JP2002328055A - 液体有無検出装置及び液体有無検出方法 - Google Patents
液体有無検出装置及び液体有無検出方法Info
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- B67—OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 貯蔵容器に貯蔵された液体材料の有無を確実
かつ容易に判断することができる液体有無検出装置及び
液体有無検出方法を提供すること。 【解決手段】本発明は、貯蔵容器２２内に圧送ガスを導
入して貯蔵容器２２内に貯蔵された液体材料を使用先に
供給する液体材料供給装置２０に用いられる液体有無検
出装置１００であって、貯蔵容器２２から輸送される被
輸送物の相状態を検出する相状態検出手段（液面計１０
２）と、相状態検出手段（液面計１０２）により検出さ
れる相状態（気液分離容器５０内の液体材料の増加率）
に基づいて、貯蔵容器２２内の液体材料の有無を判断す
る判断手段（判断装置１０４）とを備えて構成されてい
る。
かつ容易に判断することができる液体有無検出装置及び
液体有無検出方法を提供すること。 【解決手段】本発明は、貯蔵容器２２内に圧送ガスを導
入して貯蔵容器２２内に貯蔵された液体材料を使用先に
供給する液体材料供給装置２０に用いられる液体有無検
出装置１００であって、貯蔵容器２２から輸送される被
輸送物の相状態を検出する相状態検出手段（液面計１０
２）と、相状態検出手段（液面計１０２）により検出さ
れる相状態（気液分離容器５０内の液体材料の増加率）
に基づいて、貯蔵容器２２内の液体材料の有無を判断す
る判断手段（判断装置１０４）とを備えて構成されてい
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造プロセ
ス等で用いられる液体材料の所定の使用先への供給にお
いて、貯蔵容器内に貯蔵された液体材料の有無を判断す
るための液体有無検出装置及び液体有無検出方法に関す
る。
ス等で用いられる液体材料の所定の使用先への供給にお
いて、貯蔵容器内に貯蔵された液体材料の有無を判断す
るための液体有無検出装置及び液体有無検出方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体集積デバイスや液晶パネル等のマ
イクロ・エレクトロニクス・デバイスを製造するために
は、基板上に様々な材料の膜を成膜する必要がある。こ
の成膜方法としてはＰＶＤ（物理的気相堆積）法とＣＶ
Ｄ（化学的気相堆積）法が広く一般に知られている。
イクロ・エレクトロニクス・デバイスを製造するために
は、基板上に様々な材料の膜を成膜する必要がある。こ
の成膜方法としてはＰＶＤ（物理的気相堆積）法とＣＶ
Ｄ（化学的気相堆積）法が広く一般に知られている。
【０００３】ところで、主としてＣＶＤ法による成膜プ
ロセスにおいては、ＴｉＣｌ4（四塩化チタン）、Ｓｉ
（ＯＣ2Ｈ5）4（ＴＥＯＳ）、Ｔａ（ＯＣ2Ｈ5）5（ＰＥ
Ｔ）等の液体材料を成膜材料として用いることがある。
従来、このような液体材料は、図６に示すような液体供
給装置１により所定の使用先、例えば液体材料をプロセ
スガスにガス化するためのガス化装置に供給されるよう
になっている。
ロセスにおいては、ＴｉＣｌ4（四塩化チタン）、Ｓｉ
（ＯＣ2Ｈ5）4（ＴＥＯＳ）、Ｔａ（ＯＣ2Ｈ5）5（ＰＥ
Ｔ）等の液体材料を成膜材料として用いることがある。
従来、このような液体材料は、図６に示すような液体供
給装置１により所定の使用先、例えば液体材料をプロセ
スガスにガス化するためのガス化装置に供給されるよう
になっている。
【０００４】図示の液体供給装置１は、基本的には、液
体材料が充填されている小型の交換式貯蔵容器２に接続
される配管系から構成されており、貯蔵容器２の液体供
給口に継手３を介して接続され使用先に延びる供給用配
管４と、貯蔵容器２の圧送ガス取入れ口に継手５を介し
て接続されＨｅガス等の圧送ガス供給源６に接続された
圧送用配管７とを備えている。かかる構成において、圧
送ガス供給源６から圧送ガスを貯蔵容器２内に送り込む
と、貯蔵容器２の内部空間の圧力が高められて、液体材
料が貯蔵容器２の液体供給口から供給用配管４に圧送さ
れる。
体材料が充填されている小型の交換式貯蔵容器２に接続
される配管系から構成されており、貯蔵容器２の液体供
給口に継手３を介して接続され使用先に延びる供給用配
管４と、貯蔵容器２の圧送ガス取入れ口に継手５を介し
て接続されＨｅガス等の圧送ガス供給源６に接続された
圧送用配管７とを備えている。かかる構成において、圧
送ガス供給源６から圧送ガスを貯蔵容器２内に送り込む
と、貯蔵容器２の内部空間の圧力が高められて、液体材
料が貯蔵容器２の液体供給口から供給用配管４に圧送さ
れる。
【０００５】貯蔵容器２の交換の際には、半導体製造プ
ロセスで用いられる液体材料が可燃性、有毒性等を有
し、また、非常に高価であるため、貯蔵容器２内に充填
されていた液体材料が完全に圧送され、貯蔵容器２が空
であることが望ましい。ところが、貯蔵容器２は不透明
であり内部を視認することができない。このため、ロー
ドセル等の重量計８を用いて、貯蔵容器２の重量を検出
し、貯蔵容器２内の液体材料の有無を判断していた。
ロセスで用いられる液体材料が可燃性、有毒性等を有
し、また、非常に高価であるため、貯蔵容器２内に充填
されていた液体材料が完全に圧送され、貯蔵容器２が空
であることが望ましい。ところが、貯蔵容器２は不透明
であり内部を視認することができない。このため、ロー
ドセル等の重量計８を用いて、貯蔵容器２の重量を検出
し、貯蔵容器２内の液体材料の有無を判断していた。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
たような液体供給装置１においては、可燃性、有毒性等
を有する液体材料が漏出しないよう、供給用配管４及び
圧送用配管７に可撓性をもたせることができないため、
各貯蔵容器２毎に重量計８に掛かる負荷にばらつきが生
じる。したがって、貯蔵容器２の重量を適正に検出する
ことができず、貯蔵容器２が空になっても空と判断され
ず使用先への液体材料の供給断を起こしたり、貯蔵容器
２が空になっていなくても空と判断され液体材料が残っ
た状態で貯蔵容器２が交換されたりするおそれがある。
このため、時々供給を停止し貯蔵容器２を取外して貯蔵
容器２内の液体材料の有無を確認しなければならず、作
業性の低下という問題がある。
たような液体供給装置１においては、可燃性、有毒性等
を有する液体材料が漏出しないよう、供給用配管４及び
圧送用配管７に可撓性をもたせることができないため、
各貯蔵容器２毎に重量計８に掛かる負荷にばらつきが生
じる。したがって、貯蔵容器２の重量を適正に検出する
ことができず、貯蔵容器２が空になっても空と判断され
ず使用先への液体材料の供給断を起こしたり、貯蔵容器
２が空になっていなくても空と判断され液体材料が残っ
た状態で貯蔵容器２が交換されたりするおそれがある。
このため、時々供給を停止し貯蔵容器２を取外して貯蔵
容器２内の液体材料の有無を確認しなければならず、作
業性の低下という問題がある。
【０００７】そこで、本発明は、このような事情に鑑み
てなされたものであり、貯蔵容器に貯蔵された液体材料
の有無を確実かつ容易に判断することができる液体有無
検出装置及び液体有無検出方法を提供することを目的と
する。
てなされたものであり、貯蔵容器に貯蔵された液体材料
の有無を確実かつ容易に判断することができる液体有無
検出装置及び液体有無検出方法を提供することを目的と
する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る液体有無検出装置は、貯蔵容器内に圧
送ガスを導入して貯蔵容器内に貯蔵された液体材料を使
用先に供給する液体材料供給装置に用いられる液体有無
検出装置であって、貯蔵容器から輸送される被輸送物の
相状態を検出する相状態検出手段と、相状態検出手段に
より検出される相状態に基づいて、貯蔵容器内の液体材
料の有無を判断する判断手段とを備えたことを特徴とし
ている。
に、本発明に係る液体有無検出装置は、貯蔵容器内に圧
送ガスを導入して貯蔵容器内に貯蔵された液体材料を使
用先に供給する液体材料供給装置に用いられる液体有無
検出装置であって、貯蔵容器から輸送される被輸送物の
相状態を検出する相状態検出手段と、相状態検出手段に
より検出される相状態に基づいて、貯蔵容器内の液体材
料の有無を判断する判断手段とを備えたことを特徴とし
ている。
【０００９】かかる構成においては、貯蔵容器内の液体
材料が空になると、貯蔵容器から輸送される被輸送物は
液体材料から圧送ガスに変わる。すなわち、被輸送物の
相状態は液相から気相に変わる。したがって、相状態検
出手段を用いて被輸送物の相状態を検出することによ
り、貯蔵容器内の液体材料の有無を確実かつ容易に判断
することができる。
材料が空になると、貯蔵容器から輸送される被輸送物は
液体材料から圧送ガスに変わる。すなわち、被輸送物の
相状態は液相から気相に変わる。したがって、相状態検
出手段を用いて被輸送物の相状態を検出することによ
り、貯蔵容器内の液体材料の有無を確実かつ容易に判断
することができる。
【００１０】また、相状態検出手段は、輸送される液体
材料の流量を検出する流量検出手段であることが好まし
い。上述したように、貯蔵容器内の液体材料が空になる
と、被輸送物は液体材料から圧送ガスに変わるため、流
量検出手段を用いて輸送される液体材料の流量を検出す
ることで相状態の変化を検出することができるからであ
る。
材料の流量を検出する流量検出手段であることが好まし
い。上述したように、貯蔵容器内の液体材料が空になる
と、被輸送物は液体材料から圧送ガスに変わるため、流
量検出手段を用いて輸送される液体材料の流量を検出す
ることで相状態の変化を検出することができるからであ
る。
【００１１】また、液体材料供給装置は、貯蔵容器の液
体供給口に取外し可能に接続され、貯蔵容器内の液体材
料を輸送する第１の輸送用配管と、貯蔵容器の圧送ガス
取入れ口に取外し可能に接続され、貯蔵容器内に圧送ガ
スを導入して第１の輸送用配管を通して液体材料を圧送
させる第１の圧送用配管と、第１の輸送用配管の他端に
接続され、貯蔵容器から第１の輸送用配管を通して輸送
される液体材料を貯留する気液分離容器と、気液分離容
器内に一端が液体材料の取入れ端部として配置され、他
端が使用先に延びている第２の輸送用配管と、気液分離
容器に接続され、気液分離容器内に圧送ガスを導入して
第２の輸送用配管を通して使用先に液体材料を圧送させ
る第２の圧送用配管とを備えるものとすることができ
る。
体供給口に取外し可能に接続され、貯蔵容器内の液体材
料を輸送する第１の輸送用配管と、貯蔵容器の圧送ガス
取入れ口に取外し可能に接続され、貯蔵容器内に圧送ガ
スを導入して第１の輸送用配管を通して液体材料を圧送
させる第１の圧送用配管と、第１の輸送用配管の他端に
接続され、貯蔵容器から第１の輸送用配管を通して輸送
される液体材料を貯留する気液分離容器と、気液分離容
器内に一端が液体材料の取入れ端部として配置され、他
端が使用先に延びている第２の輸送用配管と、気液分離
容器に接続され、気液分離容器内に圧送ガスを導入して
第２の輸送用配管を通して使用先に液体材料を圧送させ
る第２の圧送用配管とを備えるものとすることができ
る。
【００１２】そして、このような液体材料供給装置は、
複数の貯蔵容器を備えたり、複数の気液分離容器を備え
たりするものとしてもよい。
複数の貯蔵容器を備えたり、複数の気液分離容器を備え
たりするものとしてもよい。
【００１３】このような気液分離容器を有する液体材料
供給装置においては、相状態検出手段は、気液分離容器
内の液体材料の液量を検出する液量検出手段であり、判
断手段は、液量検出手段により検出される液量の増加率
に基づいて、所定の増加率以上であれば有り、所定の増
加率未満であれば無しと貯蔵容器内の液体材料の有無を
判断する判断手段であることが好ましい。かかる構成に
おいては、貯蔵容器内の液体材料が空になると、気液分
離容器内への液体材料の輸送が停止する。したがって、
液量検出手段を用いて気液分離容器内の液体材料の液量
を検出することにより、その増加率に基づいて貯蔵容器
内の液体材料の有無を確実かつ容易に判断することがで
きる。
供給装置においては、相状態検出手段は、気液分離容器
内の液体材料の液量を検出する液量検出手段であり、判
断手段は、液量検出手段により検出される液量の増加率
に基づいて、所定の増加率以上であれば有り、所定の増
加率未満であれば無しと貯蔵容器内の液体材料の有無を
判断する判断手段であることが好ましい。かかる構成に
おいては、貯蔵容器内の液体材料が空になると、気液分
離容器内への液体材料の輸送が停止する。したがって、
液量検出手段を用いて気液分離容器内の液体材料の液量
を検出することにより、その増加率に基づいて貯蔵容器
内の液体材料の有無を確実かつ容易に判断することがで
きる。
【００１４】さらに、上述の気液分離容器を有する液体
材料供給装置においては、相状態検出手段は、気液分離
容器内のガス圧力を検出する圧力検出手段であり、判断
手段は、圧力検出手段により検出されるガス圧力の増加
率に基づいて、所定の増加率以上であれば無し、所定の
増加率未満であれば有りと貯蔵容器内の液体材料の有無
を判断する判断手段であってもよい。かかる構成におい
ては、貯蔵容器内の液体材料が空になると、気液分離容
器内に圧送ガスが輸送され、気液分離容器内のガス圧力
の増加率が変化する。したがって、圧力検出手段を用い
て気液分離容器内のガス圧力を検出することにより、そ
の増加率に基づいて貯蔵容器内の液体材料の有無を確実
かつ容易に判断することができる。
材料供給装置においては、相状態検出手段は、気液分離
容器内のガス圧力を検出する圧力検出手段であり、判断
手段は、圧力検出手段により検出されるガス圧力の増加
率に基づいて、所定の増加率以上であれば無し、所定の
増加率未満であれば有りと貯蔵容器内の液体材料の有無
を判断する判断手段であってもよい。かかる構成におい
ては、貯蔵容器内の液体材料が空になると、気液分離容
器内に圧送ガスが輸送され、気液分離容器内のガス圧力
の増加率が変化する。したがって、圧力検出手段を用い
て気液分離容器内のガス圧力を検出することにより、そ
の増加率に基づいて貯蔵容器内の液体材料の有無を確実
かつ容易に判断することができる。
【００１５】また、上記目的を達成するために、本発明
は液体有無検出方法にも係り、貯蔵容器内に圧送ガスを
導入して貯蔵容器内に貯蔵された液体材料を使用先に供
給する液体材料供給装置に用いられる液体有無検出方法
であって、貯蔵容器から輸送される被輸送物の相状態を
検出する相状態検出ステップと、相状態検出ステップに
より検出される相状態に基づいて、貯蔵容器内の液体材
料の有無を判断する判断ステップとを備えたことを特徴
としている。
は液体有無検出方法にも係り、貯蔵容器内に圧送ガスを
導入して貯蔵容器内に貯蔵された液体材料を使用先に供
給する液体材料供給装置に用いられる液体有無検出方法
であって、貯蔵容器から輸送される被輸送物の相状態を
検出する相状態検出ステップと、相状態検出ステップに
より検出される相状態に基づいて、貯蔵容器内の液体材
料の有無を判断する判断ステップとを備えたことを特徴
としている。
【００１６】なお、相状態検出ステップは、輸送される
液体材料の流量を検出する流量検出ステップであること
が好ましい。
液体材料の流量を検出する流量検出ステップであること
が好ましい。
【００１７】また、上述の気液分離容器を有する液体材
料供給装置においては、相状態検出ステップは、気液分
離容器内の液体材料の液量を検出する液量検出ステップ
であり、判断ステップは、液量検出ステップにより検出
される液量の増加率に基づいて、所定の増加率以上であ
れば有り、所定の増加率未満であれば無しと貯蔵容器内
の液体材料の有無を判断する判断ステップであるとする
ことができる。
料供給装置においては、相状態検出ステップは、気液分
離容器内の液体材料の液量を検出する液量検出ステップ
であり、判断ステップは、液量検出ステップにより検出
される液量の増加率に基づいて、所定の増加率以上であ
れば有り、所定の増加率未満であれば無しと貯蔵容器内
の液体材料の有無を判断する判断ステップであるとする
ことができる。
【００１８】さらに、上述の気液分離容器を有する液体
材料供給装置においては、相状態検出ステップは、気液
分離容器内のガス圧力を検出する圧力検出ステップであ
り、判断ステップは、圧力検出ステップにより検出され
るガス圧力の増加率に基づいて、所定の増加率以上であ
れば無し、所定の増加率未満であれば有りと貯蔵容器内
の液体材料の有無を判断する判断ステップであってもよ
い。
材料供給装置においては、相状態検出ステップは、気液
分離容器内のガス圧力を検出する圧力検出ステップであ
り、判断ステップは、圧力検出ステップにより検出され
るガス圧力の増加率に基づいて、所定の増加率以上であ
れば無し、所定の増加率未満であれば有りと貯蔵容器内
の液体材料の有無を判断する判断ステップであってもよ
い。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明の好適な
実施形態について詳細に説明する。
実施形態について詳細に説明する。
【００２０】（第１の実施形態）図１は、本発明の第１
の実施形態に係る液体有無検出装置１００の説明図であ
る。まず、液体有無検出装置１００の説明に先立ち、液
体有無検出装置１００が用いられる液体供給装置２０に
ついて説明する。
の実施形態に係る液体有無検出装置１００の説明図であ
る。まず、液体有無検出装置１００の説明に先立ち、液
体有無検出装置１００が用いられる液体供給装置２０に
ついて説明する。
【００２１】液体供給装置２０は、半導体デバイスや液
晶パネル等を製造する場合の成膜プロセスで用いられる
液体材料を成膜装置（使用先）に液相のままで供給する
ためのものである。以下では、成膜用の液体材料として
例えば四塩化チタンを用い、四塩化チタンをＣＶＤ成膜
装置におけるガス化装置（図示しない）に供給するもの
として説明する。
晶パネル等を製造する場合の成膜プロセスで用いられる
液体材料を成膜装置（使用先）に液相のままで供給する
ためのものである。以下では、成膜用の液体材料として
例えば四塩化チタンを用い、四塩化チタンをＣＶＤ成膜
装置におけるガス化装置（図示しない）に供給するもの
として説明する。
【００２２】図示するように、液体供給装置２０は、液
体材料が貯蔵された交換式の貯蔵容器２２を接続して用
いられる。この貯蔵容器２２は、例えば容量が６リット
ル程度の小型の円筒形密閉容器であり、所定量の液体材
料が充填された状態のものが購入され使用される。貯蔵
容器２２は、天板部を貫通し下端が底部の近傍に位置す
る第１の管２４と、同じく天板部を貫通するが下端が上
部空間で終端している第２の管２６とを有している。第
１の管２４の上端は液体供給口２５として、また、第２
の管２６の上端は圧送ガス取入れ口２７として機能し、
各管には開閉バルブ２８、３０が設けられている。
体材料が貯蔵された交換式の貯蔵容器２２を接続して用
いられる。この貯蔵容器２２は、例えば容量が６リット
ル程度の小型の円筒形密閉容器であり、所定量の液体材
料が充填された状態のものが購入され使用される。貯蔵
容器２２は、天板部を貫通し下端が底部の近傍に位置す
る第１の管２４と、同じく天板部を貫通するが下端が上
部空間で終端している第２の管２６とを有している。第
１の管２４の上端は液体供給口２５として、また、第２
の管２６の上端は圧送ガス取入れ口２７として機能し、
各管には開閉バルブ２８、３０が設けられている。
【００２３】また、液体供給装置２０は、貯蔵容器２２
の液体供給口２５に切離し可能な継手３２により接続さ
れる第１の供給用配管３４と、Ｈｅガス等の圧送ガスを
その供給源３６から貯蔵容器２２の内部に供給すべく貯
蔵容器２２の圧送ガス取入れ口２７に切離し可能な継手
３８により接続される第１の圧送用配管４０とを備えて
いる。また、これらの配管３４、４０内の液体材料やガ
スをパージするための配管系として、Ｎ2ガス等のパー
ジガスをその供給源４２から第１の圧送用配管４０に供
給するパージ用配管４４と、配管３４、４０内の液体材
料やガスを真空ポンプ（図示しない）により外部に排出
すために第１の圧送用配管４０に接続された排出用配管
４６と、第１の供給用配管３４及び第１の圧送用配管４
０の間を連通するバイパス配管４８とを備えている。
の液体供給口２５に切離し可能な継手３２により接続さ
れる第１の供給用配管３４と、Ｈｅガス等の圧送ガスを
その供給源３６から貯蔵容器２２の内部に供給すべく貯
蔵容器２２の圧送ガス取入れ口２７に切離し可能な継手
３８により接続される第１の圧送用配管４０とを備えて
いる。また、これらの配管３４、４０内の液体材料やガ
スをパージするための配管系として、Ｎ2ガス等のパー
ジガスをその供給源４２から第１の圧送用配管４０に供
給するパージ用配管４４と、配管３４、４０内の液体材
料やガスを真空ポンプ（図示しない）により外部に排出
すために第１の圧送用配管４０に接続された排出用配管
４６と、第１の供給用配管３４及び第１の圧送用配管４
０の間を連通するバイパス配管４８とを備えている。
【００２４】さらに、液体供給装置２０は、第１の供給
用配管３４からの液体材料を一時的に貯留して液体材料
に混入しているガスを分離し、使用先に液体材料のみの
供給を可能とする気液分離容器５０を備えている。この
気液分離容器５０は、四塩化チタンに対しては、容量が
３リットル程度の小型の円筒形密閉容器から構成されて
いる。前記の第１の供給用配管３４は、この気液分離容
器５０の天板部を貫通し天板部の近傍にて終端してい
る。
用配管３４からの液体材料を一時的に貯留して液体材料
に混入しているガスを分離し、使用先に液体材料のみの
供給を可能とする気液分離容器５０を備えている。この
気液分離容器５０は、四塩化チタンに対しては、容量が
３リットル程度の小型の円筒形密閉容器から構成されて
いる。前記の第１の供給用配管３４は、この気液分離容
器５０の天板部を貫通し天板部の近傍にて終端してい
る。
【００２５】また、気液分離容器５０内の液体材料を使
用先まで送るために、気液分離容器５０には第２の供給
用配管５２が設けられている。第２の供給用配管５２は
気液分離容器５０の天板部を貫通し、その下端は容器５
０底部の近傍に配置されている。さらに気液分離容器５
０の天板部には、一端がＨｅガス等の圧送ガスの供給源
５６に接続された第２の圧送用配管５８が貫通してお
り、その他端が気液分離容器５０の上部で終端してい
る。したがって、圧送ガス供給源５６から圧送ガスを第
２の圧送用配管５８を介して気液分離容器５０内に供給
すると、容器５０内の上部空間のガス圧力が高まり、容
器内部の液体材料が第２の供給用配管５２から使用先に
圧送される。
用先まで送るために、気液分離容器５０には第２の供給
用配管５２が設けられている。第２の供給用配管５２は
気液分離容器５０の天板部を貫通し、その下端は容器５
０底部の近傍に配置されている。さらに気液分離容器５
０の天板部には、一端がＨｅガス等の圧送ガスの供給源
５６に接続された第２の圧送用配管５８が貫通してお
り、その他端が気液分離容器５０の上部で終端してい
る。したがって、圧送ガス供給源５６から圧送ガスを第
２の圧送用配管５８を介して気液分離容器５０内に供給
すると、容器５０内の上部空間のガス圧力が高まり、容
器内部の液体材料が第２の供給用配管５２から使用先に
圧送される。
【００２６】さらに、気液分離容器５０の天板部には圧
抜き用配管６４が接続されている。この圧抜き用配管６
４は、気液分離容器５０内のガス圧力を調節するための
ものであり、抜き出されたガスは適当なガス処理装置
（図示しない）に送られる。
抜き用配管６４が接続されている。この圧抜き用配管６
４は、気液分離容器５０内のガス圧力を調節するための
ものであり、抜き出されたガスは適当なガス処理装置
（図示しない）に送られる。
【００２７】なお、気液分離容器５０底部には液抜き用
配管８０が設けられており、気液分離容器５０内を空に
する必要がある場合等に用いられる。また、上述した液
体供給装置２０の配管系及び貯蔵容器２２はキャビネッ
ト８２内に配置されている。これは、扱う液体材料が可
燃性、有毒性等を有するものであるため、配管の継手部
やバルブから万が一液体が漏出した際、外部に放散され
る事態を防ぐためである。なお、貯蔵容器２２は、キャ
ビネット８２とは別に設けられたキャビネット内に配置
されてもよい。
配管８０が設けられており、気液分離容器５０内を空に
する必要がある場合等に用いられる。また、上述した液
体供給装置２０の配管系及び貯蔵容器２２はキャビネッ
ト８２内に配置されている。これは、扱う液体材料が可
燃性、有毒性等を有するものであるため、配管の継手部
やバルブから万が一液体が漏出した際、外部に放散され
る事態を防ぐためである。なお、貯蔵容器２２は、キャ
ビネット８２とは別に設けられたキャビネット内に配置
されてもよい。
【００２８】次に、液体有無検出装置１００について説
明する。
明する。
【００２９】液体有無検出装置１００は、液面計１０２
を備えている。液面計１０２は、気液分離容器５０に設
けられ、液体材料の液面の位置を検出し電気信号として
出力するもので液量検出手段すなわち相状態検出手段と
して機能する。液面計１０２は種々の型式のものが適用
可能であるが、四塩化チタンは腐食性を有するため、非
接触型のものが好ましい。図示実施形態の液面計１０２
は、気液分離容器５０の側壁に互いに対向する一対の透
光性窓を設け、一方の窓の外面に複数の投光器１０２ａ
を上下方向に配置し、他方の窓の外面に対向する投光器
１０２ａからの光を受ける受光器１０２ｂを上下方向に
配置して成るものである。対をなす投光器１０２ａ及び
受光器１０２ｂの間に液体材料があるか否かにより受光
器１０２ｂからの電気信号の出力レベルが変化するの
で、各受光器１０２ｂからの電気信号に基づいて気液分
離容器５０内の液位を、図示形態では容器５０底部から
ＬＬ、Ｌ、Ｈ、ＨＨの４段階で検出することができる。
を備えている。液面計１０２は、気液分離容器５０に設
けられ、液体材料の液面の位置を検出し電気信号として
出力するもので液量検出手段すなわち相状態検出手段と
して機能する。液面計１０２は種々の型式のものが適用
可能であるが、四塩化チタンは腐食性を有するため、非
接触型のものが好ましい。図示実施形態の液面計１０２
は、気液分離容器５０の側壁に互いに対向する一対の透
光性窓を設け、一方の窓の外面に複数の投光器１０２ａ
を上下方向に配置し、他方の窓の外面に対向する投光器
１０２ａからの光を受ける受光器１０２ｂを上下方向に
配置して成るものである。対をなす投光器１０２ａ及び
受光器１０２ｂの間に液体材料があるか否かにより受光
器１０２ｂからの電気信号の出力レベルが変化するの
で、各受光器１０２ｂからの電気信号に基づいて気液分
離容器５０内の液位を、図示形態では容器５０底部から
ＬＬ、Ｌ、Ｈ、ＨＨの４段階で検出することができる。
【００３０】また、液体有無検出装置１００は、液面計
１０２が接続されたマイクロコンピュータ等から構成さ
れる判断装置１０４を備えている。判断装置１０４は、
液面計１０２からの信号に基づいて、貯蔵容器２２内の
液体材料の有無を判断するものであり判断手段として機
能する。また、判断装置１０４は、液体供給装置２０の
各配管３４、４０、４４、４６、４８、５２、５８、６
４に設けられているソレノイドバルブを介したエアー弁
７０〜７８の開閉を制御する。
１０２が接続されたマイクロコンピュータ等から構成さ
れる判断装置１０４を備えている。判断装置１０４は、
液面計１０２からの信号に基づいて、貯蔵容器２２内の
液体材料の有無を判断するものであり判断手段として機
能する。また、判断装置１０４は、液体供給装置２０の
各配管３４、４０、４４、４６、４８、５２、５８、６
４に設けられているソレノイドバルブを介したエアー弁
７０〜７８の開閉を制御する。
【００３１】次に、上述の液体材料供給装置２０及び液
体有無検出装置１００を用いた場合の液体有無検出方法
について図面を参照して説明する。図２は、判断装置１
０４による貯蔵容器２２内の液体材料有無判断処理の一
例を示すフローチャートである。
体有無検出装置１００を用いた場合の液体有無検出方法
について図面を参照して説明する。図２は、判断装置１
０４による貯蔵容器２２内の液体材料有無判断処理の一
例を示すフローチャートである。
【００３２】気液分離容器５０内の液体材料が使用先へ
圧送され液位が最低液位ＬＬとなった場合、判断装置１
０４により、貯蔵容器２２内から気液分離容器５０へ液
体材料の補充が開始される（ステップ２０２）。このと
き、気液分離容器５０内のガス圧力は、圧抜き用配管６
４により略一定に保たれる。
圧送され液位が最低液位ＬＬとなった場合、判断装置１
０４により、貯蔵容器２２内から気液分離容器５０へ液
体材料の補充が開始される（ステップ２０２）。このと
き、気液分離容器５０内のガス圧力は、圧抜き用配管６
４により略一定に保たれる。
【００３３】そして、判断装置１０４により、液面計１
０２からの電気信号に基づいて、気液分離容器５０内の
液体材料が液位Ｌに到達したか否かが判断される（ステ
ップ２０４）。このとき、液位Ｌに到達していなけれ
ば、ステップ２００に戻る。また、液位Ｌに到達してい
れば、判断装置１０４により設定時間Ｔ１が計測される
（ステップ２０６）。この設定時間Ｔ１は、気液分離容
器５０内のガス圧力が圧抜き用配管６４により略一定に
保たれている場合において、気液分離容器５０内に圧送
される液体材料が液位Ｌから液位Ｈまで補充される通常
時間よりも十分長くなるよう適宜設定され、初期値とし
て予め判断装置１０４に入力される。
０２からの電気信号に基づいて、気液分離容器５０内の
液体材料が液位Ｌに到達したか否かが判断される（ステ
ップ２０４）。このとき、液位Ｌに到達していなけれ
ば、ステップ２００に戻る。また、液位Ｌに到達してい
れば、判断装置１０４により設定時間Ｔ１が計測される
（ステップ２０６）。この設定時間Ｔ１は、気液分離容
器５０内のガス圧力が圧抜き用配管６４により略一定に
保たれている場合において、気液分離容器５０内に圧送
される液体材料が液位Ｌから液位Ｈまで補充される通常
時間よりも十分長くなるよう適宜設定され、初期値とし
て予め判断装置１０４に入力される。
【００３４】そして、設定時間Ｔ１が経過すると、判断
装置１０４により、液面計１０２からの電気信号に基づ
いて、気液分離容器５０内の液体材料が液位Ｈに到達し
たか否かが判断される（ステップ２０８）。このとき、
液位Ｈに到達していれば、判断装置１０４により、気液
分離容器５０への液体材料の補充が停止され（ステップ
２１０）、ステップ２００に戻る。また、液位Ｈに到達
していなければ、判断装置１０４により、貯蔵容器２２
内の液体材料は無しと判断され、貯蔵容器２２の交換が
指示される（ステップ２１４）。
装置１０４により、液面計１０２からの電気信号に基づ
いて、気液分離容器５０内の液体材料が液位Ｈに到達し
たか否かが判断される（ステップ２０８）。このとき、
液位Ｈに到達していれば、判断装置１０４により、気液
分離容器５０への液体材料の補充が停止され（ステップ
２１０）、ステップ２００に戻る。また、液位Ｈに到達
していなければ、判断装置１０４により、貯蔵容器２２
内の液体材料は無しと判断され、貯蔵容器２２の交換が
指示される（ステップ２１４）。
【００３５】この判断装置１０４による貯蔵容器２２の
交換の指示は、例えばランプや警報音等の警報手段によ
り、オペーレータ等に知らせることができる。貯蔵容器
２２は一般に不透明であり内部を視認することができな
いため、かかる液体有無検出方法により貯蔵容器２２の
交換時期を示すことは非常に有効である。
交換の指示は、例えばランプや警報音等の警報手段によ
り、オペーレータ等に知らせることができる。貯蔵容器
２２は一般に不透明であり内部を視認することができな
いため、かかる液体有無検出方法により貯蔵容器２２の
交換時期を示すことは非常に有効である。
【００３６】（第２の実施形態）図３は、本発明の第２
の実施形態に係る液体有無検出装置１１０の説明図であ
る。ここで、液体有無検出装置１１０が用いられる液体
供給装置２０は、第１の実施形態と同じ構成を採ってい
る。
の実施形態に係る液体有無検出装置１１０の説明図であ
る。ここで、液体有無検出装置１１０が用いられる液体
供給装置２０は、第１の実施形態と同じ構成を採ってい
る。
【００３７】液体有無検出装置１１０は、上述の液面計
１０２と、圧力計１１２とを備えている。圧力計１１２
は、気液分離容器５０に設けられ、気液分離容器５０内
のガス圧力を検出し電気信号として出力するもので圧力
検出手段すなわち相状態検出手段として機能する。
１０２と、圧力計１１２とを備えている。圧力計１１２
は、気液分離容器５０に設けられ、気液分離容器５０内
のガス圧力を検出し電気信号として出力するもので圧力
検出手段すなわち相状態検出手段として機能する。
【００３８】また、液体有無検出装置１１０は、液面計
１０２及び圧力計１１２が接続されたマイクロコンピュ
ータ等から構成される判断装置１１４を備えている。判
断装置１１４は、圧力計１１２からの信号に基づいて、
貯蔵容器２２内の液体材料の有無を判断するものであり
判断手段として機能する。また、判断装置１１４は、液
体供給装置２０の各配管３４、４０、４４、４６、４
８、５２、５８、６４に設けられているソレノイドバル
ブを介したエアー弁７０〜７８の開閉を制御する。
１０２及び圧力計１１２が接続されたマイクロコンピュ
ータ等から構成される判断装置１１４を備えている。判
断装置１１４は、圧力計１１２からの信号に基づいて、
貯蔵容器２２内の液体材料の有無を判断するものであり
判断手段として機能する。また、判断装置１１４は、液
体供給装置２０の各配管３４、４０、４４、４６、４
８、５２、５８、６４に設けられているソレノイドバル
ブを介したエアー弁７０〜７８の開閉を制御する。
【００３９】次に、上述の液体材料供給装置２０及び液
体有無検出装置１１０を用いた場合の液体有無検出方法
について図面を参照して説明する。図４は、判断装置１
１４による貯蔵容器２２内の液体材料有無判断処理の一
例を示すフローチャートである。
体有無検出装置１１０を用いた場合の液体有無検出方法
について図面を参照して説明する。図４は、判断装置１
１４による貯蔵容器２２内の液体材料有無判断処理の一
例を示すフローチャートである。
【００４０】気液分離容器５０内の液体材料が使用先へ
圧送され液位が最低液位ＬＬとなった場合、判断装置１
１４により、成膜プロセスの完了が検知された時点で、
液体材料の使用先への圧送が停止され（ステップ２２
０）、貯蔵容器２２内から気液分離容器５０へ液体材料
の補充が開始される（ステップ２２２）。
圧送され液位が最低液位ＬＬとなった場合、判断装置１
１４により、成膜プロセスの完了が検知された時点で、
液体材料の使用先への圧送が停止され（ステップ２２
０）、貯蔵容器２２内から気液分離容器５０へ液体材料
の補充が開始される（ステップ２２２）。
【００４１】そして、判断装置１１４により、圧抜き用
配管６４を用いて気液分離容器５０内の圧抜きが開始さ
れる（ステップ２２４）。この圧抜きは、気液分離容器
５０内のガス圧力と貯蔵容器２２内のガス圧力の圧力差
を略一定に保ち、液体材料を略一定の速度で圧送するた
めのものであり、気液分離容器５０内のガス圧力を所定
圧力に戻すために定期的に行われる。この所定圧力は設
定圧力Ｐ１として判断装置１１４に予め入力される。そ
して、判断装置１１４により、気液分離容器５０内のガ
ス圧力が、設定圧力Ｐ１に到達したか否かが判断される
（ステップ２２６）。このとき、設定圧力Ｐ１に到達し
ていなければ、ステップ２２６に戻る。また、設定圧力
Ｐ１に到達していれば、気液分離容器５０内の圧抜きが
停止される（ステップ２２８）。また、このとき判断装
置１１４により、圧抜きに要した時間が計測される。
配管６４を用いて気液分離容器５０内の圧抜きが開始さ
れる（ステップ２２４）。この圧抜きは、気液分離容器
５０内のガス圧力と貯蔵容器２２内のガス圧力の圧力差
を略一定に保ち、液体材料を略一定の速度で圧送するた
めのものであり、気液分離容器５０内のガス圧力を所定
圧力に戻すために定期的に行われる。この所定圧力は設
定圧力Ｐ１として判断装置１１４に予め入力される。そ
して、判断装置１１４により、気液分離容器５０内のガ
ス圧力が、設定圧力Ｐ１に到達したか否かが判断される
（ステップ２２６）。このとき、設定圧力Ｐ１に到達し
ていなければ、ステップ２２６に戻る。また、設定圧力
Ｐ１に到達していれば、気液分離容器５０内の圧抜きが
停止される（ステップ２２８）。また、このとき判断装
置１１４により、圧抜きに要した時間が計測される。
【００４２】そして、判断装置１１４により、この圧抜
き時間が設定時間Ｔ２より長かったか否かが判断される
（ステップ２３０）。この設定時間Ｔ２は、気液分離容
器５０内に液体材料が圧送されている場合において、上
述したように定期的に圧抜きを行った際の圧抜きに要す
る通常時間よりも十分長くなるよう適宜設定され、予め
初期値として判断装置１１４に入力される。そして、設
定時間Ｔ２よりも長くなければ、ステップ２２４に戻
る。また、設定時間Ｔ２よりも長ければ、判断装置１０
４により、貯蔵容器２２内の液体材料は無しと判断さ
れ、貯蔵容器２２の交換が指示される（ステップ２３
２）。
き時間が設定時間Ｔ２より長かったか否かが判断される
（ステップ２３０）。この設定時間Ｔ２は、気液分離容
器５０内に液体材料が圧送されている場合において、上
述したように定期的に圧抜きを行った際の圧抜きに要す
る通常時間よりも十分長くなるよう適宜設定され、予め
初期値として判断装置１１４に入力される。そして、設
定時間Ｔ２よりも長くなければ、ステップ２２４に戻
る。また、設定時間Ｔ２よりも長ければ、判断装置１０
４により、貯蔵容器２２内の液体材料は無しと判断さ
れ、貯蔵容器２２の交換が指示される（ステップ２３
２）。
【００４３】このように、係る液体有無検出方法によっ
ても、気液分離容器５０内のガス圧力を検出することに
より、貯蔵容器２２内の液体材料の有無を判断すること
ができ、貯蔵容器２２の交換時期を示すことが可能とな
る。
ても、気液分離容器５０内のガス圧力を検出することに
より、貯蔵容器２２内の液体材料の有無を判断すること
ができ、貯蔵容器２２の交換時期を示すことが可能とな
る。
【００４４】以上、本発明の好適な実施形態について詳
細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない
ことはいうまでもない。
細に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない
ことはいうまでもない。
【００４５】例えば、図５（ａ）に示すように、複数の
貯蔵容器２２に対し１つの気液分離容器５０を切換え可
能に複数設けてもよい。この場合、その１つの気液分離
容器５０に対して設けられた液体有無検出装置により、
気液分離容器５０に連通している貯蔵容器２２内の液体
材料の有無を判断することができる。そして、無しと判
断された際に、他の貯蔵容器２２に切替えて液体材料を
気液分離容器５０へ補充することが可能となる。
貯蔵容器２２に対し１つの気液分離容器５０を切換え可
能に複数設けてもよい。この場合、その１つの気液分離
容器５０に対して設けられた液体有無検出装置により、
気液分離容器５０に連通している貯蔵容器２２内の液体
材料の有無を判断することができる。そして、無しと判
断された際に、他の貯蔵容器２２に切替えて液体材料を
気液分離容器５０へ補充することが可能となる。
【００４６】また、図５（ｂ）に示すように、１つの貯
蔵容器２２に対し気液分離容器５０を切換え可能に複数
設けてもよい。この場合、各気液分離容器５０に対して
液体有無検出装置をそれぞれ設け、貯蔵容器２２に連通
している気液分離容器５０に設けられた液体有無判断装
置により貯蔵容器２２内の液体材料の有無を判断するこ
とができる。そして、液体材料を複数の気液分離容器５
０へ同時に補充した場合の、液位Ｌから液位Ｈに到達す
るのに要する時間、または、圧抜きに要する時間を測定
し初期値をさらに設定すれば、使用先への供給によって
複数の気液分離容器５０内の液体材料の液位がＬＬとな
った際に、貯蔵容器２２内の液体材料をそれらの気液分
離容器５０へ順次補充するだけでなく、同時に補充し、
貯蔵容器内２２の液体材料の有無を判断することも可能
となる。
蔵容器２２に対し気液分離容器５０を切換え可能に複数
設けてもよい。この場合、各気液分離容器５０に対して
液体有無検出装置をそれぞれ設け、貯蔵容器２２に連通
している気液分離容器５０に設けられた液体有無判断装
置により貯蔵容器２２内の液体材料の有無を判断するこ
とができる。そして、液体材料を複数の気液分離容器５
０へ同時に補充した場合の、液位Ｌから液位Ｈに到達す
るのに要する時間、または、圧抜きに要する時間を測定
し初期値をさらに設定すれば、使用先への供給によって
複数の気液分離容器５０内の液体材料の液位がＬＬとな
った際に、貯蔵容器２２内の液体材料をそれらの気液分
離容器５０へ順次補充するだけでなく、同時に補充し、
貯蔵容器内２２の液体材料の有無を判断することも可能
となる。
【００４７】また、図５（ｃ）に示すように、複数の貯
蔵容器２２に対し複数の気液分離容器５０を設けてもよ
い。
蔵容器２２に対し複数の気液分離容器５０を設けてもよ
い。
【００４８】また、例えば図６に示すような、気液分離
容器を有していない液体供給装置においては、使用先へ
の液体材料供給用配管に流量検出装置（流量検出手段）
を設け、輸送される液体材料の流量の有無を検出すなわ
ち被輸送物の相状態を検出する相状態検出手段として機
能させることにより、貯蔵容器内の液体材料の有無を判
断することができる。
容器を有していない液体供給装置においては、使用先へ
の液体材料供給用配管に流量検出装置（流量検出手段）
を設け、輸送される液体材料の流量の有無を検出すなわ
ち被輸送物の相状態を検出する相状態検出手段として機
能させることにより、貯蔵容器内の液体材料の有無を判
断することができる。
【００４９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
貯蔵容器内の液体材料の有無を確実かつ容易に判断する
ことができる。したがって、液体供給装置を停止させて
貯蔵容器内の液体材料の有無を確認する必要がなくな
り、作業性の向上を図ることができる。
貯蔵容器内の液体材料の有無を確実かつ容易に判断する
ことができる。したがって、液体供給装置を停止させて
貯蔵容器内の液体材料の有無を確認する必要がなくな
り、作業性の向上を図ることができる。
【００５０】また、貯蔵容器内の液体材料が空になった
際に、貯蔵容器の交換を指示させることができる。した
がって、可燃性、有毒性等を有し、また、非常に高価で
ある貯蔵容器内の液体材料を確実に消費することが可能
となり、かつ、使用先への液体材料の供給断を防止する
ことができる。
際に、貯蔵容器の交換を指示させることができる。した
がって、可燃性、有毒性等を有し、また、非常に高価で
ある貯蔵容器内の液体材料を確実に消費することが可能
となり、かつ、使用先への液体材料の供給断を防止する
ことができる。
【図１】本発明の第１の実施形態に係る液体有無検出装
置の説明図である。
置の説明図である。
【図２】図１の液体有無検出装置における液体材料有無
判断処理を示すフローチャートである。
判断処理を示すフローチャートである。
【図３】本発明の第２の実施形態に係る液体有無検出装
置の説明図である。
置の説明図である。
【図４】図３の液体有無検出装置における液体材料有無
判断処理を示すフローチャートである。
判断処理を示すフローチャートである。
【図５】（ａ） 複数の貯蔵容器に対し１つの気液分離
容器を設けた液体有無検出装置の説明図である。 （ｂ） １つの貯蔵容器に対し複数の気液分離容器を設
けた液体有無検出装置の説明図である。 （ｃ） 複数の貯蔵容器に対し複数の気液分離容器を設
けた液体有無検出装置の説明図である。
容器を設けた液体有無検出装置の説明図である。 （ｂ） １つの貯蔵容器に対し複数の気液分離容器を設
けた液体有無検出装置の説明図である。 （ｃ） 複数の貯蔵容器に対し複数の気液分離容器を設
けた液体有無検出装置の説明図である。
【図６】従来の液体供給装置の説明図である。
２０…液体供給装置、２２…貯蔵容器、５０…気液分離
容器、１００、１１０…液体有無検出装置、１０２…液
面計、１１２…圧力計、１０４、１１４…判断装置。
容器、１００、１１０…液体有無検出装置、１０２…液
面計、１１２…圧力計、１０４、１１４…判断装置。
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０１Ｆ 15/08 Ｇ０１Ｆ 15/08 Ｆターム(参考） 2F014 GA10 3E072 AA03 DB03 3E083 AC02 3J071 AA01 BB05 BB14 EE19 EE24 EE25 EE28 FF11 4K030 AA11 EA01 EA03 JA05 KA39 LA15 LA18
Claims (16)
- 【請求項１】 貯蔵容器内に圧送ガスを導入して前記貯
蔵容器内に貯蔵された液体材料を使用先に供給する液体
材料供給装置に用いられる液体有無検出装置であって、 前記貯蔵容器から輸送される被輸送物の相状態を検出す
る相状態検出手段と、前記相状態検出手段により検出さ
れる相状態に基づいて、前記貯蔵容器内の液体材料の有
無を判断する判断手段とを備えたことを特徴とする液体
有無検出装置。 - 【請求項２】 前記相状態検出手段は、輸送される液体
材料の流量を検出する流量検出手段であることを特徴と
する請求項１に記載の液体有無検出装置。 - 【請求項３】 前記液体材料供給装置は、 前記貯蔵容器の液体供給口に取外し可能に接続され、前
記貯蔵容器内の液体材料を輸送する第１の輸送用配管
と、 前記貯蔵容器の圧送ガス取入れ口に取外し可能に接続さ
れ、前記貯蔵容器内に圧送ガスを導入して前記第１の輸
送用配管を通して液体材料を圧送させる第１の圧送用配
管と、 前記第１の輸送用配管の他端に接続され、前記貯蔵容器
から前記第１の輸送用配管を通して輸送される液体材料
を貯留する気液分離容器と、 前記気液分離容器内に一端が液体材料の取入れ端部とし
て配置され、他端が使用先に延びている第２の輸送用配
管と、 前記気液分離容器に接続され、前記気液分離容器内に圧
送ガスを導入して前記第２の輸送用配管を通して前記使
用先に液体材料を圧送させる第２の圧送用配管とを備え
たことを特徴とする請求項１に記載の液体有無検出装
置。 - 【請求項４】 前記液体材料供給装置は、複数の前記貯
蔵容器を備えたことを特徴とする請求項３に記載の液体
有無検出装置。 - 【請求項５】 前記液体材料供給装置は、複数の前記気
液分離容器を備えたことを特徴とする請求項３又は４に
記載の液体有無検出装置。 - 【請求項６】 前記相状態検出手段は、前記気液分離容
器内の液体材料の液量を検出する液量検出手段であり、 前記判断手段は、前記液量検出手段により検出される液
量の増加率に基づいて、所定の増加率以上であれば有
り、所定の増加率未満であれば無しと前記貯蔵容器内の
液体材料の有無を判断する判断手段であることを特徴と
する請求項３〜５のいずれか１項に記載の液体有無検出
装置。 - 【請求項７】 前記相状態検出手段は、前記気液分離容
器内のガス圧力を検出する圧力検出手段であり、 前記判断手段は、前記圧力検出手段により検出されるガ
ス圧力の増加率に基づいて、所定の増加率以上であれば
無し、所定の増加率未満であれば有りと前記貯蔵容器内
の液体材料の有無を判断する判断手段であることを特徴
とする請求項３〜５のいずれか１項に記載の液体有無検
出装置。 - 【請求項８】 前記液体材料が、半導体集積デバイスや
液晶パネル等のマイクロ・エレクトロニクス・デバイス
を製造するための成膜プロセスにおいて用いられる液体
材料であることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１
項に記載の液体有無検出装置。 - 【請求項９】 貯蔵容器内に圧送ガスを導入して前記貯
蔵容器内に貯蔵された液体材料を使用先に供給する液体
材料供給装置に用いられる液体有無検出方法であって、 前記貯蔵容器から輸送される被輸送物の相状態を検出す
る相状態検出ステップと、 前記相状態検出ステップにより検出される相状態に基づ
いて、前記貯蔵容器内の液体材料の有無を判断する判断
ステップとを備えたことを特徴とする液体有無検出方
法。 - 【請求項１０】 前記相状態検出ステップは、輸送され
る液体材料の流量を検出する流量検出ステップであるこ
とを特徴とする請求項９に記載の液体有無検出方法。 - 【請求項１１】 前記液体材料供給装置は、 前記貯蔵容器の液体供給口に取外し可能に接続され、前
記貯蔵容器内の液体材料を輸送する第１の輸送用配管
と、 前記貯蔵容器の圧送ガス取入れ口に取外し可能に接続さ
れ、前記貯蔵容器内に圧送ガスを導入して前記第１の輸
送用配管を通して液体材料を圧送させる第１の圧送用配
管と、 前記第１の輸送用配管の他端に接続され、前記貯蔵容器
から前記第１の輸送用配管を通して輸送される液体材料
を貯留する気液分離容器と、 前記気液分離容器内に一端が液体材料の取入れ端部とし
て配置され、他端が使用先に延びている第２の輸送用配
管と、 前記気液分離容器に接続され、前記気液分離容器内に圧
送ガスを導入して前記第２の輸送用配管を通して前記使
用先に液体材料を圧送させる第２の圧送用配管とを備え
たことを特徴とする請求項９に記載の液体有無検出方
法。 - 【請求項１２】 前記液体材料供給装置は、複数の前記
貯蔵容器を備えたことを特徴とする請求項１１に記載の
液体有無検出方法。 - 【請求項１３】 前記液体材料供給装置は、複数の前記
気液分離容器を備えたことを特徴とする請求項１１又は
１２に記載の液体有無検出方法。 - 【請求項１４】 前記相状態検出ステップは、前記気液
分離容器内の液体材料の液量を検出する液量検出ステッ
プであり、 前記判断ステップは、前記液量検出ステップにより検出
される液量の増加率に基づいて、所定の増加率以上であ
れば有り、所定の増加率未満であれば無しと前記貯蔵容
器内の液体材料の有無を判断する判断ステップであるこ
とを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか１項に記載
の液体有無検出方法。 - 【請求項１５】 前記相状態検出ステップは、前記気液
分離容器内のガス圧力を検出する圧力検出ステップであ
り、 前記判断ステップは、前記圧力検出ステップにより検出
されるガス圧力の増加率に基づいて、所定の増加率以上
であれば無し、所定の増加率未満であれば有りと前記貯
蔵容器内の液体材料の有無を判断する判断ステップであ
ることを特徴とする請求項１１〜１３のいずれか１項に
記載の液体有無検出方法。 - 【請求項１６】 前記液体材料が、半導体集積デバイス
や液晶パネル等のマイクロ・エレクトロニクス・デバイ
スを製造するための成膜プロセスにおいて用いられる液
体材料であることを特徴とする請求項９〜１５のいずれ
か１項に記載の液体有無検出方法。
Priority Applications (3)
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|---|---|---|---|
| JP2001135335A JP4808859B2 (ja) | 2001-05-02 | 2001-05-02 | 液体有無検出装置及び液体有無検出方法 |
| AU2002315328A AU2002315328A1 (en) | 2001-05-02 | 2002-04-25 | Apparatus for detecting the presence of liquid in a storage container and corresponding method |
| PCT/EP2002/004594 WO2002088692A2 (en) | 2001-05-02 | 2002-04-25 | Apparatus for detecting the presence of liquid in a storage container and corresponding method |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001135335A JP4808859B2 (ja) | 2001-05-02 | 2001-05-02 | 液体有無検出装置及び液体有無検出方法 |
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|---|---|
| JP2002328055A true JP2002328055A (ja) | 2002-11-15 |
| JP4808859B2 JP4808859B2 (ja) | 2011-11-02 |
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ID=18982817
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|---|---|---|---|
| JP2001135335A Expired - Lifetime JP4808859B2 (ja) | 2001-05-02 | 2001-05-02 | 液体有無検出装置及び液体有無検出方法 |
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|---|---|
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- 2001-05-02 JP JP2001135335A patent/JP4808859B2/ja not_active Expired - Lifetime
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2002
- 2002-04-25 WO PCT/EP2002/004594 patent/WO2002088692A2/en active Application Filing
- 2002-04-25 AU AU2002315328A patent/AU2002315328A1/en not_active Abandoned
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| WO2002088692A3 (en) | 2003-02-20 |
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