CN104989952A - 一种高纯化学品连续稳定输送系统及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种高纯化学品连续稳定输送系统，包括贮存罐、缓冲罐和推送系统，所述推送系统包括第一推送系统和第二推送系统，所述第一推送系统和第二推送系统均与输送总管连通，所述第一推送系统用于将贮存罐内的高纯化学品推送至缓冲罐内，此为填充过程；所述第二推送系统用于将缓冲罐内的高纯化学品推送至使用机台，第一推送系统和第二推送系统上分别独立设置有第一调压阀和第二调压阀，所述第二推送系统上还设有压力传感器和压力监测计。本发明高纯化学品连续稳定输送系统结构布置合理，成本低，且有效实现了缓冲罐内的填充压力与供应压力的独立稳定可调，有效保证了高纯化学品的连续稳定供应。

Description

一种高纯化学品连续稳定输送系统及方法

技术领域

本发明涉及薄膜太阳能电池行业中高纯化学品的输送，具体是指一种高纯化学品连续稳定输送系统及方法。

背景技术

高纯化学品（如：二乙基锌DEZ、三甲基铝TMA等）已经广泛地应用于电子器件制造，如在薄膜太阳能电池（含硅基薄膜电池、CIGS电池等）以及制药等行业之中。

目前，这些高纯化学品的输送装置或系统包括贮存罐、填充缓冲罐和压送系统，所述压送系统多采用高纯惰性气体压送，先通过一路惰性气体将高纯化学品压送从贮存罐压送至填充缓冲罐，该路惰性气体管道上设有过滤器和若干单向阀，再由另一路惰性气体将填充缓冲罐内的高纯化学品压送到几十米至上百米之外的使用机台。但是该种输送装置或系统由于DEZ、TMA等在室温状态下有自分解的化学特性，其产生的分解颗粒物会使过滤器出现不同程度的堵塞，而且随着过滤器使用时间的延长和使用期间的高温环境，高纯化学品由于自分解作用而产生的颗粒物对过滤器的堵塞会愈发严重，这会导致填充的速度变慢、填充时间间隔延长等问题，严重时会导致无法将缓冲罐内的化学品推送到远处的使用机台，导致供应中断现象出现。

发明内容

本发明的目的是提供一种结构布置合理、成本低、效率高和推送连续稳定的高纯化学品连续稳定输送系统。

本发明可以通过以下技术方案来实现：

一种高纯化学品连续稳定输送系统，包括贮存罐、缓冲罐、推送系统、排气管道、机台和控制模块，所述推送系统上的电动或气动部件与控制模块连接，所述推送系统通过惰性气体推送高纯化学品，所述推送系统包括第一推送系统和第二推送系统，所述第一推送系统和第二推送系统均与输送总管连通，所述第一推送系统用于将贮存罐内的高纯化学品推送至缓冲罐内，第一推送系统包括第一贮存推送管道和第二贮存推送管道，所述第一贮存推送管道的一端与输送总管连通，另一端伸入贮存罐内上部，第一贮存推送管道上从与输送总管连通的一端起依次设有第一调压阀和第一气动阀，所述第一调压阀用于将第一贮存推送管道进口处压力调整至根据过滤器的具体使用情况所需要的预设定值，该第一调压阀设定的压力预设定值定义为填充压力，所述第二贮存推送管道的一端伸入贮存罐内下部，另一端伸入缓冲罐内下部，第二贮存推送管道上设有从与贮存罐连接的一端起依次设有过滤器和第二气动阀；所述第二推送系统用于将缓冲罐内的高纯化学品推送至机台，第二推送系统包括第一缓冲推送管道和第二缓冲推送管道，所述第一缓冲推送管道的一端与输送总管连通，另一端伸入缓冲罐内上部，所述第一缓冲推送管道上从与输送总管连通的一端起依次设有第二调压阀和第三气动阀，所述第二调压阀的设置用于将第一缓冲推送管道进口处压力调整至根据缓冲罐到使用机台的距离等因素和机台使用端的具体使用情况所需要的预设定值，该第二调压阀设定的压力预设定值定义为推送压力，所述第二缓冲推送管道的一端伸入缓冲罐内下部，另一端与机台连通，所述第二缓冲推送管道上从与缓冲罐连通的一端起依次设有第四气动阀、压力传感器和压力监测计，压力传感器用于感应缓冲罐上方第二缓冲推送管道内的压力，并将感应到的数据及时传送给控制模块，由控制模块控制第二气动阀以及第五气动阀的开启与闭合，压力监测计同时监测该道管道内的压力，其显示的压力数据可以校订压力传感器的准确性。缓冲罐内安装的测量极限液位的传感器起到安全监控作用，当该传感器测量到缓冲罐内的液位达到设定的安全极限上限时，将触发信号给控制模块，为了安全起见控制模块将会终止化学品的继续填充。上述第二推送系统设于第一推送系统上方，本发明通过第一推送系统和第二推送系统上下结构布置，同时在第一推送系统和第二推送系统上分别独立设置第一调压阀和第二调压阀，整个结构布置合理，占地面积小；且与现有输送系统或装置的零部件构成相比，主要区别是在结构布置和阀门位置设定方面，零部件仅增加了调压阀以及压力传感器等，且增加的零部件均为常用阀门、传感器等，其不仅来源丰富，而且价格低廉，成本低；采用现有技术高纯化学品输送系统或装置进行从贮存罐向缓冲罐内填充高纯化学品，1、刚换新的过滤器的输送系统，填充时间为9分钟，开始填充时缓冲罐内的压力为1.8Barg，填充结束时压力为1.2Barg；2、新换过滤器的输送系统使用一周后，填充时间为12分钟，开始填充时缓冲罐内的压力为1.8Barg，填充结束时压力为1.0Barg；3、新换过滤器的输送系统使用两周后，填充时间为16分钟，开始填充时缓冲罐内的压力为1.8Barg，填充结束时压力为0.5Barg；由此可知，随着过滤器使用时间的延长和使用期间的高温环境，高纯化学品由于自分解作用而产生的颗粒物对过滤器的堵塞愈发严重，进而导致填充时间延长，以及缓冲罐使用端压力降低的情况。而采用本发明高纯化学品输送系统进行从贮存罐向缓冲罐内填充高纯化学品，填充时间为6分钟，填充过程从开始至填充结束缓冲罐内的压力始终恒定在1.5Barg，填充效率大大提升，填充效率高；采用本发明高纯化学品输送系统进行从贮存罐向缓冲罐内填充高纯化学品，填充时间为6分钟，填充过程从开始至填充结束缓冲罐内的压力始终恒定在1.5Barg，即是缓冲罐内的压力一直保持恒定状态，有效避免了因现有技术中填充过程随着时间的推移缓冲罐内的压力越来越低无法将高纯化学品推送至使用机台，导致推送中断的情况出现，整个推送过程连续稳定，不间断。

所述排气管道设于缓冲罐顶部，所述排气管道的外端部与真空泵连接，排气管道上设有第五气动阀，排气管道以及其上第五气动阀的设置，有效排解缓冲罐内的压力，使缓冲罐内压力维持在预设定值，真空泵的设置，使排气管道处于真空状态，便于排气管道的压力排放。

优选地，所述输送总管内推送高纯化学品的惰性气体为高纯氮气或高纯氩气，优选纯度为99.9999%（6N）的高纯氮气。

优选地，所述的高纯化学品为二乙基锌或三甲基铝。

优选地，所述输送总管的进口处设有第一手阀，用于开启或关断输送总管气路。

优选地，所述第一贮存推送管道上设有第二手阀，所述第二手阀设于第一气动阀与贮存罐之间；所述第二贮存推送管道上设有至少三个第三手阀，所述至少三个第三手阀分别位于贮存罐和过滤器之间、过滤器和第二气动阀之间、以及第二气动阀与缓冲罐之间。第二手阀的设置一方面用于第一贮存推送管道气路的开启或关断，另一方面便于维修或更换第一气动阀；第三手阀的设置一方面用于第二贮存推送管道气路的开启或关断，另一方面便于维修或更换过滤器以及第二气动阀。

优选地，所述第一缓冲推送管道上设有两个第四手阀，两个第四手阀分别位于第三气动阀的前后；所述第二缓冲推送管道上设有两个第五手阀，两个第五手阀分别位于第四气动阀的前后。第四手阀的设置一方面用于第一缓冲推送管道气路的开启或关断，另一方面便于维修或更换第三气动阀。第五手阀的设置一方面用于第二缓冲推送管道气路的开启或关断，另一方面便于维修或更换第四气动阀。

优选地，所述排气管道上设有两个第六手阀，两个第六手阀分别位于缓冲罐与第五气动阀之间，以及第五气动阀与真空泵之间。第六手阀的设置一方面用于排气管道气路的开启或关断，另一方面便于维修或更换第五气动阀。

优选地，所述的缓冲罐内设有测量液位的液位计和测量极限液位的传感器，液位计的设置用于测量缓冲罐内液面达到的高度，并及时将测量到的数据传送至控制模块；缓冲罐内安装的测量极限液位的传感器起到安全监控作用，当该传感器测量到缓冲罐内的液位达到设定的安全极限上限时，将触发信号给控制模块，为了安全起见控制模块将会终止化学品的继续填充。

优选地，所述的控制模块中可以根据实际使用状况，设定高液位限限定值和低液位限限定值，该处提及的高液位限限定值和低液位限限定值只是一个设定限值，并不是在物理上有刻度线，且该高液位限限定值和低液位限限定值可以根据经验及系统状况而调整。

优选地，所述第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀、第四气动阀、第五气动阀、液位计、压力传感器和测量极限液位的传感器均与控制模块连接。

一种利用上述高纯化学品连续稳定输送系统的方法，其特征在于：包括如下步骤：

第一步，将高纯化学品置于便于安全运输的贮存罐内，密封贮存罐；

第二步，将第一推送管道伸入贮存罐内上部并密封好，将第二推送管道的两端分别伸入贮存罐内和缓冲罐内并密封好；将第一缓冲推送管道伸入缓冲罐内上部并密封好，将第二缓冲推送管道伸入缓冲罐内并密封好；

第三步，将排气管道安装在带有液位计的缓冲罐上并密封好；

第四步，填充缓冲罐，当缓冲罐内的高纯化学品液面低于低液位限限定值时，关闭第一缓冲推送管道上的第三气动阀，打开第一贮存推送管道上的第一气动阀和第二贮存推送管道上的第二气动阀，由高纯氮气或氩气通过第一贮存推送管道和第二贮存推送管道将高纯化学品从贮存罐推送至缓冲罐中，由于高纯化学品的持续填充、缓冲罐内的压力逐渐升高，将会导致填充压力与缓冲罐内的压力差逐渐降低，从而使填充速度变慢甚至终止，因此为了持续填充必须要在填充的同时给缓冲罐进行适当的泄压，同时由控制模块控制第五气动阀反复持续开闭进行泄压，直到缓冲罐内的高纯化学品液面达到高液位限限定值后，填充结束并由控制模块控制第五气动阀处于常闭状态；或者高纯化学品液面未达到高液位限限定值，但是当缓冲罐内的压力低于预设定的推送压力值后，由控制模块控制第五气动阀处于常闭状态，使整个填充持续进行，填充过程中缓冲罐内的气压将随着填充持续进行而升高，直至其气压超过预设定的推送压力值后，由控制模块控制第五气动阀反复持续开闭进行泄压，以使缓冲罐内的压力维持在预设定的推送压力值，如此反复直至高纯化学品液面达到高液位限限定值后，直至填充结束；

第五步，将高纯化学品推送至机台，当缓冲罐内的液位介于低液位限限定值与高液位限限定值之间时，打开第一缓冲推送管道上的第三气动阀，高纯氮气或氩气通过第一缓冲推送管道到达缓冲罐内上部，源源不断的氮气或氩气到达缓冲罐内；同时，由第四步可知，缓冲罐内的气压维持在预设定的推送压力值，该气压将缓冲罐内的高纯化学品连续稳定不间断的通过第二缓冲推送管道被推送到达使用机台。

本发明高纯化学品连续稳定输送系统及输送方法，与现有的技术相比，具有如下的有益效果：

第一、结构布置合理，本发明通过第一推送系统和第二推送系统上下结构布置，同时在第一推送系统和第二推送系统上分别独立设置第一调压阀和第二调压阀的结构布置，整个结构布置合理，占地面积小；

第二、成本低，本发明与现有输送系统或装置的零部件构成相比，主要区别是在结构布置和阀门位置设定方面，零部件仅增加了调压阀以及压力传感器等，且增加的零部件均为常用阀门、传感器等，其不仅来源丰富，而且价格低廉；

第三、填充效率高，在同等条件下（贮存罐、缓冲罐的大小，推送源气体以及被推送高纯化学品种类相同），采用现有技术高纯化学品输送系统或装置进行从贮存罐向缓冲罐内填充高纯化学品，1、刚换新的过滤器的输送系统，填充时间为9分钟，开始填充时缓冲罐内的压力为1.8Barg，填充结束时压力为1.2Barg；2、新换过滤器的输送系统使用一周后，填充时间为12分钟，开始填充时缓冲罐内的压力为1.8Barg，填充结束时压力为1.0Barg；3、新换过滤器的输送系统使用两周后，填充时间为16分钟，开始填充时缓冲罐内的压力为1.8Barg，填充结束时压力为0.5Barg；而采用本发明高纯化学品输送系统进行从贮存罐向缓冲罐内填充高纯化学品，填充时间为6分钟，填充过程从开始至填充结束缓冲罐内的压力始终恒定在1.5Barg的预设的推送压力值；使得填充效率大大提升；

第四、推送连续稳定，由第三点可知，采用本发明高纯化学品输送系统进行从贮存罐向缓冲罐内填充高纯化学品，填充时间为6分钟，填充过程从开始至填充结束缓冲罐内的压力始终恒定在1.5Barg，即是缓冲罐内的压力一直保持恒定状态，有效避免了因现有技术中填充过程随着时间的推移缓冲罐内的压力越来越低无法将高纯化学品推送至使用机台，导致推送中断的情况出现，整个推送过程连续稳定、不间断。

附图说明

附图1为本发明高纯化学品连续稳定输送系统的结构示意图；

附图标记为：

1、输送总管，11、第一手阀，

2、第一推送系统，21、第一贮存推送管道，211、第一调压阀，212、第一气动阀，213、第二手阀，22、第二贮存推送管道，221、第三手阀，222、过滤器，223、第二气动阀，

3、第二推送系统，31、第一缓冲推送管道，311、第二调压阀，312、第四手阀，313、第三气动阀，32、第二缓冲推送管道，321、第五手阀，322、第四气动阀，323、压力传感器，324、压力监测计，325、机台，

4、排气管道，41、第六手阀，42、第五气动阀，43、真空泵，

5、贮存罐，6、缓冲罐，61、高液位限限定值，62、低液位限限定值，7、液位计，8、测量极限液位的传感器。

具体实施方式

为了使本技术领域的人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合实施例及附图对本发明产品作进一步详细的说明。

如图1所示，一种高纯化学品连续稳定输送系统，包括输送总管1、贮存罐5、缓冲罐6、推送系统、排气管道4、机台325和控制模块，所述推送系统上的电动或气动部件与控制模块连接，所述推送系统通过在输送总管1内流通惰性气体推送高纯化学品，所述输送总管1内推送高纯化学品的惰性气体为高纯氮气或高纯氩气，所述输送总管1的进口处设有第一手阀11，所述的高纯化学品为二乙基锌或三甲基铝。所述推送系统包括第一推送系统2和第二推送系统3，所述第一推送系统2和第二推送系统3均与输送总管1连通，所述第一推送系统2用于将贮存罐5内的高纯化学品推送至缓冲罐6内，第一推送系统2包括第一贮存推送管道21和第二贮存推送管道22，所述第一贮存推送管道21的一端与输送总管1连通，另一端伸入贮存罐5内上部，第一贮存推送管道21上从与输送总管1连通的一端起依次设有第一调压阀211和第一气动阀212，所述第二贮存推送管道22的一端伸入贮存罐5内下部，另一端伸入缓冲罐6内下部，第二贮存推送管道22上设有从与贮存罐5连接的一端起依次设有过滤器222和第二气动阀223；所述第二推送系统3用于将缓冲罐6内的高纯化学品推送至机台325，第二推送系统3包括第一缓冲推送管道31和第二缓冲推送管道32，所述第一缓冲推送管道31的一端与输送总管1连通，另一端伸入缓冲罐6内上部，所述第一缓冲推送管道31上从与输送总管1连通的一端起依次设有第二调压阀311和第三气动阀313，所述第二缓冲推送管道32的一端伸入缓冲罐6内下部，另一端与机台325连通，所述第二缓冲推送管道32上从与缓冲罐6连通的一端起依次设有第四气动阀322、压力传感器323和压力监测计324；所述排气管道4设于缓冲罐6顶部，所述排气管道4的外端部与真空泵43连接，排气管道4上设有第五气动阀42。

如图1所示，为了便于管道上零部件的维修、更换或检测，所述第一贮存推送管道21上设有第二手阀213，所述第二手阀213设于第一气动阀212与贮存罐5之间；所述第二贮存推送管道22上设有至少三个第三手阀221，所述至少三个第三手阀221分别位于贮存罐5和过滤器222之间、过滤器222和第二气动阀223之间、以及第二气动阀223与缓冲罐6之间。

如图1所示，为了便于管道上零部件的维修、更换或检测，所述第一缓冲推送管道31上设有两个第四手阀312，两个第四手阀312分别位于第三气动阀313的前后；所述第二缓冲推送管道32上设有两个第五手阀321，两个第五手阀321分别位于第四气动阀322的前后。

如图1所示，为了便于管道上零部件的维修、更换或检测，所述排气管道4上设有两个第六手阀41，两个第六手阀41分别位于缓冲罐6与第五气动阀42之间，以及第五气动阀42与真空泵43之间。

如图1所示，为了控制第一推送系统2和第二推送系统3的状况，所述缓冲罐6内设有测量和控制液位的液位计7和测量极限液位的传感器8。压力传感器323用于感应缓冲罐6上方第二缓冲推送管道32内的压力，并将感应到的数据及时传送给控制模块，由控制模块控制第二气动阀223以及第五气动阀42的开启与闭合，压力监测计324同时监测该道管道内的压力，其显示的压力数据可以校订压力传感器323的准确性，缓冲罐6内安装的测量极限液位的传感器8起到安全监控作用，当该传感器8测量到缓冲罐6内的液位达到设定的安全极限上限时，将触发信号给控制模块，为了安全起见控制模块将会终止化学品的继续填充。

如图1所示，所述第一气动阀212、第二气动阀223、第三气动阀313、第四气动阀322、第五气动阀42、液位计7、压力传感器323和测量极限液位的传感器8均与控制模块连接。

利用如图1所示高纯化学品连续稳定输送系统进行输送高纯化学品的方法，包括如下步骤：

第一步，将高纯化学品置于便于安全运输的贮存罐5内，密封贮存罐5；

第二步，将第一推送管道伸入贮存罐5内上部并密封好，将第二推送管道的两端分别伸入贮存罐5内和缓冲罐6内并密封好；将第一缓冲推送管道31伸入缓冲罐6内上部并密封好，将第二缓冲推送管道32伸入缓冲罐6内并密封好；

第三步，将排气管道4安装在带有液位计7的缓冲罐6上并密封好；

第四步，填充缓冲罐6，在启动填充前，先将第一调压阀的填充压力设定为3.6Barg，将第二调压阀的推送压力设定为1.5Barg，然后启动填充，当缓冲罐6内的高纯化学品液面低于低液位限限定值62时，关闭第一缓冲推送管道31上的第三气动阀313，打开第一贮存推送管道21上的第一气动阀212和第二贮存推送管道22上的第二气动阀223，由氮气或氩气通过第一贮存推送管道21和第二贮存推送管道22将高纯化学品从贮存罐5推送至缓冲罐6中，由于高纯化学品的持续填充、缓冲罐6内的压力逐渐升高，将会导致填充压力与缓冲罐6内的压力差逐渐降低，从而使填充速度变慢甚至终止，因此为了持续填充必须要在填充的同时给缓冲罐6进行适当的泄压，同时由控制模块控制第五气动阀42反复持续开闭进行适当泄压，第五气动阀42每个开闭的周期为2.5秒，即是在2.5秒内，打开0.5秒，关闭2.0秒，按照这个规律持续反复开闭，但是，由于缓冲罐6上方的氮气或氩气以及高纯化学品的蒸汽在第五气动阀打开状态时会由真空管里抽出，如此持续下去的话，缓冲罐6内的压力会下降，有效保证贮存罐5内的高纯化学品被不断的以合理的速度推送至缓冲罐6内，填充有6分钟完成，而且整个填充过程中，缓冲罐上方的供应压力维持1.5 Barg不变,当缓冲罐6内的高纯化学品液面达到高液位限限定值61后或者高纯化学品液面未达到高液位限限定值61，但是当缓冲罐内6的压力低于预设定的推送压力值后，由控制模块控制第五气动阀42处于常闭状态，使整个填充持续进行并且缓冲罐内6的气压将随着填充持续进行而升高直到该压力超过预设定的推送压力值后，控制模块控制第五气动阀42反复持续开闭；如此反复直到高纯化学品液面达到高液位限限定值61后，填充结束；

第五步，将高纯化学品推送至机台325，当缓冲罐6内的液位介于低液位限限定值62与高液位限限定值61之间时，打开第一缓冲推送管道31上的第三气动阀313，高纯氮气或氩气通过第一缓冲推送管道31到达缓冲罐6内上部，源源不断的氮气或氩气到达缓冲罐6内；同时，由第四步可知，通过第一调压阀和第二调压阀的设置，可以实现缓冲罐6的填充压力与从缓冲罐6推送到使用机台的供应压力均独立稳定可调，缓冲罐6内的气压维持在预设定的推送压力值，该推送压力将缓冲罐6内的高纯化学品连续稳定不间断的通过第二缓冲推送管道32被推送到达使用机台325，有效保证了高纯化学品能够稳定连续地供应到使用机台325。

以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制；凡本行业的普通技术人员均可按说明书附图所示和以上所述而顺畅地实施本发明；但是，凡熟悉本专业的技术人员在不脱离本发明技术方案范围内，可利用以上所揭示的技术内容而做出的些许更动、修饰与演变的等同变化，均为本发明的等效实施例；同时，凡依据本发明的实质技术对以上实施例所作的任何等同变化的更动、修饰与演变等，均仍属于本发明的技术方案的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种高纯化学品连续稳定输送系统，包括贮存罐（5）、缓冲罐（6）、推送系统、排气管道（4）、机台（325）和控制模块，所述推送系统上的电动或气动部件与控制模块连接，所述推送系统通过惰性气体推送高纯化学品，其特征在于：所述推送系统包括第一推送系统（2）和第二推送系统（3），所述第一推送系统（2）和第二推送系统（3）均与输送总管（1）连通，所述第一推送系统（2）用于将贮存罐（5）内的高纯化学品推送至缓冲罐（6）内，第一推送系统（2）包括第一贮存推送管道（21）和第二贮存推送管道（22），所述第一贮存推送管道（21）的一端与输送总管（1）连通，另一端伸入贮存罐（5）内上部，第一贮存推送管道（21）上从与输送总管（1）连通的一端起依次设有第一调压阀（211）和第一气动阀（212），所述第二贮存推送管道（22）的一端伸入贮存罐（5）内下部，另一端伸入缓冲罐（6）内下部，第二贮存推送管道（22）上设有从与贮存罐（5）连接的一端起依次设有过滤器（222）和第二气动阀（223）；

所述第二推送系统（3）用于将缓冲罐（6）内的高纯化学品推送至机台（325），第二推送系统（3）包括第一缓冲推送管道（31）和第二缓冲推送管道（32），所述第一缓冲推送管道（31）的一端与输送总管（1）连通，另一端伸入缓冲罐（6）内上部，所述第一缓冲推送管道（31）上从与输送总管（1）连通的一端起依次设有第二调压阀（311）和第三气动阀（313），所述第二缓冲推送管道（32）的一端伸入缓冲罐（6）内下部，另一端与机台（325）连通，所述第二缓冲推送管道（32）上从与缓冲罐（6）连通的一端起依次设有第四气动阀（322）、压力传感器（323）和压力监测计（324）；

所述排气管道（4）设于缓冲罐（6）顶部，所述排气管道（4）的外端部与真空泵（43）连接，排气管道（4）上设有第五气动阀（42）。

2. 根据权利要求1所述的高纯化学品连续稳定输送系统，其特征在于：所述输送总管（1）内推送高纯化学品的惰性气体为高纯氮气或高纯氩气。

3. 根据权利要求1所述的高纯化学品连续稳定输送系统，其特征在于：所述的高纯化学品为二乙基锌或三甲基铝。

4. 根据权利要求1所述的高纯化学品连续稳定输送系统，其特征在于：所述输送总管（1）的进口处设有第一手阀（11）。

5. 根据权利要求1所述的高纯化学品连续稳定输送系统，其特征在于：所述第一贮存推送管道（21）上设有第二手阀（213），所述第二手阀（213）设于第一气动阀（212）与贮存罐（5）之间；所述第二贮存推送管道（22）上设有至少三个第三手阀（221），所述至少三个第三手阀（221）分别位于贮存罐（5）和过滤器（222）之间、过滤器（222）和第二气动阀（223）之间、以及第二气动阀（223）与缓冲罐（6）之间。

6. 根据权利要求1所述的高纯化学品连续稳定输送系统，其特征在于：所述第一缓冲推送管道（31）上设有两个第四手阀（312），两个第四手阀（312）分别位于第三气动阀（313）的前后；所述第二缓冲推送管道（32）上设有两个第五手阀（321），两个第五手阀（321）分别位于第四气动阀（322）的前后。

7. 根据权利要求1所述的高纯化学品连续稳定输送系统，其特征在于：所述排气管道（4）上设有两个第六手阀（41），两个第六手阀（41）分别位于缓冲罐（6）与第五气动阀（42）之间，以及第五气动阀（42）与真空泵（43）之间。

8. 根据权利要求1至7任一项权利要求所述的高纯化学品连续稳定输送系统，其特征在于：所述的缓冲罐（6）内设有测量液位的液位计（7）和测量极限液位的传感器（8）。

9. 根据权利要求8所述的高纯化学品连续稳定输送系统，其特征在于：所述第一气动阀（212）、第二气动阀（223）、第三气动阀（313）、第四气动阀（322）、第五气动阀（42）、液位计（7）、压力传感器（323）和测量极限液位的传感器（8）均与控制模块连接。

10. 一种利用权利要求9所述的高纯化学品连续稳定输送系统的方法，其特征在于：包括如下步骤：

第一步，将高纯化学品置于便于安全运输的贮存罐（5）内，密封贮存罐（5）；

第二步，将第一推送管道伸入贮存罐（5）内上部并密封好，将第二推送管道的两端分别伸入贮存罐（5）内和缓冲罐（6）内并密封好；将第一缓冲推送管道（31）伸入缓冲罐（6）内上部并密封好，将第二缓冲推送管道（32）伸入缓冲罐（6）内并密封好；

第三步，将排气管道（4）安装在带有液位计（7）的缓冲罐（6）上并密封好；

第四步，填充缓冲罐（6），当缓冲罐（6）内的高纯化学品液面低于低液位限限定值（62）时，关闭第一缓冲推送管道（31）上的第三气动阀（313），打开第一贮存推送管道（21）上的第一气动阀（212）和第二贮存推送管道（22）上的第二气动阀（223），由高纯氮气或氩气通过第一贮存推送管道（21）和第二贮存推送管道（22）将高纯化学品从贮存罐（5）推送至缓冲罐（6）中，同时由控制模块控制第五气动阀（42）反复持续开闭进行泄压，直到缓冲罐（6）内的高纯化学品液面达到高液位限限定值（61）后，填充结束并由控制模块控制第五气动阀（42）处于常闭状态；或者高纯化学品液面未达到高液位限限定值（61），但是当缓冲罐（6）内的压力低于预设定的推送压力值后，由控制模块控制第五气动阀（42）处于常闭状态，使整个填充持续进行，填充过程中缓冲罐（6）内的气压将随着填充持续进行而升高，直至其气压超过预设定的推送压力值后，由控制模块控制第五气动阀（42）反复持续开闭进行泄压，以使缓冲罐（6）内的压力维持在预设定的推送压力值，如此反复直至高纯化学品液面达到高液位限限定值（61）后，直至填充结束；

第五步，将高纯化学品推送至机台（325），当缓冲罐（6）内的液位介于低液位限限定值（62）与高液位限限定值（61）之间时，打开第一缓冲推送管道（31）上的第三气动阀（313），高纯氮气或氩气通过第一缓冲推送管道（31）到达缓冲罐（6）内上部，源源不断的氮气或氩气到达缓冲罐（6）内；同时，由第四步可知，缓冲罐（6）内的气压维持在预设定的推送压力值，该气压将缓冲罐（6）内的高纯化学品连续稳定不间断的通过第二缓冲推送管道（32）被推送到达使用机台（325）。