JPH0935892A - プラズマ発生装置の電極 - Google Patents
プラズマ発生装置の電極Info
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- JPH0935892A JPH0935892A JP7181827A JP18182795A JPH0935892A JP H0935892 A JPH0935892 A JP H0935892A JP 7181827 A JP7181827 A JP 7181827A JP 18182795 A JP18182795 A JP 18182795A JP H0935892 A JPH0935892 A JP H0935892A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 寿命が著しく向上したプラズマ発生装置用電
極を提供する。 【解決手段】 ＺｒおよびＣｒを含有し、残部Ｃｕであ
るＣｕ基合金からなるプラズマ発生装置の電極である。
極を提供する。 【解決手段】 ＺｒおよびＣｒを含有し、残部Ｃｕであ
るＣｕ基合金からなるプラズマ発生装置の電極である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プラズマトーチや
アークヒータ等のプラズマ発生装置に使用される電極に
関するものである。
アークヒータ等のプラズマ発生装置に使用される電極に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】プラズマ発生装置は、プラズマの持つ導
電性、発光性、電離性、高い熱エネルギー等の特性を生
かして、種々の用途に応用されている。例えば熱エネル
ギーを利用して、高温で廃棄物を溶融したり、高融点金
属を融解するためのプラズマ発生装置が知られている。
また、宇宙分野での高エンタルピ気流発生装置としても
使われている。これらの装置は、陽極と陰極の間に電気
アークを形成させ、アークに沿って空気、アルゴン、水
素等のガスを流してプラズマ化するものである。この種
の装置では、陽極・陰極の構成材料として、Ｃｕ製の水
冷電極を使用することが多かった。
電性、発光性、電離性、高い熱エネルギー等の特性を生
かして、種々の用途に応用されている。例えば熱エネル
ギーを利用して、高温で廃棄物を溶融したり、高融点金
属を融解するためのプラズマ発生装置が知られている。
また、宇宙分野での高エンタルピ気流発生装置としても
使われている。これらの装置は、陽極と陰極の間に電気
アークを形成させ、アークに沿って空気、アルゴン、水
素等のガスを流してプラズマ化するものである。この種
の装置では、陽極・陰極の構成材料として、Ｃｕ製の水
冷電極を使用することが多かった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記プラズマ発生装置
においては、電極の寿命が短いという問題が指摘されて
いる。例えばＣｕ製水冷電極で、空気を用いて装置の運
転を行った場合、電極の寿命は数十時間である。廃棄物
溶融等の目的でプラズマ発生装置を用いた設備では、数
十時間毎に（２〜４日に１回）装置の操業を一旦停止し
て電極を交換する必要があり、設備の停止による生産性
の低下、交換に要する作業、消耗品である電極のコスト
等の点から、寿命の延長が要求されていた。
においては、電極の寿命が短いという問題が指摘されて
いる。例えばＣｕ製水冷電極で、空気を用いて装置の運
転を行った場合、電極の寿命は数十時間である。廃棄物
溶融等の目的でプラズマ発生装置を用いた設備では、数
十時間毎に（２〜４日に１回）装置の操業を一旦停止し
て電極を交換する必要があり、設備の停止による生産性
の低下、交換に要する作業、消耗品である電極のコスト
等の点から、寿命の延長が要求されていた。
【０００４】そこで、Ｃｕ以外の電極材料を用いて寿命
を延ばす試みがなされている。例えば、Ｚｒ、Ｈｆ、
Ｙ、Ｒｅ等の高融点金属部材をＣｕに嵌合させた電極
（特開昭６２−１８０００号、特開平１−９１９７２号
等）、ＡｇとＣｕの合金からなる電極（特開平４−１４
７６００号）、ＺｒとＣｕの合金にＨｆを嵌合させた電
極（特開平３−１１５９９号）、Ｃｕ合金等にＮｉやＣ
ｒを含む電気メッキ層を配設した電極（特公平５−４４
７９７号）等がある。しかしながら、これらの電極の寿
命は、Ｃｕのみに比べ向上しているものの、せいぜい１
５０時間程度と未だ不充分であり、改善の余地が残され
ている。そこで本発明では、寿命が著しく向上したプラ
ズマ発生装置用電極の提供を課題として掲げたものであ
る。
を延ばす試みがなされている。例えば、Ｚｒ、Ｈｆ、
Ｙ、Ｒｅ等の高融点金属部材をＣｕに嵌合させた電極
（特開昭６２−１８０００号、特開平１−９１９７２号
等）、ＡｇとＣｕの合金からなる電極（特開平４−１４
７６００号）、ＺｒとＣｕの合金にＨｆを嵌合させた電
極（特開平３−１１５９９号）、Ｃｕ合金等にＮｉやＣ
ｒを含む電気メッキ層を配設した電極（特公平５−４４
７９７号）等がある。しかしながら、これらの電極の寿
命は、Ｃｕのみに比べ向上しているものの、せいぜい１
５０時間程度と未だ不充分であり、改善の余地が残され
ている。そこで本発明では、寿命が著しく向上したプラ
ズマ発生装置用電極の提供を課題として掲げたものであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、プラズマ発生
装置の電極が、ＺｒおよびＣｒを含有し、残部Ｃｕであ
るＣｕ基合金からなるところに要旨を有する。Ｃｕ−Ｚ
ｒ−Ｃｒ合金は電極の高温損耗度合いを緩やかにし、時
間当たりの損耗量を少なくするので、電極の寿命をかな
り延長させることに成功した。また、電極の損耗し易い
部分にのみＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金を用いた電極も本発明
に含まれる。上記Ｃｕ基合金が、Ｚｒを０．０１〜０．
５重量％、Ｃｒを０．１〜３重量％含有することが、寿
命延長のために好ましく、最も好ましい合金組成は、Ｚ
ｒを０．０３〜０．３５重量％、Ｃｒを０．３〜１．５
重量％含有するＣｕ基合金である。
装置の電極が、ＺｒおよびＣｒを含有し、残部Ｃｕであ
るＣｕ基合金からなるところに要旨を有する。Ｃｕ−Ｚ
ｒ−Ｃｒ合金は電極の高温損耗度合いを緩やかにし、時
間当たりの損耗量を少なくするので、電極の寿命をかな
り延長させることに成功した。また、電極の損耗し易い
部分にのみＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金を用いた電極も本発明
に含まれる。上記Ｃｕ基合金が、Ｚｒを０．０１〜０．
５重量％、Ｃｒを０．１〜３重量％含有することが、寿
命延長のために好ましく、最も好ましい合金組成は、Ｚ
ｒを０．０３〜０．３５重量％、Ｃｒを０．３〜１．５
重量％含有するＣｕ基合金である。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明では、プラズマトーチやア
ーク発生トーチ等のプラズマ発生装置用の電極の全部ま
たは一部を、ＺｒとＣｒを必須成分として含み、残部が
ＣｕであるＣｕ基合金、すなわちＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒの３
元系合金とするところに最大の特徴を有する。従来公知
のＣｕ−Ｚｒ合金やＣｕ−Ｃｒ合金等は、せいぜい数十
〜１５０時間程度の寿命しかなかったが、本発明では電
極の構成素材を上記３元系合金とすることによって３５
０時間を超える寿命の電極を提供することができた。
ーク発生トーチ等のプラズマ発生装置用の電極の全部ま
たは一部を、ＺｒとＣｒを必須成分として含み、残部が
ＣｕであるＣｕ基合金、すなわちＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒの３
元系合金とするところに最大の特徴を有する。従来公知
のＣｕ−Ｚｒ合金やＣｕ−Ｃｒ合金等は、せいぜい数十
〜１５０時間程度の寿命しかなかったが、本発明では電
極の構成素材を上記３元系合金とすることによって３５
０時間を超える寿命の電極を提供することができた。
【０００７】本発明において著しい寿命の延長が可能に
なった理由としては、まず第１に、Ｃｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合
金の高温における損耗度合いが緩やかであり、かつ単位
時間当たりの損耗量が非常に少ないという点が挙げられ
る。図１には、３００ｋＷのプラズマ発生装置の陽極
に、従来のＣｕ−Ｚｒ合金からなる電極と、本発明のＣ
ｕ−Ｚｒ−Ｃｒ３元系合金からなる電極を用いた時の装
置の運転時間と電極の減少質量（エロージョン量）の測
定結果を示した。運転前の陽極質量は１０５０ｇであ
る。運転中の電極は水冷されているため、電極の大部分
は１００〜３００℃程度になっているが、アークが付着
する部位付近の温度は極めて高く１０００℃以上になっ
ている。
なった理由としては、まず第１に、Ｃｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合
金の高温における損耗度合いが緩やかであり、かつ単位
時間当たりの損耗量が非常に少ないという点が挙げられ
る。図１には、３００ｋＷのプラズマ発生装置の陽極
に、従来のＣｕ−Ｚｒ合金からなる電極と、本発明のＣ
ｕ−Ｚｒ−Ｃｒ３元系合金からなる電極を用いた時の装
置の運転時間と電極の減少質量（エロージョン量）の測
定結果を示した。運転前の陽極質量は１０５０ｇであ
る。運転中の電極は水冷されているため、電極の大部分
は１００〜３００℃程度になっているが、アークが付着
する部位付近の温度は極めて高く１０００℃以上になっ
ている。
【０００８】図１に示した実験結果から、本発明の３元
系合金からなる電極は、質量減少度合いが緩やかであ
り、１００ｇ減少するときの運転時間が３５０時間に達
していることがわかる。しかしＣｕ−Ｚｒ合金では、２
０時間を超えたあたりから急激に電極の質量減少が認め
られ、寿命が５０時間以下であることが明らかである。
なおこの実験例では、質量減少が１００ｇとなった時を
電極の寿命としたが、これは図２に示した様に円筒状電
極の損耗する部分が一か所に集中し易いため、この損耗
部の壁面が薄くなり、冷却水の圧力に堪えられなくなる
前に新しい電極と交換しなくてはならないからである。
図２の電極では、運転前の電極重量（１０５０ｇ）に対
して１００ｇ程度減少したときが、交換時期、すなわち
「寿命」である。
系合金からなる電極は、質量減少度合いが緩やかであ
り、１００ｇ減少するときの運転時間が３５０時間に達
していることがわかる。しかしＣｕ−Ｚｒ合金では、２
０時間を超えたあたりから急激に電極の質量減少が認め
られ、寿命が５０時間以下であることが明らかである。
なおこの実験例では、質量減少が１００ｇとなった時を
電極の寿命としたが、これは図２に示した様に円筒状電
極の損耗する部分が一か所に集中し易いため、この損耗
部の壁面が薄くなり、冷却水の圧力に堪えられなくなる
前に新しい電極と交換しなくてはならないからである。
図２の電極では、運転前の電極重量（１０５０ｇ）に対
して１００ｇ程度減少したときが、交換時期、すなわち
「寿命」である。
【０００９】図２において示した電極の損耗し易い部分
のみに、Ｃｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金を用いることも効果的で
ある。すなわち後述する図５に示す例の様に、電極の一
部、すなわち損耗し易い部分にＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金を
嵌合させたプラズマ発生用電極である。損耗し易い部分
以外に用いられる他の合金としては、特に素材は限定さ
れず、Ｃｕのみや、ＣｕとＺｒ、Ｃｒ、Ａｇ等の合金等
従来公知の合金を使用することができる。なお図２の電
極の断面形状、損耗し易い部分、壁面厚等は一例を示し
たものであって、この損耗し易い部分はプラズマ発生装
置の形状、容量、用途等によって変化する。要するに、
高温のアークが付着する電極の部位が、最も損耗し易い
部位であるので、本発明では少なくともこの損耗し易い
部位を、あるいは電極全部をＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金とす
るものである。
のみに、Ｃｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金を用いることも効果的で
ある。すなわち後述する図５に示す例の様に、電極の一
部、すなわち損耗し易い部分にＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金を
嵌合させたプラズマ発生用電極である。損耗し易い部分
以外に用いられる他の合金としては、特に素材は限定さ
れず、Ｃｕのみや、ＣｕとＺｒ、Ｃｒ、Ａｇ等の合金等
従来公知の合金を使用することができる。なお図２の電
極の断面形状、損耗し易い部分、壁面厚等は一例を示し
たものであって、この損耗し易い部分はプラズマ発生装
置の形状、容量、用途等によって変化する。要するに、
高温のアークが付着する電極の部位が、最も損耗し易い
部位であるので、本発明では少なくともこの損耗し易い
部位を、あるいは電極全部をＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金とす
るものである。
【００１０】本発明のＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金電極が損耗
しにくい理由としては、Ｃｕ基合金中にＺｒとＣｒを共
存させることによって、ＺｒおよびＣｒが緻密で安定な
酸化膜を形成し易いということが考えられる。すなわ
ち、ＺｒおよびＣｒの酸化物は融点が非常に高く、しか
も熱伝導率が低いため、これらの酸化物の膜が電極表面
を保護する上に、プラズマ発生時の熱が電極に熱伝導
（入熱）することを妨げ、相乗効果によって電極寿命が
長くなるのである。さらにＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金自体、
２元系合金に比べ高温強度に優れており、高温で使用し
ても割れが生じにくい。このことも寿命延長に有利に働
いていると考えられる。
しにくい理由としては、Ｃｕ基合金中にＺｒとＣｒを共
存させることによって、ＺｒおよびＣｒが緻密で安定な
酸化膜を形成し易いということが考えられる。すなわ
ち、ＺｒおよびＣｒの酸化物は融点が非常に高く、しか
も熱伝導率が低いため、これらの酸化物の膜が電極表面
を保護する上に、プラズマ発生時の熱が電極に熱伝導
（入熱）することを妨げ、相乗効果によって電極寿命が
長くなるのである。さらにＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金自体、
２元系合金に比べ高温強度に優れており、高温で使用し
ても割れが生じにくい。このことも寿命延長に有利に働
いていると考えられる。
【００１１】本発明において、Ｃｕ基合金中のＺｒは
０．０１〜０．５重量％が好ましい。Ｚｒが少な過ぎる
と添加効果が認められず、上述した高寿命は望めない。
しかしＺｒを多く入れると、Ｃｕ基合金の融点が低下し
て、高温での損耗量に悪影響を及ぼし、寿命を短くする
要因となる。また、Ｚｒの存在量が多くなると合金の電
気伝導度を低下させるので熱損失が大きくなるが、一方
で、引張り強度を高めて寿命に良い影響を及ぼす効果が
あるので、本発明では、プラズマ発生用装置の運転に支
障のない電気伝導度を示し、寿命を短くさせることがな
い様な融点を示し、かつ良好な引張り強度を示し得る範
囲として０．０１〜０．５重量％を選択した。より好ま
しい範囲は０．０３〜０．３５重量％である。
０．０１〜０．５重量％が好ましい。Ｚｒが少な過ぎる
と添加効果が認められず、上述した高寿命は望めない。
しかしＺｒを多く入れると、Ｃｕ基合金の融点が低下し
て、高温での損耗量に悪影響を及ぼし、寿命を短くする
要因となる。また、Ｚｒの存在量が多くなると合金の電
気伝導度を低下させるので熱損失が大きくなるが、一方
で、引張り強度を高めて寿命に良い影響を及ぼす効果が
あるので、本発明では、プラズマ発生用装置の運転に支
障のない電気伝導度を示し、寿命を短くさせることがな
い様な融点を示し、かつ良好な引張り強度を示し得る範
囲として０．０１〜０．５重量％を選択した。より好ま
しい範囲は０．０３〜０．３５重量％である。
【００１２】またＣｒは、０．１〜３重量％含有するこ
とが、寿命延長のために好ましい。Ｃｒが０．１重量％
より少ないと、実質的にＺｒ−Ｃｕ２元合金と変わらな
い性能を示すのみである。Ｃｒも、Ｚｒと同様に、存在
量が多くなると合金の電気伝導度が低下し、一方で引張
り強度は向上するので、電気伝導度と引張り強度の両方
が電極として適した値になる様に、Ｃｒの好ましい存在
範囲として０．１〜３重量％を選択した。より好ましい
範囲は０．３〜１．５重量％である。
とが、寿命延長のために好ましい。Ｃｒが０．１重量％
より少ないと、実質的にＺｒ−Ｃｕ２元合金と変わらな
い性能を示すのみである。Ｃｒも、Ｚｒと同様に、存在
量が多くなると合金の電気伝導度が低下し、一方で引張
り強度は向上するので、電気伝導度と引張り強度の両方
が電極として適した値になる様に、Ｃｒの好ましい存在
範囲として０．１〜３重量％を選択した。より好ましい
範囲は０．３〜１．５重量％である。
【００１３】本発明の電極の製造方法は特に限定され
ず、上記範囲のＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金からなる棒状体を
所望形状に機械的加工する等の方法や、他の合金で形成
された電極部材の内側に、公知の方法で、Ｃｕ−Ｚｒ−
Ｃｒ合金からなる部材を嵌合させ、電極の損耗し易い部
分のみをＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金で強化する等の方法を採
用することができる。
ず、上記範囲のＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金からなる棒状体を
所望形状に機械的加工する等の方法や、他の合金で形成
された電極部材の内側に、公知の方法で、Ｃｕ−Ｚｒ−
Ｃｒ合金からなる部材を嵌合させ、電極の損耗し易い部
分のみをＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金で強化する等の方法を採
用することができる。
【００１４】本発明のプラズマ発生装置用電極は、移行
型プラズマトーチ、非移行型プラズマトーチやアークヒ
ータ等のプラズマ発生装置に有用であり、特に電極の損
耗量は大電流になるほど多くなると考えられており、大
電流を必要とする装置、例えば廃棄物処理のための大容
量溶解炉用のプラズマ発生装置電極として好ましく利用
できる。
型プラズマトーチ、非移行型プラズマトーチやアークヒ
ータ等のプラズマ発生装置に有用であり、特に電極の損
耗量は大電流になるほど多くなると考えられており、大
電流を必要とする装置、例えば廃棄物処理のための大容
量溶解炉用のプラズマ発生装置電極として好ましく利用
できる。
【００１５】
【実施例】図３には本発明のＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金から
なるプラズマ発生用電極を移行型プラズマトーチの陽極
に使用した例を、図４には、非移行型プラズマトーチの
陽極および陰極に使用した例を示した。図３の断面概略
図において、１は本発明の電極を用いた移行型プラズマ
トーチの円筒状の陽極、２は該トーチの外筒、３は冷却
水仕切り板、４は冷却水入口、５は冷却水出口、６はプ
ラズマガス入口、７はプラズマガス出口、８はアーク、
９は外部電極（陰極）、１０は電源装置である。図４に
おいては、１１が本発明の電極を用いた非移行型プラズ
マトーチ陽極、１２が非移行型プラズマトーチの外筒、
１３が本発明の電極を用いた非移行型プラズマトーチ陰
極であり、その他、図３と同符号のものは同じ部品を示
す。
なるプラズマ発生用電極を移行型プラズマトーチの陽極
に使用した例を、図４には、非移行型プラズマトーチの
陽極および陰極に使用した例を示した。図３の断面概略
図において、１は本発明の電極を用いた移行型プラズマ
トーチの円筒状の陽極、２は該トーチの外筒、３は冷却
水仕切り板、４は冷却水入口、５は冷却水出口、６はプ
ラズマガス入口、７はプラズマガス出口、８はアーク、
９は外部電極（陰極）、１０は電源装置である。図４に
おいては、１１が本発明の電極を用いた非移行型プラズ
マトーチ陽極、１２が非移行型プラズマトーチの外筒、
１３が本発明の電極を用いた非移行型プラズマトーチ陰
極であり、その他、図３と同符号のものは同じ部品を示
す。
【００１６】図５には、電極の損耗し易い部分、すなわ
ち円筒状電極の内壁近傍ににＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金を用
いた複合型電極の実施例を示した。また図６には、アー
クヒータにＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金からなる電極を適用す
る実施例を示した。図７では陽極と陰極いずれにも本発
明の電極が使用されている。
ち円筒状電極の内壁近傍ににＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金を用
いた複合型電極の実施例を示した。また図６には、アー
クヒータにＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金からなる電極を適用す
る実施例を示した。図７では陽極と陰極いずれにも本発
明の電極が使用されている。
【００１７】
【発明の効果】本発明のプラズマ発生用電極は、Ｃｕ−
Ｚｒ−Ｃｒ合金によって製造されており、高温における
損耗量を少なくすることができたので、寿命が３５０時
間程度に著しく向上した。この結果、プラズマトーチや
アークヒータ等のプラズマ発生装置において、従来頻繁
に行わなければならなかった電極交換に付随して起こる
弊害、すなわち設備の停止による生産性の低下、交換に
要する作業時間およびコスト、消耗品である電極のコス
ト等を減少させることが可能となった。本発明の電極を
利用することにより、プラズマ発生装置の運転コストが
減少するので、従来運転コスト高のため逡巡されていた
用途においても、この装置を使用できる可能性が開け、
この観点からも本発明は産業上極めて有用である。
Ｚｒ−Ｃｒ合金によって製造されており、高温における
損耗量を少なくすることができたので、寿命が３５０時
間程度に著しく向上した。この結果、プラズマトーチや
アークヒータ等のプラズマ発生装置において、従来頻繁
に行わなければならなかった電極交換に付随して起こる
弊害、すなわち設備の停止による生産性の低下、交換に
要する作業時間およびコスト、消耗品である電極のコス
ト等を減少させることが可能となった。本発明の電極を
利用することにより、プラズマ発生装置の運転コストが
減少するので、従来運転コスト高のため逡巡されていた
用途においても、この装置を使用できる可能性が開け、
この観点からも本発明は産業上極めて有用である。
【図１】３００ｋＷのプラズマ発生装置の陽極として、
Ｃｕ−Ｚｒ合金製電極と、本発明のＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合
金製電極を用いた時の運転時間と減少質量（エロージョ
ン量）の関係を示すグラフである。
Ｃｕ−Ｚｒ合金製電極と、本発明のＣｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合
金製電極を用いた時の運転時間と減少質量（エロージョ
ン量）の関係を示すグラフである。
【図２】電極の損耗する部分を説明するための電極概略
断面図と、電極壁面の厚さを示すグラフである。
断面図と、電極壁面の厚さを示すグラフである。
【図３】本発明の電極を陽極として使用した移行型プラ
ズマトーチの断面説明図である。
ズマトーチの断面説明図である。
【図４】本発明の電極を陽極および陰極に使用した非移
行型プラズマトーチの断面説明図である。
行型プラズマトーチの断面説明図である。
【図５】Ｃｕ−Ｚｒ−Ｃｒ合金を電極の損耗し易い部分
のみに使用した本発明の電極の断面説明図である。
のみに使用した本発明の電極の断面説明図である。
【図６】本発明の電極を陽極および陰極に使用したアー
クトーチの断面説明図である。
クトーチの断面説明図である。
１ 移行型プラズマトーチ陽極 ２ 移行型プラズマトーチ外筒 ３ 冷却水仕切り板 ４ 冷却水入口 ５ 冷却水出口 ６ プラズマガス入口 ７ プラズマガス出口 ８ アーク ９ 外部電極（陰極） １０ 電源装置 １１ 非移行型プラズマトーチ陽極 １２ 非移行型プラズマトーチ外筒 １３ 非移行型プラズマトーチ陰極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 久野 貴洋 兵庫県神戸市西区高塚台１丁目５番５号 株式会社神戸製鋼所神戸総合技術研究所内 (72)発明者 清水 由章 兵庫県神戸市中央区脇浜町１丁目３番18号 株式会社神戸製鋼所神戸本社内
Claims (4)
- 【請求項１】 ＺｒおよびＣｒを含有し、残部Ｃｕであ
るＣｕ基合金からなることを特徴とするプラズマ発生装
置の電極。 - 【請求項２】 ＺｒおよびＣｒを含有し、残部Ｃｕであ
るＣｕ基合金を、電極の損耗し易い部位に使用したこと
を特徴とするプラズマ発生装置の電極。 - 【請求項３】 上記Ｃｕ基合金が、Ｚｒを０．０１〜
０．５重量％、Ｃｒを０．１〜３重量％含有するもので
ある請求項１または２に記載の電極。 - 【請求項４】 上記Ｃｕ基合金が、Ｚｒを０．０３〜
０．３５重量％、Ｃｒを０．３〜１．５重量％含有する
ものである請求項１〜３のいずれかに記載の電極。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7181827A JPH0935892A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | プラズマ発生装置の電極 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7181827A JPH0935892A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | プラズマ発生装置の電極 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0935892A true JPH0935892A (ja) | 1997-02-07 |
Family
ID=16107517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7181827A Pending JPH0935892A (ja) | 1995-07-18 | 1995-07-18 | プラズマ発生装置の電極 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0935892A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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- 1995-07-18 JP JP7181827A patent/JPH0935892A/ja active Pending
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