JP2002308106A - 炉芯管運搬台車 - Google Patents

炉芯管運搬台車

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JP2002308106A
JP2002308106A JP2001112363A JP2001112363A JP2002308106A JP 2002308106 A JP2002308106 A JP 2002308106A JP 2001112363 A JP2001112363 A JP 2001112363A JP 2001112363 A JP2001112363 A JP 2001112363A JP 2002308106 A JP2002308106 A JP 2002308106A
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core tube
furnace core
carrier according
storage case
furnace
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Koji Shimozono
浩二 下園
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 運搬途上、ダストに汚損されることなく安全
に所定の場所まで運ぶこと。 【解決手段】 密閉状態で炉芯管Qを収納する収納ケー
スCを台板12に着脱自在に装備した炉芯管運搬台車、
によって解決される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は例えば拡散炉や、L
P−CVD炉などで用いられる炉芯管の運搬台車に関す
る。
【0002】
【従来の技術】炉芯管は、例えば拡散炉やLP−CVD
炉などで使用されるものであるが、図10においてQで
示すような形状を呈し、ほぼ円筒体形状であるが、その
径は例えば約40乃至50cm、長さは約100cm
で、総重量は石英で成る場合、約20kg、SiCで成
る場合、約50kgと、かなり重たい。このような炉芯
管Qを、炉芯管洗浄機や炉芯管保管庫から拡散炉やLP
−CVD炉などの設備まで運搬する場合、図10で示す
ように二人がかりM1 、M2 で図示するように脇に
抱えて運んでいた。これから拡散炉やLP−CVD炉な
どの設備に装備させるのであるが、この運搬中に何らか
の不純物やパーティクルで汚染されてはいけない。ま
た、落とせば破損する恐れもある。このような汚染や破
損の恐れを無いようにして運ぶことは非常に気が疲れ
る。また台車に載せて運ぶことも考えられるが、クリー
ンルームよりクリーン度の悪い、いわゆるメンテルーム
で炉芯管の交換作業が行われるのであるが、すぐに設備
に装着できない場合には炉芯管にパーティクルや不純物
が付着し、汚染の影響が懸念される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上述のような
問題点に鑑みてなされ、二人がかりで運ぶ必要もなく、
運搬途中の、または交換までに何らかのダストや不純物
で汚染されるという恐れも全くない炉芯管運搬台車を提
供することを課題とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】以上の課題は、密閉状態
で炉芯管を収納する収納ケースを台板に着脱自在に装備
したことを特徴とする炉芯管運搬台車、によって解決さ
れる。
【0005】以上の構成によって、密閉状態で収納ケー
ス内に保持されて所定の位置まで運ばれるので、何ら落
下したり、何かに衝突して破損する恐れは全くなく、ま
たダストや不純物が侵入する恐れもなくなる。
【0006】
【発明の実施の形態】図1において、本発明に関わる炉
芯管運搬台車は全体として10で示され、後方端部には
手押し部11が取り付けられており、ここを図示するよ
うに人Mが掴んで、押すことにより運搬される。この台
板12上には、着脱自在にほぼ直方形状のケース本体1
が載置されており、この上方の開口は蓋部材2により覆
われている。またこの蓋の中央部には取っ手2aが取り
付けられている。台板12の底面には一対の車輪15
a、15bが取り付けられており、床S上を転動自在と
するものである。
【0007】ケース本体1の底壁部1aの中心線C−C
(図3)上には、一対の保持ブロック13a、13bが
図2で示されるように凹所Rに着脱自在とするべく嵌合
し、保持されている。その形状は図4に明示される。こ
の一対の保持ブロック13a、13b上に図1及び図2
に示すように、本発明の実施の形態では石英で成る炉芯
管Qが載置される。この寸法は従来技術で述べたよう
に、長さ約100cm、径約40乃至50cmであり、
総重量は約20kgであるが、この自重で安定に図示す
る如く保持ブロック13a、13b上に保持される。本
発明の実施の形態では、この保持ブロック13a、13
bは炉芯管Qと同材質の石英で成るものである。また、
蓋部材2の周縁部又はケース本体1の上端面にはゴムで
なるシール部材gが貼着されているが、これは必ずしも
必要でない。
【0008】以上、本発明の第1の実施の形態の構成に
ついて説明したが、次にこの作用について説明する。
【0009】運搬すべき炉芯管Qは収納ケース1の蓋部
材2を取っ手2aを持ち上げて開放した後、作業者Mが
両手で、あるいは二人がかりでケース本体1内の保持ブ
ロック13a、13bに載置させる。単に載置させるだ
けで、その重みで充分安定に所望の位置に保持される。
次いで蓋部材2を閉じることにより、収納ケースCは密
閉状態となる。特に本発明の実施の形態によれば、ケー
ス本体1の上端面と蓋部材2との接触面間にはシール部
材gを介在させているので、蓋部材2が厚手のガラスで
成る場合は、この重みで大きなシール作用を行い、唯一
侵入を許すかもしれない隙間に対し密にシール作用して
ダストや不純物の侵入を完全に防止させることができ
る。作業者Mは手押し部11を押しながら所望の場所へ
と車輪15a、15bを転動に従って運ぶ。所望の位置
に至ると、蓋部材2を一人で開けて中の炉芯管Qを、約
25kgの場合は一人でも、例えば拡散炉へと装着させ
ることができる。収納ケースCは、台板12に対し着脱
自在であるので、所望の場所まで運ぶと、その蓋部材2
で閉じたまま、その位置に下ろしておいてもよい。収納
ケースCは密閉状態であるので、中の炉芯管Qは汚染さ
れることはない。そして次なる炉芯管Qをここに運ぶべ
く炉芯管の保管場所へと赴き、ここで貯蔵されている炉
芯管を別の収納ケースCか同じ収納ケースCに装填させ
て所望の場所へと運ぶ。次いで戻る時には先に運んでお
いた炉芯管Qを収納していた収納ケースCを運び去って
もよい。以上のようにして運搬途上、外からのダストの
侵入を防止すると共に、従来行われていた二人がかりの
運搬に見られていた破損の恐れや台車に直接のせて運ぶ
場合に見られていたダスト侵入の恐れは全くなくなる。
【0010】また本発明の実施の形態によれば、保持ブ
ロック13a、13bは炉芯管Qと同じ材質で成るか
ら、仮に欠けたとしても他の金属やプラスチックのダス
トと異なり、拡散炉などに悪影響を及ぼすものではな
い。また、ケース本体1の底壁部1aには保持ブロック
13a、13bが嵌合する凹所Rが形成されており、こ
れに他の材質で成る同形状の、あるいはその載置面の形
状が異なる保持ブロックに取り替えるようにしてもよ
い。この場合には、図2に明示されるように底壁部1a
からV字形状をなす上半部が突出しているので、この両
端を手で摘まむことにより、簡単に他の保持ブロックと
取り替えることができる。勿論、この保持ブロック13
a、13bと同形状のブロックを底壁部1aに何ら凹所
Rを形成させることなく、平面上に一体的に形成するか
固定させるようにしてもよい。なお、例えばメンテナン
スルーム内で炉芯管Qを運搬するのであるが、充分に静
粛にして運搬されるので、この保持ブロック13a、1
3bが取り外されることなく、その凹所Rでの嵌合の程
度によってはこの隙間内で移動することも考えられる
が、それは炉芯管Qの保持作用にはほとんど影響するこ
とはない。
【0011】次に第5図を参照して本発明の第2の実施
の形態による炉芯管運搬台車20について説明する。本
発明の実施の形態においては、収納ケース本体21と蓋
22との間に断面が約L字形のフック部材Fを係合させ
ており、これにより蓋部材22が未然に外れるのを防止
している。また、ケース本体21の前壁部21aの下端
部には回転軸bが設けられており、所定の場所へと運ぶ
とフック部材Fを取り外すと共に蓋部材22も取り除
き、次いで前壁部21aを回転軸bの回りに回動させて
斜面Sを形成させる。これによりケース本体21内の炉
芯管Qは持ち上げずとも保持ブロック13a、13bの
V字形状の溝に沿って滑らせて、この斜面Sへと持ち来
たし、更に滑らせて拡散炉に最接近させてから拡散炉に
装填するようにすればよい。この構成により、更に作業
者Mの労力を少なくすることができる。
【0012】図6は本発明の第3の実施の形態による炉
芯管運搬台車30を示すが、本実施の形態によれば、ケ
ース本体31の底壁部31aと台板12’との間に昇降
装置Pが設けられ、これはX状にバーを交させて形成さ
れるリフタLと昇降駆動装置Dとから成るがロッドの伸
縮によりケース本体31全体を上下動させることがで
き、拡散炉によっては3階建てで拡散炉を設けている場
合には、その高さに応じてこの昇降装置Dを駆動して、
できれば面一にして滑りこませるようにすればよい。こ
の場合にもケース本体31の前壁部は第2の実施の形態
と同様に、下端部で回転軸を設けてこの周りに回動させ
得るようにしておけば、段差があっても炉芯管Qを拡散
炉へと押し込むことが可能である。
【0013】図7は本発明の第4の実施の形態による炉
芯管運搬台車40の要部の平面図であるが、本実施の形
態によれば収納ケース本体41の底壁部に二対の凹所R
1、R2 及びR3 、R4 が形成されており、これ
に上記実施の形態と同様な保持ブロック42a、42b
及び43a、43bが位置決めされて配置されている。
本実施の形態によれば、炉芯管は一点鎖線で示すように
2本Q1 、Q2が載置される。従って、炉芯管運搬台
車40にかかる荷重はほぼ2倍、例えば石英管で成る場
合は約50kgを運搬台車40で運ばなければならない
が、台車で運ぶために容易に一人でも所望の場所へと運
ぶことができる。その他の作用、効果については上記の
実施の形態と同様である。
【0014】以上、本発明の各実施の形態について説明
したが、勿論、本発明はこれらに限定されることなく、
本発明の技術的思想に基づいて種々の変形が可能であ
る。
【0015】例えば以上の実施の形態においては、炉芯
管Qは石英で成るとしたが、SiCで構成してもよい。
この場合には、保持部材は同じ材質のSiCで構成する
ことが望ましい。
【0016】また以上の実施の形態では、保持ブロック
13a、13bは断面がV字形状を成すとしたが、保持
面形状はこれに限るなく、例えば図8のHで示すように
炉芯管Qの円周とほぼ同一の径を有する円筒周面状に形
成させるようにしてもよい。更に密着、安定保持される
ことができる。
【0017】また図9は保持部材の他変形例を示すが、
本変形例によれば、他の部分は第1の実施の形態と同様
であるが、保持ブロック13a’は金属又はプラスチッ
クで成り、そのV字形状を成す炉芯管Qの保持面Yには
テフロン(フッ素樹脂)が塗布されている。これにより
炉芯管Qがこの面Yを擦ってもダストを発生することは
ない。
【0018】また以上の実施の形態では、底壁部1aに
保持ブロック13a、13bが密に嵌合されるような凹
所Rを形成させ、ここには同じく石英で成る炉芯管Qを
用いるにしても用途別、例えばCVDに使われる場合と
不純物拡散用に用いられる場合とでは、同じ材質でも別
の保持ブロックに取り替えることが望ましい。又は収納
ケースごと取り替えることが望ましい。
【0019】
【発明の効果】以上述べたように本発明の炉芯管運搬台
車によれば、何ら運搬途上、損傷させたり、不測のダス
トで汚染されることがない。また収納ケースは台板に着
脱自在であるので、運搬後、収納ケースに収納したまま
にしておくと交換されるまでのダスト汚染が防止され
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態による炉芯管運搬台
車の部分破断側面図である。
【図2】図1における[2]−[2]線方向断面図であ
る。
【図3】図2における[3]−[3]線方向断面図であ
る。
【図4】図1における保持ブロックの拡大斜視図であ
る。
【図5】本発明の第2の実施の形態による運搬台車を示
し、Aはその部分破断側面図、Bは同作用を示す部分破
断側面図である。
【図6】本発明の第3の実施の形態による炉芯管運搬台
車を示し、Aは部分破断側面図、Bは同作用を示す部分
破断側面図である。
【図7】本発明の第4の実施の形態による炉芯管運搬台
車の要部の拡大平面図である。
【図8】保持ブロックの変形例を示す拡大断面図であ
る。
【図9】保持ブロックの他変形例を示す拡大斜視図であ
る。
【図10】従来方法で炉芯管を運搬する方法を示す概略
側面図である。
【符号の説明】
1……ケース本体、2……蓋部材、10……炉芯管運搬
台車、13a、13b……保持ブロック、C……収納ケ
ース。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 密閉状態で炉芯管を収納する収納ケース
    を台板に着脱自在に装備したことを特徴とする炉芯管運
    搬台車。
  2. 【請求項2】 前記収納ケース内に炉芯管を保持する保
    持手段を設けたことを特徴とする請求項1に記載の炉芯
    管運搬台車。
  3. 【請求項3】 前記収納ケースは上方が開口し、ほぼ直
    方形状のケース本体と、前記ケース本体の開口を塞ぐ蓋
    部材とで成ることを特徴とする請求項1又は2に記載の
    炉芯管運搬台車。
  4. 【請求項4】 前記保持手段は断面がV字形状のブロッ
    ク体で成ることを特徴とする請求項2に記載の炉芯管運
    搬台車。
  5. 【請求項5】 前記ブロック体は前記収納ケースの底壁
    部に対し着脱自在に設けられていることを特徴とする請
    求項4に記載の炉芯管運搬台車。
  6. 【請求項6】 前記収納ケースと前記台板との間に昇降
    装置を設けたことを特徴とする請求項1に記載の炉芯管
    運搬台車。
  7. 【請求項7】 前記保持手段の炉芯管が接する面にフッ
    素樹脂を塗布させたことを特徴とする請求項2に記載の
    炉芯管運搬台車。
  8. 【請求項8】 前記保持手段は炉芯管の材質と同じ材質
    で成ることを特徴とする請求項2又は4に記載の炉芯管
    運搬台車。
  9. 【請求項9】 前記材質は石英又はSiCであることを
    特徴とする請求項8に記載の炉芯管運搬台車。
  10. 【請求項10】 前記ケース本体の前壁部は下端部に設
    けた回転軸のまわりに回動可能とされていることを特徴
    とする請求項3に記載の炉芯管運搬台車。
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