JP2002540408A5 - - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】 レーザービームを発生するレーザー管を有するレーザー装置と、その入力端でレーザー管からのビームを受け、レーザー管の外にあるキャビティとを具え、このキャビティの出力面に装着される端部をそれぞれ有する２本の光ファイバケーブルが設けられ、レーザービームを受ける光学系がキャビティに配置され、前記光学系は、レーザービームからさらに２つのビームステアリングプリズムの方に導かれる２つのビーム部を生じさせる複屈折プリズムを有し、２つのビーム部を複屈折プリズムから光ファイバケーブルの端部に導くようにしたことを特徴とする光ビーム発生案内装置。
【請求項２】 ビームステアリングプリズムは、複屈折プリズムと同じ材料から作られ、それによって温度変化がビームステアリングプリズムによって補償されるため、２つのビームの角度がどのように偏向しても複屈折プリズムを通過することを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項３】 レーザー管は、２つの直交する偏波状態を持つビームを生じさせ、ビームのそれぞれは２つの偏波状態の一方に偏光させる複屈折プリズムにより生じさせられ、ビームが導かれる光ファイバケーブルは、偏波保持ファイバから作られていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項４】 レーザー装置は、２つのビームステアリングプリズムから導かれるビーム部を用いて安定にさせられることを特徴とする請求項１に記載の装置。
【請求項５】 光ビームを生じさせる光源と、
光ビームの一部を物体に導く検知ヘッドと、
この検知ヘッドを物体に対して所定位置にあるベースに取り付ける手段と
を具えた光ビーム発生案内装置であって、
検知ヘッドは光ビームが通って物体に導かれる回転可能なくさびプリズムを有し、この回転は第１の平面におけるビームの方向を変えるものであり、
取り付け手段は、第１の平面に対して直交する第２の平面においてビームの方向を変えるため、検知ヘッドの向きを調整する調整手段を有することを特徴とする装置。
【請求項６】 検知ヘッドは、
前記一部の光ビームと参照ビームとを発生し、物体から反射したビームを受ける干渉計であって、反射ビームと参照ビームとから干渉ビームを生じさせる干渉計と、
この干渉ビームから測定データを得る検出システムと
を有することを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項７】 検知システムは、
干渉ビームを受けてここから２つのビームを生じさせる複屈折プリズムと、
２つのビームを受けて空間干渉縞パターンを生じさせる偏光板と、
空間干渉縞パターンを受ける間隔を置いて配置された検出要素を有する検出器と
を有することを特徴とする請求項６に記載の装置。
【請求項８】 複屈折プリズムおよび検出器は、空間干渉縞パターンの縞の間隔が検出器の検出要素の間隔と一致できるように、相対的に角度調整可能であることを特徴とする請求項７に記載の装置。
【請求項９】 光源は、検知ヘッド内に取り付けられたレーザー装置であることを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項１０】 光源は、少なくとも１つの光ファイバ結合によって検知ヘッドに接続される遠隔操作のレーザー装置であることを特徴とする請求項５に記載の装置。
【請求項１１】 遠隔操作のレーザー装置からの光ファイバ結合は、検知ヘッド内に運動学的に取り付けられたハウジングの検知ヘッドで終わっていることを特徴とする請求項１０に記載の装置。

しかしながら、レーザービームを発振するレーザー管と、このレーザー管の外にあってレーザー管からのビームをその入力端で受けるキャビティと、このキャビティに配されてレーザービームを受ける光学系とを具え、キャビティの出力面に装着される端部をそれぞれ有する２本の光ファイバケーブルが装備され、前記光学系がレーザービームから光ファイバケーブルの前記端部に導かれる２つのビーム部を生じさせる複屈折プリズムを具えたレーザー装置を提供することが米国特許明細書第５,６４８,８４８号から知られている。

このようなレーザー装置に関係する１つの問題は、光学系を通過するレーザービームの偏角が温度変化に伴って変わってしまう傾向があることである。