JP3985229B2 - マイクロメカニカルスイッチ - Google Patents
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Description
部分あるいは全部が静電気により他の構造体から浮かされたことを特徴としたマイクロメカニカルスイッチ。
21、22,23,24,25,26、ストッパー
30、31,32,33,34,35 駆動用電極
40、41,42,43,44,45、46 信号線
50,51 可動部
60、61、62 基板
71,72、73 コンタクト電極
81,82 上下用ストッパー
91,92 支柱
101,102、103 電極パッド
Claims (4)
- 静電気を駆動源としたスイッチにおいて、接点となる電極を有する略板状の可動部の一部分あるいは全部が静電気により他の構造体から浮かされるものにおいて、動作中は静電気により可動の支点となる部分を接触部分より浮かすための電極を有し、これとは別に可動部分を駆動させる電極を二つ以上有することを特徴としたマイロメカニカルスイッチ。
- 前記略板状の可動部が回転方向以外に動くのを制限する機構を有することを特徴とする請求項1記載のマイクロメカニカルスイッチ。
- 前記回転方向以外に動くのを制限するための機構が静電気力を利用することを特徴とする請求項2記載のマイクロメカニカルスイッチ。
- 前記マイクロメカニカルスイッチの製造プロセスが主にメッキ工程とフォトリソ工程の組み合わせで行われることを特徴とした請求項1ないし請求項3のいずれか1項記載のマイクロメカニカルスイッチ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003329814A JP3985229B2 (ja) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | マイクロメカニカルスイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003329814A JP3985229B2 (ja) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | マイクロメカニカルスイッチ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005108443A JP2005108443A (ja) | 2005-04-21 |
JP3985229B2 true JP3985229B2 (ja) | 2007-10-03 |
Family
ID=34532157
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003329814A Expired - Lifetime JP3985229B2 (ja) | 2003-09-22 | 2003-09-22 | マイクロメカニカルスイッチ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP3985229B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN103985608B (zh) * | 2014-05-29 | 2017-01-18 | 电子科技大学 | 一种具有pn结的mems电容开关 |
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2003
- 2003-09-22 JP JP2003329814A patent/JP3985229B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Publication date |
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JP2005108443A (ja) | 2005-04-21 |
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