|
JP3167970B2
(ja)
*
|
1997-10-13 |
2001-05-21 |
ティーディーケイ株式会社 |
クリーンボックス、クリーン搬送方法及び装置
|
|
US6319297B1
(en)
*
|
1998-03-27 |
2001-11-20 |
Asyst Technologies, Inc. |
Modular SMIF pod breather, adsorbent, and purge cartridges
|
|
US6056026A
(en)
*
|
1998-12-01 |
2000-05-02 |
Asyst Technologies, Inc. |
Passively activated valve for carrier purging
|
|
FR2802335B1
(fr)
*
|
1999-12-09 |
2002-04-05 |
Cit Alcatel |
Systeme et procede de controle de minienvironnement
|
|
JP3619119B2
(ja)
*
|
2000-05-15 |
2005-02-09 |
キヤノン株式会社 |
真空処理方法
|
|
KR100410991B1
(ko)
*
|
2001-02-22 |
2003-12-18 |
삼성전자주식회사 |
반도체 제조장치의 로드포트
|
|
US6701972B2
(en)
*
|
2002-01-11 |
2004-03-09 |
The Boc Group, Inc. |
Vacuum load lock, system including vacuum load lock, and associated methods
|
|
FR2834974B1
(fr)
*
|
2002-01-24 |
2004-10-15 |
Air Liquide |
Enceinte de stockage, valve d'evacuation de gaz pour cette enceinte, et procede d'alimentation en gaz de cette enceinte
|
|
US6696367B1
(en)
*
|
2002-09-27 |
2004-02-24 |
Asm America, Inc. |
System for the improved handling of wafers within a process tool
|
|
JP2004235516A
(ja)
*
|
2003-01-31 |
2004-08-19 |
Trecenti Technologies Inc |
ウエハ収納治具のパージ方法、ロードポートおよび半導体装置の製造方法
|
|
US6899145B2
(en)
*
|
2003-03-20 |
2005-05-31 |
Asm America, Inc. |
Front opening unified pod
|
|
JP4027837B2
(ja)
*
|
2003-04-28 |
2007-12-26 |
Ｔｄｋ株式会社 |
パージ装置およびパージ方法
|
|
US20040237244A1
(en)
*
|
2003-05-26 |
2004-12-02 |
Tdk Corporation |
Purge system for product container and interface seal used in the system
|
|
US7189291B2
(en)
*
|
2003-06-02 |
2007-03-13 |
Entegris, Inc. |
Method for the removal of airborne molecular contaminants using oxygen gas mixtures
|
|
WO2004109748A2
(en)
*
|
2003-06-05 |
2004-12-16 |
Palbam Class Ltd. |
Supporting shelf for front opening unified pod
|
|
US6919102B2
(en)
*
|
2003-06-20 |
2005-07-19 |
Powerchip Semiconductor Corp. |
Method of stabilizing material layer
|
|
JP3902583B2
(ja)
*
|
2003-09-25 |
2007-04-11 |
Ｔｄｋ株式会社 |
可搬式密閉容器内部のパージシステムおよびパージ方法
|
|
KR100572321B1
(ko)
*
|
2003-10-02 |
2006-04-19 |
삼성전자주식회사 |
반도체 소자 제조 설비 및 방법 그리고 이에 사용되는스토커
|
|
KR100583726B1
(ko)
*
|
2003-11-12 |
2006-05-25 |
삼성전자주식회사 |
기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
|
|
WO2005078771A2
(en)
*
|
2004-02-05 |
2005-08-25 |
Entegris Inc. |
Purging of a wafer conveyance container
|
|
US7328727B2
(en)
*
|
2004-04-18 |
2008-02-12 |
Entegris, Inc. |
Substrate container with fluid-sealing flow passageway
|
|
WO2006023838A2
(en)
|
2004-08-19 |
2006-03-02 |
Brooks Automation, Inc. |
Reduced capacity carrier and method of use
|
|
KR20070054683A
(ko)
*
|
2004-08-23 |
2007-05-29 |
브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 |
승강기 기반의 도구 적재 및 버퍼링 시스템
|
|
WO2006024035A2
(en)
*
|
2004-08-24 |
2006-03-02 |
Brooks Automation, Inc. |
Transportation system
|
|
JP4012190B2
(ja)
*
|
2004-10-26 |
2007-11-21 |
Ｔｄｋ株式会社 |
密閉容器の蓋開閉システム及び開閉方法
|
|
JP3983254B2
(ja)
*
|
2005-06-24 |
2007-09-26 |
Ｔｄｋ株式会社 |
製品収容容器用パージシステム及び該パージシステムに供せられる台
|
|
KR20080034492A
(ko)
*
|
2005-08-03 |
2008-04-21 |
엔테그리스, 아이엔씨. |
이송 용기
|
|
US20070144118A1
(en)
*
|
2005-12-22 |
2007-06-28 |
Alvarez Daniel Jr |
Purging of a wafer conveyance container
|
|
CN101370616B
(zh)
*
|
2006-01-11 |
2011-04-27 |
应用材料股份有限公司 |
一种基材载件、一种装载端口以及一种清洗基材载件的方法
|
|
JP2007221042A
(ja)
*
|
2006-02-20 |
2007-08-30 |
Tdk Corp |
インターフェースシール
|
|
TWM320179U
(en)
*
|
2006-06-09 |
2007-10-01 |
Gudeng Prec Industral Co Ltd |
Gas filling equipment and filling chamber therein for photomask conveying box
|
|
WO2008147379A1
(en)
*
|
2006-09-14 |
2008-12-04 |
Brooks Automation Inc. |
Carrier gas system and coupling substrate carrier to a loadport
|
|
US20080254377A1
(en)
*
|
2006-12-19 |
2008-10-16 |
Chen Chien-Ta |
Metal photomask pod and filter device thereof
|
|
EP2122014A4
(en)
*
|
2007-02-28 |
2014-09-17 |
Entegris Inc |
CLEANING SYSTEM FOR A SUBSTRATE CONTAINER
|
|
US9105673B2
(en)
*
|
2007-05-09 |
2015-08-11 |
Brooks Automation, Inc. |
Side opening unified pod
|
|
WO2009008047A1
(ja)
*
|
2007-07-09 |
2009-01-15 |
Kondoh Industries, Ltd. |
半導体ウエハ収納容器内へのドライエアまたは窒素ガス充填装置並びに該装置を用いたウエハ静電除去装置
|
|
US8870512B2
(en)
|
2007-10-27 |
2014-10-28 |
Applied Materials, Inc. |
Sealed substrate carriers and systems and methods for transporting substrates
|
|
TWM330970U
(en)
*
|
2007-11-01 |
2008-04-21 |
Gudeng Prec Industral Co Ltd |
Semiconductor elements storage apparatus and reticle storage apparatus
|
|
TWM337832U
(en)
*
|
2007-11-15 |
2008-08-01 |
Gudeng Prec Industral Co Ltd |
Storage apparatus and filter apparatus therein
|
|
TWM331514U
(en)
*
|
2007-11-15 |
2008-05-01 |
Gudeng Prec Industral Co Ltd |
Storage apparatus for storing semiconductor element or reticle
|
|
TW200929357A
(en)
*
|
2007-12-20 |
2009-07-01 |
Gudeng Prec Industral Co Ltd |
Gas filling apparatus
|
|
TWI379171B
(en)
*
|
2007-12-27 |
2012-12-11 |
Gudeng Prec Industral Co Ltd |
Gas filling apparatus
|
|
TWM336219U
(en)
*
|
2008-01-31 |
2008-07-11 |
Gudeng Prec Industral Co Ltd |
Gas filling apparatus and gas filling port thereof
|
|
TWI331123B
(en)
*
|
2008-03-06 |
2010-10-01 |
Gudeng Prec Ind Co Ltd |
Reticle pod and method for keeping reticle clean and dry
|
|
JP4692584B2
(ja)
*
|
2008-07-03 |
2011-06-01 |
村田機械株式会社 |
パージ装置
|
|
US20100051501A1
(en)
*
|
2008-08-29 |
2010-03-04 |
International Business Machines Corporation |
Ic waper carrier sealed from ambient atmosphere during transportation from one process to the next
|
|
JP5381054B2
(ja)
*
|
2008-12-02 |
2014-01-08 |
シンフォニアテクノロジー株式会社 |
ロードポート
|
|
JP2012532284A
(ja)
*
|
2009-06-30 |
2012-12-13 |
ロイラン ディヴェロップメンツ リミテッド |
感応材料を貯蔵するためのコンテナをパージする装置
|
|
JP2011187539A
(ja)
*
|
2010-03-05 |
2011-09-22 |
Sinfonia Technology Co Ltd |
ガス注入装置、ガス排出装置、ガス注入方法及びガス排出方法
|
|
CN102194730B
(zh)
*
|
2010-03-15 |
2015-08-05 |
三星电子株式会社 |
衬底转移容器、气体净化监视工具及具有其的半导体制造设备
|
|
KR101780789B1
(ko)
|
2010-03-15 |
2017-09-22 |
삼성전자주식회사 |
기판 이송 용기, 가스 퍼지 모니터링 툴, 그리고 이들을 구비한 반도체 제조 설비
|
|
CN103548130B
(zh)
*
|
2011-05-25 |
2016-08-17 |
村田机械株式会社 |
载入机装置、搬运系统、以及容器搬出方法
|
|
KR101301057B1
(ko)
*
|
2011-12-16 |
2013-08-28 |
주식회사 테라세미콘 |
웨이퍼 처리장치
|
|
JP5557061B2
(ja)
*
|
2012-01-04 |
2014-07-23 |
株式会社ダイフク |
物品保管設備
|
|
JP5598734B2
(ja)
*
|
2012-01-06 |
2014-10-01 |
株式会社ダイフク |
物品保管設備
|
|
JP6087161B2
(ja)
|
2012-02-03 |
2017-03-01 |
東京エレクトロン株式会社 |
基板収容容器のパージ方法
|
|
CN103311163A
(zh)
*
|
2012-03-09 |
2013-09-18 |
家登精密工业股份有限公司 |
应用于半导体存储装置的逆止阀
|
|
US20140041755A1
(en)
*
|
2012-08-09 |
2014-02-13 |
Santa Phoenix Technology Inc. |
Wafer pod gas charging apparatus
|
|
KR101418733B1
(ko)
*
|
2012-10-31 |
2014-08-13 |
크린팩토메이션 주식회사 |
반도체 웨이퍼 제조 시스템에서 에스티비에 불활성 가스를 공급하는 방법 및 이를 이용한 반도체 웨이퍼 제조 시스템
|
|
TWI642605B
(zh)
|
2012-11-20 |
2018-12-01 |
恩特葛瑞斯股份有限公司 |
具有清洗埠的基板收納盒
|
|
US9257320B2
(en)
|
2013-06-05 |
2016-02-09 |
GlobalFoundries, Inc. |
Wafer carrier purge apparatuses, automated mechanical handling systems including the same, and methods of handling a wafer carrier during integrated circuit fabrication
|
|
JP5888287B2
(ja)
*
|
2013-06-26 |
2016-03-16 |
株式会社ダイフク |
処理設備
|
|
JP5874691B2
(ja)
*
|
2013-06-26 |
2016-03-02 |
株式会社ダイフク |
不活性気体供給設備
|
|
JP6403431B2
(ja)
*
|
2013-06-28 |
2018-10-10 |
株式会社Ｋｏｋｕｓａｉ Ｅｌｅｃｔｒｉｃ |
基板処理装置、流量監視方法及び半導体装置の製造方法並びに流量監視プログラム
|
|
US9837293B2
(en)
|
2013-10-30 |
2017-12-05 |
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. |
Mechanisms for charging gas into cassette pod
|
|
JP6098737B2
(ja)
*
|
2014-02-07 |
2017-03-22 |
村田機械株式会社 |
ガス注入装置及び補助部材
|
|
US9411332B2
(en)
|
2014-02-14 |
2016-08-09 |
GlobalFoundries, Inc. |
Automated mechanical handling systems for integrated circuit fabrication, system computers programmed for use therein, and methods of handling a wafer carrier having an inlet port and an outlet port
|
|
US20170243776A1
(en)
*
|
2014-02-27 |
2017-08-24 |
Murata Machinery, Ltd. |
Purge Device and Purge Method
|
|
SG11201605453WA
(en)
*
|
2014-03-17 |
2016-09-29 |
Murata Machinery Ltd |
Purge apparatus and purge method
|
|
WO2015166710A1
(ja)
*
|
2014-04-28 |
2015-11-05 |
村田機械株式会社 |
パージ装置及びパージ方法
|
|
JP6323245B2
(ja)
*
|
2014-08-08 |
2018-05-16 |
Tdk株式会社 |
ガスパージユニット、ロードポート装置およびパージ対象容器の設置台
|
|
CN107107242B
(zh)
*
|
2014-11-10 |
2019-08-23 |
弗罗纽斯国际有限公司 |
具有防潮保护的焊丝盒
|
|
KR20170088411A
(ko)
|
2014-12-01 |
2017-08-01 |
엔테그리스, 아이엔씨. |
기재 수용기 밸브 조립체
|
|
TWM500354U
(zh)
*
|
2015-01-30 |
2015-05-01 |
Shu-zhen LIU |
具有環境感測及數據傳輸之密封裝置
|
|
JP6554872B2
(ja)
*
|
2015-03-31 |
2019-08-07 |
Tdk株式会社 |
ガスパージ装置、ロードポート装置、パージ対象容器の設置台およびガスパージ方法
|
|
JP6451453B2
(ja)
*
|
2015-03-31 |
2019-01-16 |
Tdk株式会社 |
ガスパージ装置、ロードポート装置、パージ対象容器の設置台およびガスパージ方法
|
|
JP2017028209A
(ja)
*
|
2015-07-27 |
2017-02-02 |
東京エレクトロン株式会社 |
基板収納方法及び基板処理装置
|
|
KR101688620B1
(ko)
*
|
2015-12-24 |
2016-12-21 |
피코앤테라(주) |
웨이퍼 수납용기
|
|
KR101852323B1
(ko)
*
|
2016-07-05 |
2018-04-26 |
로체 시스템즈(주) |
퍼지 모듈 지그 및 이를 포함한 퍼지 모듈
|
|
KR102597446B1
(ko)
*
|
2016-12-01 |
2023-11-03 |
에스케이하이닉스 주식회사 |
웨이퍼 보관 용기, 이를 포함하는 클러스터 시스템 및 클러스터 시스템의 구동 방법
|
|
JP6327374B2
(ja)
*
|
2017-02-21 |
2018-05-23 |
シンフォニアテクノロジー株式会社 |
パージノズルユニット、ロードポート
|
|
US11139188B2
(en)
*
|
2017-04-28 |
2021-10-05 |
Sinfonia Technology Co., Ltd. |
Gas supply device, method for controlling gas supply device, load port, and semiconductor manufacturing apparatus
|
|
US10790177B2
(en)
*
|
2017-11-14 |
2020-09-29 |
Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. |
Systems, devices, and methods for using a real time environment sensor in a FOUP
|
|
JP6519897B2
(ja)
*
|
2018-04-10 |
2019-05-29 |
シンフォニアテクノロジー株式会社 |
パージノズルユニット、ロードポート
|
|
JP7234527B2
(ja)
*
|
2018-07-30 |
2023-03-08 |
Tdk株式会社 |
センサー内蔵フィルタ構造体及びウエハ収容容器
|
|
KR20200022682A
(ko)
*
|
2018-08-23 |
2020-03-04 |
세메스 주식회사 |
버퍼 유닛, 그리고 이를 가지는 기판 처리 장치 및 방법
|
|
KR102113276B1
(ko)
*
|
2018-09-04 |
2020-05-20 |
주식회사 저스템 |
가스공급용 노즐패드 및 이를 구비한 웨이퍼 용기의 가스공급장치
|
|
US11061417B2
(en)
*
|
2018-12-19 |
2021-07-13 |
Applied Materials, Inc. |
Selectable-rate bottom purge apparatus and methods
|
|
KR102012389B1
(ko)
*
|
2019-04-03 |
2019-08-20 |
(주)에이이 |
로드 포트용 퍼지노즐 모듈
|
|
JP6882698B2
(ja)
*
|
2019-04-24 |
2021-06-02 |
シンフォニアテクノロジー株式会社 |
パージノズルユニット、ロードポート
|
|
US11569102B2
(en)
|
2020-02-14 |
2023-01-31 |
Applied Materials, Inc. |
Oxidation inhibiting gas in a manufacturing system
|
|
US11810805B2
(en)
*
|
2020-07-09 |
2023-11-07 |
Applied Materials, Inc. |
Prevention of contamination of substrates during gas purging
|
|
US11631604B2
(en)
*
|
2020-07-17 |
2023-04-18 |
Nanya Technology Corporation |
Load port device, gas gate and gas-providing method
|
|
US20220130698A1
(en)
*
|
2020-10-22 |
2022-04-28 |
Nanya Technology Corporation |
Gas purge device and gas purging method
|
