JP2002350139A - 振動子を用いた検出方法および検出装置 - Google Patents

振動子を用いた検出方法および検出装置

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JP2002350139A JP2001161902A JP2001161902A JP2002350139A JP 2002350139 A JP2002350139 A JP 2002350139A JP 2001161902 A JP2001161902 A JP 2001161902A JP 2001161902 A JP2001161902 A JP 2001161902A JP 2002350139 A JP2002350139 A JP 2002350139A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】振動子に駆動振動を励振し、振動子に印加され
る物理量を、振動子から得られた検出信号に基づいて検
出するのに際して、検出装置の消費電力を低減すると共
に、検出装置の動作が安定化するまでの立ち上がり時間
を短くする。 【解決手段】制御回路1は振動子5、6A、6Bを制御
する。制御回路1は、振動子に駆動振動を励振するため
の駆動回路2、および振動子の駆動振動および物理量に
基づいて振動子から出力される出力信号を処理し、物理
量に対応する検出信号を出力する検出回路3を備えてい
る。物理量の検出を行わないときに制御回路1の一部へ
の供給電力を低下させ、特には停止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動子を用いた検
出方法および検出装置、例えば振動型ジャイロスコープ
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】振動型ジャイロスコープを例えば車両に
搭載し、車両の方向制御に使用することが試みられてい
る。こうした用途においては、振動型ジャイロスコープ
は電池によって駆動されているので、できる限り消費電
力を減らし、電池の寿命を長くすることが必要である。
【0003】カメラ用途において、振動型ジャイロスコ
ープの消費電力を減らすための技術として、特開200
0−284336号公報が知られている。この公報には
手振れ補正機能付きカメラが記載されている。即ち、カ
メラに角速度センサーを内蔵し、角速度センサーからの
出力に基づいて手振れを検出し、この手振れに基づいて
画面を補正する。そして、通常時は角速度センサーへの
電力供給を停止して休止させる。カメラに把持状態検出
部を設け、この検出部が人の手で把持されたことを検出
する。そして、手による把持を検出すると、角速度セン
サーへの電力供給を再開して起動させ、手振れの補正を
開始する。これによって、必要最小限の時間のみ角速度
センサーを動かすようにし、センサーの消費電力を削減
している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、例えば車載用
途の振動型ジャイロスコープにおいては、振動型ジャイ
ロスコープを起動してから短時間で正常な動作を開始さ
せ、車両の位置の検出を始めることが必要不可欠であ
る。しかし、振動型ジャイロスコープの振動子は、例え
ば水晶、ニオブ酸リチウムといった強誘電性単結晶から
なっており、Q値が非常に高い。このため、例えば車両
を発進させたときにジャイロを起動すると、起動後に振
動型ジャイロスコープの動作が安定化するまでの時間が
長く、ジャイロの動作が安定化するまでの間は車両の方
向および位置を確認できないことになる。このため、車
両の位置制御への利用が困難となる。
【0005】本発明の課題は、振動子に駆動振動を励振
し、振動子に印加される物理量を、振動子から得られた
検出信号に基づいて検出するのに際して、検出装置の消
費電力を低減すると共に、検出装置の動作が安定化する
までの立ち上がり時間を短くできるようにすることであ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、振動子に印加
される物理量を検出する方法であって、振動子およびこ
の振動子の制御回路を使用し、制御回路が、振動子に駆
動振動を励振するための駆動回路、および振動子の駆動
振動および物理量に基づいて振動子から出力される出力
信号を処理し、物理量に対応する検出信号を出力する検
出回路を備えており、物理量の検出を行わないときに制
御回路の一部への供給電力を低下させることを特徴とす
る。
【0007】また、本発明は、振動子に印加される物理
量を検出する装置であって、振動子およびこの振動子の
制御回路を備えており、制御回路が、振動子に駆動振動
を励振するための駆動回路、振動子の駆動振動および物
理量に基づいて振動子から出力される出力信号を処理
し、物理量に対応する検出信号を出力する検出回路、お
よび制御回路への供給電力を制御し、物理量の検出を行
わないときに制御回路の一部への供給電力を低下させる
電源制御装置を備えていることを特徴とする、検出装置
に係るものである。
【0008】本発明によれば、物理量の検出を行わない
ときに制御回路の一部への供給電力を低下させており、
制御回路の全体への供給電力を一括して停止することは
行なわない。これによって、制御回路のうち、動作の立
ち上がり易い領域への供給電力を選択的に低下させ、動
作の安定化までに時間のかかる領域への供給電力は低下
させないようにできる。この結果、制御回路の一部への
供給電力を低下させることによって、検出装置の消費電
力を低減できる。これと同時に、検出装置の動作が安定
化するまでの立ち上がり時間を短くできる。
【0009】ここで、物理量は特に限定はされない。振
動子に駆動振動を励振し、駆動振動中の振動子に対する
物理量の影響によって振動子の振動状態に変化が生じた
ときに、この振動状態の変化から検出回路を通して検出
可能な物理量を対象とする。こうした物理量としては、
振動子に印加される加速度、角速度、角加速度が特に好
ましい。また、検出装置としては慣性センサーが好まし
い。
【0010】「制御回路の一部への供給電力を低下させ
る」とは、供給電力をその部分の定格電力に対して低下
させることを言う。即ち、供給電力をゼロにまで低下さ
せる場合(供給電力を停止する場合)と、供給電力の値
を定格電力に比べて低い、ゼロを超える値にまで低下さ
せる場合とを含む。供給電力を定格電力に比べて低くす
る場合には、供給電力を定格電力の50%以下とするこ
とが好ましく、20%以下とすることが一層好ましい。
【0011】
【発明の実施の形態】好適な実施形態においては、駆動
回路が振動子の自励発振回路を備えており、この自励発
振回路が振幅制御回路を備えており、物理量の検出を行
わないときに振幅制御回路への供給電力を低下させる。
自励発振回路は、振動子を一定周波数で発振させるため
の励振回路の一種である。
【0012】自励発振回路は、起動回路と、周波数制御
のための交流増幅器と、振幅制御回路(AGC回路)と
を備えている。振幅制御回路においては、振幅の変動を
抑制し、一定の振幅値が出力されるようにする。振動子
に印加される駆動信号の振幅が一定でないと、振動子か
ら出力されるべき検出信号の値も一定とならず、正確な
測定を行うことができない。
【0013】この実施形態においては、振幅制御回路へ
の供給電力を低下させる。この際、駆動回路の周波数制
御回路への供給電力は低下させないこととする。駆動回
路においては、まず周波数制御回路の発振周波数が安定
化するまでに時間がかかるので、ジャイロ停止時にも周
波数制御回路への供給電力は一定に維持し、発振周波数
は安定な状態に維持しておく。その上で、ジャイロ起動
時には振幅制御回路を起動し、起動後に振幅の変動を調
節するようにした。この結果、駆動回路の全体を停止さ
せ、次いで起動する場合に比べると、駆動回路から発振
する駆動信号の周波数と振幅とが規定値に達するまでの
時間を短くできる。
【0014】振幅制御回路への供給電力を低下させる場
合、駆動回路から発振する信号の振幅は、定格振幅かそ
の近辺に維持しておくことが好ましい。なぜなら、ジャ
イロの停止時に振幅を一定値に維持しておき、ジャイロ
を起動させた場合には、振幅の細かい変動を振幅制御回
路によって抑制するだけでよいので、振幅安定化までに
要する時間が短いからである。この観点からは、ジャイ
ロ停止時の駆動回路から発振する信号の振幅は、定格振
幅の50%以上とすることが好ましく、70%以上とす
ることが一層好ましい。
【0015】好適な実施形態においては、物理量の検出
を行わないときに検出回路の少なくとも一部への供給電
力を低下させる。即ち、例えばQ値の高い強誘電性単結
晶からなる振動子を用いて物理量の検出を行う場合に
は、駆動信号の変化に対して、振動子が敏感に反応す
る。このため、一般に、振動子の振動(周波数および振
幅)が実際に安定化するまでには比較的に時間がかか
る。これに対して、検出回路の場合にはこうした問題が
なく、比較的迅速に立ち上がる。従って、本実施形態に
おいては、物理量の検出を行わないときに検出回路の一
部への供給電力を低下させる。
【0016】好適な実施形態においては、検出回路が、
振動子から出力される出力信号を増幅する交流増幅回路
と、この交流増幅回路からの出力を直流信号に変換し、
増幅する直流増幅回路とを備えており、物理量の検出を
行わないときに少なくとも直流増幅回路への供給電力を
低下させる。
【0017】即ち、検出回路が直流増幅回路と交流増幅
回路とを備えている場合には、通常、直流増幅回路の消
費電力が相対的に大きい。従って、本実施形態において
は、直流増幅回路への供給電力を低下させ、交流増幅回
路の動作は維持しておく。これによって、効果的な節電
が可能となる。
【0018】好適な実施形態においては、外部からのト
リガー入力に基づいて、制御回路のうち供給電力が低下
している部分への供給電力を定格電力へと復元させる。
こうしたトリガー信号の起動条件は特に限定されない。
人(例えば車両の運転手や同乗者)が指令を出してよ
い。また、車両の発進時に車両側からトリガー信号をジ
ャイロへと入力してもよい。また、また,中央管制室か
らのトリガー信号を本発明の検出装置へと送信してもよ
い。
【0019】また、トリガー信号は別の方法によって入
力することもできる。好適な実施形態においては、検出
回路が、振動子から出力される出力信号を増幅する交流
増幅回路と、この交流増幅回路からの出力を直流信号に
変換し、増幅する直流増幅回路とを備えている。そし
て、物理量の検出を行わないときに交流増幅回路への供
給電力を定格に維持し、交流増幅回路から出力された交
流信号に基づいて、制御回路のうち供給電力が低下して
いる部分への供給電力を定格電力へと復元させる。
【0020】この実施形態においては、交流増幅回路の
動作を維持してその出力をモニターし、直流増幅回路へ
の供給電力を低下させ、交流増幅回路の出力をトリガー
として利用するようにした。この結果、交流増幅回路か
らの出力が、所定の一定値を超えたり、あるいは急激に
変化した場合に、検出装置を起動することができる。
【0021】この実施形態において特に好ましくは、物
理量の検出を行わないときに少なくとも消費電力の大き
い直流増幅回路への供給電力を低下させ、交流増幅回路
から出力された交流信号に基づいて、直流増幅回路への
供給電力を定格電力へと復元させる。
【0022】一実施形態においては、物品に加速度セン
サーを取り付けることによって、物品に不規則な加速度
が加わったことを検知する。この場合には、物品に取り
付けられた加速度センサーの検出回路において、交流増
幅回路からの出力は、物品に不規則な加速度が加わった
ことを検知し、大きく変動する。この変動をチェック回
路によって検知し、直流増幅回路を起動する。
【0023】他の実施形態においては、物品の姿勢の変
化を検出する角速度センサーを物品に取り付ける。物品
が落下したり、変形したり、物品に衝撃が加わったりし
ていた場合には、物品に大きな回転角速度が加わる。本
発明では、物品に不規則な加速度が加わったことを検知
する。この場合には、物品に取り付けられた角速度セン
サーの検出回路において、交流増幅回路からの出力は、
物品に不規則な角速度が加わったことを検知し、大きく
変動する。この変動をチェック回路によって関知し、直
流増幅回路を起動する。
【0024】以下、本発明の好適な実施形態を、図面を
参照しつつ更に説明する。図1は、本発明の実施形態に
係る制御回路1および検出装置を示すブロック図であ
り、図2、図3、図4は、図1の装置の動作を説明する
ためのフローチャートである。本検出装置は、回転角速
度を測定するための振動型ジャイロスコープである。
【0025】制御回路1は、駆動回路2と検出回路3と
を備えている。駆動回路2は、振動子の駆動振動部5を
励振するためのものである。駆動回路2には、自励発振
回路22と診断回路9とが設けられている。そして、起
動回路4によって自励発振回路を起動する。振動子の駆
動振動部5は、交流増幅回路7、10とAGC回路8と
に連結されている。また、AGC回路8は診断回路9に
連結されており、診断回路の出力はDIAG端子を通し
て外部に出力される。自励発振回路それ自体の動作は周
知である。駆動信号の波形は限定されないが、好ましく
は正弦波、余弦波あるいは矩形波である。
【0026】検出回路3には、交流増幅回路20、直流
増幅回路19および電源制御装置16が設けられてい
る。交流増幅回路においては、振動子の検出部6A、6
Bからの検出信号(交流)を交流増幅器11A、11B
を用いて増幅し、各増幅器からの出力を加算器12によ
って加算する。振動子から出力される出力信号は、回転
角速度の大きさを反映する真正の検出信号の他、漏れ信
号と、寄生容量との結合による偽信号とを含んでいる。
【0027】一方、駆動回路で使用中の駆動信号の一部
を派生信号として分岐させる。この派生信号は、そのも
ととなる駆動信号と同じ周波数と位相とを有するものと
する。
【0028】真正の検出信号は、派生信号と同じ周波数
を有しており、かつ派生信号とは90°位相がずれてい
るはずである。これは、振動子が、コリオリ力を利用し
て回転角速度の検出を行っているからである。
【0029】これに対して、駆動信号によって振動子内
に引き起こされた駆動振動は、そのまま機械的に振動子
を伝搬して検出手段6A、6Bに伝わり、検出信号内に
漏れ信号を発生させる。漏れ信号の周波数および位相
は、そのもととなる駆動信号および派生信号の周波数お
よび位相と同じである。従って、派生信号と漏れ信号と
は同位相であり、回転角速度を反映した真正の検出信号
の位相とは90°ずれている。
【0030】派生信号を移相器13に通し、移相信号を
得る。移相信号の位相は、漏れ信号の位相とは例えば9
0°ずれているはずである。この移相信号を位相検波器
に入力し、振動子からの出力信号を検波する。この結
果、検波後の出力信号においては、不要な漏れ信号は消
去されており、あるいは少なくとも低減されているはず
である。この検波後の出力信号をローパスフィルター1
7に入力し、平滑化し,次いで0点調整回路に入力す
る。この出力を外部に取り出す。
【0031】本発明においては、電源制御装置16をA
GC回路8、移相器13、位相検波器14、ローパスフ
ィルター17、0点調整回路18に対して接続し、これ
らの電圧を、互いに独立の状態で別個に制御できるよう
になっている。また、交流増幅回路20の出口は、入力
チェック回路15に向かって分岐しており、チェック回
路15の出力が電源制御装置16に接続されている。更
に、外部のトリガー信号入力部24も電源制御装置に接
続されている。
【0032】以下、制御回路1の動作を、図2−図4を
参照しつつ概略的に説明する。まず図2に示すように、
制御回路を起動し(S2)、振動子を駆動し、駆動状態
が安定化してから回転角速度の測定を行う(S4)。測
定工程S4においては、回転角速度を測定するか、ある
いは本発明に従って制御回路の一部への供給電力を低減
する。次いで、振動型ジャイロスコープの動作が不要で
あれば、制御回路の全体を停止し(S6)、処理を終了
する。
【0033】制御回路を起動した後には、図3に示すよ
うに、回転角速度の測定の有無を選択する(S8)。そ
して、回転角速度の測定を選択しない(NO)場合に
は、測定工程を終了するかどうかを選択する(S1
4)。S14において(YES)を選択すると、測定工
程S4は終了する。S14において測定工程を終了しな
い場合には、電源低減工程S16に移行する。
【0034】S8において回転角速度の測定を選択した
場合(YES)には、振動子からの検出信号を、交流増
幅回路、直流増幅回路において処理し、処理済の検出信
号を出力する(S10)。次いで、検出信号の処理を継
続するかどうかを選択する(S12)。処理継続を選択
した場合には、S10に戻る。出力処理継続を選択しな
い場合(NO)には、測定工程の終了の可否を選択する
(S14)。
【0035】検出信号の処理継続を選択せず、かつ測定
工程は終了しない場合には、次の測定に備えて電力低減
工程S16に入る。S16においては、図4に示すよう
に、まず、AGC回路8、移相器13、直流増幅回路1
9への供給電力を低下させ、待機モードに入る(S1
8)。次にトリガー信号が電源制御装置16に入力され
るまで、この待機モードが継続する。交流増幅回路20
からの出力の一部を入力チェック回路15においてモニ
ターし、出力が設定値の範囲内であり(YES)、かつ
外部からのトリガー信号の入力がない(S22、NO)
の場合には、待機状態を継続する(引き続き交流増幅回
路の出力と外部からのトリガー信号の入力の有無を監視
する)。交流増幅回路の出力が設定値を超えた場合には
(S20、NO)、AGC回路、移相器、直流増幅回路
への入力電力を定格電力に復元させ(S24)、電力低
減工程S16を終了し、振動子からの検出信号の処理を
開始する(S10)。外部からのトリガー信号の入力が
あった場合(S22、YES)にも同様とする。
【0036】直流増幅回路を構成する電子素子は特に限
定されず、広い意味で交流信号を平滑化させる処理と、
増幅処理とに利用可能な素子を含む。また、交流増幅回
路を構成する電子素子は特に限定されず、交流増幅器の
他、加算器、減算器、乗算器のような算術素子を含む。
【0037】振動子の構成は特に限定されない。振動子
を構成する材質のQ値は、3000以上であることが好
ましく、10000以上であることが一層好ましい。こ
うした材質としては、エリンバー等の恒弾性合金、強誘
電性単結晶(圧電性単結晶)を例示できる。こうした単
結晶としては、水晶、ニオブ酸リチウム、タンタル酸リ
チウム、ニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶
体、ホウ酸リチウム、ランガサイトを例示できる。
【0038】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、振
動子に駆動振動を励振し、振動子に印加される物理量
を、振動子から得られた検出信号に基づいて検出するの
に際して、検出装置の消費電力を低減すると共に、検出
装置の動作が安定化するまでの立ち上がり時間を短くで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態に係る制御回路1および検出
装置を示すブロック図である。
【図2】図1の装置の動作の各工程を概略的に示すフロ
ーチャートである。
【図3】回転角速度の測定工程を概略的に示すフローチ
ャートである。
【図4】電力低減工程を概略的に示すフローチャートで
ある。
【符号の説明】
1 制御回路 2 駆動回路 3 検出回
路 4 起動回路 5 振動子(駆動部分)
6A、6B 振動子(検出部分) 7、10 増
幅器 8 AGC回路(振幅制御回路) 11A、11B 各検出部分からの検出信号を増幅する
交流増幅器 12 加算器 13 移相器 14 位相
検波器 15入力直流増幅回路 16 電
源制御装置 17 ローパスフィルター
18 0点調整回路 19 直流増幅回路
20 交流増幅回路 22 自励発振回路
24 トリガー信号入力部
フロントページの続き Fターム(参考) 2F076 BA01 BB05 BD19 BE02 BE03 BE05 2F105 AA02 BB20 CC04 CD11 CD20

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】振動子に印加される物理量を検出する方法
    であって、 振動子およびこの振動子の制御回路を使用し、前記制御
    回路が、前記振動子に駆動振動を励振するための駆動回
    路、および前記振動子の前記駆動振動および前記物理量
    に基づいて前記振動子から出力される出力信号を処理
    し、前記物理量に対応する検出信号を出力する検出回路
    を備えており、前記物理量の検出を行わないときに前記
    制御回路の一部への供給電力を低下させることを特徴と
    する、検出方法。
  2. 【請求項2】前記駆動回路が前記振動子の自励発振回路
    を備えており、この自励発振回路が振幅制御回路を備え
    ており、前記物理量の検出を行わないときに前記振幅制
    御回路への供給電力を低下させることを特徴とする、請
    求項1記載の方法。
  3. 【請求項3】前記物理量の検出を行わないときに前記検
    出回路の少なくとも一部への供給電力を低下させること
    を特徴とする、請求項1または2記載の方法。
  4. 【請求項4】前記検出回路が、前記振動子から出力され
    る前記出力信号を増幅する交流増幅回路と、この交流増
    幅回路からの出力を直流信号に変換し、増幅する直流増
    幅回路とを備えており、前記物理量の検出を行わないと
    きに少なくとも前記直流増幅回路への供給電力を低下さ
    せることを特徴とする、請求項3記載の方法。
  5. 【請求項5】外部からのトリガー入力に基づいて、前記
    制御回路のうち前記供給電力が低下している部分への供
    給電力を定格電力へと復元させることを特徴とする、請
    求項1〜4のいずれか一つの請求項に記載の方法。
  6. 【請求項6】前記検出回路が、前記振動子から出力され
    る前記出力信号を増幅する交流増幅回路と、この交流増
    幅回路からの出力を直流信号に変換し、増幅する直流増
    幅回路とを備えており、前記物理量の検出を行わないと
    きに前記交流増幅回路への供給電力を定格に維持し、前
    記交流増幅回路から出力された交流信号に基づいて、前
    記制御回路のうち前記供給電力が低下している部分への
    供給電力を定格電力へと復元させることを特徴とする、
    請求項1〜5のいずれか一つの請求項に記載の方法。
  7. 【請求項7】前記物理量の検出を行わないときに前記直
    流増幅回路への供給電力を低下させ、前記交流増幅回路
    から出力された交流信号に基づいて、前記直流増幅回路
    への供給電力を定格電力へと復元させることを特徴とす
    る、請求項6記載の方法。
  8. 【請求項8】前記物理量が、慣性の変化を反映する物理
    量であることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一
    つの請求項に記載の方法。
  9. 【請求項9】振動子に印加される物理量を検出する装置
    であって、振動子およびこの振動子の制御回路を備えて
    おり、前記制御回路が、 前記振動子に駆動振動を励振するための駆動回路、 前記振動子の前記駆動振動および前記物理量に基づいて
    前記振動子から出力される出力信号を処理し、前記物理
    量に対応する検出信号を出力する検出回路、および前記
    制御回路への供給電力を制御し、前記物理量の検出を行
    わないときに前記制御回路の一部への供給電力を低下さ
    せる電源制御装置を備えていることを特徴とする、検出
    装置。
  10. 【請求項10】前記駆動回路が前記振動子の自励発振回
    路を備えており、この自励発振回路が振幅制御回路を備
    えており、前記物理量の検出を行わないときに前記振幅
    制御回路への供給電力を低下させることを特徴とする、
    請求項9記載の装置。
  11. 【請求項11】前記物理量の検出を行わないときに前記
    検出回路の少なくとも一部への供給電力を低下させるこ
    とを特徴とする、請求項9または10記載の装置。
  12. 【請求項12】前記検出回路が、前記振動子から出力さ
    れる前記出力信号を増幅する交流増幅回路と、この交流
    増幅回路からの出力を直流信号に変換し、増幅する直流
    増幅回路とを備えており、前記物理量の検出を行わない
    ときに少なくとも前記直流増幅回路への供給電力を低下
    させることを特徴とする、請求項11記載の装置。
  13. 【請求項13】外部からのトリガー信号を受け入れ、前
    記トリガー信号を前記電源制御装置へと送るトリガー信
    号入力部を備えており、前記トリガー信号に基づいて、
    前記制御回路のうち前記供給電力が低下している部分へ
    の供給電力を定格電力へと復元させることを特徴とす
    る、請求項9〜12のいずれか一つの請求項に記載の装
    置。
  14. 【請求項14】前記検出回路が、前記振動子から出力さ
    れる前記検出信号を増幅する交流増幅回路と、この交流
    増幅回路からの出力を直流信号に変換し、増幅する直流
    増幅回路と、前記交流増幅回路から出力された交流信号
    をチェックするチェック回路とを備えており、前記物理
    量の検出を行わないときに前記交流増幅回路への供給電
    力を定格に維持し、前記チェック回路に入力された前記
    交流信号に基づいて、前記制御回路のうち前記供給電力
    が低下している部分への供給電力を定格電力へと復元さ
    せることを特徴とする、請求項9〜13のいずれか一つ
    の請求項に記載の装置。
  15. 【請求項15】前記物理量の検出を行わないときに前記
    直流増幅回路への供給電力を低下させ、前記チェック回
    路に入力された前記交流信号に基づいて、前記直流増幅
    回路への供給電力を定格電力へと復元させることを特徴
    とする、請求項14記載の装置。
  16. 【請求項16】前記検出装置が慣性センサーであること
    を特徴とする、請求項9〜15のいずれか一つの請求項
    に記載の装置。
  17. 【請求項17】前記検出回路が、前記振動子を駆動させ
    るための信号からの派生信号の位相を変化させ、移相信
    号を得るための移相器、および前記振動子の出力信号を
    前記移相信号を用いて検波するための位相検波器を備え
    ていることを特徴とする、請求項9〜16のいずれか一
    つの請求項に記載の装置。
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