、図7および8は所謂溝ゲート型の縦形装置の具体例を示し、ソースおよびドレ
ーン領域13、14は本体10の両表面に形成され、経路12は溝ゲート15の
絶縁側壁に隣接して縦に形成されている。この場合、Dbgは、本体10の上面
の領域、例えば2つの隣接している溝領域の間において、または溝によって画定
されている領域の外側に(p型本体領域11の接続された部分と)形成してもよ
い。
【0037】 図7の集積スイッチは特にコンパクトなレイアウトである。この装置において
、ダイオードDbgは、絶縁ゲートigを含む2つの溝の間の領域に形成されて
いる。ダイオードDbgは、ダイオード領域26と本体領域11との間にp−n
接合25′を有するp−n接合型である。このダイオード領域26はソース領域
13と同じドーピング段階において形成してもよい。(スイッチのバックゲート
端子bgを形成している)その電極結線はソース端子sから分離されているが、
bgおよびsの両方は、共通の電極金属被覆層をパターン化することによって形
成することができる。
【0038】 図8は、ダイオードDbgが制御ゲートgを含む2つの溝の間の広い領域の中
心部に局所的に形成されているあまりコンパクトではない装置のレイアウトを示
す。この特定の具体例において、Dbgは、p型本体領域11とバックゲート金
属被覆bgとの間にショットキー障壁25を有するショットキーダイオードであ
る。絶縁層19は、バックゲート端子bgと別のソース端子sとの間に存在して
いる。
【0039】 一般的にスイッチ回路の操作において、電池Bの側方でスイッチ接合(D1)
を横切って現れる逆バイアス電圧は、電力線2の側方でスイッチ接合(D2)を
横切って現れる逆バイアス電圧よりも大きい。縦形装置において、例えば図7お
よび8に示されているように、ドレーンからバックゲートへの接合(領域14お
よび11間)の破壊電圧は、ソースからバックゲートへの接合(領域13および
11間)の破壊電圧よりも一般に高い。この状況において、図9に示されている
ように、スイッチM1のソースおよびドレーン端子d、sを交換することは好都
合でありうる。
【0040】 多くの他の修正および変更は本発明の範囲内で可能である。従って、例えば、
ショットキーダイオードDbgは、非常に低い漏れ電流が集積スイッチM1に対
して特定される場合、(p−n接合ダイオードDbgの代わりに)図5および7
の装置に採用してもよい。一般に図3〜8における本体領域11のドーピングを
選ぶことによって伝導経路12に対して所望のゲートしきい値を与える。この本
体領域のドーピングは通常、きわめて低く(例えば約1017または2×10 cm−3)、ショットキー電極20に対して特定の金属を適切に選択して所望
の障壁高さのショットキー障壁を形成することに適している。しかしながら、所
望される場合、本体領域のドーピングとショットキー電極20との間に形成され
ているショットキー障壁の障壁高さは、米国特許3,943,552(弊所参照
番号:PHB32349)における教示によって、領域11のダイオード領域に
、浅く高くドープされ完全に空乏化された表面層を含めることによって調節する
ことができる。
【0041】 図3から8に示されているn経路向上装置の代わりに、領域M1およびDbgの
伝導型を反転させることによって、相当する電圧極性の変化で操作されるp経路
向上装置を製造してもよい。さらに、本発明は空乏経路装置で使用してもよい。
(集積保護ダイオードDbgを備える)2以上のスイッチM1は、共通半導体1
0に集積することによって、例えば、上記装置において多数の電池の同時充電お
よび放電のための電池多重化回路において多重スイッチを設けてもよい。単結晶
シリコンは現在スイッチ本体10に対して一般に使用されているが、例えば炭化
シリコンのような他の半導体材料を使用してもよい。
【0042】 図面はスイッチ本体10において集積を示しているが、保護ダイオードDbg
は、スイッチM1および制御回路C−ICのいずれかの上に、薄膜部品として集
積してもよい。図10に示されているように、Dbgの整流障壁は、ゲート−バ
イアス端子線1とスイッチM1の本体領域11との間の結線の一部を形成してい
る半導体層30において反対の伝導型の領域N+とP+との間のp−n接合25
″でもよい。半導体層30は、スイッチ本体10および制御回路C−ICの半導
体10′のいずれかの表面で厚い絶縁層35上に存在してもよい。そのダイオー
ド領域N+およびP+は、このダイオードDbg上で絶縁層における窓で金属被
覆トラックによって接触してもよい。C−IC回路で集積された場合、これらの
金属被覆トラックは、それぞれ接地線1およびM1の直接バックゲート端子bに
接続されている端子でもよい。M1で集積された場合、これらの金属被覆トラッ
クはM1の間接的バックゲート端子bgおよび本体領域11への内部直接結線で
もよい。
【0043】 本開示を読むことから、他の変更および修正は当業者にとって明らかである。
このような変更および修正は、電池式装置の半導体装置およびスイッチ回路の設
計、製造および使用において既知であり、ここにすでに記載されている特徴の代
わりにまたは加えて使用してもよい等価物および他の特徴を含んでもよい。
【0044】 請求項は本願において特徴の特定の組合せに対して式示されたが、理解すべき
は本発明の開示の要旨はまた、現在、任意の請求項に記載されている発明と同じ
発明に関するか否か、また本発明が軽減する問題と同じ技術的問題の任意または
すべてを軽減するか否かにかかわらず、明示および暗示のいずれかでここに開示
された任意の新規特徴または任意の新規特徴の組合せ、またはその一般論も含む
。本出願人はこれにより、本願またはこれから導かれる任意の更なる出願の遂行
時に、任意のこのような特徴および/またはこのような特徴の組合せに対して、
新たな請求項が式示されてもよいことを知らせるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】 4端子両方向性の半導体スイッチおよび保護ダイオードを具備してなる、本発
明によるスイッチ回路の一具体例の回路図である。
【図2】 誤極性で接続されている電池充電器が追加されている図1のスイッチ回路の回
路図である。
【図3】 本発明による集積保護ダイオードを有し且つ図1の回路に適している4端子両
方向性の半導体スイッチの異なる各具体例の有効装置領域の一部を示す断面図で
ある。
【図4】 本発明による集積保護ダイオードを有し且つ図1の回路に適している4端子両
方向性の半導体スイッチの異なる各具体例の有効装置領域の一部を示す断面図で
ある。
【図5】 本発明による集積保護ダイオードを有し且つ図1の回路に適している4端子両
方向性の半導体スイッチの異なる各具体例の有効装置領域の一部を示す断面図で
ある。
【図6】 本発明による集積保護ダイオードを有し且つ図1の回路に適している4端子両
方向性の半導体スイッチの異なる各具体例の有効装置領域の一部を示す断面図で
ある。
【図7】 本発明による集積保護ダイオードを有し且つ図1の回路に適している4端子両
方向性の半導体スイッチの異なる各具体例の有効装置領域の一部を示す断面図で
ある。
【図8】 本発明による集積保護ダイオードを有し且つ図1の回路に適している4端子両
方向性の半導体スイッチの異なる各具体例の有効装置領域の一部を示す断面図で
ある。
【図9】 図7および8の4端子両方向性の半導体スイッチを具備することに適している
、本発明によるスイッチ回路の別の具体例の回路図である。
【図10】 本発明による集積保護ダイオードの別の具体例の断面図である。
【図11】 本発明によるバックゲート保護ダイオードのない、4端子両方向性の半導体ス
イッチを具備してなる周知のスイッチ回路の回路図である。
【図12】 誤極性で接続されている電池充電器が追加された、図11の周知のスイッチ回
路の回路図である。
【符号の説明】
1 線 2 電力線 M1 スイッチ B 電池 Dbg 保護ダイオード 11 シリコン本体領域 12 金属ベース層 13、14 ソースおよびドレーン領域 20 電極層 25 ショットキー結合 26 ダイオード領域 30 半導体層 35 絶縁層 60 半導体領域
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 29/78 H01L 27/04 H 653 29/48 F 657 29/872 (72)発明者 フランシスクス、エイ.シー.エム.スク ーフス オランダ国5656、アーアー、アインドーフ ェン、プロフ.ホルストラーン、6 (72)発明者 ピーター、ジー.ブランケン オランダ国5656、アーアー、アインドーフ ェン、プロフ.ホルストラーン、6 (72)発明者 レイモンド、ジェイ.グローバー オランダ国5656、アーアー、アインドーフ ェン、プロフ.ホルストラーン、6 Fターム(参考) 4M104 AA01 AA03 CC03 FF01 GG03 5F038 AV04 AV06 BH05 BH14 DF01 EZ20 5F048 AA02 AA03 AB10 AC01 AC06 AC10 BA01 BB05 BD04 BD07 CC06 CC08 CC13 CC18 5F140 AA20 AB01 AB06 AB07 AC09 AC23 BA01 CB06 DA01 DA08 【要約の続き】 するp−n接合(25′)またはショットキー障壁(2 5)とともに、スイッチ(M1)の半導体装置本体(1 0)と集積される。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 4端子両方向性の半導体スイッチおよび保護ダイオードを具備してなる電池式
    装置のスイッチ回路であって、上記スイッチは、上記スイッチを電池と上記装置
    の電力線との間に接続するために作用する第一および第二主端子間の主電流路を
    有し、上記スイッチは制御ゲート端子を有し、この制御ゲート端子は上記スイッ
    チに制御信号を付与して、上記スイッチをオンおよびオフするための上記主電流
    路の一部を形成する伝導経路を上記スイッチの本体領域に形成するために作用す
    るものであり、上記スイッチは、バイアス電位を上記本体領域に付与するために
    作用するバイアス路においてバックゲート端子を有し、上記保護ダイオードは、
    上記スイッチの上記第一および第二主端子を横切る逆電圧極性の場合に上記スイ
    ッチおよび電池を保護するために上記スイッチの端子に接続されているダイオー
    ド通路を有し、上記スイッチ回路は、上記第一および第二主端子を横切る逆電圧
    極性の場合に上記本体領域と上記バックゲート端子との間の電流の流れを妨げる
    整流障壁を上記バイアス路に設けるように、上記バックゲート端子と直列である
    上記ダイオード通路により特徴づけられる、スイッチ回路。
  2. 【請求項2】 上記スイッチおよび上記保護ダイオードは、それぞれが自身の端子を備える半
    導体を含む別体の部品であり、上記スイッチの上記バックゲート端子が上記ダイ
    オードの端子に接続されていることをさらに特徴とする、請求項1に記載のスイ
    ッチ回路。
  3. 【請求項3】 上記保護ダイオードが、上記スイッチの半導体装置本体と集積され、上記本体
    領域と上記スイッチの上記バックゲート端子との間の上記バイアス路においてそ
    の整流障壁を有することをさらに特徴とする、請求項1に記載のスイッチ回路。
  4. 【請求項4】 集積保護ダイオードを含み且つ請求項3に記載の電池式装置のスイッチ回路に
    おける使用に適し、第一および第二主端子、制御ゲート端子およびバックゲート
    端子を有する4端子両方向性の半導体スイッチであって、このスイッチの主電流
    路は上記第一および第二主端子の間に延び、上記スイッチをオンおよびオフする
    ための上記制御ゲート端子に付与される制御信号によって上記スイッチの本体領
    域に形成された伝導経路を含み、上記バックゲート端子は上記本体領域にバイア
    ス電位を付与するために作用し、上記保護ダイオードは、上記スイッチの上記第
    一および第二主端子を横切る逆電圧極性の場合に上記スイッチおよび電池を保護
    するために上記スイッチの端子に接続されているダイオード通路を有し、このダ
    イオード通路が、上記本体領域および上記バックゲート端子の間の上記バイアス
    路に整流障壁を設けることによって、上記バックゲート端子に直列に接続され、
    上記整流障壁が、上記第一および第二主端子を横切る逆電圧極性の場合に上記本
    体領域と上記バックゲート端子との間の電流の流れを妨げることを特徴とする、
    スイッチ。
  5. 【請求項5】 上記整流障壁が、上記本体領域とバックゲート端子に接続されている反対の伝
    導型の半導体領域との間のp−n接合であることをさらに特徴とする、請求項4
    に記載のスイッチ。
  6. 【請求項6】 上記整流障壁が、上記本体領域と上記バックゲート端子の少なくとも一部を形
    成する金属ベースの層との間のショットキー接合であることをさらに特徴とする
    、請求項4に記載のスイッチ。
  7. 【請求項7】 上記本体領域および上記保護ダイオードの上記反対の伝導型の上記半導体領域
    がともに上記スイッチの主端子領域と寄生2極性トランジスタを形成し且つ上記
    反対の伝導型の追加の半導体領域と他の2極性トランジスタを形成し、上記追加
    の半導体領域は上記本体領域に接続されて、上記保護ダイオードを通る漏れ電流
    の上記寄生2極性トランジスタによって増幅を相殺することをさらに特徴とする
    、請求項5に記載のスイッチ。
  8. 【請求項8】 上記制御ゲート端子およびバックゲート端子が上記スイッチ本体の共通面に隣
    接して存在し、且つ上記バックゲート端子に接続されている絶縁ゲートによって
    互いに分離されていることをさらに特徴とする、請求項4に記載のスイッチ。
  9. 【請求項9】 半導体層が上記バックゲート端子と上記本体領域との間の結線の一部を形成し
    、上記整流障壁が上記半導体層における反対の伝導型の領域間のp−n接合であ
    ることをさらに特徴とする、請求項4に記載のスイッチ。
  10. 【請求項10】 請求項1乃至3のいずれか1つに記載のスイッチ回路、または請求項4乃至9
    のいずれか1つに記載の半導体スイッチに接続されている電力線を具備してなる
    電池式装置。
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