JPH09148094A - プラズマ溶射トーチ - Google Patents
プラズマ溶射トーチInfo
- Publication number
- JPH09148094A JPH09148094A JP7326257A JP32625795A JPH09148094A JP H09148094 A JPH09148094 A JP H09148094A JP 7326257 A JP7326257 A JP 7326257A JP 32625795 A JP32625795 A JP 32625795A JP H09148094 A JPH09148094 A JP H09148094A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- spraying
- hollow cathode
- plasma jet
- anode nozzle
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- Withdrawn
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- Plasma Technology (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来形のプラズマ溶射トーチでは溶射材料が
粉末又は線材のいずれを用いた場合にも、その供給方向
はプラズマジェットの流れの方向に対してほぼ直角であ
った。従って、プラズマジェット中の溶射粒子の飛行挙
動は不均一となり、均質な皮膜の形成を阻害していた。 【解決手段】 本発明のプラズマ溶射トーチは、内面を
電気的に絶縁した中空陰極22と陽極ノズル21とから
なるものにおいて、前記陽極ノズルの外周に磁石26を
配置するとともに、中空陰極22の孔から溶射材料線材
27をプラズマジェット中に供給することを特徴として
いる。
粉末又は線材のいずれを用いた場合にも、その供給方向
はプラズマジェットの流れの方向に対してほぼ直角であ
った。従って、プラズマジェット中の溶射粒子の飛行挙
動は不均一となり、均質な皮膜の形成を阻害していた。 【解決手段】 本発明のプラズマ溶射トーチは、内面を
電気的に絶縁した中空陰極22と陽極ノズル21とから
なるものにおいて、前記陽極ノズルの外周に磁石26を
配置するとともに、中空陰極22の孔から溶射材料線材
27をプラズマジェット中に供給することを特徴として
いる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は表面被覆や材料合成
などのためのプラズマ溶射に用いられるプラズマ溶射ト
−チに関する。なお、プラズマ溶射は、ボイラ、タ−ビ
ンなどの耐摩耗、耐腐食コ−ティングまたは固体電解質
型燃料電池の製造に用いられる。
などのためのプラズマ溶射に用いられるプラズマ溶射ト
−チに関する。なお、プラズマ溶射は、ボイラ、タ−ビ
ンなどの耐摩耗、耐腐食コ−ティングまたは固体電解質
型燃料電池の製造に用いられる。
【0002】
【従来の技術】従来のプラズマ溶射ト−チは、陰極と陽
極ノズルとの間に発生させた直流ア−ク放電によって陽
極ノズルから高温、高速のプラズマジェットを噴出し、
このプラズマジェットの流れとほぼ直角方向に溶射材料
粉末または線材を提供して溶射するものであった。図2
は従来のプラズマ溶射ト−チの概略の構造を示す。11
は銅合金の陽極ノズルであり水冷されている。12はタ
ングステン陰極である。陽極ノズル11と陰極12は図
示されない直流電源の正極と負極にそれぞれせつぞくさ
れている。
極ノズルとの間に発生させた直流ア−ク放電によって陽
極ノズルから高温、高速のプラズマジェットを噴出し、
このプラズマジェットの流れとほぼ直角方向に溶射材料
粉末または線材を提供して溶射するものであった。図2
は従来のプラズマ溶射ト−チの概略の構造を示す。11
は銅合金の陽極ノズルであり水冷されている。12はタ
ングステン陰極である。陽極ノズル11と陰極12は図
示されない直流電源の正極と負極にそれぞれせつぞくさ
れている。
【0003】13は陽極ノズル11と陰極12で構成さ
れるプラズマ発生室14にプラズマ作動ガスを提供する
プラズマガス供給口である。該プラズマ発生室に発生し
たア−クプラズマは陽極ノズル口15からプラズマジェ
ットとなって噴出する。16は粉末供給ポ−トであり溶
射材料粉末をプラズマジェットへ供給する。該粉末粒子
はプラズマジェットによって加熱、加速され基材表面に
衝突し皮膜を形成する。溶射材料が線材の場合も基本的
にはそのプラズマ溶射ト−チの構造は図2と同様であ
り、粉末供給ポ−ト16が線材供給口となる。
れるプラズマ発生室14にプラズマ作動ガスを提供する
プラズマガス供給口である。該プラズマ発生室に発生し
たア−クプラズマは陽極ノズル口15からプラズマジェ
ットとなって噴出する。16は粉末供給ポ−トであり溶
射材料粉末をプラズマジェットへ供給する。該粉末粒子
はプラズマジェットによって加熱、加速され基材表面に
衝突し皮膜を形成する。溶射材料が線材の場合も基本的
にはそのプラズマ溶射ト−チの構造は図2と同様であ
り、粉末供給ポ−ト16が線材供給口となる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来のプラズマ溶射ト
−チでは、溶射材料が粉末または線材のいずれを用いた
場合にも、その供給方向はプラズマジェットの流れ方向
に対してほぼ直角である。従って、プラズマジェット中
の溶射粒子の飛行挙動は不均一となり均質な皮膜の形成
を阻害していた。
−チでは、溶射材料が粉末または線材のいずれを用いた
場合にも、その供給方向はプラズマジェットの流れ方向
に対してほぼ直角である。従って、プラズマジェット中
の溶射粒子の飛行挙動は不均一となり均質な皮膜の形成
を阻害していた。
【0005】特に溶射材料が粉末の場合はその傾向が強
い。つまり、粉末粒子がプラズマジェットに供給される
際にそれぞれの粉子の大きさ、形態、供給速度などが異
なるために粒子の飛行挙動は不均一となる。
い。つまり、粉末粒子がプラズマジェットに供給される
際にそれぞれの粉子の大きさ、形態、供給速度などが異
なるために粒子の飛行挙動は不均一となる。
【0006】また、溶射材料が線材の場合は、プラズマ
ジェットへの線材の供給位置の微妙なずれが、線材の溶
融条件を変えるため、溶射粒子の形成が不安定となり易
い。また、いずれの材料を用いた場合においても、溶射
材料のプラズマジェットへの供給は、その高温部から離
れた位置であるため、材料の溶融効率が低い。
ジェットへの線材の供給位置の微妙なずれが、線材の溶
融条件を変えるため、溶射粒子の形成が不安定となり易
い。また、いずれの材料を用いた場合においても、溶射
材料のプラズマジェットへの供給は、その高温部から離
れた位置であるため、材料の溶融効率が低い。
【0007】本発明のプラズマ溶射ト−チは、従来のプ
ラズマ溶射ト−チが抱えている皮膜の不均質性、溶射材
料の溶融効率の低さという問題点を解決し、高効率で高
い皮膜品質を実現できる新しいプラズマ溶射ト−チを提
供するにある。
ラズマ溶射ト−チが抱えている皮膜の不均質性、溶射材
料の溶融効率の低さという問題点を解決し、高効率で高
い皮膜品質を実現できる新しいプラズマ溶射ト−チを提
供するにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、内面を電気的
に絶縁した中空陰極22と陽極ノズル21とからなるプ
ラズマ溶射ト−チにおいて、前記陽極ノズルの外周に磁
石26を配置するとともに、前記中空陰極の孔から溶射
材料の線材27をプラズマジェット中に供給することを
特徴としている。
に絶縁した中空陰極22と陽極ノズル21とからなるプ
ラズマ溶射ト−チにおいて、前記陽極ノズルの外周に磁
石26を配置するとともに、前記中空陰極の孔から溶射
材料の線材27をプラズマジェット中に供給することを
特徴としている。
【0009】本発明では溶射材料を線材とすることによ
り、粉末材料の場合のように粒子の直径、形態などの不
均一性をなくすことができる。この線材を中空陰極の孔
からプラズマジェットの最高温度部へ供給することによ
り溶融効率を著しく高めることができる。また線材を用
いることにより溶射粒子は線材から生成された溶融粒子
のみによって形成されるため、粉末を用いた場合のよう
に未溶融粒子は存在しない。従って、形成される皮膜は
極めて高い品質のものとなる。
り、粉末材料の場合のように粒子の直径、形態などの不
均一性をなくすことができる。この線材を中空陰極の孔
からプラズマジェットの最高温度部へ供給することによ
り溶融効率を著しく高めることができる。また線材を用
いることにより溶射粒子は線材から生成された溶融粒子
のみによって形成されるため、粉末を用いた場合のよう
に未溶融粒子は存在しない。従って、形成される皮膜は
極めて高い品質のものとなる。
【0010】一般に中空陰極を用いたプラズマ溶射ト−
チによるプラズマジェットは非常に不安定となる。これ
は陰極点が非定常的に移動したり、一箇所に固定してプ
ラズマジェットの流れ方向が不安定であったり、中心軸
からずれたりするためである。
チによるプラズマジェットは非常に不安定となる。これ
は陰極点が非定常的に移動したり、一箇所に固定してプ
ラズマジェットの流れ方向が不安定であったり、中心軸
からずれたりするためである。
【0011】よって本発明では陽極ノズルの外周部に磁
石を配置し、プラズマア−クと磁石との相互作用つまり
ロ−レンツ力によってプラズマア−クを陰極を軸にして
回転させることによりプラズマジェットを安定的に発生
させることができるようにしている。またプラズマア−
クと磁束との相互作用に溶射材料の線材が影響を及ぼし
プラズマジェットを不安定にしないように、中空陰極の
孔の内面には絶縁物質が配置されている。
石を配置し、プラズマア−クと磁石との相互作用つまり
ロ−レンツ力によってプラズマア−クを陰極を軸にして
回転させることによりプラズマジェットを安定的に発生
させることができるようにしている。またプラズマア−
クと磁束との相互作用に溶射材料の線材が影響を及ぼし
プラズマジェットを不安定にしないように、中空陰極の
孔の内面には絶縁物質が配置されている。
【0012】
【発明の実施の形態】以下図1を参照して本発明の実施
の形態について説明する。本発明は溶射材料の溶融効率
が高く、成膜速度が早く、材料の付着効率が高く、得ら
れる皮膜の品質が従来のものと比較して著しく向上する
ものをねらっている。
の形態について説明する。本発明は溶射材料の溶融効率
が高く、成膜速度が早く、材料の付着効率が高く、得ら
れる皮膜の品質が従来のものと比較して著しく向上する
ものをねらっている。
【0013】
【実施例】図1は本発明の第1実施例を示す。21は銅
合金の陽極ノズルであり水冷されている。22は中空陰
極でありトリウム入りタングステンを用いている。22
aは中空陰極22の孔の内面に配置された絶縁層であ
り、耐熱性が優れた炭化珪素を用いている。23は陽極
ノズル21と中空陰極22で構成されたプラズマ発生室
24にプラズマ作動ガスを供給するプラズマガス供給口
である。
合金の陽極ノズルであり水冷されている。22は中空陰
極でありトリウム入りタングステンを用いている。22
aは中空陰極22の孔の内面に配置された絶縁層であ
り、耐熱性が優れた炭化珪素を用いている。23は陽極
ノズル21と中空陰極22で構成されたプラズマ発生室
24にプラズマ作動ガスを供給するプラズマガス供給口
である。
【0014】25は陽極ノズル口であり、ここから高
温、高速のプラズマジェットが噴出する。26は陽極ノ
ズル21の外周部に設置された電磁コイルである。27
は図示されないワイヤ供給装置から中空陰極の孔を通っ
てきた溶射材料の線材であり、材質は50Ni−50C
r(Wt%)で線径は1.6mmとした。
温、高速のプラズマジェットが噴出する。26は陽極ノ
ズル21の外周部に設置された電磁コイルである。27
は図示されないワイヤ供給装置から中空陰極の孔を通っ
てきた溶射材料の線材であり、材質は50Ni−50C
r(Wt%)で線径は1.6mmとした。
【0015】プラズマ溶射ト−チの作動は先ず、プラズ
マガス供給口23からArを30l/min供給し、陽
極ノズル21と中空陰極22との間にプラズマア−クを
発生させる。この時のプラズマア−ク電流は800A、
プラズマア−ク電圧は37Vであり、電磁コイル26に
は8Aの電流を流した。このようにして発生したプラズ
マジェットに溶射材料の線材を8kg/hの供給速度で
送った。この時のプラズマジェットは非常に安定してお
り、スプレイパタ−ンも安定し高い密度の溶射粒子群が
観察された。
マガス供給口23からArを30l/min供給し、陽
極ノズル21と中空陰極22との間にプラズマア−クを
発生させる。この時のプラズマア−ク電流は800A、
プラズマア−ク電圧は37Vであり、電磁コイル26に
は8Aの電流を流した。このようにして発生したプラズ
マジェットに溶射材料の線材を8kg/hの供給速度で
送った。この時のプラズマジェットは非常に安定してお
り、スプレイパタ−ンも安定し高い密度の溶射粒子群が
観察された。
【0016】これにより形成された皮膜の組織を観察し
た結果、皮膜は緻密であり、未溶融粒子は存在せず非常
に均質な組織を呈していた。溶射材料の線材としては、
前記実施例の他にも多くの材料が適用される。例えば各
種ステンレス鋼、銅合金、アルミニウム合金などの他に
も各種高質合金やステライト合金にも適用される。また
セラミックスについても被覆材を用いて複合ワイヤとす
ることで溶射可能となる。
た結果、皮膜は緻密であり、未溶融粒子は存在せず非常
に均質な組織を呈していた。溶射材料の線材としては、
前記実施例の他にも多くの材料が適用される。例えば各
種ステンレス鋼、銅合金、アルミニウム合金などの他に
も各種高質合金やステライト合金にも適用される。また
セラミックスについても被覆材を用いて複合ワイヤとす
ることで溶射可能となる。
【0017】
【発明の効果】本発明に係るプラズマ溶射ト−チによれ
ば、溶射材料の溶融効率が高いため成膜速度が早く、ま
た材料の付着効率も高く、溶射を高能率且つ高効率で実
施することができ、経済的な効果は非常に高い。また、
得られる皮膜の品質は従来品と比較して著しく向上し、
その産業界における商品価値は顕著である。
ば、溶射材料の溶融効率が高いため成膜速度が早く、ま
た材料の付着効率も高く、溶射を高能率且つ高効率で実
施することができ、経済的な効果は非常に高い。また、
得られる皮膜の品質は従来品と比較して著しく向上し、
その産業界における商品価値は顕著である。
【図1】本発明の第1実施例に係わる全構成説明図。
【図2】従来例の図1応当図。
21…陽極ノズル、22…中空陰極、22a…絶縁層、
23…プラズマガス供給口、24…プラズマ発生室、2
5…陽極ノズル口、26…電磁コイル(磁石)、27…
線材。
23…プラズマガス供給口、24…プラズマ発生室、2
5…陽極ノズル口、26…電磁コイル(磁石)、27…
線材。
Claims (1)
- 【請求項1】 内面を電気的に絶縁した中空陰極(2
2)と陽極ノズル(21)とからなるプラズマ溶射ト−
チにおいて、前記陽極ノズルの外周に磁石(26)を配
置するとともに、前記中空陰極の孔から溶射材料の線材
(27)をプラズマジェット中に供給することを特徴と
するプラズマ溶射ト−チ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7326257A JPH09148094A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | プラズマ溶射トーチ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7326257A JPH09148094A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | プラズマ溶射トーチ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09148094A true JPH09148094A (ja) | 1997-06-06 |
Family
ID=18185755
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7326257A Withdrawn JPH09148094A (ja) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | プラズマ溶射トーチ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09148094A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010078636A (ko) * | 2000-02-09 | 2001-08-21 | 김징완 | 플라즈마 아크 토치 |
JP2008521170A (ja) * | 2004-11-16 | 2008-06-19 | ハイパーサーム インコーポレイテッド | 内部流路付き電極を有するプラズマアークトーチ |
JP5362133B1 (ja) * | 2013-02-12 | 2013-12-11 | 株式会社金星 | 球形状蓄光材の製造方法及びプラズマトーチ |
CZ305303B6 (cs) * | 2014-01-27 | 2015-07-22 | Vysoká škola báňská- Technická univerzita Ostrava | Plazmový hořák se závislým obloukem a dutou katodou |
CN107078004A (zh) * | 2014-11-07 | 2017-08-18 | 应用材料公司 | 用于利用电子束处理具有大宽度柔性基板的设备和方法 |
CN109300757A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-02-01 | 中国科学院空间应用工程与技术中心 | 微波ecr等离子体阴极环形束电子枪及3d打印方法 |
-
1995
- 1995-11-22 JP JP7326257A patent/JPH09148094A/ja not_active Withdrawn
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20010078636A (ko) * | 2000-02-09 | 2001-08-21 | 김징완 | 플라즈마 아크 토치 |
JP2008521170A (ja) * | 2004-11-16 | 2008-06-19 | ハイパーサーム インコーポレイテッド | 内部流路付き電極を有するプラズマアークトーチ |
JP5362133B1 (ja) * | 2013-02-12 | 2013-12-11 | 株式会社金星 | 球形状蓄光材の製造方法及びプラズマトーチ |
JP2014152282A (ja) * | 2013-02-12 | 2014-08-25 | Kinboshi Inc | 球形状蓄光材の製造方法及びプラズマトーチ |
CZ305303B6 (cs) * | 2014-01-27 | 2015-07-22 | Vysoká škola báňská- Technická univerzita Ostrava | Plazmový hořák se závislým obloukem a dutou katodou |
CN107078004A (zh) * | 2014-11-07 | 2017-08-18 | 应用材料公司 | 用于利用电子束处理具有大宽度柔性基板的设备和方法 |
CN109300757A (zh) * | 2018-11-22 | 2019-02-01 | 中国科学院空间应用工程与技术中心 | 微波ecr等离子体阴极环形束电子枪及3d打印方法 |
CN109300757B (zh) * | 2018-11-22 | 2023-07-18 | 中国科学院空间应用工程与技术中心 | 微波ecr等离子体阴极环形束电子枪及3d打印方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030204 |