JP2002374034A - 可変波長光源装置 - Google Patents
可変波長光源装置Info
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- H01S5/141—External cavity lasers using a wavelength selective device, e.g. a grating or etalon
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- H01S5/068—Stabilisation of laser output parameters
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- H01S5/143—Littman-Metcalf configuration, e.g. laser - grating - mirror
Abstract
(57)【要約】
【課題】工場出荷時の波長直線性補正テーブル作成時
と、ユーザの使用時の周囲温度が異なると、微小な温度
の変化が生じて、波長の測定確度に少なからず影響を与
えるという問題を解決する。 【解決手段】可変波長光源部1から出力された光を分岐
して、波長測定装置6及び波長校正用基準器5に与え、
前記波長測定装置の出力に応じて前記可変波長光源部を
制御する可変波長光源装置において、前記波長校正用基
準器の複数の基準波長間に、前記波長測定装置の測定干
渉の周期の少なくとも1個以上のピークとディップ、若
しくは、2個以上のピーク又はディップが含まれる波長
測定装置。
と、ユーザの使用時の周囲温度が異なると、微小な温度
の変化が生じて、波長の測定確度に少なからず影響を与
えるという問題を解決する。 【解決手段】可変波長光源部1から出力された光を分岐
して、波長測定装置6及び波長校正用基準器5に与え、
前記波長測定装置の出力に応じて前記可変波長光源部を
制御する可変波長光源装置において、前記波長校正用基
準器の複数の基準波長間に、前記波長測定装置の測定干
渉の周期の少なくとも1個以上のピークとディップ、若
しくは、2個以上のピーク又はディップが含まれる波長
測定装置。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信用システム
やデバイスの評価又は製造に使用される可変波長光源装
置に関する。
やデバイスの評価又は製造に使用される可変波長光源装
置に関する。
【0002】
【従来の技術】図4を用いて従来の可変波長光源装置の
構成を説明する。図4において、可変波長光源部11か
ら出力された光は光カプラ18aを介して可変波長光源
装置の外部に光出力として出力される。また、前記光カ
プラ18aで分岐された光は、光カプラ18bによって
分岐され、分岐された一方の出力は、エタロン等の光路
長間の偏差に基づく周期的な干渉強度変化を利用して波
長を測定する波長測定装置16に与えられ、他方は前記
波長測定装置16の波長校正用のガスセル15に与えら
れる。
構成を説明する。図4において、可変波長光源部11か
ら出力された光は光カプラ18aを介して可変波長光源
装置の外部に光出力として出力される。また、前記光カ
プラ18aで分岐された光は、光カプラ18bによって
分岐され、分岐された一方の出力は、エタロン等の光路
長間の偏差に基づく周期的な干渉強度変化を利用して波
長を測定する波長測定装置16に与えられ、他方は前記
波長測定装置16の波長校正用のガスセル15に与えら
れる。
【0003】また、前記波長測定装置16及び波長校正
用ガスセル15の検出出力は電気信号に変換されてCP
Uで構成される制御回路14に与えられる。また、前記
制御回路14には、ユーザインタフェース部17からの
設定信号に応じてモータ駆動回路12及びLD電流駆動
回路13を介して前記可変波長光源部11から出力され
る光の波長を制御している。
用ガスセル15の検出出力は電気信号に変換されてCP
Uで構成される制御回路14に与えられる。また、前記
制御回路14には、ユーザインタフェース部17からの
設定信号に応じてモータ駆動回路12及びLD電流駆動
回路13を介して前記可変波長光源部11から出力され
る光の波長を制御している。
【0004】次に、前記可変波長光源部11の詳細を図
3を用いて説明する。図3は、可変波長光源部11の詳
細な構成を示す図であって、半導体レーザ(LD)2
1、レンズ22a,22b、回折格子23、ミラー24
及びモータ25によって構成されている。
3を用いて説明する。図3は、可変波長光源部11の詳
細な構成を示す図であって、半導体レーザ(LD)2
1、レンズ22a,22b、回折格子23、ミラー24
及びモータ25によって構成されている。
【0005】半導体レーザ21から出力された光はレン
ズ22aで平行光にされて回折格子23に入射する。回
折格子23に入射した光の内、当該回折格子23とミラ
ー24との位置関係で決まる波長を有する光のみが、再
度半導体レーザ21に帰還されることにより、この半導
体レーザ21からは、レンズ22bを介して特定の波長
を有する光が出力される。
ズ22aで平行光にされて回折格子23に入射する。回
折格子23に入射した光の内、当該回折格子23とミラ
ー24との位置関係で決まる波長を有する光のみが、再
度半導体レーザ21に帰還されることにより、この半導
体レーザ21からは、レンズ22bを介して特定の波長
を有する光が出力される。
【0006】この出力光の波長は、モータ25を駆動す
ることによりミラー24の位置を回転中心Oを中心とし
て回転移動させることで、外部共振器長を変えることに
よって変化させることができる。このミラー24の位置
は、モータ25を単に所定の位置に設定したのでは、微
小な誤差を生じることがあるので、図4に示す如く、波
長測定装置16の検出出力を制御回路14にフィードバ
ックして、常時測定波長が所定波長になるようにモータ
25を駆動して制御が行われている。
ることによりミラー24の位置を回転中心Oを中心とし
て回転移動させることで、外部共振器長を変えることに
よって変化させることができる。このミラー24の位置
は、モータ25を単に所定の位置に設定したのでは、微
小な誤差を生じることがあるので、図4に示す如く、波
長測定装置16の検出出力を制御回路14にフィードバ
ックして、常時測定波長が所定波長になるようにモータ
25を駆動して制御が行われている。
【0007】また、半導体レーザの発生する光の波長
は、当該半導体レーザの駆動電流によっても制御可能で
あるので、前記波長測定装置の検出出力を半導体レーザ
の駆動回路にフィードバックして制御することも可能で
ある。
は、当該半導体レーザの駆動電流によっても制御可能で
あるので、前記波長測定装置の検出出力を半導体レーザ
の駆動回路にフィードバックして制御することも可能で
ある。
【0008】図4の可変波長光源装置には、波長測定装
置として、前述の如く、エタロン等の光路長間の偏差に
基づく周期的な干渉強度変化を利用して波長を測定する
波長測定装置が用いられているため、周囲温度の変化に
よる光路長間偏差の変化をを補償するために、波長測定
装置を一定の温度に維持するための温度調整装置(温
調)が設けられていた。また、図4の可変波長光源装置
には、波長校正用ガスセル15が設けられていて、波長
測定装置の校正に用いられている。
置として、前述の如く、エタロン等の光路長間の偏差に
基づく周期的な干渉強度変化を利用して波長を測定する
波長測定装置が用いられているため、周囲温度の変化に
よる光路長間偏差の変化をを補償するために、波長測定
装置を一定の温度に維持するための温度調整装置(温
調)が設けられていた。また、図4の可変波長光源装置
には、波長校正用ガスセル15が設けられていて、波長
測定装置の校正に用いられている。
【0009】なお、図4における波長校正用のガスセル
15は、図7の矢印で示す既知の吸収線波長のうち1点
の波長を基準波長として参照するものである。この既知
の波長を図5に示す如き、周期的な干渉強度変化が存在
する波長測定装置16の基準波長として設定する。
15は、図7の矢印で示す既知の吸収線波長のうち1点
の波長を基準波長として参照するものである。この既知
の波長を図5に示す如き、周期的な干渉強度変化が存在
する波長測定装置16の基準波長として設定する。
【0010】図5に示す如き、周期的な干渉強度変化が
存在する波長測定装置16の出力を前記基準波長を基に
した波長直線性補正テーブルを作成して、制御回路14
内の記憶手段(図示せず)に格納してある。
存在する波長測定装置16の出力を前記基準波長を基に
した波長直線性補正テーブルを作成して、制御回路14
内の記憶手段(図示せず)に格納してある。
【0011】ガスセル15は、図5に示す如く、特定の
既知の波長を吸収する特性を有しており、周囲温度の変
化やその他の環境変化に対してガスセルの吸収線波長は
極めて安定している。これに対して、光路長間の偏差を
利用した波長測定装置16の測定出力は、図5の如く、
周期的にその強度がピークとディップとを有して変化す
る。しかし、そのピーク(ディップ)とピーク(ディッ
プ)との間隔は、周囲の温度変化に依存する特性を有し
ている。
既知の波長を吸収する特性を有しており、周囲温度の変
化やその他の環境変化に対してガスセルの吸収線波長は
極めて安定している。これに対して、光路長間の偏差を
利用した波長測定装置16の測定出力は、図5の如く、
周期的にその強度がピークとディップとを有して変化す
る。しかし、そのピーク(ディップ)とピーク(ディッ
プ)との間隔は、周囲の温度変化に依存する特性を有し
ている。
【0012】即ち、図5に示す如く、ある周囲温度にお
いて、ガスセル15は、矢印で示す既知の吸収線波長
を、波長測定装置16の測定出力の基準値として波長直
線性補正テーブルを作成しても、周囲温度が変化する
と、図5の波長測定装置16の測定出力は横軸方向に伸
び縮みするので、前記波長直線性補正テーブルに誤差が
生じることになる。
いて、ガスセル15は、矢印で示す既知の吸収線波長
を、波長測定装置16の測定出力の基準値として波長直
線性補正テーブルを作成しても、周囲温度が変化する
と、図5の波長測定装置16の測定出力は横軸方向に伸
び縮みするので、前記波長直線性補正テーブルに誤差が
生じることになる。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】したがって、図4に記
載の従来の可変波長光源装置では、以下の問題があっ
た。波長測定装置は、工場出荷時の波長直線性補正テー
ブル作成時と、ユーザの使用時の周囲温度が異なると、
温度調整は行ってはいるが、微小な温度の変化が生じる
ので、波長の測定確度に少なからず影響を与えることに
なる。外気温変動に対しても、工場出荷時の波長確度を
維持するために、波長測定装置を、高性能な温度調整機
構(恒温槽)内に設置する必要があった。一般にこれら
高性能恒温槽は大型かつ高価である。
載の従来の可変波長光源装置では、以下の問題があっ
た。波長測定装置は、工場出荷時の波長直線性補正テー
ブル作成時と、ユーザの使用時の周囲温度が異なると、
温度調整は行ってはいるが、微小な温度の変化が生じる
ので、波長の測定確度に少なからず影響を与えることに
なる。外気温変動に対しても、工場出荷時の波長確度を
維持するために、波長測定装置を、高性能な温度調整機
構(恒温槽)内に設置する必要があった。一般にこれら
高性能恒温槽は大型かつ高価である。
【0014】本発明の課題(目的)は、従来の図4に記
載の可変波長光源装置の問題点の内の、工場出荷時の波
長直線性補正テーブル作成時と、ユーザの使用時の周囲
温度が異なると、微小は温度の変化が生じて、波長の測
定確度に少なからず影響を与えるという問題を解決する
ことにある。
載の可変波長光源装置の問題点の内の、工場出荷時の波
長直線性補正テーブル作成時と、ユーザの使用時の周囲
温度が異なると、微小は温度の変化が生じて、波長の測
定確度に少なからず影響を与えるという問題を解決する
ことにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、可変波長光源部1から出力された光を分岐して、波
長測定装置6及び波長校正用基準器5に与え、前記波長
測定装置の出力に応じて前記可変波長光源部を制御する
可変波長光源装置において、前記波長校正用基準器の複
数の基準波長間に、前記波長測定装置の測定干渉の周期
の少なくとも1個以上のピークとディップ、若しくは、
2個以上のピーク又はディップが含まれるようにする。
(請求項1) このことにより、前記波長測定装置の測定干渉の周期の
少なくとも1個以上のピークとディップの2点を波長校
正用基準器で校正できるので、外部環境が変化しても正
確な波長の測定が可能になる。
に、可変波長光源部1から出力された光を分岐して、波
長測定装置6及び波長校正用基準器5に与え、前記波長
測定装置の出力に応じて前記可変波長光源部を制御する
可変波長光源装置において、前記波長校正用基準器の複
数の基準波長間に、前記波長測定装置の測定干渉の周期
の少なくとも1個以上のピークとディップ、若しくは、
2個以上のピーク又はディップが含まれるようにする。
(請求項1) このことにより、前記波長測定装置の測定干渉の周期の
少なくとも1個以上のピークとディップの2点を波長校
正用基準器で校正できるので、外部環境が変化しても正
確な波長の測定が可能になる。
【0016】また、前記波長校正用基準器はガスセルと
する。(請求項2) また、前記波長測定装置は光路長間の偏差に基づく周期
的な干渉強度変化を利用して波長を測定する波長測定装
置とする。(請求項3) また、前記波長測定装置は、エタロンとする。(請求項
4) また、前記可変波長光源部は、波長の連続掃引が可能な
構成とすることにより、連続波長掃引時の波長確度の向
上に対する効果が大きい。(請求項5) これらは、高確度連続掃引可能な可変波長光源装置は光
通信などに使用される光学部品の波長依存性特性の測定
を大幅に高確度化することに寄与する。
する。(請求項2) また、前記波長測定装置は光路長間の偏差に基づく周期
的な干渉強度変化を利用して波長を測定する波長測定装
置とする。(請求項3) また、前記波長測定装置は、エタロンとする。(請求項
4) また、前記可変波長光源部は、波長の連続掃引が可能な
構成とすることにより、連続波長掃引時の波長確度の向
上に対する効果が大きい。(請求項5) これらは、高確度連続掃引可能な可変波長光源装置は光
通信などに使用される光学部品の波長依存性特性の測定
を大幅に高確度化することに寄与する。
【0017】
【発明の実施の形態】図1を用いて従来の可変波長光源
装置の構成を説明する。図1において、可変波長光源部
1から出力された光は光カプラ8aを介して可変波長光
源装置の外部に光出力として出力される。また、前記光
カプラ8aで分岐された光は、光カプラ8bによって分
岐され、分岐された一方の出力は、エタロン等の光路長
間の偏差に基づく周期的な干渉強度変化を利用して波長
を測定する波長測定装置6に与えられ、他方は前記波長
測定装置6の波長校正用のガスセル5に与えられる。
装置の構成を説明する。図1において、可変波長光源部
1から出力された光は光カプラ8aを介して可変波長光
源装置の外部に光出力として出力される。また、前記光
カプラ8aで分岐された光は、光カプラ8bによって分
岐され、分岐された一方の出力は、エタロン等の光路長
間の偏差に基づく周期的な干渉強度変化を利用して波長
を測定する波長測定装置6に与えられ、他方は前記波長
測定装置6の波長校正用のガスセル5に与えられる。
【0018】また、前記波長測定装置6及び波長校正用
ガスセル5の検出出力は電気信号に変換されてCPUで
構成される制御回路4に与えられる。また、前記制御回
路4には、ユーザインタフェース部7からの設定信号に
応じてモータ駆動回路2及びLD電流駆動回路3を介し
て前記可変波長光源部1から出力される光の波長を制御
している。また、前記可変波長光源部1の詳細は、図3
に記載のとおりであって、図4に記載の従来のものと同
様であるので、その説明は省略する。図1に記載の本発
明の適用される可変波長光源装置のハードウエアとして
の特徴は、波長校正用のガスセルは、図2の矢印で示す
既知の吸収線波長が複数(図2では2点)存在すること
である。
ガスセル5の検出出力は電気信号に変換されてCPUで
構成される制御回路4に与えられる。また、前記制御回
路4には、ユーザインタフェース部7からの設定信号に
応じてモータ駆動回路2及びLD電流駆動回路3を介し
て前記可変波長光源部1から出力される光の波長を制御
している。また、前記可変波長光源部1の詳細は、図3
に記載のとおりであって、図4に記載の従来のものと同
様であるので、その説明は省略する。図1に記載の本発
明の適用される可変波長光源装置のハードウエアとして
の特徴は、波長校正用のガスセルは、図2の矢印で示す
既知の吸収線波長が複数(図2では2点)存在すること
である。
【0019】図2は、ガスセル(図2の5)とエタロン
等の光路長間の偏差に基づく周期的な干渉強度変化を利
用した波長測定装置(図1の6)との関係を示す図であ
る。図2において、横軸は波長(Wavelength)を縦軸は強
度(Power)を示している。ガスセルは、図2に示す如
く、特定の既知の複数(図2では2点)の波長を吸収す
る特性を有しており、周囲温度の変化やその他の環境変
化に対してガスセルの吸収線波長は極めて安定してい
る。これに対して、光路長間の偏差を利用した波長測定
装置の測定出力は、図2の如く、周期的にその強度がピ
ークとディップとを有して変化する。しかし、そのピー
ク(ディップ)とピーク(ディップ)との間隔は、周囲
の温度変化に依存する特性を有している。即ち、図2の
如くある周囲温度において、ガスセルの既知の吸収線波
長を、光路長間の偏差を利用した波長測定装置の測定出
力の2つのディップに対応していても、周囲温度が変化
すると、図2の光路長間の偏差を利用した波長測定装置
の測定出力は横軸方向に伸び縮みするので一致しなくな
る。
等の光路長間の偏差に基づく周期的な干渉強度変化を利
用した波長測定装置(図1の6)との関係を示す図であ
る。図2において、横軸は波長(Wavelength)を縦軸は強
度(Power)を示している。ガスセルは、図2に示す如
く、特定の既知の複数(図2では2点)の波長を吸収す
る特性を有しており、周囲温度の変化やその他の環境変
化に対してガスセルの吸収線波長は極めて安定してい
る。これに対して、光路長間の偏差を利用した波長測定
装置の測定出力は、図2の如く、周期的にその強度がピ
ークとディップとを有して変化する。しかし、そのピー
ク(ディップ)とピーク(ディップ)との間隔は、周囲
の温度変化に依存する特性を有している。即ち、図2の
如くある周囲温度において、ガスセルの既知の吸収線波
長を、光路長間の偏差を利用した波長測定装置の測定出
力の2つのディップに対応していても、周囲温度が変化
すると、図2の光路長間の偏差を利用した波長測定装置
の測定出力は横軸方向に伸び縮みするので一致しなくな
る。
【0020】本発明では、ガスセルの特定の既知の複数
(図2では2点)の吸収線波長A及びB間に、波長測定
装置の測定出力の周期的な強度変化のピークとディップ
を所定数以上含むようにすることである。即ち、ガスセ
ルによる既知の複数(図2では2点)の波長を吸収線波
長A及びB間に対応する区間a及びb間に、少なくと
も、1個以上のピークとディップ、若しくは、2個以上
のピーク又はディップを含むようにする。(図2では、
ab間に2個のディップと1個のピークが含まれてい
る。)
(図2では2点)の吸収線波長A及びB間に、波長測定
装置の測定出力の周期的な強度変化のピークとディップ
を所定数以上含むようにすることである。即ち、ガスセ
ルによる既知の複数(図2では2点)の波長を吸収線波
長A及びB間に対応する区間a及びb間に、少なくと
も、1個以上のピークとディップ、若しくは、2個以上
のピーク又はディップを含むようにする。(図2では、
ab間に2個のディップと1個のピークが含まれてい
る。)
【0021】このように、少なくとも2点の既知の波長
の間(図2のAとBの間)に、1個以上のピークとディ
ップ、若しくは、2個以上のピーク又はディップが存在
するので、波長測定装置の周期性から、既知の2点以外
(外側)においても、換算により測定波長を算出するこ
とができる。
の間(図2のAとBの間)に、1個以上のピークとディ
ップ、若しくは、2個以上のピーク又はディップが存在
するので、波長測定装置の周期性から、既知の2点以外
(外側)においても、換算により測定波長を算出するこ
とができる。
【0022】
【発明の効果】請求項1に記載の発明では、可変波長光
源部1から出力された光を分岐して、波長測定装置6及
び波長校正用基準器5に与え、前記波長測定装置の出力
に応じて前記可変波長光源部を制御する可変波長光源装
置において、前記波長校正用基準器の複数の基準波長間
に、前記波長測定装置の測定干渉の周期の少なくとも1
個以上のピークとディップ、若しくは、2個以上のピー
ク又はディップが含まれるので、前記波長測定装置の測
定干渉の周期の少なくとも1個以上のピークとディップ
の2点を波長校正用基準器で校正できるので、外部環境
が変化しても正確な波長の測定が可能になる。
源部1から出力された光を分岐して、波長測定装置6及
び波長校正用基準器5に与え、前記波長測定装置の出力
に応じて前記可変波長光源部を制御する可変波長光源装
置において、前記波長校正用基準器の複数の基準波長間
に、前記波長測定装置の測定干渉の周期の少なくとも1
個以上のピークとディップ、若しくは、2個以上のピー
ク又はディップが含まれるので、前記波長測定装置の測
定干渉の周期の少なくとも1個以上のピークとディップ
の2点を波長校正用基準器で校正できるので、外部環境
が変化しても正確な波長の測定が可能になる。
【0023】また、請求項2〜4に記載の発明では、前
記波長校正用基準器はガスセルとし、前記波長測定装置
は光路長間の偏差に基づく周期的な干渉強度変化を利用
して波長を測定するエタロンの如き波長測定装置とする
ことにより、ガスセルの吸収線波長に基づく2点以上の
既知の波長において、その波長間隔測定と、波長測定装
置における測定結果とを一致させるように波長測定装置
の温度を調整することにより、ガスセルの吸収線長点の
外の波長においても極めて高い波長直線性を得ることが
できる。
記波長校正用基準器はガスセルとし、前記波長測定装置
は光路長間の偏差に基づく周期的な干渉強度変化を利用
して波長を測定するエタロンの如き波長測定装置とする
ことにより、ガスセルの吸収線波長に基づく2点以上の
既知の波長において、その波長間隔測定と、波長測定装
置における測定結果とを一致させるように波長測定装置
の温度を調整することにより、ガスセルの吸収線長点の
外の波長においても極めて高い波長直線性を得ることが
できる。
【0024】また、請求項5に記載の発明では、前記可
変波長光源部は、波長の連続掃引が可能な構成とするこ
とにより、連続波長掃引時の波長確度の向上に対する効
果が大きい。また、高確度連続掃引可能な可変波長光源
装置は光通信などに使用される光学部品の波長依存性特
性の測定を大幅に高確度化することに寄与する。
変波長光源部は、波長の連続掃引が可能な構成とするこ
とにより、連続波長掃引時の波長確度の向上に対する効
果が大きい。また、高確度連続掃引可能な可変波長光源
装置は光通信などに使用される光学部品の波長依存性特
性の測定を大幅に高確度化することに寄与する。
【図1】本発明の可変波長光源装置の構成を示す図であ
る。
る。
【図2】本発明の波長測定装置と波長校正用ガスセルと
の出力の関係を示す図である。
の出力の関係を示す図である。
【図3】可変波長光源の構成を示す図である。
【図4】従来のの可変波長光源装置の構成を示す図であ
る。
る。
【図5】従来の波長測定装置と波長校正用ガスセルとの
出力の関係を示す図である。
出力の関係を示す図である。
1,11 可変波長光源 2,12 モータ駆動回路 3,13 LD電流駆動回路 4,14 制御回路 5,15 波長校正用ガスセル 6,16 波長測定装置 7,17 ユーザインタフェース部 8a,18a 光カプラ
フロントページの続き Fターム(参考) 2G020 CB23 CC23 5F073 AA67 AB25 AB29 EA03 GA13 GA20 HA10 HA12
Claims (5)
- 【請求項1】 可変波長光源部から出力された光を分岐
して、波長測定装置及び波長校正用基準器に与え、前記
波長測定装置の出力に応じて前記可変波長光源部を制御
する可変波長光源装置において、 前記波長校正用基準器の複数の基準波長間に、前記波長
測定装置の測定干渉の周期の少なくとも1個以上のピー
クとディップ、若しくは、2個以上のピーク又はディッ
プが含まれることを特徴とする波長測定装置。 - 【請求項2】 前記波長校正用基準器はガスセルである
ことを特徴とする請求項1に記載の可変波長光源装置。 - 【請求項3】 前記波長測定装置は光路長間の偏差に基
づく周期的な干渉強度変化を利用して波長を測定する波
長測定装置であることを特徴とする請求項1又は2に記
載の可変波長光源装置。 - 【請求項4】 前記波長測定装置は、エタロンであるこ
とを特徴とする請求項3に記載の可変波長光源装置。 - 【請求項5】 前記可変波長光源部は、波長の連続掃引
が可能であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか
1項に記載の可変波長光源装置。
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