JP2002277235A - 自動そり測定装置及び測定方法 - Google Patents
自動そり測定装置及び測定方法Info
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- JP2002277235A JP2002277235A JP2001075673A JP2001075673A JP2002277235A JP 2002277235 A JP2002277235 A JP 2002277235A JP 2001075673 A JP2001075673 A JP 2001075673A JP 2001075673 A JP2001075673 A JP 2001075673A JP 2002277235 A JP2002277235 A JP 2002277235A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置の起動・停止が自動で、光学式測定装置
により測定精度を向上させた高速化そり測定・判定装置
及びその方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 （ａ）測定台となる定盤を備え、更に該
定盤における基板の搬入出の感知により測定を開始又は
終了させる基板感知部に連動されたそり量測定用の垂直
水平方向に移動可能な測定手段を備えた測定室と、
（ｂ）設定されたそり量許容範囲に入るそり量を有する
規格品及びそれ以外の規格外品に係る判定結果の表示部
並びに規格外品に関する警告表示部を備えた判定部とを
備えた自動化されたそり量の測定及び判定装置並びにそ
の測定及び判定方法である。
により測定精度を向上させた高速化そり測定・判定装置
及びその方法を提供することを目的とする。 【解決手段】 （ａ）測定台となる定盤を備え、更に該
定盤における基板の搬入出の感知により測定を開始又は
終了させる基板感知部に連動されたそり量測定用の垂直
水平方向に移動可能な測定手段を備えた測定室と、
（ｂ）設定されたそり量許容範囲に入るそり量を有する
規格品及びそれ以外の規格外品に係る判定結果の表示部
並びに規格外品に関する警告表示部を備えた判定部とを
備えた自動化されたそり量の測定及び判定装置並びにそ
の測定及び判定方法である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板の
製造において、基板そり量の判定、評価を目的としたシ
ート状基板の光学式そり測定方法に関する。
製造において、基板そり量の判定、評価を目的としたシ
ート状基板の光学式そり測定方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、電子機器の高機能化と軽薄短小廉
化のため、集積回路の高密度化・高集積化している。そ
れに伴いプリント配線板の製造工程は、微細化の一途を
辿っている。このような微細加工においては、基板のそ
り、ゆがみ等が加工精度を下げ、また、最終製品の歩留
りに大きな影響を与える。そこで、基板のそりなどを低
減し、一定範囲内に収める品質管理が求められている。
化のため、集積回路の高密度化・高集積化している。そ
れに伴いプリント配線板の製造工程は、微細化の一途を
辿っている。このような微細加工においては、基板のそ
り、ゆがみ等が加工精度を下げ、また、最終製品の歩留
りに大きな影響を与える。そこで、基板のそりなどを低
減し、一定範囲内に収める品質管理が求められている。
【０００３】特開平８−２８８３４３号公報には、そり
を生じたプリント基板に対し実装部品の測定を行う際
に、そり量を測定して、光学式測定手段を補正する（カ
メラの焦点距離及び焦点個所を調整する）装置が記載さ
れている。しかし、この装置は装置の起動及び停止は手
動であるものである。
を生じたプリント基板に対し実装部品の測定を行う際
に、そり量を測定して、光学式測定手段を補正する（カ
メラの焦点距離及び焦点個所を調整する）装置が記載さ
れている。しかし、この装置は装置の起動及び停止は手
動であるものである。
【０００４】したがって、装置への搬入・設定、装置の
起動、検査・測定、結果の判定、判定による選別・警
告、装置の停止、装置からの搬出等の工程に分れてい
た。これらの工程の自動化、特に装置の起動から停止ま
での工程を自動化し、検査・測定時間の短縮と検査・測
定の精度を改善することが求められている。
起動、検査・測定、結果の判定、判定による選別・警
告、装置の停止、装置からの搬出等の工程に分れてい
た。これらの工程の自動化、特に装置の起動から停止ま
での工程を自動化し、検査・測定時間の短縮と検査・測
定の精度を改善することが求められている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、装置
の起動及び停止までの一連の工程を自動化し、検査・測
定時間の短縮と検査・測定の精度を改善し、また、光学
式測定装置により測定精度を向上させたそり測定・判定
装置を提供することである。
の起動及び停止までの一連の工程を自動化し、検査・測
定時間の短縮と検査・測定の精度を改善し、また、光学
式測定装置により測定精度を向上させたそり測定・判定
装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の装置は、自動化
されたそり量の測定及び判定装置であって、（ａ） 測
定台となる定盤を備え、更に該定盤における基板の搬入
出の感知により測定を開始又は終了させる基板感知部に
連動されたそり量測定用の垂直水平方向に移動可能な測
定手段を備えた測定室と、（ｂ） 設定されたそり量許
容範囲に入るそり量を有する規格品及びそれ以外の規格
外品に係る判定結果の表示部並びに規格外品に関する警
告表示部を備えた判定部とを備えたことを特徴としてい
る。
されたそり量の測定及び判定装置であって、（ａ） 測
定台となる定盤を備え、更に該定盤における基板の搬入
出の感知により測定を開始又は終了させる基板感知部に
連動されたそり量測定用の垂直水平方向に移動可能な測
定手段を備えた測定室と、（ｂ） 設定されたそり量許
容範囲に入るそり量を有する規格品及びそれ以外の規格
外品に係る判定結果の表示部並びに規格外品に関する警
告表示部を備えた判定部とを備えたことを特徴としてい
る。
【０００７】本発明の方法は、自動化されたそり量の測
定及び判定方法であって、（１）測定室内の測定台とな
る定盤上に搬入された基板を基板感知部は感知して、測
定を開始させるため、連動する垂直水平方向に移動可能
なそり量測定手段を稼動させ、基板のそり量を測定し；
そして（２）測定したそり量を、設定されたそり量許容
範囲と比較して、範囲内であれば規格品と、範囲外であ
れば規格外品と判定し、得られた判定結果を表示すると
ともに、規格外品については警告を表示する工程を含む
ことを特徴としている。
定及び判定方法であって、（１）測定室内の測定台とな
る定盤上に搬入された基板を基板感知部は感知して、測
定を開始させるため、連動する垂直水平方向に移動可能
なそり量測定手段を稼動させ、基板のそり量を測定し；
そして（２）測定したそり量を、設定されたそり量許容
範囲と比較して、範囲内であれば規格品と、範囲外であ
れば規格外品と判定し、得られた判定結果を表示すると
ともに、規格外品については警告を表示する工程を含む
ことを特徴としている。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明を図面に示す実施例
に基づいて説明する。図１において、本発明の装置の一
例は、そり量測定手段１と、定盤２と、基板３と、判定
結果表示盤４とを備えている。
に基づいて説明する。図１において、本発明の装置の一
例は、そり量測定手段１と、定盤２と、基板３と、判定
結果表示盤４とを備えている。
【０００９】本発明の装置は、測定台となる定盤を備
え、更に該定盤における基板の搬入出の感知により測定
を開始又は終了させる基板感知部に連動されたそり量測
定用の垂直水平方向に移動可能な測定手段を備えた測定
室と、設定されたそり量許容範囲に入るそり量を有する
規格品及びそれ以外の規格外品に係る判定結果の表示部
並びに規格外品に関する警告表示部を備えた判定部とを
備えた自動化されたそり量の測定及び判定装置である。
え、更に該定盤における基板の搬入出の感知により測定
を開始又は終了させる基板感知部に連動されたそり量測
定用の垂直水平方向に移動可能な測定手段を備えた測定
室と、設定されたそり量許容範囲に入るそり量を有する
規格品及びそれ以外の規格外品に係る判定結果の表示部
並びに規格外品に関する警告表示部を備えた判定部とを
備えた自動化されたそり量の測定及び判定装置である。
【００１０】基板感知部（基板感知手段１）は、基板搬
入出室又は測定台となる定盤を備えた測定室における基
板を感知するようになっている。例えば、定盤への基板
の搬入出又は基板の重量を感知するようになっている。
基板感知手段１は、基板の搬入を感知すると、そり量測
定用の垂直水平方向に移動可能な測定手段を作動させな
がら、そり量測定を開始させ、そり量測定後に、基板の
搬出を感知して、そり量測定手段を停止（終了・電断
源）させる基板感知部を構成している。
入出室又は測定台となる定盤を備えた測定室における基
板を感知するようになっている。例えば、定盤への基板
の搬入出又は基板の重量を感知するようになっている。
基板感知手段１は、基板の搬入を感知すると、そり量測
定用の垂直水平方向に移動可能な測定手段を作動させな
がら、そり量測定を開始させ、そり量測定後に、基板の
搬出を感知して、そり量測定手段を停止（終了・電断
源）させる基板感知部を構成している。
【００１１】また、基板供給部は、基板の供給を感知し
て、装置を稼動させるセンサー１（基板感知手段２）を
備えている。基板供給部は、外部の基板供給ラインと連
結することができる。また、基板感知手段２に連動して
該基板供給部から測定室内の定盤上に該基板を移送する
移送手段を備えている。
て、装置を稼動させるセンサー１（基板感知手段２）を
備えている。基板供給部は、外部の基板供給ラインと連
結することができる。また、基板感知手段２に連動して
該基板供給部から測定室内の定盤上に該基板を移送する
移送手段を備えている。
【００１２】本発明において、基板は、シート状基板、
プリント配線板などである。
プリント配線板などである。
【００１３】本発明の測定手段は、垂直及び／又は水平
方向に移動しながら、基板の最大そり量を測定可能なよ
うに構成されている。例えば、光学式自動そり測定用セ
ンサーなどが挙げられる。
方向に移動しながら、基板の最大そり量を測定可能なよ
うに構成されている。例えば、光学式自動そり測定用セ
ンサーなどが挙げられる。
【００１４】本発明の判定部は、測定された最大そり量
と、予め設定されたそり量の許容範囲とを比較し、そり
量の許容範囲に入るそり量を有する規格品及びそれ以外
の規格外品を判定するよう構成されている。そして、得
られた判定結果は、判定結果の表示部及び規格外品に関
する警告表示部に表示されるようになっている。例え
ば、比較結果が、設定範囲内であれば、規格品として
良、可、ＯＫなどの合格判定が、又は設定範囲外であれ
ば、規格外品として否、不可、ＮＧなどの不合格判定が
得られるよう構成されている。
と、予め設定されたそり量の許容範囲とを比較し、そり
量の許容範囲に入るそり量を有する規格品及びそれ以外
の規格外品を判定するよう構成されている。そして、得
られた判定結果は、判定結果の表示部及び規格外品に関
する警告表示部に表示されるようになっている。例え
ば、比較結果が、設定範囲内であれば、規格品として
良、可、ＯＫなどの合格判定が、又は設定範囲外であれ
ば、規格外品として否、不可、ＮＧなどの不合格判定が
得られるよう構成されている。
【００１５】本発明の装置は、判定結果に応じて、規格
品及び規格外品の基板がそれぞれ搬出される規格品部又
は規格外品部を有する貯蔵部を備えることができる。貯
蔵部は、規格品を貯蔵する規格品部と、規格外品を貯蔵
する規格外品部とから構成され、基板単位、格納架単位
などの任意の単位で、貯蔵物を移送可能なように構成さ
れている。
品及び規格外品の基板がそれぞれ搬出される規格品部又
は規格外品部を有する貯蔵部を備えることができる。貯
蔵部は、規格品を貯蔵する規格品部と、規格外品を貯蔵
する規格外品部とから構成され、基板単位、格納架単位
などの任意の単位で、貯蔵物を移送可能なように構成さ
れている。
【００１６】本発明の装置は、該測定室からの該基板の
搬出があり、かつ該基板供給部に基板がないことを感知
した場合、装置を待機状態に移行させる判断手段を備え
ることができる。該判断手段は、測定室内の基板感知部
（基板感知手段１）及び基板供給部内の基板感知部（基
板感知手段２）の両方から得られる情報をもって、いず
れにも基板が感知されない場合に、装置を待機状態に移
行させることを判断するように構成されている。したが
って、基板が該貯蔵部に格納される前に、次の基板が基
板供給部に供給されている限り、装置は待機状態に移行
しないように構成されている。そして、そり量測定・判
定・分別を続行するようになっている。
搬出があり、かつ該基板供給部に基板がないことを感知
した場合、装置を待機状態に移行させる判断手段を備え
ることができる。該判断手段は、測定室内の基板感知部
（基板感知手段１）及び基板供給部内の基板感知部（基
板感知手段２）の両方から得られる情報をもって、いず
れにも基板が感知されない場合に、装置を待機状態に移
行させることを判断するように構成されている。したが
って、基板が該貯蔵部に格納される前に、次の基板が基
板供給部に供給されている限り、装置は待機状態に移行
しないように構成されている。そして、そり量測定・判
定・分別を続行するようになっている。
【００１７】本発明によれば、基板を載せる面に、取り
外し可能な又は格納可能な枠・くぼみなどを設けること
ができる。
外し可能な又は格納可能な枠・くぼみなどを設けること
ができる。
【００１８】図２に示すように、本発明の方法は、
（１）測定室内の測定台となる定盤上に搬入された基板
を基板感知部は感知して、測定を開始させるため、連動
する垂直水平方向に移動可能なそり量測定手段を稼動さ
せ、基板のそり量を測定し；（２）測定したそり量を、
設定されたそり量許容範囲と比較して、範囲内であれば
規格品と、範囲外であれば規格外品と判定し、得られた
判定結果を表示するとともに、規格外品については警告
を表示する工程を含むことを特徴とする自動化されたそ
り量の測定及び判定方法である。
（１）測定室内の測定台となる定盤上に搬入された基板
を基板感知部は感知して、測定を開始させるため、連動
する垂直水平方向に移動可能なそり量測定手段を稼動さ
せ、基板のそり量を測定し；（２）測定したそり量を、
設定されたそり量許容範囲と比較して、範囲内であれば
規格品と、範囲外であれば規格外品と判定し、得られた
判定結果を表示するとともに、規格外品については警告
を表示する工程を含むことを特徴とする自動化されたそ
り量の測定及び判定方法である。
【００１９】本発明の方法によれば、上記（１）の工程
の前に、工程（３）基板供給部に基板が供給されたこと
感知するセンサー１により、装置を稼動状態に移行さ
せ、該基板を測定室内の定盤上に移送する工程を行うこ
とができる。
の前に、工程（３）基板供給部に基板が供給されたこと
感知するセンサー１により、装置を稼動状態に移行さ
せ、該基板を測定室内の定盤上に移送する工程を行うこ
とができる。
【００２０】本発明の方法によれば、工程（２）の後
に、工程（４）得られた判定結果に応じて、規格品を規
格品部に、規格外品を規格外品部に、基板をそれぞれ貯
蔵部に搬出し；及び工程（５）該測定室からの該基板の
搬出があり、かつ該基板供給部に基板がないことを感知
するセンサー３により、両方の状態が満たされた場合
に、装置を待機状態に移行させる工程を行うことができ
る。
に、工程（４）得られた判定結果に応じて、規格品を規
格品部に、規格外品を規格外品部に、基板をそれぞれ貯
蔵部に搬出し；及び工程（５）該測定室からの該基板の
搬出があり、かつ該基板供給部に基板がないことを感知
するセンサー３により、両方の状態が満たされた場合
に、装置を待機状態に移行させる工程を行うことができ
る。
【００２１】本発明によれば、待機状態は、主電源は入
っているが、基板供給部の基板感知センサーを除き、各
部には通電していない状態である。
っているが、基板供給部の基板感知センサーを除き、各
部には通電していない状態である。
【００２２】本発明によれば、稼動状態は、基板のそり
量を測定・判定・分別する状態であり、待機状態から移
行するものである。基板感知センサーがスイッチの機能
を果す。基板供給部に基板が感知されると、センサース
イッチが入り、装置各部に通電し、測定が開始される。
量を測定・判定・分別する状態であり、待機状態から移
行するものである。基板感知センサーがスイッチの機能
を果す。基板供給部に基板が感知されると、センサース
イッチが入り、装置各部に通電し、測定が開始される。
【００２３】図１を用いて、本発明の方法の一例を示
す。基板３を、測定室内の定盤２の上に置くと、基板感
知手段（図示されていない）が基板を感知し、測定セン
サーが連動して移動し、そり量を測定する。基板３を感
知するには、基板の重さ、基板により遮断される光線な
どをセンサーで感知することができる。測定センサー
が、光学式画像処理法などにより、そり量を測定し、最
大そり量を算出する。得られた最大そり量が、そり量許
容範囲であるか、範囲内であれば規格品と、範囲外であ
れば規格外品と判定する。
す。基板３を、測定室内の定盤２の上に置くと、基板感
知手段（図示されていない）が基板を感知し、測定セン
サーが連動して移動し、そり量を測定する。基板３を感
知するには、基板の重さ、基板により遮断される光線な
どをセンサーで感知することができる。測定センサー
が、光学式画像処理法などにより、そり量を測定し、最
大そり量を算出する。得られた最大そり量が、そり量許
容範囲であるか、範囲内であれば規格品と、範囲外であ
れば規格外品と判定する。
【００２４】判定結果は、表示盤４に表示され、必要に
応じ、規格外品警告をだす。測定及び判定の終了した基
板を、測定室から判定結果に応じた所定の貯蔵部に搬出
する。測定室内の基板感知手段は、基板の搬出を感知し
て、装置を待機状態に移行させる。
応じ、規格外品警告をだす。測定及び判定の終了した基
板を、測定室から判定結果に応じた所定の貯蔵部に搬出
する。測定室内の基板感知手段は、基板の搬出を感知し
て、装置を待機状態に移行させる。
【００２５】ここで、測定室内の基板感知部（基板感知
手段１）及び基板供給部内の基板感知部（基板感知手段
２）の両方から得られる情報をもって、いずれにも基板
が感知されない場合には、装置を待機状態に移行させる
ことを判断する。したがって、基板が該貯蔵部に格納さ
れる前に、次の基板が基板供給部に供給されている限
り、装置は待機状態に移行しないせず、そり量測定・判
定・分別を続行する。
手段１）及び基板供給部内の基板感知部（基板感知手段
２）の両方から得られる情報をもって、いずれにも基板
が感知されない場合には、装置を待機状態に移行させる
ことを判断する。したがって、基板が該貯蔵部に格納さ
れる前に、次の基板が基板供給部に供給されている限
り、装置は待機状態に移行しないせず、そり量測定・判
定・分別を続行する。
【００２６】
【実施例】本発明を下記の実施例により詳細に説明する
が、これらは、本発明をいかなる意味においても制限す
るものではない。
が、これらは、本発明をいかなる意味においても制限す
るものではない。
【００２７】実施例１ 基板の搬入・設置を感知するセンサースイッチと、装置
のスイッチを連動させた本発明の装置を用いて、図２に
記載の手順に従い、基板のそり量の測定行った。基板を
搬入してから、測定・判定後に格納部に移送されるまで
の時間を計測した。
のスイッチを連動させた本発明の装置を用いて、図２に
記載の手順に従い、基板のそり量の測定行った。基板を
搬入してから、測定・判定後に格納部に移送されるまで
の時間を計測した。
【００２８】
【表１】
【００２９】本発明の測定方法及び装置を用いた実施例
では、非常に短時間での時間で計測・判定が可能であっ
た。また、精度に関しても改善が見られた。
では、非常に短時間での時間で計測・判定が可能であっ
た。また、精度に関しても改善が見られた。
【００３０】
【発明の効果】本発明の方法によれば、基板のそり測定
時間の低減と測定精度の高いシート状基板のそり測定方
法を提供することができる。
時間の低減と測定精度の高いシート状基板のそり測定方
法を提供することができる。
【図１】図１は、本発明の自動そり測定装置の一例を示
す縦断面概要図である。
す縦断面概要図である。
【図２】図２は、本発明の基板のそり測定方法の一例を
示す工程流れ図である。
示す工程流れ図である。
１ 光学式自動そり測定用センサー、そり量測定手段 ２ 定盤、測定台 ３ 基板、シート状基板、プリント配線板 ４ 判定結果表示盤
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA46 BB24 CC01 DD06 FF01 JJ03 JJ19 JJ26 KK02 MM07 PP03 PP11 QQ21 QQ25 RR05 SS04 SS09 TT01 TT02 TT03 2F069 AA52 BB14 CC06 GG04 GG07 GG11 MM13 PP06 QQ03 QQ05
Claims (4)
- 【請求項１】 自動化されたそり量の測定及び判定装置
であって、（ａ） 測定台となる定盤を備え、更に該定
盤における基板の搬入出の感知により測定を開始又は終
了させる基板感知部に連動されたそり量測定用の垂直水
平方向に移動可能な測定手段を備えた測定室と、（ｂ）
設定されたそり量許容範囲に入るそり量を有する規格
品及びそれ以外の規格外品に係る判定結果の表示部並び
に規格外品に関する警告表示部を備えた判定部とを備え
たことを特徴とする装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の自動化されたそり量の測
定及び判定装置において、（ｃ） 該基板感知部が備え
られ、基板の供給を感知した場合、装置を稼動させるセ
ンサー１を備え、更にセンサー１に連動して該基板供給
部から測定室内の定盤上に該基板を移送する移送手段を
備えた基板供給部と、（ｄ） 判定結果に応じて、規格
品及び規格外品の基板がそれぞれ搬出される規格品部又
は規格外品部を有する貯蔵部と、（ｅ） 該測定室から
の該基板の搬出があり、かつ該基板供給部に基板がない
ことを感知した場合、装置を待機状態に移行させる判断
手段とを備えたことを特徴とする装置。 - 【請求項３】 自動化されたそり量の測定及び判定方法
であって、（１）測定室内の測定台となる定盤上に搬入
された基板を、基板感知部は感知し、測定を開始させる
ために、連動する垂直水平方向に移動可能なそり量測定
手段を稼動させ、基板のそり量を測定し；そして（２）
測定したそり量を、設定されたそり量許容範囲と比較し
て、範囲内であれば規格品と、範囲外であれば規格外品
と判定し、得られた判定結果を表示するとともに、規格
外品については警告を表示する工程を含むことを特徴と
する方法。 - 【請求項４】 請求項３記載の自動化されたそり量の測
定及び判定方法において、工程（１）の前に、（３）
基板供給部に基板が供給されたこと感知するセンサー１
により、装置を稼動状態に移行させ、該基板を測定室内
の定盤上に移送する工程を含み；更に、工程（２）の後
に、（４）得られた判定結果に応じて、規格品を規格品
部に、規格外品を規格外品部に、基板をそれぞれ貯蔵部
に搬出し；そして（５）該測定室からの該基板の搬出が
あり、かつ該基板供給部に基板がないことを感知するセ
ンサー３により、両方の状態が満たされた場合に、装置
を待機状態に移行させる工程を含むことを特徴とする方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001075673A JP2002277235A (ja) | 2001-03-16 | 2001-03-16 | 自動そり測定装置及び測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001075673A JP2002277235A (ja) | 2001-03-16 | 2001-03-16 | 自動そり測定装置及び測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002277235A true JP2002277235A (ja) | 2002-09-25 |
Family
ID=18932714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001075673A Pending JP2002277235A (ja) | 2001-03-16 | 2001-03-16 | 自動そり測定装置及び測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002277235A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007061388A1 (en) * | 2005-11-28 | 2007-05-31 | Rokko Systems Pte Ltd | Detection of warp in an ic substrate |
| JP2008070324A (ja) * | 2006-09-15 | 2008-03-27 | Asahi Glass Co Ltd | 板状体の反り検出装置及びその方法 |
| CN103673928A (zh) * | 2013-12-21 | 2014-03-26 | 大连宏海新能源发展有限公司 | 一种高精度光学反射镜微曲率的测量装置 |
-
2001
- 2001-03-16 JP JP2001075673A patent/JP2002277235A/ja active Pending
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