JP2002326806A - 高濃度オゾンガスの製造方法とその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 酸素ＰＳＡ装置において、窒素もしくはアル
ゴン又は両方のガスを排除可能な方法を提供する。 【解決手段】 酸素発生機１からの酸素を用いてオゾン
を生成し、該オゾンを濃縮して供給する高濃度オゾンガ
スの製造方法において、前記酸素発生機内において、窒
素もしくはアルゴンのうちの一方を排除し、オゾン濃縮
機３の排ガス排出経路２４において前記他方を排除する
とともに、前記オゾン濃縮機の排ガス排出経路において
酸素濃度を検出して、その濃度の程度によって前記酸素
発生機の入口側か、またはオゾン発生機の入口側に前記
排出ガスの経路を選択することを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、酸素発生機からの
酸素を用いてオゾンを生成し、該オゾンを濃縮して供給
する高濃度オゾンガスの製造方法及び装置に関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来から、無声放電装置や水電解装置な
どを用いてオゾンを発生させ、該オゾン濃度をオゾン濃
縮機を用いて高めるている。そのような装置として特開
平９−３２８３０２号公報が知られている。

【０００３】かかる公報の従来技術を示す図面を図４と
して示す。かかる技術によると、オゾン濃縮装置４０
は、内部に吸着剤としてシリカゲルを充填した２個の吸
着筒を並列に配置し、各吸着筒を吸着工程と脱着工程と
に順次切り換えてオゾンを連続的に濃縮するように構成
される。

【０００４】このようなオゾン濃縮装置４０は酸素ＰＳ
Ａ（圧力スイング吸着法を用いる）装置４１からの酸素
によってオゾン発生器５２から経路４３に導出したオゾ
ン含有ガスは前記オゾン濃縮装置４０内の吸着工程にあ
る一方の吸着筒に導入される。この吸着筒に導入された
オゾン含有ガス中のオゾンは、吸着剤であるシリカゲル
に吸着して、オゾン含有ガス中のその他のガス成分は、
吸着筒から排ガスとして経路４４に導出される。経路４
４の排ガス成分は、その大部分が酸素であるために、循
環ポンプ４５を介してオゾン発生器５２の入口側に戻さ
れ、再びオゾン原料として用いられる。

【０００５】一方の吸着筒の吸着工程が終了すると、他
方の吸着筒が吸着工程に入り、経路４３から供給される
オゾン含有ガスの導入経路が一方側から他方側に切り換
えられる。そして、経路４６からの掃気ガスが筒内に入
り吸着剤から脱着したオゾンは、掃気ガスによって経路
４８に導出し供給先に供給される。

【０００６】このようなオゾン濃縮装置４０ではオゾン
発生器５２に供給するオゾン原料の組成により経路４４
を介して循環するガス中に窒素やアルゴンが循環系内に
蓄積するという不都合があり、排ガスが流れる経路４４
に循環ガス中の窒素やアルゴンを排出するための排出手
段４２を設ける。この排出手段４２は、酸素、窒素やア
ルゴンを優先的に吸着する吸着剤を充填した容器を備
え、循環する排ガス中の酸素、窒素やアルゴンを吸着補
足し、酸素を排ガス中選択的に回収するとともに、吸着
しない窒素やアルゴンなどを外部に排出するように形成
されている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来のオゾン供給装置は、窒素及びアルゴンガスを排
出するものであるが、排出する必要があるガスが複数で
あり、構成が複雑になるとともに、完全に排除するには
高度な技術を必要とし、不十分のままオゾン発生器５２
の入口側にこれらの不要ガスが含有した酸素を送ると、
オゾン発生器５２が取り入れる酸素が希釈化し、オゾン
の発生濃度が低下するという問題があった。

【０００８】上述の事情に鑑み本発明は、酸素ＰＳＡ装
置において、窒素もしくはアルゴン又は両方のガスを排
除可能な方法及び装置を提供することを目的とする。ま
た、本発明の他の目的は、オゾン濃縮機からの排ガスが
流れる経路の酸素濃度によって、酸素ＰＳＡ装置の入口
側とオゾン発生器の入口側のいずれか一方に、排ガスを
供給可能な方法及び装置を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
めに、本第１発明は、酸素発生機からの酸素を用いてオ
ゾンを生成し、該オゾンを濃縮して供給する高濃度オゾ
ンガスの製造方法において、前記酸素発生機内にて、窒
素もしくはアルゴンのうちの一方を排除し、オゾン濃縮
機の排ガス排出経路において前記他方を排除することを
特徴とする。

【００１０】かかる発明によると、前記酸素発生機内に
おいて、窒素もしくはアルゴンのうちの一方を排除し、
オゾン濃縮機の排ガス排出経路において前記他方を排除
するので、排出する必要があるガスをそれぞれの工程で
分担でき、排除手段の構成が簡単となり、良好な排除を
行うことができ、排除不十分のままオゾン発生器の入口
側にこれらの不要ガスが含有した酸素を送る可能性が減
少する。

【００１１】また、本第２発明は、酸素発生機からの酸
素を用いてオゾンを生成し、該オゾンを濃縮して供給す
る高濃度オゾンガスの製造方法において、オゾン濃縮機
の排ガス排出経路にて酸素濃度を検出して、その濃度の
程度によって前記酸素発生機の入口側か、またはオゾン
発生機の入口側に前記排出ガスの経路を選択することを
特徴とする。

【００１２】かかる発明によると、オゾン濃縮機の排ガ
ス排出経路において酸素濃度を検出して、その濃度の程
度によって前記酸素発生機の入口側か、またはオゾン発
生機の入口側に前記排出ガスの経路を選択するので、酸
素濃度が低いままオゾン発生機の入口側にこれらの不要
ガスが含有した酸素を送ることにより、オゾン発生機が
取り入れる酸素が希釈化し、オゾンの発生濃度が低下す
ることがない。

【００１３】また、本第３発明は、酸素発生機からの酸
素を用いてオゾンを生成し、該オゾンを濃縮して供給す
る高濃度オゾンガスの製造方法において、前記酸素発生
機内にて、窒素もしくはアルゴンのうちの一方を排除
し、オゾン濃縮機の排ガス排出経路にて前記他方を排除
するとともに、オゾン濃縮機の排ガス排出経路にて酸素
濃度を検出して、その濃度の程度によって前記酸素発生
機の入口側か、またはオゾン発生機の入口側に前記排出
ガスの経路を選択することを特徴とする。

【００１４】かかる発明によると、前記酸素発生機内に
おいて、窒素もしくはアルゴンのうちの一方を排除し、
オゾン濃縮機の排ガス排出経路において前記他方を排除
するので、排出する必要があるガスをそれぞれの工程で
分担でき、排除手段の構成が簡単となり、良好な排除を
行うことができ、排除不十分のままオゾン発生機の入口
側にこれらの不要ガスが含有した酸素を送る可能性が減
少する。そして、更に、オゾン濃縮機の排ガス排出経路
において酸素濃度を検出して、その濃度の程度によって
前記酸素発生機の入口側か、またはオゾン発生機の入口
側に前記排出ガスの経路を選択するので、酸素濃度が低
いままオゾン発生機の入口側にこれらの不要ガスが含有
した酸素を送ると、オゾン発生機が取り入れる酸素が希
釈化し、オゾンの発生濃度が低下することがない。

【００１５】本第４発明はまた、酸素発生機からの酸素
を用いてオゾンを生成し、該オゾンを濃縮して供給する
高濃度オゾンガスの製造装置において、前記酸素発生機
内に設けた酸素分離手段及び、窒素もしくはアルゴンの
うちの一方を分離する第１排ガス分離手段と、前記酸素
発生機から供給される酸素を用いてオゾンを生成するオ
ゾン発生機と、該オゾン発生機からのオゾンを濃縮する
オゾン濃縮機と、該オゾン濃縮機の排ガス経路に配設さ
れた前記窒素もしくはアルゴンのうちの他方を分離する
第２排ガス分離手段とを備えたことを特徴とする。

【００１６】かかる発明は、前記請求項１を達成するた
めの装置発明であり、請求項１で述べた上述の作用効果
を具備する。

【００１７】また、本第５発明は、酸素発生機からの酸
素を用いてオゾンを生成し、該オゾンを濃縮して供給す
る高濃度オゾンガスの製造装置において、前記酸素発生
機と連結したオゾン発生機と、該オゾン発生機と連結し
たオゾン濃縮機と、三方弁を介して、前記オゾン濃縮機
の排ガス排出経路と連結可能に構成された、前記酸素発
生機の入口側と連通する第１通路及び、前記オゾン発生
機の入口側と連通する第２通路と、前記排出ガス排出経
路の酸素濃度を検出して前記三方弁を制御する濃度検出
手段とを備え、その酸素濃度の程度によって前記排出ガ
スの経路を選択することを特徴とする。

【００１８】かかる発明は、前記請求項２を達成するた
めの装置発明であり、請求項２で述べた上述の作用効果
を具備する。

【００１９】また、本第６発明は、酸素発生機からの酸
素を用いてオゾンを生成し、該オゾンを濃縮して供給す
る高濃度オゾンガスの製造装置において、前記酸素発生
機内に設けた酸素分離手段及び、窒素もしくはアルゴン
のうちの一方を分離する第１排ガス分離手段と、前記酸
素発生機から供給される酸素を用いてオゾンを生成する
オゾン発生機と、該オゾンは発生機からのオゾンを濃縮
するオゾン濃縮機と、該オゾン濃縮機の排ガス経路に配
設された前記窒素もしくはアルゴンのうちの他方を分離
する第２排ガス分離手段と、三方弁を介して、前記オゾ
ン濃縮機の排ガス排出経路と連結可能に構成された、前
記酸素発生機の入口側と連通する第１通路及び、前記オ
ゾン発生機の入口側と連通する第２通路と、前記排出ガ
ス排出経路の酸素濃度を検出して前記三方弁を制御する
濃度検出手段とを備え、その酸素濃度の程度によって前
記排出ガスの経路を選択することを特徴とする。

【００２０】かかる発明は、前記請求項３を達成するた
めの装置発明であり、請求項３で述べた上述の作用効果
を具備する。

【００２１】また、本第７発明は、酸素発生機からの酸
素を用いてオゾンを生成し、該オゾンを濃縮して供給す
る高濃度オゾンガスの製造方法において、前記酸素発生
機内にて、窒素及びアルゴンを排除するとともに、オゾ
ン濃縮機の排ガス排出経路にて酸素濃度を検出して、そ
の濃度の程度によって前記酸素発生機の入口側か、また
はオゾン発生機の入口側に前記排出ガスの経路を選択す
ることを特徴とする。

【００２２】かかる発明によると、前記酸素発生機内に
おいて、窒素及びアルゴンを排除するので、排ガス排出
経路の排ガス分離手段を配置する必要がなく、排ガス分
離手段を前記酸素発生機内に集中して配置することがで
き、排ガス処理が容易となる。そして、更に、オゾン濃
縮機の排ガス排出経路において前記した不要ガスが存在
しても、酸素濃度を検出して、その濃度の程度によって
前記酸素発生機の入口側か、またはオゾン発生機の入口
側に前記排出ガスの経路を選択するので、酸素濃度が低
いままオゾン発生機の入口側にこれらの不要ガスが含有
した酸素を送ると、オゾン発生機が取り入れる酸素が希
釈化し、オゾンの発生濃度が低下することがない。

【００２３】また、本第８発明は、酸素発生機からの酸
素を用いてオゾンを生成し、該オゾンを濃縮して供給す
る高濃度オゾンガスの製造装置において、前記酸素発生
機内に設けた酸素分離手段及び、窒素及びアルゴンを分
離する前段排ガス分離手段と、前記酸素発生機から供給
される酸素を用いてオゾンを生成するオゾン発生機と、
該オゾン発生機からのオゾンを濃縮するオゾン濃縮機
と、該オゾン濃縮機の排ガス経路に配設された前記窒素
もしくはアルゴンのうちの少なくとも一方を分離する後
段排ガス分離手段とを備えたことを特徴とする。

【００２４】かかる発明は、前記酸素発生機内に設けた
前段排ガス分離手段によって窒素及びアルゴンを分離す
るが、不要ガスの分離が不十分であってもオゾン濃縮機
の排ガス経路に配設された後段排ガス分離手段によって
窒素もしくはアルゴンのうちの少なくとも一方を分離す
ることができ、この排ガスを再度前記酸素発生機また
は、オゾン発生機にて用いることが可能である。

【００２５】また、本第９発明は、酸素発生機からの酸
素を用いてオゾンを生成し、該オゾンを濃縮して供給す
る高濃度オゾンガスの製造装置において、前記酸素発生
機内に設けた酸素分離手段及び、窒素及びアルゴンを分
離する前段排ガス分離手段と、前記酸素発生機から供給
される酸素を用いてオゾンを生成するオゾン発生機と、
該オゾンは発生機からのオゾンを濃縮するオゾン濃縮機
と、該オゾン濃縮機の排ガス経路に配設された前記窒素
もしくはアルゴンのうちの少なくとも一方を分離する後
段排ガス分離手段と、三方弁を介して、前記オゾン濃縮
機の排ガス排出経路と連結可能に構成された、前記酸素
発生機の入口側と連通する第１通路及び、前記オゾン発
生器の入口側と連通する第２通路と、前記排出ガス排出
経路の酸素濃度を検出して前記三方弁を制御する濃度検
出手段とを備え、その酸素濃度の程度によって前記排出
ガスの経路を選択することを特徴とする。

【００２６】かかる発明によると、前記酸素発生機内に
設けた前段排ガス分離手段によって窒素及びアルゴンを
分離してオゾン発生器を介してオゾン濃縮機に送出し、
該オゾン濃縮機に連結する排出ガス排出経路に酸素濃度
を検出する濃度検出手段と後段排ガス分離手段を設け、
前記窒素もしくはアルゴンのうちの少なくとも一方を分
離するように構成するとともに、前記濃度検出手段によ
って検出される酸素濃度の程度によって、三方弁を介し
て、前記排ガス排出経路と前記酸素発生機の入口側もし
くは、前記オゾン発生器の入口側に送出するように構成
しているので、前記前段排ガス分離手段によっての不要
ガスの分離が不十分であってもオゾン濃縮機の排ガス経
路に配設された後段排ガス分離手段によって窒素もしく
はアルゴンのうちの少なくとも一方を分離することがで
き、この排ガスを再度前記酸素発生機または、オゾン発
生機にて用いることが可能である。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図に示した実施の
形態を用いて詳細に説明する。但し、この実施の形態に
記載される構成部品の寸法、形状、その相対配置などは
特に特定的な記載がない限り、この発明の範囲をそれの
みに限定する趣旨ではなく、単なる説明例にすぎない。
図１は本発明の一実施の形態である高濃度オゾンガスの
製造装置の概略構成図、図２は第１実施の形態にかかる
酸素発生機の内部構成図である。

【００２８】図１に示すように、本実施の形態の高濃度
オゾンガスの製造装置は、配管２０を通って取り込まれ
た空気を基にして酸素を発生する酸素発生機１と、該酸
素発生機１からの酸素を通路２１を通って取込み、オゾ
ンを発生するオゾン発生機２と、該オゾン発生機２から
のオゾンを通路２２を通って取込み、オゾンを濃縮して
供給先に高濃度のオゾンを提供するオゾン濃縮機３と、
該オゾン濃縮機３におけるオゾンの濃縮の際に、排気さ
れる不純物含有酸素を上流側に戻すための通路２４を通
って取込んで不純物を排出する排出手段５と、該排出手
段５通路２６を介して接続する三方弁６と、オゾン濃縮
機３と排出手段５との間に配置され、酸素濃度の程度に
よって前記三方弁６を制御する濃度計４とを備えてい
る。尚、濃度計４は排出手段５と三方弁６との間に配置
してもよい。

【００２９】図２は、圧力スイング吸着法の一実施の形
態を示すもので酸素発生機１の内部構成を示す。同図に
おいて、酸素発生機１は、通路２０を通って取り込まれ
る空気をブロア７によって通路３０を通って取込み、乾
燥させるとともに、炭酸ガスを排除する脱湿・脱炭酸ガ
ス塔８と、該脱湿・脱炭酸ガス塔８によって、炭酸ガス
を排除された乾燥空気を取込み、酸素を吸着して窒素を
排出する酸素吸着塔９と、吸着されている酸素を真空ポ
ンプ１０によって取り込んで通路３４に放出し、その放
出された酸素ガスを取り込んで更にその酸素ガス内に存
在する前段で取りきれない窒素を吸着して酸素を放出す
る窒素吸着塔１１（第１排ガス分離手段）と、吸着され
た窒素を通路３６に排出する真空ポンプ１２とから構成
されている。

【００３０】前記脱湿・脱炭酸ガス塔８には、図示しな
い乾燥機と、合成ゼオライト系二酸化炭素吸着剤が配設
され、取り込んだ空気を乾燥するとともに二酸化炭素を
排除するように構成されている。尚、吸着された二酸化
炭素は必要に応じて図示しない真空ポンプによって装置
外に排出される。

【００３１】前記酸素吸着塔９は、合成ゼオライト系酸
素吸着剤によって酸素を吸着して窒素を含有する空気を
通路３２から排出する。その後に真空ポンプ１０によっ
て酸素吸着塔９内を負圧にして酸素吸着剤に吸着された
酸素を取り込む。この際には、完全に窒素が排除される
ものではなく、吸着しきれなかった酸素と窒素を含んだ
空気が通路３４に放出される。

【００３２】前記窒素吸着塔１１は、合成ゼオライト系
窒素吸着剤によって窒素を吸着して、酸素濃度が高い酸
素を通路２１から放出する。その後に真空ポンプ１２に
よって窒素吸着塔１１内を負圧にして窒素吸着剤に吸着
された窒素を通路３６から排出する。

【００３３】以上詳述したように酸素発生機１はアルゴ
ンガスを含むが９３〜９９％の高濃度の酸素ガスをオゾ
ン発生機２に供給することが出来る。

【００３４】オゾン発生機２は、内部に図示しない複数
の放電部材と、該放電部材に接続した高圧電源と、該高
圧電源を制御する電気的制御装置が配設され、高濃度の
酸素ガスを前記放電部材の放電域に送り、前記放電部材
に高圧を印加して放電させてオゾンガスを発生するもの
であり、酸素対オゾンの比として５〜１０％のオゾンガ
スを発生する。

【００３５】オゾン濃縮機３は、合成ゼオライト系オゾ
ン吸着剤によってオゾンを吸着して、他の酸素及びアル
ゴンガスを通路２４から放出する。その後に真空ポンプ
等によってオゾン濃縮機３内を負圧にしてオゾン吸着剤
に吸着されたオゾンを通路２３から排出する。よって、
本実施の形態においては、酸素対オゾンの比として略２
０〜３０％の高濃度のオゾンを供給することができる。

【００３６】オゾン濃縮機３からオゾンを分離した後は
アルゴンガスを含み、９３〜９５％の濃度を有する酸素
ガスを通路２４に排出されるが、その通路２４には濃度
計４とアルゴンガスを排除する排除手段（第２排ガス分
離手段）５が配設されている。該排出手段５は、合成ゼ
オライト系アルゴン吸着剤が用いられている。

【００３７】そして、通路２４にはオゾン濃縮機３から
排出される酸素ガスの濃度を検出する濃度計４が配設さ
れ、該濃度計４の値が所定濃度値未満であるときは酸素
発生機１の入口側に酸素ガスを戻し、所定値以上である
ときはオゾン発生機２の入口側に戻すように三方弁６を
制御する。

【００３８】尚、酸素発生機内で、アルゴンガスを除去
し、オゾン濃縮機の下流側の排出手段で窒素ガスを除去
してもよい。また、前記オゾン濃縮機３、または、前記
排除手段５には酸素を透過する酸素透過膜を用いてもよ
く、または、多成分混合ガスを圧縮、冷却、膨張などの
操作により液化させ、清留または凝縮によってそれぞれ
の成分に分離する深冷分離方法を用いてもよい。

【００３９】上述したように、本実施の形態では、酸素
濃度によってオゾン濃縮機３からの排出酸素ガスの戻し
先を酸素発生機１かオゾン発生機２とを選択して戻して
いるので、オゾン発生効率が良くコンパクトな高濃度オ
ゾン発生機を提供することができる。

【００４０】次に図３を用いて、酸素発生器１の第２実
施の形態を説明する。図２に示した第１実施の形態との
相違点は、窒素吸着塔１１を介して酸素をオゾン濃縮機
３に送出しているのに対して、第２実施の形態は窒素吸
着塔１１によって窒素を分離した後にアルゴン吸着塔３
７によってアルゴンを分離した後に酸素をオゾン濃縮機
３に送出するように構成した点である。尚、アルゴン吸
着塔３７には合成ゼオライト系アルゴン吸着剤によって
アルゴンを吸着したのちに真空ポンプ３８によって前記
アルゴン吸着剤に吸着されたアルゴンガスを外部に排出
可能に構成されている。ここにおいて、前記窒素吸着塔
１１及びアルゴン吸着塔３７を前段排ガス分離手段とい
う。

【００４１】尚、本実施の形態は、図１へ適用に際し
て、不純物を排出する排出手段５を用いないで適用する
ことができる。その場合には、前記酸素発生機内におい
て、窒素及びアルゴンを排除するので、排ガス分離手段
を前記酸素発生機内に集中して配置することができ、排
ガス処理が容易となる。尚、ここでは排出手段５を後段
排ガス分離手段という。そして、更に、オゾン濃縮機の
排ガス排出経路において前記した不要ガスが存在して
も、酸素濃度を検出して、その濃度の程度によって前記
酸素発生機の入口側か、またはオゾン発生機の入口側に
前記排出ガスの経路を選択するので、酸素濃度が低いま
まオゾン発生機の入口側にこれらの不要ガスが含有した
酸素を送ると、オゾン発生機が取り入れる酸素が希釈化
し、オゾンの発生濃度が低下することがない。

【００４２】また、本実施の形態は、図１へそのまま適
用することができる。その場合は、不純物を排出する排
出手段（後段排ガス分離手段）５によって再度不要ガス
を分離することができ、酸素濃度が濃い酸素ガスをオゾ
ン発生機へ送出することができる。

【００４３】

【発明の効果】以上記載のごとく、本発明は、酸素発生
機内において、窒素もしくはアルゴンのうちの一方を排
除し、オゾン濃縮機の排ガス排出経路において窒素もし
くはアルゴンのうちの他方を排除するので、排出する必
要があるガスをそれぞれの工程で分担でき、排除手段の
構成が簡単となり、良好な排除を行うことができ、排除
不十分のままオゾン発生機の入口側にこれらの不要ガス
が含有した酸素を送る可能性が減少する。また、オゾン
濃縮機の排ガス排出経路において酸素濃度を検出して、
その濃度の程度によって前記酸素発生機の入口側か、ま
たはオゾン発生機の入口側に前記排出ガスの経路を選択
するので、酸素濃度が低いままオゾン発生機の入口側に
これらの不要ガスが含有した酸素を送ると、オゾン発生
機が取り入れる酸素が希釈化し、オゾンの発生濃度が低
下することがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施の形態である高濃度オゾンガ
スの製造装置の概略構成図である。

【図２】 酸素発生機の内部構成図である。

【図３】 他の酸素発生機の概略構成図である。

【図４】 従来技術のオゾンガスの製造装置の概略構成
図である。

【符号の説明】 １ 酸素発生機 ２ オゾン発生機 ３ オゾン濃縮機 ４ 濃度計 ５ 排出手段 ６ 三方弁

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 蔦谷 博之 長崎市深堀町五丁目717番１号 三菱重工 業株式会社長崎研究所内 (72)発明者 朝長 成之 長崎市深堀町五丁目717番１号 三菱重工 業株式会社長崎研究所内 (72)発明者 岡 伸樹 長崎市深堀町五丁目717番１号 三菱重工 業株式会社長崎研究所内 Ｆターム(参考） 4G042 CA01 CB01 CB08 CB14 CB29

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 酸素発生機からの酸素を用いてオゾンを
   生成し、該オゾンを濃縮して供給する高濃度オゾンガス
   の製造方法において、 前記酸素発生機内にて、窒素もしくはアルゴンのうちの
   一方を排除し、オゾン濃縮機の排ガス排出経路において
   前記他方を排除することを特徴とする高濃度オゾンガス
   の製造方法。
2. 【請求項２】 酸素発生機からの酸素を用いてオゾンを
   生成し、該オゾンを濃縮して供給する高濃度オゾンガス
   の製造方法において、 オゾン濃縮機の排ガス排出経路にて酸素濃度を検出し
   て、その濃度の程度によって前記酸素発生機の入口側
   か、またはオゾン発生器の入口側に前記排出ガスの経路
   を選択することを特徴とする高濃度オゾンガスの製造方
   法。
3. 【請求項３】 酸素発生機からの酸素を用いてオゾンを
   生成し、該オゾンを濃縮して供給する高濃度オゾンガス
   の製造方法において、 前記酸素発生機内にて、窒素もしくはアルゴンのうちの
   一方を排除し、オゾン濃縮機の排ガス排出経路にて前記
   他方を排除するとともに、 前記オゾン濃縮機の排ガス排出経路にて酸素濃度を検出
   して、その濃度の程度によって前記酸素発生機の入口側
   か、またはオゾン発生機の入口側に前記排出ガスの経路
   を選択することを特徴とする高濃度オゾンガスの製造方
   法。
4. 【請求項４】 酸素発生機からの酸素を用いてオゾンを
   生成し、該オゾンを濃縮して供給する高濃度オゾンガス
   の製造装置において、 前記酸素発生機内に設けた酸素分離手段及び、窒素もし
   くはアルゴンのうちの一方を分離する第１排ガス分離手
   段と、 前記酸素発生機から供給される酸素を用いてオゾンを生
   成するオゾン発生機と、 該オゾン発生機からのオゾンを濃縮するオゾン濃縮機
   と、 該オゾン濃縮機の排ガス経路に配設された前記窒素もし
   くはアルゴンのうちの他方を分離する第２排ガス分離手
   段とを備えたことを特徴とする高濃度オゾンガスの製造
   装置。
5. 【請求項５】 酸素発生機からの酸素を用いてオゾンを
   生成し、該オゾンを濃縮して供給する高濃度オゾンガス
   の製造装置において、 前記酸素発生機と連結したオゾン発生機と、 該オゾン発生機と連結したオゾン濃縮機と、 三方弁を介して、前記オゾン濃縮機の排ガス排出経路と
   連結可能に構成された、前記酸素発生機の入口側と連通
   する第１通路及び、前記オゾン発生器の入口側と連通す
   る第２通路と、 前記排出ガス排出経路の酸素濃度を検出して前記三方弁
   を制御する濃度検出手段とを備え、 その酸素濃度の程度によって前記排出ガスの経路を選択
   することを特徴とする高濃度オゾンガスの製造装置。
6. 【請求項６】 酸素発生機からの酸素を用いてオゾンを
   生成し、該オゾンを濃縮して供給する高濃度オゾンガス
   の製造装置において、 前記酸素発生機内に設けた酸素分離手段及び、窒素もし
   くはアルゴンのうちの一方を分離する第１排ガス分離手
   段と、 前記酸素発生機から供給される酸素を用いてオゾンを生
   成するオゾン発生機と、 該オゾンは発生機からのオゾンを濃縮するオゾン濃縮機
   と、 該オゾン濃縮機の排ガス経路に配設された前記窒素もし
   くはアルゴンのうちの他方を分離する第２排ガス分離手
   段と、 三方弁を介して、前記オゾン濃縮機の排ガス排出経路と
   連結可能に構成された、前記酸素発生機の入口側と連通
   する第１通路及び、前記オゾン発生器の入口側と連通す
   る第２通路と、 前記排出ガス排出経路の酸素濃度を検出して前記三方弁
   を制御する濃度検出手段とを備え、 その酸素濃度の程度によって前記排出ガスの経路を選択
   することを特徴とする高濃度オゾンガスの製造装置。
7. 【請求項７】 酸素発生機からの酸素を用いてオゾンを
   生成し、該オゾンを濃縮して供給する高濃度オゾンガス
   の製造方法において、 前記酸素発生機内にて、窒素及びアルゴンを排除すると
   ともに、オゾン濃縮機の排ガス排出経路にて酸素濃度を
   検出して、その濃度の程度によって前記酸素発生機の入
   口側か、またはオゾン発生機の入口側に前記排出ガスの
   経路を選択することを特徴とする高濃度オゾンガスの製
   造方法。
8. 【請求項８】 酸素発生機からの酸素を用いてオゾンを
   生成し、該オゾンを濃縮して供給する高濃度オゾンガス
   の製造装置において、 前記酸素発生機内に設けた酸素分離手段及び、窒素及び
   アルゴンを分離する前段排ガス分離手段と、 前記酸素発生機から供給される酸素を用いてオゾンを生
   成するオゾン発生機と、 該オゾン発生機からのオゾンを濃縮するオゾン濃縮機
   と、 該オゾン濃縮機の排ガス経路に配設された前記窒素もし
   くはアルゴンのうちの少なくとも一方を分離する後段排
   ガス分離手段とを備えたことを特徴とする高濃度オゾン
   ガスの製造装置。
9. 【請求項９】 酸素発生機からの酸素を用いてオゾンを
   生成し、該オゾンを濃縮して供給する高濃度オゾンガス
   の製造装置において、 前記酸素発生機内に設けた酸素分離手段及び、窒素及び
   アルゴンを分離する前段排ガス分離手段と、 前記酸素発生機から供給される酸素を用いてオゾンを生
   成するオゾン発生機と、 該オゾンは発生機からのオゾンを濃縮するオゾン濃縮機
   と、 該オゾン濃縮機の排ガス経路に配設された前記窒素もし
   くはアルゴンのうちの少なくとも一方を分離する後段排
   ガス分離手段と、 三方弁を介して、前記オゾン濃縮機の排ガス排出経路と
   連結可能に構成された、前記酸素発生機の入口側と連通
   する第１通路及び、前記オゾン発生器の入口側と連通す
   る第２通路と、 前記排出ガス排出経路の酸素濃度を検出して前記三方弁
   を制御する濃度検出手段とを備え、 その酸素濃度の程度によって前記排出ガスの経路を選択
   することを特徴とする高濃度オゾンガスの製造装置。