JP2002352774A - エキシマランプ - Google Patents
エキシマランプInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 エキシマランプの２重管バルブ接合部が、紫
外線により脆くなることを防止する。 【解決手段】 エキシマランプの有効発光部と接合部３
との間の内管１と外管２の管体に、紫外線を阻止する遮
光部４を設ける。遮光部４は、紫外線を吸収または散乱
する遮光材を分散させた不透明石英ガラスまたはバイコ
ールガラスである。ファイバー効果による接合部３への
紫外線の集中を抑制して、接合部３におけるマイクロク
ラックの発生を防止する。また、２重管バルブの有効発
光部以外の外面に、接着材などの硬化剤５を塗布して、
機械的強度を向上させて、マイクロクラックの広がりを
抑制する。
外線により脆くなることを防止する。 【解決手段】 エキシマランプの有効発光部と接合部３
との間の内管１と外管２の管体に、紫外線を阻止する遮
光部４を設ける。遮光部４は、紫外線を吸収または散乱
する遮光材を分散させた不透明石英ガラスまたはバイコ
ールガラスである。ファイバー効果による接合部３への
紫外線の集中を抑制して、接合部３におけるマイクロク
ラックの発生を防止する。また、２重管バルブの有効発
光部以外の外面に、接着材などの硬化剤５を塗布して、
機械的強度を向上させて、マイクロクラックの広がりを
抑制する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、エキシマランプに
関し、特に、内管と外管の接合部が紫外線で劣化するこ
とを防止したエキシマランプに関する。
関し、特に、内管と外管の接合部が紫外線で劣化するこ
とを防止したエキシマランプに関する。
【０００２】
【従来の技術】エキシマランプは、誘電体バリア放電に
よってエキシマ分子を形成し、エキシマ分子から放射さ
れる光を利用する誘電体バリア放電ランプである。エキ
シマランプから放射される紫外線を、光化学反応の紫外
線光源として利用する。
よってエキシマ分子を形成し、エキシマ分子から放射さ
れる光を利用する誘電体バリア放電ランプである。エキ
シマランプから放射される紫外線を、光化学反応の紫外
線光源として利用する。
【０００３】エキシマランプは、図６に示すように、内
管１と外管２が同軸的に配置された２重管構造をしてい
る。内管１の内表面に一方の電極が設けられ、外管２の
外表面に他方の電極が設けられる。内管１と外管２の間
に形成された放電空間６の中に、放電用希ガスが充填さ
れている。両電極間に高周波電圧を印加することによ
り、内管１と外管２の間の放電空間６でエキシマ放電が
開始され、エキシマ分子から光が放射される。エキシマ
ランプは、従来の低圧水銀ランプや高圧アークランプに
ない特徴をもっている。例えば、中心波長が172ｎｍと
いう短い波長の紫外光を放射する。
管１と外管２が同軸的に配置された２重管構造をしてい
る。内管１の内表面に一方の電極が設けられ、外管２の
外表面に他方の電極が設けられる。内管１と外管２の間
に形成された放電空間６の中に、放電用希ガスが充填さ
れている。両電極間に高周波電圧を印加することによ
り、内管１と外管２の間の放電空間６でエキシマ放電が
開始され、エキシマ分子から光が放射される。エキシマ
ランプは、従来の低圧水銀ランプや高圧アークランプに
ない特徴をもっている。例えば、中心波長が172ｎｍと
いう短い波長の紫外光を放射する。
【０００４】ところが、ランプの点灯中に放電用ガスが
リークすることがある。リークが生じたままランプの点
灯を続けると、いずれランプは不点灯となるので、ラン
プ寿命が短くなる。リークの原因となるのは、内管１と
外管２の接合部３に発生するクラックである。図７に示
すように、接合部３に最初にマイクロクラック７が発生
する。そのマイクロクラック７が成長してクラックとな
り、封入ガスがリークするようになる。さらにクラック
が成長すると、バルブ破損を惹き起こす。クラック発生
までの時間は、点滅点灯で約600〜700時間である。
リークすることがある。リークが生じたままランプの点
灯を続けると、いずれランプは不点灯となるので、ラン
プ寿命が短くなる。リークの原因となるのは、内管１と
外管２の接合部３に発生するクラックである。図７に示
すように、接合部３に最初にマイクロクラック７が発生
する。そのマイクロクラック７が成長してクラックとな
り、封入ガスがリークするようになる。さらにクラック
が成長すると、バルブ破損を惹き起こす。クラック発生
までの時間は、点滅点灯で約600〜700時間である。
【０００５】クラックの発生メカニズムは次のとおりで
ある。内管１と外管２を熔融等により接合してランプを
製造する際に、微小な加工歪みが接合部３に残留する。
誘電体バリア放電によって発生する高エネルギーの紫外
線は、ガラスの分子結合を切ってしまい、ガラスを劣化
させる。歪のある部分の分子結合が切れると、歪応力が
集中してさらに分子結合が切れやすくなり、やがてクラ
ックが発生する。
ある。内管１と外管２を熔融等により接合してランプを
製造する際に、微小な加工歪みが接合部３に残留する。
誘電体バリア放電によって発生する高エネルギーの紫外
線は、ガラスの分子結合を切ってしまい、ガラスを劣化
させる。歪のある部分の分子結合が切れると、歪応力が
集中してさらに分子結合が切れやすくなり、やがてクラ
ックが発生する。
【０００６】接合部が紫外線で劣化することを防止する
方法が、特開平９-97597号公報で提案されている。これ
は、誘電体バリア放電ランプの内管と外管の接合部を照
射する紫外線を少なくして、接合部にクラックが発生す
ることを防止するものである。図８に示すように、内管
１と外管２の接合部３に、紫外線の直射防止手段８を設
ける。酸化チタン膜やバリウムや酸化セリウムや酸化亜
鉛などの金属薄膜を設けるか、内管１と外管２に襞を設
けるか、接合部３と放電空間の間にガラス繊維綿を設け
て、直射防止手段８とする。また、接合部３に排気管残
部を設けて、排気管残部の内面に金属皮膜を設ける。
方法が、特開平９-97597号公報で提案されている。これ
は、誘電体バリア放電ランプの内管と外管の接合部を照
射する紫外線を少なくして、接合部にクラックが発生す
ることを防止するものである。図８に示すように、内管
１と外管２の接合部３に、紫外線の直射防止手段８を設
ける。酸化チタン膜やバリウムや酸化セリウムや酸化亜
鉛などの金属薄膜を設けるか、内管１と外管２に襞を設
けるか、接合部３と放電空間の間にガラス繊維綿を設け
て、直射防止手段８とする。また、接合部３に排気管残
部を設けて、排気管残部の内面に金属皮膜を設ける。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の直
射防止手段では、クラックの発生を十分に防止できない
という問題がある。その理由は以下のとおりである。図
９に示すように、放電空間で発生した紫外線は、ファイ
バー効果により接合部３に集中する。光ファイバーの内
部を光が全反射して進むように、２重管バルブの内管１
と外管２の内部を全反射して接合部３に集まる。集まっ
た紫外線は、接合部３を脆くしてマイクロクラックを発
生させる。従来の直射防止手段では、ガラスの内部を伝
播する紫外線を防ぐことができなかった。また、発生し
たマイクロクラックの成長を防止することもできなかっ
た。さらに、放電空間内に放電用ガス以外の物質を混入
したりコートしたりすることで、コート材からの不純ガ
スの発生や、放電用ガスの汚染等による照度低下や、照
度のばらつきや、熱膨張係数の違いによるランプの破損
等の弊害が生じてしまう。また、襞をつくることで、バ
ルブの強度低下や歪形成の原因を増やすこととなってし
まう。
射防止手段では、クラックの発生を十分に防止できない
という問題がある。その理由は以下のとおりである。図
９に示すように、放電空間で発生した紫外線は、ファイ
バー効果により接合部３に集中する。光ファイバーの内
部を光が全反射して進むように、２重管バルブの内管１
と外管２の内部を全反射して接合部３に集まる。集まっ
た紫外線は、接合部３を脆くしてマイクロクラックを発
生させる。従来の直射防止手段では、ガラスの内部を伝
播する紫外線を防ぐことができなかった。また、発生し
たマイクロクラックの成長を防止することもできなかっ
た。さらに、放電空間内に放電用ガス以外の物質を混入
したりコートしたりすることで、コート材からの不純ガ
スの発生や、放電用ガスの汚染等による照度低下や、照
度のばらつきや、熱膨張係数の違いによるランプの破損
等の弊害が生じてしまう。また、襞をつくることで、バ
ルブの強度低下や歪形成の原因を増やすこととなってし
まう。
【０００８】本発明の目的は、上記従来の問題を解決し
て、ガラス内部を伝播する紫外線によるマイクロクラッ
クの発生を抑制するとともに、発生したマイクロクラッ
クの成長を防止し、エキシマランプの寿命を長くするこ
とである。
て、ガラス内部を伝播する紫外線によるマイクロクラッ
クの発生を抑制するとともに、発生したマイクロクラッ
クの成長を防止し、エキシマランプの寿命を長くするこ
とである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明では、内管と同軸配置された外管の端部を
内管に接合して封じて形成された２重管構造の外管と内
管の間の空間中に放電用希ガスが充填されたエキシマラ
ンプに、有効発光部と接合部との間の外管と内管の管体
に紫外線を吸収または散乱する遮光部を設けた。このよ
うに構成したことにより、ファイバー効果による接合部
への紫外線の集中を抑制して、マイクロクラックの発生
を防止できる。
めに、本発明では、内管と同軸配置された外管の端部を
内管に接合して封じて形成された２重管構造の外管と内
管の間の空間中に放電用希ガスが充填されたエキシマラ
ンプに、有効発光部と接合部との間の外管と内管の管体
に紫外線を吸収または散乱する遮光部を設けた。このよ
うに構成したことにより、ファイバー効果による接合部
への紫外線の集中を抑制して、マイクロクラックの発生
を防止できる。
【００１０】また、エキシマランプの接合部に硬化剤を
塗布した。このように構成したことにより、機械的強度
を向上させて、マイクロクラックの広がりを抑制でき
る。
塗布した。このように構成したことにより、機械的強度
を向上させて、マイクロクラックの広がりを抑制でき
る。
【００１１】また、エキシマランプの有効発光部と接合
部との間の内管と外管の管体に紫外線を吸収または散乱
する遮光部を設け、接合部に硬化剤を塗布した。このよ
うに構成したことにより、マイクロクラックの発生と成
長を抑制して、エキシマランプを長寿命にできる。
部との間の内管と外管の管体に紫外線を吸収または散乱
する遮光部を設け、接合部に硬化剤を塗布した。このよ
うに構成したことにより、マイクロクラックの発生と成
長を抑制して、エキシマランプを長寿命にできる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図１〜図５を参照しながら詳細に説明する。
て、図１〜図５を参照しながら詳細に説明する。
【００１３】（第１の実施の形態）本発明の第１の実施
の形態は、有効発光部と接合部との間の、内管と外管の
管体に、紫外線を吸収または散乱する遮光部を設けたエ
キシマランプである。
の形態は、有効発光部と接合部との間の、内管と外管の
管体に、紫外線を吸収または散乱する遮光部を設けたエ
キシマランプである。
【００１４】図１は、本発明の第１の実施の形態におけ
るエキシマランプの断面図である。図１（ａ）は、内管
が長いタイプのエキシマランプである。図１（ｂ）は、
内管と外管の長さが同じタイプのエキシマランプであ
る。図１において、内管１は、内側の石英ガラス管であ
る。外管２は、外側の石英ガラス管である。接合部３
は、内管と外管を接合した部分である。内管と外管で作
られた空間は、放電空間となっている。放電空間には、
放電用ガスが封入されている。遮光部４は、紫外線を遮
蔽または散乱するガラスである。図２は、遮光部を設け
たエキシマランプの斜視図である。図３は、遮光部を設
けたエキシマランプの動作時の断面図である。
るエキシマランプの断面図である。図１（ａ）は、内管
が長いタイプのエキシマランプである。図１（ｂ）は、
内管と外管の長さが同じタイプのエキシマランプであ
る。図１において、内管１は、内側の石英ガラス管であ
る。外管２は、外側の石英ガラス管である。接合部３
は、内管と外管を接合した部分である。内管と外管で作
られた空間は、放電空間となっている。放電空間には、
放電用ガスが封入されている。遮光部４は、紫外線を遮
蔽または散乱するガラスである。図２は、遮光部を設け
たエキシマランプの斜視図である。図３は、遮光部を設
けたエキシマランプの動作時の断面図である。
【００１５】上記のように構成された本発明の第１の実
施の形態におけるエキシマランプの機能を説明する。内
管１と外管２で構成される２重管バルブの放電容器の両
端には、接合部３がある。このエキシマランプの全長は
約370ｍｍ、内管の外径は約φ20ｍｍ、外管の外径は約
φ30ｍｍである。放電空間の長さは、約300ｍｍであ
る。図１に示すように、有効発光部と接合部３の間に、
紫外線を遮る遮光部４を挿入する。遮光部４は、紫外線
を吸収または散乱する遮光材を分散させた不透明石英ガ
ラスまたはバイコールガラスやオゾンレスガラスなどで
ある。遮光部４の長さは、約20ｍｍである。
施の形態におけるエキシマランプの機能を説明する。内
管１と外管２で構成される２重管バルブの放電容器の両
端には、接合部３がある。このエキシマランプの全長は
約370ｍｍ、内管の外径は約φ20ｍｍ、外管の外径は約
φ30ｍｍである。放電空間の長さは、約300ｍｍであ
る。図１に示すように、有効発光部と接合部３の間に、
紫外線を遮る遮光部４を挿入する。遮光部４は、紫外線
を吸収または散乱する遮光材を分散させた不透明石英ガ
ラスまたはバイコールガラスやオゾンレスガラスなどで
ある。遮光部４の長さは、約20ｍｍである。
【００１６】遮光部４の挿入方法を説明する。紫外線を
吸収または散乱する遮光材を分散させた不透明石英ガラ
スで、内管１と同じ径の管を作る。この管を約20ｍｍの
長さに切る。内管１を、有効発光面の両端で切る。内管
１を切った部分に、遮光部４を溶着する。したがって、
遮光部４は、有効発光部端面より約20ｍｍの長さで挿入
される。外管２についても、同様にして遮光部４を溶着
する。外観は図２に示すようになる。遮光部４の挿入位
置と長さは、エキシマランプの形状やサイズに応じた適
切な値を選択すればよい。
吸収または散乱する遮光材を分散させた不透明石英ガラ
スで、内管１と同じ径の管を作る。この管を約20ｍｍの
長さに切る。内管１を、有効発光面の両端で切る。内管
１を切った部分に、遮光部４を溶着する。したがって、
遮光部４は、有効発光部端面より約20ｍｍの長さで挿入
される。外管２についても、同様にして遮光部４を溶着
する。外観は図２に示すようになる。遮光部４の挿入位
置と長さは、エキシマランプの形状やサイズに応じた適
切な値を選択すればよい。
【００１７】図３に示すように、内管１や外管２の内部
を反射してきた紫外線は、遮光部４で遮られて、接合部
３には到達しない。したがって、接合部３においては、
紫外線がガラスの分子結合を切ることはなく、ガラスが
劣化しないので、マイクロクラックが発生することはな
い。
を反射してきた紫外線は、遮光部４で遮られて、接合部
３には到達しない。したがって、接合部３においては、
紫外線がガラスの分子結合を切ることはなく、ガラスが
劣化しないので、マイクロクラックが発生することはな
い。
【００１８】上記のように、本発明の第１の実施の形態
では、エキシマランプの有効発光部と接合部との間の外
管と内管の管体に紫外線を吸収または分散する遮光部を
設けたので、ファイバー効果による接合部への紫外線の
集中を抑制して、クラックの発生を防止できる。
では、エキシマランプの有効発光部と接合部との間の外
管と内管の管体に紫外線を吸収または分散する遮光部を
設けたので、ファイバー効果による接合部への紫外線の
集中を抑制して、クラックの発生を防止できる。
【００１９】（第２の実施の形態）本発明の第２の実施
の形態は、内管と外管との接合部に硬化剤を塗布したエ
キシマランプである。
の形態は、内管と外管との接合部に硬化剤を塗布したエ
キシマランプである。
【００２０】図４は、本発明の第２の実施の形態におけ
るエキシマランプの断面図である。図４（ａ）は、内管
が長いタイプのエキシマランプである。図４（ｂ）は、
内管と外管の長さが同じタイプのエキシマランプであ
る。図４において、内管１は、内側のガラス管である。
外管２は、外側のガラス管である。接合部３は、内管と
外管を接合した部分である。硬化剤５は、接着剤などの
硬化剤である。
るエキシマランプの断面図である。図４（ａ）は、内管
が長いタイプのエキシマランプである。図４（ｂ）は、
内管と外管の長さが同じタイプのエキシマランプであ
る。図４において、内管１は、内側のガラス管である。
外管２は、外側のガラス管である。接合部３は、内管と
外管を接合した部分である。硬化剤５は、接着剤などの
硬化剤である。
【００２１】上記のように構成された本発明の第２の実
施の形態におけるエキシマランプの機能を説明する。図
４に示すように、２重管バルブの有効発光部以外の外面
に、接着材などの硬化剤５を塗布する。塗布する部分
は、接合部３から有効発光部側に向かって、約20ｍｍの
ところまでである。硬化剤５は、エポキシ系樹脂または
シリコン硬化性ゴムなどである。硬化剤５は、ガラスの
機械的強度を高めることができるもので、紫外線で劣化
しない材料であれば、なんでもよい。硬化剤５を塗布す
る位置は、エキシマランプの形状やサイズに応じた適切
な値を選択すればよい。
施の形態におけるエキシマランプの機能を説明する。図
４に示すように、２重管バルブの有効発光部以外の外面
に、接着材などの硬化剤５を塗布する。塗布する部分
は、接合部３から有効発光部側に向かって、約20ｍｍの
ところまでである。硬化剤５は、エポキシ系樹脂または
シリコン硬化性ゴムなどである。硬化剤５は、ガラスの
機械的強度を高めることができるもので、紫外線で劣化
しない材料であれば、なんでもよい。硬化剤５を塗布す
る位置は、エキシマランプの形状やサイズに応じた適切
な値を選択すればよい。
【００２２】接合部３に硬化剤５を塗布することによ
り、接合部３の歪応力を硬化剤５で分散させることがで
きる。したがって、接合部３にマイクロクラックが発生
しても、マイクロクラックの成長を防止することができ
る。
り、接合部３の歪応力を硬化剤５で分散させることがで
きる。したがって、接合部３にマイクロクラックが発生
しても、マイクロクラックの成長を防止することができ
る。
【００２３】上記のように、本発明の第２の実施の形態
では、エキシマランプの接合部に硬化剤を塗布したの
で、接合部の機械的強度が向上して、マイクロクラック
の広がりを抑制できる。
では、エキシマランプの接合部に硬化剤を塗布したの
で、接合部の機械的強度が向上して、マイクロクラック
の広がりを抑制できる。
【００２４】（第３の実施の形態）本発明の第３の実施
の形態は、有効発光部と接合部との間の外管と内管の管
体に紫外線を吸収または分散する遮光部を設け、接合部
に硬化剤を塗布したエキシマランプである。
の形態は、有効発光部と接合部との間の外管と内管の管
体に紫外線を吸収または分散する遮光部を設け、接合部
に硬化剤を塗布したエキシマランプである。
【００２５】図５は、本発明の第３の実施の形態におけ
るエキシマランプの断面図である。図５（ａ）は、内管
が長いタイプのエキシマランプである。図５（ｂ）は、
内管と外管の長さが同じタイプのエキシマランプであ
る。図５において、内管１は、内側のガラス管である。
外管２は、外側のガラス管である。接合部３は、内管と
外管を接合した部分である。遮光部４は、紫外線を遮蔽
するガラスである。硬化剤５は、接着剤などの硬化剤で
ある。
るエキシマランプの断面図である。図５（ａ）は、内管
が長いタイプのエキシマランプである。図５（ｂ）は、
内管と外管の長さが同じタイプのエキシマランプであ
る。図５において、内管１は、内側のガラス管である。
外管２は、外側のガラス管である。接合部３は、内管と
外管を接合した部分である。遮光部４は、紫外線を遮蔽
するガラスである。硬化剤５は、接着剤などの硬化剤で
ある。
【００２６】上記のように構成された本発明の第３の実
施の形態におけるエキシマランプの機能を説明する。図
５に示すように、有効発光部と接合部３の間に、紫外線
を遮る遮光部４を挿入する。この点は、第１の実施の形
態と同じである。遮光部４が挿入されたバルブ外面に、
接着材などの硬化剤５を塗布する。この点は、第２の実
施の形態と同じである。
施の形態におけるエキシマランプの機能を説明する。図
５に示すように、有効発光部と接合部３の間に、紫外線
を遮る遮光部４を挿入する。この点は、第１の実施の形
態と同じである。遮光部４が挿入されたバルブ外面に、
接着材などの硬化剤５を塗布する。この点は、第２の実
施の形態と同じである。
【００２７】第１の実施の形態と同様に、内管１や外管
２の内部を反射してきた紫外線は、遮光部４で遮られ
て、接合部３には到達しない。したがって、接合部３に
おいては、紫外線がガラスの分子結合を切ることはな
く、ガラスが劣化しないので、マイクロクラックが発生
することはない。
２の内部を反射してきた紫外線は、遮光部４で遮られ
て、接合部３には到達しない。したがって、接合部３に
おいては、紫外線がガラスの分子結合を切ることはな
く、ガラスが劣化しないので、マイクロクラックが発生
することはない。
【００２８】第２の実施の形態と同様に、接合部３に硬
化剤５を塗布することにより、接合部３の歪応力を硬化
剤５で分散させることができる。したがって、接合部３
にマイクロクラックが発生しても、マイクロクラックの
成長を防止することができる。
化剤５を塗布することにより、接合部３の歪応力を硬化
剤５で分散させることができる。したがって、接合部３
にマイクロクラックが発生しても、マイクロクラックの
成長を防止することができる。
【００２９】上記のように、本発明の第２の実施の形態
では、エキシマランプの有効発光部と接合部との間の外
管と内管の管体に紫外線を吸収する遮光材を分散させた
領域を設け、接合部に硬化剤を塗布したので、マイクロ
クラックの発生と成長を抑制して、エキシマランプを長
寿命にできる。
では、エキシマランプの有効発光部と接合部との間の外
管と内管の管体に紫外線を吸収する遮光材を分散させた
領域を設け、接合部に硬化剤を塗布したので、マイクロ
クラックの発生と成長を抑制して、エキシマランプを長
寿命にできる。
【００３０】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
では、内管と同軸配置された外管の端部を内管に接合し
て封じて形成された２重管構造の外管と内管の間の空間
中に放電用希ガスが充填されたエキシマランプに、有効
発光部と接合部との間の外管と内管の管体に紫外線を吸
収する遮光材を分散させた領域を設けたので、ファイバ
ー効果による接合部への紫外線の集中を抑制して、マイ
クロクラックの発生を防止できるという効果が得られ
る。
では、内管と同軸配置された外管の端部を内管に接合し
て封じて形成された２重管構造の外管と内管の間の空間
中に放電用希ガスが充填されたエキシマランプに、有効
発光部と接合部との間の外管と内管の管体に紫外線を吸
収する遮光材を分散させた領域を設けたので、ファイバ
ー効果による接合部への紫外線の集中を抑制して、マイ
クロクラックの発生を防止できるという効果が得られ
る。
【００３１】また、エキシマランプの接合部に硬化剤を
塗布したので、機械的強度が向上して、２重管バルブで
発生するマイクロクラックの広がりを抑制できるという
効果が得られる。
塗布したので、機械的強度が向上して、２重管バルブで
発生するマイクロクラックの広がりを抑制できるという
効果が得られる。
【００３２】また、エキシマランプの有効発光部と接合
部との間の外管と内管の管体に紫外線を吸収する遮光材
を分散させた領域を設け、接合部に硬化剤を塗布したの
で、マイクロクラックの発生と成長を抑制して、エキシ
マランプを長寿命にできるという効果が得られる。
部との間の外管と内管の管体に紫外線を吸収する遮光材
を分散させた領域を設け、接合部に硬化剤を塗布したの
で、マイクロクラックの発生と成長を抑制して、エキシ
マランプを長寿命にできるという効果が得られる。
【図１】本発明の第１の実施の形態におけるエキシマラ
ンプの断面図、
ンプの断面図、
【図２】本発明の第１の実施の形態におけるエキシマラ
ンプの斜視図、
ンプの斜視図、
【図３】本発明の第１の実施の形態におけるエキシマラ
ンプの動作時の断面図、
ンプの動作時の断面図、
【図４】本発明の第２の実施の形態におけるエキシマラ
ンプの断面図、
ンプの断面図、
【図５】本発明の第３の実施の形態におけるエキシマラ
ンプの断面図、
ンプの断面図、
【図６】従来のエキシマランプの断面図、
【図７】従来のエキシマランプのクラックが生じた状態
の斜視図、
の斜視図、
【図８】従来のエキシマランプに劣化防止手段を施した
場合の動作時の断面図、
場合の動作時の断面図、
【図９】従来のエキシマランプの動作時の断面図であ
る。
る。
１ 内管 ２ 外管 ３ 接合部 ４ 遮光部 ５ 硬化剤 ６ 放電空間 ７ マイクロクラック ８ 直射防止手段
フロントページの続き (72)発明者 藤森 昭芳 長野県茅野市玉川4896番地 株式会社オー ク製作所諏訪工場内
Claims (3)
- 【請求項１】 内管と同軸配置された外管の端部を前記
内管に溶着した接合部で封じて形成された２重管構造の
前記外管と前記内管の間の空間中に放電用希ガスが充填
されたエキシマランプにおいて、有効発光部と前記接合
部との間の前記内管と前記外管の管体に紫外線を吸収ま
たは散乱する遮光部を設けたことを特徴とするエキシマ
ランプ。 - 【請求項２】 内管と同軸配置された外管の端部を前記
内管に溶着した接合部で封じて形成された２重管構造の
前記外管と前記内管の間の空間中に放電用希ガスが充填
されたエキシマランプにおいて、前記接合部を含む周辺
に硬化剤を塗布したことを特徴とするエキシマランプ。 - 【請求項３】 内管と同軸配置された外管の端部を前記
内管に溶着した接合部で封じて形成された２重管構造の
前記外管と前記内管の間の空間中に放電用希ガスが充填
されたエキシマランプにおいて、有効発光部と前記接合
部との間の前記内管と前記外管の管体に紫外線を吸収ま
たは散乱する遮光部を設け、前記遮光部を含む接合部に
硬化剤を塗布したことを特徴とするエキシマランプ。
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|---|---|---|---|
| JP2001154104A JP4502545B2 (ja) | 2001-05-23 | 2001-05-23 | エキシマランプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001154104A JP4502545B2 (ja) | 2001-05-23 | 2001-05-23 | エキシマランプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002352774A true JP2002352774A (ja) | 2002-12-06 |
| JP4502545B2 JP4502545B2 (ja) | 2010-07-14 |
Family
ID=18998506
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001154104A Expired - Fee Related JP4502545B2 (ja) | 2001-05-23 | 2001-05-23 | エキシマランプ |
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| JP (1) | JP4502545B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1972000A1 (en) * | 2005-12-21 | 2008-09-24 | Trojan Technologies Inc. | Excimer radiation lamp assembly, and source module and fluid treatment system containing same |
| JP2015069734A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | ウシオ電機株式会社 | エキシマランプ装置および光照射処理装置 |
| JP2016037416A (ja) * | 2014-08-07 | 2016-03-22 | ウシオ電機株式会社 | 紫外線照射式オゾン生成装置 |
| JP2016139463A (ja) * | 2015-01-26 | 2016-08-04 | 株式会社オーク製作所 | エキシマランプ |
Citations (1)
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| JPH0997597A (ja) * | 1995-10-02 | 1997-04-08 | Ushio Inc | 誘電体バリア放電ランプ |
-
2001
- 2001-05-23 JP JP2001154104A patent/JP4502545B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP4502545B2 (ja) | 2010-07-14 |
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