JP2002540364A - 改良された圧力分配回路を含む中空体の処理のための旋回台を備える機械 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、それぞれが少なくとも１つの中空体を受け持つようになっている同一の複数の処理ステーション１２、１３を含み、処理のうちの少なくとも１つの段階に関して、気密回転継手を備える分配手段を介して処理ステーションを圧力源に通じさせる種類の、中空体の処理のための旋回台を備える機械であって、前記段階に関して、機械が、独立していて同等である少なくとも２つの圧力源Ａ１、Ａ２を含むこと、処理ステーションが、機械が含む圧力源の数と同じ数のグループ１２、１３に分けられること、および各圧力源Ａ１、Ａ２が異なるグループに組み合わされるように分配手段１８がなっていることを特徴とする機械を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】 本発明は、それぞれが少なくとも１つの中空体を受け持つようになっている同
一の複数の処理ステーションを含み、処理のうちの少なくとも１つの段階に関し
て、気密回転継手を介して処理ステーションを圧力源に通じさせる種類の、中空
体の処理のための旋回台を備える機械の分野に関する。

【０００２】 いくつかの適用例においては、たとえば、当該処理ステーション内に与えられ
る圧力レベルの確実な達成を保証するために、各瞬間において、多くとも１つの
ステーションが所与の１つの圧力源に連絡することが望まれる。そのことは、特
に、所望する圧力で、限られた流量の流体しか供給できない圧力源がある場合に
有効である。このような状況は、たとえば、ねらいとする圧力レベルが、大気圧
よりも低いときに発生する。

【０００３】 いずれにせよ、採算が合う工業的利用を目指すため、可能な限り低コストの手
段を用いながら、できる限り高い処理速度を機械から得ようとする努力がなされ
る。

【０００４】 ステーション数を増やすことは、この問題に対する解決方法の最初の糸口であ
る。しかしながら、この場合、特に、処理の進捗を特徴付けるパラメータの連続
的変動が発生する段階という枠組においては、旋回台上の各処理ステーションは
、処理のうちでも特別な進捗段階にある。

【０００５】 ポンピング段階の場合、瞬時に真空を出すことは不可能であるので、特にこの
ことがあてはまる。したがって各段階はある継続期間を有し、この期間中、圧力
レベルは絶えず変化する。

【０００６】 ステーション数が多いと、連続する２つのステーション、すなわち相互に接近
した２つのステーションが、同一段階を実行中ではあるが、この段階の中の異な
る進捗段階にあることがある。その場合、２つのステーションは異なる圧力レベ
ルにある。

【０００７】 ところでこの場合、２つのステーションを同一の圧力源に接続することは可能
ではない。なぜなら、２つのステーションのうちの２番目が圧力源と連絡すると
すぐ、連続する２つのステーション内の圧力はほぼ瞬間的に釣り合うようになる
からである。したがって第１ステーションは、当該段階の第１部分の進捗の利点
のほぼ全体を失うことになる。

【０００８】 ＵＳ−Ａ−５，５８５，０６６においては、プラスチック製容器の吹込機械が
記述されている。この機械は、異なる直径の２つの同心環状溝が横方向面に作製
された、固定クラウンを具備する流体の圧力の分配器を含む。２つの溝のそれぞ
れは、種々のレベルの圧力源、さらには場合によっては大気に接続された、ある
数の区間に分割される。記述されている機械は、ただ１つの処理ステーションで
のみ動作するようになっている。分配器は、各オリフィスが、溝のうちの１つに
面してまた対応する溝の種々の区間に連続して面して流体を通すようになってい
る、２つの連絡オリフィスを具備する回転装置も含むことがわかる。記述されて
いる分配器により、処理ステーションを、高圧空気すなわち６ｂａｒの第１空気
源、低圧空気すなわち３ｂａｒの第２空気源、あるいは大気と連絡させることが
可能である。

【０００９】 各瞬間において、多くとも１つのステーションが、所与の圧力源と連絡するこ
とを所望する場合には、記述されている機械は、複数のステーションの使用につ
いての解決方法を提供しないことがわかる。

【００１０】 事実、この場合、溝の当該区間が、当該段階の継続期間に対応する角度上の広
がりを有するようにすることが必要であろう。

【００１１】 ところが、この区間に接続されている圧力源と連絡しているステーションをた
だ１つにするためには、連続する２つのステーションに接続されている圧力取り
込みオリフィスが、区間の角度上の広がりに少なくとも等しい角度だけ隔離され
ているようにしなければならない。したがって、旋回台上に設置することができ
るステーション数は必然的に制限される。

【００１２】 この問題に対し当業者が先行技術を基にして見い出すことができる唯一の解決
方法は、段階の継続期間を、連続する２つのステーションが同一点の前を通過す
るのを分ける時間より短くするよう、圧力源の出力を大幅に増加させることであ
った。この解決方法は、ポンピング流量の増加に伴う負荷の損失の増加を考慮し
なければならないため、なおさら、使用すべきポンプのコストの指数関数的増加
をもたらすことになるだろう。

【００１３】 したがって本発明は、所与の瞬間において、多くとも１つの処理ステーション
に対し１つの圧力源しか連絡しないようにすることを保証しつつ、多数のステー
ションを含むことができる機械を提供することを目的とする。

【００１４】 この目的のため、本発明は、前記段階に関して、機械が、独立していて同等で
ある少なくとも２つの圧力源を含むこと、ステーションが、機械が含む圧力源の
数と同じ数のグループに分けられること、および各圧力源が異なるグループに組
み合わされるように分配手段がなっていることを特徴とする、上に記述した種類
の機械を提供する。

【００１５】 本発明の別の特徴によれば、 各瞬間に、前記圧力源のうちの１つが多くとも１つのステーションと連絡する
ように分配手段がなっており、 別のグループの少なくとも１つのステーションが、組み合わされた適切な圧力
源と連絡するとき、あるグループの少なくとも１つのステーションが、組み合わ
された圧力源と連絡することができるように分配手段がなっており、 回転継手が、ステーションのグループに個別に供給するために、機械が含む圧
量源と同数の管路を含み、分配手段が、回転継手の下流側に、各ステーションに
組み合わされた個別の弁制御手段を含み、 一方が固定クラウンで他方が回転クラウンであって、向い合う接触面により気
密にされた状態で相互に接触する２つの同軸クラウンを含む、回転分配器の形態
で気密回転継手が作製され、回転クラウンが、それぞれステーションに接続され
、前記段階のために機械が含む圧力源と少なくとも同じ数の組に分配され、かつ
回転クラウンの接触面内に開口する連絡オリフィスを含み、同一組のオリフィス
が全て、同一グループのステーションに対応し同じ軌跡を描き、異なる２つの組
のオリフィスが異なる軌跡を描き、固定クラウンが、圧力源に接続され、回転ク
ラウンの一組のオリフィスの軌跡上に来るように固定クラウンの接触面内にそれ
ぞれ開口し、その結果、対応するオリフィスが圧力源に組み合わされた開口部に
面する時、ステーションが圧力源に連絡するような開口部を含み、固定クラウン
が、少なくとも１つの開口部について、オリフィス組の数と少なくとも同数の異
なる組を含み、同一の段階に対応する２つの圧力源がそれぞれ、固定クラウンの
２つの異なる開口部の組のうちの１つの開口部に接続され、 同一グループの全ステーションのオリフィスが同一の組に属し、 ２つのクラウンの接触面が、旋回台の回転軸に直角な環状面であり、 同一組のオリフィスが円に沿って配設され、２つの組のオリフィスが異なる直
径の２つの円に沿って配設され、 同一組のオリフィスが、旋回台の回転軸を中心として角度的に等間隔に分布し
、同数のオリフィスを含む２つの異なる組のオリフィスが、角度方向において挿
入され、 独立していて同等であり、前記段階のために使用される２つの圧力源に対応す
る開口部が、同一の角度セクタ上、ならびに、前記圧力源が対応するオリフィス
組が配設される円の直径にそれぞれ対応する異なる直径上に配設され、 同一組の連続する２つのオリフィスが、前記組に対応する開口部が延びる角度
セクタに少なくとも等しい角度セクタにより、角度的に分離され、 処理が、処理ステーションを、回転分配器を介して第２圧力レベルに到達する
ための第２圧力源と連絡させる第２段階を含み、固定クラウンが、各第１開口部
の延長部内に、第２圧力源のうちの１つにそれぞれ接続された第２開口部を含み
、同一組のオリフィスに組み合わされた２つの開口部が、同一オリフィスと２つ
の開口部との同時連絡を防ぐ角度セクタにより分離され、 圧力源が大気圧より低い圧力にあり、 前述のいくつかの特徴に従って、処理が、中空体に被覆を付着するために低圧
低温プラズマが発生される段階を含み、処理ステーションの内部の圧力を下げる
ための少なくとも１つのポンピング段階を含み、異なるステーショングループに
それぞれ組み合わされる少なくとも２つのポンプを用いてポンピング段階が実行
される。

【００１６】 本発明は、それぞれが少なくとも１つの中空体を受け持つようになっている同
一の複数の処理ステーションを含む、中空体の処理のための旋回台を備える機械
のための回転分配器であって、分配器が、一方が固定クラウンで他方が回転クラ
ウンであって、向い合う接触面により気密にされた状態で相互に接触する２つの
同軸クラウンを含み、回転クラウンが、それぞれステーションに接続され、かつ
回転クラウンの接触面内に開口する連絡オリフィスを含み、かつ固定クラウンが
、機械の圧力源に接続されるようになっており、回転クラウンのオリフィスの軌
跡上に来るように固定クラウンの接触面内に開口する少なくとも１つの開口部を
含み、その結果、対応するオリフィスが開口部に面する時、ステーションが圧力
源に連絡する種類の回転分配器であって、回転クラウンのオリフィスが、少なく
とも２つの組に分配されること、同一組のオリフィスは同じ軌跡を描くが、異な
る２つの組のオリフィスは異なる軌跡を描くこと、固定クラウンが、少なくとも
１つの開口部について、オリフィス組の数と同数の異なる組を含み、各開口部が
オリフィス組のうち１つの組の軌跡上に配設され、独立していて同等である２つ
の圧力源が、異なる２つの組のうちの１つの開口部にそれぞれ接続されることを
特徴とする分配器も提供する。

【００１７】 さらに、本発明による分配器の別の特徴によれば、 ２つのクラウンの接触面が、回転クラウンの回転軸に直角な環状面であり、 同一組のオリフィスが円に沿って配設され、２つの組のオリフィスが異なる直
径の２つの円に沿って配設され、 同一組のオリフィスが、回転軸を中心として角度的に等間隔に分布し、同数の
オリフィスを含む２つの異なる組のオリフィスが、角度方向において挿入され、 ２つの圧力源に対応する開口部が、同一の角度セクタ上、ならびに、前記圧力
源が対応するオリフィス組が配設される円の直径にそれぞれ対応する異なる直径
上に配設され、 同一組の連続する２つのオリフィスが、前記オリフィス組に対応する開口部が
延びる角度セクタに少なくとも等しい角度セクタにより角度的に分離され、 固定クラウンが、各開口部組について、互いの延長部内に、少なくとも２つの
開口部を含み、同一組の２つの開口部が、同一オリフィスと２つの開口部との同
時連絡を防ぐ角度セクタにより分離される。

【００１８】 本発明の別の特徴および長所は、添付の図面を参照して行う以下の詳細な記述
を読むことにより明らかになろう。

【００１９】 本発明による機械の実施形態を図１に概略図で示した。

【００２０】 ここで、図示する機械１０は、中空体に処理を行うためのものであり、その処
理とは、低圧プラズマを用いて中空体に被覆を付着させることである。ここでい
う中空体はたとえば、びん、小びんなどの容器であり、ポリエチレンテレフタレ
ートなどのプラスチック材料で作製することができる。

【００２１】 低圧プラズマの使用は、内部の絶対圧力が好ましくは１ｍｂａｒ未満の反応キ
ャビティ内で行われることが必要である。

【００２２】 工業的に使用するために、機械は、１時間あたり数千、さらには数万個の中空
体の処理を可能にするようになっている。この目的のため、機械１０は複数の処
理ステーション１２、１３を含み、例えばここでは、軸Ｘ−Ｘを中心として回転
駆動される旋回台１６に２０個のステーションが搭載される。全ステーション１
２、１３は同一であり、軸Ｘ−Ｘを中心とする円上に配設される。各ステーショ
ンは、旋回台１６の回転中に中空体が所定の処理を受けるよう、少なくとも１つ
の中空体を受け取るようになっている。場合によっては、処理ステーション１２
、１３が、単一の反応キャビティまたは複数の反応キャビティ内で、複数の中空
体を受け持つようにすることも可能である。

【００２３】 図示した例においては、機械は、第１ポンピング段階、第２ポンピング段階、
および付着段階の三つの主要な段階で付着処理を行うようになっている。２つの
ポンピング段階は、プラズマの発生を可能にするのに足る真空度を当該ステーシ
ョンの反応チャンバ内に確立するためのものである。

【００２４】 第１ポンピング段階は、たとえば５０ミリバール程度の絶対圧力まで降下する
ことにより、キャビティ内に第１レベルの真空を実現するためのものである。第
２ポンピング段階は、０．１ミリバール程度の絶対圧力レベルに到達するための
ものである。最後に、付着段階では、この絶対圧力をおよそ０．１ミリバールに
保つようになっている。

【００２５】 機械上では、処理の各段階は、当該ステーションが、軸Ｘ−Ｘを中心とする所
与の角度セクタの内側を移動する間に進行する。

【００２６】 もちろん、旋回台の回転運動についての他の２つの角度セクタは、中空体のロ
ーディングおよびアンローディング段階に充てられるが、これは、機械が連続供
給される中空体を受け取り、処理後、同じようにして中空体を排出するからであ
る。したがって処理は、旋回台が１回転自転するのに必要な時間よりも短い時間
で進行しなければならない。

【００２７】 したがってステーションは、処理の諸段階において、ポンプと連絡していなけ
ればならない。ところがポンプの重量および体積のため、旋回台１６へポンプを
搭載することができない。したがってポンプは固定であり、回転継手１６を介し
て処理ステーション１２、１３に接続されるようになっている。

【００２８】 本発明によれば、機械１０は、ステーション１２、１３が２つのグループに配
分され、かつ、同一のポンピング段階について機械が、独立していて同等である
２つのポンプを含み、２つのグループのステーションが、２つのポンプのうち、
当該段階の進行中にステーションが接続される方のポンプに応じて区別されるよ
うに、構成される。

【００２９】 もちろん、より多くのポンプ、したがってより多くのステーショングループを
設けることも可能であろう。

【００３０】 この構成を有効に利用するために、機械は、同一グループの２つのステーショ
ンが、このグループに対応する圧力源に同時に連絡しないように構成される。

【００３１】 したがって、ステーションを複数のグループに分けることにより、分配手段が
、ある瞬間に、異なる２つのグループの２つのステーションを、結合されたそれ
ぞれの圧力源に連絡できるようにすることができる。

【００３２】 したがって提案した例においては、ステーション１２、１３は、任意に偶数ス
テーション１２および奇数ステーション１３と呼称することができる２つのグル
ープに交互に配分され、したがって、あるグループのステーションは、他方のグ
ループの２つのステーションの間に挿入される。

【００３３】 したがって第１ポンピング段階は、偶数ステーション１２のグループに関して
は、第１ポンプＡ１により行われ、奇数ステーション１３のグループに関しては
、第２ポンプＡ２により行われる。

【００３４】 同様に、第２ポンピング段階は、２つのポンプＢ１およびＢ２により行われる
。

【００３５】 同一の処理段階に組み合わされる２つのポンプは、相互に独立している。また
、ポンプは、ステーションが属するグループの如何に関わらず、ステーション内
に同じレベルの圧力をもたらすことができるという点において、同等でもある。

【００３６】 選択した例においては、これとは反対に、付着段階は、各ステーションに接続
されるようになる単一ポンプＣにより行われる。この単一ポンプＣは、絶えず複
数のステーションに接続されるようになっていることに留意すべきである。

【００３７】 本発明は種々の方法で実施することができる。

【００３８】 （図示しない）第１実施形態においては、気密回転継手を、たとえばポンプＡ
１およびＡ２など２つの固定流体回路を、２つのステーショングループなど、旋
回台に搭載された２つの流体回路に接続することができる、二管路の単純継手と
することができる。

【００３９】 このような継手は、たとえば、それぞれが２つの連続環状溝を具備する２つの
同軸クラウンを含み、あるクラウンの各溝は、あるクラウンから他方のクラウン
への流体移動の２つの環状空間を形成するよう、他方のクラウンの溝に向い合う
。もちろん、２つの環状空間は、固定クラウンを介して２つのポンプＡ１および
Ａ２にそれぞれ接続される。

【００４０】 この実施形態においてはさらに、分配手段が、各ステーションを回転継手の対
応する環状空間に接続する管路内に配設された個別の弁を、各ステーションのレ
ベルにおいて含むようにする。すると、これらの各弁は、対応する空間を有する
当該ステーションの連絡を開くまたは閉じるよう適時制御される。弁は、電磁弁
、または旋回台を中心として配設される固定カムにより駆動される機械弁とする
ことができる。

【００４１】 しかしながら、本発明の好ましい実施形態においては、機械１０は、特に図２
から図４に示す改良された回転分配器を含む。

【００４２】 回転分配器１８は、単純な回転継手とは異なり、固定流体回路を、回転旋回台
に搭載された流体回路に接続する機能を有するだけではない。回転分配器は、旋
回台上の所与の処理ステーションが、旋回台の回転運動のうちのどの時点で、所
与のポンプと連絡しているかを判定する機能も有する。

【００４３】 分配器１８は、固定クラウン２０および回転クラウン２２の２つの環状クラウ
ンを含む。２つのクラウンは、旋回台１６の、好ましくは垂直である回転軸Ｘ−
Ｘに対し同軸であり、軸方向に積み重ねられる。旋回台１６と共に回転する回転
クラウン２２は、環状であって軸Ｘ−Ｘに対し直角な横方向接触面２４、２６に
より、２つのクラウンが相互に押圧されるよう、固定クラウンの上側に配設され
る。

【００４４】 図３および図４でわかるように、回転クラウン２２には、回転クラウンの一方
から他方まで軸方向に回転クラウンを通過し、下側接触面２６および上面３０に
開口するようにした一組のオリフィス２８、２９が穿孔される。

【００４５】 たとえば数量が２０個の各オリフィス２８、２９は、気密な状態で上面３０に
固定された管路３２により、処理ステーションのうちの１つに接続されるように
なっている。

【００４６】 本発明によれば、オリフィスは２組に分配されることが図３で理解できよう。
第１のオリフィスの組２８は、大径円上に配設されるが、第２のオリフィスの組
２９は、小径円上に配設される。同一組のオリフィスは、角度的に等間隔、たと
えば３６°毎に分布していることに留意すべきである。また、２つのオリフィス
の組は、同数のオリフィスを有し、全部の組を含めた場合、旋回台上の２つのス
テーションの角度上の間隔に相当する１８°毎にオリフィスが存在するよう、角
度的に相互に変位している。

【００４７】 本発明によれば、同一組の全てのオリフィスは、同一グループのステーション
に対応する。提案例においては、反対に、同一グループの全ステーション、すな
わち同一のポンプに結合される全ステーションは、同一組のオリフィスから供給
されることに留意されたい。しかしながら、同一グループのステーションが、異
なる２つの組に属するオリフィス、すなわち例えば、異なる直径の円上に配設さ
れた複数組のオリフィスから供給されることが可能であることが想像できる。

【００４８】 固定クラウン２０は、その接触面２２に、円弧形状の２組の開口部を備える。
第１の開口部の組３４、３６、３８は、偶数オリフィス２８と同じ大径円上に配
設されるが、第２の開口部の組３５、３７、３９は、奇数オリフィス２９と同じ
小径円上に配設される。

【００４９】 開口部３４、３５はそれぞれ、第１ポンピング段階に使用されるポンプＡ１お
よびＡ２に接続される。

【００５０】 開口部３６、３７はそれぞれ、第２ポンピング段階に使用されるポンプＢ１お
よびＢ２に接続される。

【００５１】 反対に、開口部３８、３９は両者とも、付着段階に使用されるポンプＣに接続
される。

【００５２】 各開口部３４、３５、３６、３７、３８、３９は、固定クラウン２０の下面４
２内に開口し、（図示しない）管路が接続された対応する穴４０を介して、関連
するポンプに接続される。

【００５３】 したがって、分配器のこの構成では、同一組の全オリフィスは、回転クラウン
の回転時、同一の円形軌跡を描くこと、および対応する組の全開口部に順次面す
るようになることが理解できる。その結果、あるオリフィスがある開口部と面す
る時には、このオリフィスに対応するステーションは、開口部に組み合わされた
ポンプと連絡している。有利には、接触面２４、２６は、補足手段に頼る必要な
く、単なる接触により気密性を形成するように研磨される。もちろん、２つの接
触面の間に、２つの面の焼付きを防止するだけでなく、高温化を制限し気密性を
保証することができる潤滑剤の皮膜を設ける。

【００５４】 図２でわかるように、同じ処理段階に対応し、異なる２つの組に属する２つの
開口部は、同じ角度セクタ上に配設される。

【００５５】 しかしながら、同じ処理段階に対応する２つの開口部が角度的に変位するよう
にすることも、反対に、旋回台上の連続する２つのステーションが、異なる直径
上にあって軸Ｘ−Ｘに対し角度的に一致するオリフィスを具備するようにするこ
ともできる。

【００５６】 第１および第２ポンピング段階に対応する開口部３４、３５、３６、３７に関
しては、これら開口部は、同一組の連続する２つのオリフィス２８、２９間を隔
てる角距離β未満の角度セクタα上に延びるが、これは、これら２つの段階の実
施中に、２つのステーションが同時に同じポンプに接続されるのを防止するため
のものである。

【００５７】 また、同一組の２つの開口部は、あるオリフィスが、たとえ部分的であっても
２つの開口部と同時に面しないように、角度セクタδにより互いに分離される。

【００５８】 次に、図５から図８を参照して、本発明による分配器１８の動作を記述する。
これらの図は、上で記述した第１ポンピング段階に対応する２つの開口部３４、
３５の像を示すとともに、上で記述した機械の連続する４つのステーションに対
応する４つのオリフィスの像を重ねた線図である。種々の線図は、開口部に対す
るオリフィスの連続する種々の位置、したがって分配器の２つのクラウン２０、
２２の種々の相対角度位置を示す。

【００５９】 図５に示す位置においては、４つのオリフィス２８、２９のうちのどれも対応
する開口部に到達する前の状態にある。

【００６０】 図６では、回転クラウンが角度的に移動した結果、オリフィスのうちの１番目
、たとえば偶数ステーションに対応するオリフィス２８が、開口部３４に面する
位置に到達し、したがって、４つのステーションのうちの１番目、すなわちこの
オリフィスに結合されたステーションが、ポンプＡ１と連絡するようになり、第
１ポンピング段階を開始したことがわかる。この時点においては、他のいずれの
ステーションも、この第１ポンピング段階を開始していないことに留意されたい
。

【００６１】 反対に図７では、クラウン２２の回転後、前述の偶数オリフィスに続く第１奇
数オリフィスも、対応する開口部３５に到達したことがわかる。その結果、その
開口部に組み合わされたステーションは、ポンプＡ２と連絡するようになる。こ
の時点では、第１の偶数オリフィスは、まだ開口部３４と面しているが、４つの
ステーションのうちの第３ステーションに対応する第２の偶数オリフィスは、ま
だ開口部３４に面した位置に到達していない。

【００６２】 最後に、第１奇数オリフィスがまだ開口部３４と面している、回転クラウン２
２の後続位置を図８に示した。反対に、第１偶数オリフィスは、開口部３４によ
って覆われた角度セクタからはずれており、第２偶数オリフィスはまだ中に入っ
ていない。その結果、この時点でポンプＡ２はどのステーションとも連絡してい
ない。

【００６３】 以上、クラウンが同軸であるが軸方向に重ねられ、接触面が平坦な横方向面で
ある、回転分配器の好ましい実施形態を記述し図示した。

【００６４】 固定クラウンの上方に可動クラウンを配設することが選択された。しかしなが
ら、２つのクラウンを逆にすることも可能である。

【００６５】 変形実施形態においては、２つのクラウンを同心に配設し、一方のクラウンが
、半径方向において他方のクラウンの内側に収納されるようにして、回転分配器
を作製することも可能である。この場合、接触面は内外の円筒形面であり、グル
ープまたはオリフィス組は、軸Ｘ−Ｘの方向に相互に変位される。

【００６６】 いずれの場合も、ここではポンプである圧力源の全ての作用を維持しつつ、圧
力源が同時に２つのステーションと連絡することが決してないように注意しなが
ら、本発明により、角度的にきわめて接近したステーション、すなわち多数のス
テーションを旋回台１６上に持つと同時に、各ステーションについて比較的長い
処理段階を有することができる。

【００６７】 さらに、２つのクラウン２０、２２は環状であるため、機械の運転に必要な他
の装置を、これらクラウンの中心に通すようにすることができる。したがって、
特に、多数のステーションを含む機械が、上で記述した分配器の種類の２つの回
転分配器を具備するようにすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明によるマルチステーション処理機械の略図である。

【図２】 本発明による機械のための分配器の固定クラウンの接触面の図である。

【図３】 分配器の回転クラウンの接触面の図である。

【図４】 分配器の軸断面図である。

【図５】 分配器の固定クラウンの開口部に対する回転クラウンのオリフィスのうちのい
くつかの種々の相対位置を示す線図である。

【図６】 分配器の固定クラウンの開口部に対する回転クラウンのオリフィスのうちのい
くつかの種々の相対位置を示す線図である。

【図７】 分配器の固定クラウンの開口部に対する回転クラウンのオリフィスのうちのい
くつかの種々の相対位置を示す線図である。

【図８】 分配器の固定クラウンの開口部に対する回転クラウンのオリフィスのうちのい
くつかの種々の相対位置を示す線図である。

【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書

【提出日】平成１３年１月８日（２００１．１．８）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ，ＺＷ )，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ， ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ， ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，Ｃ Ｎ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＤＺ，ＥＥ ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ， ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，Ｋ Ｐ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ， ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，Ｓ Ｇ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ (72)発明者 リユ，ジヤン−ミシエル フランス国、エフ−76053・ル・アーブ ル・セデツクス、ボワツト・ポスタル・ 204、シデル Ｆターム(参考） 3J106 AB06 BA01 BB06 BC11 BE33 FA15 FA20

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 それぞれが少なくとも１つの中空体を受け持つようになって
   いる同一の複数の処理ステーション（１２、１３）を含み、処理のうちの少なく
   とも１つの段階に関して、気密回転継手を備える分配手段を介して処理ステーシ
   ョンを圧力源に通じさせる種類の、中空体の処理のための旋回台を備える機械で
   あって、 前記段階に関して、機械が、独立していて同等である少なくとも２つの圧力源
   （Ａ１、Ａ２）を含むこと、処理ステーションが、機械が含む圧力源の数と同じ
   数のグループ（１２、１３）に分けられること、および各圧力源（Ａ１、Ａ２）
   が異なるグループに組み合わされるように分配手段（１８）がなっていることを
   特徴とする、中空体の処理のための旋回台を備える機械。
2. 【請求項２】 各瞬間に、前記圧力源のうちの１つが多くとも１つの処理ス
   テーションと連絡するように、分配手段がなっていることを特徴とする、請求項
   １に記載の機械。
3. 【請求項３】 別のグループの少なくとも１つの処理ステーション（１３）
   が、組み合わされた適切な圧力源（Ａ２）と連絡するとき、あるグループの少な
   くとも１つの処理ステーション（１２）が、組み合わされた圧力源（Ａ１）と連
   絡することができるように分配手段（１８）がなっていることを特徴とする、請
   求項１または２のいずれかに記載の機械。
4. 【請求項４】 回転継手が、処理ステーションのグループに個別に供給する
   ために、機械が含む圧力源と同数の管路を含むこと、および、分配手段が、回転
   継手の下流側に、各処理ステーションに組み合わされた個別の弁制御手段を含む
   ことを特徴とする、請求項１から３のいずれか一項に記載の機械。
5. 【請求項５】 一方が固定クラウン（２０）で他方が回転クラウン（２２）
   であって、向い合う接触面（２４、２６）により気密にされた状態で相互に接触
   する２つの同軸クラウンを含む、回転分配器（１８）の形態で気密回転継手が作
   製されること、回転クラウン（２２）が、それぞれ処理ステーション（１２、１
   ３）に接続され、前記段階のために機械が含む圧力源と少なくとも同じ数の組に
   分配され、かつ回転クラウン（２２）の接触面（２６）内に開口する連絡オリフ
   ィス（２８、２９）を含むこと、同一組のオリフィスが全て、同一グループの処
   理ステーションに対応し同じ軌跡を描き、異なる２つの組のオリフィスが異なる
   軌跡を描くこと、固定クラウン（２０）が、圧力源（Ａ１、Ａ２）に接続され、
   回転クラウン（２２）の一組のオリフィス（２８、２９）の軌跡上に来るように
   固定クラウン（２０）の接触面（２４）内にそれぞれ開口し、その結果、対応す
   るオリフィスが圧力源に組み合わされた開口部に面する時、処理ステーションが
   圧力源に連絡するような開口部（３４、３５）を含むこと、固定クラウンが、少
   なくとも１つの開口部について、オリフィス組の数と少なくとも同数の異なる組
   を含むこと、および２つの圧力源（Ａ１、Ａ２）がそれぞれ、固定クラウン（２
   ０）の２つの異なる開口部の組（３４、３５）のうちの１つの開口部に接続され
   ることを特徴とする、請求項１から３のいずれか一項に記載の機械。
6. 【請求項６】 同一グループの全処理ステーション（１２、１３）のオリフ
   ィス（２８、２９）が、同一の組に属することを特徴とする、請求項５に記載の
   機械。
7. 【請求項７】 ２つのクラウン（２０、２２）の接触面（２４、２６）が、
   旋回台（１６）の回転軸Ｘ−Ｘに直角な環状面であることを特徴とする、請求項
   ６に記載の機械。
8. 【請求項８】 同一組のオリフィス（２８、２９）が、円に沿って配設され
   ること、および２つの組のオリフィス（２８、２９）が、異なる直径の２つの円
   に沿って配設されることを特徴とする、請求項７に記載の機械。
9. 【請求項９】 同一組のオリフィス（２８、２９）が、旋回台（１６）の回
   転軸Ｘ−Ｘを中心として角度的に等間隔に分布すること、および同数のオリフィ
   スを含む２つの異なる組のオリフィス（２８、２９）が、角度方向において挿入
   されることを特徴とする、請求項８に記載の機械。
10. 【請求項１０】 独立していて同等であり、前記段階のために使用される２
    つの圧力源（Ａ１、Ａ２）に対応する開口部（３４、３５）が、同一の角度セク
    タ（α）上、ならびに、前記圧力源が対応するオリフィス組（２８、２９）が配
    設される円の直径にそれぞれ対応する異なる直径上に、配設されることを特徴と
    する、請求項８または９のいずれかに記載の機械。
11. 【請求項１１】 同一組の連続する２つのオリフィスが、前記組に対応する
    開口部が延びる角度セクタ（α）に少なくとも等しい角度セクタ（β）により、
    角度的に分離されることを特徴とする、請求項１０に記載の機械。
12. 【請求項１２】 処理が、処理ステーション（１２、１３）を、回転分配器
    （１８）を介して第２圧力レベルに到達するための第２圧力源（Ｂ１、Ｂ２）と
    連絡させる第２段階を含むこと、固定クラウン（２０）が、各第１開口部（３４
    、３５）の延長部内に、第２圧力源（Ｂ１、Ｂ２）のうちの１つにそれぞれ接続
    された第２開口部（３６、３７）を含むこと、および同一組のオリフィス（２８
    、２９）に組み合わされた２つの開口部（３４、３６、３５、３７）が、同一オ
    リフィスと２つの開口部との同時連絡を防ぐ角度セクタ（δ）により分離される
    ことを特徴とする、請求項５から１１のいずれか一項に記載の機械。
13. 【請求項１３】 圧力源（Ａ１、Ａ２）が、大気圧より低い圧力にあること
    を特徴とする、請求項１から１２のいずれか一項に記載の機械。
14. 【請求項１４】 請求項１から１３のいずれか一項に記載の機械であって、
    処理が、中空体に被覆を付着するために低圧低温プラズマが発生される段階を含
    むこと、処理ステーションの内部の圧力を下げるための少なくとも１つのポンピ
    ング段階を含むこと、および異なる処理ステーショングループ（１２、１３）に
    それぞれ組み合わされる少なくとも２つのポンプ（Ａ１、Ａ２）を用いてポンピ
    ング段階が実行されることを特徴とする、機械。
15. 【請求項１５】 それぞれが少なくとも１つの中空体を受け持つようになっ
    ている同一の複数の処理ステーション（１２、１３）を含む、中空体の処理のた
    めの旋回台を備える機械のための回転分配器であって、分配器（１８）が、一方
    が固定クラウン（２０）で他方が回転クラウン（２２）であって、向い合う接触
    面（２４、２６）により気密にされた状態で相互に接触する２つの同軸クラウン
    を含み、回転クラウン（２２）が、それぞれ処理ステーションに接続され、かつ
    回転クラウンの接触面内に開口する連絡オリフィス（２８、２９）を含み、かつ
    固定クラウン（２０）が、機械の圧力源に接続されるようになっており、回転ク
    ラウンのオリフィスの軌跡上に来るように固定クラウンの接触面内に開口する少
    なくとも１つの開口部を含み、その結果、対応するオリフィスが開口部に面する
    時、処理ステーションが圧力源に連絡する種類の回転分配器であって、 回転クラウンのオリフィスが、少なくとも２つの組（２８、２９）に分配され
    ること、同一組のオリフィスは同じ軌跡を描くが、異なる２つの組のオリフィス
    は異なる軌跡を描くこと、固定クラウン（２０）が、少なくとも１つの開口部に
    ついて、オリフィス組の数と同数の異なる組を含み、各開口部がオリフィス組の
    うち１つの組の軌跡上に配設され、独立していて同等である２つの圧力源が、異
    なる２つの組のうちの１つの開口部にそれぞれ接続されることを特徴とする、回
    転分配器。
16. 【請求項１６】 ２つのクラウンの接触面（２４、２６）が、回転クラウン
    ２２の回転軸Ｘ−Ｘに直角な環状面であることを特徴とする、請求項１５に記載
    の分配器。
17. 【請求項１７】 同一組のオリフィス（２８、２９）が、円に沿って配設さ
    れること、および２つの組のオリフィスが、異なる直径の２つの円に沿って配設
    されることを特徴とする、請求項１６に記載の分配器。
18. 【請求項１８】 同一組のオリフィス（２８、２９）が、回転軸Ｘ−Ｘを中
    心として角度的に等間隔に分布すること、および同数のオリフィスを含む２つの
    異なる組のオリフィスが、角度方向において挿入されることを特徴とする、請求
    項１５から１７のいずれか一項に記載の分配器。
19. 【請求項１９】 ２つの圧力源Ａ１、Ａ２に対応する開口部（３４、３５）
    が、同一の角度セクタ（α）上、ならびに、前記圧力源が対応するオリフィス組
    （２８、２９）が配設される円の直径にそれぞれ対応する異なる直径上に、配設
    されることを特徴とする、請求項１７または１８のいずれかに記載の分配器。
20. 【請求項２０】 同一組の連続する２つのオリフィス（２８、２９）が、前
    記オリフィス組に対応する開口部が延びる角度セクタ（α）に少なくとも等しい
    角度セクタ（β）により、角度的に分離されることを特徴とする、請求項１７か
    ら１９にいずれか一項に記載の分配器。
21. 【請求項２１】 固定クラウンが、各開口部組について、互いの延長部内に
    、少なくとも２つの開口部（３４、３６）を含むこと、および同一組の２つの開
    口部（３４、３６）が、同一オリフィスと２つの開口部との同時連絡を防ぐ角度
    セクタ（δ）により分離されることを特徴とする、請求項１５から２０にいずれ
    か一項に記載の分配器。