JP2008032929A - カラーフィルタの検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】前工程の検査機で検出した欠陥情報を、後工程の検査機の欠陥判定に反映させることにより、検査効率を向上させたカラーフィルタの検査方法を提供する。
【解決手段】カラーフィルタ基板の製造工程ごとに設けられた複数の検査手段からのカラーフィルタ基板の検査結果情報を、前記複数の検査手段とネットワークで接続されたデータベース並びにサーバーに、個々のカラーフィルタ基板に付与された基板ＩＤと対応付けて保存し、次工程以降の製造工程に設けられた検査手段がカラーフィルタ基板を検査する際に、以前の製造工程の検査結果情報を前記基板ＩＤを用いて前記データベース並びにサーバーから検索・入手し、次工程以降の製造工程の検査結果と以前の製造工程の検査結果情報とを比較処理し、以前の製造工程の検査において検出され規格内と判定された欠陥を、検査結果の判定から除外することを特徴とする。
【選択図】図４

Description

本発明は、カラーフィルタの検査方法に係り、特に、ネットワーク内のデータベースに保存された検査結果情報を基板ＩＤを用いて検索・入手し、欠陥の判定に用いるカラーフィルタの検査方法に関する。

携帯型機器や薄型テレビなどの高性能化に伴い、液晶ディスプレイの需要が急速に増加しており、コストダウンに対する要求もしだいに高くなっている。カラー液晶ディスプレイは、ガラス基板、液晶材料、偏光板、カラーフィルタなどの材料から構成されているが、なかでもカラーフィルタは、カラー液晶ディスプレイに高精細度や高品質表示が求められる場合に重要な部材として用いられており、製品価格に占める割合が高いため、より一層の低価格化が求められている。

液晶ディスプレイ用カラーフィルタは、透明ガラス基板上に遮光パターンである隔壁（以下、カラーフィルタ基板においては、ブラックマトリクス又はＢＭとする。）で区切られた領域にＲ／Ｇ／Ｂの各着色層を配列させて設けることによって構成されている。

このような液晶ディスプレイ用カラーフィルタは、ゴミや異物等の存在により、様々な欠陥が生ずる場合があり、そのような欠陥を有するカラーフィルタを検査し、良・不良を判定することが必要となる。

カラーフィルタの欠陥を検査する装置は、ＣＣＤカメラ、検査用光源、欠陥抽出判定処理機構を有するものであり、製造各工程で使用されている。

基板の大型化に伴い、各製造工程にインラインで検査機を接続する形態が多く見られ、１つの検査機で複数工程の製品を検査するより、１工程専用の検査機により検査を行う検査機が増えている。

例えば、カラーフィルタの製造工程中の各工程で、カラーフィルタを識別するため、識別コードをカラーフィルタに付与し、カラーフィルタの欠陥を検査するシステムが提案されている（例えば、特許文献１参照）。

この検査システムでは、１工程で発生した欠陥は、自動検査機で検出され、設定された条件やオペレータの判定により良否が判断される。この場合、検査機では、規格内の欠陥も検出するため、検査機により欠陥が検出された基板がＮＧではなく、良品である場合がある。また、丁落ち（面損）を得意先から認められた製品もあり、この場合、検査機により欠陥が検出されたとしても、それはＮＧではなく良品である。

このように欠陥が検出されるが基板ＮＧとならないカラーフィルタ基板が、それ以降の工程において検査機で検査されると、前工程で検出した欠陥を同様に検出してしまうので、同様に合否判定が必要となる。このような無駄な検査及び合否判定が繰り返されることは、検査効率の低下につながる。

マスク（原版）に起因する欠陥であれば、異なるカラーフィルタ基板でも同一箇所に欠陥が発生するため、欠陥位置を検査機に登録することにより、同様の欠陥を別の工程で再度検査機で検出させない工夫を取ることが可能であるが、この方法では、前工程のランダムに発生する欠陥を後工程で検出させないように処理することはできない。

このため、前工程で良品と判定された欠陥も、次工程で再度検出し、合否判定をしなければならず、検査効率が悪い。
特開平１１−１３３２２５

本発明は、上記事情の下になされ、前工程の検査機で検出した欠陥情報を、後工程の検査機の欠陥判定に反映させることにより、検査効率を向上させたカラーフィルタの検査方法を提供する。

上記課題を解決するため、本発明は、カラーフィルタ基板の製造工程ごとに設けられた複数の検査手段からのカラーフィルタ基板の検査結果情報を、前記複数の検査手段とネットワークで接続されたデータベース並びにサーバーに、個々のカラーフィルタ基板に付与された基板ＩＤと対応付けて保存し、次工程以降の製造工程に設けられた検査手段が、以前の製造工程の検査結果情報を前記データベースから検索・入手して欠陥の判定に利用するカラーフィルタ基板の欠陥を検査する方法であって、次工程以降の製造工程に設けられた検査手段がカラーフィルタ基板を検査する際に、以前の製造工程の検査結果情報を前記基板ＩＤを用いて前記データベース並びにサーバーから検索・入手し、次工程以降の製造工程の検査結果と以前の製造工程の検査結果情報とを比較処理し、以前の製造工程の検査において検出され規格内と判定された欠陥を、検査結果の判定から除外することを特徴とするカラーフィルタ基板の検査方法を提供する。

このようなカラーフィルタ基板の検査方法において、前記カラーフィルタ基板として、欠陥が修正され、良品化されたカラーフィルタ基板を用い、前記修正された欠陥の情報を、前記データベース及びにサーバーに個々のカラーフィルタ基板に付与された基板ＩＤと対応付けて保存し、製造工程に設けられた検査手段がカラーフィルタ基板を検査する際に、前記修正された欠陥の情報を前記基板ＩＤを用いて前記データベース並びにサーバーから検索・入手し、製造工程の検査結果と前記修正された欠陥の情報とを比較処理し、前記修正された欠陥を、検査結果の判定から除外することができる。

本発明によると、ある工程で検査手段により検出した欠陥が、前工程における検査手段で良品と判定された欠陥であれば、再度合否の判定を行う必要がなくなるため、検査の効率を向上させることができる。

以下、発明を実施するための最良の形態について説明する。

図１は、本発明の一実施形態に係るカラーフィルタ基板の検査方法における、各工程の検査機とサーバー及びデータベースを接続したネットワークを示す概略図である。

図１において、複数の検査機１、２、３・・・ｎが、サーバー及びデータベース（ＤＢ）がネットワークで結ばれている。各検査機は、ＣＣＤカメラ、検査用光源、欠陥抽出判定処理機構等を備えている。また、各検査機は、カラーフィルタ基板の欠陥検査を行い、その合否判定を行うと同時に、得られた検査結果データを基板ＩＤと対応付けてサーバーに送る。なお、基板ＩＤは、あらかじめカラーフィルタ基板に印字されており、各検査機による検査の際に読み取られ、得られた検査結果データに対応付けられる。

サーバー及び検査結果データベースは、各工程の検査機からの検査結果データを保存し、必要に応じて検索・照合できる機能を有している。

次工程の検査機では、検査前に認識した基板のＩＤ情報を利用して、検査中のカラーフィルタ基板の前工程検査結果をサーバー及び検査結果データベースから検索入手し、その工程におけるカラーフィルタ基板の検査結果と、前工程の検査結果を、欠陥座標と欠陥モードを用いて比較処理する。

図２に前工程の検査結果データの一例を示す。図２に示すように、基板データのコード番号、及びあらかじめ付与された基板ＩＤが付され、欠陥番号ごとに、欠陥座標、欠陥ピース情報、欠陥モード、欠陥サイズ、判定が示されている。

欠陥座標は、図３（ａ）に示す基板１の左上のコーナー部を原点（０，０）とするμｍ単位の座標で示される。図３（ｂ）にそのコーナー部を拡大して示すが、原点は、基板１の二辺の延長線の交点Ｐである。欠陥ピース情報（Ｎ，Ｍ）とは、多面付け基板の場合に、Ｎ行、Ｍ列目のピースの欠陥を意味する。欠陥モードとしては、透過白、透過黒、反射白、反射黒があり、例えば反射黒とは、異物等による、反射光検査で黒く見える欠陥をいう。欠陥サイズは、Ｓ、Ｍ、Ｌ、Ｏ等のクラス分けにより示される。そして、判定は、１：ＯＫ、２：ＮＧ、３：ＲＰ（修正）等のように示される。

後工程の検査結果データもまた、図２に示す前工程の検査結果データと同様である。

次に、以上の前工程の検査結果データと、後工程の検査結果データにおける欠陥座標、欠陥サイズを比較し、条件範囲（欠陥座標範囲、欠陥サイズ範囲）を満たし、同一の欠陥座標、欠陥サイズの欠陥については、同一の欠陥であると判断し、合否の判定の対象から除外する。

なお、検出した規格外のＮＧレベルの欠陥については、全て比較処理を行い、合否の判定をする。即ち、前工程の検査結果データと後工程の検査結果データの欠陥座標、欠陥サイズを比較処理した結果、同一の欠陥と判断された欠陥以外の欠陥を、新たに発生した欠陥と判断し、合否の判定を行う。このような検査結果データの比較処理を行うかどうかは、検査開始前に選択することができるようにされている。

図４は、本発明の一実施形態に係るカラーフィルタ基板の検査フローチャートの一例を示す図である。以下、図４にしたがって、本発明の一実施形態に係るカラーフィルタ基板の検査手順について説明する。

まず、対象基板ロットの前工程検査結果がサーバーで確認できるかどうか（サーバーに保存されているかどうか）を調べ、確認できなければ、通常の検査を実施する。確認できれば、前工程検査結果を反映するかどうか、即ち、本発明の検査方法を採用するかどうかを決定する。前工程検査結果を反映しない場合には、通常の結果を実施する。前工程検査結果を反映する場合には、検査機の差分検査機能をＯＮしたかどうかを調べ、ＯＮしている場合には、通常の検査を実施し、ＯＮしていない場合には、ＯＮして、通常の結果を実施する。

通常の検査の手順は、基板ＩＤの取得、被検査基板のセット、基板検査エリアの画像取り込み、比較演算処理、２値化処理、グルーピング、規定サイズ切分け、欠陥抽出の順に行われる。

このようにして欠陥を抽出した後、検出した欠陥が設定したサイズ以上かどうかを調べ、設定したサイズ以上である場合には、抽出した全欠陥とｎ枚前に検出された基板欠陥と比較し、同一位置の欠陥がないかどうかを調べる。検出した欠陥が設定されたサイズ以上でない場合、即ち設定されたサイズ未満である場合にも、抽出した全欠陥とｎ枚前の基板欠陥とを比較し、同一の位置の欠陥がないかどうかを調べ、同一の位置の欠陥がない場合には、良品と判定し、同一の位置の欠陥がある場合には、規格内共通欠陥と判定する。

検出した欠陥が設定されたサイズ以上である場合に、抽出した全欠陥とｎ枚前の基板欠陥とを比較し、同一の位置の欠陥がないかどうかを調べ、同一の位置の欠陥がない場合には、前欠陥検査結果と比較し、同一位置欠陥のみであるかどうか調べ、同一の位置の欠陥がある場合には、基板ＮＧと判定する。

また、前欠陥検査結果と比較し、同一位置欠陥のみである場合には、検査機差分良品と判定し、同一位置欠陥のみでない場合には、基板ＮＧと判定する。

以上のようにして、カラーフィルタ基板は、各工程において、検査機差分良品、基板ＮＧ、良品、規格内共通欠陥のいずれかに判定される。

以上、前工程において検出された規格内の欠陥を次工程以降において検査結果の判定から除外することについて説明したが、本発明は、これに限らず、欠陥が修正され、良品化されたカラーフィルタ基板を対象とすることも可能である。即ち、修正された欠陥の情報を、前記データベース及びにサーバーに個々のカラーフィルタ基板に付与された基板ＩＤと対応付けて保存し、製造工程に設けられた検査手段がカラーフィルタ基板を検査する際に、前記修正された欠陥の情報を前記基板ＩＤを用いて前記データベース並びにサーバーから検索・入手し、製造工程の検査結果と前記修正された欠陥の情報とを比較処理し、前記修正された欠陥を、検査結果の判定から除外することができる。

本発明の一実施形態に係る検査方法に用いる検査機とサーバー及び検査結果データベース（ＤＢ）がネットワークで接続された状態を示す図。 前工程における検査結果データを示す図。 検査結果データの欠陥座標の原点を説明する図。 本発明の一実施形態に係る検査方法のフローチャートを示す図。

Claims (2)

1. カラーフィルタ基板の製造工程ごとに設けられた複数の検査手段からのカラーフィルタ基板の検査結果情報を、前記複数の検査手段とネットワークで接続されたデータベース並びにサーバーに、個々のカラーフィルタ基板に付与された基板ＩＤと対応付けて保存し、次工程以降の製造工程に設けられた検査手段が、以前の製造工程の検査結果情報を前記データベースから検索・入手して欠陥の判定に利用するカラーフィルタ基板の欠陥を検査する方法であって、
   次工程以降の製造工程に設けられた検査手段がカラーフィルタ基板を検査する際に、以前の製造工程の検査結果情報を前記基板ＩＤを用いて前記データベース並びにサーバーから検索・入手し、次工程以降の製造工程の検査結果と以前の製造工程の検査結果情報とを比較処理し、以前の製造工程の検査において検出され規格内と判定された欠陥を、検査結果の判定から除外することを特徴とするカラーフィルタ基板の検査方法。
2. 前記カラーフィルタ基板は、欠陥が修正され、良品化されたカラーフィルタ基板であり、前記修正された欠陥の情報が、前記データベース及びにサーバーに個々のカラーフィルタ基板に付与された基板ＩＤと対応付けて保存され、製造工程に設けられた検査手段がカラーフィルタ基板を検査する際に、前記修正された欠陥の情報を前記基板ＩＤを用いて前記データベース並びにサーバーから検索・入手し、製造工程の検査結果と前記修正された欠陥の情報とを比較処理し、前記修正された欠陥を、検査結果の判定から除外することを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルタ基板の検査方法。

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