JP2002307160A - 移行型プラズマ加熱用陽極 - Google Patents

移行型プラズマ加熱用陽極

Info

Publication number
JP2002307160A
JP2002307160A JP2001112938A JP2001112938A JP2002307160A JP 2002307160 A JP2002307160 A JP 2002307160A JP 2001112938 A JP2001112938 A JP 2001112938A JP 2001112938 A JP2001112938 A JP 2001112938A JP 2002307160 A JP2002307160 A JP 2002307160A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
anode
tip
tungsten
plasma
thickness
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001112938A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Kawachi
毅 河内
Hiroyuki Mitake
裕幸 三武
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Steel Corp
Original Assignee
Nippon Steel Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Steel Corp filed Critical Nippon Steel Corp
Priority to JP2001112938A priority Critical patent/JP2002307160A/ja
Publication of JP2002307160A publication Critical patent/JP2002307160A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Treatment Of Steel In Its Molten State (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Casting Support Devices, Ladles, And Melt Control Thereby (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】移行型プラズマ加熱用陽極における先端部の溶
損速度を遅延させ、寿命を延長させる。 【解決手段】直流電流を容器内の溶融金属に通電し、A
rプラズマを発生させながら溶融金属を加熱する移行型
プラズマトーチであって、内部水冷構造を有する導電性
金属からなる陽極と、前記陽極の外側に一定の間隔を設
け内部水冷構造を有する金属製保護体と、前記陽極と前
記保護体の間隙にArを含有する気体を供給する気体供
給手段を有し、前記陽極先端材質がタングステンを70
%wt以上含むタングステンと銅の焼結合金であり、陽
極先端半径R[mm]と厚みD[mm]が(1)式を満
たすことを特徴とする移行型プラズマ加熱用陽極。 0.08 < D/R < 0.22
(1)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は移行型プラズマ用陽
極に係り、特にタンディッシュ内溶鋼加熱用として適用
するのが好適な移行型プラズマ加熱用陽極に関する。
【0002】
【従来の技術】タンディッシュ内溶鋼を加熱するための
直流電流ツイントーチ型プラズマ加熱装置の概要は図1
の様になっている。タンディッシュカバー2にはそれぞ
れ陽極3と陰極4である2本のプラズマトーチが挿入さ
れており、それぞれのトーチ3,4と溶鋼5との間にプ
ラズマアーク6を発生させ、溶鋼を加熱するものであ
る。このとき電子の流れ7は、陰極4から溶鋼5を通り
陽極3に向かう。上記陽極プラズマトーチの1例を図2
に示す。同図は上記陽極トーチの先端部断面を示す。陽
極3の材質として、例えば無酸素銅が用いられる。上記
陽極トーチは外側を覆うステンレス又は銅製の外筒ノズ
ル8と、内側の銅製の陽極本体3からなる。陽極3の先
端部は平らな円盤状であり、陽極3及びノズル8はいず
れも冷却構造となっており、冷却水入側と出側水路はそ
れぞれ円筒形の仕切版9,11で仕切られている(図
中、10及び12は冷却水の流れを示す)。また、ノズ
ル8と陽極3の間は隙間13があり、その隙間13から
プラズマガスを吹き出す構造となっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記直流電流陽極プラ
ズマトーチの問題点の1つに、陽極先端が損傷し寿命が
短いということがある。陽極はプラズマ加熱稼働時にお
いては、電子の受け手となるために電子が陽極先端外表
面に衝突し、先端外表面にかかる熱負荷が大きい。例え
ば、電流3000[A]のとき、先端にかかる熱負荷は
平均30[MW/m]程度と非常に大きい。また、陽
極先端外表面中心部には熱が集中しやすく、陽極が寿命
に至る場合の殆どは先端中心部における穴あきによるも
のである。また、陽極表面に一旦電流の集中ヶ所(アノ
ードスポット)が形成されると、そのアノードスポット
に更に電流が集中する性質がある。つまり、陽極先端外
表面において、溶解によって損傷し始めると更に損傷が
促進し、最終的に冷却水側まで溶損し寿命に至る。
【0004】図3はプラズマにかかるピンチ効果を説明
したものである。ノズルと陽極との隙間13から吹き出
るプラズマに比べて十分温度の低いガスの流れ14によ
り、プラズマ15は中心方向に集中しやすい性質(サー
マルピンチ効果)をもっている。プラズマ中の電流密度
は一般に温度に対する増加関数であり、プラズマ中心部
16の電流密度は全体の平均に比べ大きいと言えるの
で、陽極先端外表面中心部17に入射する電流密度は大
きくなる。 従って、陽極先端外表面中心部17は先端
外表面外周部18に比べ損傷の度合いが大きい。また、
プラズマ中を流れる電流19が作り出す回転磁場20と
の相互作用によりプラズマ中を陽極に向かって運動する
電子21は中心方向に向かう力22を受ける(磁気的ピ
ンチ効果)。
【0005】また、図4に示す様に、陽極先端の材質強
度が低く先端厚みが十分でない場合、内部を流れる冷却
水水圧、熱応力やクリープにより陽極先端は外側に凸型
に変形をおこす。尚、本発明において、陽極先端とは陽
極3のうち溶鋼に面している面をいう。この陽極先端に
おける凸型変形は陽極先端外表面中心部17に突起23
を形成することとなり、電場32は前記突起部23へ集
中する。プラズマ中を運動する電子21は電場32の方
向に加速されるので、電流19は突起部23に集中しや
すいことから、更に陽極先端外表面中心部への電流集中
を招くことになる。つまり、陽極先端外表面中心部17
は更に損傷を受けやすくなる。陽極先端外表面中心部1
7の損傷が進行すると、最終的に、陽極先端外表面中心
部17において冷却水路25が破れ操業不能状態に陥
る。特に、陽極先端外表面中心部への電流集中により陽
極の耐用時間は著しく短縮されてしまう。
【0006】図7aから図7dはアノードスポットへの
電流集中について説明したものである。陽極先端外表面
の清浄性が良好な初期状態(図7a)において、電子2
1は陽極先端外表面26に対しほぼ垂直に入射する。し
かし、前述した様に、図4に示した陽極先端外表面中心
部17には電流が集中しやすく、陽極先端外表面が高温
になることで先端が融解・蒸発し外表面中心近傍に金属
蒸気の雲27を形成する(図7b)。電子21の衝突に
より、蒸発した金属金属原子28の中の電子は励起し、
電離する。この時、金属イオン30より電離した電子2
9は質量が小さく移動度が大きいため、すぐに陽極先端
外表面に入射する。しかし、金属イオン30は移動度が
小さく蒸気雲27中に停滞するので、蒸気雲は正に帯電
する(図7c)。この蒸気雲27の正電荷ポテンシャル
により、プラズマアーク中の電子21は蒸気雲27へ向
かう加速度を受ける(図7d)。結果として、アノード
スポット31が生じると、プラズマアーク中の電子は陽
極先端外表面近傍において陽極先端外表面中心部に加速
度的に集中する。このような機構により、陽極先端の損
傷は加速度的に進行する。特に、陽極先端厚みが厚すぎ
ると陽極表面温度は高くなりやすく、操業中定常的に表
面温度が融点を越える様な場合は上記アークスポット発
生を促し陽極の耐用時間を著しく短縮してしまうおそれ
がある。
【0007】本出願人は特願平11−368255号に
て、陽極先端の溶損防止を目的として、陽極材質を銅3
0〜50%、タングステン70〜50%からなる銅タン
グステン合金とすることを開示した。しかし、特願平1
1−368255号に開示した発明は陽極先端の厚みの
点から長寿命化を検討していなかった。本発明は、プラ
ズマ加熱用陽極における上記のような陽極先端の損傷速
度を遅延させ、寿命を延長させるための、上記陽極先端
形状及び材質を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明の要旨とするところは、 (1)直流電流を容器内の溶融金属に通電し、Arプラ
ズマを発生させながら溶融金属を加熱する移行型プラズ
マトーチであって、内部水冷構造を有する導電性金属か
らなる陽極と、前記陽極の外側に一定の間隔を設け内部
水冷構造を有する金属製保護体と、前記陽極と前記保護
体の間隙にArを含有する気体を供給する気体供給手段
を有し、前記陽極先端がタングステンを70〜95%含
むタングステンと銅の焼結合金からなり、陽極先端半径
R[mm]と厚みD[mm]が(1)式を満たすことを
特徴とする移行型プラズマ加熱用陽極。 0.08 < D/R < 0.22 (1) (2)直流電流を容器内の溶融金属に通電し、Arプラ
ズマを発生させながら溶融金属を加熱する移行型プラズ
マトーチであって、内部水冷構造を有する導電性金属か
らなる陽極と、前記陽極の外側に一定の間隔を設け内部
水冷構造を有する金属製保護体と、前記陽極と前記保護
体の間隙にArを含有する気体を供給する気体供給手段
を有し、前記陽極先端がタングステンからなあり、陽極
先端半径R[mm]と厚みD[mm]が(2)式を満た
すことを特徴とする移行型プラズマ加熱用陽極。 0.06 < D/R < 0.2 (2) である。
【0009】
【発明の実施の形態】本発明者らは陽極先端の寿命に及
ぼす陽極先端の凸変形量と陽極先端の材質の影響につい
て検討を行った。図5に示す断面形状をもつ陽極先端で
材質として無酸素銅、タングステン70質量%−Cu3
0質量%からなるタングステン銅の焼結合金、タングス
テン80質量%−Cu20質量%からなるタングステン
銅の焼結合金又はタングステンを選び、プラズマ加熱出
力1MWであるとき、図5中δで示される凸変形量を変
化させた場合の陽極寿命を図6に示す。この図から、先
端材質が無酸素銅、タングステンを70%wt含むタン
グステン銅、タングステンを80%wt含むタングステ
ン銅又はタングステンの場合、δがそれぞれ0.5m
m、1mm、1mm又は1.2mmを越えると陽極の寿
命は極端に短くなる。このグラフから、陽極先端が凸変
形を生じることで寿命に至ることがわかる。前述した様
に、陽極先端中心部損傷を引き起こすものは、プラズマ
にかかるピンチ効果による電流集中、電流集中を加速さ
せる陽極先端の凸変形やアノードスポットの形成であ
る。本発明では、強度低下による凸変形やアノードスポ
ットの形成による先端溶融を防止し陽極寿命延長のため
に、陽極先端の材質や陽極先端にかかる熱負荷によって
陽極先端の厚みを適正範囲に規定するものである。
【0010】プラズマのピンチ効果から生じる陽極先端
外表面中心部への電流集中を防止するためには、陽極の
有効面積を大きくすることで電流密度を低下させること
が考えられる。しかし、設備の取り合い上の問題や、陽
極を大きくすることでトーチの質量が増加するのでトー
チ保持設備限界の問題等、陽極の有効面積を十分大きく
できない場合がある。そのため、陽極先端を適当な材
質、先端半径、先端厚みとすることで凸変形を抑え陽極
先端外表面中心部への電流集中を防止する必要がある。
具体的には、ある陽極先端半径に対して先端厚みを確保
することで陽極の剛性を保つことができる。しかし、先
端厚みを大きくとりすぎると、先端外表面温度が上昇し
先端が溶融し、それ以上厚みを増しても剛性は変わらな
い。また、外表面が溶融し先端から金属蒸気を発すると
電流集中を招き、かえって寿命を低下させる原因になる
おそれがある。従って、陽極先端の厚みを材質よって適
正に設計することは、陽極の耐用時間を延長させる上で
重要である。
【0011】従来、高出力移行型プラズマ加熱用陽極先
端材質の多くは無酸素銅であった。図8は、陽極先端が
無酸素銅からなり先端半径R=20mmであり、1MW
の一定出力にて繰り返し使用し総使用時間が10時間使
用後における凸変形量δ[mm]の初期先端厚みD[m
m]による変化分布を示す。この分布から、初期厚みD
が4mm以下では凸変形量δが0.5mmとなり、ま
た、4mm以上にしても凸変形量はそれほど変化しない
ことがわかる。これは、厚み4mm以上にしても、先端
外表面側一部が高温になりすぎ軟化もしくは溶融してお
り剛性が低下しているためと考えられる。図6で示した
ように、無酸素銅の場合、凸変形量δが0.5mmを越
えると極端に寿命は短くなる。よって、陽極先端が無酸
素銅の場合、先端厚みは4mm以上必要である。次に、
出力1MWにおける陽極先端外表面中央温度Tsに及ぼ
す先端厚みDの影響は図9の様になる。厚みDが3mm
を越えると先端外表面が融点を越える。しかし、図7で
示したように、先端材質が無酸素銅の場合、先端厚みは
4mm以上必要であるため、高出力移行型プラズマ加熱
用陽極として長寿命を狙い無酸素銅を先端材質に適用す
るのは望ましくない。実際、陽極先端材質が無酸素銅の
場合、寿命は10〜20時間と短い。
【0012】上記(1)に係る本発明に関して、本発明
者らは無酸素銅に代わるプラズマ加熱用陽極の先端材質
としてタングステンと銅の焼結合金を検討した。図10
は、陽極先端材質がタングステン70質量%−Cu30
質量%及びタングステン80質量%−Cu20質量%の
W−Cu焼結合金で、先端半径Rが15mm、20mm
および25mmであり、1MWの一定出力にて繰り返し
使用し総使用時間が10時間使用後における凸変形量δ
[mm]を初期先端厚みD[mm]と先端半径Rの比D
/Rで整理したものである(図10の記号は図6と同
じ)。このグラフから、タングステンの組成比が70質
量%と80質量%ではそれほど差がなく、D/Rが0.
08以下では凸変形量δが1mmとなり、また、0.0
8より大きいとδは急激に小さくなることがわかる。図
6で示したように、タングステン銅の場合、凸変形量δ
が1mmを越えると変形は加速的に進行し極端に寿命は
短くなる。よって、D/R>0.08とすることで陽極
の耐用時間が長くなることが期待できる。次に、出力1
MWにおける陽極先端外表面中央温度T に及ぼすD/
Rの影響は図11の様になる。
【0013】D/Rが0.2を越えると先端外表面が融
点を越える。ただし、この場合の融点は、陽極の剛性に
大きく寄与しているタングステンの融点(=3400
℃)である。従って、陽極先端材質がタングステン70
%wtおよび80%wtのWCuの場合、移行型プラズ
マ加熱用陽極として耐用時間を長く狙うために(1)式
を満たすことが必要であり、好ましくは0.15≦D/
R,更に望ましくは0.2≦D/Rである。 0.08 < D/R < 0.22 (1)
【0014】次に(2)に係る本発明に関して、プラズ
マ加熱用陽極の先端材質としてタングステンがある。図
12と13はそれぞれ、陽極先端材質がタングステンの
場合の図10と11と同様のグラフである。図12と1
3から、陽極先端材質がタングステンの場合、移行型プ
ラズマ加熱用陽極として耐用時間を長く狙うために
(2)式を満たすことが望ましい。 0.06 < D/R <0.2 (2)
【0015】(実施例)以下に本発明の実施例について
説明する。図14に示す様に、本発明例として,陽極先
端3の材質をタングステン70質量%−Cu30質量%
またはタングステン80質量−Cu20質量%からなる
タングステン銅焼結合金とし、陽極先端半径R=20m
m、先端厚みD=4mmとした(D/R=0.2)。比
較例として,本発明例と同様の形状を有し、先端材質を
無酸化銅としたものを製造し,60トンタンディッシュ
に設置し実用鋼にて試験した。これにより、比較例に比
べ、本発明例の移行型プラズマ加熱用陽極の寿命は5〜
10倍に増加した。
【0016】
【発明の効果】本発明により、直流電流ツイントーチ型
プラズマ加熱装置の陽極先端の損傷速度を遅延させ、寿
命を延長させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】タンディッシュとプラズマトーチの概略図。
【図2】従来技術によるタンディッシュ内溶鋼加熱用移
行型プラズマ陽極の概略図。
【図3】プラズマのピンチ効果の説明図。
【図4】陽極先端凸型変形による電流集中の説明図。
【図5】先端が凸形状である陽極の垂直断面図
【図6】凸変形量に対する陽極寿命のグラフ。
【図7】アノードスポット形成による電流集中の説明
図。
【図8】無酸素銅先端陽極の先端厚み変化に対する先端
凸変形量のグラフ。
【図9】無酸素銅先端陽極の先端厚み変化に対する先端
外表面中央温度のグラフ。
【図10】タングステン銅先端陽極の先端厚み変化に対
する先端凸変形量のグラフ。
【図11】タングステン銅先端陽極の先端厚み変化に対
する先端外表面中央温度のグラフ。
【図12】タングステン先端陽極の先端厚み変化に対す
る先端凸変形量のグラフ。
【図13】タングステン先端陽極の先端厚み変化に対す
る先端外表面中央温度のグラフ。
【図14】本発明に係る移行型プラズマ加熱用陽極の1
例の垂直断面図。
【符号の説明】
1 タンディッシュ 3 陽極 5 溶鋼 6 プラズマアーク 7 電子の流れ 9 仕切版 10 冷却水の流れ 17 陽極先端外表面中心部 19 電流 21 プラズマ中の電子 23 陽極先端凸変形部 26 陽極先端外表面 31 アノードスポット
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H05H 1/34 H05H 1/34 Fターム(参考) 4E014 AA01 4K001 AA10 FA12 GA18 GB11 GB12 4K013 AA09 CD02 CF11

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】直流電流を容器内の溶融金属に通電し、A
    rプラズマを発生させながら溶融金属を加熱する移行型
    プラズマトーチであって、 内部水冷構造を有する導電性金属からなる陽極と、 前記陽極の外側に一定の間隔を設け内部水冷構造を有す
    る金属製保護体と、 前記陽極と前記保護体の間隙にArを含有する気体を供
    給する気体供給手段を有し、 前記陽極先端がタングステンを70〜95質量%含むタ
    ングステンと銅の焼結合金からなり、 陽極先端半径R[mm]と厚みD[mm]が(1)式を
    満たすことを特徴とする移行型プラズマ加熱用陽極。 0.08 < D/R < 0.22 (1)
  2. 【請求項2】直流電流を容器内の溶融金属に通電し、A
    rプラズマを発生させながら溶融金属を加熱する移行型
    プラズマトーチであって、 内部水冷構造を有する導電性金属からなる陽極と、 前記陽極の外側に一定の間隔を設け内部水冷構造を有す
    る金属製保護体と、 前記陽極と前記保護体の間隙にArを含有する気体を供
    給する気体供給手段を有し、 前記陽極の先端がタングステンからなり、 陽極先端半径R[mm]と厚みD[mm]が(2)式を
    満たすことを特徴とする移行型プラズマ加熱用陽極。 0.06 < D/R < 0.2 (2)
JP2001112938A 2001-04-11 2001-04-11 移行型プラズマ加熱用陽極 Pending JP2002307160A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001112938A JP2002307160A (ja) 2001-04-11 2001-04-11 移行型プラズマ加熱用陽極

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001112938A JP2002307160A (ja) 2001-04-11 2001-04-11 移行型プラズマ加熱用陽極

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002307160A true JP2002307160A (ja) 2002-10-22

Family

ID=18964250

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001112938A Pending JP2002307160A (ja) 2001-04-11 2001-04-11 移行型プラズマ加熱用陽極

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002307160A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103317127A (zh) * 2012-03-21 2013-09-25 鞍山华士金属制品有限公司 一种环保节能可调控电加热钢包或砂型的装置及其方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6241476U (ja) * 1985-08-29 1987-03-12
JPH026073A (ja) * 1988-01-25 1990-01-10 Elkem Technol As プラズマトーチ
JPH03205796A (ja) * 1990-01-04 1991-09-09 Nkk Corp 移行式プラズマトーチ
JPH04131694A (ja) * 1990-09-21 1992-05-06 Nkk Corp 移行式プラズマトーチ
JPH04139384A (ja) * 1990-09-28 1992-05-13 Nkk Corp 移行式プラズマトーチ
JPH051317A (ja) * 1991-06-24 1993-01-08 Kobe Steel Ltd 溶鋼のプラズマ加熱方法
JP2001170760A (ja) * 1999-12-13 2001-06-26 Nippon Steel Corp 移行型プラズマ加熱用陽極
JP2001179426A (ja) * 1999-12-24 2001-07-03 Sumitomo Heavy Ind Ltd タンディッシュ内溶鋼加熱用アノードプラズマトーチ
JP2004047362A (ja) * 2002-07-15 2004-02-12 Nippon Steel Corp タンディシュ内溶鋼加熱用プラズマトーチ
JP3595475B2 (ja) * 1999-12-13 2004-12-02 新日本製鐵株式会社 移行型プラズマ加熱用陽極

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6241476U (ja) * 1985-08-29 1987-03-12
JPH026073A (ja) * 1988-01-25 1990-01-10 Elkem Technol As プラズマトーチ
JPH03205796A (ja) * 1990-01-04 1991-09-09 Nkk Corp 移行式プラズマトーチ
JPH04131694A (ja) * 1990-09-21 1992-05-06 Nkk Corp 移行式プラズマトーチ
JPH04139384A (ja) * 1990-09-28 1992-05-13 Nkk Corp 移行式プラズマトーチ
JPH051317A (ja) * 1991-06-24 1993-01-08 Kobe Steel Ltd 溶鋼のプラズマ加熱方法
JP2001170760A (ja) * 1999-12-13 2001-06-26 Nippon Steel Corp 移行型プラズマ加熱用陽極
JP3595475B2 (ja) * 1999-12-13 2004-12-02 新日本製鐵株式会社 移行型プラズマ加熱用陽極
JP2001179426A (ja) * 1999-12-24 2001-07-03 Sumitomo Heavy Ind Ltd タンディッシュ内溶鋼加熱用アノードプラズマトーチ
JP2004047362A (ja) * 2002-07-15 2004-02-12 Nippon Steel Corp タンディシュ内溶鋼加熱用プラズマトーチ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103317127A (zh) * 2012-03-21 2013-09-25 鞍山华士金属制品有限公司 一种环保节能可调控电加热钢包或砂型的装置及其方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5628924A (en) Plasma arc torch
US7879203B2 (en) Method and apparatus for cathodic arc ion plasma deposition
US6133542A (en) Process for coating or welding easily oxidized materials and plasma torch for carrying out this process
KR100704806B1 (ko) 터빈 요소 수리
JPS5810989B2 (ja) スパツタリング装置用タ−ゲット・プロフィ−ル
US4420346A (en) Method of preparing contacts and electrodes of electric vacuum apparatuses
CN101012543A (zh) 用于形成在层间具有增强粘合性的防护涂层的方法
US20070034501A1 (en) Cathode-arc source of metal/carbon plasma with filtration
JP2016515161A (ja) 最適化された熱ノズル及び同ノズルを使用する方法
JPH0658840B2 (ja) 移行形プラズマトーチ
US5857888A (en) Method of manufacturing a plasma torch eletrode
US4001461A (en) Method of producing electrode units for plasmatrons
JPH03149797A (ja) 移行式プラズマトーチ
KR101045527B1 (ko) 불소가스 방전 레이저용 애노드
JP2002307160A (ja) 移行型プラズマ加熱用陽極
US4122292A (en) Electric arc heating vacuum apparatus
JP2007534834A (ja) 低導電率の支持板を有するスパッターリングターゲットアセンブリとその製造方法
Batrakov et al. Increasing the electric strength of vacuum insulation by irradiating the electrodes with a low-energy high-current electron beam
US20100230276A1 (en) Device and method for thin film deposition using a vacuum arc in an enclosed cathode-anode assembly
JP2000301345A (ja) Si系材料の溶接方法
JPH09148094A (ja) プラズマ溶射トーチ
JPH0935892A (ja) プラズマ発生装置の電極
JP3995597B2 (ja) 溶鋼加熱に用いるプラズマトーチ
JP2000117447A (ja) プラズマトーチ用電極の製造方法、プラズマトーチ用電極のためのインサートの製造方法、およびプラズマトーチ用電極のためのインサート
JP2018162520A (ja) ライニングされた長寿命プラズマ・ノズル

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070904

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101022

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101104

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110104

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20110121

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20120217