JP2002267375A - 熱処理炉の制御システム - Google Patents
熱処理炉の制御システムInfo
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- JP2002267375A JP2002267375A JP2001068641A JP2001068641A JP2002267375A JP 2002267375 A JP2002267375 A JP 2002267375A JP 2001068641 A JP2001068641 A JP 2001068641A JP 2001068641 A JP2001068641 A JP 2001068641A JP 2002267375 A JP2002267375 A JP 2002267375A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 シーケンサの処理負荷を軽減してスキャンタ
イムを大幅に短縮することができ、炉内の温度のデータ
精度が低下するのを抑えることができる熱処理炉の制御
システムを提供する。 【解決手段】 パソコン（データ処理装置）１と、熱電
対（温度検出手段）８ｃが検出した熱処理炉８の炉内の
温度を用いて温度制御を行う温度調節計（温度制御手
段）３とを第２の通信路５で直接的に接続するととも
に、上記温度調節計３から熱処理炉８の温度のデータを
第２の通信路５を経て受信するための受信プログラムを
パソコン１に記憶させる。パソコン１が、その受信プロ
グラムを実行して上記データを受信する。
イムを大幅に短縮することができ、炉内の温度のデータ
精度が低下するのを抑えることができる熱処理炉の制御
システムを提供する。 【解決手段】 パソコン（データ処理装置）１と、熱電
対（温度検出手段）８ｃが検出した熱処理炉８の炉内の
温度を用いて温度制御を行う温度調節計（温度制御手
段）３とを第２の通信路５で直接的に接続するととも
に、上記温度調節計３から熱処理炉８の温度のデータを
第２の通信路５を経て受信するための受信プログラムを
パソコン１に記憶させる。パソコン１が、その受信プロ
グラムを実行して上記データを受信する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、熱処理炉の制御シ
ステムに関する。
ステムに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より例えば図２に示す制御システム
を用いて、被処理物を加熱処理する熱処理炉を自動制御
することが行われている。図２において、この従来の制
御システムは、コンベアを備えた連続炉等の熱処理炉
（図示せず）を制御するものであり、パーソナルコンピ
ュータ（以下、”パソコン”という）５０と、このパソ
コン５０に第１及び第２通信線５３，５４をそれぞれ介
して順次直列に接続されたシーケンサ５１及び炉内の温
度制御を行う温度調節計５２を備えている。上記第１及
び第２通信線５３，５４には、それぞれＲＳ−４２２及
びＲＳ−２３２Ｃに準拠した通信線が使用されている。
上記温度調節計５２には、上記熱処理炉側に設けられ、
その炉内の温度を検出する熱電対（図示せず）が接続さ
れており、その検出温度（電圧信号）をデジタルデータ
に変換するＡ／Ｄコンバータが含まれている。
を用いて、被処理物を加熱処理する熱処理炉を自動制御
することが行われている。図２において、この従来の制
御システムは、コンベアを備えた連続炉等の熱処理炉
（図示せず）を制御するものであり、パーソナルコンピ
ュータ（以下、”パソコン”という）５０と、このパソ
コン５０に第１及び第２通信線５３，５４をそれぞれ介
して順次直列に接続されたシーケンサ５１及び炉内の温
度制御を行う温度調節計５２を備えている。上記第１及
び第２通信線５３，５４には、それぞれＲＳ−４２２及
びＲＳ−２３２Ｃに準拠した通信線が使用されている。
上記温度調節計５２には、上記熱処理炉側に設けられ、
その炉内の温度を検出する熱電対（図示せず）が接続さ
れており、その検出温度（電圧信号）をデジタルデータ
に変換するＡ／Ｄコンバータが含まれている。
【０００３】パソコン５０は、シーケンサ５１を介して
上記熱電対から転送された上記熱処理炉の温度のデータ
を記録するとともに、そのディスプレイ上に表示する。
シーケンサ５１には、上記温度調節計５２に加えて、オ
ン／オフ弁、リミットスイッチ、流量調整弁、ヒータ、
コンベアの駆動モータ、センサ、及びリレー等の熱処理
炉用の各種制御機器等との間を結ぶ入出力信号回線が接
続されており、専用のＩＣ等により構成された演算処理
部と、この演算処理部で実行されるシーケンスプログラ
ムを記憶したＲＡＭ等のメモリとが設けられている。上
記シーケンスプログラムには、上記の各制御機器等を所
定の手順で動作させるための動作プログラムと、パソコ
ン５０及び温度調節計５２とのデータ通信を行うための
通信プログラムとが含まれている。また、この通信プロ
グラムには、上記熱電対で検出された温度のデータを、
上記第２通信線５４から第１通信線５３に適した転送フ
ォーマットに変換してパソコン５０に転送するための転
送プログラムが含まれている。
上記熱電対から転送された上記熱処理炉の温度のデータ
を記録するとともに、そのディスプレイ上に表示する。
シーケンサ５１には、上記温度調節計５２に加えて、オ
ン／オフ弁、リミットスイッチ、流量調整弁、ヒータ、
コンベアの駆動モータ、センサ、及びリレー等の熱処理
炉用の各種制御機器等との間を結ぶ入出力信号回線が接
続されており、専用のＩＣ等により構成された演算処理
部と、この演算処理部で実行されるシーケンスプログラ
ムを記憶したＲＡＭ等のメモリとが設けられている。上
記シーケンスプログラムには、上記の各制御機器等を所
定の手順で動作させるための動作プログラムと、パソコ
ン５０及び温度調節計５２とのデータ通信を行うための
通信プログラムとが含まれている。また、この通信プロ
グラムには、上記熱電対で検出された温度のデータを、
上記第２通信線５４から第１通信線５３に適した転送フ
ォーマットに変換してパソコン５０に転送するための転
送プログラムが含まれている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の熱処理炉の制御システムでは、シーケンサ
５１が実行するシーケンスプログラムに転送プログラム
を含めていたので、シーケンスプログラムのデータ量が
膨大なものとなり、当該シーケンサ５１の演算処理部で
の処理負荷も大きくなって、上記転送プログラムを実行
するのに時間を要した。このため、上記熱電対が炉内の
温度を検出した時点からパソコン５０上にロギングされ
るまでの時間遅れが無視できなくなるという問題があっ
た。
ような従来の熱処理炉の制御システムでは、シーケンサ
５１が実行するシーケンスプログラムに転送プログラム
を含めていたので、シーケンスプログラムのデータ量が
膨大なものとなり、当該シーケンサ５１の演算処理部で
の処理負荷も大きくなって、上記転送プログラムを実行
するのに時間を要した。このため、上記熱電対が炉内の
温度を検出した時点からパソコン５０上にロギングされ
るまでの時間遅れが無視できなくなるという問題があっ
た。
【０００５】また、上記温度のデータは、温度調節計５
２から第２通信線５４、シーケンサ５１、及び第１通信
線５３を経てパソコン５０に転送されるので、各通信線
５３，５４でのデータ転送中に外部ノイズなどによって
転送誤りが生じたり、シーケンサ５１での転送フォーマ
ットの変換時にデータの端数が省略されたりして、その
データ精度が低下することがあった。
２から第２通信線５４、シーケンサ５１、及び第１通信
線５３を経てパソコン５０に転送されるので、各通信線
５３，５４でのデータ転送中に外部ノイズなどによって
転送誤りが生じたり、シーケンサ５１での転送フォーマ
ットの変換時にデータの端数が省略されたりして、その
データ精度が低下することがあった。
【０００６】上記のような従来の問題点に鑑み、本発明
は、シーケンサの処理負荷を軽減してスキャンタイムを
大幅に短縮することができ、炉内の温度のデータ精度が
低下するのを抑えることができる熱処理炉の制御システ
ムを提供することを目的とする。
は、シーケンサの処理負荷を軽減してスキャンタイムを
大幅に短縮することができ、炉内の温度のデータ精度が
低下するのを抑えることができる熱処理炉の制御システ
ムを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の熱処理炉の制御
システムは、所定のシーケンスプログラムを記憶し実行
するシーケンサを備えた熱処理炉の制御システムであっ
て、炉内の温度を検出する温度検出手段と、前記シーケ
ンサ及び温度検出手段に、互いに独立した第１及び第２
の通信路をそれぞれ介して直接接続されているととも
に、前記温度検出手段が検出した温度のデータを第２の
通信路を経て受信するための受信プログラムを記憶し実
行するデータ処理装置とを備えていることを特徴とする
ものである（請求項１）。
システムは、所定のシーケンスプログラムを記憶し実行
するシーケンサを備えた熱処理炉の制御システムであっ
て、炉内の温度を検出する温度検出手段と、前記シーケ
ンサ及び温度検出手段に、互いに独立した第１及び第２
の通信路をそれぞれ介して直接接続されているととも
に、前記温度検出手段が検出した温度のデータを第２の
通信路を経て受信するための受信プログラムを記憶し実
行するデータ処理装置とを備えていることを特徴とする
ものである（請求項１）。
【０００８】上記のように構成された熱処理炉の制御シ
ステムによれば、第２の通信路を介して温度検出手段に
直接的に接続されたデータ処理装置に上記受信プログラ
ムを記憶させ実行させることにより、シーケンサの処理
負荷を軽減することができ、スキャンタイムを大幅に短
縮することができる。しかも、温度のデータ転送が第２
の通信路でのみ行われるので、転送誤り等に起因する温
度のデータ精度が低下するのを抑えることができる。
ステムによれば、第２の通信路を介して温度検出手段に
直接的に接続されたデータ処理装置に上記受信プログラ
ムを記憶させ実行させることにより、シーケンサの処理
負荷を軽減することができ、スキャンタイムを大幅に短
縮することができる。しかも、温度のデータ転送が第２
の通信路でのみ行われるので、転送誤り等に起因する温
度のデータ精度が低下するのを抑えることができる。
【０００９】また、上記のような熱処理炉の制御システ
ム（請求項１）において、前記データ処理装置が、Ａ／
Ｄ変換機能を有するとともに炉内の温度制御を行う温度
制御手段を通して前記温度検出手段に接続されてもよい
（請求項２）。この場合、データ処理装置からＡ／Ｄ変
換機能を省略することができるとともに、複数の温度検
出手段を温度制御手段に接続した場合でも、一つの上記
第２の通信路により各温度検出手段で検出した温度のデ
ータ転送を行うことができる。しかも、信頼性の高い温
度制御手段に温度検出手段を直接接続することにより、
その温度制御を高速かつ精度よく行うことができる。
ム（請求項１）において、前記データ処理装置が、Ａ／
Ｄ変換機能を有するとともに炉内の温度制御を行う温度
制御手段を通して前記温度検出手段に接続されてもよい
（請求項２）。この場合、データ処理装置からＡ／Ｄ変
換機能を省略することができるとともに、複数の温度検
出手段を温度制御手段に接続した場合でも、一つの上記
第２の通信路により各温度検出手段で検出した温度のデ
ータ転送を行うことができる。しかも、信頼性の高い温
度制御手段に温度検出手段を直接接続することにより、
その温度制御を高速かつ精度よく行うことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の熱処理炉の制御シ
ステムを示す好ましい実施形態について、図面を参照し
ながら説明する。図１は、本発明の一実施形態による熱
処理炉の制御システムの構成を示すブロック図である。
図１において、本実施形態の制御システムは、データ処
理装置としてのパソコン１と、このパソコン１に第１の
通信路４を介して直接接続されたシーケンサ２と、第２
の通信路５を介して直接接続され、熱電対８ｃの検出結
果に基づいて熱処理炉８の温度制御を行う温度制御手段
としての温度調節計３とを備えている。また、上記シー
ケンサ２及び温度調節計３は、それぞれ制御線６，７を
介して上記熱処理炉８に接続されている。この熱処理炉
８は、上記シーケン２によってシーケンス制御される、
例えば被処理物を熱処理するための連続炉等の炉体８ａ
と、これを加熱するヒータ８ｂと、温度検出手段として
の熱電対８ｃとを備えている。尚、上記炉体８ａには、
図示を省略したコンベアの駆動モータ、ガス供給用電磁
弁、センサ、スイッチ、及びリレー等の各種制御機器等
が含まれている。
ステムを示す好ましい実施形態について、図面を参照し
ながら説明する。図１は、本発明の一実施形態による熱
処理炉の制御システムの構成を示すブロック図である。
図１において、本実施形態の制御システムは、データ処
理装置としてのパソコン１と、このパソコン１に第１の
通信路４を介して直接接続されたシーケンサ２と、第２
の通信路５を介して直接接続され、熱電対８ｃの検出結
果に基づいて熱処理炉８の温度制御を行う温度制御手段
としての温度調節計３とを備えている。また、上記シー
ケンサ２及び温度調節計３は、それぞれ制御線６，７を
介して上記熱処理炉８に接続されている。この熱処理炉
８は、上記シーケン２によってシーケンス制御される、
例えば被処理物を熱処理するための連続炉等の炉体８ａ
と、これを加熱するヒータ８ｂと、温度検出手段として
の熱電対８ｃとを備えている。尚、上記炉体８ａには、
図示を省略したコンベアの駆動モータ、ガス供給用電磁
弁、センサ、スイッチ、及びリレー等の各種制御機器等
が含まれている。
【００１１】上記パソコン１は、ＣＰＵ１ａと、ハード
ディスク装置やＲＡＭ等からなるデータ記憶部１ｂと、
入出力ポート及びモデムなどを含み、外部とのデータの
やりとりを行うデータ送受信部１ｃとを備えたものであ
り、例えば３２ビットのＯＳを搭載したＦＡＴ３２互換
機により構成されている。上記データ記憶部１ｂには、
熱電対８ｃが検出した熱処理炉８の炉体８ａの検出温度
のデータを温度調節計３から第２の通信路５を経て受信
するための受信プログラム、及びシーケンサ２との間の
データ通信を行うための通信プログラムが予め格納され
ている。
ディスク装置やＲＡＭ等からなるデータ記憶部１ｂと、
入出力ポート及びモデムなどを含み、外部とのデータの
やりとりを行うデータ送受信部１ｃとを備えたものであ
り、例えば３２ビットのＯＳを搭載したＦＡＴ３２互換
機により構成されている。上記データ記憶部１ｂには、
熱電対８ｃが検出した熱処理炉８の炉体８ａの検出温度
のデータを温度調節計３から第２の通信路５を経て受信
するための受信プログラム、及びシーケンサ２との間の
データ通信を行うための通信プログラムが予め格納され
ている。
【００１２】また、パソコン１では、ＣＰＵ１ａが受信
プログラムを実行することにより、データ送受信部１ｃ
が上記熱電対８ｃで検出した温度のデータを温度調節計
３を介して第２の通信路５から入力して、データ記憶部
１ｂに逐次記憶させる。また、ＣＰＵ１ａが通信プログ
ラムを実行することにより、熱処理炉８の処理状況など
を示す情報を要求する指示信号がデータ送受信部１ｃか
ら第１の通信路４を介してシーケンサ２に出力され、上
記情報のデータがシーケンサ２から第１の通信路４を経
てデータ送受信部１ｃに送られて、データ記憶部１ｂに
逐次記憶される。尚、上記情報のデータには、センサに
よって検出されたコンベアの搬送速度や炉体８ａ内への
ガス供給量等のリアルタイムでの検出データと、被処理
物を熱処理したときの炉体８ａ内のガス濃度や圧力等の
データを例えばロット単位にまとめた処理結果を示す結
果データとがある。上記データ記憶部１ｂに記憶されて
いるデータは、ユーザの操作等に応じて、ディスプレイ
に表示されるとともに、データ送受信部１ｃからＬＡＮ
や電話回線等を介して外部のデータ管理装置（ホストコ
ンピュータなど）に転送される。
プログラムを実行することにより、データ送受信部１ｃ
が上記熱電対８ｃで検出した温度のデータを温度調節計
３を介して第２の通信路５から入力して、データ記憶部
１ｂに逐次記憶させる。また、ＣＰＵ１ａが通信プログ
ラムを実行することにより、熱処理炉８の処理状況など
を示す情報を要求する指示信号がデータ送受信部１ｃか
ら第１の通信路４を介してシーケンサ２に出力され、上
記情報のデータがシーケンサ２から第１の通信路４を経
てデータ送受信部１ｃに送られて、データ記憶部１ｂに
逐次記憶される。尚、上記情報のデータには、センサに
よって検出されたコンベアの搬送速度や炉体８ａ内への
ガス供給量等のリアルタイムでの検出データと、被処理
物を熱処理したときの炉体８ａ内のガス濃度や圧力等の
データを例えばロット単位にまとめた処理結果を示す結
果データとがある。上記データ記憶部１ｂに記憶されて
いるデータは、ユーザの操作等に応じて、ディスプレイ
に表示されるとともに、データ送受信部１ｃからＬＡＮ
や電話回線等を介して外部のデータ管理装置（ホストコ
ンピュータなど）に転送される。
【００１３】上記第１及び第２の通信路４，５には、例
えばＲＳ−４２２またはＲＳ−４８５に準拠した通信線
が使用されている。これらの通信線は、複数の周辺機器
を数珠つなぎにパソコン１に接続可能なマルチドロップ
方式のものであり、上記ＦＡＴ３２互換機であるパソコ
ン１と組み合わせて使用することにより、合計３２台ま
でのシーケンサ２及び温度調節計３をパソコン１に容易
に接続することができる。したがって、本実施形態で
は、３１個の熱電対８ｃを炉体８ａの内部に取り付け
て、最大３１箇所の温度のデータをパソコン１で同時に
監視することができる。尚、図１では、図面の簡略化の
ために、各々１台のシーケンサ２及び温度調節計３だけ
を図示している。また、上記の通信線は従来例でのＲＳ
−２３２Ｃに準拠したものに比べて耐ノイズ性を向上し
たものであり、第１及び第２の通信路４，５の長さ、つ
まりパソコン１とシーケンサ２及び温度調節計３との各
設置間隔を１．５ｋｍ程度まで大きくすることができ
る。
えばＲＳ−４２２またはＲＳ−４８５に準拠した通信線
が使用されている。これらの通信線は、複数の周辺機器
を数珠つなぎにパソコン１に接続可能なマルチドロップ
方式のものであり、上記ＦＡＴ３２互換機であるパソコ
ン１と組み合わせて使用することにより、合計３２台ま
でのシーケンサ２及び温度調節計３をパソコン１に容易
に接続することができる。したがって、本実施形態で
は、３１個の熱電対８ｃを炉体８ａの内部に取り付け
て、最大３１箇所の温度のデータをパソコン１で同時に
監視することができる。尚、図１では、図面の簡略化の
ために、各々１台のシーケンサ２及び温度調節計３だけ
を図示している。また、上記の通信線は従来例でのＲＳ
−２３２Ｃに準拠したものに比べて耐ノイズ性を向上し
たものであり、第１及び第２の通信路４，５の長さ、つ
まりパソコン１とシーケンサ２及び温度調節計３との各
設置間隔を１．５ｋｍ程度まで大きくすることができ
る。
【００１４】シーケンサ２は、専用のＩＣ等からなる演
算処理部２ａとＲＡＭ等からなるメモリ２ｂとを備えた
ものであり、演算処理部２ａには熱処理炉８に含まれた
上記の各種制御機器が制御線６を介して接続されてい
る。メモリ２ｂには、上記の各種制御機器を所定の手順
で動作させるための動作プログラムを含んだシーケンス
プログラムが予め格納されており、演算処理部２ａがシ
ーケンスプログラムを実行することにより、熱処理炉８
に対して温度制御以外の必要な制御を行う。
算処理部２ａとＲＡＭ等からなるメモリ２ｂとを備えた
ものであり、演算処理部２ａには熱処理炉８に含まれた
上記の各種制御機器が制御線６を介して接続されてい
る。メモリ２ｂには、上記の各種制御機器を所定の手順
で動作させるための動作プログラムを含んだシーケンス
プログラムが予め格納されており、演算処理部２ａがシ
ーケンスプログラムを実行することにより、熱処理炉８
に対して温度制御以外の必要な制御を行う。
【００１５】尚、上記の説明では、受信プログラムと通
信プログラムとをデータ記憶部１ｂに予め格納し、シー
ケンスプログラムをメモリ２ｂに予め格納した構成につ
いて説明したが、本実施形態では、データ送受信部１ｃ
を利用して上記の各プログラムを容易に更新することが
できる。具体的には、例えば熱処理炉８での処理条件の
変更に応じた新たなシーケンスプログラムを外部のホス
トコンピュータ等から電話回線などを通してデータ送受
信部１ｃに転送しデータ記憶部１ｂにダウンロードした
後、さらに第１の通信路４を介してシーケンサ２に転送
してメモリ２ｂに記憶させてもよい。これにより、本実
施形態の制御システムは、熱処理炉８での処理条件の変
更に容易に対応することができ、ユーザの負担を軽減で
きる。
信プログラムとをデータ記憶部１ｂに予め格納し、シー
ケンスプログラムをメモリ２ｂに予め格納した構成につ
いて説明したが、本実施形態では、データ送受信部１ｃ
を利用して上記の各プログラムを容易に更新することが
できる。具体的には、例えば熱処理炉８での処理条件の
変更に応じた新たなシーケンスプログラムを外部のホス
トコンピュータ等から電話回線などを通してデータ送受
信部１ｃに転送しデータ記憶部１ｂにダウンロードした
後、さらに第１の通信路４を介してシーケンサ２に転送
してメモリ２ｂに記憶させてもよい。これにより、本実
施形態の制御システムは、熱処理炉８での処理条件の変
更に容易に対応することができ、ユーザの負担を軽減で
きる。
【００１６】上記温度調節計３は、上記の熱電対８ｃか
らの検出温度（電圧信号）と設定温度との差に基づきヒ
ータ８ｂに供給する電力をフィードバック制御するため
の出力値を演算して、制御信号として上記ヒータ８ｂ用
の電力調整器（図示せず）に出力する温度制御部３ａを
備えている。なお、この温度調節計３には、上記の検出
温度をデジタルデータに変換するＡ／Ｄコンバータが含
まれている。
らの検出温度（電圧信号）と設定温度との差に基づきヒ
ータ８ｂに供給する電力をフィードバック制御するため
の出力値を演算して、制御信号として上記ヒータ８ｂ用
の電力調整器（図示せず）に出力する温度制御部３ａを
備えている。なお、この温度調節計３には、上記の検出
温度をデジタルデータに変換するＡ／Ｄコンバータが含
まれている。
【００１７】上記のように構成された本実施形態の熱処
理炉の制御システムでは、パソコン１が受信プログラム
を記憶するとともに、その受信プログラムを実行して熱
電対８ｃで検出した温度のデータを温度調節計３及び第
２の通信路５を介して受信する。それゆえ、上述の従来
例のものと異なり、パソコン１はシーケンサ２の動作状
況に関わらず上記のデータを取得することができ、タイ
ムラグを少なくすることができる。また、その温度のデ
ータ転送は第２の通信路５でのみ行われるので、上記従
来例での転送フォーマットの変換処理を行う必要がな
く、転送誤り等に起因する温度のデータ精度が低下する
のを抑えることができる。さらに、シーケンスプログラ
ムから従来例での転送プログラムを割愛することができ
るので、上記メモリ２ｂに格納されるシーケンスプログ
ラムのデータ量を小さくすることができ、当該シーケン
サ２の処理負荷を軽減することができる。その結果、操
作レスポンスを向上でき、また場合によっては演算処理
部２ａの回路規模及びメモリ２ｂの記憶容量を小さいも
のとすることができ、シーケンサ２の構成を容易に簡略
化することができる。
理炉の制御システムでは、パソコン１が受信プログラム
を記憶するとともに、その受信プログラムを実行して熱
電対８ｃで検出した温度のデータを温度調節計３及び第
２の通信路５を介して受信する。それゆえ、上述の従来
例のものと異なり、パソコン１はシーケンサ２の動作状
況に関わらず上記のデータを取得することができ、タイ
ムラグを少なくすることができる。また、その温度のデ
ータ転送は第２の通信路５でのみ行われるので、上記従
来例での転送フォーマットの変換処理を行う必要がな
く、転送誤り等に起因する温度のデータ精度が低下する
のを抑えることができる。さらに、シーケンスプログラ
ムから従来例での転送プログラムを割愛することができ
るので、上記メモリ２ｂに格納されるシーケンスプログ
ラムのデータ量を小さくすることができ、当該シーケン
サ２の処理負荷を軽減することができる。その結果、操
作レスポンスを向上でき、また場合によっては演算処理
部２ａの回路規模及びメモリ２ｂの記憶容量を小さいも
のとすることができ、シーケンサ２の構成を容易に簡略
化することができる。
【００１８】また、熱電対８ｃがＡ／Ｄコンバータ（Ａ
／Ｄ変換機能）を有する温度調節計３に接続されている
ので、パソコン１からＡ／Ｄ変換機能を省略することが
できるとともに、複数の熱電対８ｃを温度調節計３に接
続した場合でも、一つの第２の通信路５により各熱電対
８ｃで検出した温度のデータ転送を行うことができる。
しかも、信頼性の高い温度調節計３に熱電対８ｃを直接
接続することにより、その温度制御を高速かつ精度よく
行うことができる。
／Ｄ変換機能）を有する温度調節計３に接続されている
ので、パソコン１からＡ／Ｄ変換機能を省略することが
できるとともに、複数の熱電対８ｃを温度調節計３に接
続した場合でも、一つの第２の通信路５により各熱電対
８ｃで検出した温度のデータ転送を行うことができる。
しかも、信頼性の高い温度調節計３に熱電対８ｃを直接
接続することにより、その温度制御を高速かつ精度よく
行うことができる。
【００１９】尚、上記の説明では、熱電対８ｃを温度調
節計３に接続した構成について説明したが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、上記受信プログラムを記
憶し実行可能なデータ処理装置が温度検出手段が検出し
た炉内の温度のデータを第２の通信路を経て受信できる
ものであれば何等限定されない。具体的には、熱電対８
ｃからの電圧信号をパソコン１のアナログ信号用の入力
ポートに直接接続する構成でもよい。
節計３に接続した構成について説明したが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、上記受信プログラムを記
憶し実行可能なデータ処理装置が温度検出手段が検出し
た炉内の温度のデータを第２の通信路を経て受信できる
ものであれば何等限定されない。具体的には、熱電対８
ｃからの電圧信号をパソコン１のアナログ信号用の入力
ポートに直接接続する構成でもよい。
【００２０】
【発明の効果】以上のように構成された本発明は以下の
効果を奏する。請求項１の熱処理炉の制御システムによ
れば、上記データ処理装置が受信プログラムを記憶する
とともに、その受信プログラムを実行して第２の通信路
を介して接続された温度検出手段から炉内の温度のデー
タを受信するので、シーケンサのスキャンタイムを大幅
に短縮することができ、またデータ転送中の転送誤り等
に起因する温度のデータ精度が低下するのを抑えること
ができる。しかも、シーケンサに記憶させ実行させるシ
ーケンスプログラムから上記従来例での転送プログラム
を割愛することができるので、シーケンサの処理負荷を
軽減することができ、さらに操作レスポンスを向上で
き、また場合によってはシーケンサの構成を簡略化する
ことができる。
効果を奏する。請求項１の熱処理炉の制御システムによ
れば、上記データ処理装置が受信プログラムを記憶する
とともに、その受信プログラムを実行して第２の通信路
を介して接続された温度検出手段から炉内の温度のデー
タを受信するので、シーケンサのスキャンタイムを大幅
に短縮することができ、またデータ転送中の転送誤り等
に起因する温度のデータ精度が低下するのを抑えること
ができる。しかも、シーケンサに記憶させ実行させるシ
ーケンスプログラムから上記従来例での転送プログラム
を割愛することができるので、シーケンサの処理負荷を
軽減することができ、さらに操作レスポンスを向上で
き、また場合によってはシーケンサの構成を簡略化する
ことができる。
【００２１】また、請求項２の熱処理炉の制御システム
によれば、データ処理装置からＡ／Ｄ変換機能を省略す
ることができるとともに、一つの上記第２の通信路によ
り複数の各温度検出手段で検出した温度のデータ転送を
行うことができるので、データ処理装置及び第２の通信
路の構成を簡略化することができる。温度制御を高速か
つ精度よく行うことができるので、熱処理炉のヒータを
適切に制御することができる。
によれば、データ処理装置からＡ／Ｄ変換機能を省略す
ることができるとともに、一つの上記第２の通信路によ
り複数の各温度検出手段で検出した温度のデータ転送を
行うことができるので、データ処理装置及び第２の通信
路の構成を簡略化することができる。温度制御を高速か
つ精度よく行うことができるので、熱処理炉のヒータを
適切に制御することができる。
【図１】本発明の一実施形態による熱処理炉の制御シス
テムの構成を示すブロック図である。
テムの構成を示すブロック図である。
【図２】従来の熱処理炉の制御システムの構成を示すブ
ロック図である。
ロック図である。
１ パソコン（データ処理装置） ２ シーケンサ ３ 温度調節計（温度制御手段） ４ 第１の通信路 ５ 第２の通信路 ８ 熱処理炉 ８ｃ 熱電対（温度検出手段）
Claims (2)
- 【請求項１】所定のシーケンスプログラムを記憶し実行
するシーケンサを備えた熱処理炉の制御システムであっ
て、 炉内の温度を検出する温度検出手段と、 前記シーケンサ及び温度検出手段に、互いに独立した第
１及び第２の通信路をそれぞれ介して直接接続されてい
るとともに、前記温度検出手段が検出した温度のデータ
を第２の通信路を経て受信するための受信プログラムを
記憶し実行するデータ処理装置とを備えていることを特
徴とする熱処理炉の制御システム。 - 【請求項２】前記データ処理装置が、Ａ／Ｄ変換機能を
有するとともに炉内の温度制御を行う温度制御手段を通
して前記温度検出手段に接続されていることを特徴とす
る請求項１記載の熱処理炉の制御システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001068641A JP4112811B2 (ja) | 2001-03-12 | 2001-03-12 | 熱処理炉の制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| JP2001068641A JP4112811B2 (ja) | 2001-03-12 | 2001-03-12 | 熱処理炉の制御システム |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002267375A true JP2002267375A (ja) | 2002-09-18 |
| JP4112811B2 JP4112811B2 (ja) | 2008-07-02 |
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| JP (1) | JP4112811B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104451119A (zh) * | 2014-10-27 | 2015-03-25 | 山东钢铁股份有限公司 | 一种台车式燃气热处理炉温控系统及温控方法 |
| WO2021109104A1 (zh) * | 2019-12-06 | 2021-06-10 | 苏州博能炉窑科技有限公司 | 一种宽调节比热处理炉及控制方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN105300123A (zh) * | 2015-11-16 | 2016-02-03 | 四川华索自动化信息工程有限公司 | 基于信号预处理的频率补偿式焙烧炉烟道温度监控系统 |
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-
2001
- 2001-03-12 JP JP2001068641A patent/JP4112811B2/ja not_active Expired - Fee Related
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