JP2002257593A

JP2002257593A - 光学式エンコーダ

Info

Publication number: JP2002257593A
Application number: JP2001061889A
Authority: JP
Inventors: Akira Hattori; 昌服部
Original assignee: Koyo Seiko Co Ltd
Current assignee: Koyo Seiko Co Ltd
Priority date: 2001-03-06
Filing date: 2001-03-06
Publication date: 2002-09-11
Anticipated expiration: 2021-03-06
Also published as: JP4078809B2

Abstract

(57)【要約】【課題】高い分解能を有し、製造が容易で高温環境で
も使用可能な光学式ロータリーエンコーダを提供する。【解決手段】ＬＥＤから放射された光（波長λ）から
実質的に平行光のみを抽出して集光させた２次光源から
拡がる光を平行化する光源装置１を用いる。この平行光
は一定のコヒーレンスを有しており、これが、両スリッ
ト間のギャップＧ＝ｎＰ^２／λ（Ｐはスリットピッチ、
ｎは自然数）のスリットシャッタに入射することによ
り、インデックススリット板３のスリットの周期構造と
同一若しくはこれを反転した光強度分布を有するタルボ
ット像がメインスリット板４上に現れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学式エンコーダ
に関し、特に、ＬＥＤを用いた光学式エンコーダに関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図９は、従来の光学式ロータリーエンコ
ーダの構成を示す斜視図である。図において、光源１０
１と受光素子１０２との間の光路には、スリットを有す
る２つの部材が介在している。このうち、光源１０１側
の部材は回転量被測定物とともに回転する回転スリット
板１０３であり、放射状に、かつ、周方向に等間隔でス
リット１０３ａが形成されている。他方の部材は固定さ
れた固定スリット板１０４であり、回転スリット板１０
３と等間隔にスリット１０４ａが形成されている。スリ
ット１０３ａと１０４ａとが図のＺ方向上に並んだと
き、光源１０１からの光はスリット１０３ａ及び１０４
ａを通過し、通過した光は、固定スリット板１０４の後
方に配置された受光素子１０２によって検出される。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記のような従来の光
学式ロータリーエンコーダにおいて、高分解能を得るに
は、各スリット板１０３，１０４におけるスリットピッ
チ（周方向の間隔）をできるだけ小さくする必要があ
る。ところが、スリットピッチを小さくすると、回転ス
リット板１０３のスリット１０３ａを通過した光が回折
現象により拡がり、固定スリット板１０４における光の
コントラストが低下する。これを避けるためには、スリ
ットピッチを小さくすると共に、各スリット板１０３，
１０４間のギャップ（Ｚ方向の距離）を小さくするか、
または、回折を防止すべく光源１０１にレーザダイオー
ドを用いることが考えられる。しかしながら、ギャップ
を小さくすると機械加工誤差や回転スリット板１０３の
軸方向の振れ等のクリアランスに余裕がなくなり、製造
が困難になる。一方、レーザダイオードは熱に弱く、一
般に寿命も短く、温度による出力変動が大きい等の問題
点があり、高温での使用も考えられるサーボモータ用ロ
ータリーエンコーダには使用できない。

【０００４】上記のような従来の問題点に鑑み、本発明
は、高い分解能を有し、製造が容易で高温環境でも使用
可能な光学式エンコーダを提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の光学式エンコー
ダは、波長λの光を放射するＬＥＤ、当該ＬＥＤから放
射された光のうち実質的に光軸に対する平行光のみを抽
出してこれを集光する選択集光部、及び、当該選択集光
部により焦点に収束してから拡がる光を平行化するコリ
メータ部を有するものであって、少なくとも一定距離ま
でコヒーレンスを維持した光を放射する光源装置と、ス
リットピッチＰのスリットをそれぞれ有し、ｎを自然数
としてＧ＝ｎＰ^２／λにより表されるギャップＧだけ前
記光源装置の光軸方向に互いに隔てて配置され、前記コ
ヒーレンスを維持した光に対するスリットシャッタを構
成するインデックススリット板及びメインスリット板
と、前記インデックススリット板及びメインスリット板
の各スリットを通過した光を受光する受光素子とを備え
たものである（請求項１）。

【０００６】上記のように構成された光学式エンコーダ
では、選択集光部によって、ＬＥＤから放射された光の
うち実質的に光軸に対する平行光のみが集光され、焦点
に極小スポットの二次光源が形成される。この二次光源
から再び拡がる光を、コリメータ部が平行化して放射す
る。一方、スリットシャッタを構成するインデックスス
リット板とメインスリット板とのギャップＧは、タルボ
ット像が形成される距離Ｐ^２／λの自然数倍である。従
って、コヒーレンスを維持した光がスリットシャッタに
入射することにより、一方のスリットの周期構造と同一
若しくはそれを反転した理想的な光強度分布を持つタル
ボット像が他方のスリット上に現れる。これにより、受
光素子は、高いコントラストを有する像を検出する。ま
た、ｎの値を任意に選択して製造容易なギャップＧの値
を設定することができる。なお、ＬＥＤはレーザダイオ
ードより熱に強く、寿命も長い。

【０００７】また、上記光学式エンコーダ（請求項１）
において、選択集光部は、ＬＥＤから少なくともその発
光径の１０倍の距離を隔てて配置されていることが好ま
しい（請求項２）。この場合、選択集光部に入射する光
は実質的に光軸と平行であるとみなすことができる。

【０００８】また、本発明の光学式エンコーダは、波長
λの光を放射するＬＥＤ及びその光を平行化するコリメ
ータレンズからなり、少なくとも一定距離までコヒーレ
ンスを維持した光を放射する光源装置と、スリットピッ
チＰのスリットをそれぞれ有し、ｎを自然数としてＧ＝
ｎＰ^２／λにより表されるギャップＧだけ前記光源装置
の光軸方向に互いに隔てて配置され、前記コヒーレンス
を維持した光に対するスリットシャッタを構成するイン
デックススリット板及びメインスリット板と、前記イン
デックススリット板及びメインスリット板の各スリット
を通過した光を受光する受光素子とを備えたものであっ
てもよい（請求項３）。

【０００９】上記のように構成された光学式エンコーダ
（請求項３）では、ＬＥＤから放射された光を、コリメ
ータレンズが平行化して放射する。一方、スリットシャ
ッタを構成するインデックススリット板とメインスリッ
ト板とのギャップＧは、タルボット像が形成される距離
Ｐ^２／λの自然数倍である。従って、コヒーレンスを維
持した光がスリットシャッタに入射することにより、一
方のスリットの周期構造と同一若しくはそれを反転した
理想的な光強度分布を持つタルボット像が他方のスリッ
ト上に現れる。これにより、受光素子は、高いコントラ
ストを有する像を検出する。また、ｎの値を任意に選択
して製造容易なギャップＧの値を設定することができ
る。なお、ＬＥＤはレーザダイオードより熱に強く、寿
命も長い。

【００１０】また、上記光学式エンコーダ（請求項３）
において、ＬＥＤの発光径はスリットピッチＰの６倍以
下であることが好ましい（請求項４）。この場合、光の
コヒーレンスがスリットピッチとの関係で適度に確保さ
れる。

【００１１】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態による
光学式ロータリーエンコーダについて図面を参照して説
明する。図１は、当該実施形態の光学式ロータリーエン
コーダに用いる光源装置１の構成を示す断面図である。
図において、透明な樹脂を成形してなるレンズ体１１
は、ハッチングを付した断面形状部分の中心線を光軸Ａ
とする複合光学要素であり、その右端側には非球面レン
ズを構成するコリメータ部１１ａが形成され、左方内部
にはすり鉢状の遮光部１１ｂが形成されている。また、
遮光部１１ｂの右端底部（Ｂ部）は、以下に述べるフレ
ネルゾーンプレート（以下、ＦＺＰという。）による集
光部となっている。

【００１２】図２は、図１におけるＢ部の拡大図であ
り、遮光部１１ｂは光軸Ａの周りに角度θ（９０度以下
でなるべく小さい方がよい。）の斜面を成している。ま
た、すり鉢形の遮光部１１ｂの中心部に形成される底部
には、光軸Ａに直交する直径ｄ１のＦＺＰ１１ｃが、レ
ンズ体１１との一体成型や半導体微細加工技術等により
形成されている。なお、ＦＺＰ１１ｃは、レンズに比べ
て微小な寸法のものを製作することが容易であり、ま
た、輪帯の設計により、任意の焦点距離を得ることがで
きる。このようにして、コリメータ部１１ａと、遮光部
１１ｂと、集光部としてのＦＺＰ１１ｃとを備えて一体
化された光学ユニットが形成されている。

【００１３】図１に戻り、上記レンズ体１１の左端側に
は、ＬＥＤ１３を支持する円筒状の支持部１１ｄが形成
されている。ＬＥＤ１３は、円盤状で、裾が鍔状に広が
った取付台１３ａと、この取付台１３ａの右端面の中心
に取り付けられた発光部１３ｂと、この発光部１３ｂと
電気的に接続されたリード部１３ｃとを備えている。取
付台１３ａがレンズ体１１の支持部１１ｄに内嵌される
ことにより、ＬＥＤ１３はレンズ体１１に固定されてい
る。ＬＥＤ１３がレンズ体１１に固定された状態におい
て、発光部１３ｂの光軸は上記光学ユニットの光軸Ａと
一致する。上記発光部１３ｂの直径ｄ２すなわち発光径
は、ＦＺＰ１１ｃの直径ｄ１（図２）とほぼ同じであ
る。

【００１４】図３は、図１の一部をさらに拡大した断面
図に光の進路を記載したものである。上記の構成によ
り、発光部１３ｂ、ＦＺＰ１１ｃ、遮光部１１ｂ、コリ
メータ部１１ａは光軸Ａを共有し、ＦＺＰ１１ｃは発光
部１３ｂの光軸上の前方に距離Ｌを隔てた位置に配置さ
れている。この距離Ｌは、発光部１３ｂの直径ｄ２やＦ
ＺＰ１１ｃの直径ｄ１に対して十分に大きい。ここで
「十分に」とは、具体的には１０倍以上、好ましくは２
０倍以上である。コリメータ部１１ａはＦＺＰ１１ｃの
焦点位置（焦点Ｆ）よりさらに光軸上の前方に配置さ
れ、当該焦点位置を当該コリメータ部１１ａ自身の焦点
としている。すなわち、図３において、ＦＺＰ１１ｃの
焦点距離をｆ１、コリメータ部１１ａの焦点距離をｆ
２、コリメータ部１１ａの有効光束径をｄ３、コリメー
タ部１１ａの主点Ｐから有効光束の最外周位置までの距
離をｈとすると、（ｆ２＋ｈ）／ｆ１＝ｄ３／ｄ２となる。

【００１５】上記遮光部１１ｂ及びＦＺＰ１１ｃは、Ｌ
ＥＤ１３の発光部１３ｂから放射された光のうち、実質
的に光軸Ａに対する平行光のみを抽出してこれを集光す
る選択集光部を構成している。すなわち、上記遮光部１
１ｂは、発光部１３ｂから放射された光のうちＦＺＰ３
に入射しない光を、光軸Ａに対して外方へ屈折させる
（光路Ｐ１）。屈折した光は、レンズ体１１の外周面か
ら外へ出てゆくことにより、排除される。一方、発光部
１３ｂから放射された光のうち、ＦＺＰ１１ｃに入射す
る光には、光軸Ａに対して理想的な平行性を有する平行
光と、若干光軸Ａに対して角度を有するものとが含まれ
ている。しかしながら、前述のように、両者間の距離Ｌ
は、発光部１３ｂの直径ｄ２及びＦＺＰ１１ｃの直径ｄ
１より十分に大きいため、上記角度は非常に小さいもの
となり、無視しうる。従って、ＦＺＰ１１ｃに入射する
光は、実質的にすべて平行光である。これらの平行光
は、ＦＺＰ１１ｃのレンズ作用により焦点Ｆに収束す
る。平行光のみが収束することにより、この焦点Ｆにお
いて光は、極小スポットの二次光源を形成する。

【００１６】上記二次光源から再び拡がった光は、コリ
メータ部１１ａにより平行化され、レンズ体１１の右端
側から外部に放射される。このようにして、高精度な平
行性を備えた光を放射することができる。また、発光部
１３ｂの大きさに相当する平行光がＦＺＰ１１ｃによっ
て集光されるため、ピンホールにより平行光を抽出する
場合等と比較して、焦点Ｆにおける光強度が高い。従っ
て、最終的に放射される光も、高い光強度を有する。

【００１７】また、上記のようにして光源装置１から放
射される光は、一定距離Ｌｃ内でコヒーレンスを有して
いることが実験により確認された。従って、当該距離Ｌ
ｃの範囲では、平行性とコヒーレンスとを備えた光を放
射することができる。なお、この距離Ｌｃは、発光部１
３ｂの発光径ｄ２によって変化し、発光径が小さいほど
長くなる。上記のようにして、光源装置１は、高精度な
平行性とコヒーレンスとを備えた光を放射することがで
きる。また、ＬＥＤ１３はレーザダイオードより熱に強
く、寿命も長い。従って、高温環境での使用も可能であ
る。また、ＬＥＤ１３はレーザダイオードより安価であ
る点でも実用性が高い。

【００１８】なお、上記のようなすり鉢状の遮光部１１
ｂに代えて、マスク状の遮光部を設けてもよい。図４
は、このような遮光部の例を示す断面図である。この場
合、レンズ体１１は、左半分が円筒状に形成されてい
て、中央の円形底部１１ｅ上に、光を反射しにくい黒い
マスク状の遮光部１４が取り付けられている。遮光部１
４の中心部の孔１４ａは光軸Ａ上にあり、その直径が発
光部１３ｂの発光径ｄ２にほぼ等しい。ＦＺＰ１１ｃ
は、孔１４ａの位置において、先の例と同様に、レンズ
体１１に設けられている。ＦＺＰ１１ｃに入射せず当該
遮光部１４に入射した光（光路Ｐ２）は、遮光部１４に
当たって減衰する。一方、ＦＺＰ１１ｃに入射する光に
ついては、先の例と同様に集光され、かつ、コリメート
される。

【００１９】次に、上記のように構成された光源装置１
を用いた本発明の一実施形態による光学式ロータリーエ
ンコーダについて説明する。図５は、光学式ロータリー
エンコーダの基本的構成を示す斜視図である（なお、図
示の寸法は実寸と必ずしも比例しない。）。図におい
て、光源装置１は、前述のようにコリメートされたコヒ
ーレント光を放射する。コヒーレント光の方向をＺ方向
とすると、Ｚ方向の終端には受光素子２が配置されてい
る。光源装置１と受光素子２との間には、Ｚ方向に直交
するＸ−Ｙ平面に平行に、矩形のインデックススリット
板３と、円形のメインスリット板４とが配置されてい
る。インデックススリット板３は固定されているが、メ
インスリット板４は回転自在に支持されており、回転量
被測定物とともに回転する。メインスリット板４には、
回転中心Ｏから半径Ｒの位置を中心として放射状に、か
つ、周方向に等間隔（スリットピッチＰ）でスリット４
ｓが形成されている。

【００２０】図６の（ａ）は、上記インデックススリッ
ト板３を拡大した正面図である。インデックススリット
板３は、４個のスリット窓３ｂからなるスリット部３ａ
を有しており、（ｂ）はその拡大図である。各スリット
窓３ｂには、曲率半径Ｒ（前述の半径Ｒと同じ）の位置
を中心として放射状に、かつ、周方向に等間隔（スリッ
トピッチＰ）でスリット３ｓが形成されている。

【００２１】上記スリット３ｓ及び４ｓは共に、スリッ
トピッチがＰで、スリット幅がＰ／２である回折格子を
構成している。インデックススリット板３におけるスリ
ット窓３ｂの曲率中心のＸ−Ｙ座標（図５参照）は、メ
インスリット板４の回転中心Ｏと一致しており、従っ
て、各スリット３ｓ及び４ｓは光軸上（図５のＺ軸上）
で重なり得る位置に配置されている。すなわち、インデ
ックススリット板３及びメインスリット板４は、光源装
置１からの光に対して、スリットシャッタを構成してい
る。インデックススリット板３とメインスリット板４と
の間の光軸方向のギャップＧは、光の波長をλ、ｎを自
然数（１，２，３，．．．）として、Ｇ＝ｎＰ^２／λの
関係となるように設定されている。また、インデックス
スリット３及びメインスリット４は前述の距離Ｌｃ内に
あり、両スリット３，４に達する光は、平行性とコヒー
レンスとを備えている。なお、スリットピッチＰが小さ
いほど、より厳しいコヒーレンスが必要となる。コヒー
レンス向上のためには光源装置１においてＬＥＤ１３の
発光径ｄ２の少なくとも１０倍の距離を、発光部１３ｂ
とＦＺＰ１１ｃとの間に確保することが有効である。

【００２２】図７は、タルボット効果を説明する図であ
る。上記のようなスリットピッチＰの回折格子に、波長
λのコヒーレント光を照射すると、光の伝搬方向のタル
ボット距離Ｚ_ｔ＝２Ｐ^２／λごとに、回折格子の周期構
造と同じ光強度分布を持つタルボット像が現われる。ま
た、Ｚ_ｔ／２（＝Ｐ^２／λ）の奇数倍の距離ごとに、回
折格子の周期構造を反転した光強度分布を持つタルボッ
ト像が現れる。従って、このＺ_ｔ／２の自然数倍に相当
する距離ｎＰ^２／λの位置には、常に、回折格子の周期
構造と同一若しくはそれを反転した光強度分布を持つタ
ルボット像が現われる。ここで、スリット幅はスリット
ピッチＰの１／２であるから、回折格子の周期構造と同
一の光強度分布と、それを反転した光強度分布とは、ど
ちらを採用しても実質的に同じである。そして、この距
離ｎＰ^２／λは、上記ギャップＧに等しい。すなわち、
上記実施形態におけるメインスリット板４上には、イン
デックススリット板３のスリット３ａの周期構造と同一
又はそれを反転した理想的な光強度分布を有する像が現
れる。しかも、前述のように、光源装置１から放射され
る光は、高い光強度を有している。従って、受光素子２
によって検出される像も、高いコントラストを有し、高
い分解能を得ることができる。

【００２３】上記のようにタルボット効果を利用してギ
ャップＧを設計することにより、ギャップＧの値を、製
造容易な値に選択することができる。例えば、スリット
ピッチＰが１０μｍ（高分解能レベル）、波長λが８６
０ｎｍの場合、ｎ＝１として、Ｇ＝（１０×１０^−６）^２／（８６０×１０^−９）≒１
１６×１０^−６となり、１１６μｍのギャップを確保することができ
る。通常、製造が困難となる目安は４０μｍ程度であ
る。従って、このような十分なギャップの確保により製
造が容易になる。なお、製造の容易さ及びタルボット像
のコントラストの点から好適なギャップＧの範囲は、８
０〜２００μｍである。また、さらに高い分解能（スリ
ットピッチＰが１０μｍ以下）を得ようとする場合、上
記の条件で例えばＰ＝６μｍであれば、Ｇの値は約４２
μｍとなり、好適な範囲を下回るが、この場合にはｎを
２又は３にすることにより、Ｇを約８４μｍ又は１２６
μｍとして、好適な範囲に収めることができる。

【００２４】上記実施形態では、ＦＺＰ１１ｃにより二
次光源を形成する光源装置１を用いたが、図８に示すよ
うに比較的小さい発光径（例えば５０μｍ）の発光部１
３ｂを有するＬＥＤ１３の場合には、充分な収差補正を
行ったコリメータレンズ２１を用いるだけでも、平行性
とコヒーレンスとを備えた光を放射することができる。
この場合、コヒーレンスが確保される距離Ｌｃは、例え
ば発光径ｄ２が５０μｍでは約３００μｍである。従っ
て、このような光源装置２２を、前述の光源装置１に代
えて用い、インデックススリット３及びメインスリット
４を上記距離Ｌｃ内に配置することにより、上記の場合
と同様の作用効果を得ることができる。なお、この場合
にも、スリットピッチＰが小さいほど、より厳しいコヒ
ーレンスが必要となり、コヒーレンス向上のためにはＬ
ＥＤ１３の発光径ｄ２を小さくすることが必要である。
具体的には、発光径ｄ２とスリットピッチＰとの関係
は、ｄ２≦６×Ｐが好ましいと考えられる。

【００２５】なお、上記実施形態では、図５に示すよう
に光源装置１側にインデックススリット板３を配置し、
受光素子２側にメインスリット板４を配置したが、これ
らの配置は逆でもよい。また、上記実施形態において、
メインスリット板４と受光素子２との距離も、ギャップ
Ｇと同様に、上記Ｚ_ｔ／２の自然数倍に相当する値とし
てもよい。また、上記実施形態ではロータリーエンコー
ダについて説明したが、同様の構成をリニアエンコーダ
に適用することもできる。

【００２６】

【発明の効果】以上のように構成された本発明は以下の
効果を奏する。請求項１の光学式エンコーダによれば、
ＬＥＤを光源として平行化され、かつ、コヒーレンスを
有する光が、両スリット間のギャップＧ＝ｎＰ^２／λの
スリットシャッタに入射することにより、一方のスリッ
トの周期構造と同一若しくはそれを反転した理想的な光
強度分布を持つタルボット像が他方のスリット上に現れ
る。これにより、受光素子は、高いコントラストを有す
る像を検出するので、高い分解能を得ることができる。
しかも、ｎの値を任意に選択して製造容易なギャップＧ
の値を設定することができるので、当該光学式エンコー
ダは製造が容易である。また、ＬＥＤはレーザダイオー
ドより熱に強く、寿命も長いので、高温環境での使用も
可能である。

【００２７】請求項２の光学式エンコーダによれば、選
択集光部に入射する光は実質的に光軸と平行であるとみ
なすことができるので、簡単に光の平行性を確保するこ
とができる。

【００２８】請求項３の光学式エンコーダによれば、請
求項１の光学式エンコーダと同様の効果を、ＬＥＤ及び
コリメータレンズのみの光源装置によって容易に得るこ
とができる。

【００２９】請求項４の光学式エンコーダによれば、光
のコヒーレンスがスリットピッチとの関係で適度に確保
されるので、常に確実に光のコヒーレンスを確保するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態による光学式ロータリーエ
ンコーダに用いる光源装置の構成を示す断面図である。

【図２】図１におけるＢ部の拡大図である。

【図３】図１の一部をさらに拡大した断面図に光の進路
を記載したものである。

【図４】図１とは異なる構成の光源装置を示す断面図で
ある。

【図５】本発明の一実施形態による光学式ロータリーエ
ンコーダの基本的構成を示す斜視図である。

【図６】（ａ）は、図５におけるインデックススリット
板を拡大した正面図であり、（ｂ）はさらに、その拡大
図である。

【図７】タルボット効果を説明する図である。

【図８】ＬＥＤとコリメータレンズとからなる光源装置
を示す断面図である。

【図９】従来の光学式ロータリーエンコーダを示す斜視
図である。

【符号の説明】

１，２２光源装置２受光素子３インデックススリット板４メインスリット板３ｓ，４ｓスリット１１レンズ体１１ａコリメータ部１１ｂ遮光部１１ｃＦＺＰ（集光部）１３ＬＥＤ１３ｂ発光部２１コリメータレンズＡ光軸ｄ２発光径ＧギャップＬ距離Ｐスリットピッチ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】波長λの光を放射するＬＥＤ、当該ＬＥＤ
から放射された光のうち実質的に光軸に対する平行光の
みを抽出してこれを集光する選択集光部、及び、当該選
択集光部により焦点に収束してから拡がる光を平行化す
るコリメータ部を有するものであって、少なくとも一定
距離までコヒーレンスを維持した光を放射する光源装置
と、スリットピッチＰのスリットをそれぞれ有し、ｎを自然
数としてＧ＝ｎＰ^２／λにより表されるギャップＧだけ
前記光源装置の光軸方向に互いに隔てて配置され、前記
コヒーレンスを維持した光に対するスリットシャッタを
構成するインデックススリット板及びメインスリット板
と、前記インデックススリット板及びメインスリット板の各
スリットを通過した光を受光する受光素子とを備えたこ
とを特徴とする光学式エンコーダ。
【請求項２】前記選択集光部は、前記ＬＥＤから少なく
ともその発光径の１０倍の距離を隔てて配置されている
請求項１記載の光学式エンコーダ。
【請求項３】波長λの光を放射するＬＥＤ及びその光を
平行化するコリメータレンズからなり、少なくとも一定
距離までコヒーレンスを維持した光を放射する光源装置
と、スリットピッチＰのスリットをそれぞれ有し、ｎを自然
数としてＧ＝ｎＰ^２／λにより表されるギャップＧだけ
前記光源装置の光軸方向に互いに隔てて配置され、前記
コヒーレンスを維持した光に対するスリットシャッタを
構成するインデックススリット板及びメインスリット板
と、前記インデックススリット板及びメインスリット板の各
スリットを通過した光を受光する受光素子とを備えたこ
とを特徴とする光学式エンコーダ。
【請求項４】前記ＬＥＤの発光径は前記スリットピッチ
Ｐの６倍以下である請求項３記載の光学式エンコーダ。