JP2002523820A - 抵抗型プロセス制御装置の診断 - Google Patents

抵抗型プロセス制御装置の診断

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Abstract

(57)【要約】 抵抗型プロセス制御装置の診断を提供する。 【解決手段】プロセス制御システム(2)内の装置は、抵抗(212)を有する電気素子(210)を含む。前記素子(210)に接続された自己発熱回路(208)は、素子(210)の抵抗(212)に関係する自己発熱信号を供給する。診断回路(202)は、自己発熱信号出力の関数として診断出力を供給する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】 発明の背景 本発明は、プロセス制御産業で用いられる型式の装置に関する。より詳細には
、本発明は、診断が抵抗の関数であるようなプロセス制御装置の診断に関する。
【0002】 プロセス制御装置は、プロセス変数を監視して産業工程を制御するために用い
られる。例えば、あるプロセス制御伝送器は温度を監視し、その情報を制御室へ
伝送する。さらに、バルブ(弁)コントローラなどのプロセスコントローラがプ
ロセスを制御するために用いられる。
【0003】 センサが素子あるいはその他の部品を制御したり、苛酷な環境にさらされたり
するのにつれて、システムの精度は低下する傾向がある。装置を定期的に再較正
することによって、この精度低下を補正することが可能である。そのためには、
典型的には、作業者が現場に入り、装置を現場で較正することが要求される。こ
のことは不便であり、また作業者にとっては時間の浪費である。さらに、究極的
な故障に先立って、装置の状態を判定することは困難である。
【0004】 装置あるいはその部品が老朽化するにつれて、それらを定期的に交換すること
も必要である。しかしながら、いつ、そのような交換をしなければならないかを
正確に決定することは難しい。したがって、典型的には、部品はその故障よりも
十分前に交換されるし、またある場合には、予定外のシステム停止を余儀なくさ
せるような予期しない時に故障したりする。
【0005】 発明の概要 プロセス制御システム内の装置は、抵抗を有する電気素子を含む。前記素子に
接続された自己発熱回路は、電気素子の抵抗に関係する自己発熱信号を供給する
。診断回路は、自己発熱信号出力の関数として、例えば素子の推定残寿命や較正
出力などの出力を供給する。
【0006】 図面の簡単な説明 図1は、本発明による伝送器を含むプロセス制御システムを示す。 図2は、本発明の伝送器のブロック図である。 図3は、本発明の1つの実施例による伝送器の簡略化された流れ図である。 図4は、本発明のある実施例による簡略化されたブロック図である。 図5は、本発明によるプロセス制御装置の簡略化されたブロック図である。 図6は、本発明の1つの実施例によるコリオリ流量計の簡略化されたブロック
図である。
【0007】 好ましい実施例の詳細な説明 図1は、それぞれ2線式プロセス制御ループ6および14を介して制御室4に
電気的に接続され、現場に設置される温度伝送器40およびバルブコントローラ
12を含むプロセス制御システム2を示す図である。マニホールド上に設置され
、マニホールドを介してパイプに連結された伝送器40は、プロセスパイプ8内
のプロセス流体のプロセス変数を監視する。本発明は、プロセス制御装置内のあ
らゆる電気素子に適用できる。抵抗を有するプロセス変数センサは、例えば圧力
、流量、pH、濁度、レベル用等のセンサを含む。
【0008】 1つの実施例では、伝送器40はループ6を流れる電流を制御することによっ
て、ループ6を介して、温度情報を制御室4に伝送する温度伝送器である。例え
ば、ループ6を通る電流は、4〜20mAの間で制御されて、温度を示すように
較正されることができる。本発明による伝送器は、HART(登録商標)あるい
はフィールドバス(Fieldbus)などの全デジタルプロトコルの様式で、付加的あ
るいは選択的に、ループ6を介して、温度に関するデジタル情報を制御室4に伝
送することができる。伝送器40は、本明細書によって詳細に説明される回路を
含み、その回路は、センサの動作に関する高等な診断を提供する。
【0009】 本発明の1つの特徴は、時には線形関係であるような、RTDセンサの「アル
ファ」(alpha)を示す自己発熱(SH)の緊密な相関関係の認識を含む。周知
のとおり、センサのアルファは、センサの較正に関連があり、故にセンサの寿命
に関連がある。したがって、SH指標を測定すれば、センサの寿命を推定するこ
とができる。さらにセンサ出力は、劣化の量(例えば、SH指標の予め設定した
値と現在の実際値との差)の関数としてリアルタイムで補正されることができる
。このことによって、伝送器出力は自動補正される。
【0010】 本発明の1つの特徴は、伝送器内の抵抗性素子のSH指標を決定するための新
しい技術を含む。典型的には、従来技術による自己発熱指標測定は、印加された
電流による素子内の温度変化を監視することによって実行された。しかしながら
プロセス制御装置では、電力に制限があり、温度測定を別個に行なわなければな
らないので、前述のような測定を実行することは実用的でない。本発明は、電気
素子への入力電力の与えられた変化に対する電気素子の抵抗の変化として、自己
発熱指標を定義することを含む。
【0011】 この技術は、温度に対して較正されるための抵抗性素子を必要としないので、
プロセス制御装置にとって好ましい。さらにこの技術は、素子をプロセスから取
り外す必要がないので、プロセスを中断することによる問題なしに、しかも費用
をかけずに、(瞬時的な)リアルタイム・データを収集することができる。自己
発熱指標は、プロセス制御装置内で、2つの異なる入力電流、例えば5mAと1
5mAとを電気素子に印加することによって計算されることができる。その結果
として生ずる、抵抗両端間の電圧が測定され、前記2つの異なる電流値での素子
の抵抗が、例えば式R=V/Iを用いて計算される。素子に供給される電力は、
P=I・Vとして2つの異なる電流に対して決定される。自己発熱指標は式1に
よって計算される。 SHI=(R1−R2)/(P1−P2) 式1
【0012】 本発明は、プロセスシステム制御システム内の任意の多数の場所で実行される
ことができる。特に、ソフトウェアおよびマイクロプロセッサで実現される本発
明は、中央コントローラ、あるいはバルブ、モータ、またはスイッチなどの最終
制御素子内に備わることができる。さらに、フィールドバス、プロフィバス(Pr
ofibus)、およびその他の最新のデジタルプロトコルは、本発明を実行するため
のソフトウェアがプロセス制御システム内の素子間で伝送されることを可能にし
、またプロセス変数が1つの伝送器内で感知された後に前記ソフトウェアへ送ら
れることを可能にする。
【0013】 図2は、RDT温度センサ10に接続された温度伝送器40内に装備される本
発明の簡略化されたブロック図である。伝送器40は端子ブロック44、電流源
45、マルチプレクサ46、差動増幅器48、高精度A/D変換器50、マイク
ロプロセッサ52、クロック回路54、メモリ56、および入出力回路58を含
む。
【0014】 端子ブロック44は、例えばRTD温度センサ10に接続されるための端子1
〜4を含む。センサ10は伝送器40の内部および外部のどちらにも配置される
ことができる。センサ10は抵抗R1を有するRTDセンサ素子61を含み、そ
の抵抗R1は環境温度の変化によって変化する。リード16は、4つの素子リー
ド62、64、66、および68を含む。リード62はセンサ素子61と端子4
との間に、リード64はセンサ素子61と端子3との間に、リード66はセンサ
素子61と端子2との間に、またリード68はセンサ素子61と端子1との間に
それぞれ接続される。
【0015】 電流源45は端子ブロック44と接続され、端子4、センサ素子61、端子1
、基準抵抗RREF、プルダウン抵抗R2、およびグランド端子72を通る測定電流
Sを供給する。センサ素子61は端子2と端子3との間に、抵抗R1すなわちセ
ンサ素子61の温度の関数である電圧降下を生じる。基準抵抗RREFが端子1と
プルダウン抵抗R2との間に接続される。
【0016】 マルチプレクサ46は2つの部分、すなわち、差動増幅器48の非反転入力に
接続された出力を有する能動マルチプレクサ、および差動増幅器48の反転入力
に接続された出力を有する基準マルチプレクサに分けられる。
【0017】 マイクロプロセッサ52はマルチプレクサ46を制御し、端子1〜3からの信
号を含む適当なアナログ信号の組を差動増幅器48の非反転および反転入力へ選
択供給する。差動増幅器48はA/D変換器50に接続された出力を有する。あ
る実施例では、A/D変換器50は17ビットの精度および14サンプル/秒の
変換率(速度)を有する。A/D変換器50は、差動増幅器48の出力に生じた
電圧をデジタル値に変換し、分析のため、あるいは入出力回路58を介してプロ
セス制御ループ6上で通信するために、その値をマイクロプロセッサ52へ供給
する。
【0018】 好ましい実施例では、入出力回路58は、選択されたプロトコルによる周知の
手法で、ループ6を介するアナログあるいは双方向デジタル通信を行なうための
、HART(登録商標)通信部、フィールドバス(FIELDBUS)通信部、および4
−20mAアナログループ部を含む。他のプロトコルもまた用いられることがで
きる。例えば、分離した電圧源から電力を受ける4線式構造が使用可能である。
ループ6はまた、入出力回路58を通じて、伝送器40の多数の部品に給電もす
る。伝送器40は、全面的に(完全に)2線式ループ6によって給電されるのが
好ましい。
【0019】 メモリ56はマイクロプロセッサ52のための命令および情報を記憶し、マイ
クロプロセッサ52はクロック回路60によって決定される速度で作動する。ク
ロック回路60は、リアルタイムクロックとプレシジョン(精細:precision)
高速クロックとを含み、それらはA/D変換器50の動作シーケンスのためにも
用いられる。マイクロプロセッサ52は、マルチプレクサ46およびA/D変換
器50の制御、ループ6を介する通信の制御、温度補償、伝送器構造の変数の記
憶、およびセンサ診断の遂行を含む様々な機能を果たす。
【0020】 マイクロプロセッサ52は次の式2を用いてRTDセンサ素子61の温度を計
算する。 R1=(RREFNOM)VR1/VRRFEF 式2 ここで、R1=RTDセンサ素子61の抵抗、 VR1=RTDセンサ素子61両端間の電圧降下、 VRRFEF=抵抗RREF両端間の電圧降下、 RREFNOM=基準抵抗RREFの、および/あるいはメモリ56に記 憶された抵抗の公称抵抗(Ω)
【0021】 マイクロプロセッサ52は、端子2と端子3との間にあるRTDセンサ素子6
1の両端間の電圧降下VR1、および基準抵抗RREFの両端間の電圧降下(VRREF
)をマルチプレクサ46によって測定する。図2に示されるような4線式抵抗測
定では、電流ISのほとんど全てが端子1と端子4との間を流れるので、端子2
および端子3への接続部での電圧降下は大幅に低減され、その結果、測定の精度
にほとんど影響を与えない。マイクロプロセッサ52は、メモリ30に記憶され
たルックアップ表あるいは適切な数式によって、測定された抵抗R1を温度単位
に変換する。
【0022】 例えば、前記式の1つは次のカレンダ−ヴァン デュ−ゼン(Callender-Van
Dusen)式である。 R(t)=R0[1+α{t−δ(t/100)(t/100−1) −β(t/100−1) (t/100)3}] 式3 ここで、R(t)=温度tでの抵抗(Ω)、 R0=温度0での抵抗(Ω)、 t=温度(℃)、 α、δ、β=較正定数、 t>0℃の時、β=0である。
【0023】 しかしながら、記憶されたルックアップ表あるいは式2のどちらも、特定のR
TD温度センサのためには適当に較正されなければならない。さらに前記のよう
な較正は、時間の経過にともない、センサのアルファ(α)がドリフトするのに
従って変化する傾向がある。定数α、R0、およびδを正確に決定するために、
多数の正しい温度値を取得するように、RTDの較正には正確な温度計基準が必
要である。式3および伝送器較正は、ローズマウント社によって発行され、援用
によって本発明書に組み込まれた、1985年2月付けのPRTハンドブック・
ブルテン(Bulletin)に説明されている。
【0024】 SH指標は、電流源140をセンサ素子61に接続するようにマイクロプロセ
ッサ52がスイッチ138を作動する時に計算される。式1のP1およびR1は、
センサ61を流れる電流源140からの電流ISHを用いて計算される。マイクロ
プロセッサ52は、電流源45からの電流ISによってP2およびR2を決定する。
SH指標は式1を用いて計算される。伝送器40がループ6から完全に給電され
る場合には、電流ISHおよびISはループ6内の電流Iに制限され、伝送器40
内の回路を作動するために必要とされるいかなる電流よりも少ない。
【0025】 マイクロプロセッサ52は、SH指標を用いて伝送器40の動作に関する診断
を実行する。伝送器40内に診断回路を実現(形成)するための多数の実施例を
以下に述べる。前記診断はセンサの健全さを判定すること、差し迫ったセンサの
故障を示すことがある残寿命を推定すること、あるいは温度測定を自動補正する
ことなどを含む。
【0026】 本発明の他の特徴は、アルファ(α)およびR0内のドリフトによる誤差を低
減するために、自己発熱指標を用いて温度測定を補正することを含む。RTDセ
ンサが老朽化するにつれて、センサのための定数アルファ(α)およびR0(式
3に代入される)が変化し、その結果、温度測定の不正確さを生じさせる。SH
指標と、アルファ(α)およびR0内のドリフトによって生じる温度測定の誤差
との間には、実質的な直線関係が存在することが発見された。温度は次式を用い
て補正される。 Tcorrected=Tmeasured・ΔSHI・K 式4 ここで、Tmeasuredは測定された温度であり、 Kは比例定数であり、 ΔSHIは自己発熱指標の変化であり、また Tcorrectedは自動補正された温度である。
【0027】 図3は、SH指標の関数としての温度出力の自動補正に関して本発明を示す流
れ図150である。図150は、図2のマイクロプロセッサ52によって典型的
に実行される動作を示す。ブロック152で、例えばメモリ56から、自己発熱
指標(SHI1)の先行値が取得される。この値は製造時にメモリ内に記憶され
るか、マイクロプロセッサ52によって事前に生成されるか、または伝送器が指
示されたとき、もしくは伝送器40の動作中の予め選定された時でさえも決定し
て記憶されることができる。
【0028】 ブロック154で、SH指標の現在値(SH2)がマイクロプロセッサ52に
よって決定される。もしも、変化の割合mが許容変化割合の最大値(mMAX)以
上である場合には、判断ブロック158が警報出力を供給する。一般的には、S
HI2とSHI1との差を示す値がブロック156で決定(評価)される。このよ
うな差の決定機能のための好ましい方法は、2つのSHI値の時間に対する傾き
を計算することである。しかしながら、差の大きさを評価するその他の方法(そ
のいくつかは、閾値に対してSHI2を単に比較するように単純である)がブロ
ック156なしに実行されることもできる。
【0029】 出力は、例えばループ6を介して伝送され、故障が差し迫っており、交換が必
要である程度にまでセンサが劣化してしまったことを示すことができる。199
6年11月7日に出願された米国親特許出願第08/744,980号で述べら
れているような、他の型式の診断もまた実行されることができる。mMAXの値は
メモリ56に記憶され、かつ特定のプロセスのためにユーザが所望する正確さに
基づいて構成することが可能(user configuration)である。ブロック158の
警報機能はオプションであるが、本発明にとっては好ましいものである。
【0030】 警報状態が存在しない場合には、制御は判定ブロック160に進み、測定され
た自己発熱指標(SHI2)が記憶された自己発熱指標(SHI1)と比較される
。それらがほとんど等しい場合には、制御はブロック162に進み、温度が決定
される。一方、もしも2つの値に差がある場合には、ブロック164で、マイク
ロプロセッサ52によって、式4のΔSHIのための新しい値が計算される。さ
らに他の一層複雑な曲線当てはめ技術が、SHIをセンサ較正と相関させるため
に用いられることができる。制御はブロック162に進み、式4のΔSHIのた
めの新しい値が温度を決定するのに用いられる。ΔSHIのための新しい値は、
前回の値に代ってメモリに記憶される。
【0031】 図3に示された様々な機能は、プロセス制御装置内、制御室内、オフサイト(
off-site)配設されたコンピュータ内、あるいはそれらの配置の組合せ内で、遠
隔的に実行されることができる。一般的には、本発明はプロセスシステム制御シ
ステム内の任意の多数の場所で実行されることができる。例えば、ソフトウェア
およびマイクロプロセッサで実現される本発明は、中央コントローラ内に配置さ
れることができ、あるいは図1に示されるようなバルブ、モータ、またはスイッ
チなどの最終制御素子内にさえも配備されることができる。
【0032】 さらに、フィールドバス、プロフィバス、およびその他の最新のデジタルプロ
トコルは、本発明を実行するソフトウェアがプロセス制御システム内の素子間で
交信されることを可能にし、またプロセス変数が1つの伝送器内で感知された後
に前記ソフトウェアへ伝送されることを可能にする。
【0033】 本発明の診断回路の1つの実施例は、SH指標の関数である実験モデルや多項
式曲線への当てはめ(fitting)を用いる。例えば、推定残寿命を計算するため
に、SH指標の関数である多項式が用いられる。定数および/あるいは式は、2
線式ループを介して伝送器40へ送られることができる。他の診断回路は多層神
経回路網で実現される。異なる目標のための神経回路網モデルを開発するために
、多数の訓練アルゴリズムが用いられることができるけれども、1つの実施例は
、1組の入力と出力S(複数)との間の非線形関係を獲得するであろう神経回路
網モジュールを開発するために、周知のバックプロパゲーション(Backpropagat
ion)回路網(BPN)を含む。
【0034】 診断回路52の他の実施例は、1組のif−thenルールを用いて温度セン
サRTD61の状態についての結論に達するものである。SH指標が監視され、
その現在値が上限および下限値と比較される。上限および下限値は、多数のRT
Dセンサのテストによって実験的に設定される。決定は比較結果に基づいてなさ
れる。
【0035】 本発明の他の特徴では、SH指標の変化の割合(ROC)がセンサ61の期待
寿命と相関付けられる。センサの推定残寿命が最小値以下に低下した時の警報を
含む、推定残寿命を示す出力を供給するマイクロプロセッサ52内に装備された
診断回路に、SH指標のROCが供給される。
【0036】 図5は、本発明のさらに一般的な特徴によるプロセス制御装置200の簡略化
されたブロック図であり、プロセス制御ループ6に接続されている。装置200
は、測定可能な抵抗を有する電気素子を含む任意の型式のプロセス制御装置であ
ってよい。図1の伝送器40は計器202の1例である。装置200は入/出力
回路204を介してループ6に接続され、かつメモリ206にも接続されたマイ
クロプロセッサ202を含む。
【0037】 自己発熱回路208はプロセス制御素子210に接続されて、マイクロプロセ
ッサ202に自己発熱信号を供給する。プロセス制御素子210は電気抵抗を有
する抵抗素子212を含み、前記抵抗のための自己発熱値が本発明による技術を
用いて自己発熱回路208によって決定される。抵抗212への接続は、より正
確な測定を得るために、4点ケルビン(Kelvin)接続を介する接続であってよい
。破線は素子210とマイクロプロセッサ202との間の接続を示す。線214
は、例えば素子210とマイクロプロセッサ202との間のあらゆる信号の接続
や変換・授受を示す。
【0038】 例えば、素子210がプロセス変数センサである場合には、接続214はマイ
クロプロセッサ202にプロセス変数データを供給する。同様に、素子210が
制御素子である場合には、接続214はマイクロプロセッサ202から素子21
0へ制御入力を供給する。本発明の1つの特徴は、任意の型式のプロセス制御素
子に対する診断を実行するために、自己発熱診断技術を用いることを含む。
【0039】 例えば、本明細書で用いられているように、「プロセス制御素子」は、あるプ
ロセス内の、抵抗を有するあらゆる素子(伝送器、RTD、ひずみ計、ピックア
ップあるいは駆動コイル等)を含む。プロセス制御装置は、バルブアクチュエー
タ、ソレノイドなどの制御装置ばかりでなく、流量計(コリオリ、磁気、渦、差
圧等)圧力、レベル、pH、濁度熱などを測定するための装置をも含む。ある種
のプロセス制御素子は、例えば、電気コイル、センサ、成端(終端)、端子ブロ
ックなどに接続する結線、ひずみ計またはその他のセンサ、アクチュエータ、あ
るいは電気部品ばかりでなく、前述のRDT61をも含む。
【0040】 装置200は、1993年8月3日に発行された米国特許第5,231,88
4号に述べられるようなコリオリ流量計よりなることができ、そこでは、プロセ
ス制御素子210は速度センサまたはドライバ内で用いられるコイルである。例
えば図6は、本発明の1つの実施例によるコリオリ流量計230の簡略化された
ブロック図であり、それは流体管232およびメータ電子回路234を含む。
【0041】 測定管236は流体管232に連結し、駆動素子内の駆動コイル240は駆動
信号に反応して管236を振動させ、かつ感知コイル242および感知磁石24
4を含むセンサ素子は、その結果として生ずる管236の振動に関する左右の速
度信号を発生する。RTD温度センサ246は、管236の温度に関するRTD
信号を供給する。コリオリ流量計230内に含まれる本発明の診断回路は、コイ
ル240または242、あるいはRTDセンサ246を監視し、それぞれに対応
して診断出力を供給するために用いられることができる。
【0042】 つまり、本発明は、電気部品の腐食を含む、プロセス装置内の様々な型式の故
障を検出することができる。例えば、ワイヤ、端子、コイル、RTD、熱電対、
プリント回路基板上の電気的トレース(trace)、あるいは時間の経過につれて
腐食するその他の電気的部品内には、それに相応して抵抗の増大を生じさせる領
域(面積)の減少が存在する。本発明は、装置の最終的な故障の前に前述のよう
な劣化を検出することができる。電気部品は、結果的に生じる疲労故障をも引き
起こし得るような複合使用(multiple uses)によって劣化することがある。本
発明の自己発熱技術は、そのようは疲労を検出する。さらに、「冷間」半田(ろ
う)付けで生じるようなルーズ(loose)成端も、成端の劣化として検出される
ことができる。
【0043】 本発明を用いて検出されることができる様々な故障は、例えばコイル結線、成
端、あるいは粗末な半田接合内の破断(断線)、回路基板上の傷ついたトレース
、粗末な被覆線の成端、半田付けの不良、取扱い不良による線または部品を損傷
する粗末なコネクタ、温度循環による結線部品の損傷を含む。再び図3を参照し
て、例えば、自己発熱指標の変化(ΔSHI)が閾値と比較され、故障状態を示
すために用いられるようなブロック158で、前述のような故障が検出されるこ
とができる。本発明の他の特徴では、診断出力は、電気素子内の劣化を補償する
ために用いられる。例えば、制御素子に供給される入力信号ばかりでなくセンサ
からの出力が補正されることができる。
【0044】 本発明を好ましい実施態様を参照して説明してきたが、本発明の精神や範囲か
ら逸脱することなく、形式や詳細な点において変更が可能であることが当業者に
は明らかであろう。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明による伝送器を含むプロセス制御システムを示す。
【図2】 本発明の伝送器のブロック図である。
【図3】 本発明の1つの実施例による伝送器の簡略化された流れ図である。
【図4】 本発明のある実施例による簡略化されたブロック図である。
【図5】 本発明によるプロセス制御装置の簡略化されたブロック図である。
【図6】 本発明の1つの実施例によるコリオリ流量計の簡略化されたブロック図である
【符号の説明】
6……プロセス制御ループ、200……プロセス制御装置、202……計器、
204……入/出力回路、206……メモリ、208……自己発熱回路、210
……プロセス制御素子、212……抵抗素子
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Claims (35)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 電気抵抗を有する電気素子、 プロセス制御機能を実行するように、前記電気素子に接続されたプロセス制御
    装置回路、 前記電気素子に接続され、前記電気抵抗による前記電気素子の自己発熱指標に
    関する自己発熱信号を供給する自己発熱回路、 前記装置をループに接続するように、プロセス制御ループに接続された回路、
    および 前記自己発熱回路に接続され、前記自己発熱信号の関数として前記電気素子の
    健全さに関する診断出力を応答的に供給する、診断回路を含むプロセス制御シス
    テム内のプロセス制御装置。
  2. 【請求項2】 前記自己発熱信号に関する、少なくとも1つの、所望の結果
    を記憶するメモリを含む請求項1の装置。
  3. 【請求項3】 前記診断回路が神経回路網よりなる請求項1の装置。
  4. 【請求項4】 前記診断回路がファジィ論理よりなる請求項1の装置。
  5. 【請求項5】 前記診断回路が回帰モデルよりなる請求項1の装置。
  6. 【請求項6】 前記診断出力が前記電気素子の推定残寿命に関するものであ
    る請求項1の装置。
  7. 【請求項7】 前記診断回路が、前記自己発熱信号の変化の割合(ROC)
    の関数として、前記推定残寿命を決定する請求項6の装置。
  8. 【請求項8】 前記自己発熱回路が電源および電圧測定回路を含む請求項1
    の装置。
  9. 【請求項9】 前記自己発熱回路が、前記電気素子に印加される電力の変化
    に対応する前記電気素子の抵抗の変化の関数として、SH指標を決定する請求項
    1の装置。
  10. 【請求項10】 前記SH指標が(R1−R2)/(P1−P2)として計算さ
    れる請求項8の装置。
  11. 【請求項11】 前記出力回路が、前記自己発熱信号の関数として電気素子
    を較正する請求項1の装置。
  12. 【請求項12】 前記電気素子がひずみ計よりなる請求項1の装置。
  13. 【請求項13】 前記電気素子が制御素子よりなる請求項1の装置。
  14. 【請求項14】 前記電気素子が感知素子よりなる請求項1の装置。
  15. 【請求項15】 前記電気素子が熱電対よりなる請求項1の装置。
  16. 【請求項16】 前記電気素子がコイルよりなる請求項1の装置。
  17. 【請求項17】 前記コイルがコリオリ流量計内のセンサよりなる請求項1
    6の装置。
  18. 【請求項18】 前記コイルがコリオリ流量計のドライバよりなる請求項1
    6の装置。
  19. 【請求項19】 プロセス制御装置内の電気素子を診断するための方法であ
    って、 前記装置の、抵抗を有する電気素子のための自己発熱指標(SHI)を取得す
    ること、および SHIの関数として電気素子診断出力を供給することを含む方法。
  20. 【請求項20】 前記SHIの取得が、前記電気素子に印加される電力の変
    化に対応する、前記電気素子の抵抗の変化を測定することよりなる請求項19の
    方法。
  21. 【請求項21】 前記自己発熱指標が、(R1−R2)/(P1−P2)として
    計算される請求項20の方法。
  22. 【請求項22】 前記SHIの変化の割合に基づいて前記電気素子の残寿命
    を推定することを含む請求項19の方法。
  23. 【請求項23】 前記SHIの取得が、前記電気素子内に少なくとも2つの
    異なる電流レベルを順次的に注入すること、およびその結果として生ずる前記電
    気素子両端の電圧降下を測定することを含む請求項22の方法。
  24. 【請求項24】 前記診断出力の関数として前記電気素子の寿命予測を決定
    することを含む請求項19の方法。
  25. 【請求項25】 前記SHIの関数として前記電気素子を較正することを含
    む請求項19の方法。
  26. 【請求項26】 プロセス制御ループに接続さるように適合された入/出力
    回路、 抵抗を有する電気素子、 前記電気素子に接続されて前記電気素子に給電する電流源、 前記電気素子に接続され、前記電気素子の両端の電圧降下に関する出力を供給
    する電圧測定回路、および 供給された電流および前記抵抗に起因する前記電気素子両端の電圧降下の関数
    として、自己発熱(SH)指標出力を供給する診断回路を具備したプロセス制御
    システム内で用いられるための装置。
  27. 【請求項27】 前記診断回路が、前記SH指標の関数として、前記電気素
    子の寿命予測出力を供給する請求項26の装置。
  28. 【請求項28】 前記電気素子からの出力および前記SH指標の関数として
    、プロセス変数に関する出力を供給する測定回路を含む請求項26の装置。
  29. 【請求項29】 前記SH指標が、前記電気素子に印加される電圧の変化に
    対応する、前記電気素子の抵抗の変化の関数として決定される請求項26の装置
  30. 【請求項30】 前記自己発熱指標が、(R1−R2)/(P1−P2)として
    計算される請求項26の装置。
  31. 【請求項31】 前記電気素子がひずみ計よりなる請求項26の装置。
  32. 【請求項32】 前記電気素子が制御素子よりなる請求項26の装置。
  33. 【請求項33】 前記電気素子が感知素子よりなる請求項26の装置。
  34. 【請求項34】 前記電気素子がコイルよりなる請求項26の装置。
  35. 【請求項35】 前記電気素子が熱電対よりなる請求項26の装置。
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