JP2002525634A - 複数端子の電子部品の検査装置 - Google Patents

複数端子の電子部品の検査装置

Info

Publication number
JP2002525634A
JP2002525634A JP2000572674A JP2000572674A JP2002525634A JP 2002525634 A JP2002525634 A JP 2002525634A JP 2000572674 A JP2000572674 A JP 2000572674A JP 2000572674 A JP2000572674 A JP 2000572674A JP 2002525634 A JP2002525634 A JP 2002525634A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
component
base
probe
fixed
tester
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000572674A
Other languages
English (en)
Inventor
ボーマン、ジョーゼフ
ハーマン、ジェーコブ
Original Assignee
エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド filed Critical エレクトロ サイエンティフィック インダストリーズ インコーポレーテッド
Publication of JP2002525634A publication Critical patent/JP2002525634A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/01—Subjecting similar articles in turn to test, e.g. "go/no-go" tests in mass production; Testing objects at points as they pass through a testing station
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06733—Geometry aspects
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06705—Apparatus for holding or moving single probes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
    • G01R1/06716—Elastic
    • G01R1/06722—Spring-loaded
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
    • G01R1/067—Measuring probes
    • G01R1/073—Multiple probes
    • G01R1/07307—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card
    • G01R1/07364—Multiple probes with individual probe elements, e.g. needles, cantilever beams or bump contacts, fixed in relation to each other, e.g. bed of nails fixture or probe card with provisions for altering position, number or connection of probe tips; Adapting to differences in pitch
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture or maintenance of measuring instruments, e.g. of probe tips
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
    • Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002—Electrical device making

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Electric Properties And Detecting Electric Faults (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 小さい部品の検査機に使う改良プローブと搬送車(8)を開示する。 【解決手段】 プローブの基本構造は可動のベース(78)を少なくとも１個の弾性体を介して取り付ける固定の支持体(84)を特徴とする。ベース(78)には部品の側面の端子に向かう固定のガイドブロック(94)中に形成したトンネル内に通って移動する多数のリード線(66)が固定される。搬送車(8)は部品を受け止める多数の小室が外周に形成される。小室各々は金属製の底部を有する。また検査しているとき部品の端面を押圧する金属製のローラ(96)が取り付けられる。小室の金属製の底部と金属製のローラ(96)はテスターの側面にあるリード線によって部品の端面の端子への電気接続を可能にする。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する分野】 本発明は検査装置の技術に関する。より詳細には、
本発明は小さな電子部品を検査する装置に関する。電子部品の検査装置として特
殊な搬送機構や圧搾機構のあるマシンがある。こうした搬送や圧搾機構は電子部
品の側面や端面についている端子を検査することができる。このほかにも特殊な
接触子のあるものなども使われている。接触子はベースに可動かつ弾力的に保持
された複数のリード線を備えている。これらリード線は固定的なガイドブロック
を介して検査される電子部品の側面の端子に、又は搬送機構や圧搾機構に、正確
にガイドする触手を伸ばすようにされる。
【０００２】
【従来の技術】 電子部品はますます多種多様に増えていくので検査を受け
るべき小さい電子部品の数は急速に増大している。この需要に応えるべく高速で
大量に部品を検査できる自動装置がいくつも現れている。例えば時間当たり５万
個もの部品を処理できる装置もある。
【０００３】 部品を検査するには一定の共通な問題点が経験上認識されているが、それは部
品が一層小さくなっていくことと関連している。こうした問題は従来技術で達成
することができる部品の最大処理数量に対する限界となっている。
【０００４】 一つには検査機内部の搬送機構に関連するものがある。ほとんどの高速検査機
は部品をフィーダーや供給機からテスターへ送ってからソーターへと送っている
。したがって搬送機構は部品を高速かつ正確に制御しつつ移動させるだけでなく
、耐久性に富み経費があまりかからず検査機が部品の側面や先端の端子に電気的
に接触することができるものでなければならない。しかしこうしたさまざまな要
請に最大限応えることができるものは現れていない。
【０００５】 もう一つの問題は、同時に接触される必要がある側面に密接する端子を有する
部品が多いという点である。これは検査機のプローブが部品の側面にある端子に
対応してリード線を密接して備えていなければならないことを意味する。プロー
ブのリード線はまた高速で正確な動きをすることを要求される。しかもリード線
から部品の端子にかかる押圧力は、正確に制御されていなければならない。とい
うのは確実な接触を得るため押圧力は十分でなければならないが、逆に大きすぎ
るときは端子に傷つけるなど損傷の原因になるからである。プローブのリード線
の必要にして十分な正確な制御と位置決めは従来技術において極めて困難であっ
たのであり処理能力にも限界があった。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】 本発明はこのような問題点を考慮してなされたもので、IPC[Integrated Passi
ve Components]のような小さい電子部品を搬送して検査する検査装置に使われる
特殊な搬送車並びに検査用プローブに関する。IPCとしてはコンデンサ、インダ
クタ、バリスタアレー等のチップがある。これらの電子部品は概略１〜３mmの長
さ、０.５〜１.５mmの幅または厚みのもので先端や側面に端子を付けているもの
が多い。
【０００８】 搬送車は部品を受け入れる小室（凹部）をその外周に多数形成していて、各小
室は搬送する部品を１個だけ受け入れる大きさになっている。好ましい使用例と
しては、この搬送車を使うマシンはフィーダーからテスター、さらにソーターま
で各部品を搬送する車とするのがよい。種類分けする区域に来たらテスターで判
定した結果に従い部品を種類分けすることになる。
【０００９】 搬送車に設けられた小室各々の底部は、搬送されていく部品の端面が乗る金属
製の挿入物とされる。この挿入物は金属の接触面を提供することによって搬送車
の耐久性を向上させるだけでなく、搬送車が端面に端子がある部品を搬送すると
き挿入物が部品の底部にある端子に電気接続する。それから挿入物の両側の端面
は搬送車の表面と一体をなす金属面を提供するから側面にあるプローブで接触さ
れ、これは電気的に部品の底部にある端子と検査機とを電気接続することになる
。
【００１０】 好ましい実施例では搬送車は特別仕立てのテスターを装備したマシンに使うの
がよい。テスターには搬送車の外周に当たって回転する金属製のコンタクトロー
ラがついていて搬送車の小室上をコンタクトローラが回転するときは必ず、その
小室中に入っている部品の上面を押し付けることになる。コンタクトローラが部
品を押し付ければ、部品の底部の端子と搬送車に挿入された金属製の挿入物との
電気接続を一層確実にする。また、金属製のコンタクトローラは部品の上面の端
子に接触するから、該端子とコンタクトローラとの電気接続も得られる。
【００１１】 本発明のプローブは正確に位置決めされ制御される多数のリード線を有する。
搬送車のあるテスターマシンに使うときは、プローブはリード線を左右同一形状
に備えて搬送車の両側から囲むように形成されるのが好ましい。プローブは支持
体に取り付けられ、１群のリード線は弾力的に支持される可動なベースに固定さ
れる。動力装置、好ましくはコンピュータ制御されるものがよいが、はベースに
押圧力を加えてベースと一体にしたリード線に制御された動きを与える。１群の
リード線はリード線を部品の端子へ向けてガイドする固定のガイドブロック経由
で部品の端子へと伸びる。搬送車並びに上記金属製のコンタクトローラと共に使
うときは、プローブは搬送車に埋め込まれた金属製の挿入物の両側の端面または
片側の端面、及びコンタクトローラの両側または片側と接触するようにガイドさ
れるリード線を別途備えておいてもよい。こうすればプローブは部品の端面にあ
る両方の端子と電気接続することができる。このプローブはコンパクトで軽く、
メンテナンスが楽で、動力装置をコンピュータ制御するため自動調節で製造コス
トが安い。しかもこのプローブはリード線を迅速に動かすことができるし、非常
に密接させて取り付けることも可能である。
【００１２】
【課題を解決するための手段】 前述の課題を解決するため、本発明に係る
装置ならびに方法は次のような手段ないしステップを採用する。
【００１３】 即ち、請求項１では、支持体と、 該支持体に可動に取り付けられるベースと、 該ベースに取り付けられ、検査を受ける部品に接続される導電性の複数本のリ
ード線であって、少なくとも１本が検査を受ける部品の端子に接触するように構
成した先端を有するものと、 上記支持体に固定され、上記複数本のリード線の少なくとも１本が通って可動
にされるトンネルを少なくとも１本儲けられえいるガイドブロックと、 該ガイドブロックに対し部品を所定箇所に配置したときアクチュエータが動力
装置を起動して上記ベースを移動させ、これによってベースに固定されているリ
ード線を部品方向に移動させ、上記少なくとも１本のトンネルがその中のリード
線を部品の端子へとガイドするようにした上記ベースを移動させる動力装置と、 以上を有することを特徴とする。
【００１４】 請求項２では、上記ベースが弾性体を介して上記支持体に固定されたことを特
徴とする。
【００１５】 請求項３では、上記弾性体が少なくとも１枚の板バネであることを特徴とする
。
【００１６】 請求項４では、ガイドブロックが複数のトンネルを有しリード線各々がそれら
トンネル中をそれぞれ通るようにしたことを特徴とする。
【００１７】 請求項５では、動力装置が電動のソレノイドにされたことを特徴とする。
【００１８】 請求項６では、アクチュエータをコンピュータとしたことを特徴とする。
【００１９】 請求項７では、上記支持体に可動に固定された第２のベースと、 上記第２ベースに固定されテスターに接続される複数本の導電性のリード線で
あって、少なくとも１本は先端が部品の端子に接続できるようにされたものと、 上記第２ベースに固定された上記リード線の少なくとも１本が上記トンネルを
通ってトンネル内で可動にされている、上記支持体に固定され少なくとも１本の
トンネルが設けられた第２のガイドブロックと、 上記第２ガイドブロックに対し部品を所定箇所に配置したときアクチュエータ
が動力装置を起動して上記第２ベースを移動させ、これによって第２ベースに固
定されているリード線を部品方向に移動させる動力装置と、 を有することを特徴とする。
【００２０】 請求項８では、部品を受け止める寸法に形成した複数の小室が設けられた不導
電体の円盤と、 該小室の底部をなす複数の挿入物であって部品を小室中に入れ落とし込んだと
き部品の下端の端子に接触することができるようにされ、円盤の第１の側面から
近づくことができる少なくとも一方の側面を有するものと、 を有することを特徴とする部品検査用の装置に使われるものであって、部品を
搬送車に乗せるフィーダーから部品をテスターまで搬送する搬送車であることを
特徴とする。
【００２１】 請求項９では、挿入物の中心の複数のネジにより挿入物を円盤に固定すること
を特徴とする請求項８に記載の搬送車。
【００２２】 請求項１０では、上記小室が挿入物を含めて不導電体の円盤中に形成されるト
ンネルを介してバキウム源に接続されていることを特徴とする請求項８に記載の
搬送車。
【００２３】 請求項１１では、不導電体で円盤を構成し、 該円盤の周縁に沿って等間隔に複数のトンネルを設け、 該トンネルの各々に挿入物を各々あてがい、 円盤の厚みを周縁に段差を設けるように部分的に削り取り、 該部分的に削り取られた周縁に等間隔に複数の穴を設けて該穴に上記挿入物を
挿入して挿入物が底部を構成するようにする、 以上のステップを特徴とする部品を搬送車に乗せるフィーダーから部品をテス
ターに搬送する部品検査装置に使用される搬送車の製造方法である。
【００２４】 請求項１２では、円盤の少なくとも一方の側面から近づけるように挿入物を配
置したことを特徴とする請求項１１に記載の搬送車の製造方法である。
【００２５】 請求項１３では、挿入物にネジを切って円盤への挿入物の挿入がネジを回転す
ることによって行われようにしたことを特徴とする請求項１１に記載の搬送車の
製造方法である。
【００２６】 請求項１４では、上記穴を設けた後に挿入物経由で不導電体の円盤にトンネル
を通して形成したことを特徴とする請求項１１に記載の搬送車の製造方法である
。
【００２７】 請求項１５では、部品を大量に受け入れ、該部品を細口から排出するフィーダ
ーと、 該フィーダーの細口から部品を受け止める複数の個別に分割してリムの外縁に
形成された小室であって、両側が開放され部品が小室内に入ったとき部品の先端
の端子に接触することができる金属部分を有する底部を備え、該金属部分が搬送
車の少なくとも一方の側面に露出する箇所を有する搬送車と、 該搬送車の小室内に部品が入ったとき部品の側面の複数の端子に複数のリード
線が接触することができるようにリード線を可動にさせているプローブを備えた
テスターと、 該テスターのプローブに接続された検査機と、 部品が搬送車の小室内に入ったとき部品をフィーダーからテスターへと搬送す
ることができる部品の検査装置である。
【００２８】 請求項１６では、支持体と、 該支持体に可動に固定されるベースと、 該ベースに導電体で可動に固定され、少なくとも１本の先端が部品の端子に接
触するように構成された、前記検査機に接続される複数のリード線と、 該複数のリード線が可動に通るトンネルを複数設けた上記支持体に固定される
ガイドブロックと、 該ガイドブロックに対し部品が所定位置に来たとき上記ベースを動かして該ベ
ースに固定されたリード線を動かし、これら複数のリード線がガイドブロック中
のトンネル内を動いてガイドされるようにする動力装置と、 を有することを特徴とする請求項１５に記載の検査装置である。
【００２９】 請求項１７では、弾性体が前記プローブの支持体にプローブのベースを連結す
ることを特徴とする請求項１６に記載の検査装置である。
【００３０】 請求項１８では、部品がその底部の端子を小室の金属部分上に当ててテスター
内にあるとき該部品の上端を押し付けるように作用する押圧機を有することを特
徴とする請求項１５に記載の検査装置である。
【００３１】 請求項１９では、上記押圧機が搬送車の周縁に沿って回転するコンタクトロー
ラを備え該コンタクトローラが搬送車の周縁に向けてコンタクトローラを付勢す
る少なくとも１個のスプリングで装置に固定されていることを特徴とする請求項
１８に記載の検査装置である。
【００３２】 請求項２０では、上記コンタクトローラが導電体で構成されていることを特徴
とする請求項１９に記載の検査装置である。
【００３３】 請求項２１では、部品がテスター内にあるとき上記プローブから少なくとも１
本のリード線が部品のある小室の金属部分に接触して、プローブのリード線の少
なくとももう１本のものがコンタクトローラの側面に接触するようにプローブが
構成されたことを特徴とする請求項２０に記載の検査装置である。
【００３４】 請求項２２では、支持体と、 該支持体に可動に固定されるベースと、 該ベースに可動に固定され前記検査機に接続される導電体で構成された複数の
可動なリード線で、少なくとも１本が部品の端子に接触するようにされたものと
、 該複数のリード線が可動に通る複数のトンネルが形成され、上記支持体に固定
されるガイドブロックと、 該ガイドブロックに対し部品が所定位置に来たとき上記ベースを動かして該ベ
ースに固定されたリード線を動かし、これら複数のリード線がガイドブロック中
のトンネル内を動いてガイドされるようにする動力装置と、 を有することを特徴とする請求項２１に記載の検査装置である。
【００３５】
【発明の実施の形態】 以下、本発明に係る装置ならびに方法の実施の形態
を図１及び図２に基づいて説明する。
【００３６】 図１は装置１の正面図である。装置１はフィーダー２、テスター４、ソーター
６、及び搬送車８を備えている。これら各部は実用にあたっては１個のキャビネ
ット（図示せず）に組みつけられる。
【００３７】 フィーダー２は小さい電子部品１２（単に「部品」とも言う）を多数いっぺん
に収容する漏斗状のホッパー１０を備えている。電子部品１２としては代表的な
ものにチップコンデンサとかチップバリスタ、誘導子などの集積受動部品[IPC]
と呼ばれるものがある。ホッパー１０中の部品１２は、部品１２を分ける振動機
構（図示せず）が付設された搬送装置１４へ移され、そこからエプロン１６上を
移動する。
【００３８】 部品１２はエプロン１６から比較的少数の部品１２しか保持しないディスペン
サ１８へ移動する。このディスペンサ１８に入ると部品１２は細口２０（図２参
照）から出て行く。ディスペンサ１８はローラ２２を備え、このローラ２２が部
品１２のディスペンサ１８からの離脱を防止し、かつ、部品１２をディスペンサ
１８の左側へ向けて維持する。各部品１２がディスペンサ１８を離れると、搬送
車８の周縁に補足的寸法で両側壁が設けられてなる小室２４、..内に入る。搬送
車８の輪縁中にいかにして部品１２が入るかの説明は図３に示した。なお、ここ
で部品１２と呼ぶものには端子が側面についている端子２６と、先端についてい
る端子２８との双方を含む。
【００３９】 図４は搬送車８の背面図である。搬送車８はメタルハブ３０とリム３２として
の環とを備える。リム３２は好ましくは直径約１２〜１８インチで、ネジとかボ
ルトといった公知技術の締結子３４でメタルハブ３０に取り外し可能に取り付け
られる。
【００４０】 リム３２は好ましくは堅牢な不導電体の樹脂材がよい。小室２４はすべてリム
３２に配置されリム３２の外周を刻んで構成される。後述するように各小室２４
のベースには金属製の挿入物３６，..が嵌め込まれる。上記のようにリム３２は
メタルハブ３０から取り外し可能にされているので、ユーザはリム３２を取り外
して別のリム３２を取り付けることができる。このとき別のリム３２は別の大き
さの電子部品１２に適合する寸法の小室２４を備えるものである。メタルハブ３
０はその背面にプーリー３８を備え、モータ４２にベルト４０（図１参照）を介
して接続される。モータ４２が搬送車８を回転させる。
【００４１】 図５〜図８はリム３２が構成されるかについての説明図である。
【００４２】 図５はリム３２の一部の図で、小室２４が形成される前の状態を示す。単なる
環である。その断面図となるものは、長方形をなし、好ましくは幅約６mm、高さ
約１５mmがよい。
【００４３】 図６は図５のリム３２に多数の穴４４、..が穿設されたものを示し、そこに止
めネジ形式の金属製の挿入物３６がねじ込まれる。
【００４４】 図７は図５及び図６に示した部分と同一部分を示すが、リム３２の上縁４６は
２.５mmより僅かに薄くなるくらいまで切り込まれる。この切り込まれた上縁４
６は約６mmほどリム３２の肩から高くされて、挿入物３６のほぼ中心に肩先がく
るようにされる。複数の穴４８、..がリム３２にあけられてリム３２がハブ３０
に締結子３４で締結できるようにされる。
【００４５】 図８も図５〜図７に示すリム３２と同一部分の図である。リム３２の上縁４６
に多数の切込５０が設けられる。切込５０は挿入物３６上の中心から挿入物３６
自体を一部分切り込んで形成され小室２４をなす。各切込５０の幅は小室２４内
に受け止められる部品１２の幅又は厚みより僅かに大きくされる。切込５０を形
成したら、細いトンネル５２を挿入物３６の中心からリム３２を貫通するまで垂
直に形成する。トンネル５２は、図１、図２、図９及び図１０に示されるアダプ
タ５４を介して取り付けられるバキュームポンプ（図示せず）で小室２４の底部
からバキューム吸引できるようにする。この小室２４へのバキューム吸引は搬送
車８が回転するとき部品１２の小室２４内への保持を助ける。
【００４６】 図８に示すように挿入物３６の端面５６、５６はリム３２の側部と同一平面を
なして小室２４直下に露出している。したがって端面５６、５６は搬送車８の側
面から直接接触可能である。
【００４７】 図３は搬送車８の小室２４内の部品１２を示すが、部品１２はテスター４中に
入る直前の状態にある。テスターのプローブが直接または間接に一時的に部品１
２の端子に接触するようにされている。テスター４の詳細は図９、図１０に示す
。
【００４８】 テスター４には両サイド６２、６４があるプローブ６０が設けられている。両
サイド６２、６４には多数のリード線６６、..がある。図面上両サイドにはリー
ド線６６が５本づつしか表されていないが実際にはこれ以上でも以下でもよい。
また別の実施例ではプローブ６０はサイド６２または６４の片方だけでもよい。
【００４９】 リード線６６は導電体の堅いワイヤかピンなどで構成される。各リード線６６
、..の先端６８は検査される部品１２の端子に接触しやすいように平らにされる
のがよい。リード線６６、..の他端７０は細線７２に接続され、この細線７２は
オシロスコープとかロジックアナライザとかエミュレータ等のテスター７４に接
続される。留め金７６などでリード線６６、..の他端７０を可動のベース７８に
固定する。一番上と一番下のリード線６６、６６はベース７８上を弓状に曲げら
れ、残りのリード線６６、..は真っすぐにされる。一番上と一番下のリード線６
６、６６の湾曲は他のリード線６６、..のためにスペースを残すことになりリー
ド線同士の密接を可能にする。上下のリード線６６、６６の湾曲部分はベース７
８に突起する小柱７９，..によって定位置に保持される。スペースの余裕次第だ
がプローブ６０をすべて真っすぐなリード線６６、..で作ることもできるし、ス
ペースが小さいときは上下のリード線だけでなく他のリード線も上記上下のリー
ド線同様湾曲して小柱７９、..で定位置に固定する。
【００５０】 ベース７８各々は相対的に不動なベースプレート８０に可動に固定される。ベ
ースプレート８０はマシンのフレーム８４のような固定物に締結子８２で固定す
る。各々ベース７８をベースプレート８０に可動に固定するために使われる構造
はベース７８に弾力的な動きを与える。好ましい実施例では固定構造は２枚の板
バネ８６、８６を使う。ここでは２枚の板バネ８６、８６を図示したが、１枚ま
たは数枚の板バネでもよいこと勿論である。板バネ８６を使用することを図示し
たが、コイルスプリング、ゴムなどの弾性体その他板バネに代わる弾性体でもよ
い。また水圧シリンダ、柔らかい弾性部材のようなものをベースの取り付け箇所
近傍に装置しておいてベースの有害な振動を排除する工夫も行われる。
【００５１】 動力装置８８がベースプレート８０にベース７８各々近傍で固定される。動力
装置８８はベース７８の側面に押圧力をかけることができるピストン９０を備え
、これでベース７８を搬送車８方向に動かす。動力装置８８の起動はワイヤ９１
経由で行われるが、好ましくはテスターに内装又は外装されたテスター７４もし
くはコンピュータ（図示せず）が起動するのがよい。好ましい実施例では動力装
置８８は電動装置のもので、ベース７８に押圧力をかけることができるソレノイ
ド、リニアアクチュエータなどがよい。図示しないがこれらに代わる実施例とし
て動力装置８８を機械的なものにし、搬送車８の動きと歩調を合わせて動くよう
にしてもよい。また別の実施例として、ピストン９０が動く距離をテスターやコ
ンピュータで制御することもある。こうすればプローブが自動的に調節され、そ
れによってテスターやコンピュータが動力装置８８経由で動くリード線６６の距
離を変えることができリード線６６の摩耗による変化や違って測定された部品１
２を補償することができる。
【００５２】 リード線６６はベース７８からガイドブロック９４中のトンネル９２を通って
伸びる。ガイドブロック９４には多数のトンネル９２があけられていて、リード
線６６の中間箇所がこのトンネル９２中を通る。好ましい実施例では、トンネル
９２の長さはその直径の２倍以上とされる。これは各リード線６６に確実な方向
性を付与するためである。
【００５３】 ガイドブロック９４は近傍のベース７８から間隔をあけてプローブのベースプ
レート８０にしっかりと固定される。ガイドブロック９４は固定されるから、ベ
ース７８が動いてもガイドブロック９４は動かない。リード線６６はすべてガイ
ドブロック９４から伸び出ているように図示されているが、これは必須の要件で
はない。図示しないが、あるリード線６６、..はガイドブロック９４を通らずバ
イパスしてもよい。
【００５４】 コンタクトローラ９６を備えた押圧子がリム３２の縁端に配置される。コンタ
クトローラ９６は導電性の金属材で構成され、ベースプレート８０（またはマシ
ンのフレーム）にスプリングサポート９８を介して固定された軸９７で支持され
て回転する。スプリングサポート９８は従来技術として使われているポゴピン様
のものにするのが好ましい。スプリングサポート９８の長さはさまざまで、スプ
リングが付いていて常にスプリングサポート９８をリム３２の縁端に押し付けて
いる。搬送車８が回転するとスプリングサポート９８はコンタクトローラ９６を
リム３２に押し付けるからコンタクトローラ９６は回転しながらリム３２の縁端
を移動する。図３はコンタクトローラ９６がリム３２の歯の形状をした部分９９
の先端に接触しているところを示している。図３の位置からさらに搬送車８が回
転するとコンタクトローラ９６はリム３２の歯形部分９９から外れて部品１２の
出っ張った箇所に接する。コンタクトローラ９６が部品１２を完全に押圧すると
部品１２は図９に示す位置になってテストを受けることができる。部品１２に対
するコンタクトローラ９６の下方への押圧力がかかると、挿入物３６を部品１２
が密着して押圧することになり、部品１２の下端の端子２８と挿入物３６との密
着をもたらす。また、部品１２の上面を押圧するコンタクトローラ９６は部品１
２の上端の端子２８とコンタクトローラ９６との密着ももたらす。これはコンタ
クトローラ９６の片側または両側に対してプローブから出ているリード線６６を
部品１２の上端の端子２８と電気接触させる。図面ではリード線６６はコンタク
トローラ９６と両側で接触するように示されている。
【００５５】 動かすときは部品１２をテスター中に入れ、プローブの左右両サイド間に正し
く位置決めし、コンピュータ制御している動力装置８８、８８の双方に信号を送
る。動力装置８８、８８各々は近傍のベース７８の側面に押圧力をかけてベース
７８を搬送車８方向に移動させる。好ましい実施例ではベース７８は例えば１mm
などほんの少し動くに過ぎない（図面では距離が誇張されて大きくなっている）
。ベース７８が検査を受ける部品１２方向に動くと、ベース７８についているリ
ード線６６がガイドブロック９４内のトンネル９２中を動いてその先端６８が各
小室２４の底部にある挿入物３６の端面５６、５６とコンタクトローラ９６の側
面だけでなく、検査を受ける部品１２の両側の端子２６、２６に正確に接触する
。これで部品１２の検査の準備が完了する。
【００５６】 部品の検査が完了したら動力装置８８のピストン９０は元に戻る。板バネ８６
はベース７８ならびにベース７８についているリード線６６を図９に示してある
最初の位置に戻す。搬送車８がさらに回転してコンタクトローラ９６を部品の先
端から外す。搬送車８の回転は次の部品がテスター位置に来るまで続く。そして
搬送車８はさらに回転して検査済みの部品をソーター６へと運ぶ。
【００５７】 ソーター６は従来技術のもので電気作動の一連のソレノイド弁（図示せず）を
備えたブロック１００を有する。各ソレノイド弁はホース１０２を介して圧縮空
気源に接続されていて弁が開くと圧縮空気を一つの小室２４へ入れる。これら小
室２４と弁とに合致して多数のチューブ１０４が取り付けられ、チューブ１０４
の他端は部品１２を受ける容器１０６に伸びている。
【００５８】 部品１２を検査し終わるとその検査結果はテスター中に仮登録される。テスタ
ーは上記ソレノイド弁に接続されていて、テスターの検査結果に基づき部品１２
が適切な箇所に来ると弁の一つと合致するようにされている。弁はテスターによ
って開けられ圧縮空気が小室２４に入る。すると部品１２が接続のチューブ１０
４中に吸い込まれ容器１０６に受け止められる。
【００５９】 プローブ６０について上述してきたが、プローブは電気的なものである限りど
うような形式のものでも本発明にとって可能である。同様にまた、搬送車８とか
コンタクトローラ９６とかもここに記載の形式外のものでも可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る搬送車とプローブとを備えた部品のテスターとソー
ターとを含む装置の正面図である。
【図２】 図１の装置の平面図である。
【図３】 搬送車の１小室内にある部品がテスター内に入る直前の状態を描
いた部分正面図である。
【図４】 搬送車の背面図である。
【図５】 搬送車のリム部分の製造をするときの第１段階状態を示す部分図
である。
【図６】 搬送車のリム部分の製造をするときの第２段階状態を示す部分図
である。
【図７】 搬送車のリム部分の製造をするときの第３段階状態を示す部分図
である。
【図８】 搬送車のリム部分の製造をするときの最終段階状態を示す部分図
である。
【図９】 本発明のプローブの詳細を示す一部断面側面図である。
【図１０】 プローブのリード線が部品に接触するべく伸びている状態を示
す図９のプローブの一部断面側面図である。
【符号の説明】
２ フィーダー ４ テスター ６ ソーター ８ 搬送車 １２ 部品 １４ 搬送装置 １６ エプロン １８ ディスペンサ ２２ ローラ ２４ 小室 ３２ リム ３６ 挿入物 ５２ トンネル ６６ リード線 ７８ ベース ８０ ベースプレート ８８ 動力装置 ９２ トンネル ９４ ガイドブロック ９６ コンタクトローラ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ，ＺＷ )，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ， ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ， ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，Ｃ Ｚ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ， ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，Ｌ Ｒ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ， ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，Ｔ Ｒ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＷ (72)発明者 ハーマン、ジェーコブ アメリカ合衆国、85248 アリゾナ州、サ ン レーク、イースト ミシガン アベニ ュー 10616 Ｆターム(参考） 2G003 AA00 AG03 AG11 AG20 AH00 2G011 AA01 AB01 AC14 AE22 AF07 2G132 AA00 AF05 AL03

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 支持体と、 該支持体に可動に取り付けられるベースと、 該ベースに取り付けられ、検査を受ける部品に接続される導電性の複数本のリ
    ード線であって、少なくとも１本が検査を受ける部品の端子に接触するように構
    成した先端を有するものと、 上記支持体に固定され、上記複数本のリード線の少なくとも１本が通って可動
    にされるトンネルを少なくとも１本儲けられえいるガイドブロックと、 該ガイドブロックに対し部品を所定箇所に配置したときアクチュエータが動力
    装置を起動して上記ベースを移動させ、これによってベースに固定されているリ
    ード線を部品方向に移動させ、上記少なくとも１本のトンネルがその中のリード
    線を部品の端子へとガイドするようにした上記ベースを移動させる動力装置と、 以上を少なくとも有することを特徴とする部品に接続することができる部品検
    査用のプローブ。
  2. 【請求項２】 上記ベースが弾性体を介して上記支持体に固定されたことを
    特徴とする請求項１に記載のプローブ。
  3. 【請求項３】 上記弾性体が少なくとも１枚の板バネであることを特徴とす
    る請求項１に記載のプローブ。
  4. 【請求項４】 ガイドブロックが複数のトンネルを有しリード線各々がそれ
    らトンネル中をそれぞれ通るようにしたことを特徴とする請求項１に記載のプロ
    ーブ。
  5. 【請求項５】 動力装置が電動のソレノイドにされたことを特徴とする請求
    項１に記載のプローブ。
  6. 【請求項６】 アクチュエータをコンピュータとしたことを特徴とする請求
    項１に記載のプローブ。
  7. 【請求項７】 上記支持体に可動に固定された第２のベースと、 上記第２ベースに固定されテスターに接続される複数本の導電性のリード線で
    あって、少なくとも１本は先端が部品の端子に接続できるようにされたものと、 上記第２ベースに固定された上記リード線の少なくとも１本が上記トンネルを
    通ってトンネル内で可動にされている、上記支持体に固定され少なくとも１本の
    トンネルが設けられた第２のガイドブロックと、 上記第２ガイドブロックに対し部品を所定箇所に配置したときアクチュエータ
    が動力装置を起動して上記第２ベースを移動させ、これによって第２ベースに固
    定されているリード線を部品方向に移動させる動力装置と、 を有することを特徴とする請求項１に記載のプローブ。
  8. 【請求項８】 部品を受け止める寸法に形成した複数の小室が設けられた不
    導電体の円盤と、 該小室の底部をなす複数の挿入物であって部品を小室中に入れ落とし込んだと
    き部品の下端の端子に接触することができるようにされ、円盤の第１の側面から
    近づくことができる少なくとも一方の側面を有するものと、 を有することを特徴とする部品検査用の装置に使われるものであって、部品を
    搬送車に乗せるフィーダーから部品をテスターまで搬送する搬送車。
  9. 【請求項９】 挿入物の中心の複数のネジにより挿入物を円盤に固定するこ
    とを特徴とする請求項８に記載の搬送車。
  10. 【請求項１０】 上記小室が挿入物を含めて不導電体の円盤中に形成される
    トンネルを介してバキウム源に接続されていることを特徴とする請求項８に記載
    の搬送車。
  11. 【請求項１１】 不導電体で円盤を構成し、 該円盤の周縁に沿って等間隔に複数のトンネルを設け、 該トンネルの各々に挿入物を各々あてがい、 円盤の厚みを周縁に段差を設けるように部分的に削り取り、 該部分的に削り取られた周縁に等間隔に複数の穴を設けて該穴に上記挿入物を
    挿入して挿入物が底部を構成するようにする、 以上のステップを特徴とする部品を搬送車に乗せるフィーダーから部品をテス
    ターに搬送する部品検査装置に使用される搬送車の製造方法。
  12. 【請求項１２】 円盤の少なくとも一方の側面から近づけるように挿入物を
    配置したことを特徴とする請求項１１に記載の搬送車の製造方法。
  13. 【請求項１３】 挿入物にネジを切って円盤への挿入物の挿入がネジを回転
    することによって行われようにしたことを特徴とする請求項１１に記載の搬送車
    の製造方法。
  14. 【請求項１４】 上記穴を設けた後に挿入物経由で不導電体の円盤にトンネ
    ルを通して形成したことを特徴とする請求項１１に記載の搬送車の製造方法。
  15. 【請求項１５】 部品を大量に受け入れ、該部品を細口から排出するフィー
    ダーと、 該フィーダーの細口から部品を受け止める複数の個別に分割してリムの外縁に
    形成された小室であって、両側が開放され部品が小室内に入ったとき部品の先端
    の端子に接触することができる金属部分を有する底部を備え、該金属部分が搬送
    車の少なくとも一方の側面に露出する箇所を有する搬送車と、 該搬送車の小室内に部品が入ったとき部品の側面の複数の端子に複数のリード
    線が接触することができるようにリード線を可動にさせているプローブを備えた
    テスターと、 該テスターのプローブに接続された検査機と、 部品が搬送車の小室内に入ったとき部品をフィーダーからテスターへと搬送す
    ることができる部品の検査装置。
  16. 【請求項１６】 支持体と、 該支持体に可動に固定されるベースと、 該ベースに導電体で可動に固定され、少なくとも１本の先端が部品の端子に接
    触するように構成された、前記検査機に接続される複数のリード線と、 該複数のリード線が可動に通るトンネルを複数設けた上記支持体に固定される
    ガイドブロックと、 該ガイドブロックに対し部品が所定位置に来たとき上記ベースを動かして該ベ
    ースに固定されたリード線を動かし、これら複数のリード線がガイドブロック中
    のトンネル内を動いてガイドされるようにする動力装置と、 を有することを特徴とする請求項１５に記載の検査装置。
  17. 【請求項１７】 弾性体が前記プローブの支持体にプローブのベースを連結
    することを特徴とする請求項１６に記載の検査装置。
  18. 【請求項１８】 部品がその底部の端子を小室の金属部分上に当ててテスタ
    ー内にあるとき該部品の上端を押し付けるように作用する押圧機を有することを
    特徴とする請求項１５に記載の検査装置。
  19. 【請求項１９】 上記押圧機が搬送車の周縁に沿って回転するコンタクトロ
    ーラを備え該コンタクトローラが搬送車の周縁に向けてコンタクトローラを付勢
    する少なくとも１個のスプリングで装置に固定されていることを特徴とする請求
    項１８に記載の検査装置。
  20. 【請求項２０】 上記コンタクトローラが導電体で構成されていることを特
    徴とする請求項１９に記載の検査装置。
  21. 【請求項２１】 部品がテスター内にあるとき上記プローブから少なくとも
    １本のリード線が部品のある小室の金属部分に接触して、プローブのリード線の
    少なくとももう１本のものがコンタクトローラの側面に接触するようにプローブ
    が構成されたことを特徴とする請求項２０に記載の検査装置。
  22. 【請求項２２】 支持体と、 該支持体に可動に固定されるベースと、 該ベースに可動に固定され前記検査機に接続される導電体で構成された複数の
    可動なリード線で、少なくとも１本が部品の端子に接触するようにされたものと
    、 該複数のリード線が可動に通る複数のトンネルが形成され、上記支持体に固定
    されるガイドブロックと、 該ガイドブロックに対し部品が所定位置に来たとき上記ベースを動かして該ベ
    ースに固定されたリード線を動かし、これら複数のリード線がガイドブロック中
    のトンネル内を動いてガイドされるようにする動力装置と、 を有することを特徴とする請求項２１に記載の検査装置。
JP2000572674A 1998-09-25 1999-09-21 複数端子の電子部品の検査装置 Pending JP2002525634A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US09/160,801 US6100707A (en) 1998-09-25 1998-09-25 Apparatus for testing multi-terminal electronic components
US09/160,801 1998-09-25
PCT/US1999/021735 WO2000019220A1 (en) 1998-09-25 1999-09-21 Apparatus for testing multi-terminal electronic components

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002525634A true JP2002525634A (ja) 2002-08-13

Family

ID=22578517

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000572674A Pending JP2002525634A (ja) 1998-09-25 1999-09-21 複数端子の電子部品の検査装置

Country Status (11)

Country Link
US (1) US6100707A (ja)
EP (1) EP1034435A1 (ja)
JP (1) JP2002525634A (ja)
KR (1) KR20010032441A (ja)
CN (1) CN1286757A (ja)
AU (1) AU6256099A (ja)
BR (1) BR9908782A (ja)
HU (1) HUP0100371A2 (ja)
IL (1) IL136012A0 (ja)
TW (1) TW482900B (ja)
WO (1) WO2000019220A1 (ja)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6714028B2 (en) 2001-11-14 2004-03-30 Electro Scientific Industries, Inc. Roller contact with conductive brushes
US6879146B1 (en) * 2001-12-28 2005-04-12 Abb Technology Ag Pneumatic clamps for electric power leads
JP2004309441A (ja) * 2003-02-18 2004-11-04 Yamaha Corp プローブヘッド及びその組立方法並びにプローブカード
US20050139450A1 (en) * 2003-12-30 2005-06-30 International Product Technology, Inc. Electrical part processing unit
US7161346B2 (en) * 2005-05-23 2007-01-09 Electro Scientific Industries, Inc. Method of holding an electronic component in a controlled orientation during parametric testing
US7365552B2 (en) * 2006-07-28 2008-04-29 Research In Motion Limited Surface mount package fault detection apparatus
US7443179B2 (en) * 2006-11-30 2008-10-28 Electro Scientific Industries, Inc. Zero motion contact actuation
US7683630B2 (en) * 2006-11-30 2010-03-23 Electro Scientific Industries, Inc. Self test, monitoring, and diagnostics in grouped circuitry modules
US7602192B2 (en) * 2006-11-30 2009-10-13 Electro Scientific Industries, Inc. Passive station power distribution for cable reduction
US7839138B2 (en) * 2007-01-29 2010-11-23 Electro Scientific Industries, Inc. Adjustable force electrical contactor
TWI418811B (zh) * 2011-02-14 2013-12-11 Youngtek Electronics Corp 封裝晶片檢測與分類裝置
CN103487777A (zh) * 2013-10-10 2014-01-01 三星高新电机（天津）有限公司 一种贴片电容绝缘电阻检测块的状态测量装置
CN116047213B (zh) * 2023-04-03 2023-06-30 滨州汇信和信息技术有限公司 一种电气设备测试装置

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3537580A (en) * 1968-11-30 1970-11-03 Western Electric Co Methods of and apparatus for storing and testing paramagnetic articles
US4115735A (en) * 1976-10-14 1978-09-19 Faultfinders, Inc. Test fixture employing plural platens for advancing some or all of the probes of the test fixture
US4232928A (en) * 1979-06-27 1980-11-11 Dit-Mco International Corporation Apparatus employing flexible diaphragm for effecting substantially uniform force, individual couplings with multiple electrical contacts or the like
US4818382A (en) * 1985-07-01 1989-04-04 Micro Component Technology, Inc. Disc singulator
AT391762B (de) * 1985-11-26 1990-11-26 Alcatel Austria Ag Vorrichtung zum pruefen von leiterplatten
US5568870A (en) * 1994-08-18 1996-10-29 Testec, Inc. Device for testing and sorting small electronic components

Also Published As

Publication number Publication date
KR20010032441A (ko) 2001-04-25
EP1034435A1 (en) 2000-09-13
HUP0100371A2 (hu) 2001-05-28
US6100707A (en) 2000-08-08
AU6256099A (en) 2000-04-17
BR9908782A (pt) 2001-05-02
WO2000019220A1 (en) 2000-04-06
TW482900B (en) 2002-04-11
CN1286757A (zh) 2001-03-07
IL136012A0 (en) 2001-05-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2002525634A (ja) 複数端子の電子部品の検査装置
EP1907868B1 (en) Integrated circuit test socket
EP1109629B1 (en) Electronic component handler
US4588092A (en) Integrated circuit handling and contact system
US6504391B2 (en) Conductive bump array contactors having an ejector and methods of testing using same
US5953812A (en) Misinsert sensing in pick and place tooling
US7868630B2 (en) Integrated light conditioning devices on a probe card for testing imaging devices, and methods of fabricating same
US6246251B1 (en) Test process and apparatus for testing singulated semiconductor die
JPS5856388A (ja) 自動超小形電子部品配置装置
US5609489A (en) Socket for contacting an electronic circuit during testing
JP2003506694A (ja) 微少な誘導子の４点接触テスタ及びその使用法
US4818382A (en) Disc singulator
US4436619A (en) Method of sorting semiconductor devices and apparatus for performing this method
US20090206224A1 (en) Device-Positioning Pedestal and Handler Having the Device-Positioning Pedestal
KR100714754B1 (ko) 전자부품 시험장치
US6753688B2 (en) Interconnect package cluster probe short removal apparatus and method
US20020196043A1 (en) Apparatus and method for testing semiconductor devices
US7285973B1 (en) Methods for standardizing a test head assembly
US20190120874A1 (en) Method for Testing Semiconductor Devices
DE102005007593B4 (de) Sockel-Vorrichtung zum Testen von Halbleiter-Bauelementen und Verfahren zum Aufnehmen eines Halbleiter-Bauelements in einer Sockel-Vorrichtung
US6541289B2 (en) Semiconductor-package measuring method, measuring socket, and semiconductor package
MXPA00004813A (en) Apparatus for testing multi-terminal electronic components
JPH0980116A (ja) 半導体チップ用ソケット
JPS6186665A (ja) Ｉｃハンドラ
CZ20002378A3 (cs) Zařízení pro testování elektronických součástek

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20030930