JP2002283044A - 結晶シートの製造装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 シリコンシートなどの結晶シートの製造に対
する信頼性および生産性の向上を図り、熱損失を可及的
に少なくして、製造コストを低減することができるよう
にした結晶シートの製造装置および方法を提供する。 【解決手段】 外周面に浸漬部材を配設して成る保持体
５を、回転体３の外周面の１以上の凹所に回転摺動可能
に配置し、回転体３の外周面と仕切部材４とで構成され
る１以上の断熱室２９を設け、保持体５への浸漬工程の
みを１の断熱室２９ｃで行い、保持体５の供給や取出し
を別個の断熱室で行い、回転体３の回転により浸漬工
程、供給工程、取出し工程などをそれぞれ独立に、かつ
並行して作業可能にする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、太陽電池の結晶シ
リコン基板などの結晶シートを製造するために好適に実
施することができる結晶シートの製造装置および方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の技術における結晶シート製造技術
の一例として、太陽電池セルの基板に用いられる多結晶
シリコンの代表的な製造手順について述べる。炉内に封
止される高温の不活性ガス雰囲気中で、容器に入れた低
コスト精製シリコンなどのシリコン原料に、リンまたは
ボロンなどのドーパントを添加して、１４００℃以上の
高温で加熱溶融し、その融液を鋳型に流し込み、冷却し
て固化することによって、多結晶シリコンインゴットを
製造する鋳造法またはキャスト法と呼ばれる手法が採用
されている。

【０００３】この多結晶シリコンインゴットは、スライ
シング工程においてブレードソーまたはワイヤーソーに
よって切断され、複数のシリコンウエハに分割される。
こうして作成されたシリコンウエハは、洗浄工程、拡散
工程および電極形成工程などを経て、多結晶シリコン太
陽電池セルが製造される。

【０００４】このような従来の技術では、多結晶シリコ
ンインゴットを得るための鋳造工程に加え、多結晶シリ
コンインゴットをスライシングするスライス工程が必要
であるため、このスライス工程で、シリコンウエハを１
枚切断するたびに、ブレードまたはワイヤの厚み（約
０．２ｍｍ）と、砥粒の粒径（約０．０５ｍｍ）とを加
えた切り代（約０．３ｍｍ）に相当する材料が、切断粉
として除去されてしまうため、歩留まりが悪く、太陽電
池の製造コストに対する低コスト化を図る上で、大きな
障害になっている。

【０００５】他の従来の技術では、上記の従来の技術の
問題を解決するために、溶融シリコンから直接、シリコ
ンシートを作製する方法および装置が提案され、試みら
れつつある。この従来の技術は、炉内の不活性ガス雰囲
気中で、複数の浸漬部材を、順次的にシリコン融液中に
一定時間、浸漬させ、浸漬部材の表面にシリコンを付
着、成長させ、楔状の剥離部材によって浸漬部材に付着
しているシリコンシートを剥離し、この剥離されたシリ
コンシートを炉外に搬出する。

【０００６】各浸漬部材は、回転体の外周部に周方向に
間隔をあけて設けられ、この回転体は、前記シリコン融
液貯留される容器の上方で、略水平な回転軸線まわりに
回転駆動される。

【０００７】このように、この従来の技術では、回転体
の外周部に設けられている各浸漬部材の表面へのシリコ
ンシートの生成と、凝固したシリコンシートの浸漬部材
からの剥離回収とを、並行して行うことができるように
構成されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記の他の従来の技術
では、炉室内に備えられた剥離部材は、回転体の下方に
配置される容器内の溶融シリコンからの熱輻射によって
加熱される。この加熱によって、剥離部材は熱膨張して
変形を生じるため、剥離されたシリコンシートの形状精
度が低下するとともに、剥離部材自体の強度が低下して
破損しやすく、シリコンシートの製造に対する信頼性お
よび生産性が低いという問題がある。

【０００９】また、浸漬部材の表面へのシリコン融液の
付着およびシリコンシートの浸漬部材からの剥離を１つ
の炉室内で行うので、炉室全体が不活性ガスで占めら
れ、この不活性ガスを所定の温度範囲に維持しなければ
ならない。この炉室は、断熱性の壁によって構成されて
いるものの、容積が大きいために不活性ガスが接触する
壁内面の表面積が大きく、したがって不活性ガスの放熱
量が大きく、熱損失が多いという問題がある。

【００１０】さらに、シリコンシートを炉外へ取出すた
めにシャッタ板を開くと、炉内の高温の不活性ガスが、
炉体の開口を介して外部に放出され、この不活性ガスの
流出によっても、炉内の熱が外部へ持ち出されてしま
い、熱損失が多いという問題がある。

【００１１】本発明の目的は、シリコンシートなどの結
晶シートの製造に対する信頼性および生産性の向上を図
り、熱損失を可及的に少なくして、製造コストを低減す
ることができるようにした結晶シートの製造装置および
方法を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、製造されるべ
き結晶シートの原料を加熱溶融した融液が貯留される容
器と、前記容器内の融液に浸漬して前記融液を付着さ
せ、この付着した融液の成長、凝固によって結晶シート
を生成する浸漬部材と、半径方向外方に臨んで開口する
凹所が形成され、略鉛直な回転軸線まわりに回転自在な
回転体と、回転体の前記凹所内に収容され、前記浸漬部
材を保持する保持体と、回転体の外周面に対して僅かな
間隔をあけて対向する内周面が臨み、前記回転体が略鉛
直な回転軸線まわりに回転自在に収容される収容空間を
有し、前記回転体の回転に伴う凹所の移動経路の下方に
は前記容器が配置され、この容器が配置される位置から
回転方向にずれた位置に、前記凹所内の回転体が浸漬部
材を保持した状態で通過することができる通路が設けら
れるハウジングとを含むことを特徴とする結晶シートの
製造装置である。

【００１３】本発明に従えば、ハウジングは、収容空間
を有し、この収容空間には回転体と容器とが収容され
る。回転体には、半径方向外方に臨んで開口する凹所が
形成され、この凹所には保持体が収容され、保持体には
浸漬部材が保持される。このような回転体は、前記ハウ
ジングの収容空間内に略鉛直な回転軸線まわりに回転自
在に収容され、収容空間の内周面は回転体の外周面に対
して僅かな間隔をあけて対向している。また前記容器に
は、結晶シートの原料を加熱溶融した融液が貯留され、
この容器は、収容空間内において、回転体が回転軸線ま
わりに回転したときの前記凹所の移動経路の下方に配置
される。

【００１４】上記のように回転体が略鉛直な回転軸線ま
わりに回転自在であるので、この回転体を回転させて、
凹所が前記容器の直上に配置される回転位置に配置する
ことよって、凹所内で保持体に保持される浸漬部材を容
器内の融液に浸漬する位置へ移動させ、あるいは容器を
浸漬部材が融液に浸漬される位置まで移動させ、あるい
は浸漬部材および容器の双方を移動させて、浸漬部材を
融液に浸漬し、浸漬部材の表面に融液を付着させること
ができる。浸漬部材の表面に付着した融液は、時間経過
に伴う温度低下によって凝固する。このようして浸漬部
材の表面には、結晶シートが生成される。

【００１５】前記結晶シートが生成された浸漬部材は、
凹所内で保持体に保持されているため、回転体を凹所が
通路に連通する位置まで回動し、ハウジングから外部へ
取出すことができる。このような浸漬部材の取出し時に
おいては、回転体の外周面とハウジングの内周面との間
が、たとえば回転体の回転を許容し得るような僅かな間
隔とされるので、通路は凹所だけに連通し、収容空間全
体が前記従来の技術のように開放されてしまうことがな
く、凹所内およびその周囲の不活性ガスだけが前記通路
を介して外部へ流出されるが、それ以上の不活性ガスの
流出は阻止または抑制される。

【００１６】したがってハウジング内の収容空間に存在
する不活性ガスが大量に外部へ流出してしまうという不
具合が防がれるとともに、大量の不活性ガスの流出に伴
う熱の持ち出しが防がれ、不活性ガスの消費量および熱
損失が格段に低減されて、結晶シートの製造に対する低
コスト化を図ることができる。

【００１７】さらに、熱損失が低減されるので、収容空
間内の雰囲気温度の変化が軽微に抑えられ，雰囲気温度
変化に起因する融液温度変化による結晶シートの形成精
度の低下が防がれ、結晶シートの製造に対する信頼性お
よび生産性が向上される。

【００１８】また本発明は、前記保持体には、外周部に
周方向に間隔をあけて複数の浸漬部材が着脱可能に設け
られ、前記保持体には、回転体を凹所内で略水平な回転
軸線まわりに回転する保持体回動手段が設けられること
を特徴とする。

【００１９】本発明に従えば、保持体の外周部に複数の
浸漬部材が周方向に間隔をあけて設けられ、この保持体
が、保持体回動手段によって、凹所内で略水平な回転軸
線まわりに回転されるので、容器の上方に回転体の凹所
を配置した状態で、複数の浸漬部材を融液に浸漬して、
１つの凹所内で複数の結晶シートを連続して生成するこ
とができる。したがって単位数量あたりの結晶シートの
製造に対して必要とされる不活性ガスの消費量および熱
損失量が格段に少なくて済み、結晶シートの生産効率が
向上され、製造コストが低減される。

【００２０】また本発明は、前記通路は、ハウジングの
前記容器が配置される浸漬位置に関して、回転体の回転
方向上流側に設けられる供給通路と、前記浸漬位置に関
して回転体の回転方向下流側に設けられる取出し通路と
を有し、ハウジングの前記供給通路が設けられる一側部
の近傍には、供給通路を介して回転体の凹所に保持体を
供給する保持体供給手段が設けられることを特徴とす
る。

【００２１】本発明に従えば、保持体供給手段は、供給
通路を介して回転体の凹所内に保持体を供給し、凹所が
容器の上方に配置される位置に回転体を回動させ、浸漬
部材を融液へ浸漬させた後、回転体を回動させて凹所を
取出し通路に連通させて、表面に結晶シートが生成され
た浸漬部材を保持体とともに取出し、さらに回転体を回
動させて凹所を前記供給通路に連通させる、という連続
処理が可能となり、結晶シートの生産効率を、より一
層、向上して、製造コストを低減することが可能とな
る。

【００２２】また本発明は、前記通路は、ハウジングの
前記容器が配置される浸漬位置に関して、回転体の回転
方向上流側に設けられる供給通路と、前記浸漬位置に関
して、回転体の回転方向下流側に設けられる取出し通路
とを有し、ハウジングの前記取出し通路が設けられる一
側部の近傍には、取出し通路を介して回転体の凹所から
保持体を取外す保持体取出し手段が設けられることを特
徴とする。

【００２３】本発明に従えば、供給通路を介して回転体
の凹所内に保持体を供給し、凹所が容器の上方に配置さ
れる位置に回転体を回動させ、浸漬部材を融液へ浸漬さ
せた後、回転体を回動させて凹所を取出し通路に連通さ
せて、保持体取出し手段によって、表面に結晶シートが
生成された浸漬部材を保持体とともに取出し、さらに回
転体を回動させて凹所を前記供給通路に連通させる、と
いう連続処理が可能となり、結晶シートの生産効率を、
より一層、向上して、製造コストを低減することが可能
となる。

【００２４】また本発明は、前記回転体の凹所には、加
熱手段が設けられることを特徴とする。

【００２５】本発明に従えば、凹所に加熱手段が設けら
れるので、凹所内に保持部材に保持された浸漬部材が供
給されてから融液に浸漬されるまでの間、浸漬部材を加
熱することができる。前記浸漬部材が融液に浸漬される
までの間、浸漬部材を加熱手段によって加熱することに
よって、浸漬部材を融液温度付近に予備加熱し、浸漬部
材と融液との温度差を小さくし、浸漬部材の表面に融液
を均一に付着させ、浸漬部材の表面に均一な厚みで結晶
シートを生成することが可能となり、結晶シートの形状
精度の安定性が得られ、結晶シートの製造に対する信頼
性を向上することができる。

【００２６】また本発明は、前記回転体には、複数の凹
所が周方向に予め定める間隔をあけて設けられ、ハウジ
ングの供給通路に各凹所のうちの１つが連通したとき、
残余の凹所が容器の上方または取出し通路に配置される
ことを特徴とする。

【００２７】本発明に従えば、回転体に複数の凹所を形
成して、１つの凹所が供給通路に連通したとき、残余の
凹所は容器の上方か、あるいは取出し通路に配置される
ので、前記供給通路を介して保持体を前記１つの凹所に
供給するとともに、残余の凹所に収容される保持体に設
けられる浸漬部材を容器内の融液に浸漬し、または取出
し通路から前記融液に浸漬された浸漬部材を保持する保
持体を取出す作業を並行して行うことができる。これに
よって結晶シートの生産効率が格段に向上される。

【００２８】また本発明は、前記容器を、浸漬部材が容
器内の融液に浸漬する上昇位置と、保持体の回転を許容
する下降位置とにわたって変位させる容器昇降手段とを
含むことを特徴とする。

【００２９】本発明に従えば、回転体の凹所が容器の上
方に配置されたとき、容器昇降手段によって容器を上昇
させ、凹所内の保持体に保持されている浸漬部材を前記
容器内の融液に浸漬させることができる。また、浸漬部
材を融液に浸漬しないときには、容器昇降手段によって
容器を下降させて、容器を回転体に干渉しない待避位置
へ後退させることができる。

【００３０】このように容器昇降手段によって容器を昇
降変位させることができるので、簡単な構成で、ハウジ
ング内を開放せずに、凹所内を、保持体を保持するため
の最小限の容積とすることができる。

【００３１】さらに本発明は、不活性ガス雰囲気とされ
る炉内空間に、製造されるべき結晶シートの原料を加熱
溶融した融液が貯留される容器を配置し、前記不活性ガ
ス雰囲気内の予め定める供給位置で、前記融液が貯留さ
れる容器上を経由して循環移動する凹所を、炉外に個別
に開放して、周方向に間隔をあけて複数の浸漬部材が保
持される保持体を、各凹所内に順次的に収容する工程
と、各凹所内の保持体が前記容器上に配置されたとき、
その保持体を回転させながら各浸漬部材を前記容器内の
融液に浸漬する工程と、前記融液への浸漬によって各浸
漬部材に融液が付着した保持体を、前記凹所に収容した
状態で、前記移動方向下流側の予め定める取出し位置に
順次的に移動して、各凹所を炉外に個別に開放し、開放
された凹所から保持体を取出して、各浸漬部材から結晶
シートを剥離する工程とを含むことを特徴とする。

【００３２】本発明に従えば、炉内の不活性ガス雰囲気
中で、融液が貯留される容器の上方を経由して循環移動
する凹所に、予め定める供給位置で保持体を収容し、こ
の保持体を回転させて掻く浸漬部材を融液に浸漬し、取
出し位置で保持体を取出して、各浸漬部材から結晶シー
トを剥離することによって、結晶シートが製造されるの
で、前記供給位置および取出し位置以外で炉内が大気に
開放されることなしに、各浸漬部材に結晶シートを生成
することができる。これによって炉内から大気へ不活性
ガスの放散を抑制して、炉内に開放による温度低下を防
ぎ、不活性ガスの消費量および不活性ガスの放散に伴う
熱の持ち出しを低減して、連続して結晶シートを生成す
ることが可能となる。これによって結晶シートの製造に
対する信頼性および生産性を向上し、低コストで結晶シ
ートを製造することが可能となる。

【００３３】また本発明は、各凹所の保持体は独立して
各工程を実行し、かつ各工程が並行して実行されること
を特徴とする。

【００３４】本発明に従えば、回転体の複数の凹所のう
ちの１つが保持体を収容する工程にあるとき、残余の凹
所はすでに収容されている保持体を融液に浸漬する工程
か、あるいは融液が付着した保持体を取出して結晶シー
トを剥離する工程にあるので、保持体を前記１つの凹所
に供給するとともに、残余の凹所に収容される保持体に
設けられる浸漬部材を容器内の融液に浸漬し、または前
記融液に浸漬された浸漬部材を保持する保持体を取出す
作業を並行して行うことができる。これによって結晶シ
ートの生産効率が格段に向上される。

【００３５】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の実施の一形態の
結晶シートの製造装置の概略的構成を示す水平断面図で
あり、図３の切断面線Ｉ−Ｉから見た断面を示す。図２
は、図１の下方から見た保持体付近の拡大正面図であ
る。本実施の形態の結晶シートの製造装置（以下、製造
装置と略記する場合がある）は、装置本体１、第１搬送
装置５５、供給装置５０、取出し装置４０、および第２
搬送装置４５を含む。この製造装置は、結晶シートの製
造方法を実施するために用いられ、本実施の形態では、
前記結晶シートの一例として、太陽電池の多結晶シリコ
ン基板を製造する場合について説明する。

【００３６】前記装置本体１は、中空で直方体状のハウ
ジング２と、このハウジング２内のほぼ中央部に、略鉛
直な回転軸線Ｌ１まわりに回転自在に設けられる回転体
３とを含む。ハウジング２は、過度の温度上昇を防止す
るために水冷構造とされる。この水冷構造としては、ハ
ウジング２を構成する壁体内に流路を形成して冷却水を
通過させる構成であってもよく、あるいは前記壁体の外
表面に水冷管を巻回して接合し、冷却水を通過させる構
成であってもよい。

【００３７】前記回転体３は、外周面が前記回転軸線Ｌ
１を中心とする直円筒面の一部を成す筒状体であって、
熱膨張率の小さい耐熱性材料、たとえばセラミックから
成り、場合によっては前記回転体３の内壁部に水冷管を
配置した構造とする。回転体３の外周部には、各保持体
５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ（総称する場合には、保持体５
と記す場合がある）を収納する凹所６ａ，６ｂ，６ｃ，
６ｄ（総称する場合には、凹所６と記す場合がある）が
周方向に９０°毎に設けられる。各凹所６ａ〜６ｄ内に
は、各保持体５ａ〜５ｄに周方向両側から臨み、各保持
体５ａ〜５ｄにそれぞれ保持される浸漬部材２７を加熱
する予備加熱装置２８が設けられる。

【００３８】前記回転体３内の空間３ａには、各保持体
５ａ〜５ｄを、各凹所６ａ〜６ｄに収容された状態から
半径方向外方に突出させ、かつこの突出した状態から半
径方向内方に待避させるために一対の複動シリンダ９
ａ，９ｂが設けられ、回転体３には、前記空間３ａから
各凹所６ａ〜６ｄのほぼ中央に貫通する回転軸１０ａ〜
１０ｄが設けられる。各回転軸１０ａ〜１０ｄの凹所６
ａ〜６ｄ内に突出する部分には、各保持体５ａ〜５ｄが
着脱可能に装着される。

【００３９】回転体３とハウジング２との間には、仕切
部材４ａ〜４ｄが前記ハウジング２の４隅の内面に固着
して設けられる。これらの仕切部材４ａ〜４ｄによっ
て、ハウジング２と回転体３との間の空間が、複数（本
実施の形態では４）の断熱室２９ａ〜２９ｄに仕切られ
る。各仕切部材４ａ〜４ｄの内周面は、前記回転体３の
外周面を含む直円筒面よりも僅かに大径の直円筒面の一
部を成し、回転体３の各外周面から半径方向外方に、回
転体３の回転を許容し得る程度の微小な間隔ΔＬ１をあ
けて離間している。

【００４０】したがって各断熱室２９ａ〜２９ｄは、相
互間の自由な雰囲気ガスの移動を許容しない、いわば遮
蔽状態とされる。これらの断熱室２９ａ〜２９ｄは、前
記回転体３の回転方向Ｃに沿って、各保持体５を回転軸
１０ａ〜１０ｄに順次的に装着する供給行程、回転体３
を回転方向Ｃに９０°回動した位置で待機する待機行
程、保持体５に保持される各浸漬部材２７を容器１２に
貯留される融液に浸漬する浸漬行程、および浸漬行程に
おいて各浸漬部材２７に融液が付着・凝固した保持体５
を凹所６からハウジング２の外方へ取出す取出し行程に
それぞれ対応して、９０°毎に振り分けられた供給位置
Ｐ１、停止位置Ｐ２、浸漬位置Ｐ３および取出し位置Ｐ
４にそれぞれ設けられている。

【００４１】前記容器１２は、浸漬位置Ｐ３の断熱室２
９ｃ内に、回転体３の回転軸線Ｌ１まわりの回転によっ
て移動する保持体５の移動経路の下方に設けられる。こ
の容器１２は、坩堝によって実現され、前記多結晶シリ
コンを加熱溶融した融液が貯留される。容器１２の周囲
には、容器１２内の被加熱材料、すなわち本実施の形態
では多結晶シリコンを加熱するための誘電加熱装置８
と、容器１２を上下移動させる昇降台１３とが設けられ
る。浸漬位置Ｐ３に配置される断熱室２９ｃには、たと
えば酸化などのように融液が不純物材料と反応すること
を避けるため、不活性ガス雰囲気とされる。この不活性
ガスとしては、たとえばＡｒガスが用いられる。

【００４２】前記ハウジング２は、後述の図３に示され
るように、基台７７上に設置され、水平断面が矩形の周
壁６１と、周壁６１の上端開口部を塞ぐ天板１４と、周
壁６１の下端開口部を塞ぐ底板１５とを有する。周壁６
１は、周方向両端部で相互に直角に屈曲して連なる４つ
の周壁部分６２ａ〜６２ｄから成る。

【００４３】供給位置Ｐ１に配置される周壁部分６２ａ
には、供給側透孔６３が形成され、この供給側透孔６３
は、外周部に周方向に間隔をあけて複数の浸漬部材２７
を備える保持体５が遊通することができる。また、取出
し位置Ｐ４に配置される周壁部分６２ｄには、取出し側
透孔６４が形成され、この取出し側透孔６４には、外周
部に融液への浸漬によって表面に結晶シリコン膜が生成
された浸漬部材２７を備える保持体５が遊通することが
できる。各透孔６３，６４は、各周壁部分６２ａ，６２
ｄに開閉可能に設けられる扉６５，６６によって塞がれ
る。

【００４４】前記供給側透孔６３の外側方（図１の上
方）には、供給装置５０が設けられる。この供給装置５
０は、第１搬送装置５５によって矢符Ａ方向に搬送され
てきた保持体５を、供給位置Ｐ１に配置されている凹所
６ａ内に供給して、その凹所６ａ内に突出している回転
軸１０ａに装着する着脱装置５１と、前記周壁部分６２
ａに気密に接合され、前記着脱装置５１が収容される中
空直方体状のカバー体５３とを含む。

【００４５】カバー体５３は、前記供給位置Ｐ１に配置
される周壁部分６２ａに臨んで開放する箱状体である。
このカバー体５３の一側部には、第１搬送装置５５によ
って矢符Ａ方向に搬送されてきた保持体５が、着脱装置
５１によって把持された状態で、カバー体５３の前記空
間内へ通過することができる搬入孔６７が形成され、こ
の搬入孔６７は開閉可能な扉６９によって塞がれる。こ
れらの扉６６，６９が閉じられた状態では、カバー体５
３内の空間は、気密な状態で閉鎖される。

【００４６】供給側の着脱装置５１は、略鉛直な回転軸
線Ｌ２まわりに矢符Ｄ１，Ｄ２方向に回動する回動部７
１と、回動部７１から一半径線方向に突出し、先端部を
保持体５に挿入して把持することができるアーム７２と
を有する。

【００４７】取出し装置４０は、カバー体４３と、カバ
ー体４３内に収容され、矢符Ｅ１，Ｅ２方向に回動する
着脱装置４１とを有する。カバー体４３は、ハウジング
２の取出し位置Ｐ４に配置される周壁部分６２ｄに、開
閉可能な扉６６によって塞がれる取出し側透孔６４を外
囲して、気密に接続される。前記着脱装置４１は、略鉛
直な回転軸線Ｌ３まわりに矢符Ｅ１，Ｅ２方向に回動す
る回動部７３と、回動部７３から一半径線方向に突出
し、先端部を保持体５に挿入して把持することができる
アーム７４とを有する。この取出し側の着脱装置４１
は、前記供給側の着脱装置５１と同様な構成を有する。

【００４８】図３は、図１の切断面線ＩＩＩ−ＩＩＩか
ら見た断面図である。なお、図３は、図解を容易にする
ため、簡略化して示されている。前記ハウジング２は、
たとえば床７６に載置される基台７７によって支持さ
れ、床７６から上方に離間して、底板１５と床７６との
間には、空隙７８が形成されている。底板１５の上面に
は、回転体３の回転軸１７を前記回転軸線Ｌ１まわりに
回転自在に軸支する上下一対の軸受１９ａ，１９ｂを備
える軸受ホルダ１８が固定される。前記回転軸３は、底
板１５を下方へ貫通し、この底板１５から突出する下端
部には、第１歯車２０が固定される。

【００４９】前記底板１５の下面には、ブラケット７９
が固定され、このブラケット７９には主駆動モータ２２
が搭載される。主駆動モータ２２の出力軸には、第２歯
車２１が固定され、第２歯車２１は前記第１歯車２０に
噛合し、主駆動モータ２２の回転トルクが前記回転軸１
７に伝達され、回転体３が回転方向Ｃに回転駆動され
る。前記第１歯車２０と第２歯車２１とは、減速機を構
成する。

【００５０】前記底板１５の下面にはまた、前記容器１
２の下方でもう１つのブラケット８０が固定される。こ
のブラケット８０には、昇降用モータ２４が搭載され、
その出力軸にはねじ軸８１が同軸に連なり、底板１５を
その厚み方向に貫通して固定される案内軸８２に挿通さ
れた案内軸８３内に挿入される。案内軸８３内には、図
示しないナットが装着され、このナットの前記ねじ軸８
１が螺着され、ボールねじ機構を実現している。

【００５１】昇降用モータ２４の出力軸を介するねじ軸
８１の回転は、前記ナットによって軸線方向の変位に変
換され、このナットを内臓する案内軸８３が昇降変位す
る。このような案内筒８３の上端部には、前記昇降台１
３が垂直に固定され、昇降台１３の略水平な上面に容器
１２を載置して、昇降変位させることができる。

【００５２】回転体３は、前記各凹所６ａ〜６ｄが形成
される略円筒状の周壁８４と、周壁８４の下端部を塞ぐ
底壁８５と、底壁８５の下端部から下方に連なり、少な
くとも内周面が直円筒状の案内壁８６と、周壁８４の上
端部を塞ぐ上蓋１６とを有する。底壁８５の中央部に
は、前記回転軸１７の上端部が固定され、回転軸１７は
回転体３の回転軸線Ｌ１と共通な一直線上に回転軸線を
有する。

【００５３】図４は、回転体３の各凹所６ａ〜６ｄ内に
保持体５ａ〜５ｄが収容された状態を示す断面図であ
り、図５は浸漬位置Ｐ３に配置された凹所６ｃから保持
体５ｃが突出した状態を示す断面図である。

【００５４】回転体３の周壁８４と案内壁８６とから成
る側壁をその厚み方向に貫通して固定される軸受け３６
ａ,６ｃ内に、各保持体５ａ〜５ｄが着脱可能に装着さ
れた回転軸１０ａ，１０ｃが、その軸線方向に摺動可能
に挿入され、空間３ａから各凹所６ａ，６ｃのほぼ中央
に貫通する。

【００５５】回転体３の空間３ａ内には、略中央で直角
に屈曲している板状のＬアングル３８ａ，３８ｂの一側
部の直角をなす面に、回転体駆動モータ３２ａ，３２ｃ
がその出力軸が前記一側部の厚み方向に貫通して固定さ
れる。回転体駆動モータ３２ａ，３２ｃの出力軸と回転
軸１０ａ，１０ｃとは、カップリング３３ａ，３３ｃで
同軸に連なる。

【００５６】Ｌアングル３８ａ，３８ｂの他方の一側部
は、その直角をなす面の反対面が、軸受けブロック３７
ａ，３７ｂの上面と接触して固定され、この軸受けブロ
ック３７ａ，３７ｂ内に摺動軸２３ａ，２３ｂが挿通さ
れる。この摺動軸２３ａ，２３ｂは、その軸線方向を略
水平にして前記軸受けブロック３７ａ，３７ｂが底板１
５と離間して、その一端ずつが底板１５の上面に固定さ
れた軸保持金具２６ａ，２６ｃと前記案内壁８６とにそ
れぞれ固定される。

【００５７】前記底板１５の下面にはまた、ミニシリン
ダ３９ａ，３９ｂがその軸２５ａ，２５ｂが底板１５を
その厚み方向に貫通して固定される。この軸２５ａ，２
５ｂは、前記摺動軸２３ａ，２３ｂの下端と接するか、
あるいは下端よりわずかに下方の位置から、前記軸受け
ブロック３７ａ，３７ｂの下端より下方の位置まで昇降
変位し、摺動軸２３ａ，２３ｂに沿って摺動可能な軸受
けブロック３７ａ，３７ｂの動きを規制する。

【００５８】前記Ｌアングル３８ａ，３８ｂにおける前
記回転体駆動モータ３２ａ，３２ｃが固定された面の上
方には、複動シリンダ９ａの一端ずつが、その軸線方向
を前記回転体駆動モータ３２ａ，３２ｂの出力軸と並行
して、それぞれリンク機構で連結されている。

【００５９】複動シリンダ９ｂは、前記複動シリンダ９
ａとその上方で直交し、前記複動シリンダ９ａに連動す
る構造部からなる機構部と同様の構造部に連動するよう
に配置され、複動シリンダ９ａを含む機構部と同様の機
構部が構成される。複動シリンダ９ａ，９ｂについては
交錯するため、複動シリンダ９ａより高い位置で複動シ
リンダ９ｂは直交して配置されるが、回転体駆動モータ
３２ａ，３２ｂは互いに干渉しないため、同じ高さ位置
で配置される。

【００６０】次に、本実施の形態の結晶シートの製造装
置の動作について説明する。図１および図２をも参照し
て、供給位置Ｐ１から停止位置Ｐ２を経て浸漬位置Ｐ３
の断熱室２９ｃに配置された保持体５ａは、複動シリン
ダ９ｂによって、凹所６ａから半径方向外方へ突出した
突出位置と、この突出位置から半径方向内方へ変位して
前記凹所６ａ内に収容される収容位置とにわたって往復
変位駆動される。図１には、浸漬位置Ｐ３で保持体５ａ
が凹所６ａから半径方向外方へ変位して突出位置の配置
された状態が示されている。

【００６１】この後、図２に示されるように、保持体５
ａの外周部に配設された複数の浸漬部材２７のうち最も
下方に配置される浸漬部材２７が融液に浸漬される位置
まで、容器１２を上昇させて、保持体５ａを回転して各
浸漬部材２７を順次的に融液１１に浸漬し、各浸漬部材
２７の表面に融液を付着させて、シリコンシートを生成
する。その後、保持体５ａをその回転軸１０ａのまわり
で回転させ、各浸漬部材２７表面に順次シリコンを付着
させ、凝固成長させる。浸漬部材２７表面へのシリコン
の凝固成長は、保持体５ａを１回転することにより終了
する。保持体５ａの回転停止後、容器１２および融液１
１と保持体５ａが接触しない位置まで容器１２を下降さ
せ、保持体５ａを凹所６ａに移動して待避させる。な
お、回転体３の内部機構および容器１２の動作の詳細に
ついては、後述する。

【００６２】次いで、保持体５ａが凹所６ａ内へ待避し
た後、回転体３は、仕切部材４ａ〜４ｄの内周部に沿っ
て、矢符Ｃで示す反時計方向に９０°回転し、凹所６ａ
が取出し位置Ｐ４の断熱室２９ｄに配置されて停止す
る。このとき、保持体５ａの凹所６ａ内は、容器１２内
シリコン融液１１の輻射熱による余熱を有したまま断熱
室２９ｄに移動されて徐冷される。凹所６ａの徐冷によ
って、図２のように保持体５ａの外周面の浸漬部材２７
に付着したシリコンも、凹所６ａ内で徐冷される。

【００６３】装置本体１の扉６６が開かれ、取出し装置
４０では、着脱装置４１の回動部７３を回転軸線Ｌ３ま
わりに矢符Ｅ２で示す反時計方向に略９０°回動して、
そのアーム７４の先端部を扉７０に対峙する方向から扉
６６に対峙する方向へ向きを変える。扉６６が開いた
後、断熱室２９ｄでは、複動シリンダ９ｂおよび回転軸
１０ａによって凹所６ａ内に待避させていた保持体５ａ
を半径方向外方に突出させる。このとき、アーム７４の
先端部を一半径線方向に突出して断熱室２９ｄ保持体５
に挿入して、保持体５ａが把持される。

【００６４】着脱装置４１は、アーム７４の先端部が保
持体５ａを把持したまま、その先端部を突出前の位置ま
で引込んで、保持体５ａを凹所６ａの回転軸１０ａから
外し、回転軸線Ｌ３まわりに矢符Ｅ１で示す時計方向に
略９０°回動し、扉７０に対峙する位置で停止する。こ
のとき扉７０が開き、保持体５ａが把持された先端部を
一半径線方向に突出し、カバー体４３の搬入孔６８を通
過して第２搬送装置４５の保持体５ｅの位置に装着させ
た後、前記先端部を突出前の位置まで引込む。第２搬送
装置４５では、扉７０を塞いで矢符Ｂ方向に保持体５ａ
が搬送されていく。

【００６５】次いで、取出し位置Ｐ４にて凹所６ａから
保持体５ａが取出された回転体３は、仕切部材４ａ〜４
ｄの内周部に沿って、矢符Ｃで示す反時計方向に９０°
回動し、凹所６ａが供給位置Ｐ１の断熱室２９ａに配置
されて停止する。第１搬送装置５０によって保持体５ｆ
が矢符Ａ方向に搬送され、着脱装置５１は、アーム７２
の先端部を回転軸線Ｌ２まわりに矢符Ｄ２で示す時計方
向に略９０°回動し、扉６９に対峙する位置で停止す
る。このとき扉６９が開き、アーム７２の先端部を一半
径線方向に突出し、カバー体５３の搬入孔６７を通過し
て保持体５ｆに挿入して把持し、そのまま先端部を突出
前の位置まで引込み、扉６９が塞がれる。

【００６６】着脱装置５１は、アーム７２の先端部が保
持体５ｆを把持したまま、その先端部を回転軸線Ｌ２ま
わりに矢符Ｄ１で示す時計方向に略９０°回動し、扉６
５に対峙する位置で停止する。装置本体１の扉６５が開
かれ、着脱装置５１は、保持体５ｆが把持された先端部
を一半径線方向に突出し、ハウジング２の供給側透孔６
３を通過して、断熱室２９ａ内の凹所６ａの回転軸１０
ａに保持体５ｆを装着する。その後、先端部を突出前の
位置まで引込み、扉６５が塞がれる。

【００６７】次いで、供給位置Ｐ１にて凹所６ａに保持
体５ｆが装着された回転体３は、仕切部材４ａ〜４ｄの
内周部に沿って、矢符Ｃで示す反時計方向に９０°回動
することによって、停止位置Ｐの断熱室２９ｂ内に凹所
６ａが配置されて停止する。この回転体３の回動開始と
同時に、図２に示されるように、保持体５ｆの両側で凹
所６ａの内周部に配設された予備加熱装置２８により、
保持体５ｃの外周部に配設された浸漬部材２７を加熱開
始する。配設された全ての浸漬部材２７を均一に加熱す
るため、加熱と同時に保持体５ｆの回転を進行させる。

【００６８】次いで、保持体５ｆが装着された凹所６ａ
が停止位置Ｐ２の断熱室２９ｂに配置されていた回転体
３は、矢符Ｃで示す反時計方向に９０°回動し、凹所６
ａが浸漬位置Ｐ３の断熱室２９ｃに配置されて停止し、
前述の動作を繰返す。

【００６９】前述の予備加熱装置２８による予備加熱お
よび保持体５ｃの回転は、加熱温度に応じて、最長で、
凹所６ａが断熱室２９ｃ内に配置されて回転体３が停止
するまで進行させることが可能である。

【００７０】以上の動作説明においては、回転体３の凹
所６ａが浸漬位置Ｐ３の断熱室２９ｃ内に配置された状
態から、回転体３が矢符Ｃ方向に３６０°回動し、再び
凹所６ａが断熱室２９ａ内に戻るまでの浸漬位置Ｐ３、
取出し位置Ｐ４、供給位置Ｐ１、停止位置Ｐ２における
動作について説明した。各凹所６ｂ，６ｃ，６ｄについ
ても、動作時期が異なること以外は凹所６ａが配置され
る浸漬位置Ｐ３、取出し位置Ｐ４、供給位置Ｐ１、停止
位置Ｐ２における動作と全く同様である。浸漬位置Ｐ
３、取出し位置Ｐ４、供給位置Ｐ１、停止位置Ｐ２にお
ける動作は独立に、かつ並行して行われる。

【００７１】次に、前記容器１２の動作について図１〜
図３により詳細に説明する。浸漬位置Ｐ３の断熱室２９
ｃ内で、多結晶シリコン融液１１を貯留する容器１２
は、昇降台１３上に載置され、その多結晶シリコン融液
１１は、容器１２の周囲に設けられた誘電加熱装置８に
よって加熱される。昇降台１３は、回転軸線Ｌ１回りに
回転体３が回動する際に、保持体５と接触しない高さに
位置する。前述のように、保持体５ａが凹所６ａから突
出されると、昇降台１３は、昇降用モータ２４によっ
て、保持体５ａの外周部に配設された複数の浸漬部材２
７のうち最も下方に配置される浸漬部材２７が多結晶シ
リコン融液１１に浸漬される位置まで、上昇される。前
述のように、回転軸１０ａまわりに保持体５ａが１回転
して保持体５ａに配設された全ての浸漬部材２７が多結
晶シリコン融液１１に浸漬された後、昇降台１３は、昇
降用モータ２４によって降下されて上昇前の高さに位置
する。

【００７２】次に、前記回転体３の内部機構による動作
の詳細について図３〜図５により説明する。

【００７３】図４のように複動シリンダ９ａが収縮した
状態で、軸受けブロック３７ａ，３７ｂがミニシリンダ
３９ａ，３９ｂの軸２５ａ，２５ｂの上方より回転体３
の半径方向内方に位置するとき、軸２５ｂがミニシリン
ダ３９ｂによって軸線方向上方に伸長する。一方、軸２
５ａは、軸受けブロック３７ａの下端より下方に待避し
ている。このとき複動シリンダ９ａが伸長すると、軸受
ブロック３７ｂは、軸２５ｂより回転体３の半径方向外
方への動きが規制され、複動シリンダ９ａとリンク機構
で連結しているＬアングル３８ａ下面に固定された軸受
けブロック３７ａは、摺動軸２３ａに沿って回転体３の
半径方向外方へ動く。保持体５ｃは凹所６ｃから突出さ
れてシリコン融液１１の液面上方に移動し、図５の状態
になる。図５の状態で、複動シリンダ９ａの引込み動作
により、軸受けブロック３７ａは摺動軸２３ａに沿って
回転体３の半径方向内方へ動き、保持体５ｃを凹所６ｃ
内部へ収納する。

【００７４】次いで、回転体３を回転方向Ｃに沿って９
０°ずつ２回、すなわち１８０°回動して、保持体５ａ
が浸漬位置Ｐ３に配置され、複動シリンダ９ａが収縮し
た状態で、軸受けブロック３７ａ，３７ｂがミニシリン
ダ３９ａ，３９ｂの軸２５ａ，２５ｂの上方より回転体
３の半径方向内方に位置するとき、軸２５ａがミニシリ
ンダ３９ａによって軸線方向上方に伸長する。一方、軸
２５ｂは、軸受けブロック３７ｂの下端より下方に待避
している。このとき複動シリンダ９ａが伸長すると、軸
受ブロック３７ａは、軸２５ａより回転体３の半径方向
外方への動きが規制され、複動シリンダ９ａとリンク機
構で連結しているＬアングル３８ｂ下面に固定された軸
受けブロック３７ｂは、摺動軸２３ｂに沿って回転体３
の半径方向外方へ動く。保持体５ａは凹所６ａから突出
されてシリコン融液１１の液面上方に移動する。複動シ
リンダ９ａの引込み動作により、軸受けブロック３７ｂ
は摺動軸２３ｂに沿って回転体３の半径方向内方へ動
き、保持体ａを凹所６ａ内部へ収納する。

【００７５】保持体５ｂ，５ｄについても、複動シリン
ダ９ｂを含む機構部によって、保持体５ａ，５ｃと同様
に動作する。

【００７６】以上の動作において、回転体３の９０°位
置決め回転制御、昇降台１３の昇降変位制御、回転軸１
０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄの突出し動作、回転軸１
０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄの回転動作、ミニシリン
ダ３９ａ，３９ｂの伸縮動作などは、シーケンサによっ
てプログラム制御されている。

【００７７】本実施の形態による結晶シートの製造装置
は、前述の構造および動作により、結晶シートが生成さ
れた浸漬部材は、凹所内で保持体に保持され、回転体の
外周面とハウジングの内周面との間が回転体の回転を許
容し得る僅かな間隔とされるので、回転体を凹所が通路
に連通する位置まで回動してハウジングから外部へ保持
体を取出すことができ、通路は凹所だけに連通し、断熱
室全体が前記従来の技術のように開放されてしまうこと
がなく、凹所内およびその周囲の不活性ガスだけが通路
を解して外部へ流出されるが、それ以上の不活性ガスの
流出は阻止または抑制される。

【００７８】したがってハウジング内の断熱室に存在す
る不活性ガスが大量に外部へ流出してしまうという不具
合が防がれるとともに、大量の不活性ガスの流出に伴う
熱の持ち出しが防がれ、不活性ガスの消費量および熱損
失が格段に低減されて、結晶シートの製造に対する低コ
スト化を図ることができる。

【００７９】また、熱損失が低減されるので、収容空間
内の雰囲気温度の変化が軽微に抑えられ，雰囲気温度変
化に起因する融液温度変化による結晶シートの形成精度
の低下が防がれ、結晶シートの製造に対する信頼性およ
び生産性が向上される。

【００８０】また、外周部に複数の浸漬部材が周方向に
間隔をあけて設けられた保持体が、保持体回動手段によ
って凹所で略水平な回転軸線まわりに回転され、容器の
上方に回転体の凹所を配置した状態で、複数の浸漬部材
を融液に浸漬して、１つの凹所内で複数の結晶シートを
連続して生成することができるので、単位数量あたりの
結晶シートの製造に対して必要とされる不活性ガスの消
費量および熱損失量が格段に少なくて済み、結晶シート
の生産効率が向上され、製造コストが低減される。

【００８１】さらに、保持体供給手段は、供給通路を介
して回転体の凹所内に保持体を供給し、凹所が容器の上
方に配置される位置に回転体を回動させ、浸漬部材を融
液に浸漬させた後、回転体を回動させて凹所を取出し通
路に連通させて、保持体取出し手段によって、表面に結
晶シートが生成された浸漬部材を保持体とともに取出
し、さらに回転体を回動させて凹所を供給通路に連通さ
せる、という連続処理が可能となり、結晶シートの生産
効率を、より一層向上して、製造コストを低減すること
が可能となる。

【００８２】また、凹所に加熱手段が設けられ、凹所内
に保持部材に保持された浸漬部材が供給されてから融液
に浸漬されるまでの間、浸漬部材を融液温度付近に予備
加熱して浸漬部材と融液との温度差を小さくし、浸漬部
材の表面に融液を均一に付着させて均一な厚みで結晶シ
ートを生成することができ、結晶シートの形状精度の安
定性が得られ、結晶シートの製造に対する信頼性を向上
することができる。

【００８３】また、回転体に複数の凹所を形成して、１
つの凹所が供給通路に連通したとき、残余の凹所は容器
の上方や取出し通路に配置されるので、供給通路を介し
て保持体を１つの凹所に供給するとともに、残余の凹所
に収容される保持体に設けられる浸漬部材を容器内の融
液に浸漬する作業や取出し通路から融液に浸漬された浸
漬部材を保持する保持体を取出す作業を並行して行うこ
とができ、結晶シートの生産効率が格段に向上される。

【００８４】さらに、回転体の凹所が容器の上方に配置
されたとき、容器昇降手段によって容器を上昇させ、凹
所内の保持体に保持されている浸漬部材を容器内の融液
に浸漬させることができ、浸漬部材を融液に浸漬しない
ときには、容器昇降手段によって容器を下降させて、容
器を回転体に干渉しない待避位置へ後退させることがで
きるので、簡単な構成でハウジング内を開放せずに、凹
所内を保持体を保持するために最小限の容積とすること
ができる。

【００８５】なお、保持体を凹所から突出させて凹所に
待避させる機構は、実施の形態に示したようなシリンダ
系に限らず、１軸のねじ送り系またはリニアモータなど
であっても差し支えない。

【００８６】

【発明の効果】本発明によれば、回転体の外周部に設け
る凹所に保持体を配置して、主要な構造部を配置してい
る回転体とハウジングとの間の各断熱室で、供給、浸
漬、取出しを別個に行うので、各断熱室を簡略に、かつ
容積を小さくして構成することができる。また浸漬塗布
によって結晶シートを生成する浸漬用の断熱室とは別の
取出し用の断熱室から結晶シートを取出すので、浸漬用
の断熱室外への不活性ガスと熱の逃げを大幅に低減でき
るとともに、融液温度に悪影響を与える雰囲気温度の変
化は軽微に抑えられる。これらによって、生成される結
晶シートの品質維持および生産性に顕著な効果を奏する
結晶シートの製造装置および方法を提供することができ
る。

【００８７】また本発明によれば、各断熱室の作業は独
立に、かつ並行してできるため、作業効率がよくコスト
ダウンに大きく寄与し、生産性を向上することができる
結晶シートの製造装置および方法を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の一形態による結晶シートの製造
装置の概略的構成を示す水平断面図であり、図３の切断
面線Ｉ−Ｉから見た断面を示す。

【図２】図１の下方から見た保持体付近の拡大正面図で
ある。

【図３】図１の切断面線ＩＩＩ−ＩＩＩから見た断面図
である。

【図４】回転体３内の各凹所６ａ〜６ｄ内に保持体５ａ
〜５ｄが収容された状態を示す断面図である。

【図５】浸漬位置Ｐ３に配置された凹所６ｃから保持体
５ｃが突出した状態を示す断面図である。

【符号の説明】

１ 装置本体 ２ ハウジング ３ 回転体 ４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄ 仕切部材 ５ａ，５ｃ，５ｄ，５ｅ，５ｆ 保持体 ６ａ，６ｂ，６ｃ，６ｄ 凹所 ８ 誘電加熱装置 ９ａ，９ｂ 複動シリンダ １０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ 回転軸 １１ 融液 １２ 容器 １３ 昇降台 ４０ 取出し装置 ４１，５１ 着脱装置 ４５ 第２搬送装置 ５０ 供給装置 ５５ 第１搬送装置

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ２２Ｄ 29/00 Ｂ２２Ｄ 29/00 Ｇ 33/02 33/02 35/00 35/00 Ｚ

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 製造されるべき結晶シートの原料を加熱
   溶融した融液が貯留される容器と、 前記容器内の融液に浸漬して前記融液を付着させ、この
   付着した融液の成長、凝固によって結晶シートを生成す
   る浸漬部材と、 半径方向外方に臨んで開口する凹所が形成され、略鉛直
   な回転軸線まわりに回転自在な回転体と、 回転体の前記凹所内に収容され、前記浸漬部材を保持す
   る保持体と、 回転体の外周面に対して僅かな間隔をあけて対向する内
   周面が臨み、前記回転体が略鉛直な回転軸線まわりに回
   転自在に収容される収容空間を有し、前記回転体の回転
   に伴う凹所の移動経路の下方には前記容器が配置され、
   この容器が配置される位置から回転方向にずれた位置
   に、前記凹所内の回転体が浸漬部材を保持した状態で通
   過することができる通路が設けられるハウジングとを含
   むことを特徴とする結晶シートの製造装置。
2. 【請求項２】 前記保持体には、外周部に周方向に間隔
   をあけて複数の浸漬部材が着脱可能に設けられ、 前記回転体には、保持体を凹所内で略水平な回転軸線ま
   わりに回転する保持体回動手段が設けられることを特徴
   とする請求項１記載の結晶シートの製造装置。
3. 【請求項３】 前記通路は、ハウジングの前記容器が配
   置される浸漬位置に関して、回転体の回転方向上流側に
   設けられる供給通路と、前記浸漬位置に関して回転体の
   回転方向下流側に設けられる取出し通路とを有し、 ハウジングの前記供給通路が設けられる一側部の近傍に
   は、供給通路を介して回転体の凹所に保持体を供給する
   保持体供給手段が設けられることを特徴とする請求項１
   または２記載の結晶シートの製造装置。
4. 【請求項４】 前記通路は、ハウジングの前記容器が配
   置される浸漬位置に関して、回転体の回転方向上流側に
   設けられる供給通路と、前記浸漬位置に関して、回転体
   の回転方向下流側に設けられる取出し通路とを有し、 ハウジングの前記取出し通路が設けられる一側部の近傍
   には、取出し通路を介して回転体の凹所から保持体を取
   外す保持体取出し手段が設けられることを特徴とする請
   求項１〜３のいずれか１つに記載の結晶シートの製造装
   置。
5. 【請求項５】 前記回転体の凹所には、加熱手段が設け
   られることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに
   記載の結晶シートの製造装置。
6. 【請求項６】 前記回転体には、複数の凹所が周方向に
   予め定める間隔をあけて設けられ、ハウジングの供給通
   路に各凹所のうちの１つが連通したとき、残余の凹所が
   容器の上方または取出し通路に配置されることを特徴と
   する請求項４記載の結晶シートの製造装置。
7. 【請求項７】 前記容器を、浸漬部材が容器内の融液に
   浸漬する上昇位置と、保持体の回転を許容する下降位置
   とにわたって変位させる容器昇降手段とを含むことを特
   徴とする請求項１〜６のいずれか１つに記載の結晶シー
   トの製造装置。
8. 【請求項８】 不活性ガス雰囲気とされる炉内空間に、
   製造されるべき結晶シートの原料を加熱溶融した融液が
   貯留される容器を配置し、 前記不活性ガス雰囲気内の予め定める供給位置で、前記
   融液が貯留される容器上を経由して循環移動する凹所
   を、炉外に個別に開放して、周方向に間隔をあけて複数
   の浸漬部材が保持される保持体を、各凹所内に順次的に
   収容する工程と、 各凹所内の保持体が前記容器上に配置されたとき、その
   保持体を回転させながら各浸漬部材を前記容器内の融液
   に浸漬する工程と、 前記融液への浸漬によって各浸漬部材に融液が付着した
   保持体を、前記凹所に収容した状態で、前記移動方向下
   流側の予め定める取出し位置に順次適に移動して、各凹
   所を炉外に個別に開放し、前記開放された凹所から保持
   体を取出して、各浸漬部材から結晶シートを剥離する工
   程とを含むことを特徴とする結晶シートの製造方法。
9. 【請求項９】 各凹所の保持体は独立して各工程を実行
   し、かつ各工程が並行して実行されることを特徴とする
   請求項８記載の結晶シートの製造方法。