CN215676954U - 固定环检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种固定环检测装置，包括：机座、检测机构和控制器；其中，机座具有一可供固定环通过的检测通道；检测机构设于机座上，检测机构包括对应于检测通道设置的传感器组件，传感器组件用于测量经过检测通道的固定环之外形信息；控制器与传感器组件连接，并用于根据外形信息判断固定环是否为良品。本实用新型提供的固定环检测装置，通过传感器组件可以检测得到固定环的厚度和外径，固定环外径、厚度(过厚或过薄)和翘曲异常均可检出，检测效率更高更准。

Description

固定环检测装置

技术领域

本实用新型是关于检测装置技术领域，特别是关于一种固定环检测装置。

背景技术

在半导体晶圆加工中，会使用到晶圆固定环，而晶圆固定环的外形信息会影响到晶圆的加工质量。现有技术中的固定环检测装置，通常只能检测固定环是否偏厚，无法检测固定环其他外形状况；而且现有固定环的检测流程中，均为工作人员手动操作，检测效率低。

因此，针对现有技术中的问题有必要提供一种新的固定环检测装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种固定环检测装置，其能够自动检测固定环的外形信息，并可根据固定环的外形信息自动判断固定环是否为良品。

为实现上述目的，本实用新型的提供的技术方案如下：

一种固定环检测装置，包括：机座、检测机构和控制器；其中，机座具有能够供固定环通过的检测通道；检测机构设于所述机座上，所述检测机构包括对应于所述检测通道设置的传感器组件，所述传感器组件用于测量经过所述检测通道的固定环之外形信息；控制器与所述传感器组件连接，并用于根据所述外形信息判断固定环是否为良品。

在本实用新型的一个或多个实施方式中，所述传感器组件包括第一传感器和第二传感器，所述第一传感器设于所述检测通道的上方用以测量固定环的厚度，所述第二传感器设于所述检测通道的两侧用以测量固定环的外径。

在本实用新型的一个或多个实施方式中，所述检测机构还包括按压构件，所述按压构件能够在第一传感器检测固定环的厚度时，对被检测的固定环进行按压。

在本实用新型的一个或多个实施方式中，所述第一传感器和第二传感器为光传感器、声波传感器和电涡流传感器中的一种。

在本实用新型的一个或多个实施方式中，所述检测机构还包括支座和滑轨，所述支座架设于所述检测通道的上方，所述滑轨设于所述支座上并横跨所述检测通道，所述第一传感器滑动安装于所述滑轨上，并且所述第一传感器的感应信号能够透过所述支座以作用于所述检测通道中的固定环上。

在本实用新型的一个或多个实施方式中，所述机座上还设有调节机构，所述调节机构用于调节所述检测通道的宽度，以匹配不同外径尺寸的固定环。

在本实用新型的一个或多个实施方式中，所述机座上还设有装载机构和拨片机构，所述装载机构对应于所述检测通道的入口设置并用于放置待检测的固定环，所述拨片机构用于将所述装载机构上的待检测的固定环拨入所述检测通道中。

在本实用新型的一个或多个实施方式中，所述机座上还设有标记机构，所述标记机构与所述控制器连接并对应于所述检测通道设置；当固定环被所述控制器判定为不良品时，所述控制器控制所述标记机构在该不良品固定环上打印不良品标识。

在本实用新型的一个或多个实施方式中，所述机座上还设有收料盒，所述收料盒对应于所述检测通道的出口设置并用以接收从该出口送出的固定环。

在本实用新型的一个或多个实施方式中，所述收料盒包括层叠设置的用于接收良品固定环的第一收容腔和用于接收不良品固定环的第二收容腔，所述收料盒安装于一升降机构上，所述升降机构与控制器连接。

当固定环被所述控制器判定为良品时，所述控制器控制所述升降机构将所述第一收容腔移动至所述检测通道的出口处，以接收良品固定环；当固定环被所述控制器判定为不良品时，所述控制器控制所述升降机构将所述第二收容腔移动至所述检测通道的出口处，以接收不良品固定环。

在本实用新型的一个或多个实施方式中，其特征在于，所述机座上还设有防护罩，所述防护罩罩设于所述检测通道外周用以隔绝微尘。

与现有技术相比，本实用新型提供的固定环检测装置，通过传感器组件可以检测得到固定环的厚度和外径，固定环外径、厚度(过厚或过薄)和翘曲异常均可检出，检测效率更高更准；而且通过拨片机构的设置可以实现自动上料；标记机构可以对不良品加以标记，避免不良品再次投入使用；收料盒可以对不良品和良品分类收集，能够避免混料，便于日后取用。

附图说明

图1是本实用新型一实施方式中的固定环检测装置的结构示意图；

图2图1所示固定环检测装置另一视角下的结构示意图；

图3图1所示固定环检测装置中的局部结构示意图；

图4图1所示固定环检测装置中局部结构的放大示意图；

图5是图1所示固定环检测装置中收料盒的结构示意图；

图6是本实用新型另一实施方式中的固定环检测装置的局部结构示意图。

主要附图标记说明：

1-机座，11-检测通道，12-调节机构，13-挡块，2-检测机构，21-传感器组件，22-支座，23-滑轨，24-滑块，25-通槽，26-按压构件，211-第一传感器，212-第二传感器，3-控制器，41-装载机构，42-拨片机构，5-标记机构，6-收料盒，61-第一收容腔，62-第二收容腔，7-升降机构，8-防护罩，9-操作面板。

具体实施方式

下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本实用新型的保护范围并不受具体实施方式的限制。

除非另有其它明确表示，否则在整个说明书和权利要求书中，术语“包括”或其变换如“包含”或“包括有”等等将被理解为包括所陈述的元件或组成部分，而并未排除其它元件或其它组成部分。

如图1、图2和图3所示，本实用新型一实施方式中的固定环检测装置，其包括：机座1、检测机构2以及控制器3。

其中，机座1具有能够供固定环通过的检测通道11。检测机构2设于机座1上，该检测机构2包括对应于检测通道11设置的传感器组件21，该传感器组件21用于测量经过检测通道11的固定环之外形信息。控制器3与传感器组件21连接，并用于根据传感器组件21检测到的外形信息判断固定环是否为良品。

一示例性的实施例中，检测通道11被设置成与水平面呈特定夹角的倾斜状，以使得固定环可在重力作用下沿检测通道11滑行。检测通道11的宽度被设置成与待检测的固定环外径相匹配，以避免固定环在检测通道11中滑行时发生偏移。

在其他实施例中，检测通道11也可以设置成水平状，这种情况下需要额外设置驱动机构用以驱动固定环沿检测通道11移动。例如，可以采用传送带机构驱动固定环移动。

一示例性的实施例中，机座上还设有调节机构12，该调节机构12用于调节检测通道11的宽度，以匹配不同外径尺寸的固定环。例如，在现有的生产工序中，固定环通常有8寸和12寸这两种外径规格，为了适应现有的生产工序，可以通过调节机构12调节检测通道11的宽度，以匹配相应外径规格的固定环。

一示例性的实施例中，请参照图3所示，调节机构12包括导轨121、推杆122和气缸123。其中，两根导轨121之间界定出固定环的检测通道11，两根导轨121分别与两组推杆122连接，并且两组推杆122由两组气缸123驱动。通过气缸123驱动推杆122可以使两根导轨121靠近或远离，从而实现对检测通道11的宽度调节。

另一实施方式中，请参照图6所示，也可以将检测通道11设置成包括宽度不同的第一通道111和第二通道112，该第一通道111和第二通道112可供不同外径尺寸的固定环通过。例如，在现有的生产工序中，固定环通常有8寸和12寸这两种外径规格，为了适应现有的生产工序，可将第一通道111和第二通道112的宽度分别设置成8寸和12寸，以匹配相应规格的固定环。

一示例性的实施例中，请参照图1和图3所示，检测机构2的传感器组件21包括第一传感器211和第二传感器212。其中，第一传感器211设于检测通道11的上方用以测量固定环的厚度，第二传感器212设于检测通道11的两侧用以测量固定环的外径。

一示例性的实施例中，请参照图3所示，检测机构2还包括按压构件26，该按压构件26可以在第一传感器211检测固定环的厚度时，对被检测的固定环进行按压，从而使第一传感器211可以测得按压后的固定环的厚度。如果被检测的固定环发生翘曲，在按压构件26的按压作用下，发生翘曲的固定环会在按压构件26的按压作用被压平，即固定环会由翘曲状态转变为与检测通道11的台面贴合的压平状态，即按压后的固定环厚度会与按压前的固定环厚度不同(固定环处于翘曲状态时，第一传感器211检测得到的厚度会大于固定环的实际厚度)。因此，通过第一传感器211测得固定环按压前后的厚度，然后将固定环按压前后的厚度进行比较，可以得到两个厚度之间的差值，在该差值超出预设的阈值(容许的误差值)时，可以判定为固定环翘曲过大。

一示例性的实施例中，也可以通过设置多个第一传感器211，用于检测固定环多个点位上的厚度，根据固定环上各个点位的厚度差异情况，可以判断固定环是否发生翘曲。

具体地，第一传感器211和第二传感器212可以是光传感器、声波传感器和电涡流传感器中的一种。以光传感器为例，光传感器向经过通道的固定环表面发射光信号，并接收由固定环表面反射回来的光信号，以度量固定环的厚度和外径等外形参数信息。并且该外形信息会被传输至控制器3，控制器3可根据该外形参数信息与预设的标准参数进行对比，以判断被检测的固定环是否位良品。

一示例性的实施例中，检测机构2还包括支座22和滑轨23。其中，支座22架设于检测通道11的上方，滑轨23设于支座22上并横跨检测通道11，第一传感器211滑动安装于滑轨23上，并且第一传感器211的感应信号能够透过支座22以作用于检测通道11中的固定环上。

第一传感器211可通过与滑轨23匹配的滑块24滑动安装于滑轨23上，该滑块24被构造成能够沿着滑轨23滑动，第一传感器211这可固定于该滑块24上，通过滑动滑块24来带动第一传感器211滑动，从而可适用于检测不同外径尺寸的固定环。为使第一传感器211的感应信号能够顺利的透过支座22以作用于固定环上，可以在支座22上开设一条贯穿支座22上下两面的通槽25，第一传感器211对应于该通槽25设置，以使得第一传感器211的感应信号可以透过该通槽25作用于固定环上。

一示例性的实施例中，请参照图4所示，机座1上还设有挡块13，该挡块13设于检测机构2的下游。该挡块13可以在检测机构2对固定环进行检测时，上升至超出检测通道11的台面，以将固定环阻挡停滞于检测机构2的检测区域中，以确保检测的精度。并且在检测机构2完成检测后，该挡块13可以下降至检测通道11的台面之下，以解除对固定环的阻挡，以使完成检测后的固定环可以继续沿检测通道11下滑。

一示例性的实施例中，机座1上还设有装载机构41和拨片机构42；其中，装载机构41对应于检测通道11的入口设置并用于放置待检测的固定环，拨片机构42用于将装载机构41上的待检测的固定环拨入检测通道11中。在装载机构41上可以预先放置多片待检测的固定环，例如，可在装载机构41上一次性放置50片固定环，然后通过拨片机构42将装载机构41上的固定环逐片拨入到检测通道11中，从而可实现固定环自动上料，而无需工作人员手动上料。为了确保固定环能够被顺利的拨入检测通道11中，装载机构41紧邻检测通道11的入口设置，并且放置于装载机构41中的固定环被设置成与检测台的倾斜角度一致。

一示例性的实施例中，装载机构41包括装载台411和滑轨412，装载台411滑动安装于滑轨412上，并且装载台411通过驱动机构进行驱动。装载台411用于容置待检测的固定环，驱动机构由程序进行控制，拨片机构42每将一片固定环拨入检测通道11中，程序将控制装载台411沿滑轨412上升预定高度，以便于拨片机构42执行下一次拨入操作。

一示例性的实施例中，机座1上还设有标记机构5，该标记机构5与控制器3连接并对应于检测通道11设置。并且当固定环被控制器3判定为不良品时，控制器3能够控制标记机构5在该不良品固定环上打印不良品标识，从而可通过不良品标识来区分不良品固定环，避免被标记的不良品固定环再次被投入使用。

一示例性的实施例中，请参照图1和图5所示，机座1上还设有收料盒6，该收料盒6对应于检测通道11的出口设置并用以接收从该出口送出的固定环。固定环完成检测后，可以从检测通道11的出口送出，收料盒6设与检测通道11的出口处可以接收被送出的固定环实现自动收料。

一示例性的实施例中，收料盒6包括层叠设置的用于接收良品固定环的第一收容腔61和用于接收不良品固定环的第二收容腔62。收料盒6被安装于一升降机构7上，该升降机构7与控制器3连接。当被检测的固定环被控制器3判定为良品时，控制器3控制升降机构7将第一收容腔61移动至检测通道11的出口处，以接收良品固定环。当被检测的固定环被控制器3判定为不良品时，控制器3控制升降机构7将第二收容腔62移动至检测通道11的出口处，以接收不良品固定环。通过第一收容腔61和第二收容腔62将良品和不良品分开存放，可以避免混料，降低后续生产作业损失风险。

一示例性的实施例中，机座1上还设有防护罩8，防护罩8罩设于检测通道11外周用以隔绝微尘，以避免检测装置执行检测作业时微尘干扰检测结果。防护罩8可由透明材料制成，以使得工作人员可以透过防护罩8直接观察到里面的状况，以便于工作人员及时发现异常状况。

一示例性的实施例中，固定环检测装置还包括与控制器3连接的操作面板91和显示屏92，工作人员可以通过该操作面板91启停固定环检测装置以及设定相关参数。控制器3可以是PLC控制器，控制器3可以根据固定环检测结果进行数据统计，并将相应的数据显示在显示屏92上。

下面结合具体的使用场景对本实用新型作进一步说明：

将待检测的固定环放置于固定环检测装置的装载机构41上，然后启动检测装置；拨片机构42将待检测的固定环逐片拨入机座1的检测通道11中，待检测的固定环沿着检测通道11滑动；经过检测机构2处，由传感器组件21对待检测的固定环的外形信息进行测量，并且测量得到的外形信息被传输至控制器3上；控制器3根据该外形信息判断固定环是否为良品，并根据判断结果控制标记机构5和收料盒6对固定环进行标记和分类收集。

综上所述，本实用新型提供的固定环检测装置，通过传感器组件21可以检测得到固定环的厚度和外径，固定环外径、厚度(过厚或过薄)和翘曲异常均可检出，检测效率更高更准；而且通过拨片机构42的设置可以实现自动上料；标记机构5可以对不良品加以标记，避免不良品再次投入使用；收料盒6可以对不良品和良品分类收集，能够避免混料，便于日后取用。

前述对本实用新型的具体示例性实施方案的描述是为了说明和例证的目的。这些描述并非想将本实用新型限定为所公开的精确形式，并且很显然，根据上述教导，可以进行很多改变和变化。对示例性实施例进行选择和描述的目的在于解释本实用新型的特定原理及其实际应用，从而使得本领域的技术人员能够实现并利用本实用新型的各种不同的示例性实施方案以及各种不同的选择和改变。本实用新型的范围意在由权利要求书及其等同形式所限定。

Claims (10)

1.一种固定环检测装置，其特征在于，包括：

机座，具有能够供固定环通过的检测通道；

检测机构，设于所述机座上，所述检测机构包括对应于所述检测通道设置的传感器组件，所述传感器组件用于测量经过所述检测通道的固定环之外形信息；以及

控制器，与所述传感器组件连接，并用于根据所述外形信息判断固定环是否为良品。

2.如权利要求1所述的固定环检测装置，其特征在于，所述传感器组件包括第一传感器和第二传感器，所述第一传感器设于所述检测通道的上方用以测量固定环的厚度，所述第二传感器设于所述检测通道的两侧用以测量固定环的外径。

3.如权利要求2所述的固定环检测装置，其特征在于，所述检测机构还包括按压构件，所述按压构件能够在第一传感器检测固定环的厚度时，对被检测的固定环进行按压。

4.如权利要求2所述的固定环检测装置，其特征在于，所述检测机构还包括支座和滑轨，所述支座架设于所述检测通道的上方，所述滑轨设于所述支座上并横跨所述检测通道，所述第一传感器滑动安装于所述滑轨上，并且所述第一传感器的感应信号能够透过所述支座以作用于所述检测通道中的固定环上。

5.如权利要求1所述的固定环检测装置，其特征在于，所述机座上还设有调节机构，所述调节机构用于调节所述检测通道的宽度，以匹配不同外径尺寸的固定环。

6.如权利要求1所述的固定环检测装置，其特征在于，所述机座上还设有装载机构和拨片机构，所述装载机构对应于所述检测通道的入口设置并用于放置待检测的固定环，所述拨片机构用于将所述装载机构上的待检测的固定环拨入所述检测通道中。

7.如权利要求1所述的固定环检测装置，其特征在于，所述机座上还设有标记机构，所述标记机构与所述控制器连接并对应于所述检测通道设置；

当固定环被所述控制器判定为不良品时，所述控制器控制所述标记机构在该不良品固定环上打印不良品标识。

8.如权利要求1所述的固定环检测装置，其特征在于，所述机座上还设有收料盒，所述收料盒对应于所述检测通道的出口设置并用以接收从该出口送出的固定环。

9.如权利要求8所述的固定环检测装置，其特征在于，所述收料盒包括层叠设置的用于接收良品固定环的第一收容腔和用于接收不良品固定环的第二收容腔，所述收料盒安装于一升降机构上，所述升降机构与控制器连接；

当固定环被所述控制器判定为良品时，所述控制器控制所述升降机构将所述第一收容腔移动至所述检测通道的出口处，以接收良品固定环；

当固定环被所述控制器判定为不良品时，所述控制器控制所述升降机构将所述第二收容腔移动至所述检测通道的出口处，以接收不良品固定环。

10.如权利要求1～9中任一项所述的固定环检测装置，其特征在于，所述机座上还设有防护罩，所述防护罩罩设于所述检测通道外周用以隔绝微尘。

Images