JP2002361272A - 促進酸化処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 被処理水の状態に応じて適切なオゾン注入量
および紫外線照射量を確保して、被処理水中の有機物の
分解効率を向上させるとともにオゾンの有効利用を図
り、さらに装置を小型化する促進酸化処理装置を提供す
る。 【解決手段】 促進酸化処理装置１は、オゾン注入領域
２１と紫外線照射領域２２と反応領域２３とが一体化し
た構造を有する処理槽２を備えている。オゾン注入領域
２１にはオゾン散気装置３が設けられ、紫外線照射領域
２２には紫外線照射装置４が設けられている。オゾン注
入領域２１と紫外線照射領域２２とは第１仕切板５によ
り、紫外線照射領域２２と反応領域２３とは第２仕切板
６により各々仕切られている。紫外線照射領域２２には
散気装置兼案内板１０が設けられ、散気装置兼案内板１
０と処理槽２とはオゾン戻し管３０により連結され、反
応領域２３とオゾン注入領域２１とは排水戻し管３２に
より連結されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被処理水を促進酸
化処理する促進酸化処理装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、産業排水や生活排水等の被処理水
の汚染が進行するにつれて、水環境汚染が社会問題にな
っている。特に、上水用の水源である河川の上流域で
は、農薬、ダイオキシン類、環境ホルモン等の難分解性
の汚染物質が微量含まれていることが指摘されており、
また、河川の下流域では、更に有機塩素系の洗剤、農
薬、合成洗剤、染料等の化学物質により汚染されている
ことが指摘されている。また、産業廃棄物および生活廃
棄物の埋め立て地から流出する侵出水による水環境汚染
は、きわめて深刻な状況となっている。

【０００３】このような水環境汚染を背景に、活性炭に
よる処理、膜処理、オゾン処理、紫外線処理、生物学的
な処理等の水環境保全技術により、原水や廃水等といっ
た浄化が必要とされる被処理水の浄化処理が行われてい
る。

【０００４】このような水環境保全技術のうち、オゾ
ン、紫外線、および過酸化水素のそれぞれを組み合わせ
た促進酸化技術（ＡＯＰ;Advanced Oxidation Proces
s）が注目されている。

【０００５】図８は、オゾンと紫外線を組み合わせた促
進酸化技術により被処理水を浄化処理（促進酸化処理）
する、従来の促進酸化処理装置を示す構成図である。

【０００６】促進酸化処理装置は、供給ポンプ１６と、
供給ポンプ１６にオゾン注入槽４０を介して接続された
紫外線照射槽４１と、紫外線照射槽４１に接続された反
応槽４２とを備えている。オゾン注入槽４０にはオゾン
発生器７が取り付けられ、反応槽４２には排オゾン処理
装置１３が取り付けられている。

【０００７】被処理水は、供給ポンプ１６によりオゾン
注入槽４０に送られて、オゾン発生器７からのオゾンが
注入される。オゾンが注入された被処理水は、オゾン注
入槽４０から紫外線照射槽４１に送られて、紫外線が照
射される。これにより、被処理水は、オゾンから生成さ
れるＯＨラジカル（ヒドロキシルラジカル）により促進
酸化処理されることとなる。被処理水は、紫外線照射槽
４１から反応槽４２に送られ、反応槽４２で促進酸化処
理が十分に施される。また、反応槽４２内の被処理水か
ら発生するオゾンは、排オゾン処理装置１３に送られ
て、適切なオゾン処理が施されて、無害化される。反応
槽４２で促進酸化処理が施された被処理水は、処理水と
して、他の処理領域に送られたり、放流される。

【０００８】このように、被処理水は、オゾンよりも酸
化力の強いＯＨラジカルにより促進酸化処理されるの
で、オゾンでは処理できなかった有機性難分解物質等を
酸化分解することができる。従って、被処理水を促進酸
化処理すれば、難分解物質の分解効率、脱色、脱臭、殺
菌作用の向上を図ることができ、さらには、二次廃棄物
を生じさせない浄化処理を行うことができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上述のように、被処理
水は、促進酸化処理により効果的に浄化されている。

【００１０】しかしながら、被処理水にオゾンが十分に
注入されていない場合には、難分解物質の分解効率が悪
くなるということが考えられる。

【００１１】また、被処理水中に含まれる難分解物質量
は変動し、また、被処理水の濁度等により被処理水の紫
外線透過率は増減するので、オゾン注入量や紫外線照射
量は、被処理水の状態に応じて最適に設定されていると
は限らない。従って、処理される被処理水の状態によっ
ては、ＯＨラジカルの発生効率が低下して、促進酸化処
理であっても、被処理水中に含まれる難分解物質の分解
が不十分となることも考えられる。

【００１２】また、浄化処理がされた被処理水中に含ま
れるオゾン化ガスは、排オゾン処理装置１３に送られて
分解排気されるが、排オゾン処理装置１３の電力消費量
も多いので、総合的にはエネルギー効率が悪くなるとい
うことも考えられる。

【００１３】さらに、促進酸化処理装置を構成するオゾ
ン注入槽４０や紫外線照射槽４１は、一般的に、分離独
立の構成となっており、促進酸化処理装置全体が大型化
する傾向にある。

【００１４】本発明はこのような点を考慮してなされた
ものであり、浄化処理される被処理水の状態に応じて、
被処理水への適切なオゾン注入量および紫外線照射量を
確保して、被処理水中に含まれる有機物の分解効率を向
上させるとともにオゾンの有効利用を図り、さらに装置
を小型化することができる促進酸化処理装置を提供する
ことを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明は、オゾン注入領
域と、オゾン注入領域の下流側に配置された紫外線照射
領域と、紫外線照射領域の下流側に配置された反応領域
と、を有する処理槽と、処理槽に接続され、処理槽のオ
ゾン注入領域に被処理水を供給する供給管と、を備え、
処理槽のオゾン注入領域には、被処理水にオゾンを注入
するオゾン散気装置が設けられ、処理槽の紫外線照射領
域には、被処理水に紫外線を照射する紫外線照射装置が
設けらたことを特徴とする促進酸化処理装置である。

【００１６】本発明によれば、被処理水は、オゾン注入
領域でオゾンが注入され、紫外線照射領域で紫外線が照
射されて、反応領域で促進酸化処理が促進される。これ
により、効率的に被処理水を促進酸化処理することがで
きる。

【００１７】好ましくは、オゾン注入領域と紫外線照射
領域とは、上部あるいは下部の一部が開放されている第
１仕切板により仕切られ、紫外線照射領域と反応領域と
は、上部あるいは下部のうち第１仕切板の開放部と逆側
の一部が開放されている第２仕切板により仕切られてい
る。

【００１８】好ましくは、オゾン注入領域と、紫外線照
射領域と、反応領域とは、同軸円筒状に配置されてい
る。

【００１９】好ましくは、処理槽には、処理槽に供給さ
れる被処理水の濁度を検出する供給水濁度検出手段と、
紫外線照射領域の紫外線照射装置の紫外線照射強度を調
整するランプ整合機とが設置され、供給水濁度検出手段
に、供給水濁度検出手段からの検出結果に基づいてラン
プ整合機を制御して紫外線照射装置の紫外線照射強度を
調整する第１紫外線ランプ電源が接続されている。

【００２０】好ましくは、処理槽には、処理槽に供給さ
れる被処理水の濁度を検出する供給水濁度検出手段と、
オゾン注入領域のオゾン散気装置へオゾンを送るオゾン
発生器とが設置され、供給水濁度検出手段に、供給水濁
度検出手段からの検出結果に基づいてオゾン発生器を制
御してオゾン散気装置のオゾン注入量を調整する第１オ
ゾン発生量制御装置が接続されている。

【００２１】さらに好ましくは、供給水濁度検出手段
は、被処理水の光透過率を測定して、被処理水の濁度を
検出する。

【００２２】好ましくは、処理槽には、処理槽に供給さ
れる被処理水の供給量を検出する流量計と、紫外線照射
領域の紫外線照射装置の紫外線照射強度を調整するラン
プ整合機とが設置され、流量計に、流量計からの検出結
果に基づいてランプ整合機を制御して紫外線照射装置の
紫外線照射強度を調整する第２紫外線ランプ電源が接続
されている。

【００２３】好ましくは、処理槽には、処理槽に供給さ
れる被処理水の供給量を検出する流量計と、オゾン注入
領域のオゾン散気装置へオゾンを送るオゾン発生器とが
設置され、流量計に、流量計からの検出結果に基づいて
オゾン発生器を制御してオゾン散気装置のオゾン注入量
を調整する第２オゾン発生量制御装置が設けられてい
る。

【００２４】好ましくは、紫外線照射領域に、紫外線照
射領域で被処理水が滞留することを防ぐとともにオゾン
を散気するバッフル板が設けられている。

【００２５】好ましくは、処理槽には、オゾン注入領
域、紫外線照射領域、および反応領域の各気相部とオゾ
ン散気装置とを連結し、各気相部のオゾン化空気をオゾ
ン散気装置に戻すオゾン戻し管が設置され、オゾン戻し
管には、オゾン戻し管を流れるオゾン化空気のオゾン濃
度を検出するオゾン濃度検出手段と、オゾン戻し管を介
してオゾン散気装置に送られるオゾン化空気の送り量を
調整可能な切り替えバルブと、が取り付けられ、オゾン
濃度検出手段に、オゾン濃度検出手段の検出値に基づい
て切り替えバルブを制御してオゾン戻し管を介してオゾ
ン散気装置に送られるオゾン化空気の送り量を調整する
オゾン返送制御装置が設けられている。

【００２６】

【発明の実施の形態】第１の実施の形態 以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明
する。

【００２７】図１は本発明の第１の実施の形態を示す図
である。ここで図１は、供給された被処理水を促進酸化
処理する促進酸化処理装置を示す構成図である。

【００２８】図１に示すように、促進酸化処理装置１
は、オゾン注入領域２１と、オゾン注入領域２１の下流
側に配置された紫外線照射領域２２と、紫外線照射領域
２２の下流側に配置された反応領域２３と、が一体化し
た構造を有する処理槽２を備えている。

【００２９】処理槽２のオゾン注入領域２１には、被処
理水にオゾンを注入するオゾン散気装置３が設けられ、
処理槽２の紫外線照射領域２２には、被処理水に紫外線
を照射する紫外線照射装置４が設けられている。

【００３０】オゾン注入領域２１と紫外線照射領域２２
とは、下部の一部が開放されている第１仕切板５により
仕切られており、また、紫外線照射領域２２と反応領域
２３とは、上部の一部が開放されている第２仕切板６に
より仕切られている。

【００３１】オゾン散気装置３には、空気からオゾンを
生成してオゾン散気装置３へ送るオゾン発生器７が接続
されており、紫外線照射装置４には、紫外線照射装置４
の紫外線照射量を調整することができるランプ整合機８
が接続されている。

【００３２】紫外線照射領域２２の上流から下流の間の
中流域における第１仕切板５および第２仕切板６の各々
には、バッフル板９が設けられている。このバッフル板
９は、紫外線照射領域２２で被処理水が滞留することを
防ぐ役割を担っている。また、紫外線照射領域２２のオ
ゾン注入領域２１側には散気装置兼案内板１０が設けら
れている。この散気装置兼案内板１０は、被処理水を整
流してオゾン注入領域２１から紫外線照射領域２２へ案
内するとともに、後述するオゾン戻し管３０を経て送ら
れてくるオゾン化空気を紫外線照射領域２２の被処理水
に注入する。

【００３３】なお、処理槽２に被処理水が供給されたと
き、オゾン注入領域２１、紫外線照射領域２２、反応領
域２３の各領域は、被処理水が占める被処理水部２４
と、各領域の上方に位置し、気体が集積する気相部２５
とが形成される。

【００３４】処理槽２のオゾン注入領域２１、紫外線照
射領域２２、および反応領域２３には、各領域の気相部
２５の排オゾンを含むオゾン化空気を散気装置兼案内板
１０に送るオゾン戻し管３０が接続されている。オゾン
戻し管３０には、オゾン化空気のオゾン濃度を計測する
オゾンガス濃度計１１と、オゾン戻し管３０内のオゾン
化空気の送り量を調整可能な切り替えバルブ３５と、切
り替えバルブ３５と、オゾン化空気を処理槽２の各領域
の気相部２５からオゾン戻し管３０を介して散気装置兼
案内板１０に送る排オゾンブロア１２とが、処理槽２の
各領域の気相部２５から散気装置兼案内板１０に向かっ
て順次取り付けられている。また、オゾンガス濃度計１
１と切り替えバルブ３５との間には、オゾンガス濃度計
１１の検出値に基づいて切り替えバルブ３５を制御する
オゾン返送制御装置３５ａが設けられている。

【００３５】また、オゾン戻し管３０のうち切り替えバ
ルブ３５が取り付けられた位置には、排気管３１が分岐
しており、この排気管３１には、オゾンを無害化処理す
るする排オゾン処理装置１３が取り付けられている。な
お、オゾン戻し管３０を流れるオゾン化空気は、切り替
えバルブ３５を調整することにより、戻し管を経て散気
装置兼案内板１０に送られ、あるいは排気管３１を経て
排オゾン処理装置１３に送られる。

【００３６】反応領域２３とオゾン注入領域２１との間
には、オゾン注入領域２１の被処理水を反応領域２３へ
戻す排水戻し管３２が設けられている。この排水戻し管
３２には、反応領域２３から排水戻し管３２を介してオ
ゾン注入領域２１へ被処理水を戻す排水ポンプ１４と、
排水戻し管３２内を流れる被処理水の循環流量を調整す
る循環調整バルブ３６と、オゾン注入領域２１に流入す
る被処理水の流量を計測する流量計１５とが、反応領域
２３からオゾン注入領域２１に向かって順次取り付けら
れている。

【００３７】排水戻し管３２のうち反応領域２３と排水
ポンプ１４との間には、排水管３３が取り付けられ、ま
た、排水管３３には排水管３３内を流れる被処理水の流
量を調整する排水バルブ３７が取り付けられている。ま
た、排水戻し管３２のうち循環調整バルブ３６と流量計
１５との間には、促進酸化処理装置１に上水等の被処理
水を供給する被処理水供給管３４が接続している。被処
理水供給管３４には、被処理水供給管３４内の被処理水
を搬送する供給ポンプ１６と、被処理水供給管３４内を
流れる被処理水の流量を調整する給水バルブ３８とが、
上流側から下流側に向かって順次取り付けられている。

【００３８】次にこのような構成からなる本実施の形態
の作用について説明する。

【００３９】促進酸化処理装置１に新たに供給され浄化
処理が必要とされる被処理水は、供給ポンプ１６および
給水バルブ３８により流量が調整されて被処理水供給管
３４へ搬送されて、排水戻し管３２内の被処理水に合流
する。排水戻し管３２内で合流した被処理水は、排水戻
し管３２を経て、処理槽２のオゾン注入領域２１に送ら
れる。このとき、排水戻し管３２を経てオゾン注入領域
２１に送られる被処理水の流量は、流量計１５により計
測される。

【００４０】オゾン注入領域２１において、被処理水は
オゾン散気装置３によりオゾンが注入され、注入された
オゾンは被処理水に取り込まれる。このように被処理水
に取り込まれたオゾンは、被処理水に含まれる有機物と
比較的ゆっくり反応し、有機物を低分子有機物に分解し
て、被処理水を浄化処理している。

【００４１】なお、オゾン散気装置３により注入される
オゾンは、オゾン発生器７により空気から生成されたも
のが用いられている。

【００４２】オゾン注入領域２１から紫外線照射領域２
２に送られた被処理水は、散気装置兼案内板１０により
整流されるとともに、後述のようにオゾン注入領域２
１、紫外線照射領域２２、反応領域２３の各領域で発生
する排オゾンを含むオゾン化空気が注入される。これに
より、被処理水はさらにオゾンを取り込むこととなる。

【００４３】そして、オゾンを取り込んだ紫外線照射領
域２２の被処理水は、紫外線照射装置４により紫外線が
照射される。これにより、被処理水に取り込まれたオゾ
ンからＯＨラジカルが生成される。

【００４４】すなわち、紫外線照射領域２２の被処理水
は、紫外線照射装置４によりプランク定数ｈ、紫外線の
振動数ｖの条件で紫外線が照射され、以下に示す反応に
従ってＯＨラジカルが生成される。

【００４５】すなわち、被処理水に溶解したオゾンは以
下のように反応する。

【００４６】Ｏ_３＋Ｈ_２Ｏ → Ｏ_２＋Ｈ_２Ｏ_２ Ｈ_２Ｏ_２ → ２・ＯＨ あるいは、被処理水に溶解したオゾンは以下のように反
応する。

【００４７】Ｏ_３＋Ｈ_２Ｏ → Ｏ_２＋２・ＯＨ また、被処理水中に残存するオゾンの気泡は以下のよう
に反応する。

【００４８】Ｏ_３ → Ｏ_２＋・Ｏ Ｈ_２Ｏ＋・Ｏ → Ｈ_２Ｏ_２ Ｈ_２Ｏ_２ → ２・ＯＨ このようにして生成されるＯＨラジカルは、オゾンより
も強力な酸化剤であり、オゾンでは分解することができ
ない難分解物質も分解する。また、ＯＨラジカルによる
有機物質の分解速度は、オゾンによる分解速度の数倍か
ら数十倍速い。紫外線照射装置４により紫外線が照射さ
れた被処理水は、このようなＯＨラジカルにより促進酸
化処理されることとなる。

【００４９】紫外線が照射された被処理水は、その後、
紫外線照射領域２２から第２仕切板６の開放された上部
を経て、反応領域２３に送られる。なお、紫外線照射領
域２２を流れる被処理水は、第１仕切板５および第２仕
切板６に設けられたバッフル板９により滞留が防がれて
いる。

【００５０】紫外線照射領域２２から反応領域２３に送
られてきた被処理水は、紫外線照射領域２２においてオ
ゾンから生成されたＯＨラジカルにより、更に時間をか
けて促進酸化処理される。

【００５１】このとき、ＯＨラジカルは、上述のように
オゾンよりも酸化力が強く、有機物の分解速度もオゾン
より速いので、オゾンでは処理できなかった有機性難分
解物質等を酸化分解することができ、また、被処理水は
反応領域２３で時間をかけて促進酸化処理されるので、
被処理水の浄化処理を効率的に行うことができる。

【００５２】反応領域２３で時間をかけて促進酸化処理
された被処理水は、排水戻し管３２へ流出する。このと
き、反応領域２３から排水戻し管３２へ流出した被処理
水が、排水可能であると予め定められている所定の水質
基準に達していない場合には、排水バルブ３７、排水ポ
ンプ１４、および循環調整バルブ３６の各々を調整し
て、被処理水は反応領域２３から排水戻し管３２を介し
てオゾン注入領域２１に再び戻される。

【００５３】他方、反応領域２３から排水戻し管３２へ
流出した被処理水が、所定の水質基準に達した場合に
は、排水バルブ３７、排水ポンプ１４、および循環調整
バルブ３６を調整して、被処理水は、処理水として他の
処理装置に送られたり、放流される。

【００５４】ところで、処理槽２のオゾン注入領域２
１、紫外線照射領域２２、および反応領域２３の各領域
の被処理水から発生する排オゾンを含むオゾン化空気
は、以下のようにして、散気装置兼案内板１０に送ら
れ、あるいは排気管３１に送られる。

【００５５】すなわち、オゾン散気装置３および散気装
置兼案内板１０からのオゾンを取り込んだ被処理水は、
処理槽２の各領域を移動する過程において、取り込んだ
オゾンを排オゾンとして各領域の気相部２５へ放出す
る。気相部２５の排オゾンを含むオゾン化空気は、オゾ
ン戻し管３０に流出して、オゾンガス濃度計１１により
オゾン濃度が計測される。

【００５６】このとき、オゾン戻し管３０に流出したオ
ゾン化空気が、環境に悪影響を及ぼさないように予め定
められている所定のオゾン濃度基準に達していない場合
には、オゾン返送制御装置３５ａはオゾンガス濃度計１
１の検出値に基づいて切り替えバルブ３５を制御し、オ
ゾン化空気は処理槽２の各領域からオゾン戻し管３０を
介して排オゾンブロア１２により散気装置兼案内板１０
へ再び戻される。他方、オゾン戻し管３０に流出したオ
ゾン化空気が、所定のオゾン濃度基準に達している場合
には、オゾン返送制御装置３５ａはオゾンガス濃度計１
１の検出値に基づいて切り替えバルブ３５を制御し、排
気管３１に送られる。

【００５７】排気管３１に送られたオゾン化空気は、排
オゾン処理装置１３でオゾン化空気に含まれるオゾン成
分を無害化した後、大気中等へ排気される。

【００５８】このように、一旦、被処理水に注入された
オゾン成分を、再び、被処理水に注入することにより、
オゾンの有効利用が図られ、オゾン発生器７におけるオ
ゾン生成量、および、排オゾン処理装置１３におけるオ
ゾン成分の処理量を減少することができる。

【００５９】次に、本実施の形態の変形例について説明
する。図７は、本実施の形態の促進酸化処理装置１の一
変形例を示す構成図である。

【００６０】図７に示すように、処理槽２に接続された
オゾン戻し管３０を、紫外線照射領域２２の散気装置兼
案内板１０と、オゾン注入領域２１のオゾン散気装置３
と、に接続してもよい。他の構成は図１に示す実施の形
態と略同一である。

【００６１】図７において、図１に示す実施の形態と同
一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略する。

【００６２】図７に示す本変形例では、処理槽２のオゾ
ン注入領域２１、紫外線照射領域２２、および反応領域
２３の各領域の被処理水から発生する排オゾンを含むオ
ゾン化空気は、各領域の気相部２５からオゾン戻し管３
０を経て、紫外線照射領域２２の散気装置兼案内板１０
と、オゾン注入領域２１のオゾン散気装置３とに送られ
る。

【００６３】このように、処理槽２の各領域で発生する
排オゾンを含むオゾン化空気の一部乃至全部を、オゾン
散気装置３に送って、オゾン注入領域２１の被処理水に
注入する場合も、被処理水に一旦注入されたオゾンを、
再び、被処理水に注入することとなる。これにより、オ
ゾンの有効利用が図られ、オゾン発生器７におけるオゾ
ン生成量、および排オゾン処理装置１３におけるオゾン
成分の処理量を減少することができる。

【００６４】以上説明したように、本実施の形態によれ
ば、被処理水は、ＯＨラジカルによる促進酸化処理がさ
れる前に、オゾン散気装置３および散気装置兼案内板１
０から注入されたオゾンにより分解処理されるので、Ｏ
Ｈラジカルによる促進酸化処理を効率良く行うことがで
き、被処理水の浄化処理は効果的に行われる。また、被
処理水にオゾンが注入されるオゾン注入領域２１と、紫
外線が照射される紫外線照射領域２２と、ＯＨラジカル
による酸化反応が促進される反応領域２３と、は一体化
構造を有するので、促進酸化処理装置１を非常にコンパ
クトにして省スペース化を図ることができる。また、処
理槽２の各領域の被処理水から発生する排オゾンは、オ
ゾン戻し管３０および散気装置兼案内板１０を介して再
び被処理水に注入される。これにより、オゾン発生器７
におけるオゾン生成量および排オゾン処理装置１３にお
けるオゾン成分の処理量を減少させて、オゾンの有効利
用を図るとともにオゾン生成コストおよびオゾン処理コ
ストを低減させることができる。また、排オゾン処理装
置１３で処理すべきオゾン化空気のオゾン濃度を低減さ
せることができるので、排オゾン処理装置１３を小型化
して促進酸化処理装置１全体の省スペース化を図ること
ができ、さらに排オゾン処理装置１３の電力消費量を低
減することができる。

【００６５】第２の実施の形態 図２は本発明の第２の実施の形態を示す図である。ここ
で図２は、供給された被処理水を促進酸化処理する促進
酸化処理装置を示す構成図である。

【００６６】図２に示す第２の実施の形態において、促
進酸化処理装置１のオゾン注入領域２１と、紫外線照射
領域２２と、反応領域２３とは、同軸円筒状に配置され
ている。なお、外周側から中心部に向けて、オゾン注入
領域２１と、反応領域２３と、紫外線照射領域２２とが
順次配置されている。また、排水戻し管３２のうち流量
計１５と処理槽２との間に濁度計１７（供給水濁度検出
手段）が取り付けられている。この濁度計１７は、排水
戻し管３２を経てオゾン注入領域２１に供給される被処
理水の光透過率を測定して、被処理水の濁度を検出する
ようになっている。また、濁度計１７とランプ整合機８
とに紫外線ランプ電源１８（第１紫外線ランプ電源）が
接続されており、この紫外線ランプ電源１８は、濁度計
１７からの被処理水の濁度検出結果に基づいてランプ整
合機８を制御して紫外線照射装置４の紫外線照射強度を
調整するようになっている。なお、紫外線照射領域２２
の上流から下流の間の中流域を囲む第２仕切板６は平坦
状となっており、バッフル板は設けられていない。他の
構成は図１に示す第１の実施の形態と略同一である。

【００６７】図２において、図１に示す第１の実施の形
態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略す
る。

【００６８】被処理水は、被処理水供給管３４および排
水戻し管３２を経て、処理槽２の外周側に配置されたオ
ゾン注入領域２１に送られる。

【００６９】被処理水は、オゾン注入領域２１において
オゾン散気装置３によりオゾンが注入され、第１仕切板
５の開放された下部を通って、処理槽２の中心部に配置
された紫外線照射領域２２へ送られる。なお、被処理水
は、注入されたオゾンを取り込んで、この取り込んだオ
ゾンにより被処理水中に含まれる有機物が低分子有機物
に分解される。

【００７０】紫外線照射領域２２へ送られた被処理水
は、散気装置兼案内板１０によりオゾンが注入され、紫
外線照射装置４により紫外線が照射されて、第２仕切板
６の開放された上部を通って、オゾン注入領域２１と紫
外線照射領域２２との間に配置された反応領域２３に送
られる。なお、被処理水に紫外線が照射されて、被処理
水に取り込まれたオゾンからＯＨラジカルが生成され
る。

【００７１】反応領域２３に送られた被処理水は、ＯＨ
ラジカルにより時間をかけて促進酸化処理されて、その
後、排水戻し管３２へ流出する。

【００７２】このように、オゾン注入領域２１と、紫外
線照射領域２２と、反応領域２３とを同軸円筒状に配置
した場合であっても、被処理水は、各領域で適切な処理
が施されて、促進酸化処理される。また、オゾン注入領
域２１と、紫外線照射領域２２と、反応領域２３とを同
軸円筒状に配置した場合には、各領域をコンパクトに配
置して促進酸化処理装置１を省スペース化することがで
きるとともに、各領域を有する処理槽２の構造を強化す
ることができる。

【００７３】また、排水戻し管３２を流れる被処理水
は、濁度計１７により光透過率が測定されて濁度が検出
された後に、処理槽２のオゾン注入領域２１に送られ
る。

【００７４】オゾン注入領域２１に送られる被処理水の
濁度を検出した濁度計１７は、この濁度検出結果を紫外
線ランプ電源１８へ送る。

【００７５】紫外線ランプ電源１８は、濁度計１７から
送られてきた濁度検出結果に基づいてランプ整合機８を
制御して紫外線照射装置４の紫外線照射強度を調整す
る。

【００７６】すなわち、被処理水の濁度が増加すると被
処理水の紫外線透過率は低下するが、このような被処理
水に紫外線を照射しても、オゾンに紫外線が照射される
ことにより生成されるＯＨラジカルを効率良く生成する
ことは難しい。他方、被処理水の濁度が低下すると、被
処理水の紫外線透過率は増加する。このような被処理水
に紫外線を照射する場合には、必要以上の紫外線照度の
紫外線が照射されることがあり、不経済である。

【００７７】従って、被処理水の濁度に応じた紫外線を
照射するために、紫外線ランプ電源１８は、濁度計１７
から送られてきた被処理水の濁度検出結果に基づいてラ
ンプ整合機８を制御して、紫外線照射装置４の紫外線照
射強度を調整する。これにより、被処理水の濁度に応じ
てオゾンからＯＨラジカルを効率良く生成することがで
きる。

【００７８】以上説明したように、本実施の形態によれ
ば、オゾン注入領域２１と、紫外線照射領域２２と、反
応領域２３とを同軸円筒状に配置することにより、促進
酸化処理装置１の省スペース化を図るとともに処理槽２
の構造を強固なものとすることができる。また、濁度計
１７により検出される被処理水の濁度に応じて、紫外線
ランプ電源１８は、ランプ整合機８を制御して紫外線照
射装置４の紫外線照射強度を調整することにより、被処
理水に適切な紫外線を照射して、オゾンからＯＨラジカ
ルを効率良く生成することができ、被処理水の浄化処理
を効果的に行うとともに、被処理水に紫外線を照射する
際の消費電力を低減させて、促進酸化処理装置１全体の
エネルギー効率を上げることができる。

【００７９】第３の実施の形態 図３は本発明の第３の実施の形態を示す図である。ここ
で図３は、供給された被処理水を促進酸化処理する促進
酸化処理装置を示す構成図である。

【００８０】図３に示す第３の実施の形態において、促
進酸化処理装置１のバッフル板９は、オゾン戻し管３０
に接続されており、バッフル板９はオゾン戻し管３０か
らのオゾン化空気を被処理水中に注入することができ
る。他の構成は図１に示す第１の実施の形態と略同一で
ある。

【００８１】図３において、図１に示す第１の実施の形
態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略す
る。

【００８２】促進酸化処理装置１に供給される被処理水
は、被処理水供給管３４と、排水戻し管３２と、オゾン
注入領域２１とを経て、紫外線照射領域２２に送られ
る。

【００８３】紫外線照射領域２２に送られた被処理水
は、紫外線照射装置４により紫外線が照射されて、紫外
線照射領域２２から反応領域２３へ送られる。このと
き、バッフル板９は、被処理水が紫外線照射領域２２で
滞留することを防ぐとともに、オゾン戻し管３０を経て
送られてくるオゾン化空気を紫外線照射領域２２の被処
理水に注入する。これにより、被処理水は、さらに、オ
ゾンを取り込むこととなる。従って、このような被処理
水に取り込まれたオゾンは、紫外線が照射されることに
より、より効率的にＯＨラジカルを生成する。

【００８４】以上説明したように、本実施の形態によれ
ば、被処理水はバッフル板９から散気されるオゾンをさ
らに取り込んで、被処理水に含まれるオゾンから、より
効率的にＯＨラジカルを生成することができる。これに
より、ＯＨラジカルによる被処理水の促進酸化処理をさ
らに促進することができるので、促進酸化処理装置１に
よる被処理水の浄化処理性能を向上させることができ
る。このように、オゾンの有効利用を図るとともに、被
処理水の浄化処理性能を向上させることにより、オゾン
発生器７におけるオゾン生成量および排オゾン処理装置
１３におけるオゾン処理量を減少させてることができ
る。また、排オゾン処理装置１３で処理すべきオゾン化
空気のオゾン濃度を低減させることができる。これによ
り、オゾン生成コストおよびオゾン処理コストを低減さ
せることができる。

【００８５】第４の実施の形態 図４は本発明の第４の実施の形態を示す図である。ここ
で図４は、供給された被処理水を促進酸化処理する促進
酸化処理装置を示す構成図である。

【００８６】図４に示す第４の実施の形態において、促
進酸化処理装置１は、排水戻し管３２のうち流量計１５
と処理槽２との間に濁度計１７（供給水濁度検出手段）
が取り付けられている。この濁度計１７は、排水戻し管
３２を経てオゾン注入領域２１に供給される被処理水の
光透過率を測定して、被処理水の濁度を検出するように
なっている。また、濁度計１７とランプ整合機８とに紫
外線ランプ電源１８（第１紫外線ランプ電源）が接続さ
れており、この紫外線ランプ電源１８は、濁度計１７か
らの被処理水の濁度検出結果に基づいてランプ整合機８
を制御して紫外線照射装置４の紫外線照射強度を調整す
るようになっている。他の構成は図１に示す第１の実施
の形態と略同一である。

【００８７】図４において、図１に示す第１の実施の形
態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略す
る。

【００８８】排水戻し管３２を流れる被処理水は、濁度
計１７により光透過率が測定されて濁度が検出された後
に、処理槽２のオゾン注入領域２１に送られる。

【００８９】オゾン注入領域２１に送られる被処理水の
濁度を検出した濁度計１７は、この濁度検出結果を紫外
線ランプ電源１８へ送る。

【００９０】紫外線ランプ電源１８は、濁度計１７から
送られてきた濁度検出結果に基づいてランプ整合機８を
制御して紫外線照射装置４の紫外線照射強度を調整す
る。

【００９１】すなわち、被処理水の濁度が増加すると被
処理水の紫外線透過率は低下するが、このような被処理
水に紫外線を照射しても、オゾンに紫外線が照射される
ことにより生成されるＯＨラジカルを効率良く生成する
ことは難しい。他方、被処理水の濁度が低下すると、被
処理水の紫外線透過率は増加する。このような被処理水
に紫外線を照射する場合には、必要以上の紫外線照度の
紫外線が照射されることがあり、不経済である。

【００９２】従って、被処理水の濁度に応じた紫外線を
照射するために、紫外線ランプ電源１８は、濁度計１７
から送られてきた被処理水の濁度検出結果に基づいてラ
ンプ整合機８を制御して、紫外線照射装置４の紫外線照
射強度を調整する。これにより、被処理水の濁度に応じ
てオゾンからＯＨラジカルを効率良く生成することがで
きる。

【００９３】以上説明したように、本実施の形態によれ
ば、濁度計１７により検出される被処理水の濁度に応じ
て、紫外線ランプ電源１８は、ランプ整合機８を制御し
て紫外線照射装置４の紫外線照射強度を調整することに
より、被処理水に適切な紫外線を照射して、オゾンから
ＯＨラジカルを効率良く生成することができ、被処理水
の浄化処理を効果的に行うとともに、被処理水に紫外線
を照射する際の消費電力を低減させて、促進酸化処理装
置１全体のエネルギー効率を上げることができる。

【００９４】第５の実施の形態 図５は本発明の第５の実施の形態を示す図である。ここ
で図５は、供給された被処理水を促進酸化処理する促進
酸化処理装置を示す構成図である。

【００９５】図５に示す第５の実施の形態において、促
進酸化処理装置１の濁度計１７は、紫外線ランプ電源１
８に接続されるとともに、オゾン発生量制御装置１９
（第１オゾン発生量制御装置）を介してオゾン発生器７
に接続されている。オゾン発生量制御装置１９は濁度計
１７から送られてくる濁度検出結果に基づいてオゾン発
生器７を制御してオゾン散気装置３のオゾン注入量を調
整するようになっている。他の構成は図４に示す第４の
実施の形態と略同一である。

【００９６】図５において、図４に示す第４の実施の形
態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略す
る。

【００９７】排水戻し管３２を流れる被処理水は、濁度
計１７により濁度が検出された後に、オゾン注入領域２
１に送られる。

【００９８】オゾン注入領域２１に送られる被処理水の
濁度を検出した濁度計１７は、この濁度検出結果を紫外
線ランプ電源１８へ送るとともに、オゾン発生量制御装
置１９にも送る。

【００９９】紫外線ランプ電源１８は、濁度計１７から
送られてきた検出結果に基づき被処理水の濁度に応じて
ランプ整合機８を制御して紫外線照射装置４の紫外線照
射強度を調整する。

【０１００】他方、オゾン発生量制御装置１９は、濁度
計１７から送られてきた濁度検出結果に基づき被処理水
の濁度に応じて、オゾン発生器７を制御してオゾン散気
装置３のオゾン注入量を調整する。すなわち、被処理水
の濁度が増加している場合には、被処理水の更なる浄化
処理が必要とされるので、被処理水へのオゾンの注入量
を増加させて、オゾンおよびオゾンから生成されるＯＨ
ラジカルによる、被処理水中の有機成分の分解効能を向
上させることが望ましい。また、被処理水の濁度が低下
している場合には、必要以上のオゾンが注入されること
を防いで、被処理水の浄化処理のためのオゾンを効率的
に用いることが望ましい。そこで、被処理水の濁度に応
じたオゾン量を注入するために、オゾン発生量制御装置
１９は、濁度計１７から送られてきた被処理水の濁度検
出結果に基づいてオゾン発生器７を制御する。これによ
り、適切な量のオゾンがオゾン発生器７からオゾン散気
装置３に送られ、オゾン散気装置３により被処理水に注
入されて、被処理水はオゾンおよびＯＨラジカルにより
効率的に浄化処理される。

【０１０１】以上説明したように、本実施の形態によれ
ば、濁度計１７により検出される被処理水の濁度に応じ
て、紫外線ランプ電源１８はランプ整合機８を制御して
紫外線照射装置４の紫外線照射強度を調整するととも
に、オゾン発生量制御装置１９によりオゾン発生器７を
制御してオゾン散気装置３のオゾン注入量を調整する。
これにより、被処理水の浄化処理を効率良く行うことが
できる。特に、オゾン発生器７が適量のオゾンを発生さ
せることにより、オゾン発生器７によるオゾン発生量を
低減させるとともに、排オゾン処理装置１３によるオゾ
ン処理量も低減させることができ、被処理水の浄化処理
に伴う電力消費量を低減させることができる。また、オ
ゾンの有効利用が図られて、促進酸化処理装置１全体の
エネルギー効率を上げることができる。

【０１０２】第６の実施の形態 図６は本発明の第６の実施の形態を示す図である。ここ
で図６は、供給された被処理水を促進酸化処理する促進
酸化処理装置を示す構成図である。

【０１０３】図６に示す第６の実施の形態において、オ
ゾン戻し管３０に取り付けられた流量計１５と供給ポン
プ１６とは、紫外線ランプ電源１８（第２紫外線ランプ
電源）に接続されるとともに、オゾン発生量制御装置１
９（第２オゾン発生量制御装置）を介してオゾン発生器
７に接続されている。紫外線ランプ電源１８は、流量計
１５および供給ポンプ１６からの流量検出信号に基づい
てランプ整合機８を制御して紫外線照射装置４の紫外線
照射強度を調整する。また、オゾン発生量制御装置１９
は、流量計１５および供給ポンプ１６からの流量検出信
号に基づいてオゾン発生器７を制御してオゾン散気装置
３によるオゾン注入量を調整する。他の構成は図１に示
す第１の実施の形態と略同一である。

【０１０４】図６において、図１に示す第１の実施の形
態と同一部分には同一符号を付して詳細な説明は省略す
る。

【０１０５】排水戻し管３２を流れる被処理水は、流量
計１５により流量が検出された後に、オゾン注入領域２
１に送られる。

【０１０６】オゾン注入領域２１に送られる被処理水の
流量を検出した流量計１５は、この流量検出結果を紫外
線ランプ電源１８へ送るとともに、オゾン発生量制御装
置１９にも送る。

【０１０７】また、被処理水供給管３４を流れる被処理
水の被処理水供給量が、供給ポンプ１６から紫外線ラン
プ電源１８およびオゾン発生器７へ送られる。

【０１０８】オゾン発生量制御装置１９は、流量計１５
から送られてきた流量検出結果および供給ポンプ１６か
ら送られてきた被処理水供給量に基づき、オゾン注入領
域２１に流入する被処理水の流量に応じてオゾン発生器
７を制御してオゾン散気装置３のオゾン注入量を調整す
る。すなわち、オゾン注入領域２１に流入する被処理水
の流量が増加すると、浄化処理を必要とする被処理水の
量が増え、より多量のオゾンが必要とされる。他方、オ
ゾン注入領域２１に流入する被処理水の流量が低下する
と、浄化処理を必要とする被処理水の量が減り、より少
量のオゾンで足りる。

【０１０９】また、紫外線ランプ電源１８は、流量計１
５から送られてきた流量検出結果に基づきオゾン注入領
域２１に流入する被処理水の流量に応じてランプ整合機
８を制御して紫外線照射量を調整する。すなわち、オゾ
ン注入領域２１に流入する被処理水の流量が増加する
と、浄化処理を必要とする被処理水の量が増え、より多
量のＯＨラジカルが必要とされるので、多量の紫外線照
射量が必要とされる。他方、オゾン注入領域２１に流入
する被処理水の流量が低下すると、浄化処理を必要とす
る被処理水の量が減り、より少量のＯＨラジカルで足り
るので、紫外線照射量は少量で足りる。

【０１１０】従って、オゾン注入領域２１に流入する被
処理水の流量に応じたオゾン注入量および紫外線照射量
を確保するために、オゾン発生量制御装置１９は、流量
計１５から送られてきた被処理水の流量検出結果および
供給ポンプ１６から送られてきた被処理水供給量に基づ
いて、オゾン発生器７を制御する。また、紫外線ランプ
電源１８は、流量計１５から送られてきた被処理水の流
量検出結果および供給ポンプ１６から送られてきた被処
理水供給量に基づいて、ランプ整合機８を制御して、紫
外線照射装置４の紫外線照射強度を調整する。これによ
り、適切な量のオゾンが被処理水に注入されるととも
に、適切な紫外線照射量の紫外線を被処理水に照射する
ことができ、被処理水は効率良く浄化処理される。

【０１１１】以上説明したように、本実施の形態によれ
ば、オゾン注入領域２１に流入する被処理水の流量およ
び促進酸化処理装置１に新たに供給される被処理水の供
給量に応じて、オゾン発生量制御装置１９はオゾン発生
器７を制御してオゾン散気装置３のオゾン注入量を調整
し、また紫外線ランプ電源１８はランプ整合機８を制御
して紫外線照射装置４の紫外線照射強度を調整する。こ
れにより、促進酸化処理装置１に供給される被処理水の
供給量や処理槽２に送られる被処理水の流入量に変動が
あっても、常に一定の処理効率で被処理水の浄化処理を
行うことができるとともに、被処理水の浄化処理に伴う
電力消費量を低減させることができる。このようにし
て、オゾンの有効利用が図られて、促進酸化処理装置１
全体のエネルギー効率を上げることができる。

【０１１２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被処理水にオゾンが注入されるオゾン注入領域と、被処
理水に紫外線を照射する紫外線照射領域と、被処理水の
促進酸化処理を促進する反応領域と、を有する処理槽に
おいて、被処理水は浄化処理される。従って、被処理水
への適切なオゾン注入量および紫外線照射量が確保され
て、被処理水中の有機物をオゾンおよびＯＨラジカルに
より適切に分解処理することができ、さらに促進酸化処
理装置自体の小型化を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による促進酸化処理装置の第１の実施の
形態を示す構成図

【図２】本発明による促進酸化処理装置の第２の実施の
形態を示す構成図

【図３】本発明による促進酸化処理装置の第３の実施の
形態を示す構成図

【図４】本発明による促進酸化処理装置の第４の実施の
形態を示す構成図

【図５】本発明による促進酸化処理装置の第５の実施の
形態を示す構成図

【図６】本発明による促進酸化処理装置の第６の実施の
形態を示す構成図

【図７】本発明による促進酸化処理装置の第１の実施の
形態の一変形例を示す構成図

【図８】従来の促進酸化処理装置を示す構成図

【符号の説明】 １ 促進酸化処理装置 ２ 処理槽 ３ オゾン散気装置 ４ 紫外線照射装置 ５ 第１仕切板 ６ 第２仕切板 ７ オゾン発生器 ８ ランプ整合機 ９ バッフル板 １０ 散気装置兼案内板 １１ オゾンガス濃度計 １２ 排オゾンブロア １３ 排オゾン処理装置 １４ 排水ポンプ １５ 流量計 １６ 供給ポンプ １７ 濁度計 １８ 紫外線ランプ電源 １９ オゾン発生量制御装置 ２１ オゾン注入領域 ２２ 紫外線照射領域 ２３ 反応領域 ２４ 被処理水部 ２５ 気相部 ３０ オゾン戻し管 ３１ 排気管 ３２ 排水戻し管 ３３ 排水管 ３４ 被処理水供給管 ３５ 切り替えバルブ ３５ａ オゾン返送制御装置 ３６ 循環調整バルブ ３７ 排水バルブ ３８ 給水バルブ ４０ オゾン注入槽 ４１ 紫外線照射槽 ４２ 反応槽

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大 橋 幸 夫 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中事業所内 (72)発明者 久 保 貴 恵 東京都港区芝浦一丁目１番１号 株式会社 東芝本社事務所内 (72)発明者 田 口 健 二 東京都港区芝浦一丁目１番１号 株式会社 東芝本社事務所内 (72)発明者 居 安 巨太郎 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中事業所内 Ｆターム(参考） 4D037 AA01 AB03 AB04 AB05 AB14 BA18 BB01 BB02 BB04 BB05 CA12 4D050 AA02 AB03 AB04 AB06 AB19 BB02 BC09 BD02 BD03 BD04 BD08

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】オゾン注入領域と、オゾン注入領域の下流
   側に配置された紫外線照射領域と、紫外線照射領域の下
   流側に配置された反応領域と、を有する処理槽と、 処理槽に接続され、処理槽のオゾン注入領域に被処理水
   を供給する供給管と、を備え、 処理槽のオゾン注入領域には、被処理水にオゾンを注入
   するオゾン散気装置が設けられ、 処理槽の紫外線照射領域には、被処理水に紫外線を照射
   する紫外線照射装置が設けらたことを特徴とする促進酸
   化処理装置。
2. 【請求項２】オゾン注入領域と紫外線照射領域とは、上
   部あるいは下部の一部が開放されている第１仕切板によ
   り仕切られ、 紫外線照射領域と反応領域とは、上部あるいは下部のう
   ち第１仕切板の開放部と逆側の一部が開放されている第
   ２仕切板により仕切られていることを特徴とする請求項
   １記載の促進酸化処理装置。
3. 【請求項３】オゾン注入領域と、紫外線照射領域と、反
   応領域とは、同軸円筒状に配置されていることを特徴す
   る請求項１記載の促進酸化処理装置。
4. 【請求項４】処理槽には、処理槽に供給される被処理水
   の濁度を検出する供給水濁度検出手段と、紫外線照射領
   域の紫外線照射装置の紫外線照射強度を調整するランプ
   整合機とが設置され、 供給水濁度検出手段に、供給水濁度検出手段からの検出
   結果に基づいてランプ整合機を制御して紫外線照射装置
   の紫外線照射強度を調整する第１紫外線ランプ電源が接
   続されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれ
   かに記載の促進酸化処理装置。
5. 【請求項５】処理槽には、処理槽に供給される被処理水
   の濁度を検出する供給水濁度検出手段と、オゾン注入領
   域のオゾン散気装置へオゾンを送るオゾン発生器とが設
   置され、 供給水濁度検出手段に、供給水濁度検出手段からの検出
   結果に基づいてオゾン発生器を制御してオゾン散気装置
   のオゾン注入量を調整する第１オゾン発生量制御装置が
   接続されていることを特徴とする請求項１乃至３のいず
   れかに記載の促進酸化処理装置。
6. 【請求項６】供給水濁度検出手段は、被処理水の光透過
   率を測定して、被処理水の濁度を検出することを特徴と
   する請求項４または５のいずれかに記載の促進酸化処理
   装置。
7. 【請求項７】処理槽には、処理槽に供給される被処理水
   の供給量を検出する流量計と、紫外線照射領域の紫外線
   照射装置の紫外線照射強度を調整するランプ整合機とが
   設置され、 流量計に、流量計からの検出結果に基づいてランプ整合
   機を制御して紫外線照射装置の紫外線照射強度を調整す
   る第２紫外線ランプ電源が接続されていることを特徴と
   する請求項１乃至３のいずれかに記載の促進酸化処理装
   置。
8. 【請求項８】処理槽には、処理槽に供給される被処理水
   の供給量を検出する流量計と、オゾン注入領域のオゾン
   散気装置へオゾンを送るオゾン発生器とが設置され、 流量計に、流量計からの検出結果に基づいてオゾン発生
   器を制御してオゾン散気装置のオゾン注入量を調整する
   第２オゾン発生量制御装置が設けられたことを特徴とす
   る請求項１乃至３のいずれかに記載の促進酸化処理装
   置。
9. 【請求項９】紫外線照射領域に、紫外線照射領域で被処
   理水が滞留することを防ぐとともにオゾンを散気するバ
   ッフル板を設けたことを特徴とする請求項１乃至８のい
   ずれかに記載の促進酸化処理装置。
10. 【請求項１０】処理槽には、オゾン注入領域、紫外線照
    射領域、および反応領域の各気相部とオゾン散気装置と
    を連結し、各気相部のオゾン化空気をオゾン散気装置に
    戻すオゾン戻し管が設置され、 オゾン戻し管には、オゾン戻し管を流れるオゾン化空気
    のオゾン濃度を検出するオゾン濃度検出手段と、オゾン
    戻し管を介してオゾン散気装置に送られるオゾン化空気
    の送り量を調整可能な切り替えバルブと、が取り付けら
    れ、 オゾン濃度検出手段に、オゾン濃度検出手段の検出値に
    基づいて切り替えバルブを制御してオゾン戻し管を介し
    てオゾン散気装置に送られるオゾン化空気の送り量を調
    整するオゾン返送制御装置が設けられたことを特徴とす
    る請求項１乃至９のいずれかに記載の促進酸化処理装
    置。