JP2002257734A - 目視検査支援システム及びこれを用いた表示デバイスの製造方法 - Google Patents
目視検査支援システム及びこれを用いた表示デバイスの製造方法Info
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- JP2002257734A JP2002257734A JP2001051970A JP2001051970A JP2002257734A JP 2002257734 A JP2002257734 A JP 2002257734A JP 2001051970 A JP2001051970 A JP 2001051970A JP 2001051970 A JP2001051970 A JP 2001051970A JP 2002257734 A JP2002257734 A JP 2002257734A
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】表示デバイス製造における生産効率を高めると
ともに目視検査工程の負荷を軽減するような目視検査支
援システム及び表示デバイスの製造方法を提供する。 【解決手段】製造工程の少なくとも１箇所以上に配置さ
れた自動検査手段の検査結果から得た、少なくとも欠陥
座標を含む情報をデバイス基板上に付された識別コード
と結び付けて記録する記録手段を有し、該記録手段に記
録された情報を該識別コードによって読み出して目視検
査員に通知する目視検査端末を有することを特徴とする
目視検査支援システム。
ともに目視検査工程の負荷を軽減するような目視検査支
援システム及び表示デバイスの製造方法を提供する。 【解決手段】製造工程の少なくとも１箇所以上に配置さ
れた自動検査手段の検査結果から得た、少なくとも欠陥
座標を含む情報をデバイス基板上に付された識別コード
と結び付けて記録する記録手段を有し、該記録手段に記
録された情報を該識別コードによって読み出して目視検
査員に通知する目視検査端末を有することを特徴とする
目視検査支援システム。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は目視検査支援システ
ムに関わり、デバイスの製造方法、分けても、表示デバ
イスの製造方法、特に液晶用カラーフィルタの製造方法
に関する。
ムに関わり、デバイスの製造方法、分けても、表示デバ
イスの製造方法、特に液晶用カラーフィルタの製造方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、表示デバイス等の製造にあたっ
て、表示デバイス基板上の表示デバイス領域外に識別コ
ードを付して基板一枚一枚を個別に管理するとともに、
製造工程中の検査工程における検査結果を該識別コード
と結び付けて管理する手法が、特開平９−１０５８９５
や特開平１１−１１９２０４に提案されており、この手
法によれば生産効率の向上、詳細な工程管理が可能とな
る。
て、表示デバイス基板上の表示デバイス領域外に識別コ
ードを付して基板一枚一枚を個別に管理するとともに、
製造工程中の検査工程における検査結果を該識別コード
と結び付けて管理する手法が、特開平９−１０５８９５
や特開平１１−１１９２０４に提案されており、この手
法によれば生産効率の向上、詳細な工程管理が可能とな
る。
【０００３】しかしながら、製造工程が２つ以上の自動
検査手段を持つ場合、同一欠陥を複数の自動検査手段で
検出することがあり、この場合は欠陥情報を工程へフィ
ードバックする際に誤った情報が流れる恐れがある。ま
た、目視検査工程に対しては自動検査手段で検出した座
標情報が提供されないため、検査が必要とされた面に対
して全面検査を行う必要があり、膨大な目視検査時間が
必要であった。
検査手段を持つ場合、同一欠陥を複数の自動検査手段で
検出することがあり、この場合は欠陥情報を工程へフィ
ードバックする際に誤った情報が流れる恐れがある。ま
た、目視検査工程に対しては自動検査手段で検出した座
標情報が提供されないため、検査が必要とされた面に対
して全面検査を行う必要があり、膨大な目視検査時間が
必要であった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
技術の問題点を解消せんとするものであり、表示デバイ
ス製造における生産効率を高めるとともに目視検査工程
の負荷を軽減するような目視検査支援システム及び表示
デバイスの製造方法を提供するものである。
技術の問題点を解消せんとするものであり、表示デバイ
ス製造における生産効率を高めるとともに目視検査工程
の負荷を軽減するような目視検査支援システム及び表示
デバイスの製造方法を提供するものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために基本的には次の構成を有する。すなわち、
製造工程の少なくとも１箇所以上に配置された自動検査
手段の検査結果から得た、少なくとも欠陥座標を含む情
報をデバイス基板上に付された識別コードと結び付けて
記録する記録手段を有し、該記録手段に記録された情報
を該識別コードによって読み出して目視検査員に通知す
る目視検査端末を有することを特徴とする目視検査支援
システム。
成するために基本的には次の構成を有する。すなわち、
製造工程の少なくとも１箇所以上に配置された自動検査
手段の検査結果から得た、少なくとも欠陥座標を含む情
報をデバイス基板上に付された識別コードと結び付けて
記録する記録手段を有し、該記録手段に記録された情報
を該識別コードによって読み出して目視検査員に通知す
る目視検査端末を有することを特徴とする目視検査支援
システム。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、表
示デバイス、特にカラーフィルタを例にとって以下に説
明する。
示デバイス、特にカラーフィルタを例にとって以下に説
明する。
【０００７】本発明によって製造する表示デバイス基板
の一例たるカラーフィルタの概略図を図１に示す。
の一例たるカラーフィルタの概略図を図１に示す。
【０００８】表示デバイス基板には、図示の通り基板１
上に単数または複数の表示デバイスを形成する領域１ａ
と表示デバイスを形成しない領域１ｂを有する。また、
表示デバイスを形成しない領域１ｂには識別コード２を
形成する領域を有する。なお、表示性能などのデバイス
性能に問題となる影響を与えないのならば、前記識別コ
ードは、デバイス中に付されていても良い。
上に単数または複数の表示デバイスを形成する領域１ａ
と表示デバイスを形成しない領域１ｂを有する。また、
表示デバイスを形成しない領域１ｂには識別コード２を
形成する領域を有する。なお、表示性能などのデバイス
性能に問題となる影響を与えないのならば、前記識別コ
ードは、デバイス中に付されていても良い。
【０００９】カラーフィルタ基板１は透明基板上にブラ
ックマトリックスおよび複数列配列された３原色からな
る各透明着色層を有し、その上に必要により保護膜層、
透明導電膜層を形成したものである。ブラックマトリッ
クスとしては樹脂および遮光材からなる樹脂ブラックマ
トリックス、Ｃｒ，Ｎｉなどの金属やこれらの酸化物か
らなる不透明膜を用いたブラックマトリックスを用いる
方法が好ましい。また、３原色からなる各着色層のう
ち、少なくとも２色以上を重ねて遮光効果を持たせたブ
ラックマトリックスを用いる場合や、ブラックマトリッ
クスを持たず、着色層のみで形成する場合もある。
ックマトリックスおよび複数列配列された３原色からな
る各透明着色層を有し、その上に必要により保護膜層、
透明導電膜層を形成したものである。ブラックマトリッ
クスとしては樹脂および遮光材からなる樹脂ブラックマ
トリックス、Ｃｒ，Ｎｉなどの金属やこれらの酸化物か
らなる不透明膜を用いたブラックマトリックスを用いる
方法が好ましい。また、３原色からなる各着色層のう
ち、少なくとも２色以上を重ねて遮光効果を持たせたブ
ラックマトリックスを用いる場合や、ブラックマトリッ
クスを持たず、着色層のみで形成する場合もある。
【００１０】識別コード２はブラックマトリックス形成
時または各着色層形成時に併せて行う方法が好適に用い
られる。ブラックマトリックス形成時に識別コード２も
併せてパターンニングする方法は、識別コード２が読み
取りやすく、好ましい。識別コード２に含まれる情報と
してはシリアルナンバーがあり、基板に関する情報、品
番に関する情報、製造ロットに関する情報などを含める
のが好ましい。また、識別コードとしては一次元配列の
組み合わせにより情報を識別するバーコードが一般的に
用いられるが、省スペースで大量の情報を識別可能なよ
うに二次元配列の組み合わせで情報を識別する２次元コ
ードを用いるのが好ましい。
時または各着色層形成時に併せて行う方法が好適に用い
られる。ブラックマトリックス形成時に識別コード２も
併せてパターンニングする方法は、識別コード２が読み
取りやすく、好ましい。識別コード２に含まれる情報と
してはシリアルナンバーがあり、基板に関する情報、品
番に関する情報、製造ロットに関する情報などを含める
のが好ましい。また、識別コードとしては一次元配列の
組み合わせにより情報を識別するバーコードが一般的に
用いられるが、省スペースで大量の情報を識別可能なよ
うに二次元配列の組み合わせで情報を識別する２次元コ
ードを用いるのが好ましい。
【００１１】本発明の目視検査支援システムは、前述の
ようにして得られたカラーフィルタ基板１を用いる。ま
た、その構成の一例を図２に示す。図２中、実線は製品
の流れ、破線は情報の流れを示す。
ようにして得られたカラーフィルタ基板１を用いる。ま
た、その構成の一例を図２に示す。図２中、実線は製品
の流れ、破線は情報の流れを示す。
【００１２】一連の流れを説明すると、カラーフィルタ
製造工程３にてカラーフィルタ基板１を製造する。
製造工程３にてカラーフィルタ基板１を製造する。
【００１３】次に、１箇所以上に配置された自動検査手
段（図２では、Ａ自動検査手段４およびＢ自動検査手段
５）にて自動検査を行う。なお、自動検査手段は、特に
限定されるものではないが、液晶用カラーフィルターの
場合では、例えば、黒ピン（異なる色のがその顔料など
誤って混じり合って形成された混合領域の欠陥）、白ピ
ン（色画素の顔料が行き渡らずにブランクとなった箇所
の欠陥）、突起（基板の厚さ方向に突出している欠
陥）、キズなどのカラーフィルタの欠点を自動で検出す
る手段および自動でカラーフィルタの欠点の良否判定を
行う手段を含むものである。なお、自動検査手段による
検査と目視検査の間、あるいは、自動検査手段による検
査が図２のように複数ある場合では、前記複数の自動検
査手段による検査の間に、デバイス基板を加工する工程
が存在していても良い。
段（図２では、Ａ自動検査手段４およびＢ自動検査手段
５）にて自動検査を行う。なお、自動検査手段は、特に
限定されるものではないが、液晶用カラーフィルターの
場合では、例えば、黒ピン（異なる色のがその顔料など
誤って混じり合って形成された混合領域の欠陥）、白ピ
ン（色画素の顔料が行き渡らずにブランクとなった箇所
の欠陥）、突起（基板の厚さ方向に突出している欠
陥）、キズなどのカラーフィルタの欠点を自動で検出す
る手段および自動でカラーフィルタの欠点の良否判定を
行う手段を含むものである。なお、自動検査手段による
検査と目視検査の間、あるいは、自動検査手段による検
査が図２のように複数ある場合では、前記複数の自動検
査手段による検査の間に、デバイス基板を加工する工程
が存在していても良い。
【００１４】前記自動検査手段による検査した結果、検
出した欠陥情報（欠陥座標・種別・サイズ）を、基板に
付された識別コードに含まれるシリアルナンバーに紐付
けして図２に示したようなネットワークサーバ７等の記
憶手段に保存する。前記記憶手段は、図２のように自動
検査手段や目視検査支援端末とは、適当な媒体（ネット
ワークケーブル、無線通信、光通信、音波通信等）に
て、データをやり取りして、前記情報を必要に応じて入
出力、記憶、情報処理等ができるように構成されてい
る。又、記憶手段の物理的存在形態としては、前記自動
検査手段や目視検査支援端末と前記媒体でのみ繋がって
いるだけで、装置的には独立した存在形態であっても良
いし、いずれかの自動検査手段や目視支援端末のハード
ウェアと物理的に一体となった装置であっても良いし、
あるいは、前記記憶、情報処理などの機能が別々になっ
ていて、物理的に独立した形態であっても良いし、その
ように独立した機能の少なくとも一部が前記自動検査手
段や目視検査支援端末に組み込まれた形態であっても良
い。更には、自動検査手段や目視検査支援端末の判断機
能や動作制御機能が前記ネットワークサーバーにおかれ
ていても良いし、複数の自動検査手段の間や自動検査手
段と目視検査支援端末の間が物理的に結合していて、装
置としては一体となっていても良い。前後乃至は間にデ
バイス基板加工手段が存在していて、それについても、
前記自動検査装置や目視検査支援端末と同様に、前記の
ような関係を有していても良い。
出した欠陥情報（欠陥座標・種別・サイズ）を、基板に
付された識別コードに含まれるシリアルナンバーに紐付
けして図２に示したようなネットワークサーバ７等の記
憶手段に保存する。前記記憶手段は、図２のように自動
検査手段や目視検査支援端末とは、適当な媒体（ネット
ワークケーブル、無線通信、光通信、音波通信等）に
て、データをやり取りして、前記情報を必要に応じて入
出力、記憶、情報処理等ができるように構成されてい
る。又、記憶手段の物理的存在形態としては、前記自動
検査手段や目視検査支援端末と前記媒体でのみ繋がって
いるだけで、装置的には独立した存在形態であっても良
いし、いずれかの自動検査手段や目視支援端末のハード
ウェアと物理的に一体となった装置であっても良いし、
あるいは、前記記憶、情報処理などの機能が別々になっ
ていて、物理的に独立した形態であっても良いし、その
ように独立した機能の少なくとも一部が前記自動検査手
段や目視検査支援端末に組み込まれた形態であっても良
い。更には、自動検査手段や目視検査支援端末の判断機
能や動作制御機能が前記ネットワークサーバーにおかれ
ていても良いし、複数の自動検査手段の間や自動検査手
段と目視検査支援端末の間が物理的に結合していて、装
置としては一体となっていても良い。前後乃至は間にデ
バイス基板加工手段が存在していて、それについても、
前記自動検査装置や目視検査支援端末と同様に、前記の
ような関係を有していても良い。
【００１５】前記自動検査の後、目視検査工程８にて人
手による目視検査を実施する。
手による目視検査を実施する。
【００１６】目視検査端末には、各面の良否判定、欠陥
種別、欠陥座標を表示することが好ましく、さらに欠陥
座標を数値のままではなく、検査員が直感的に位置関係
を把握できるように図形的に表示することが好ましい。
例えば、基板概略図上に相対位置としてマップ表示する
方法を用いることが好ましい。前記概略図と実像とは別
々でも良いが、目視検査すべきデバイスの実像の該当す
べき位置に欠陥の表示や欠陥種別が示されるように画面
上でスーパーインポーズ乃至はヘッドアップディスプレ
イされることがより分かり易くて好ましい。
種別、欠陥座標を表示することが好ましく、さらに欠陥
座標を数値のままではなく、検査員が直感的に位置関係
を把握できるように図形的に表示することが好ましい。
例えば、基板概略図上に相対位置としてマップ表示する
方法を用いることが好ましい。前記概略図と実像とは別
々でも良いが、目視検査すべきデバイスの実像の該当す
べき位置に欠陥の表示や欠陥種別が示されるように画面
上でスーパーインポーズ乃至はヘッドアップディスプレ
イされることがより分かり易くて好ましい。
【００１７】次に、本発明において、２箇所以上に自動
検査手段（図２では、Ａ自動検査手段とＢ自動検査手
段）が配置されている場合においての、好適な連携形態
について説明する。ここで、Ａ自動検査手段とＢ自動検
査手段はそれぞれ異なる種別の欠陥をその検査対象とし
ている。
検査手段（図２では、Ａ自動検査手段とＢ自動検査手
段）が配置されている場合においての、好適な連携形態
について説明する。ここで、Ａ自動検査手段とＢ自動検
査手段はそれぞれ異なる種別の欠陥をその検査対象とし
ている。
【００１８】本発明においては、前工程の自動検査手段
で検出した欠陥の座標と同一座標近傍の欠陥を後工程の
自動検査手段で重複検出した場合、いずれかの自動検査
手段の検査結果を優先させて１点の欠陥として集約させ
る機能を有することは好ましい。この場合、Ａ自動検査
手段４で検出した座標を中心として、任意に設定できる
範囲内にＢ自動検査手段５で新たに欠陥を検出した場
合、これをＡ自動検査手段４で検出した欠陥と同一とみ
なし、Ｂ自動検査手段５の検出結果から無視する処理を
加え、検査結果を統合する。なお、前記近傍とはデバイ
ス基板のサイズや種類などにより一概にはいえないが、
大凡の目安を示すならば、デバイス基板のサイズの０．
０２％〜１．００％（好ましくは０．１％〜０．３％）
の長さ以内を指す。前記数値範囲の下限値を下回ると前
記自動検査手段が持つ、機械精度からくる座標ばらつき
を吸収しきれず、同一の欠陥を別の欠陥として判定する
ため好ましくなく、一方、上限値を上回ると別の場所に
存在する異なる欠陥を同一の欠陥と判定してしまうため
好ましくないからである。なお、長方形のように基板縦
横のサイズが異なる場合は、当該基板の面積の平方根を
基板のサイズとする。又、ここで、Ａ、Ｂ自動検査手段
が同じ欠陥に対して反応する可能性がある場合、エラー
を起こす可能性の低い方で先に検査させることが好まし
い。即ち、図２においてはＡ自動検査手段４の方がＢ自
動検査手段５より前記エラー確率が低いことが好まし
い。何故ならば、先にエラー確率が低い方の自動検査手
段で検査して、前記の通り、発見した欠陥を下流の検査
から外させることにより、余計なより確率の高いエラー
の発生が防がれるからである。
で検出した欠陥の座標と同一座標近傍の欠陥を後工程の
自動検査手段で重複検出した場合、いずれかの自動検査
手段の検査結果を優先させて１点の欠陥として集約させ
る機能を有することは好ましい。この場合、Ａ自動検査
手段４で検出した座標を中心として、任意に設定できる
範囲内にＢ自動検査手段５で新たに欠陥を検出した場
合、これをＡ自動検査手段４で検出した欠陥と同一とみ
なし、Ｂ自動検査手段５の検出結果から無視する処理を
加え、検査結果を統合する。なお、前記近傍とはデバイ
ス基板のサイズや種類などにより一概にはいえないが、
大凡の目安を示すならば、デバイス基板のサイズの０．
０２％〜１．００％（好ましくは０．１％〜０．３％）
の長さ以内を指す。前記数値範囲の下限値を下回ると前
記自動検査手段が持つ、機械精度からくる座標ばらつき
を吸収しきれず、同一の欠陥を別の欠陥として判定する
ため好ましくなく、一方、上限値を上回ると別の場所に
存在する異なる欠陥を同一の欠陥と判定してしまうため
好ましくないからである。なお、長方形のように基板縦
横のサイズが異なる場合は、当該基板の面積の平方根を
基板のサイズとする。又、ここで、Ａ、Ｂ自動検査手段
が同じ欠陥に対して反応する可能性がある場合、エラー
を起こす可能性の低い方で先に検査させることが好まし
い。即ち、図２においてはＡ自動検査手段４の方がＢ自
動検査手段５より前記エラー確率が低いことが好まし
い。何故ならば、先にエラー確率が低い方の自動検査手
段で検査して、前記の通り、発見した欠陥を下流の検査
から外させることにより、余計なより確率の高いエラー
の発生が防がれるからである。
【００１９】Ａ自動検査手段４、Ｂ自動検査手段５にて
自動検査を行った結果得られた欠陥情報を統合した情報
を、シリアルナンバーにより読み出し、読み出した情報
を目視検査端末に表示する。目視検査工程６の検査員
は、目視検査端末に表示された欠陥情報に基づいて必要
な検査を行い、検査した基板の良否を判定する。
自動検査を行った結果得られた欠陥情報を統合した情報
を、シリアルナンバーにより読み出し、読み出した情報
を目視検査端末に表示する。目視検査工程６の検査員
は、目視検査端末に表示された欠陥情報に基づいて必要
な検査を行い、検査した基板の良否を判定する。
【００２０】この例で、自動検査手段はカラーフィルタ
の製造工程通過後に設置しているが、不良品を検出した
場合に再生処理を行うことができるように製造工程中に
配置することが歩留まりおよび操業性を向上できるため
に好ましく、その上でユーザーへの不良品の流出防止の
ため、さらに目視検査工程の前に配置することがより好
ましい。
の製造工程通過後に設置しているが、不良品を検出した
場合に再生処理を行うことができるように製造工程中に
配置することが歩留まりおよび操業性を向上できるため
に好ましく、その上でユーザーへの不良品の流出防止の
ため、さらに目視検査工程の前に配置することがより好
ましい。
【００２１】また、いずれの検査工程においても、前工
程の検査結果に応じて、その検査を行うかどうかを任意
に決められるようなシステムとし、不良が確定している
基板については自動検査結果を最終検査結果として確定
し、他の自動検査および目視検査の判定を行わないよう
にすることが好ましく、さらに不良基板を再生工程へ戻
すか、または再生できない基板については廃棄して後工
程に流さないようにすることで工程負荷を軽減すること
がより好ましい。
程の検査結果に応じて、その検査を行うかどうかを任意
に決められるようなシステムとし、不良が確定している
基板については自動検査結果を最終検査結果として確定
し、他の自動検査および目視検査の判定を行わないよう
にすることが好ましく、さらに不良基板を再生工程へ戻
すか、または再生できない基板については廃棄して後工
程に流さないようにすることで工程負荷を軽減すること
がより好ましい。
【００２２】本発明は、表示デバイスに限らず、複数の
自動検査を伴う目視検査を要するデバイス製造であれ
ば、なんら限定されることなく、有用である。例えば、
ＬＳＩ等の電子工学デバイス、ＣＣＤ等の光学デバイ
ス、電波、光、音、臭気、化学物質、ＤＮＡなどのイン
テリジェントセンサーデバイス、あるいはナノマシンや
その部品等のマイクロ機械工学デバイス、更にはこれら
の複合デバイスなどが挙げられる。
自動検査を伴う目視検査を要するデバイス製造であれ
ば、なんら限定されることなく、有用である。例えば、
ＬＳＩ等の電子工学デバイス、ＣＣＤ等の光学デバイ
ス、電波、光、音、臭気、化学物質、ＤＮＡなどのイン
テリジェントセンサーデバイス、あるいはナノマシンや
その部品等のマイクロ機械工学デバイス、更にはこれら
の複合デバイスなどが挙げられる。
【００２３】
【実施例】以下、好ましい実施態様を用いて本発明をよ
り詳しく説明するが、用いた実施態様によって本発明の
効力はなんら制限されるものではない。 実施例１ （１）ブラックマトリックスと識別コードの形成 表示デバイス基板として、液晶用カラーフィルタを製造
した。透明基板として無アルカリガラスを使用し、該ガ
ラス基板上に黒色ペーストを塗布し、その上に感光性レ
ジスト膜を積層状態で形成した。その後フォトマスクを
介して露光、現像し、樹脂ブラックマトリックス及び識
別コードを形成した。識別コードは数字、アルファベッ
トおよび２次元コードにより構成し、ガラス基板の種
類、カラーフィルタの品種、製造ロット、カット前基板
上の位置、シリアルナンバーに関する情報が識別できる
ようにした。 （２）カラーフィルタ基板の作成 上記（１）に示す手法にて作成したブラックマトリック
ス付き基板の上に、ＲＧＢ各色をブラックマトリックス
形成と同様にフォトリソグラフィ法により形成し、Ｏ／
Ｃ層を保護膜として作成した。さらにその上に導電膜と
してＩＴＯ薄膜をスパッタリング法によって形成した。 （３）自動検査手段の配置 Ｏ／Ｃ成膜工程後に成膜工程にて発生した突起欠陥を検
出する自動検査手段（図１中のＡ自動検査手段に当た
る）を配置した。ＩＴＯ成膜工程後に、パターン欠陥お
よびＩＴＯ欠陥を検出する自動検査手段（図１中のＢ自
動検査手段に当たる）を配置した。 （４）自動検査情報の流れ Ｏ／Ｃ成膜工程後の自動検査手段にて検出した欠陥は、
その座標と検出サイズを識別コードに刻印されたシリア
ルナンバーと紐付けてＬＡＮ接続されたネットワークサ
ーバー７に保存した。以降の自動検査工程においては、
検査を開始する基板のシリアルナンバーから前述のネッ
トワークサーバー７上の欠陥情報を読み出し、Ｏ／Ｃ成
膜工程後の自動検査手段が検出した座標を中心とした１
ｍｍの正方形の範囲内に検出した欠陥を無視する処理を
行い、残った欠陥の座標および検出サイズ情報を前述の
ネットワークサーバー７に保存した。また、Ｏ／Ｃ成膜
工程後の自動検査手段及びＩＴＯ成膜工程後の自動検査
手段のいずれかで不良が確定した基板については、工程
負荷軽減のため、目視検査工程６を省略した。 （５）目視検査工程を支援するための情報 前記（４）に説明したように、すべての自動検査結果の
情報は、カラーフィルタ基板１のシリアルナンバーに結
び付けてネットワークサーバー７に保存した。ネットワ
ークサーバー７にＬＡＮ接続された目視検査端末に、２
次元コード読取手段を接続してシリアルナンバーを読み
込ませ、そのシリアルナンバーに紐付けされた自動検査
結果情報を目視検査端末に表示させた。その表示方法
は、カラーフィルタ基板の外観図を表示し、欠陥位置を
カラーフィルタ基板外観図上の相対位置として表示する
マップ表示形式を用い、検査員が視覚的に欠陥位置を把
握できるようにした。この結果、目視検査に要する時間
は平均で１枚あたり約３分であった。 比較例１ 工程中の自動検査手段にて検査した情報を目視検査工程
に提供しなかった場合、目視検査に要する時間は平均で
１枚あたり約１０分であった。 比較例２ 自動検査手段で検出したすべての欠陥を表示し、隣接場
所に複数の欠陥情報が表示された基板を検査した場合、
目視検査に要する時間は平均で１枚あたり約５分であっ
た。
り詳しく説明するが、用いた実施態様によって本発明の
効力はなんら制限されるものではない。 実施例１ （１）ブラックマトリックスと識別コードの形成 表示デバイス基板として、液晶用カラーフィルタを製造
した。透明基板として無アルカリガラスを使用し、該ガ
ラス基板上に黒色ペーストを塗布し、その上に感光性レ
ジスト膜を積層状態で形成した。その後フォトマスクを
介して露光、現像し、樹脂ブラックマトリックス及び識
別コードを形成した。識別コードは数字、アルファベッ
トおよび２次元コードにより構成し、ガラス基板の種
類、カラーフィルタの品種、製造ロット、カット前基板
上の位置、シリアルナンバーに関する情報が識別できる
ようにした。 （２）カラーフィルタ基板の作成 上記（１）に示す手法にて作成したブラックマトリック
ス付き基板の上に、ＲＧＢ各色をブラックマトリックス
形成と同様にフォトリソグラフィ法により形成し、Ｏ／
Ｃ層を保護膜として作成した。さらにその上に導電膜と
してＩＴＯ薄膜をスパッタリング法によって形成した。 （３）自動検査手段の配置 Ｏ／Ｃ成膜工程後に成膜工程にて発生した突起欠陥を検
出する自動検査手段（図１中のＡ自動検査手段に当た
る）を配置した。ＩＴＯ成膜工程後に、パターン欠陥お
よびＩＴＯ欠陥を検出する自動検査手段（図１中のＢ自
動検査手段に当たる）を配置した。 （４）自動検査情報の流れ Ｏ／Ｃ成膜工程後の自動検査手段にて検出した欠陥は、
その座標と検出サイズを識別コードに刻印されたシリア
ルナンバーと紐付けてＬＡＮ接続されたネットワークサ
ーバー７に保存した。以降の自動検査工程においては、
検査を開始する基板のシリアルナンバーから前述のネッ
トワークサーバー７上の欠陥情報を読み出し、Ｏ／Ｃ成
膜工程後の自動検査手段が検出した座標を中心とした１
ｍｍの正方形の範囲内に検出した欠陥を無視する処理を
行い、残った欠陥の座標および検出サイズ情報を前述の
ネットワークサーバー７に保存した。また、Ｏ／Ｃ成膜
工程後の自動検査手段及びＩＴＯ成膜工程後の自動検査
手段のいずれかで不良が確定した基板については、工程
負荷軽減のため、目視検査工程６を省略した。 （５）目視検査工程を支援するための情報 前記（４）に説明したように、すべての自動検査結果の
情報は、カラーフィルタ基板１のシリアルナンバーに結
び付けてネットワークサーバー７に保存した。ネットワ
ークサーバー７にＬＡＮ接続された目視検査端末に、２
次元コード読取手段を接続してシリアルナンバーを読み
込ませ、そのシリアルナンバーに紐付けされた自動検査
結果情報を目視検査端末に表示させた。その表示方法
は、カラーフィルタ基板の外観図を表示し、欠陥位置を
カラーフィルタ基板外観図上の相対位置として表示する
マップ表示形式を用い、検査員が視覚的に欠陥位置を把
握できるようにした。この結果、目視検査に要する時間
は平均で１枚あたり約３分であった。 比較例１ 工程中の自動検査手段にて検査した情報を目視検査工程
に提供しなかった場合、目視検査に要する時間は平均で
１枚あたり約１０分であった。 比較例２ 自動検査手段で検出したすべての欠陥を表示し、隣接場
所に複数の欠陥情報が表示された基板を検査した場合、
目視検査に要する時間は平均で１枚あたり約５分であっ
た。
【００２４】
【発明の効果】本発明により、表示デバイス基板の製造
工程管理において、自動検査情報を的確に、かつ迅速に
工程にフィードバックするシステムを確立することがで
き、また目視検査時間を大幅に短縮することが可能とな
る。
工程管理において、自動検査情報を的確に、かつ迅速に
工程にフィードバックするシステムを確立することがで
き、また目視検査時間を大幅に短縮することが可能とな
る。
【図１】本発明による表示デバイス基板の一例たるカラ
ーフィルタの該略図
ーフィルタの該略図
【図２】本発明の目視検査支援システムを用いた製造工
程の一例のフロー図
程の一例のフロー図
１：カラーフィルタ基板 １ａ：基板の表示デバイスを形成する領域 １ｂ：基板の表示デバイスを形成しない領域 ２：識別コード ３：カラーフィルタ製造工程 ４：Ａ自動検査手段 ５：Ｂ自動検査手段 ６：目視検査工程 ７：ネットワークサーバ
Claims (6)
- 【請求項１】製造工程の少なくとも１箇所以上に配置さ
れた自動検査手段の検査結果から得た、少なくとも欠陥
座標を含む情報をデバイス基板上に付された識別コード
と結び付けて記録する記録手段を有し、該記録手段に記
録された情報を該識別コードによって読み出して目視検
査員に通知する目視検査端末を有することを特徴とする
目視検査支援システム。 - 【請求項２】前記識別コードとして、２次元コードを利
用したことを特徴とする請求項１に記載の目視検査支援
システム。 - 【請求項３】前記自動検査手段は２箇所以上に配置さ
れ、前工程の自動検査手段で検出した欠陥の座標と同一
座標近傍の欠陥を後工程の自動検査手段で重複検出した
場合、いずれかの自動検査手段の検査結果を優先させて
１点の欠陥として集約させる機能を有することを特徴と
する請求項１または２のいずれかに記載の目視検査支援
システム。 - 【請求項４】請求項１〜３のいずれかに記載の目視検査
支援システムを利用したことを特徴とするデバイスの製
造方法。 - 【請求項５】前工程の自動検査手段で不良品判定された
面に対して、その後の検査工程にて判定を行うか否かを
選択することを特徴とする請求項４に記載のデバイスの
製造方法。 - 【請求項６】請求項４または５のいずれかに記載の製造
方法を用いたことを特徴とするカラーフィルタの製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001051970A JP2002257734A (ja) | 2001-02-27 | 2001-02-27 | 目視検査支援システム及びこれを用いた表示デバイスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001051970A JP2002257734A (ja) | 2001-02-27 | 2001-02-27 | 目視検査支援システム及びこれを用いた表示デバイスの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002257734A true JP2002257734A (ja) | 2002-09-11 |
Family
ID=18912668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001051970A Pending JP2002257734A (ja) | 2001-02-27 | 2001-02-27 | 目視検査支援システム及びこれを用いた表示デバイスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002257734A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007218679A (ja) * | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Toppan Printing Co Ltd | シート体検査支援システム |
| JP2008032929A (ja) * | 2006-07-27 | 2008-02-14 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタの検査方法 |
| JP2008076242A (ja) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Olympus Corp | 目視マクロ検査装置、基板検査システム、基板処理システム、目視マクロ検査方法 |
| JP2008268199A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-11-06 | Hitachi High-Technologies Corp | 半導体デバイスの欠陥検査方法及び欠陥検査装置 |
| JP2015090514A (ja) * | 2013-11-05 | 2015-05-11 | 富士ゼロックス株式会社 | 検品支援装置、検品支援システム及びプログラム |
| CN114872452A (zh) * | 2022-05-25 | 2022-08-09 | Tcl华星光电技术有限公司 | 打码方法和打码装置 |
-
2001
- 2001-02-27 JP JP2001051970A patent/JP2002257734A/ja active Pending
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