JP2002299892A - 電子部品装着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ビームの熱変形を極力小さくして電子部品装
着時の位置決め精度を向上する。 【解決手段】 Ｙ軸リニアモータ７の駆動により、可動
子１３は発熱するが、ビーム６の左右下部のベース２
０、２０と可動子１３との間に熱伝導率が小さい熱絶縁
部材２１が設けられているので、ビーム６駆動時の可動
子１３、１３からビーム６のベース２０、２０への熱伝
導は熱絶縁部材２１により僅かに抑えられ、ビーム６の
局部的な温度上昇を防止して熱変形を回避し、電子部品
装着時の位置決め精度を向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、駆動源により移動
可能なビームにこれに沿った方向に駆動源により移動可
能な装着ヘッドを設け、この装着ヘッドに設けられたノ
ズルにより電子部品を吸着してプリント基板上に装着す
る電子部品装着装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】かかる従来の電子部品装着装置は、例え
ば特開２０００−１６５０９６号公報等に開示され、こ
の特開２０００−１６５０９６号公報には、２本のリニ
アモータ軸を備え、各リニアモータ軸には一対ずつ部品
装着ヘッド、部品装着ヘッドを備え、これら４つの部品
装着ヘッドにて、部品供給部からの電子部品の吸着動
作、吸着している電子部品の認識動作、及び回路基板へ
の装着動作を一部重複しながら行う技術が開示されてい
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の技術におい
て、リニアモータ軸（ビーム）の駆動源にリニアモータ
を使用した場合には、電子部品装着装置の運転に伴うリ
ニアモータの駆動時に可動子が発熱し、可動子の熱がビ
ームに伝わる。このため、ビームの温度が上昇し、ビー
ムに熱変形が発生して位置決め精度が低下する虞があっ
た。

【０００４】そこで本発明は、ビームの熱変形を回避し
た電子部品装着装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】このため第１の発明は、
間隔を存して平行に設けられたガイドと、このガイドに
沿って移動可能なビームと、このビームに設けられてこ
れに沿った方向に移動可能な装着ヘッドと、この装着ヘ
ッドに設けられ電子部品を真空吸着してプリント基板上
に装着する吸着ノズルとを備えた電子部品装着装置にお
いて、ガイドに設けられた固定子及び前記ビームに取り
付けられた可動子を有して前記ビームを駆動するリニア
モータと、前記ビームと可動子との間に設けられた熱絶
縁部材とを備えたことを特徴とする。

【０００６】また第２の発明は、ビームの線膨張係数が
可動子より大きいことを特徴とする。

【０００７】また第３の発明は、熱絶縁部材の可動子と
の接触面及び／または前記ビームとの接触面に複数の穴
または溝を形成したことを特徴とする。

【０００８】また第４の発明は、複数の溝の空気流出口
が形成された熱絶縁部材と、複数の溝に空気を送る空気
供給手段とを備えたことを特徴とする。

【０００９】さらに第５の発明は、熱絶縁部材には、可
動子との接触面に形成された複数の溝とビームとの接触
面に形成された複数の溝とを連通する通路が形成され、
空気供給手段はビーム側の複数の溝から可動子側の複数
の溝へ通路を介して空気を流すことを特徴とする。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、図面に基づき実施形態につ
き説明する。図１は電子部品装着装置１の平面図で、図
２は該装着装置１の正面図で、該装置１の基台２上の前
部には種々の電子部品をその部品取出し部（部品吸着位
置）に１個ずつ供給する部品供給ユニット（図示せず）
が複数並設されている。そして、該装着装置１の中間部
には供給コンベア３(図２及び図４においては省略)、位
置決め部(図２及び図６においては省略)４及び排出コン
ベア５(図２においては省略)がプリント基板Ｐの搬送方
向が左右方向となるように設けられている。供給コンベ
ア３は上流より受けたプリント基板Ｐを前記位置決め部
４に搬送し、位置決め部４で図示しない位置決め機構に
より位置決めされた該基板Ｐ上に電子部品が装着された
後、排出コンベア５に搬送される。

【００１１】６はＸ方向に長いビームであり、リニアモ
ータである左右一対のＹ軸モータ（以下Ｙ軸リニアモー
タという）７、７の駆動により左右一対のガイド８、８
に沿ってプリント基板Ｐや部品供給ユニットの部品取出
し部（部品吸着位置）上方を個別にＹ方向に移動する。
Ｙ軸リニアモータ７、７は、それぞれ側壁１０及び底壁
１１を備えて上面を開口したガイド８に設けられた一対
の固定子１２、１２と、ガイド８及び固定子１２、１２
の内側に位置してビーム６に取り付けられた例えば鉄を
主体とした可動子１３とを有し、ビーム６を駆動する。
そして、図３（装着装置１の右側上部の断面図）に示し
たように各固定子１２、１２は、ガイド８の長手方向に
間隔を存し、かつ対向して設けられ、ガイド８の側壁１
０の上部あるいは上端に固定されたベース１４と、ベー
ス１４の内面に固定されたマグネット１５とから構成さ
れている。ここで、各マグネット１５及び側壁１０と可
動子１３の側面との間には僅かな隙間が形成されてい
る。

【００１２】１６は各ベース１４に取り付けられた熱伝
導部材であり、この熱伝導部材１６は前後に分割されて
ベース１４の外側面ほぼ全面にわたり設けられている。
また、各熱伝導部材１６はベース１４及びガイド８を構
成する鉄より熱伝導率が高い例えばアルミあるいは銅な
どの金属で板状に形成されたヒートパイプを折って重ね
たヒートレーンであり、ガイド８の表面に密着するよう
に例えば高熱伝導性接着剤により取り付けられている。
また、熱伝導部材１６、１６の前あるいは後の端縁には
折り曲げ部１７が可動子１３の移動範囲外に位置して形
成されている。このように熱伝導部材１６を折り曲げて
重ね合わせることにより、熱伝導を向上させることがで
きる。熱伝導部材１６とベース１４との間に例えば高熱
伝導性のグリースを挟み、夫々の間の熱伝導を良くした
状態で、熱伝導部材１６を例えば帯状の金属板（図示せ
ず）にてベース１４に固定しても良い。

【００１３】また、底壁１１の上面には、ガイド８の長
手方向にわたりほぼ全面に上記熱伝導部材１６と同様に
構成された熱伝導部材１８が前後に分割されて例えば高
熱伝導性接着剤により取り付けられている。熱伝導部材
１８の前端縁あるいは後端縁には図４及び図５にも示し
たように折り曲げ部１９が可動子１３の移動範囲外に位
置し、膨出して左右方向に形成されている。

【００１４】２０は例えばアルミニウムにより形成され
ビーム６の左右両端の下部に設けられたベースであり、
ベース２０の下面に熱絶縁部材２１を介して可動子１３
が固定されている。そして、ベース２０の線膨張係数は
主に鉄にて形成された可動子１３の線膨張係数より大き
い。また、熱絶縁部材２１は熱伝導率が小さい例えばガ
ラス繊維を主体とした樹脂などから構成され、この熱絶
縁部材２１の可動子１３との接触面及びベース２０との
接触面には長手方向に複数の溝２２、２３が形成されて
いる。そして、溝２２、２３と可動子１３の上面との間
及びベース２０の下面との間に空気通路２４及び２５が
形成され、これらの空気通路２４、２５は熱絶縁部材２
１の前端から後端にわたり形成され、図５に示したよう
に前端及び後端に空気通路２４、２５を流れた空気の流
出口２４Ａ、２５Ａが形成されている。また、熱絶縁部
材２１のほぼ中央には、空気通路２４と空気通路２５と
を連通する通路２６が形成されている。さらに、２７は
空気通路２４及び空気通路２５に冷却用の空気を供給す
るためにベース２０に形成された空気供給路であり、こ
の空気供給路２７に例えば部品装着装置本体に設けられ
た図示しない送風機あるいはポンプなどの空気供給源
（空気供給手段）から例えばチューブを介して空気が送
られ、各空気通路２４、２５に供給される。

【００１５】２８は可動子１３の下面ぼぼ全面に設けら
れた放熱部材であり、この放熱部材２８は熱伝導が良好
な例えばアルミニウムなどにより形成され、可動子１３
の長手方向（ビーム６の移動方向であるY方向）に複数
のフィン２９を一体に備えている。

【００１６】３０はビーム６を支持し案内するリニアウ
ェイであり、このリニアウェイ３０はガイド８の側部上
面に固定され、ガイド８の長手方向に延びたレール３１
と、このレール３１に対応してベース２０の下面に固定
されたスライダ３２とから構成されている。そして、基
台２の右側上部及び左側上部のガイド８及びＹ軸リニア
モータ７は対象に構成されている。

【００１７】以下、ビーム６の構成について、装着ヘッ
ドを省略した図４乃至図７に基づいて詳細に説明する。
３３は水平方向に設けられたビーム本体レールであり、
このビーム本体レール３３は例えば熱伝導が良好なアル
ミニウムにより形成されている。また、ビーム本体レー
ル３３は上壁３４、下壁３５、及び上壁と下壁とを接続
する垂直壁３６を備え、垂直壁３６より前方の前部上壁
３７と前部下壁３８との間に後述するビーム側可動子が
位置する。さらに、垂直壁３６の適所には空気通路とな
る開口３９が複数形成されている。そしてビーム本体レ
ール３３の左右両端部は金属製の支持部材４０を介して
ベース２０に支持されている。

【００１８】４１は上記熱伝導部材１６、１８と同様に
構成され、熱伝導率が高いビーム側の熱伝導部材であ
る。これらの熱伝導部材４１は前部上壁３７及び前部下
壁３８の相対向した内側の面に左右に分割され、例えば
高熱伝導性接着剤により取り付けられている。さらに、
各熱伝導部材４１の内側の面には後述する可動子と共に
Ｘ軸リニアモータ４２を構成する固定子４３のベース４
４が例えば高熱伝導性接着剤により対向して取り付けら
れている。また、各熱伝導部材４１の右端あるいは左端
には折り曲げ部７１が形成されている。ベース４４の内
側の面に固定子４３のマグネット４５、４５が対向して
設けられている。そして、熱伝導部材４１、ベース４４
及びマグネット４５は前部上壁４１及び前部下壁３８の
前端より前方へ突出して設けられている。

【００１９】４６は後述する装着ヘッドが取り付けられ
るヘッドベースであり、このヘッドベース４６の背面の
ほぼ中央部にＸ軸リニアモータ４２の可動子４７が取り
付けられている。可動子４７の上面及び下面とマグネッ
ト４５、４５との間には僅かな隙間が形成されている。
また、可動子４７の背面には例えばアルミニウムにより
形成され熱伝導が良好な放熱部材４８が垂直壁３６と対
向すると共に間隔を存し、かつ背面のほぼ全幅にわたり
取り付けられ、この放熱部材４８の表面には長手方向
（水平方向）に複数のフィン４８が一体に形成されてい
る。

【００２０】４９、４９はヘッドベース４６を水平方向
に案内するリニアウェイであり、リニアウェイ４９、４
９はビーム本体レール３３の上下の前端面に取り付けら
れたレール５０と、ヘッドベース４５の背面にレール５
０と対応して取り付けられたスライダ５１とから構成さ
れている。

【００２１】５２はフラットケーブルであり、後述する
装着ヘッドのためのケーブル５３やエアチューブ５４な
どを並列状態にして、それぞれ接着剤で固定し概ね平板
状にし、ビーム本体レール３３の後方に設けられてい
る。また、５５はヘッドベース４５の上縁の取り付けら
れたヘッド天壁であり、ヘッド天壁５５によりエアチュ
ーブ５４の上部側が支持され、エアチューブ５４の下部
側がビーム本体レール３３の背面に取り付けられた支持
部材５６に支持されている。

【００２２】以下、図８に基づいて装着ヘッドについて
説明する。

【００２３】図８に示すように、前記ヘッドベース４５
に装着ヘッド５７が各上下軸モータ５８によりガイド６
０に沿って上下動可能に設けられている。装着ヘッド５
７のノズル取付体６１には６本の吸着ノズル６２が等間
隔を存して設けられ、またノズル取付体６１はθ軸モー
タ６３により鉛直軸周りに回転可能であり、更にはノズ
ル選択モータ６４により前記６本の吸着ノズル６２のう
ちの任意の吸着ノズル６２の吸着側端部が下方に向くよ
うに選択される。

【００２４】従って、装着ヘッド５７及び吸着ノズル６
２はＸ軸リニアモータ４２及びＹ軸リニアモータの駆動
によりＸ方向及びＹ方向に移動可能であり、さらに、吸
着ノズル６２は垂直線回りに回転可能で、かつ上下動可
能となっている。そして、左右両ヘッドベース４５に装
着ヘッド５７が取り付けられる。

【００２５】また、６５、６５はガイド８、８の内側に
Ｙ方向に設けられたＹ方向フラットケーブルであり、フ
ラットケーブル６５はケーブルベア（登録商標）６６に
より支持されている。

【００２６】以上の構成により、以下動作について説明
する。先ず、プリント基板Ｐが図示しないコンベアによ
り上流装置より供給コンベア３を介して位置決め部４に
搬送され、位置決め機構により位置決め固定される。

【００２７】次に、図示しない記憶装置に格納されたプ
リント基板Ｐの装着すべきＸＹ座標位置、鉛直軸線回り
への回転角度位置及び各部品供給ユニットの配置番号等
が指定された装着データに従い、装着順序に従い電子部
品の部品種に対応した各吸着ノズル６２が装着すべき電
子部品を所定の部品供給ユニットから吸着して取出す。

【００２８】即ち、Ｙ方向はＹ軸リニアモータ４２が駆
動して一対のガイド７に沿ってビーム６が移動し、Ｘ方
向はＸ軸リニアモータ４２が駆動して装着ヘッド５７が
衝突することなく移動し、順次装着すべき電子部品を収
納する部品供給ユニット上方に位置するよう移動する。

【００２９】そして、既に所定の供給ユニットは駆動さ
れて部品吸着位置にて部品が取出し可能状態にあるた
め、一方の装着ヘッド５７のノズル選択モータ６４によ
り選択された吸着ノズル６２が上下軸モータ５８により
下降して電子部品を吸着し取出し、次に吸着ノズル６２
は上昇すると共に他方の装着ヘッド５８の吸着ノズル６
２が次に装着すべき電子部品を収納する部品供給ユニッ
ト上方に移動し、同じく前記吸着ノズル６２が下降して
電子部品を吸着し取出す。

【００３０】さらに、前述したように、装着ヘッド５７
を水平方向に移動させ、位置決め部４上のプリント基板
Ｐ上方に移動し、各装着ヘッド５７の吸着ノズル６２を
下降させてプリント基板Ｐ上にそれぞれ電子部品を装着
する。

【００３１】この場合、各装着ヘッド５７（ヘッドベー
ス４５）がＸ軸リニアモータ４２によりガイド８に沿っ
てＸ方向に移動する際、フラットケーブル５２は屈曲可
能であり、またビーム６がＹ軸リニアモータ７によりガ
イド８に沿ってＹ方向に移動する際、Ｙ方向フラットケ
ーブル６５を保持するケーブルベア６６も屈曲可能であ
るから、装着ヘッド５７及びビーム６は滑らかに移動で
きるものである。

【００３２】また、Ｙ軸リニアモータ７の駆動により、
可動子１３は発熱するが、ビーム６の左右下部のベース
２０、２０と可動子１３との間に熱伝導率が小さい熱絶
縁部材２１が設けられているので、熱絶縁部材２１を設
けるという簡単な構成によりビーム６の温度上昇を防止
するための構造を簡略し、かつビーム６駆動時の可動子
１３、１３からビーム６のベース２０、２０への熱伝導
は熱絶縁部材２１により僅かに抑えられる。さらに、冷
却用の空気が図示しない空気供給源から熱絶縁部材２１
に形成された空気供給路２７へ流れ、さらにベース２０
側の空気通路２５にその中央部から流入する。そして、
空気通路２５を流れて前後の流出口２５Ａから流出する
間に周囲のベース２０及び熱絶縁部材２１から熱を奪
う。さらに、空気供給路２７から流入した空気は空気通
路２５の中央部及び通路２６を介して空気通路２４にそ
の中央部から流入する。そして、空気通路２４を流れて
前後の流出口２４Ａから流出する間にベース２０側より
温度が高い周囲のベース２０の可動子側部分及び熱絶縁
部材２１から熱を奪い外部へ放出する。

【００３３】この結果、熱絶縁部材２１自体の温度上昇
を小さく抑えることができ、可動子１３からビーム６の
ベース２０への熱伝導を僅かに抑えることができ、ビー
ム６のベース２０の熱変形（線膨張）を抑えることがで
き、さらに、空気供給手段からの空気をベース２０側の
溝２５から可動子１３側の溝２４へ流すことによって、
温度の低い空気が最初にベース２０側の溝に流れ、ベー
ス２０の温度を一層低く抑えることができ、ベース２０
の熱変形を極力抑えることができる。また、ベース２０
に支持部材４０を介して支持されたビーム本体レール３
３への熱伝導も僅かに抑えることができ、ビーム本体レ
ール３３の熱変形も極力小さくすることができる。さら
に、ベース２０の局部的な温度上昇を防止して熱変形を
回避できるので、電子部品装着時の位置決め精度を向上
することができる。

【００３４】また、各ベース２０及びビーム本体レール
３３の線膨張係数は可動子１３の線膨張係数より大きい
ので、温度が低い各ベース２０及びビーム本体レール３
３と温度が高い可動子１３との温度差によって発生する
各ベース２０及びビーム本体レール３３の熱変形を抑え
ることができる。

【００３５】また、部品装着運転に伴うＹ軸リニアモー
タ７の駆動により、可動子１３が発熱してこの熱により
対向した一対の固定子１２、１２の温度が上昇する。こ
のとき、固定子１２、１２の外側の面には、熱伝導部材
１６、１６が固定子１２、１２の長手方向、すなわち前
後方向ほぼ全幅にわたり設けられているので、固定子１
２、１２の熱は熱伝導部材１６、１６に伝わり、短時間
で熱伝導率が高い熱伝導部材１６、１６の全体に伝わり
放熱され、固定子１２、１２の局部的な温度上昇、すな
わち、装着装置１の運転時、ビーム６が頻繁に移動する
装置中央部に対応した固定子１２、１２の中央部の温度
上昇を抑制でき、固定子１２、１２全体をほぼ同じ温度
に保つことができる。この結果、固定子１２、特にベー
ス１４の熱変形を回避することができる。

【００３６】また、固定子１４からの熱伝導あるいは可
動子１３からの輻射などによりガイド８に伝わった熱
は、ガイド８の底壁１１に設けられた熱伝導部材１８に
伝わり、さらに、可動子１３の近傍に位置した部分以外
の開放されている部分も含む熱伝導部材１８全体に短時
間で伝わり放熱される。このため、ガイド８の局部的な
温度上昇を抑制でき、ガイド８の熱変形を回避すること
ができる。

【００３７】また、可動子１３で発生した熱は下面の放
熱部材２８に伝わり、この放熱部材２８から放熱され
る。このとき、放熱部材２８は複数のフィン２９を一体
に備えているので、放熱面積が増加して放熱量を増やす
ことができるのはもちろん、ビーム６のＹ方向の移動に
伴い、フィン２９の周囲を空気が流れ、放熱を一層促進
することができ、この結果、可動子１３の温度上昇を極
力抑制することができる。

【００３８】さらに、ビーム６の移動時には、Ｘ軸リニ
アモータ４２の駆動により、可動子４７が発熱してこの
熱により対向した一対の固定子４３、４３の温度が上昇
する。このとき、固定子４３、４３の外側の面には、一
部がビーム本体レール３３との間に挟まれた熱伝導部材
４１、４１が固定子４３、４３の長手方向、すなわちビ
ーム６の左右方向ほぼ全幅にわたり設けられているの
で、固定子４３、４３の熱は熱伝導部材４１、４１に伝
わり、短時間で熱伝導率が高い熱伝導部材４１、４１の
全体に伝わり放熱され、固定子４３、４３の温度上昇を
抑制できると共に、局部的な温度上昇、すなわち、装着
装置１の運転時、装着ヘッド５７が頻繁に移動するビー
ム６の中央部に対応した固定子４３、４３の中央部の温
度上昇を抑制でき、固定子４３、４３全体をほぼ同じ温
度に保つことができる。この結果、固定子４３、４３、
特にベース４４、４４の熱変形を回避することができ
る。

【００３９】また、熱伝導部材４１、４１全体からの放
熱により、ビーム本体レール３３全体の温度上昇あるい
は局部的な温度上昇を抑制でき、ビーム本体レール３３
の熱変形を回避することができる。

【００４０】また、可動子４７で発生した熱は背面の放
熱部材４８に伝わり、この放熱部材４８から放熱され
る。このとき、放熱部材４８は複数のフィン４８Ｆを一
体に備えているので、放熱面積を増加させて放熱量を増
やすことができるのはもちろん、装着ヘッド５７のＸ方
向の移動に伴い、フィン２９の周囲を空気が流れ、放熱
を一層促進することができ、この結果、可動子１３の温
度上昇を極力抑制することができる。また、フィン４８
Ｆ周囲の温度上昇した空気は開口３９を介して外部へ流
れるので、フィン４８Ｆからの放熱が促進され、フィン
４８Ｆの放熱効果を一層向上することができる。

【００４１】その他の実施形態 上記実施の形態では、熱絶縁部材２５に溝２２、２３を
形成し、可動子１３及びベース２０との間に空気通路２
４、２５を形成し、これらの空気通路２４、２５に空気
供給手段により空気を流したが、空気供給手段を使用せ
ず、ビーム６の移動に伴い、溝２２、２３に空気が流れ
るようにしてもよい。

【００４２】また、熱絶縁部材２５の可動子１３との接
触面またはベース２０との接触面の何れかに空気の流通
は無い複数の溝を独立して形成してもよい。このように
を形成した場合には、各溝が断熱部材として作用すると
共に、複数の溝によって可動子１３と熱絶縁部材２５と
の接触面積あるいはベース２０と熱絶縁部材２５との接
触面積を極力小さくすることができ、可動子１３からベ
ース２０への熱伝導を抑制することができ、ベース２０
の温度上昇を抑えることができる。

【００４３】また、複数の溝を熱絶縁部材２５に形成す
る代りに熱絶縁部材の可動子との接触面またはビームと
の接触面の何れかに複数の穴を形成してもよい。複数の
穴を形成することのより、上記溝と同様に複数の穴が断
熱部材として作用すると共に、複数の穴によって可動子
と熱絶縁部材との接触面積あるいはベース２０と熱絶縁
部材２５との接触面積を極力小さくすることができ、可
動子１３からベース２０への熱伝導を抑制することがで
き、ベース２０の温度上昇を抑えることができる。

【００４４】なお、熱絶縁部材２５の可動子１３との接
触面またはベース２０との接触面の何れかに複数の穴ま
たは溝を形成した場合にも、穴または溝が断熱部材とし
て作用すると共に、複数の穴または溝によって熱絶縁部
材２５と可動子１３またはベース２０との接触面積を極
力小さくすることができ、この結果、可動子１３からベ
ース２０への熱伝導を小さくすることができる。

【００４５】また、図３に破線にて示したように、ガイ
ド８の側面長手方向ほぼ全面にガイド８より熱伝導率が
高い例えばアルミ、銅あるいは上記ヒートレーンなどの
板状の熱伝導部材７０を取り付ける。熱伝導部材７０は
ガイド８を構成する鉄より熱伝導率が高く、ガイド８の
表面に密着するように例えば高熱伝導性接着剤により取
り付けられている。また、熱伝導部材７０とガイド８と
の間に例えば高熱伝導性のグリースを挟み、夫々の間の
熱伝導を良くした状態で、熱伝導部材を例えば帯状の金
属板にてガイド８に固定しても良い。このようにガイド
８の側面に熱伝導部材７０を設けることにより、可動子
１３からの輻射熱あるいは周囲の温度上昇した空気によ
って温度上昇したガイド８の特に中央部付近から熱伝導
部材７０に伝わった熱は、熱伝導部材７０全体に伝わ
り、特に熱伝導部材７０にヒートレーンを用いた場合に
は、極短時間で熱伝導部材７０全体に伝わり、放熱され
る。このため、ガイド８の局部的な温度上昇を抑制する
ことができ、ガイド８の熱変形を回避することができ
る。

【００４６】さらに、図７に破線にて示したように、上
記ガイド８と同様に、ビーム本体レール３３の上壁３４
の上面ほぼ全体にビーム本体レール３３の熱伝導率より
高い例えばヒートレーンである熱伝導部材７４を取り付
けた場合には、ビーム本体レール３３から熱伝導部材７
４に伝わった熱は、熱伝導部材７４の全体に極短時間で
伝わり、放熱される。このため、ビーム本体レール３３
の局部的な温度上昇を抑制することができ、ビーム本体
レール３３の熱変形を一層確実に回避することができ
る。

【００４７】以上本発明の実施態様について説明した
が、上述の説明に基づいて当業者にとって種々の代替
例、修正又は変形が可能であり、本発明はその趣旨を逸
脱しない範囲で前述の種々の代替例、修正又は変形を包
含するものである。

【００４８】

【発明の効果】以上のように本願の発明によれば、ビー
ム駆動時の可動子からビームへの熱伝導は熱絶縁部材に
より僅かに抑えられ、この結果、ビームの熱変形を極力
小さくすることができ、電子部品装着時の位置決め精度
を向上することができる。

【００４９】また、ビームの線膨張係数は可動子より大
きいので、温度が可動子より低いビームと温度が高い可
動子との温度差によって発生するビームの熱変形を抑え
ることができる。

【００５０】また、熱絶縁部材の可動子との接触面及び
／または前記ビームとの接触面に複数の穴または溝を形
成したので、穴または溝が断熱部材として作用すると共
に、複数の穴または溝によって熱絶縁部材と可動子また
はビームとの接触面積を極力小さくすることができ、こ
の結果、可動子からビームへの熱伝導を小さくすること
ができ、ビームの熱変形を回避することができる。

【００５１】また、複数の溝の空気流出口が熱絶縁部材
に形成され、複数の溝に空気を送る空気供給手段から溝
内へ流れた空気が熱絶縁部材から熱を奪い、空気流出口
から流出するので、熱絶縁部材自体の温度上昇を小さく
抑えることができ、可動子からビームへの熱伝導を僅か
に抑えることができ、ビームの熱変形を抑えることがで
きる。

【００５２】さらに、熱絶縁部材には、可動子との接触
面に形成された複数の溝とビームとの接触面に形成され
た複数の溝とを連通する通路が形成され、空気供給手段
はビーム側の複数の溝から可動子側の複数の溝へ前記通
路を介して空気を流すので、温度の低い空気が最初にビ
ーム側の溝に流れ、ビームの温度を一層低く抑えること
ができ、ビームの熱変形を極力抑えることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】電子部品装着装置の平面図である。

【図２】図１に示した電子部品装着装置のＡ−Ａ概略断
面図である。

【図３】図２の要部拡大断面図（電子部品装着装置の右
側上部の断面図）である。

【図４】図１に示した電子部品装着装置のＢ−Ｂ概略断
面図である。

【図５】図４の要部拡大断面図である。

【図６】図１に示した電子部品装着装置のＣ−Ｃ概略断
面図である。

【図７】図６の要部拡大断面図である。

【図８】装着ヘッドの側面図である。

【符号の説明】

１ 電子部品装着装置 ３ 供給コンベア ５ 排出コンベア ６ ビーム ７ Ｙ軸リニアモータ ８ ガイド １２ 固定子 １３ 可動子 １６ 熱伝導部材 １８ 熱伝導部材 ２０ ベース ２１ 熱絶縁部材 ２２ 溝 ２３ 溝 ２４ 空気通路 ２５ 空気通路 ２６ 通路

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C007 AS08 BS04 BT02 BT14 CV04 CW04 CY03 CY10 CY17 CY34 DS01 FS01 FU01 HS01 HS04 HS26 HS27 HT34 KS03 KS16 KS36 LT18 LV07 MT04 NS17 5E313 AA01 AA11 CC01 CC02 CC03 EE01 EE24 FF24 FF28 5E322 BA05 BB10 EA11 FA02

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】間隔を存して平行に設けられたガイドと、
   このガイドに沿って移動可能なビームと、このビームに
   設けられてこれに沿った方向に移動可能な装着ヘッド
   と、この装着ヘッドに設けられ電子部品を真空吸着して
   プリント基板上に装着する吸着ノズルとを備えた電子部
   品装着装置において、ガイドに設けられた固定子及び前
   記ビームに取り付けられた可動子を有して前記ビームを
   駆動するリニアモータと、前記ビームと可動子との間に
   設けられた熱絶縁部材とを備えたことを特徴とする電子
   部品装着装置。
2. 【請求項２】 前記ビームの線膨張係数は前記可動子よ
   り大きいことを特徴とする請求項１に記載の電子部品装
   着装置。
3. 【請求項３】 前記熱絶縁部材の前記可動子との接触面
   及び／または前記ビームとの接触面に複数の穴または溝
   を形成したことを特徴とする請求項１又は請求項２に記
   載の電子部品装着装置。
4. 【請求項４】 前記複数の溝の空気流出口が形成された
   熱絶縁部材と、前記複数の溝に空気を送る空気供給手段
   とを備えたことを特徴とする請求項３に記載の電子部品
   装着装置。
5. 【請求項５】 前記熱絶縁部材には、前記可動子との接
   触面に形成された複数の溝と前記ビームとの接触面に形
   成された複数の溝とを連通する通路が形成され、前記空
   気供給手段は前記ビーム側の複数の溝から前記可動子側
   の複数の溝へ前記通路を介して空気を流すことを特徴と
   する請求項４に記載の電子部品装着装置。