JP2002309207A - 粘着剤組成物及び粘着シート - Google Patents
粘着剤組成物及び粘着シートInfo
- Publication number
- JP2002309207A JP2002309207A JP2001119432A JP2001119432A JP2002309207A JP 2002309207 A JP2002309207 A JP 2002309207A JP 2001119432 A JP2001119432 A JP 2001119432A JP 2001119432 A JP2001119432 A JP 2001119432A JP 2002309207 A JP2002309207 A JP 2002309207A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- sensitive adhesive
- adhesive composition
- perfluoropolyether
- perfluoropolyethers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Adhesive Tapes (AREA)
- Adhesives Or Adhesive Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 微小粘着性を有し、接着・剥離をともなう搬
送作業に適した粘着剤組成物および該粘着剤組成物によ
る粘着シートを提供する。 【解決手段】 粘着剤組成物は、主成分としてパーフル
オロポリエーテル類を含有することを特徴とする。前記
パーフルオロポリエーテル類が、下記式（１） 【化１】 （式（１）中、ｘは自然数を示す）で表される繰り返し
単位を有するパーフルオロポリエーテルであることが好
ましい。該パーフルオロポリエーテル類の重量平均分子
量が２，０００以上であってもよい。また、パーフルオ
ロポリエーテル類がそのポリマー鎖の少なくとも一方の
末端に反応性官能基を有しており、且つ架橋剤を含有し
ていてもよい。粘着シートは、前記粘着剤組成物からな
る粘着剤層を有している。
送作業に適した粘着剤組成物および該粘着剤組成物によ
る粘着シートを提供する。 【解決手段】 粘着剤組成物は、主成分としてパーフル
オロポリエーテル類を含有することを特徴とする。前記
パーフルオロポリエーテル類が、下記式（１） 【化１】 （式（１）中、ｘは自然数を示す）で表される繰り返し
単位を有するパーフルオロポリエーテルであることが好
ましい。該パーフルオロポリエーテル類の重量平均分子
量が２，０００以上であってもよい。また、パーフルオ
ロポリエーテル類がそのポリマー鎖の少なくとも一方の
末端に反応性官能基を有しており、且つ架橋剤を含有し
ていてもよい。粘着シートは、前記粘着剤組成物からな
る粘着剤層を有している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、粘着剤組成物及び
粘着シートに関し、さらに詳細には、微小粘着性に優れ
た粘着剤組成物及び粘着シートに関する。
粘着シートに関し、さらに詳細には、微小粘着性に優れ
た粘着剤組成物及び粘着シートに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、粘着テープ製品は、部品（例え
ば、電子関連部品、半導体関連部品など）の固定等の接
合用などの多くの分野で利用されている。通常、粘着テ
ープに使用される粘着剤組成物では、ポリマー成分とし
て、天然ゴム、スチレン−ブタジエンゴム、イソプレン
ゴム、イソブチレンゴム、スチレン−イソプレンブロッ
ク共重合体、スチレン−ブタジエンブロック共重合体、
スチレン−エチレン−ブチレンブロック共重合体、エチ
レン−酢酸ビニル共重合体などのゴム系ポリマーの他、
アクリル系ポリマー、シリコーン系ポリマーが用いられ
ており、必要に応じてタッキファイヤーなどの添加物が
混合されている。
ば、電子関連部品、半導体関連部品など）の固定等の接
合用などの多くの分野で利用されている。通常、粘着テ
ープに使用される粘着剤組成物では、ポリマー成分とし
て、天然ゴム、スチレン−ブタジエンゴム、イソプレン
ゴム、イソブチレンゴム、スチレン−イソプレンブロッ
ク共重合体、スチレン−ブタジエンブロック共重合体、
スチレン−エチレン−ブチレンブロック共重合体、エチ
レン−酢酸ビニル共重合体などのゴム系ポリマーの他、
アクリル系ポリマー、シリコーン系ポリマーが用いられ
ており、必要に応じてタッキファイヤーなどの添加物が
混合されている。
【０００３】電子関連分野や半導体関連分野では、粘着
剤からの移行成分や発生ガスなどが問題となっているこ
とから、これらの分野では、近年、粘着テープとして
は、アクリル系粘着テープやシリコーン系粘着テープが
広く使用されている。
剤からの移行成分や発生ガスなどが問題となっているこ
とから、これらの分野では、近年、粘着テープとして
は、アクリル系粘着テープやシリコーン系粘着テープが
広く使用されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体
基板を接触搬送するとともに、基板や搬送系の異物を除
去するためのクリーニングシート等においては、アクリ
ル系粘着テープを用いると、接着力が強すぎて、該アク
リル系粘着テープが半導体基板から剥がすことが困難と
なっているなどの問題が発生している。また、シリコー
ン系粘着テープとしては、少量のシリコーン成分がシリ
コンウエハに対して悪影響を及ぼすとして避けられてい
る。従って、半導体基板に対しては、アクリル系粘着テ
ープやシリコーン系粘着テープ以外で、微小な粘着力を
有する粘着テープの開発が所望されている。
基板を接触搬送するとともに、基板や搬送系の異物を除
去するためのクリーニングシート等においては、アクリ
ル系粘着テープを用いると、接着力が強すぎて、該アク
リル系粘着テープが半導体基板から剥がすことが困難と
なっているなどの問題が発生している。また、シリコー
ン系粘着テープとしては、少量のシリコーン成分がシリ
コンウエハに対して悪影響を及ぼすとして避けられてい
る。従って、半導体基板に対しては、アクリル系粘着テ
ープやシリコーン系粘着テープ以外で、微小な粘着力を
有する粘着テープの開発が所望されている。
【０００５】従って、本発明の目的は、微小な粘着力を
有する粘着剤組成物および該粘着剤組成物による粘着シ
ートを提供することにある。本発明の他の目的は、微小
粘着性を有しているとともに、接着・剥離をともなう搬
送作業に支障をきたさない粘着剤組成物および該粘着剤
組成物による粘着シートを提供することにある。本発明
のさらに他の目的は、シリコーン系成分が含まれておら
ず、電子関連部品及び半導体関連部品に対して好適な接
着性を有する粘着シートを提供することにある。
有する粘着剤組成物および該粘着剤組成物による粘着シ
ートを提供することにある。本発明の他の目的は、微小
粘着性を有しているとともに、接着・剥離をともなう搬
送作業に支障をきたさない粘着剤組成物および該粘着剤
組成物による粘着シートを提供することにある。本発明
のさらに他の目的は、シリコーン系成分が含まれておら
ず、電子関連部品及び半導体関連部品に対して好適な接
着性を有する粘着シートを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的を達成するため鋭意検討した結果、特定のフッ素系樹
脂を粘着成分として用いた粘着剤は、良好な微小粘着力
を発現することができ、しかも搬送作業において接着及
び剥離をともなう部品に対して用いても、良好な接着性
及び剥離性を示し、且つ接着させた部品に対して悪影響
を及ぼさないことを見出し、本発明を完成させた。
的を達成するため鋭意検討した結果、特定のフッ素系樹
脂を粘着成分として用いた粘着剤は、良好な微小粘着力
を発現することができ、しかも搬送作業において接着及
び剥離をともなう部品に対して用いても、良好な接着性
及び剥離性を示し、且つ接着させた部品に対して悪影響
を及ぼさないことを見出し、本発明を完成させた。
【０００７】すなわち、本発明は、主成分としてパーフ
ルオロポリエーテル類を含有することを特徴とする粘着
剤組成物である。
ルオロポリエーテル類を含有することを特徴とする粘着
剤組成物である。
【０００８】本発明では、パーフルオロポリエーテル類
が、下記式（１）
が、下記式（１）
【化２】 （式（１）中、ｘは自然数を示す）で表される繰り返し
単位を有するパーフルオロポリエーテルであることが好
ましい。パーフルオロポリエーテル類の重量平均分子量
は２，０００以上であってもよい。また、本発明の粘着
剤組成物では、パーフルオロポリエーテル類がそのポリ
マー鎖の少なくとも一方の末端に反応性官能基を有して
おり、且つ架橋剤を含有していることが好適である。
単位を有するパーフルオロポリエーテルであることが好
ましい。パーフルオロポリエーテル類の重量平均分子量
は２，０００以上であってもよい。また、本発明の粘着
剤組成物では、パーフルオロポリエーテル類がそのポリ
マー鎖の少なくとも一方の末端に反応性官能基を有して
おり、且つ架橋剤を含有していることが好適である。
【０００９】なお、本発明には、前記粘着剤組成物から
なる粘着剤層を有している粘着シートも含まれる。
なる粘着剤層を有している粘着シートも含まれる。
【００１０】
【発明の実施の形態】［パーフルオロポリエーテル類］
本発明の粘着剤組成物は、前述のように、主成分（すな
わち、粘着成分の主成分）として、パーフルオロポリエ
ーテル類が含まれている。パーフルオロポリエーテル類
は単独で又は２種以上組み合わせて使用できる。
本発明の粘着剤組成物は、前述のように、主成分（すな
わち、粘着成分の主成分）として、パーフルオロポリエ
ーテル類が含まれている。パーフルオロポリエーテル類
は単独で又は２種以上組み合わせて使用できる。
【００１１】本発明では、パーフルオロポリエーテル類
としては、分子中に、前記式（１）で表される繰り返し
単位を有しているパーフルオロポリエーテルが好適であ
る。すなわち、本発明では、分子中に前記式（１）で表
される繰り返し単位からなるパーフルオロポリエーテル
骨格を有しているパーフルオロポリエーテル類を好適に
用いることができる。
としては、分子中に、前記式（１）で表される繰り返し
単位を有しているパーフルオロポリエーテルが好適であ
る。すなわち、本発明では、分子中に前記式（１）で表
される繰り返し単位からなるパーフルオロポリエーテル
骨格を有しているパーフルオロポリエーテル類を好適に
用いることができる。
【００１２】前記式（１）において、ｘは自然数であ
る。ｘとしては、通常、１〜８の整数（好ましくは１〜
６、さらに好ましくは１〜４）である。パーフルオロポ
リエーテル類は単独で又は２種以上組み合わせて使用す
ることができる。
る。ｘとしては、通常、１〜８の整数（好ましくは１〜
６、さらに好ましくは１〜４）である。パーフルオロポ
リエーテル類は単独で又は２種以上組み合わせて使用す
ることができる。
【００１３】また、繰り返し単位としての基−ＣxＦ2x
Ｏ−は、直鎖状又は分岐鎖状の何れであってもよい。よ
り具体的には、基−ＣxＦ2xＯ−としては、ｘが２の場
合（−Ｃ2Ｆ4Ｏ−）は、−ＣＦ2ＣＦ2Ｏ−、−ＣＦ（Ｃ
Ｆ3）Ｏ−が含まれ、ｘが３の場合（−Ｃ3Ｆ6Ｏ−）
は、−ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ−、−ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2
Ｏ−が含まれる。また、基−ＣxＦ2xＯ−としては、ｘ
が４の場合（−Ｃ4Ｆ8Ｏ−）は、−ＣＦ2ＣＦ2ＣＦ2Ｃ
Ｆ2Ｏ−、−ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2ＣＦ2Ｏ−、−ＣＦ2Ｃ
Ｆ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ−、−ＣＦ2ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ
−、−ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ−、−ＣＦ（ＣＦ
2ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ−、−ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ2ＣＦ3）Ｏ−、
−Ｃ（ＣＦ3）2ＣＦ2Ｏ−、−ＣＦ2Ｃ（ＣＦ3）2Ｏ−、
−Ｃ（ＣＦ3）（ＣＦ2ＣＦ3）Ｏ−、−ＣＦ（ＣＦ2ＣＦ
2ＣＦ3）Ｏ−が含まれる。
Ｏ−は、直鎖状又は分岐鎖状の何れであってもよい。よ
り具体的には、基−ＣxＦ2xＯ−としては、ｘが２の場
合（−Ｃ2Ｆ4Ｏ−）は、−ＣＦ2ＣＦ2Ｏ−、−ＣＦ（Ｃ
Ｆ3）Ｏ−が含まれ、ｘが３の場合（−Ｃ3Ｆ6Ｏ−）
は、−ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ−、−ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2
Ｏ−が含まれる。また、基−ＣxＦ2xＯ−としては、ｘ
が４の場合（−Ｃ4Ｆ8Ｏ−）は、−ＣＦ2ＣＦ2ＣＦ2Ｃ
Ｆ2Ｏ−、−ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ2ＣＦ2Ｏ−、−ＣＦ2Ｃ
Ｆ（ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ−、−ＣＦ2ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ
−、−ＣＦ（ＣＦ3）ＣＦ（ＣＦ3）Ｏ−、−ＣＦ（ＣＦ
2ＣＦ3）ＣＦ2Ｏ−、−ＣＦ2ＣＦ（ＣＦ2ＣＦ3）Ｏ−、
−Ｃ（ＣＦ3）2ＣＦ2Ｏ−、−ＣＦ2Ｃ（ＣＦ3）2Ｏ−、
−Ｃ（ＣＦ3）（ＣＦ2ＣＦ3）Ｏ−、−ＣＦ（ＣＦ2ＣＦ
2ＣＦ3）Ｏ−が含まれる。
【００１４】このようなパーフルオロポリエーテル類と
しては、例えば、商品名「フルオライトＲＯＵＡ−２３
００Ｔ」（共栄社化学社製）などが市販されている。
しては、例えば、商品名「フルオライトＲＯＵＡ−２３
００Ｔ」（共栄社化学社製）などが市販されている。
【００１５】前記パーフルオロポリエーテル類の重量平
均分子量としては、例えば、２，０００以上（例えば、
２，０００〜１００，０００）、好ましくは６，０００
以上（例えば、６，０００〜５０，０００）の範囲から
選択することができる。
均分子量としては、例えば、２，０００以上（例えば、
２，０００〜１００，０００）、好ましくは６，０００
以上（例えば、６，０００〜５０，０００）の範囲から
選択することができる。
【００１６】また、前記パーフルオロポリエーテル類
は、耐熱性、耐久性を向上させるため架橋可能な反応性
官能基で変性した変性ポリマーであってもよい。架橋可
能な反応性官能基としては、ポリマーの架橋に通常用い
られる官能基、例えば、カルボキシル基、アクリロイル
基、メタクリロイル基、ビニル基、脂環式エポキシ基、
オキセタン基などが挙げられる。反応性官能基は、パー
フルオロポリエーテル類のポリマー鎖の少なくとも一方
の末端（片末端または両末端）に導入することができ
る。このような反応性官能基で変性されたパーフルオロ
ポリエーテル類は、架橋剤と配合し、加熱することによ
り架橋できる。すなわち、本発明の粘着剤組成物は、パ
ーフルオロポリエーテル類がそのポリマー鎖の少なくと
も一方の末端に反応性官能基を有しており、且つ架橋剤
を含有していてもよい。このような架橋剤としては、ポ
リイソシアネート、白金触媒、ジブチル錫ラウレート、
過酸化物、アミン化合物などが挙げられる。加熱温度は
使用する基材フィルムの耐熱性を考慮して適宜決定され
るが、７０℃〜２００℃の範囲が好ましい。また、前記
変性パーフルオロポリエーテル類は、光開始剤と配合す
ることで、紫外線、電子線で架橋することもできる。こ
のような光開始剤としては、例えば、商品名「イルガキ
ュア１８４」、「イルガキュア６５１」（以上、チバス
ペシャルティケミカルズ株式会社製）などが挙げられ
る。
は、耐熱性、耐久性を向上させるため架橋可能な反応性
官能基で変性した変性ポリマーであってもよい。架橋可
能な反応性官能基としては、ポリマーの架橋に通常用い
られる官能基、例えば、カルボキシル基、アクリロイル
基、メタクリロイル基、ビニル基、脂環式エポキシ基、
オキセタン基などが挙げられる。反応性官能基は、パー
フルオロポリエーテル類のポリマー鎖の少なくとも一方
の末端（片末端または両末端）に導入することができ
る。このような反応性官能基で変性されたパーフルオロ
ポリエーテル類は、架橋剤と配合し、加熱することによ
り架橋できる。すなわち、本発明の粘着剤組成物は、パ
ーフルオロポリエーテル類がそのポリマー鎖の少なくと
も一方の末端に反応性官能基を有しており、且つ架橋剤
を含有していてもよい。このような架橋剤としては、ポ
リイソシアネート、白金触媒、ジブチル錫ラウレート、
過酸化物、アミン化合物などが挙げられる。加熱温度は
使用する基材フィルムの耐熱性を考慮して適宜決定され
るが、７０℃〜２００℃の範囲が好ましい。また、前記
変性パーフルオロポリエーテル類は、光開始剤と配合す
ることで、紫外線、電子線で架橋することもできる。こ
のような光開始剤としては、例えば、商品名「イルガキ
ュア１８４」、「イルガキュア６５１」（以上、チバス
ペシャルティケミカルズ株式会社製）などが挙げられ
る。
【００１７】架橋剤は、１種を単独で又は２種以上の混
合系で使用される。架橋剤の使用量は、架橋すべきパー
フルオロポリエーテル類とのバランスにより、また粘着
剤組成物の使用目的等により適宜選択される。架橋剤の
量は、一般には、パーフルオロポリエーテル類１００重
量部に対し、０．０１〜５重量部程度の範囲から選択す
ることができる。
合系で使用される。架橋剤の使用量は、架橋すべきパー
フルオロポリエーテル類とのバランスにより、また粘着
剤組成物の使用目的等により適宜選択される。架橋剤の
量は、一般には、パーフルオロポリエーテル類１００重
量部に対し、０．０１〜５重量部程度の範囲から選択す
ることができる。
【００１８】また、架橋可能な反応性官能基で変性した
パーフルオロポリエーテル類の変性ポリマーを、該変性
ポリマーの反応性官能基と反応性を有する反応性官能基
を含有しているモノマー成分やポリマー成分と反応させ
て、架橋してもよい。
パーフルオロポリエーテル類の変性ポリマーを、該変性
ポリマーの反応性官能基と反応性を有する反応性官能基
を含有しているモノマー成分やポリマー成分と反応させ
て、架橋してもよい。
【００１９】本発明の粘着剤組成物では、粘着成分であ
る樹脂成分としては、パーフルオロポリエーテル類（変
性パーフルオロポリエーテル類及びその架橋体を含む）
のみを含んでいることが好ましいが、他のフッ素系ポリ
マーが併用されていてもよい。この場合、パーフルオロ
ポリエーテル類の割合は、フッ素系ポリマー全体の５０
重量％以上、特に８０重量％以上であるのが好ましい。
る樹脂成分としては、パーフルオロポリエーテル類（変
性パーフルオロポリエーテル類及びその架橋体を含む）
のみを含んでいることが好ましいが、他のフッ素系ポリ
マーが併用されていてもよい。この場合、パーフルオロ
ポリエーテル類の割合は、フッ素系ポリマー全体の５０
重量％以上、特に８０重量％以上であるのが好ましい。
【００２０】［粘着剤］本発明では、粘着剤は、前記パ
ーフルオロポリエーテル類を主成分として含有している
粘着剤組成物からなっている。すなわち、粘着剤組成物
は、パーフルオロポリエーテル類をベースポリマーとし
て含有している。より具体的には、本発明の接着剤組成
物は、前記パーフルオロポリエーテル類を、接着成分と
しての樹脂成分全量に対して５０重量％以上（好ましく
は８０重量％以上、さらに好ましくは９０〜１００重量
％）含有していてもよい。
ーフルオロポリエーテル類を主成分として含有している
粘着剤組成物からなっている。すなわち、粘着剤組成物
は、パーフルオロポリエーテル類をベースポリマーとし
て含有している。より具体的には、本発明の接着剤組成
物は、前記パーフルオロポリエーテル類を、接着成分と
しての樹脂成分全量に対して５０重量％以上（好ましく
は８０重量％以上、さらに好ましくは９０〜１００重量
％）含有していてもよい。
【００２１】なお、本発明の粘着剤組成物には、必要に
応じて、無機又は有機の充填剤、老化防止剤、粘着付与
剤、金属粉、顔料などの粉体、粒子状物、箔状物などの
従来公知の各種添加剤を任意に配合することができる。
本発明の粘着剤組成物は、パーフルオロポリエーテル類
と、必要に応じて架橋剤や各種添加剤等とを、慣用の方
法により混合して調製することができる。
応じて、無機又は有機の充填剤、老化防止剤、粘着付与
剤、金属粉、顔料などの粉体、粒子状物、箔状物などの
従来公知の各種添加剤を任意に配合することができる。
本発明の粘着剤組成物は、パーフルオロポリエーテル類
と、必要に応じて架橋剤や各種添加剤等とを、慣用の方
法により混合して調製することができる。
【００２２】［粘着シート］本発明では、粘着シート
（例えば、粘着テープなど）は、前記粘着剤組成物から
なる粘着剤層を有している。より具体的には、本発明の
粘着シートは、上記の粘着剤組成物からなる粘着剤層
と、剥離ライナーとを有してなるものであり、基材レス
粘着シートと基材付き粘着シートとがある。
（例えば、粘着テープなど）は、前記粘着剤組成物から
なる粘着剤層を有している。より具体的には、本発明の
粘着シートは、上記の粘着剤組成物からなる粘着剤層
と、剥離ライナーとを有してなるものであり、基材レス
粘着シートと基材付き粘着シートとがある。
【００２３】基材レス粘着シートとしては、例えば、公
知の方法により作製された剥離ライナー上に上記の粘着
剤組成物からなる粘着剤層を乾燥後の厚さが通常１０〜
１５０μｍ程度となるように塗着して、その上に必要に
よりさらに剥離ライナーを貼り合わせてなる、いわゆる
基材レスの両面粘着シートが挙げられる。なお、この場
合、他の粘着剤組成物を利用して多層構造化されていて
もよい。
知の方法により作製された剥離ライナー上に上記の粘着
剤組成物からなる粘着剤層を乾燥後の厚さが通常１０〜
１５０μｍ程度となるように塗着して、その上に必要に
よりさらに剥離ライナーを貼り合わせてなる、いわゆる
基材レスの両面粘着シートが挙げられる。なお、この場
合、他の粘着剤組成物を利用して多層構造化されていて
もよい。
【００２４】また、基材付き粘着シートとしては、例え
ば、公知乃至慣用の基材の片面又は両面に上記の粘着剤
組成物からなる粘着剤層を乾燥後の厚さが通常片面で１
０〜１５０μｍ程度となるように塗着して、粘着剤層を
基材に担持させ、その粘着面に剥離ライナーを貼り合わ
せてなる、基材付きの片面又は両面粘着シートが挙げら
れる。なお、この場合も、他の粘着剤組成物を利用して
多層構造化することが可能である。
ば、公知乃至慣用の基材の片面又は両面に上記の粘着剤
組成物からなる粘着剤層を乾燥後の厚さが通常片面で１
０〜１５０μｍ程度となるように塗着して、粘着剤層を
基材に担持させ、その粘着面に剥離ライナーを貼り合わ
せてなる、基材付きの片面又は両面粘着シートが挙げら
れる。なお、この場合も、他の粘着剤組成物を利用して
多層構造化することが可能である。
【００２５】剥離ライナーや基材に対して、粘着剤組成
物を塗工させる方法としては、例えば、パーフルオロポ
リエーテル類と必要に応じて架橋剤その他の添加剤をフ
ッ素系溶剤に溶解した溶液、又は前記パーフルオロポリ
エーテル類等を水に乳化したエマルションを剥離ライナ
ー又は基材に塗工し、必要に応じて架橋する方法などに
より製造できる。これらの中でも、パーフルオロポリエ
ーテル類等をフッ素系溶剤に溶解して剥離ライナー又は
基材に塗工する方法が最も一般的である。このように、
粘着剤組成物を塗工の際に用いる溶剤としては、溶解
性、濡れ性などの点で、フッ素系溶剤を好適に用いるこ
とができる。フッ素系溶剤としては、商品名「ＦＲシン
ナー」（信越化学工業株式会社製）などが市販されてお
り、例えば、パーフルオロヘプタン、パーフルオロオク
タン等のフッ素原子含有脂肪族炭化水素系溶剤；ｍ−キ
シレンヘキサフロライド、ベンゾトリフロライド等のフ
ッ素原子含有芳香族炭化水素系溶剤；メチルパーフルオ
ロブチルエーテル、パーフルオロ（２−ブチルテトラヒ
ドロフラン）等のフッ素原子含有エーテル系溶剤などが
挙げられる。
物を塗工させる方法としては、例えば、パーフルオロポ
リエーテル類と必要に応じて架橋剤その他の添加剤をフ
ッ素系溶剤に溶解した溶液、又は前記パーフルオロポリ
エーテル類等を水に乳化したエマルションを剥離ライナ
ー又は基材に塗工し、必要に応じて架橋する方法などに
より製造できる。これらの中でも、パーフルオロポリエ
ーテル類等をフッ素系溶剤に溶解して剥離ライナー又は
基材に塗工する方法が最も一般的である。このように、
粘着剤組成物を塗工の際に用いる溶剤としては、溶解
性、濡れ性などの点で、フッ素系溶剤を好適に用いるこ
とができる。フッ素系溶剤としては、商品名「ＦＲシン
ナー」（信越化学工業株式会社製）などが市販されてお
り、例えば、パーフルオロヘプタン、パーフルオロオク
タン等のフッ素原子含有脂肪族炭化水素系溶剤；ｍ−キ
シレンヘキサフロライド、ベンゾトリフロライド等のフ
ッ素原子含有芳香族炭化水素系溶剤；メチルパーフルオ
ロブチルエーテル、パーフルオロ（２−ブチルテトラヒ
ドロフラン）等のフッ素原子含有エーテル系溶剤などが
挙げられる。
【００２６】なお、本発明では、粘着剤組成物を塗工の
際に用いる溶剤としては、フッ素系溶剤以外の溶剤（例
えば、トルエン、キシレン等の炭化水素系溶剤；メチル
エチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶
剤など）を用いることも可能である。フッ素系溶剤など
の溶剤は単独で又は２種以上組み合わせて使用すること
ができる。また、溶剤の使用量等も特に制限されない。
なお、フッ素系溶剤等の溶剤は、粘着剤層を形成する際
の乾燥又は硬化時等において除去することができる。
際に用いる溶剤としては、フッ素系溶剤以外の溶剤（例
えば、トルエン、キシレン等の炭化水素系溶剤；メチル
エチルケトン、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶
剤など）を用いることも可能である。フッ素系溶剤など
の溶剤は単独で又は２種以上組み合わせて使用すること
ができる。また、溶剤の使用量等も特に制限されない。
なお、フッ素系溶剤等の溶剤は、粘着剤層を形成する際
の乾燥又は硬化時等において除去することができる。
【００２７】基材付き粘着シートにおける基材として
は、例えば、クラフト紙、和紙等の紙；レーヨン、ガラ
ス、ポリエステルなどからなる単独又は混紡などの織布
や不織布等の布；セロハン、ポリテトラフルオロエチレ
ン、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレートなどの
ポリエステル等のプラスチックからなるプラスチックフ
ィルム；天然ゴム、ブチルゴム等からなるゴムシート；
ポリウレタン、ポリクロロプレンゴム等からなる発泡
体；アルミニウム箔、銅箔等の金属箔；これらの複合体
などが挙げられる。基材フィルムとしては、ポリエステ
ルフィルムなどのプラスチックフィルムや、紙、不織布
などの多孔質材料を好適に用いることができる。
は、例えば、クラフト紙、和紙等の紙；レーヨン、ガラ
ス、ポリエステルなどからなる単独又は混紡などの織布
や不織布等の布；セロハン、ポリテトラフルオロエチレ
ン、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレートなどの
ポリエステル等のプラスチックからなるプラスチックフ
ィルム；天然ゴム、ブチルゴム等からなるゴムシート；
ポリウレタン、ポリクロロプレンゴム等からなる発泡
体；アルミニウム箔、銅箔等の金属箔；これらの複合体
などが挙げられる。基材フィルムとしては、ポリエステ
ルフィルムなどのプラスチックフィルムや、紙、不織布
などの多孔質材料を好適に用いることができる。
【００２８】本発明の粘着シートは、シート状、テープ
状等の何れの形態も採りうる。
状等の何れの形態も採りうる。
【００２９】本発明の粘着シートは、前記粘着剤組成物
による粘着剤層を有しているので、微小な粘着力を有し
ている。例えば、本発明の粘着シートは、シリコンウエ
ハ（ミラー面）に対して、粘着力が通常０．５Ｎ／１０
ｍｍ幅以下（０．００５〜０．５Ｎ／１０ｍｍ幅程
度）、好ましくは０．２Ｎ／１０ｍｍ幅以下（０．００
５〜０．２Ｎ／１０ｍｍ幅程度）の微小粘着力を示すこ
とができる。
による粘着剤層を有しているので、微小な粘着力を有し
ている。例えば、本発明の粘着シートは、シリコンウエ
ハ（ミラー面）に対して、粘着力が通常０．５Ｎ／１０
ｍｍ幅以下（０．００５〜０．５Ｎ／１０ｍｍ幅程
度）、好ましくは０．２Ｎ／１０ｍｍ幅以下（０．００
５〜０．２Ｎ／１０ｍｍ幅程度）の微小粘着力を示すこ
とができる。
【００３０】なお、粘着力は、粘着剤層を構成するパー
フルオロポリエーテル類の構成単量体組成や架橋剤等の
添加剤の種類及び量などを適宜選択することにより調整
できる。
フルオロポリエーテル類の構成単量体組成や架橋剤等の
添加剤の種類及び量などを適宜選択することにより調整
できる。
【００３１】このように、本発明の粘着剤組成物は、主
成分としてパーフルオロポリエーテル類が含まれている
ので、該粘着剤組成物を用いることにより良好な微小粘
着力を示す粘着シートが得られる。しかも、シリコーン
系成分を含有していない。そのため、シリコンウエハか
ら粘着シートが剥がれないトラブルやシリコーンの存在
を問題とする電子関連機器や半導体関連機器での用途に
有用である。
成分としてパーフルオロポリエーテル類が含まれている
ので、該粘着剤組成物を用いることにより良好な微小粘
着力を示す粘着シートが得られる。しかも、シリコーン
系成分を含有していない。そのため、シリコンウエハか
ら粘着シートが剥がれないトラブルやシリコーンの存在
を問題とする電子関連機器や半導体関連機器での用途に
有用である。
【００３２】
【実施例】以下に、本発明を実施例に基づいてより詳細
に説明するが、本発明の範囲は以下の実施例によりなん
ら制限を受けるものではない。なお、以下において、部
とあるのは重量部を意味する。
に説明するが、本発明の範囲は以下の実施例によりなん
ら制限を受けるものではない。なお、以下において、部
とあるのは重量部を意味する。
【００３３】（実施例１）パーフルオロポリエーテル類
として商品名「フルオライトＲＯＵＡ−２３００Ｔ」
（共栄社化学株式会社製、固形分濃度：１００重量％、
分子中にパーフルオロポリエーテル骨格を有し、両末端
にアクリロイル基を有するパーフルオロポリエーテル
類）：１００部に対し、フッ素系溶剤（信越化学工業株
式会社製の商品名「ＦＲシンナー」）：１００部、光開
始剤としての商品名「イルガキュア１８４」（チバスペ
シャルティケミカルズ株式会社製）：０．０５部、およ
び光開始剤としての商品名「イルガキュア６５１」（チ
バスペシャルティケミカルズ株式会社製）：０．０５部
を配合して粘着剤組成物の溶液（粘着剤溶液）を調製し
た。前記粘着剤溶液を、アプリケーターを用いて、ポリ
エチレンテレフタレート製フィルム（東レ株式会社製の
商品名「ルミラーＳ−１０」、フィルムの厚み：３８μ
ｍ）上に塗布し、１２０℃で１分間乾燥して、粘着剤層
の厚みが２０μｍである粘着シート（粘着剤は未架橋の
状態である）を作製した。前記粘着シート（粘着剤中の
パーフルオロポリエーテル類が架橋されていない粘着シ
ート）に、剥離ライナー［ポリエチレンテレフタレート
製フィルム（商品名「ルミラーＳ−１０」東レ株式会社
製）上にシリコーン系剥離剤が塗布されたもの］を貼り
合わせた後、紫外線を照射して（ランプ：メタルハライ
ドランプ、ランプ高：８ｃｍ、ライン速度：３ｍ／ｍｉ
ｎ）、粘着剤中のパーフルオロポリエーテル類の架橋を
行い、粘着シートを作製した。
として商品名「フルオライトＲＯＵＡ−２３００Ｔ」
（共栄社化学株式会社製、固形分濃度：１００重量％、
分子中にパーフルオロポリエーテル骨格を有し、両末端
にアクリロイル基を有するパーフルオロポリエーテル
類）：１００部に対し、フッ素系溶剤（信越化学工業株
式会社製の商品名「ＦＲシンナー」）：１００部、光開
始剤としての商品名「イルガキュア１８４」（チバスペ
シャルティケミカルズ株式会社製）：０．０５部、およ
び光開始剤としての商品名「イルガキュア６５１」（チ
バスペシャルティケミカルズ株式会社製）：０．０５部
を配合して粘着剤組成物の溶液（粘着剤溶液）を調製し
た。前記粘着剤溶液を、アプリケーターを用いて、ポリ
エチレンテレフタレート製フィルム（東レ株式会社製の
商品名「ルミラーＳ−１０」、フィルムの厚み：３８μ
ｍ）上に塗布し、１２０℃で１分間乾燥して、粘着剤層
の厚みが２０μｍである粘着シート（粘着剤は未架橋の
状態である）を作製した。前記粘着シート（粘着剤中の
パーフルオロポリエーテル類が架橋されていない粘着シ
ート）に、剥離ライナー［ポリエチレンテレフタレート
製フィルム（商品名「ルミラーＳ−１０」東レ株式会社
製）上にシリコーン系剥離剤が塗布されたもの］を貼り
合わせた後、紫外線を照射して（ランプ：メタルハライ
ドランプ、ランプ高：８ｃｍ、ライン速度：３ｍ／ｍｉ
ｎ）、粘着剤中のパーフルオロポリエーテル類の架橋を
行い、粘着シートを作製した。
【００３４】（評価試験）実施例で得られた粘着シート
について、下記の粘着力の測定方法により、粘着シート
の粘着力の測定を行ったところ、実施例１に係る粘着シ
ートの粘着力は、０．０３Ｎ／１０ｍｍであった。すな
わち、実施例１に係る粘着シートの粘着力は、微小な粘
着力を有しているといえる。
について、下記の粘着力の測定方法により、粘着シート
の粘着力の測定を行ったところ、実施例１に係る粘着シ
ートの粘着力は、０．０３Ｎ／１０ｍｍであった。すな
わち、実施例１に係る粘着シートの粘着力は、微小な粘
着力を有しているといえる。
【００３５】（粘着力の測定方法）粘着シートから剥離
ライナーを剥がし、シリコンウエハ（ミラー面）に貼り
付け、３０分経過後、雰囲気温度２３℃にて、１８０°
剥離試験を行い、粘着力を測定した。該１８０°剥離試
験は、インストロン型引張試験機を用いて、引張速度３
００ｍｍ／分、シート幅１０ｍｍの条件で行った。
ライナーを剥がし、シリコンウエハ（ミラー面）に貼り
付け、３０分経過後、雰囲気温度２３℃にて、１８０°
剥離試験を行い、粘着力を測定した。該１８０°剥離試
験は、インストロン型引張試験機を用いて、引張速度３
００ｍｍ／分、シート幅１０ｍｍの条件で行った。
【００３６】上記の結果から明らかなように、本発明の
実施例１の粘着シートは、粘着剤層の粘着剤の主成分と
してパーフルオロポリエーテル骨格を有するパーフルオ
ロポリエーテル類を使用しているので、接着・剥離をと
もなう搬送作業の支障をきたすことのない良好な微小粘
着力を有している。
実施例１の粘着シートは、粘着剤層の粘着剤の主成分と
してパーフルオロポリエーテル骨格を有するパーフルオ
ロポリエーテル類を使用しているので、接着・剥離をと
もなう搬送作業の支障をきたすことのない良好な微小粘
着力を有している。
【００３７】
【発明の効果】本発明の粘着剤組成物では、主成分とし
てパーフルオロポリエーテル類を含有しているので、接
着・剥離をともなう搬送作業に適した良好な微小粘着性
を有している。しかも、シリコーン系成分が含まれてい
ない。従って、電子関連部品及び半導体関連部品に対し
て好適な粘着シートにおける粘着剤組成物として有用で
ある。
てパーフルオロポリエーテル類を含有しているので、接
着・剥離をともなう搬送作業に適した良好な微小粘着性
を有している。しかも、シリコーン系成分が含まれてい
ない。従って、電子関連部品及び半導体関連部品に対し
て好適な粘着シートにおける粘着剤組成物として有用で
ある。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4J004 AA08 CA03 CA04 CA05 CA06 CA08 CB02 CB04 CC02 DB02 FA05 FA08 4J040 DD051 GA03 JA09 JB09 KA06 LA01 LA06 MB03 NA20
Claims (5)
- 【請求項１】 主成分としてパーフルオロポリエーテル
類を含有することを特徴とする粘着剤組成物。 - 【請求項２】 パーフルオロポリエーテル類が、下記式
（１） 【化１】 （式（１）中、ｘは自然数を示す）で表される繰り返し
単位を有するパーフルオロポリエーテルである請求項１
記載の粘着剤組成物。 - 【請求項３】 パーフルオロポリエーテル類の重量平均
分子量が２，０００以上である請求項１又は２記載の粘
着剤組成物。 - 【請求項４】 パーフルオロポリエーテル類がそのポリ
マー鎖の少なくとも一方の末端に反応性官能基を有して
おり、且つ架橋剤を含有している請求項１〜３の何れか
の項に記載の粘着剤組成物。 - 【請求項５】 前記請求項１〜４の何れかの項に記載の
粘着剤組成物からなる粘着剤層を有している粘着シー
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001119432A JP2002309207A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | 粘着剤組成物及び粘着シート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001119432A JP2002309207A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | 粘着剤組成物及び粘着シート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002309207A true JP2002309207A (ja) | 2002-10-23 |
Family
ID=18969652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001119432A Pending JP2002309207A (ja) | 2001-04-18 | 2001-04-18 | 粘着剤組成物及び粘着シート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002309207A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007313059A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Shin Etsu Chem Co Ltd | クリーニングバー |
| WO2022070933A1 (ja) * | 2020-10-01 | 2022-04-07 | Dic株式会社 | 粘着剤組成物、及びこれを用いた積層フィルム |
-
2001
- 2001-04-18 JP JP2001119432A patent/JP2002309207A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007313059A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Shin Etsu Chem Co Ltd | クリーニングバー |
| JP4730549B2 (ja) * | 2006-05-26 | 2011-07-20 | 信越化学工業株式会社 | クリーニングバー |
| WO2022070933A1 (ja) * | 2020-10-01 | 2022-04-07 | Dic株式会社 | 粘着剤組成物、及びこれを用いた積層フィルム |
| JPWO2022070933A1 (ja) * | 2020-10-01 | 2022-04-07 | ||
| JP7136388B1 (ja) * | 2020-10-01 | 2022-09-13 | Dic株式会社 | 粘着剤組成物、及びこれを用いた積層フィルム |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR0178513B1 (ko) | 플루오로카본 기재 코팅 조성물 및 그로부터 유도된 제품 | |
| JP3995022B2 (ja) | 半導体用接着組成物、それを用いた半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
| TWI241332B (en) | Crosslinked pressure sensitive adhesive compositions, and adhesive articles based thereon, useful in high temperature applications | |
| EP1638781B1 (en) | Method for preparing a patterned coating | |
| US20060280957A1 (en) | Silicone release compositions and silicone release plastic films using the same | |
| EP0553983B1 (en) | Pressure-sensitive silicone adhesives | |
| JP2010144046A (ja) | 離型剤及び離型シート | |
| JP4273193B2 (ja) | 両面密着シート | |
| US20100319151A1 (en) | Cleaning sheet, conveying member using the same, and substrate processing equipment cleaning method using them | |
| US20090253891A1 (en) | Cleaning substrate of substrate processing equipment and heat resistant resin preferable thereof | |
| JP3520775B2 (ja) | 低接着性塗料 | |
| JP2019194286A (ja) | 光硬化性粘着樹脂組成物およびそれを用いた粘着テープ | |
| JP5570738B2 (ja) | 表面保護用粘着シート | |
| JP2002309207A (ja) | 粘着剤組成物及び粘着シート | |
| JP6626125B2 (ja) | 粘着剤組成物及び粘着テープ | |
| JP5292793B2 (ja) | 半導体用接着シート、それを用いた半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
| JP2001106998A (ja) | 粘着シート及びこれを用いた印刷用フィルムの補強材料 | |
| JP3645383B2 (ja) | 両面剥離紙用付加反応硬化性シリコーン組成物および両面剥離紙 | |
| JPH04323284A (ja) | 硬化型シリコーン系剥離剤及びそのセパレータ | |
| JPH05209160A (ja) | 水溶性粘着剤組成物、ハンダマスク剤、粘着テープ及び粘着テープの製造方法 | |
| KR20210065050A (ko) | 클리닝 시트 및 클리닝 기능 부가 반송 부재 | |
| JP2624820B2 (ja) | ドライクリーニング用識別タグとその固定方法 | |
| JP4130830B2 (ja) | クリーニング機能付き搬送部材とこれを用いた基板処理装置のクリーニング方法 | |
| JP2002173651A (ja) | 表面保護フィルム | |
| JP2006049827A (ja) | クリーニング部材および基板処理装置のクリーニング方法 |