JP2002361168A - 薄膜乾燥方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 乾燥時の基材の反りを防止して薄膜の乾燥ム
ラを防ぐ乾燥方法を提供する。 【解決手段】 例えば、上面に薄膜材料２が塗布された
基材１上に、基材１の縁周部に対応した形状の押さえ治
具５を載置し、この押さえ治具５で基材１の縁周部を押
圧しながらホットプレート３上に載置して、基材１の下
面を加熱する。押さえ治具５での押圧により基材１の反
りを防ぐことができる。押さえ治具５は、例えば高伝熱
性を有する金属材料を使用して形成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、基材の上面に塗
布された薄膜材料を乾燥させる薄膜乾燥方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、有機ＥＬ表示パネルの発光層を
製膜するような場合、ガラス板等の所定の基材上に、高
分子有機材料を使用して薄膜を形成することが行われて
いる。

【０００３】従来は、図４の如く、所定の薄膜形成装置
にて基材１上に薄膜材料２を塗布した後、薄膜材料２を
塗布した面を上向けにした状態で、これを直ちに予め温
めておいたホットプレート３上に移動させ、乾燥を行っ
ていた。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】従来においては、例え
ば３００ｍｍ×４００ｍｍの大寸法の基材１上に対し
て、薄膜材料２を塗布した直後にホットプレート３上で
乾燥作業を行うと、基材１の薄膜材料２を塗布した面
（上面）に比べて、ホットプレート３に面した面（下
面）の温度が急激に増大して膨張してしまうことから、
基材１の縁周部が瞬時に上側に反ってしまうことがあ
る。そうすると、反ってしまった基材１の縁周部がホッ
トプレート３から離間してしまうため、基材１の全面を
均一に加熱できなくなってしまう。したがって、基材１
の一部（例えば縁周部）の乾きが不十分になってしまう
虞があり、基材１の反りによって薄膜材料２が流れてし
まう等の原因により、膜厚が不均一となって最終的に均
一発光が得られなくなる虞があった。

【０００５】また、完全に薄膜材料２が乾ききる迄に時
間が掛かるという問題もあった。

【０００６】そこで、この発明の課題は、乾燥時の基材
の反りを防止して薄膜の乾燥ムラを防止し得るととも
に、乾燥時間が短くて済む薄膜乾燥方法を提供すること
にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく、
請求項１に記載の発明は、基材の上面に塗布された薄膜
材料を乾燥させる薄膜乾燥方法であって、前記薄膜材料
が塗布された前記基材の上面に、当該基材の縁周部に対
応して形成された押さえ治具を載置する工程と、前記押
さえ治具で前記基材の縁周部を下方に押圧した状態で、
前記基材をホットプレート上に載置し、当該ホットプレ
ートで前記基材の下面を加熱する工程とを備えるもので
ある。

【０００８】請求項２に記載の発明は、基材の上面の複
数箇所に分離して塗布された薄膜材料を乾燥させる薄膜
乾燥方法であって、前記薄膜材料が塗布された前記基材
の上面に、前記薄膜材料が分離して塗布された複数箇所
同士の間隙部分と前記基材の縁周部とに対応して形成さ
れた押さえ治具を載置する工程と、前記押さえ治具で前
記基材の縁周部と前記間隙部分を下方に押圧した状態
で、前記基材をホットプレート上に載置し、当該ホット
プレートで前記基材の下面を加熱する工程とを備えるも
のである。

【０００９】請求項３に記載の発明は、請求項１または
請求項２に記載の薄膜乾燥方法であって、前記押さえ治
具が、高伝熱性を有する金属材料を使用して形成される
ものである。

【００１０】請求項４に記載の発明は、基材の上面に塗
布された薄膜材料を乾燥させる薄膜乾燥方法であって、
微細空孔が多数形成された吸着プレートを、ホットプレ
ートで所定の設定温度に加熱する工程と、前記吸着プレ
ート上に前記薄膜材料を塗布した前記基材を載置し、所
定の吸引機により、前記吸着プレートの微細空孔から吸
気して前記基材を前記吸着プレートの主面に吸着しなが
ら、前記ホットプレートで前記基材を加熱する工程とを
備えるものである。

【００１１】

【発明の実施の形態】｛実施の形態１｝図１はこの発明
の実施の形態１に係る薄膜乾燥方法を示す図である。
尚、この実施の形態では、従来の例と同様の機能を有す
る要素については同一符号を付している。

【００１２】図１の如く、この薄膜乾燥方法では、ガラ
ス基板等の基材１の上面に高分子有機材料からなる薄膜
材料２を塗布した後、押さえ治具５を基材１の上面（薄
膜材料２の塗布面）の上に乗せる。

【００１３】この押さえ治具５は、アルミニウム板等の
金属板が上面視略ロ字型に折曲形成されてなるもので、
押さえ治具５の長径及び短径が、基材１の長径及び短径
よりもそれぞれ僅かに小さく設定されており、押さえ治
具５を基材１側に押さえつけることで、基材１の縁周部
の全てに対して同時に押圧できる形状となっている。

【００１４】かかる状態で、基材１を押さえ治具５ご
と、予め温めておいたホットプレート３上に移動させ
る。そして、基材１の下面がホットプレート３上に載置
された瞬間に、直ちに手やロボットアームを用いて、押
さえ治具５を下方に押さえつける。かかる状態を維持し
たまま、ホットプレート３により基材１全体を加熱し、
基材１の上面に塗布された薄膜材料２を乾燥させる。

【００１５】このように、基材１の下面がホットプレー
ト３上に載置された瞬間に、押さえ治具５を下方に押さ
えつけながら、基材１上の薄膜材料２を乾燥するので、
従来において、基材１をホットプレート３上に乗せた瞬
間に発生していた基材１の縁周部の反りの発生を防止で
きる。したがって、ホットプレート３によって基材１を
全面に渡って均一に加熱でき、局部的に液状の薄膜材料
２が流れた結果としての液貯まりを防止することで、全
体的な乾燥時間を短縮できる。また、乾ききらなかった
液状の薄膜材料２が流れるといった事態も防止でき、薄
膜の乾燥ムラを防止して膜圧の均一な薄膜を形成するこ
とができる。

【００１６】特に、押さえ治具５が高伝熱性を有する金
属製とされているので、ホットプレート３で基材１の下
面を加熱するだけでなく、押さえ治具５で基材１の縁周
部を上面から加熱することもでき、上面の薄膜材料２の
乾燥速度を増大することができる。

【００１７】｛実施の形態２｝図２はこの発明の実施の
形態２に係る薄膜乾燥方法を示す図である。なお、図２
では従来の例及び実施の形態１と同様の機能を有する要
素については同一符号を付している。

【００１８】図２の如く、この実施の形態の薄膜乾燥方
法は、基材１の上面の全面に薄膜材料２塗布するのでは
なく、マスクを用いて複数の薄膜形成領域１１ａ〜１１
ｃにそれぞれ局部的に薄膜材料２を塗布した場合におい
て、基材１の縁周部だけでなく、複数の薄膜形成領域１
１ａ〜１１ｃ同士の間の間隙部分をも同時に同一の押さ
え治具５ａで押圧することで、基材１の全体的な反りを
防止するものである。

【００１９】ここで使用される押さえ治具５ａは、図２
のように、基材１の縁周部に対応する平面視略ロ字型の
枠部１２と、この枠部１２の内周において薄膜形成領域
１１ａ〜１１ｃ同士の間の間隙部分に対応するよう形成
された中間部１３ａ，１３ｂとからなる。枠部１２の長
径及び短径は、基材１の長径及び短径よりもそれぞれ僅
かに小さく設定されており、押さえ治具５を基材１側に
押さえつけることで、枠部１２によって基材１の縁周部
の全てを、中間部１３ａ，１３ｂによって薄膜形成領域
１１ａ〜１１ｃ同士の間の間隙部分を、それぞれ同時に
押圧できる形状となっている。

【００２０】また、押さえ治具５ａは、アルミニウム等
の伝熱性の高い金属が使用されており、押さえ治具５ａ
の枠部１２及び中間部１３ａ，１３ｂで基材１を加熱す
ることで、上面の薄膜材料２の乾燥速度を増大する機能
をも有している。

【００２１】この薄膜乾燥方法では、ガラス基板等の基
材１の上面に高分子有機材料からなる薄膜材料２を塗布
した後、押さえ治具５ａを基材１の上面（薄膜材料２の
塗布面）の上に乗せる。

【００２２】かかる状態で、基材１を押さえ治具５ａご
と、予め温めておいたホットプレート３上に移動させ
る。そして、基材１の下面がホットプレート３上に載置
された瞬間に、直ちに手やロボットアームを用いて、押
さえ治具５ａを下方に押さえつける。かかる状態を維持
したまま、ホットプレート３により基材１全体を加熱
し、基材１の上面に塗布された薄膜材料２を乾燥させ
る。

【００２３】このように、基材１の下面がホットプレー
ト３上に載置された瞬間に、押さえ治具５ａを下方に押
さえつけながら、基材１上の薄膜材料２を乾燥するの
で、基材１の反りの発生を全面に亘って防止できる。し
たがって、ホットプレート３によって基材１を全面に渡
って均一に加熱でき、局部的に液状の薄膜材料２が流れ
た結果としての液貯まりを防止することで、全体的な乾
燥時間を短縮できる。また、乾ききらなかった液状の薄
膜材料２が流れるといった事態も防止でき、薄膜の乾燥
ムラを防止して膜圧の均一な薄膜を形成することができ
る。

【００２４】また、押さえ治具５ａとして伝熱性の高い
金属を使用しているので、基材１は、押さえ治具５ａで
押さえつけている箇所の付近から乾燥が始まることか
ら、この実施の形態のように枠部１２だけでなく中間部
１３ａ，１３ｂでも基材１を加熱でき、乾燥完了までの
時間を短縮することが可能となる。

【００２５】｛実施の形態３｝図３はこの発明の実施の
形態３に係る薄膜乾燥方法を示す図である。なお、図３
では従来の例、実施の形態１及び実施の形態２と同様の
機能を有する要素については同一符号を付している。

【００２６】この実施の形態の薄膜乾燥方法は、微細空
孔２１が多数形成された吸着プレート２２を、前もって
設定温度までホットプレート３で加熱しておき、薄膜材
料２を塗布した後の基材１（図４参照）を吸着プレート
２２上に乗せる。

【００２７】ここで、吸着プレート２２は、アルミニウ
ム等の高伝熱性の金属材料が使用されて下面開放の略箱
形に形成されており、上面に多数の微細空孔２１が形成
され、吸着プレート２２の排気管２２ａから、真空ポン
プ等の吸引機により、吸着プレート２２内の空気を排気
することで、吸着プレート２２の微細空孔２１から上方
の空気が吸気される。

【００２８】この際、吸着プレート２２の上面（主面）
に載置された基材１（図４参照）は、その全面に亘って
微細空孔２１に吸引され、よって基材１が吸着プレート
２２の上面（主面）に全面に亘って吸着される。

【００２９】かかる状態で、ホットプレート３及び吸着
プレート２２により基材１を裏面から加熱する。

【００３０】このように、基材１の裏面全部を吸着プレ
ート２２の上面（主面）に吸着しながら加熱乾燥を行う
ので、基材１の反りの発生を防止できる。

【００３１】

【発明の効果】請求項１に記載の発明によれば、基材の
下面がホットプレート上に載置されると同時に、押さえ
治具を下方に押さえつけながら、基材上の薄膜材料を乾
燥するので、従来において、基材をホットプレート上に
乗せた瞬間に発生していた基材の縁周部の反りの発生を
防止できる。したがって、ホットプレートによって基材
を全面に渡って均一に加熱でき、よって薄膜の乾燥ムラ
を防止することができる。

【００３２】請求項２に記載の発明によれば、基材の下
面がホットプレート上に載置された瞬間に、押さえ治具
で基材のうちの薄膜材料が塗布されていない部分及び縁
周部を下方に押さえつけながら、基材上の薄膜材料を乾
燥するので、基材の反りの発生を全面に亘って防止でき
る。したがって、ホットプレートによって基材を全面に
渡って均一に加熱でき、よって薄膜の乾燥ムラを防止す
ることができる。

【００３３】請求項３に記載の発明によれば、押さえ治
具が高伝熱性を有する金属製とされているので、ホット
プレートで基材の下面を加熱するだけでなく、押さえ治
具で基材の縁周部等を上面から加熱することもでき、上
面の薄膜材料の乾燥速度を増大することができる。

【００３４】請求項４に記載の発明によれば、微細空孔
が多数形成された吸着プレートを、ホットプレートで所
定の設定温度に加熱し、吸着プレート上に薄膜材料を塗
布した基材を載置し、所定の吸引機により、吸着プレー
トの微細空孔から吸気して基材を吸着プレートの主面に
吸着しながら、ホットプレートで基材を加熱するので、
基材の反りの発生を防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の実施の形態１に係る薄膜乾燥方法を
示す模式図である。

【図２】この発明の実施の形態２に係る薄膜乾燥方法を
示す模式図である。

【図３】この発明の実施の形態３に係る薄膜乾燥方法を
示す模式図である。

【図４】従来の薄膜乾燥方法を示す図である。

【図５】基材が反った状態を示す斜視図である。

【符号の説明】

１ 基材 ２ 薄膜材料 ３ ホットプレート ５，５ａ 押さえ治具 １１ａ〜１１ｃ 薄膜形成領域 １２ 枠部 １３ａ〜１３ｂ 中間部 ２１ 微細空孔 ２２ 吸着プレート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松井 昭憲 愛知県名古屋市南区菊住１丁目７番10号 株式会社オートネットワーク技術研究所内 Ｆターム(参考） 3K007 DB03 FA01 FA03 3L113 AA01 AB05 AC01 AC49 AC64 AC74 AC76 BA34 DA10 DA24 4D075 BB05Z BB24Z BB36Z BB56Z CA47 DA06 DB13 DC24

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基材の上面に塗布された薄膜材料を乾燥
   させる薄膜乾燥方法であって、 前記薄膜材料が塗布された前記基材の上面に、当該基材
   の縁周部に対応して形成された押さえ治具を載置する工
   程と、 前記押さえ治具で前記基材の縁周部を下方に押圧した状
   態で、前記基材をホットプレート上に載置し、当該ホッ
   トプレートで前記基材の下面を加熱する工程とを備える
   薄膜乾燥方法。
2. 【請求項２】 基材の上面の複数箇所に分離して塗布さ
   れた薄膜材料を乾燥させる薄膜乾燥方法であって、 前記薄膜材料が塗布された前記基材と前記間隙部分の上
   面に、前記薄膜材料が分離して塗布された複数箇所同士
   の間隙部分と前記基材の縁周部とに対応して形成された
   押さえ治具を載置する工程と、 前記押さえ治具で前記基材の縁周部を下方に押圧した状
   態で、前記基材をホットプレート上に載置し、当該ホッ
   トプレートで前記基材の下面を加熱する工程とを備える
   薄膜乾燥方法。
3. 【請求項３】 請求項１または請求項２に記載の薄膜乾
   燥方法であって、 前記押さえ治具が、高伝熱性を有する金属材料を使用し
   て形成されることを特徴とする薄膜乾燥方法。
4. 【請求項４】 基材の上面に塗布された薄膜材料を乾燥
   させる薄膜乾燥方法であって、 微細空孔が多数形成された吸着プレートを、ホットプレ
   ートで所定の設定温度に加熱する工程と、 前記吸着プレート上に前記薄膜材料を塗布した前記基材
   を載置し、所定の吸引機により、前記吸着プレートの微
   細空孔から吸気して前記基材を前記吸着プレートの主面
   に吸着しながら、前記ホットプレートで前記基材を加熱
   する工程とを備える薄膜乾燥方法。