CN104136887A - 惯性力传感器以及使用其的电子设备 - Google Patents

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Abstract

惯性力传感器具有：将惯性力变换成电信号的传感器元件；与传感器元件连接并输出惯性力值的传感器信号处理部；和基于惯性力值来控制提供给传感器信号处理部的提供电力的电力控制部。在惯性力值在给定时间内处于以基准值为中心的给定范围内的情况下，电力控制部使提供给传感器信号处理部的提供电力降低，并将基准值更新为经过给定时间时的惯性力值。

Description

惯性力传感器以及使用其的电子设备
技术领域
本发明涉及使用在数码相机、便携终端、机器人、其它各种电子设备中的惯性力传感器以及使用了该惯性力传感器的电子设备。
背景技术
图9是现有的惯性力传感器的框图。惯性力传感器1具有：振动器2；使振动器2驱动振动的自激振动电路3；与振动器2连接并输出惯性力值的检测电路4；控制提供给自激振动电路3以及检测电路4的提供电力的电源控制装置5；和与电源控制装置5连接的触发信号输入部6。
电源控制装置5在检测电路4不进行惯性量的检测时使提供给自激振动电路3或检测电路4的提供电力降低。另外，电源控制装置5基于来自触发信号输入部6的触发输入，使降低了提供电力的提供给自激振动电路3或检测电路4的提供电力向额定电力复原。
另外，作为与本申请的发明关联的先行技术文献，例如已知专利文献1。
先行技术文献
专利文献
专利文献1：JP特开2002-350139号公报
发明内容
发明的概要
本发明的惯性力传感器具有：将惯性力变换成电信号的传感器元件；与传感器元件连接并输出惯性力值的传感器信号处理部；和基于惯性力值来控制提供给传感器信号处理部的提供电力的电力控制部。在惯性力值在给定时间内处于以基准值为中心的给定范围内的情况下，电力控制部使提供给传感器信号处理部的提供电力降低，并将基准值更新为经过给定时间时的惯性力值。
附图说明
图1是本发明的实施方式1中的惯性力传感器的框图。
图2是本发明的实施方式1中的角速度传感器的框图。
图3是表示本发明的实施方式1中的电力控制部的构成例的框图。
图4是表示本发明的实施方式1中的电力控制部的控制例的图。
图5是表示本发明的实施方式1中的使用了计数器的给定期间的测量例的图。
图6是本发明的实施方式2中的惯性力传感器的框图。
图7是本发明的实施方式2中的使用了加速度传感器元件和角速度传感器元件的惯性力传感器的框图。
图8是本发明的实施方式2中的使用了惯性力传感器的电子设备的框图。
图9是现有的惯性力传感器的框图。
具体实施方式
在现有的惯性力传感器1中，在振动器2具有较大的温度特性的情况下，因温度变化而惯性量值发生变动。为此，就算不施加惯性力，电源控制装置5也维持提供给自激振动电路3以及检测电路4的提供电力。
(实施方式1)
图1是本发明的实施方式1中的惯性力传感器10的框图。惯性力传感器10具有：将惯性力变换为电信号的传感器元件11；与传感器元件11连接并输出惯性力值的传感器信号处理部12；和基于从传感器信号处理部12输出的惯性力值来控制提供给传感器信号处理部12的提供电力的电力控制部13。在惯性力值在给定时间内处于以基准值为中心的给定范围内的情况下，电力控制部13使提供给传感器信号处理部12的提供电力降低，并将基准值更新为经过给定时间时的惯性力值。通过以上的构成，惯性力传感器10能以简易的构成来实现高精度的低消耗电力化。
以下使用图2～图4来说明惯性力传感器10的具体构成例以及动作例。
图2是表示惯性力传感器10的一例的角速度传感器10a的框图。角速度传感器元件11a与图1的传感器元件11对应。角速度传感器信号处理部12a与图1的传感器信号处理部12对应。
角速度传感器元件11a与角速度传感器信号处理部12a连接。角速度传感器信号处理部12a由驱动部12b和检测部12c构成。驱动部12b输出驱动信号来使角速度传感器元件11a驱动振动。进而，驱动部12b从角速度传感器元件11a输入监控信号，进行反馈控制，以使角速度传感器元件11a的驱动振动成为恒定振幅。检测部12c对从角速度传感器元件11a输出的检测信号使用从驱动部12b输入的监控信号来进行检波，使用低通滤波器(未图示)来进行积分，输出由此得到的角速度值。
在从检测部12c输出的角速度值在给定时间内处于以基准值为中心的给定范围内的情况下，电力控制部13使提供给驱动部12b或检测部12c的至少一方的提供电力降低。优选地，不使提供给驱动部12b的提供电力降低，而使提供给检测部12c的提供电力降低。由于驱动部12b总是使角速度传感器元件11a驱动振动，因此能使通过来自外部的触发信号恢复到通常电力时的起动时间高速化。
图3是电力控制部13的框图。窗口(Window)部13a接受从检测部12c输出的角速度值15。然后，在角速度值15为以设定在窗口部13a的内部的基准值为中心的给定范围内的情况下，窗口部13a输出静止信号14b。时间测量部13b在设定于内部的给定时间之间继续输入静止信号14b的情况下，输出使提供给传感器信号处理部12的提供电力降低的提供电力降低信号14c，并输出基准值更新信号14d。基准值更新部13c在被输入基准值更新信号14d时，将角速度值15作为新的基准值14e输出给窗口部13a。
图4是表示电力控制部13的控制例的图。横轴表示时间，纵轴表示角速度。在角速度值15包含在以基准值16为中心的上限阈值17和下限阈值18的范围R内的情况下，窗口部13a(参考图3)将静止信号14b(参考图3)输出给时间测量部13b(参考图3)。在图4中，在时刻t1到t2之间、以及时刻t3到t4之间输出静止信号14b。
在静止信号14b持续给定时间T的情况下，时间测量部13b输出提供电力降低信号14c以及基准值更新信号14d。在图4中，虽然在时刻t1到时刻t2之间将静止信号14b输入到时间测量部13b，但由于时刻t1到时刻t2的期间T1比给定时间T要短，因此不输出提供电力降低信号14c以及基准值更新信号14d。之后，从时刻t3起再度输入静止信号14b，在时刻t4，由于时刻t3起的期间T2达到给定时间T，因此输出提供电力降低信号14c以及基准值更新信号14d。其结果，在时刻t4，降低提供给传感器信号处理部12的提供电力，并将窗口部13a内的基准值16更新为时刻t4的角速度值即新的基准值16a。即，将基准值16更新为经过给定时间T时的惯性力值(新的基准值16a)。另外，在本实施方式中将经过给定时间T的时刻t4的惯性力值设为新的基准值，但不需要严格使用时刻t4的时间点的惯性力值。即，由于在使提供给传感器信号处理部12的提供电力降低的前后是实质同等的惯性力值，因此也可以将即将经过前(时刻t3～t4间)或刚经过后(刚过时刻t4后)的惯性力值设为新的基准值。
在图4中，未对角速度传感器10a施予角速度，但因角速度传感器元件11a的周围温度的变化而使得角速度值15慢慢上升。为此，从检测部12c输出的角速度值超过上限阈值17的可能性变高。但是，在本实施方式中，在时刻t4将窗口部13a内的基准值16更新为时刻t4的角速度值，设为新的基准值16a。因此，在通过来自外部的触发信号而使提供给传感器信号处理部12的提供电力返回通常值后，窗口部13a以新的基准值16a为基准来进行工作。如此，在角速度传感器10a的温度特性大的情况下，也能实现高精度的低消耗电力控制。
另外，也可以在角速度值15超过以基准值16为中心的上限阈值17和下限阈值18的范围R的情况下，电力控制部13使给定时间T较长。由此，例如在对搭载角速度传感器10a的电子设备施加角速度后，能使提供给传感器信号处理部12的提供电力的降低难以发生。
图5是表示本发明的实施方式1中的使用了计数器的给定期间的测量例的图。电力控制部13(参考图3)在给定周期T0确认角速度值15，并根据给定周期T0与计数器值之积来测量给定时间T。具体地，时间测量部13b(参考图3)在被输入静止信号14b(参考图3)之间，以给定周期T0使计数器值计数递增。在该计数器值超过计数器阈值的情况下，时间测量部13b判断为达到给定时间T，输出提供电力降低信号14c(参考图3)以及基准值更新信号14d(参考图3)。
即，电力控制部13对每个给定周期T0确认角速度值15，存储给定周期T0的次数。电力控制部13根据给定周期T0与次数之积来算出时间，判定该时间是否是给定时间T。然后，在惯性力值在给定时间内处于以基准值为中心的给定范围内的情况下，电力控制部13输出提供电力降低信号14c以及基准值更新信号14d。
在图5的示例中，计数器阈值为9。按每个给定周期T0使计数器值计数递增。在时刻t1～t2，由于在计数器阈值达到9前角速度值15就超过了上限阈值17，因此计数器值被复位到0。在时刻t3以后再度使计数器值计数递增。在时刻t4，由于计数器阈值达到9，因此时间测量部13b输出提供电力降低信号14c以及基准值更新信号14d。如此，通过使用计数器来测定给定时间，能以简易的构成进行用于低消耗电力的控制。
另外，也可以在角速度值15超过以基准值16为中心的上限阈值17和下限阈值18的范围R的情况下，电力控制部13使计数器阈值较大。即，也可以在角速度值15超过以基准值16为中心的给定范围的情况下，电力控制部13使给定周期T0的次数较多。由此，例如在驱动搭载角速度传感器10a的电子设备、施加角速度后，能使提供给传感器信号处理部12的提供电力的降低难以发生。
另外，也可以在角速度值15超过以基准值16为中心的上限阈值17和下限阈值18的范围R的情况下，电力控制部13通过提高上限阈值17，或降低下限阈值18来扩展范围R。由此，例如在对搭载角速度传感器10a的电子设备施加角速度后，能使提供给传感器信号处理部12的提供电力的降低难以发生。
另外，在本实施方式中，作为惯性力传感器10的具体例，用角速度传感器10a来进行了说明，但也可以运用在加速度传感器或压力传感器、地磁传感器等其它惯性力传感器中。
(实施方式2)
以下，对实施方式2的特征部分，以与实施方式1的相异点为中心进行说明。
图6是本发明的实施方式2中的惯性力传感器20的框图。惯性力传感器20具有：第1传感器元件21；第2传感器元件22；第1传感器信号处理部23；第2传感器信号处理部24；和电力控制部25。第1传感器元件21将第1惯性力变换为电信号。第2传感器元件2将与第1惯性力不同的第2惯性力变换为电信号。第1传感器信号处理部23与第1传感器元件21和电力控制部25连接。第1传感器信号处理部23从第1传感器元件21输入电信号，输出第1惯性力值。第2传感器信号处理部24与第2传感器元件22和电力控制部25连接。第2传感器信号处理部24从第2传感器元件22输入电信号，输出第2惯性力值。电力控制部25与第1传感器信号处理部23和第2传感器信号处理部24连接。电力控制部25基于第1惯性力值来控制提供给第2传感器信号处理部24的提供电力。在第1惯性力值在给定时间内处于以基准值为中心的给定范围内的情况下，电力控制部25使提供给第2传感器信号处理部24的提供电力降低，并将基准值更新为第1惯性力值。
通过该构成，能基于第1惯性力值来高精度地进行第2传感器信号处理部24的低消耗电力控制。期望将2个传感器信号处理部中消耗电力小的一方设为第1传感器信号处理部23。由此，使用能以小的消耗电力进行检测的第1惯性力，来减少需要大的消耗电力的第2传感器信号处理部24的消耗电力。
图7是惯性力传感器20的一例，即使用了加速度传感器元件21a和角速度传感器元件22a的惯性力传感器20a的框图。作为第1传感器元件21使用加速度传感器元件21a，作为第2传感器元件22使用角速度传感器元件22a。
加速度传感器元件21a具有挠性部(未图示)，将加速度所引起的挠性部的变位变换成电信号。加速度传感器信号处理部23a检测该电信号。
角速度传感器元件22a具有挠性部(未图示)，使该挠性部驱动振动，将在与驱动振动轴以及角速度的施加轴正交的轴向上发生的科里奥利力所引起的挠性部的变位变换成电信号。角速度传感器信号处理部24a检测该电信号。
在此，角速度传感器信号处理部24a如图2所示那样具有驱动部和检测部，通过驱动部使角速度传感器元件22a驱动振动。为此，角速度传感器信号处理部24a的消耗电力大于加速度传感器信号处理部23a。
在从加速度传感器信号处理部23a输出的加速度值在给定时间内处于以基准值为中心的给定范围内的情况下，电力控制部25使提供给角速度传感器信号处理部24a的提供电力降低。如此，在检测不同的2个种类的惯性力的惯性力传感器中，能减少消耗电力大的一方的信号处理部的消耗电力。
进而，能使用加速度传感器信号处理部23a来进行角速度传感器信号处理部24a的恢复处理。例如，在从加速度传感器信号处理部23a输出的加速度值超过给定的阈值的情况下，电力控制部25使提供给角速度传感器信号处理部24a的提供电力返回通常值。由此，不基于外部触发而在惯性力传感器20a内完结，能进行低消耗电力化控制和恢复控制。
另外，在本实施方式中，作为第1传感器元件21使用了加速度传感器元件21a，但也可以使用地磁传感器元件或气压传感器元件。另外，作为第2传感器元件22使用角速度传感器元件22a，但也可以使用振动型加速度传感器元件或振动型形变传感器元件。
图8是本发明的实施方式2中的使用惯性力传感器30的电子设备33的框图。
惯性力传感器30与图6所示的惯性力传感器20的差异在于，惯性力传感器30具有接口控制部31这一点。接口控制部31与第1传感器信号处理部23、第2传感器信号处理部24和电力控制部25连接。
从第1传感器信号处理部23输出的第1惯性力值，被输入到接口控制部31和电力控制部25。从第2传感器信号处理部24输出的第2惯性力值被输入到接口控制部31。
接口控制部31与设于惯性力传感器30的外部的CPU32连接，能收发信号。另外，接口控制部31能向电力控制部25发送信号。由于除此以外都与惯性力传感器20相同，因此省略其说明。
CPU32在通常时(动作时)和休眠时(非动作时)改变用于与接口控制部31收发信号的轮询周期。具体地，CPU32使休眠时(非动作时)的轮询周期长于通常时(动作时)的轮询周期。即，在提供给第2传感器信号处理部24的提供电力降低之间，CPU32使信号的收发周期较长。控制电子设备33的CPU32的电路规模较大，为此其消耗电力较大。通过使休眠时(非动作时)的轮询周期较长，能减轻CPU32的处理负载，能减少电子设备33的消耗电力。在此，所谓通常时是惯性力传感器30进行动作的状态，所谓休眠时是惯性力传感器30未动作的状态。
另外，在本实施方式中，说明了对惯性力传感器20加上接口控制部31的构成，但也可以对图1所示的惯性力传感器10加上接口控制部31，与CPU32。这种情况下，在提供给传感器信号处理部12的提供电力降低的期间，CPU32使信号的收发周期较长。
另外，在本实施方式也是，作为第1传感器元件21能使用加速度传感器元件、地磁传感器元件或气压传感器元件等。另外，作为第2传感器元件22，能使用角速度传感器元件、振动型加速度传感器元件或振动型形变传感器元件等。
产业上的利用可能性
本发明的惯性力传感器由于能以简易的构成实现高精度的低消耗电力化，因此能作为用在数码相机、便携终端、机器人、其它各种电子设备中的惯性力传感器有用。
标号的说明
1、10、20、20a、30惯性力传感器
10a 角速度传感器
11  传感器元件
11a 角速度传感器元件
12  传感器信号处理部
12a 角速度传感器信号处理部
13  电力控制部
13a 窗口部
13b 时间测量部
13c 基准值更新部
14b 静止信号
14c 提供电力降低信号
14d 基准值更新信号
14e、16a 新的基准值
15  角速度值
16  基准值
17  上限阈值
18  下限阈值
21  第1传感器元件
21a 加速度传感器元件
22  第2传感器元件
22a 角速度传感器元件
23  第1传感器信号处理部
23a 加速度传感器信号处理部
24  第2传感器信号处理部
24a 角速度传感器信号处理部
25  电力控制部
31  接口控制部
32  CPU
33  电子设备

Claims (12)

1.一种惯性力传感器，具有：
将惯性力变换成电信号的传感器元件；
与所述传感器元件连接并输出惯性力值的传感器信号处理部；和
基于所述惯性力值来控制提供给所述传感器信号处理部的提供电力的电力控制部，
在所述惯性力值在给定时间内处于以基准值为中心的给定范围内的情况下，所述电力控制部使提供给所述传感器信号处理部的提供电力降低，并将所述基准值更新为经过所述给定时间时的惯性力值。
2.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中，
在所述惯性力值超过以基准值为中心的给定范围的情况下，所述电力控制部使所述给定时间变长。
3.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中，
在所述惯性力值超过以基准值为中心的给定范围的情况下，所述电力控制部将所述给定范围扩展。
4.根据权利要求1所述的惯性力传感器，其中，
所述电力控制部以给定周期确认所述惯性力值，并通过所述给定周期与给定次数之积来判定所述给定时间。
5.根据权利要求4所述的惯性力传感器，其中，
在所述惯性力值超过以基准值为中心的给定范围的情况下，所述电力控制部使所述给定次数增加。
6.一种惯性力传感器，具有：
将第1惯性力变换成电信号的第1传感器元件；
将与所述第1惯性力不同的第2惯性力变换成电信号的第2传感器元件；
与所述第1传感器元件连接并输出第1惯性力值的第1传感器信号处理部；
与所述第2传感器元件连接并输出第2惯性力值的第2传感器信号处理部；和
基于所述第1惯性力值来控制提供给所述第2传感器信号处理部的提供电力的电力控制部，
在所述第1惯性力值在给定时间内处于以基准值为中心的给定范围内的情况下，所述电力控制部使提供给所述第2传感器信号处理部的提供电力降低，并将所述基准值更新为经过所述给定时间时的第1惯性力值。
7.根据权利要求6所述的惯性力传感器，其中，
在所述第1惯性力值超过以基准值为中心的给定范围的情况下，所述电力控制部使所述给定时间变长。
8.根据权利要求6所述的惯性力传感器，其中，
在所述第1惯性力值超过以基准值为中心的给定范围的情况下，所述电力控制部将所述给定范围扩展。
9.根据权利要求6所述的惯性力传感器，其中，
所述电力控制部以给定周期确认所述第1惯性力值，并通过所述给定周期与给定次数之积来判定所述给定时间。
10.根据权利要求9所述的惯性力传感器，其中，
在所述第1惯性力值超过以基准值为中心的给定范围的情况下，所述电力控制部使所述给定次数增加。
11.一种电子设备，具备：
权利要求1所述的惯性力传感器；和
周期性地与所述惯性力传感器收发信号的CPU，
在提供给所述传感器信号处理部的提供电力降低的期间，所述CPU使所述信号的收发周期变长。
12.一种电子设备，具备：
权利要求6所述的惯性力传感器；和
周期性地与所述惯性力传感器收发信号的CPU，
在提供给所述第2传感器信号处理部的提供电力降低的期间，所述CPU使所述信号的收发周期变长。
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Publication Number Publication Date
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Family

ID=

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61256372A (ja) * 1985-05-09 1986-11-13 オセ−ネ−デルランド・ベ−・ヴエ− 掃除部材上の粘性材料層の更新時期を決定する方法及びこの方法実施のための装置
JP2002350139A (ja) * 2001-05-30 2002-12-04 Ngk Insulators Ltd 振動子を用いた検出方法および検出装置
WO2005019790A1 (ja) * 2003-08-26 2005-03-03 Matsushita Electric Works, Ltd. センサ装置
US20050203430A1 (en) * 2004-03-01 2005-09-15 Lyndsay Williams Recall device
JP2006155505A (ja) * 2004-12-01 2006-06-15 Seiko Epson Corp 状態監視システムおよびこれに用いるネットワーク装置、状態監視装置
JP2009040225A (ja) * 2007-08-09 2009-02-26 Nsk Ltd 電動パワーステアリング装置
JP2009194741A (ja) * 2008-02-15 2009-08-27 Nec Corp パルス位相調整方法および装置
WO2011005634A1 (en) * 2009-07-06 2011-01-13 Carefusion 303, Inc. Systems and methods for delivery a fluid to a patient having wireless communication
JP2011099833A (ja) * 2009-11-09 2011-05-19 Denso Corp 力学量検出装置
US20120023354A1 (en) * 2010-07-22 2012-01-26 Seiko Epson Corporation Sensing device and electronic apparatus

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61256372A (ja) * 1985-05-09 1986-11-13 オセ−ネ−デルランド・ベ−・ヴエ− 掃除部材上の粘性材料層の更新時期を決定する方法及びこの方法実施のための装置
JP2002350139A (ja) * 2001-05-30 2002-12-04 Ngk Insulators Ltd 振動子を用いた検出方法および検出装置
WO2005019790A1 (ja) * 2003-08-26 2005-03-03 Matsushita Electric Works, Ltd. センサ装置
CN1701223A (zh) * 2003-08-26 2005-11-23 松下电工株式会社 传感器装置
US20050203430A1 (en) * 2004-03-01 2005-09-15 Lyndsay Williams Recall device
JP2006155505A (ja) * 2004-12-01 2006-06-15 Seiko Epson Corp 状態監視システムおよびこれに用いるネットワーク装置、状態監視装置
JP2009040225A (ja) * 2007-08-09 2009-02-26 Nsk Ltd 電動パワーステアリング装置
JP2009194741A (ja) * 2008-02-15 2009-08-27 Nec Corp パルス位相調整方法および装置
WO2011005634A1 (en) * 2009-07-06 2011-01-13 Carefusion 303, Inc. Systems and methods for delivery a fluid to a patient having wireless communication
JP2011099833A (ja) * 2009-11-09 2011-05-19 Denso Corp 力学量検出装置
US20120023354A1 (en) * 2010-07-22 2012-01-26 Seiko Epson Corporation Sensing device and electronic apparatus

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