JP2002266867A

JP2002266867A - セラミック動圧軸受、軸受付きモータ、ハードディスク装置及びポリゴンスキャナ

Info

Publication number: JP2002266867A
Application number: JP2001065544A
Authority: JP
Inventors: Takanobu Ishikawa; 敬展石川; Atsutoshi Sugiyama; 敦俊杉山
Original assignee: NGK Spark Plug Co Ltd
Current assignee: Niterra Co Ltd
Priority date: 2001-03-08
Filing date: 2001-03-08
Publication date: 2002-09-18

Abstract

(57)【要約】【課題】始動・停止時等において摩耗等が生じにく
く、かつ動圧軸受けの好適な回転を実現できるセラミッ
ク動圧軸受けを提供する。【解決手段】円筒状の外周面を有する第一部材１４
と、円筒状の挿通孔１５ａを有した第二部材１５とを有
し、ここに第一部材１４が挿通される。そして、第二部
材１５の挿通孔内面と第一部材１４の外周面との間にラ
ジアル動圧隙間が形成される。第一部材１４及び第二部
材１５とはいずれも、Ａｌ_２Ｏ_３換算したＡｌ成分の含
有率が９０〜９９．５質量％であって、酸化物系焼結助
剤成分を酸化物換算にて０．５〜１０質量％含有するア
ルミナ質セラミックにて構成される。そして、第二部材
１５の外周面１５ｂ及び挿通孔１５ａの同軸度が１μｍ
以下に調整される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、セラミック動圧軸
受、軸受付きモータ、ハードディスク装置及びポリゴン
スキャナに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、電気機器の駆動源となるモータ軸
の軸受としてはボールベアリングが用いられることが多
かったが、コンピュータ周辺機器などの精密機器におい
ては、モータの高速回転化が急速に進んでおり、低回転
ムラや異音・振動の少ない優れた軸受性能を得るため、
あるいは軸受の長寿命化のために、空気等の流体を媒介
とした動圧軸受が用いられている。動圧軸受は、例えば
主軸とこれを取り囲むように配置される軸受部とが軸線
周りに回転する場合には、主軸外周面と軸受部内周面と
の隙間に発生する流体動圧により回転軸を支持する。ま
た、主軸又は軸受部のスラスト面を動圧支持するように
した軸受もある。

【０００３】ところで、動圧軸受においては、発生動圧
レベルの十分に高い高速回転状態では、動圧隙間を挟ん
で対向する部材同士の接触は生じないが、回転数の小さ
い起動時および停止時には十分な動圧が発生しないため
に、部材同士の接触が生ずる。そして、上記のような動
圧軸受の部品構成材料には、ステンレス等の金属もしく
はこれらに樹脂等のコーティングを施したものが一般的
に用いられてきたが、金属製のものは上記起動時あるい
は停止時の部材接触により、摩耗や焼き付きが問題にな
ることがある。これを防止するために、動圧隙間に面す
る部分に樹脂などの潤滑層をコーティングする試みもな
されているが、効果は必ずしも十分ではない。そこで、
摩耗や焼き付きに対する耐久性を十分に確保するため
に、上記主軸ないし軸受部など、動圧隙間を挟んで対向
する部材をアルミナ等のセラミックにより構成すること
が行われている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、動圧部
品にアルミナ質セラミックを使用した従来の動圧軸受で
は、加工仕上げ精度の観点において、材料設計上の考慮
があまり払われていなかった。例えば、ラジアル方向の
動圧は、主軸外周面と軸受部内周面とを動圧隙間形成面
として、それらの間に形成されるラジアル動圧隙間に発
生する形となるが、本発明者らが検討したところによる
と、単に動圧隙間形成面の加工精度を確保するのみで
は、均一で安定な回転状態を確保するのには必ずしも十
分でないことが判明した。

【０００５】本発明の課題は、始動・停止時等において
摩耗等が生じにくく、かつ動圧軸受の好適な回転を実現
できるセラミック動圧軸受を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決する手段及び作用・効果】上記課題を解決
するために本発明のセラミック動圧軸受は、円筒状の外
周面を有する第一部材と、円筒状の外周面及び円筒状の
挿通孔を有した第二部材とを有し、第二部材の挿通孔に
該第一部材が挿通されるとともに、第二部材の挿通孔内
面と、これに挿通される第一部材の外周面とをそれぞれ
ラジアル動圧隙間形成面として、それらラジアル動圧隙
間形成面の間にラジアル動圧隙間が形成され、それら第
一部材と第二部材との相対回転に伴い、ラジアル動圧隙
間に流体動圧を発生させるよう構成され、第一部材及び
第二部材とはいずれも、Ａｌ_２Ｏ_３換算したＡｌ成分の
含有率が９０〜９９．５質量％であって、酸化物系焼結
助剤成分を酸化物換算にて０．５〜１０質量％含有する
アルミナ質セラミックにて構成され、さらに、第二部材
の外周面と挿通孔との同軸度が１μｍ以下に調整されて
いることを特徴とする。

【０００７】本発明者が検討したところによると、ラジ
アル動圧隙間形成面の局所的な摩耗を防止しつつ、均一
で安定な動圧発生状態ひいては回転状態を確保するに
は、単にラジアル動圧隙間形成面の加工仕上げ精度を一
定レベル以上に確保するのみならず、ハードディスクや
ポリゴンミラー等の取付けがなされる第二部材の外周面
の加工精度を一定以上に確保すること、具体的には、第
二部材の外周面と挿通孔との同軸度が上記範囲のものと
なっていることが重要であることが判明した。そして、
さらに鋭意検討を重ねた結果、それら第一部材及び第二
部材をアルミナ質セラミックにて構成する場合、該セラ
ミックのアルミナ含有率を９０〜９９．５質量％に調整
することが、上記のような加工精度を確保する上で有効
であることを見出し、本発明を完成するに至った。

【０００８】第二部材の外周面と挿通孔との同軸度が１
μｍより大きくなっていると、第二部材の外周面に取り
付けられるハードディスクやポリゴンミラー等の中心軸
線が、動圧軸受の回転軸線に対して偏心しやすくなり、
芯ぶれによる振動や、起動あるいは停止時の動圧隙間形
成面の局所摩耗等が避けがたくなる。なお、同軸度の定
義は、ＪＩＳ：Ｂ００２１の１８．１３．２に規定され
たものを使用する。第二部材の外周面及び挿通孔の同軸
度は、精度確保上、必要十分な数だけ設定した軸直交断
面において、その面外形線形状を公知の形状プロファイ
ル測定装置を用いて測定し、その形状プロファイルから
算出することができる。なお、後述する動圧溝が形成さ
れている場合は、その動圧溝の形成領域を除いた面領域
を用いて同軸度の評価を行なうものとする。

【０００９】なお、同軸度は小さければ小さいほどよい
が、加工コストの兼ね合いを考慮すれば、０．５μｍ程
度を下限とすることが妥当である。

【００１０】第二部材を構成するアルミナ質セラミック
のアルミナ含有率あるいは焼結助剤成分含有率を上記の
ような範囲に調整するのは、以下のような理由による。
すなわち、焼結助剤成分が過度に増加してアルミナ含有
率が不足すると、焼成時に発生する液相量が増加して焼
結体の結晶粒成長が過度に進行する。このように、焼結
助剤成分の含有率が高く、また、結晶粒成長が進みすぎ
たセラミック組織は硬さが小さく、砥石や砥粒にて加工
仕上げする際の研削抵抗が小さくなる。研磨が不必要に
急速進行する傾向があり、研磨面の精度を確保しにくく
なる欠点がある。すなわち、研磨面の加工精度を高める
には、セラミックの材質が適度な硬さを有していること
が重要である。

【００１１】そこで、セラミックのアルミナ含有率を最
低でも９０質量％確保すること、あるいは焼結助剤成分
の含有率を１０質量％以下に制限することにより、上記
のような過度の結晶粒成長が生じ難くなり、ひいては、
第二部材の外周面と挿通孔との同軸度を前記数値範囲内
に容易に確保することができるようになる。その結果、
回転時の芯ぶれや起動停止時のラジアル動圧隙間形成面
の局所的な摩耗が生じ難くなり、ひいては軸受の回転状
態を均一で安定なものとすることができる。

【００１２】他方、焼結助剤成分含有率が減少してアル
ミナ含有量が過剰になると、焼結時の液相発生量が減少
し、結晶粒子の成長が抑制されて平均結晶粒径は相当小
さな値となる。その結果、逆にセラミックの研磨や研削
に対する抵抗が大きくなりすぎて、加工能率の大幅な低
下を招くことにつながる。

【００１３】以上の観点において、アルミナ含有率は、
望ましくは９２〜９８質量％、より望ましくは９３〜９
７質量％とするのがよい。さらに、粒界相を構成する酸
化物系焼結助剤成分は、酸化物換算にて望ましくは２〜
８質量％、より望ましくは３〜７質量％含有させること
ができる。

【００１４】酸化物系焼結助剤成分としては、例えばカ
チオン成分がＬｉ、Ｎａ、Ｋ、Ｍｇ、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂ
ａ、Ｓｃ、Ｙ、Ｌａ、Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、
Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ、Ｌｕ及び
Ｓｉである酸化物を使用することができる。この場合、
アルミナ質セラミックには、上記カチオン成分群から選
ばれる１種又は２種以上を酸化物換算した値にて、合計
で０．５〜１０質量％（望ましくは２〜８質量％、より
望ましくは３〜７質量％）含有させることができる。

【００１５】これらのうち、Ｓｉ成分は粒界相の骨格を
形成して強度を高めるとともに、液相の流動性を改善す
る効果を有する。また、アルカリ金属であるＬｉ、Ｎａ
及びＫの３成分は、焼成時に生ずる液相の融点を下げ、
液相の流動性を向上させて焼結体の緻密化を促進する効
果がある。このうち、Ｎａは安価であり、また、バイヤ
ー法にて製造された一般的なアルミナ原料粉末中では、
本来不純物として存在するＮａも、焼結助剤として流用
できる利点がある。なお、これら３成分は、いずれも組
成式Ｍ_２Ｏ（ただし、Ｍはカチオン金属元素である）に
て酸化物換算する。

【００１６】他方、アルカリ土類金属であるＭｇ、Ｃ
ａ、Ｓｒ及びＢａの４成分も、アルカリ金属に次いで焼
成時に生ずる液相の融点を下げる効果が大きい。他方、
これらの元素は、粒界相中に取り込まれた際にその強度
を向上させる効果を有する。その結果、焼結体全体（ひ
いては動圧隙間形成面）の強度及び耐摩耗性を向上させ
ることができる。該効果は、Ｃａを用いた場合に特に大
きい。これら４成分は、いずれも組成式ＭＯ（ただし、
Ｍはカチオン金属元素である）にて酸化物換算する。

【００１７】また、希土類金属であるＳｃ、Ｙ、Ｌａ、
Ｃｅ、Ｐｒ、Ｎｄ、Ｓｍ、Ｅｕ、Ｇｄ、Ｔｂ、Ｄｙ、Ｈ
ｏ、Ｅｒ、Ｔｍ、Ｙｂ及びＬｕは、粒界相の結晶化を促
進し、その強度を向上させる効果を有する。その結果、
焼結体全体ひいては動圧隙間形成面の強度及び耐摩耗性
を向上させることができる。該効果は、Ｃｅを用いた場
合に特に大きい。これら成分は、Ｃｅのみ組成式ＭＯ_２
により、他は組成式Ｍ _２Ｏ_３（ただし、Ｍはカチオン金
属元素である）にて酸化物換算する。

【００１８】次に、アルミナ質セラミックの見かけ密度
は、３．５〜３．９ｇ／ｃｍ^３であることが望ましい。
アルミナ質セラミックの密度を比較的高い値である３．
５〜３．９ｇ／ｃｍ^３に調整することにより、動圧隙間
発生面を構成するアルミナ質セラミックの強度及び耐摩
耗性の絶対値を向上させることができ、ひいては部材間
の接触が生じやすい回転の起動・停止時において、動圧
隙間形成面の摩耗を効果的に防止することができる。

【００１９】なお、理想的に緻密化したアルミナ質セラ
ミックの密度は最大で４．０ｇ／ｃｍ^３に到達するが、
このように完全に緻密化するまでアルミナ質セラミック
を焼結しようとすると、焼結温度をどうしても高温に設
定せざるを得なくなり、結晶粒成長が避けがたくなる。
このような状態になると、前述の通りラジアル動圧隙間
形成面の精度を確保しにくくなる場合がある。しかしな
がら、アルミナ質セラミックの見かけ密度を３．９ｇ／
ｃｍ^３程度までに留めれば、焼結温度をそれほど高温化
する必要はなくなり、結晶粒成長も抑制されるので、第
二部材の外周面と挿通孔との同軸度を前記した数値範囲
内のものとする上で一層好都合である。他方、見かけ密
度が３．５未満になるとアルミナ質セラミックの強度及
び耐摩耗性が損なわれ、起動・停止時の動圧隙間形成面
の摩耗が却って生じやすくなる場合がある。アルミナ質
セラミックの見かけ密度は、より望ましくは３．６〜
３．９ｇ／ｃｍ^３の範囲にて調整することが望ましい。

【００２０】なお、アルミナ質セラミックの見かけ密度
は、緻密化の進行状態のみでなく、添加する焼結助剤の
種類や含有量の影響も多少は受ける。そして、セラミッ
クの緻密化レベルと結晶粒成長の度合いとの関係を論ず
る場合は、相対密度（すなわち、アルミナ及び焼結助剤
の組成比から見積もられる真密度により、見かけ密度を
除した値）を尺度として用いることもできる。本発明に
おいては、アルミナ質セラミックの相対密度は９０％以
上とするのがよく、望ましくは９０〜９８％、より望ま
しくは９４〜９７％とするのがよい。

【００２１】上記のような密度範囲に調整されたアルミ
ナ質セラミックは、その曲げ強度レベルとして、２８０
〜５５０ＭＰａの比較的高い値が可能となる。また、荷
重１５Ｎにて測定したロックウェル硬さは、９２〜９８
程度とすることができる。さらに、破壊靭性値は３〜５
ＭＰａ・ｍ^１／２程度とすることができる。アルミナ質
セラミックの強度、硬さあるいは破壊靭性値がこのよう
な範囲のものとなることで、研磨ないし研削といった加
工能率を極端に低下させることなく、十分な加工精度を
確保することができる。なお、本明細書において曲げ強
度は、ＪＩＳ：Ｒ１６０１（１９８１）に規定された方
法に基づいて、室温にて測定した３点曲げ強度を意味す
る。また、荷重１５Ｎにて測定したロックウェル硬さ
は、ＪＩＳ：Ｚ２２４５に規定された方法に基づいて、
室温にて測定した硬さ値を意味する。さらに、破壊靭性
値はＪＩＳ：Ｒ１６０７（１９９０）に規定されたＩＦ
法による測定値を意味する。

【００２２】なお、本発明のセラミック動圧軸受は、回
転軸線方向における第二部材の少なくとも一方の端面に
対向する形で配置されるスラスト板を有し、第二部材の
端面と、これに対向するスラスト板の対向面とをそれぞ
れスラスト動圧隙間形成面として、それらスラスト動圧
隙間形成面の間にスラスト動圧隙間が形成されるものと
して構成することができる。

【００２３】例えば図１に例示する構造の動圧軸受の場
合には、ラジアル方向とは、主軸の回転軸線方向（図の
上下方向）と垂直な方向（従って径方向）である。図１
では、第一部材である固定された主軸の外周面と、筒状
回転体として構成された第二部材である軸受部の内周面
とが、ラジアル動圧隙間形成面である。回転軸線方向に
長い形態の軸受の場合、ラジアル動圧が十分に発生する
か否かは、回転軸線を安定に支持する上で重要である。
また、スラスト方向とは、主軸の軸方向、すなわち回転
軸線の向き（図の上下方向）である。図１では、軸受部
の端面と、軸線方向においてその軸受部の端面と対向す
るスラスト板の板面とが、スラスト動圧隙間形成面とな
る。なお、スラスト動圧隙間形成面は、回転軸線方向に
対する垂直面より僅かに傾斜していてもよい。後述の通
り、回転軸線方向に短い形態の軸受の場合、スラスト動
圧が十分に発生するか否かは、回転軸線を安定に支持す
る上で重要である。なお、図１０に示すように、主軸２
１２が回転側となり、筒状の軸受部２２１が固定側とな
る軸受２５１も可能である。なお、以下において、ラジ
アル動圧隙間（形成面）とスラスト動圧隙間（形成面）
とを総称する場合は、単に動圧隙間（形成面）ともい
う。

【００２４】また、上記の加工精度確保の観点から、本
発明に使用するアルミナ質セラミックの結晶粒子の平均
粒径は、１〜７μｍの範囲に調整することが望ましい。
アルミナ質セラミック結晶粒子の平均粒径が７μｍより
も大きくなると、研磨加工時に比較的大きなアルミナ結
晶粒子が脱落して研磨面を傷つけやすくなり、加工精度
低下を招く場合がある。一方、平均粒径を１μｍ未満と
することは焼成温度をそれほど高くできなくなることを
意味し、焼結体密度の低下ひいては強度不足等を招く結
果につながる。

【００２５】次に、動圧隙間を形成する第一部材及び第
二部材は、それぞれ全体をアルミナ質セラミック（以
下、単にセラミックともいう）にて構成することができ
る。部材を構成するセラミックは、内部は空孔の少ない
緻密な焼結体組織とし、動圧隙間形成面部分は空孔が比
較的多く形成された組織とすることが、発生動圧レベル
の向上や、凝着摩耗あるいはリンキングの防止効果と、
強度及び耐摩耗性向上効果とを両立させる上で望まし
い。具体的には、セラミック焼結体中に存在する寸法２
〜２０μｍの空孔が主に、動圧隙間形成面に表面空孔の
形で局在化した形で存在しているのがよい。そして、こ
のような組織を能率よく形成するには、前述のように、
動圧隙間形成面を加工仕上げする際に、セラミック結晶
粒子を脱落させて表面空孔を形成することが有効であ
る。

【００２６】また、本発明の動圧軸受は、動圧軸受の軸
方向の長さがスラスト動圧隙間形成面の外径よりも長い
か、あるいはスラスト動圧隙間が形成されないものと
し、回転体の回転時の傾斜がラジアル動圧隙間に発生す
る動圧により規制されるように構成できる。これは、例
えば図７に示すように、回転軸の長い動圧軸受を規定し
たものであり、回転体である軸受部３５が傾斜すると、
ラジアル動圧隙間３７に発生する圧力により、その傾斜
が修正される。他方、動圧軸受の軸方向の長さがスラス
ト動圧隙間形成面の外径よりも短く、回転体の回転時の
傾斜が、主にスラスト動圧隙間に発生する動圧により規
制されるように構成することもできる。これは、例えば
図３に示すような回転軸が短い動圧軸受を規定したもの
であり、回転体である軸受部が傾斜すると、スラスト動
圧隙間に発生する動圧により、その傾斜が修正される。

【００２７】なお、動圧隙間形成面には動圧溝を形成す
ることができる。例えば、ラジアル動圧隙間形成面とな
る回転軸外周面に、周知の動圧溝が形成されていること
により、より一層スムーズな回転が実現できる。この動
圧溝としては、図２（ａ）に例示するように、例えば軸
受部に挿入される軸外周面（ラジアル動圧隙間形成面）
に周方向に所定間隔で複数の動圧溝を形成できる。この
実施形態では軸外周面の母線と一定角度をなす形で傾斜
した直線状の溝列とされているが、山型（あるいはブー
メラン型）の溝パターンを、軸周方向の基準線上に、溝
パターンの先端が位置するように、所定の間隔で全周に
わたって形成した、いわゆるヘリングボーン形態など、
他の公知の形態を採用することもできる。また、図２
（ｂ）に例示するように、例えばスラスト板の表面（ス
ラスト動圧隙間形成面）に動圧溝を形成することもでき
る。この例では、板面周方向において、スラスト板中心
位置からの距離が漸減する曲線状の溝部を周方向に所定
の間隔で複数形成している。

【００２８】本発明の動圧軸受は、例えばハードディス
ク装置のハードディスク回転主軸部分、あるいはＣＤ−
ＲＯＭドライブ、ＭＯドライブあるいはＤＶＤドライブ
などのコンピュータ用周辺機器のディスク回転主軸部
分、さらにはレーザープリンタやコピー機等に使用され
るポリゴンスキャナのポリゴンミラー回転主軸部分の軸
受として有効に使用することができる。これらの精密機
器における回転駆動部の軸受には、例えば８０００ｒｐ
ｍ以上（さらに高速性の要求される場合には、１０００
０ｒｐｍ以上ないし３００００ｒｐｍ以上）の高速回転
が要求されるため、本発明の適用により、発生する流体
動圧レベルを高く安定なものとでき、ひいては振動等を
低減する効果を特に有効に引き出すことができる。ま
た、本発明は、上記セラミック動圧軸受をモータ回転出
力部の軸受として用いた軸受付きモータを提供する。さ
らに、上記の軸受付きモータと、その軸受付きモータに
より回転駆動されるハードディスクとを備えたハードデ
ィスク装置、あるいは、上記の軸受付きモータと、その
軸受付きモータにより回転駆動されるポリゴンミラーと
を備えたポリゴンスキャナも提供する。

【００２９】なお、アルミナ質セラミックにさらに強靭
性を付与するために、ジルコニア質セラミックを配合し
た複合セラミック材料とすることもできる。このような
複合セラミック材料は、最も含有率の高いセラミック成
分がアルミナ及びジルコニアの一方であり、二番目に含
有率の高いセラミック成分がアルミナ及びジルコニアの
他方であるセラミック粉末を用いて、成形・焼成するこ
とにより得ることができる。なお、アルミナ質セラミッ
クに対するジルコニア質セラミックの配合量は、５〜６
０体積％とするのがよい。

【００３０】また、アルミナ質セラミックを基質とし
て、これに、金属カチオン成分がＴｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、Ｔ
ａ及びＷの少なくともいずれかである導電性無機化合物
相を含有させた複合セラミック材料とすることもでき
る。このような複合セラミック材料は、基質セラミック
の成形用素地粉末に、導電性無機化合物相の形成源とな
る粉末を配合して、成形・焼成することにより得ること
ができる。導電性無機化合物相を含有させることによ
り、セラミック材料に導電性を付与することができ、ひ
いては該セラミック材料にワイヤーカット等の放電加工
を施すことが可能となる。また、導電性の付与により、
帯電防止の効果を達成することができる。

【００３１】導電性無機化合物は、Ｔｉ、Ｚｒ、Ｎｂ、
Ｔａの少なくともいずれかを金属カチオン成分とする金
属窒化物、金属炭化物、金属硼化物、金属炭窒化物、及
び炭化タングステンの少なくともいずれかとすることが
でき、具体的には、窒化チタン、炭化チタン、硼化チタ
ン、炭化タングステン、窒化ジルコニウム、炭窒化チタ
ン及び炭化ニオブ等を例示できる。なお、導電性無機化
合物相の含有量は、複合セラミック材料の強度及び破壊
靭性値を確保しつつ十分な導電性向上を図るため、２０
〜６０体積％とするのがよい。なお、上記のような複合
セラミックを使用する場合、すでに説明したアルミナ含
有率あるいは焼結助剤の含有率は、複合セラミック全体
における含有率ではなく、アルミナ質セラミックからな
る基質中での含有率に読み替えるものとする。

【００３２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面に示す実施例により説明する。（実施例１）図３に示すセラミック動圧軸受３は、（以
下単に動圧軸受とも記す）は、例えばポリゴンスキャナ
１において、ポリゴンミラー８を回転駆動するための動
圧軸受付きモータに使用されるものであり、空気を動圧
発生用流体として使用するものである。この動圧軸受付
きモータ２では、円筒状の軸受部１５（回転体）を回転
させるために、軸受部１５の外周面に一体化された支持
体７に永久磁石９が取り付けられ、基台１１にはこの永
久磁石９と対向するコイル１３が取り付けられている。
なお、永久磁石９とコイル１３との配置関係はこれを入
れ替えてもよい。

【００３３】セラミック動圧軸受３は、筒状の軸受部１
５（例えば、内径１５ｍｍ、外径２５ｍｍ、軸方向長さ
８ｍｍ）の挿通孔１５ａに、筒状の主軸（例えば、内径
５ｍｍ、外径１５ｍｍ、軸方向長さ８ｍｍ）１４が挿通
されている。図４に示すように、挿通孔１５ａの内周面
Ｍ２と、主軸１４の外周面Ｍ１とはいずれも円筒状のラ
ジアル動圧隙間形成面であり、それらの間には、回転軸
線Оに関するラジアル方向の動圧を発生させるために、
空気にて満たされたラジアル動圧隙間１７が形成されて
いる。なお、ここでは主軸１４が請求項でいう第一部材
であり、軸受部１５が同じく第二部材である。

【００３４】一方、主軸１４の両端面には、円板状のス
ラスト板（例えば、内径５ｍｍ、外径２５ｍｍ、厚さ２
ｍｍ）２１，２３が同軸的に一体化されており、それら
スラスト板２１，２３の内側の板面Ｍ４，Ｍ６が、回転
体である軸受部１５の両端面Ｍ３，Ｍ５と対向してい
る。本実施例では、スラスト板２１，２３は、図３に示
すように、各内孔２１ｂ，２３ｂの内縁部にて主軸１４
の端面に重ねられ、主軸１４の中心孔１４ｂに挿通され
たボルト２５を基台１１にねじ込むことにより押圧固定
されているが、固定形態はこれに限られるものではな
い。

【００３５】そして、図４に示すように、スラスト板２
１，２３の板面Ｍ４，Ｍ６と、軸受部１５の両端面Ｍ
３，Ｍ５とが各々スラスト動圧隙間形成面となり、それ
らの間には、回転軸線Оに関するスラスト方向の動圧を
発生させるために、空気にて満たされたスラスト動圧隙
間１８，１８が形成されている。スラスト動圧隙間１
８，１８の各大きさは例えば約６μｍ程度である。ま
た、スラスト動圧隙間１８形成の観点から見た場合、ス
ラスト板２１，２３が第一部材であり、軸受部１５が第
二部材である。

【００３６】主軸１４、軸受部１５及びスラスト板２
１，２３は、それぞれ全体がアルミナ質セラミックにて
構成されており、そのアルミナ含有率は９０〜９９．５
質量％、望ましくは９２〜９８質量％であり、残部が酸
化物系焼結助剤成分と不可避不純物である。そして、軸
受部（第二部材）１５の外周面１５ｂと挿通孔１５ａと
の同軸度が０．５μｍ以上１μｍ以下である。

【００３７】軸受部（第二部材）１５の外周面１５ｂと
挿通孔１５ａとの同軸度が１μｍより大きくなっている
と、図５に誇張して示すように、該外周面にハードディ
スク、ポリゴンミラーもしくはそれらの支持体（以下、
これらを総称する場合に、被圧入体ともいう）を取り付
けた際に、同軸度が小さいために、該被圧入体の軸線Ｏ
２が第二部材の回転軸線Ｏ１に対して偏心しやすくな
り、芯ぶれ及びそれによる振動や、回転・停止時の動圧
隙間形成面の凝着摩耗等の原因となりうる。しかしなが
ら、図６に示すように、同軸度を１μｍ以下に留めるこ
とで偏心が生じにくくなり、ひいては上記不具合を解消
することができる。

【００３８】各部材を構成するアルミナ質セラミックの
見かけ密度は３．５〜３．９ｇ／ｃｍ^３、望ましくは
３．６〜３．８ｇ／ｃｍ^３であり、相対密度は９０〜９
８％、望ましくは９４〜９７％である。さらに、セラミ
ック結晶粒子の平均粒径は１〜７μｍ、望ましくは２〜
５μｍである。

【００３９】ラジアル動圧隙間形成面Ｍ１，Ｍ２の少な
くとも一方（例えば主軸１４側のＭ１）には、発生動圧
レベルを高めるために、図２（ａ）に示すような周知の
動圧溝を形成することができる。また、スラスト動圧隙
間形成面Ｍ３〜Ｍ６の少なくともいずれか（例えばスラ
スト板２１，２３側のＭ４，Ｍ６）にも、図２（ｂ）に
示すような周知の動圧溝を形成することができる。

【００４０】以下、上述したセラミック動圧軸受３の製
造方法について説明する。各セラミック部材すなわち、
主軸１４、軸受部１５、及びスラスト板２１，２３は、
公知の焼結法により製造できる。すなわち、平均粒径１
〜５μｍのアルミナ原料粉末に対し、焼結助剤粉末とし
てＭｇＯ，ＣａＯ，ＣｅＯ_２，ＳｉＯ_２，Ｎａ_２Ｏ等の
酸化物粉末を配合して成形用素地粉末とし、これを金型
成形あるいは冷間静水圧プレス等の公知の成形法により
対応する形状にプレス成形する。その成型体を温度１４
００〜１７００℃にて焼結することにより焼結体を得
る。

【００４１】この焼結体には、動圧隙間形成面の予定面
を含む必要な面に研磨加工が施され、所定の寸法に仕上
げられる。具体的には、軸受部１５の挿通孔１５ａの内
周面、外周面及び両端面、主軸１４の外周面、及び両ス
ラスト板２１，２３の軸受部１５端面への対向面に、例
えば番手＃１００〜＃２００のダイアモンド砥石によ
り、周速１０００〜１２００ｍ／ｓの高速研磨を施し、
さらに仕上げのために、番手＃４０００〜＃６０００の
ダイアモンド砥粒によりバフ研磨を行なう。各部材を構
成するアルミナ質セラミックの材質として、アルミナ含
有率が９０〜９９．５質量％、望ましくは９２〜９８質
量％のものを使用することで、軸受部１５の外周面１５
ｂのと挿通孔１５ａとの同軸度を前記の範囲のものとす
る上で好都合となる。

【００４２】加工仕上げが終了すれば、各動圧隙間形成
面Ｍに前述の動圧溝がサンドブラストやエッチングなど
により刻設され、最終的な主軸１４、軸受部１５あるい
はスラスト板２１，２３が得られる。そして、図３に示
すように、支持体７、永久磁石９及びコイル１３を組み
付け、さらに、ボルト２５を用いて主軸１４、軸受部１
５及びスラスト板２１，２３を組み立てることにより、
動圧軸受付きモータが得られる。また、支持体７にポリ
ゴンミラー８を取り付ければ、ポリゴンスキャナ１の組
立てが完了する。

【００４３】ポリゴンスキャナ１は以下のように動作す
る。すなわち、動圧軸受付きモータ２は交流誘導モータ
として構成され、コイル１３への通電によりにポリゴン
ミラー８が主軸１４を固定軸として、軸受部１５及び支
持体７とともに一体的に回転駆動される。その最大回転
数は８０００ｒｐｍ以上の高速回転であり、より大きな
スキャン速度が要求される場合には、最大回転数にて１
００００ｒｐｍ以上、さらには３００００ｒｐｍ以上
（例えば５００００ｒｐｍ程度）にも達する場合があ
る。従って、コイル１３のターン数や励磁用の永久磁石
９が発生する外部磁界の値、さらには定格駆動電圧等
が、ポリゴンミラー８の回転負荷を考慮して上記最大回
転数が実現されるように適宜設定される。ここで、主軸
１４と軸受部１５との間のラジアル動圧隙間１７には回
転軸線Оに関するラジアル動圧が、スラスト板２１，２
３と軸受部１５との間のスラスト動圧隙間１８には同じ
くスラスト動圧が発生し、ラジアル方向及びスラスト方
向の双方において、相対回転する部材間の非接触状態が
維持された状態でポリゴンミラー８の回転軸線が支持さ
れる。

【００４４】次に、図７は、ポリゴンスキャナに使用す
るモータの別例を示すものである（ポリゴンミラーは図
示を省略している）。このモータ３１も、図３と類似の
構成の、本発明のセラミック動圧軸受３３を含んで構成
される。セラミック動圧軸受３３は、円筒状の軸受部３
５（例えば、内径１３ｍｍ強、外径２５ｍｍ、軸方向長
さ５ｍｍ）と、その挿通孔３７にて軸受部３５の軸方向
に嵌挿された主軸３９（直径１３ｍｍ弱、長さ８ｍｍ）
とを有し、主軸３９は固定されて回転せず、その周囲の
軸受部３５側が回転する構成となっている。軸受部３５
の内周面及び主軸３９の外周面をそれぞれラジアル動圧
隙間形成面Ｍ２，Ｍ１として、それらの間にはラジアル
動圧隙間３８が形成される。なお、図７のセラミック動
圧軸受３３では、軸受部３５及び主軸３９の軸線方向寸
法が図３のセラミック動圧軸受３よりも大きく、回転軸
線Оの支持力としてはラジアル動圧が主体的となること
から、スラスト板が省略された構成となっている。

【００４５】なお、図３のセラミック動圧軸受３と同様
に、軸受部３５側を回転させるために、軸受部３５の外
周に一体化された環状の支持体４１に永久磁石４３が配
置され、この永久磁石４３と対向するコイル４７が基台
４５上に取り付けられている。さらに、軸受部３５及び
主軸３９の少なくとも一方の動圧隙間形成面Ｍ、例えば
主軸３９の外側の動圧隙間形成面（外側ラジアル動圧隙
間形成面）Ｍ１には、前記図２（ａ）に示すような動圧
溝が形成されている。そして、軸受部３５の外周面３５
ｂと挿通孔３７との同軸度が、図３と同様の範囲内のも
とされている。

【００４６】図９は、ポリゴンスキャナのさらに具体的
な構成例を示すものである。ポリゴンスキャナ９０にお
いて基台１００上には、本発明のセラミック動圧軸受１
０１を支持固定するための芯軸１０２の一端を垂直に固
定してある。この芯軸１０２にはセラミック製の下スラ
スト板１０３を固定して設けてある。芯軸１０２にはセ
ラミックス製の主軸１０５を貫通して固定してある。さ
らに、セラミック製の軸受部１０７は、主軸１０５の円
筒外周面をなすラジアル動圧隙間形成面１０６と、軸受
部１０７の内周面をなすラジアル動圧隙間形成面１０８
との間にラジアル動圧隙間９１を有していて、回転自在
に設けてある。さらに、セラミック製の上スラスト板１
０９は、芯軸１０２に貫通されて固定してある。また、
軸受部１０７の上部と下部に形成したスラスト動圧隙間
形成面１１０，１１１と、下スラスト板１０３のスラス
ト動圧隙間形成面１１２、及び上スラスト板１０９のス
ラスト動圧隙間形成面１１３とのそれぞれの間にスラス
ト動圧隙間９２，９２が形成される。各セラミック部材
の材質は、ここでもアルミナ系セラミックであり、組織
的あるいは組成的には図３及び図７のセラミック動圧軸
受３ないし３３と同様の構成である。

【００４７】軸受部１０７の外周面１０７ｂには、別体
で形成された支持部１１４を固定し、さらに、多数の反
射面１１５が形成されたポリゴンミラー１１６を固定部
材１１７で支持部１１４に固定する（回転体と支持部１
１４は一体でもよい）。芯軸１０２の他端は保持座板１
１８とボルト１１９で固定してある。また、下スラスト
板１０３のスラスト動圧隙間形成面１１２に、図２
（ｂ）に示すものと同様の動圧溝１２１を形成する。さ
らに、図示はしていないが、ラジアル動圧隙間形成面１
０６をなす、主軸１０５の外周面（以下、外周面１０６
とも記す。）にも図２（ａ）に示すものと同様の動圧溝
を形成する。また、軸受部１０７の外周面１０７ｂ及び
挿通孔１０８の同軸度が、図３と同様の範囲内のものと
されている。

【００４８】そして基台１００上には、三相ブラシレス
モータ１３３の構成として、絶縁部材１２３を介して巻
き線１２９を設け、軸受部１０７の支持部１１４の下部
には回転方向に対して巻き線１２９に対向したマグネッ
ト１２５が設けられる。巻き線１２９に通電すること
で、軸受部１０７を高速度で誘導回転させる上記ポリゴ
ンミラー１１６の駆動モータとして機能する。該三相ブ
ラシレスモータ１３３の回転により、ラジアル動圧隙間
９１に動圧が発生し、円滑な高速度回転が可能となる。

【００４９】軸受部１０７が停止しているときは、該軸
受部１０７の対向面１１０と下スラスト板１０３のスラ
スト動圧隙間形成面１１２とが接触している。そして、
軸受部１０７が主軸１０５を中心に回転を開始すると、
スラスト動圧隙間９２にスラスト動圧が発生して接触状
態が解除され、高速回転を可能とする。

【００５０】図１０は、本発明をハードディスク装置に
適用した例を示すものである。このハードディスク装置
２００は、ハブ２１１の外周に磁気ディスク２０９ａ、
２０９ｂが固定され、中央にはモータ回転軸２１２が固
設されている。ハブ２１１は、これに固定されたディス
ク２０９ａ，２０９ｂと共に回転する。モータ回転軸２
１２は、アルミナ質セラミックからなる固定軸受部２２
１によってラジアル方向に支承され、またアルミナ質セ
ラミックからなるスラスト板２２２でスラスト方向に支
承されている。

【００５１】上記モータ回転軸２１２、固定軸受部２２
１及びスラスト板２２２はセラミック材料からなるた
め、そのモータ回転軸２１２及び固定軸受部２２１は高
速で回転するディスク２０９ａ，２０９ｂの負荷及び高
速回転に耐えるだけの機械剛性を持つ。

【００５２】次に、上記モータ回転軸２１２と固定軸受
部２２１との間、モータ回転軸２１２とスラスト板２２
２との間には空気が充填され、モータ回転軸２１２と固
定軸受部２２１との間には周方向にラジアル動圧隙間２
４０が形成されており、固定軸受部２２１の内周面２１
７には図示しない動圧溝が形成されている。モータ回転
軸２１２は、その回転に伴い、ラジアル動圧隙間２４０
にラジアル動圧が発生して固定軸受部２２１に対し非接
触で回転する。ラジアル動圧隙間形成面をなすモータ回
転軸２１２の外周面及び固定軸受部２２１の内周面と
は、図３及び図７のセラミック動圧軸受３ないし３３と
同様に構成されている（すなわち、本発明のセラミック
動圧軸受の構成を有している）。なお、モータ回転軸２
１２の軸端２１２ａは球面ピボット形状になっており、
スラスト方向の力をスラスト板２２２で支えている。

【００５３】ハードディスク装置２００においては、ス
テータコア２２４はブラケット２２３に固定されてい
る。そのステータコア２２４にはステータコイル２２５
が巻回されている。図９のポリゴンスキャナ９０と同様
に、モータの回転駆動力は、そのステータコイル２２５
に電流を流すことにより励磁されたステータコア２２４
がつくる回転磁界と、そのステータコア２２４の周囲を
取り巻く多極着磁された駆動マグネット２１４とにより
発生する。そのマグネット２１４はハブ２１１の内周に
固着され、ハブ２１１とともにロータ２１０を構成す
る。そして、固定軸受部２２１の外周面２３２と挿通孔
２１７との同軸度が、図３と同様の範囲内のものとされ
ている。

【００５４】なお、ハードディスク装置２００において
は外側の軸受部２２１側が固定、内側の主軸（回転軸）
２１２側が回転となっていたが、図３を援用して説明す
れば、ポリゴンミラー８を磁気ディスク４０８にて置き
換えることにより、軸受部１５側が回転となり、主軸１
４側が固定となるハードディスク装置構成も当然に可能
である。

【００５５】なお、本発明は上記の実施例に何ら限定さ
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲にお
いて種々の態様で実施しうることは言うまでもない。例
えば、動圧発生用流体としては、空気以外の気体を用い
てもよいし、気体に代えて油や水等の液体を用いてもよ
い。

【００５６】

【実施例】本発明の効果を確認するために以下の実験を
行なった。まず、図３に示す軸受部１５、主軸１４及び
スラスト板２１，２３の各部材を、アルミナ質セラミッ
ク焼結体として以下のように製造した。すなわち、原料
として、レーザー回折式粒度計にて測定した平均粒径が
１．８μｍのアルミナ粉末（純度：９９．９％）と、Ｃ
ａＯ粉末（平均粒径：４μｍ）、ＭｇＯ粉末（平均粒
径：４μｍ）及びＳｉＯ_２粉末（平均粒径：４μｍ）
を、重量比にて３：１：１に配合した焼結助剤粉末とを
用意した。そして、焼結助剤粉末が０．３〜１５質量
％、残部アルミナ粉末となるように配合して、水と適量
のバインダーとしてのＰＶＡとを加えて湿式混合した
後、スプレードライ法にて噴霧乾燥することにより、造
粒原料素地粉末を得た。

【００５７】造粒原料素地粉末は、金型プレス法により
各部材形状に成形した後、１４００〜１７００℃の温度
にて焼成した得られた焼結体は、動圧隙間形成面となる
軸受部１５の挿通孔１５ａの内周面及び両端面、主軸１
４の外周面、さらにスラスト板２１，２３の軸受部１５
の端面に対する対向面に、番手＃１００〜２００のダイ
アモンド砥石により、周速１０００ｍ／分の高速研磨を
施し、さらに仕上げのために、番手＃２０００〜＃６０
００のダイアモンド砥粒によりバフ研磨を行なった。次
いで、各部材の溝パターンに予定された以外の領域をマ
スキングしてショットブラスト処理することにより、図
２に示す動圧溝を形成した。

【００５８】そして、各動圧隙間形成面において、動圧
溝を形成していない研磨面領域を光学顕微鏡観察し、そ
の観察画像上において公知の手法を用いて画像解析する
ことにより、アルミナ結晶粒子の平均寸法（平均粒径）
を求めた。また、各部材の見かけ密度をアルキメデス法
により測定し、アルミナ及び焼結助剤の配合比から見積
もられる真密度を用いて相対密度の値を算出した。

【００５９】次に、上記各部材を図３に示す動圧軸受付
きモータに組み込み、以下の試験を行なった。回転数３００００ｒｐｍにて連続回転させたときの、
回転部分となる軸受部１５の回転振れ量（回転軸線と直
交する向きにおける外周面測定位置の最大振れ振幅）
を、レーザー干渉式測長器を用いて測定する。そして、
振れ量が０．１μｍ未満のものを優（◎）、同じく０．
１μｍ以上０．２μｍ未満のものを良（○）、０．２μ
ｍ以上０．３μｍ未満のものを可（△）、０．３μｍを
超えるものを不可（×）として評価した。

【００６０】停止状態から回転数３００００ｒｐｍま
で加速し、１分保持した後、停止させるサイクルを１０
００００回まで繰り返す。そして、動圧隙間形成面の凝
着摩耗に関しては、サイクル終了まで、動圧隙間形成面
に凝着摩耗の全く見られなかったものを優（◎）、サイ
クル終了時に凝着摩耗が見られたが極めて僅かであった
ものを良（○）、サイクル終了時に多少の凝着摩耗が見
られたが問題のなかったものを可（△）、サイクル途中
で大きな凝着摩耗が発生し、試験続行不能となったもの
を不可（×）として評価した。さらに、軸受部１５のス
ラスト動圧隙間形成面を利用して、ＪＩＳ：Ｚ２２４５
に規定された方法により荷重１５Ｎにてロックウェル硬
さを測定した。

【００６１】また、軸受部１５に圧入された支持体７を
取り外し、公知の形状プロファイル測定機により、軸受
部１５の外周面１５ｂと挿通孔との同軸度を、公知の形
状プロファイル測定機により測定した。以上の結果を表
１及び表２に示す。

【００６２】

【表１】

【００６３】

【表２】

【００６４】この結果からも明らかな通り、アルミナ質
セラミックのアルミナ含有率を９０〜９９．５質量％と
することにより、上記同軸度を１μｍ以下の範囲に収め
ることができ、それにより、回転振れや凝着摩耗も生じ
にくくなることがわかる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のセラミック動圧軸受の一構成例を示す
断面模式図。

【図２】ラジアル動圧隙間形成面に形成される動圧溝及
びスラスト動圧隙間形成面に形成される動圧溝の一例を
それぞれ示す説明図。

【図３】本発明のセラミック動圧軸受が使用されたポリ
ゴンスキャナ用モータユニットの一例を示す正面断面
図。

【図４】図３の要部をなすセラミック動圧軸受の正面断
面図及び分解斜視図。

【図５】第二部材（軸受部）の外周面の同軸度の値が大
きすぎる場合の問題点を説明する図。

【図６】同じく、同軸度を本発明の範囲内に調整するこ
とによりもたらされる効果を説明する図。

【図７】本発明のセラミック動圧軸受が使用されたモー
タユニットの変形例を示す断面模式図。

【図８】さらに別の変形例の要部を示す斜視図。

【図９】本発明のセラミック動圧軸受を用いたポリゴン
スキャナの一例を示す正面断面図。

【図１０】本発明のセラミック動圧軸受を用いたハード
ディスク装置の一例を示す正面断面図。

【符号の説明】

１，９０ポリゴンスキャナ３，３３，１０１，２５１セラミック動圧軸受１４，３９，１０５，２１２主軸１５，３５，１０７，２２１軸受部１５ａ挿通孔１７，３８，９１，２４０ラジアル動圧隙間１８，９２スラスト動圧隙間２１，２３，１０３，１０９，２２２スラスト板Ｍ動圧隙間形成面Ｍ１，Ｍ２ラジアル動圧隙間形成面Ｍ３〜Ｍ６スラスト動圧隙間形成面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 3J011 AA02 BA02 BA06 CA02 KA04 SD04 4G030 AA07 AA08 AA36 AA37 BA18 BA20 CA04 GA11 5H605 AA13 BB05 CC04 DD03 EA06 EB06 EB17 EB36 FF10 5H607 BB01 BB14 BB25 DD03 DD16 GG01 GG09 GG12 KK04 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】円筒状の外周面を有する第一部材と、円
筒状の外周面及び円筒状の挿通孔を有した第二部材とを
有し、前記第二部材の前記挿通孔に該第一部材が挿通さ
れるとともに、前記第二部材の挿通孔内面と、これに挿
通される前記第一部材の外周面とをそれぞれラジアル動
圧隙間形成面として、それらラジアル動圧隙間形成面の
間にラジアル動圧隙間が形成され、それら第一部材と第
二部材との相対回転に伴い、前記ラジアル動圧隙間に流
体動圧を発生させるよう構成され、前記第一部材及び前記第二部材とはいずれも、Ａｌ_２Ｏ
_３換算したＡｌ成分の含有率が９０〜９９．５質量％で
あって、酸化物系焼結助剤成分を酸化物換算にて０．５
〜１０質量％含有するアルミナ質セラミックにて構成さ
れ、さらに、前記第二部材の前記外周面と前記挿通孔との同
軸度が１μｍ以下に調整されていることを特徴とするセ
ラミック動圧軸受。
【請求項２】前記アルミナ質セラミックの見かけ密度
が３．５〜３．９ｇ／ｃｍ^３である請求項１記載のセラ
ミック動圧軸受。
【請求項３】前記アルミナ質セラミックの相対密度が
９０％以上である請求項１又は２に記載のセラミック動
圧軸受。
【請求項４】前記アルミナ質セラミック結晶粒子の平
均粒径が１〜７μｍである請求項１ないし３のいずれか
１項に記載のセラミック動圧軸受。
【請求項５】回転軸線方向における前記第二部材の少
なくとも一方の端面に対向する形で配置されるスラスト
板を有し、前記第二部材の端面と、これに対向する前記
スラスト板の対向面とをそれぞれスラスト動圧隙間形成
面として、それらスラスト動圧隙間形成面の間にスラス
ト動圧隙間が形成されている請求項１ないし４のいずれ
か１項に記載のセラミック動圧軸受。
【請求項６】前記ラジアル動圧隙間形成面及び前記ス
ラスト動圧隙間形成面の少なくともいずれかに動圧溝が
形成されている請求項１ないし５のいずれか１項に記載
のセラミック動圧軸受。
【請求項７】ハードディスク装置のハードディスク回
転主軸部分の軸受として使用される請求項１ないし６の
いずれか１項に記載のセラミック動圧軸受。
【請求項８】ポリゴンスキャナのポリゴンミラー回転
主軸部分の軸受として使用される請求項１ないし６のい
ずれか１項に記載のセラミック動圧軸受。
【請求項９】請求項１ないし８のいずれか１項に記載
のセラミック動圧軸受をモータ回転出力部の軸受として
用いたことを特徴とする軸受付きモータ。
【請求項１０】ハードディスク装置のハードディスク
回転駆動部に使用される請求項９記載の軸受付きモー
タ。
【請求項１１】ポリゴンスキャナのポリゴンミラー駆
動部に使用される請求項９記載の軸受付きモータ。
【請求項１２】最大回転数が８０００ｒｐｍ以上の高
速回転用モータである請求項９ないし１１のいずれか１
項に記載の軸受付きモータ。
【請求項１３】請求項１０又は１２に記載の軸受付き
モータと、その軸受付きモータにより回転駆動されるハ
ードディスクとを備えたことを特徴とするハードディス
ク装置。
【請求項１４】請求項１１又は１２に記載の軸受付き
モータと、そのベアリング付きモータにより回転駆動さ
れるポリゴンミラーとを備えたことを特徴とするポリゴ
ンスキャナ。