JP2002287045A5 - - Google Patents

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US6906848B2 (en) * 2003-02-24 2005-06-14 Exajoule, Llc Micromirror systems with concealed multi-piece hinge structures
JP4364565B2 (ja) 2003-07-02 2009-11-18 シャープ株式会社 静電アクチュエーター，マイクロスイッチ，マイクロ光スイッチ，電子機器および静電アクチュエーターの製造方法
JP4137872B2 (ja) 2004-03-31 2008-08-20 シャープ株式会社 静電アクチュエーター，マイクロスイッチ，マイクロ光スイッチ，マイクロ光スイッチシステム，通信装置および静電アクチュエーターの製造方法
JP4695956B2 (ja) * 2004-09-30 2011-06-08 富士フイルム株式会社 微小電気機械式変調素子及び微小電気機械式変調素子アレイ並びに画像形成装置
WO2007080789A1 (ja) * 2006-01-12 2007-07-19 Nippon Telegraph And Telephone Corporation ミラー素子およびミラー素子の製造方法
JP5051123B2 (ja) 2006-03-28 2012-10-17 富士通株式会社 可動素子
WO2008084520A1 (ja) * 2006-12-28 2008-07-17 Nikon Corporation 光学デバイス、パターン生成装置及びパターン生成方法、露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法
JP4861216B2 (ja) * 2007-03-06 2012-01-25 株式会社トプコン 駆動電源回路
KR101458904B1 (ko) 2008-01-18 2014-11-07 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치
JP4988655B2 (ja) * 2008-06-25 2012-08-01 パナソニック株式会社 半導体機械構造体
WO2012105055A1 (ja) 2011-02-04 2012-08-09 株式会社日立製作所 光学フィルタリング方法とそのデバイスおよび基板上欠陥検査方法とその装置
JP5867736B2 (ja) * 2011-02-04 2016-02-24 株式会社日立製作所 光学フィルタリングデバイス、並びに欠陥検査方法及びその装置

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