JP2002254206A - 切粉に対する表面潤滑性にすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具 - Google Patents

切粉に対する表面潤滑性にすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具

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JP2002254206A
JP2002254206A JP2001048329A JP2001048329A JP2002254206A JP 2002254206 A JP2002254206 A JP 2002254206A JP 2001048329 A JP2001048329 A JP 2001048329A JP 2001048329 A JP2001048329 A JP 2001048329A JP 2002254206 A JP2002254206 A JP 2002254206A
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carbide
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Kazunori Sato
和則 佐藤
Yusuke Tanaka
裕介 田中
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MMC Kobelco Tool Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 切粉に対する表面潤滑性にすぐれた表面被覆
超硬合金製切削工具を提供する。 【解決手段】 炭化タングステン基超硬合金または炭窒
化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
0.1〜10μmの平均層厚を有するTiの炭化物層、
窒化物層、および炭窒化物層のうちの1種の単層または
2種の複層からなる密着性下地被覆層を介して、Tiと
Alの複合窒化物層および複合炭窒化物層のうちの1種
の単層または2種の複層からなる強靭性被覆層を0.5
〜15μmの平均層厚で物理蒸着してなる表面被覆超硬
合金製切削工具において、前記強靭性被覆層の表面に、
酸化ジルコニウム層からなる潤滑性被覆層を0.5〜1
5μmの平均層厚で物理蒸着してなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は、切粉に対する表
面潤滑性にすぐれ、したがって特にステンレス鋼や軟鋼
などのきわめて粘性が高く、かつ切粉が切刃表面に溶着
し易い難削材の高速切削加工に用いた場合にも、切刃に
欠けやチッピング(微小欠け)などの発生なく、すぐれ
た切削性能を長期に亘って発揮する表面被覆超硬合金製
切削工具(以下、被覆超硬工具という)に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】一般に、切削工具には、各種の鋼や鋳鉄
などの被削材の旋削加工や平削り加工にバイトの先端部
に着脱自在に取り付けて用いられるスローアウエイチッ
プ、前記被削材の穴あけ切削加工などに用いられるドリ
ルやミニチュアドリル、さらに前記被削材の面削加工や
溝加工、肩加工などに用いられるソリッドタイプのエン
ドミルなどがあり、また前記スローアウエイチップを着
脱自在に取り付けて前記ソリッドタイプのエンドミルと
同様に切削加工を行うスローアウエイエンドミル工具な
どが知られている。
【0003】また、一般に、例えば図1に概略説明図で
示される物理蒸着装置の1種であるアークイオンプレー
ティング装置を用い、ヒータで装置内を、例えば雰囲気
を1.3×10-3Paの真空として、500℃の温度に
加熱した状態で、アノード電極と、密着性下地被覆層形
成にはTi、強靭性被覆層形成には所定組成を有するT
i−Al合金がセットされたカソード電極(蒸発源)と
の間にアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガス
としてメタンガスおよび/または窒素ガスを導入し、一
方炭化タングステン(以下、WCで示す)基超硬合金ま
たは炭窒化チタン(以下、TiCNで示す)基サーメッ
トからなり、かつ前記アノード電極およびカソード電極
と所定間隔をもって対向配置された工具基体(以下、こ
れらを総称して超硬基体と云う)には、例えば−120
Vのバイアス電圧を印加した条件で、前記超硬基体の表
面に、例えば特開昭62−56565号公報に記載され
るように、0.1〜10μmの平均層厚を有するTiの
炭化物層、窒化物層、および炭窒化物層(以下、それぞ
れTiC層、TiN層、およびTiCN層で示す)のう
ちの1種の単層または2種の複層からなる密着性下地被
覆層を介して、TiとAlの複合窒化物[以下、(T
i,Al)Nで示す]層および複合炭窒化物[以下、
(Ti,Al)CNで示す]層のうちの1種の単層また
は2種の複層からなる強靭性被覆層を0.5〜15μm
の平均層厚で物理蒸着することにより製造された被覆超
硬切削工具が知られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】近年の切削加工装置の
FA化はめざましく、一方で切削加工に対する省力化お
よび省エネ化、さらに低コスト化の要求は強く、これに
伴い、切削工具には1種類の工具でできるだけ多くの材
種の被削材を切削加工できる汎用性が求められると共
に、切削加工も高速化の傾向にあるが、上記の従来被覆
超硬工具においては、これを鋼や鋳鉄などの通常の条件
での切削加工に用いた場合には問題はないが、これをき
わめて粘性の高いステンレス鋼や軟鋼などの被削材の高
速切削に用いた場合には、これら被削材の切粉は、被覆
層を構成する(Ti,Al)N層や(Ti,Al)CN
層に対する親和性が高いために、切刃表面に溶着し易
く、この溶着現象は切削加工が高速化すればするほど顕
著に現れるようになり、この溶着現象が原因で切刃に欠
けやチッピングが発生し、この結果比較的短時間で使用
寿命に至るのが現状である。
【0005】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
上述のような観点から、特にステンレス鋼や軟鋼などの
高速切削加工に用いた場合にも、切刃表面に切粉の溶着
し難い被覆超硬工具を開発すべく研究を行った結果、上
記の従来被覆超硬工具の表面に、酸化ジルコニウム(以
下、ZrO2で示す)層を物理蒸着すると、この結果の
ZrO2層が上記の通常の被覆層の表面に最表面層とし
て物理蒸着された被覆超硬工具においては、前記最表面
層を構成するZrO2層の被削材、特にステンレス鋼や
軟鋼などの粘性の高い難削材に対する親和性がきわめて
低く、これは高い発熱を伴う高速切削加工でも変わら
ず、この結果切刃に切粉が溶着することがない、すなわ
ち前記ZrO2層がすぐれた表面潤滑性を発揮すること
から、切刃に欠けやチッピングの発生がなくなり、長期
に亘ってすぐれた切削性能を発揮するようになる、とい
う研究結果を得たのである。
【0006】この発明は、上記の研究結果にもとづいて
なされたものであって、超硬基体の表面に、0.1〜1
0μmの平均層厚を有するTiC層、TiN層、および
TiCN層のうちの1種の単層または2種の複層からな
る密着性下地被覆層を介して、(Ti,Al)N層およ
び(Ti,Al)CN層のうちの1種の単層または2種
の複層からなる強靭性被覆層を0.5〜15μmの平均
層厚で物理蒸着してなる被覆超硬切削工具において、上
記強靭性被覆層の表面に、ZrO2層からなる潤滑性被
覆層を0.5〜15μmの平均層厚で物理蒸着してな
る、切粉に対する表面潤滑性にすぐれた被覆超硬切削工
具に特徴を有するものである。
【0007】なお、この発明の被覆超硬切削工具におい
て、これを構成する密着性下地被覆層、強靭性被覆層、
および潤滑性被覆層の平均層厚を上記の通りに限定した
理由を説明する。 (a)密着性下地被覆層 その平均層厚が0.1μm未満では、上記の超硬基体と
強靭性被覆層との間に所定の強固な密着性を確保するこ
とができず、一方その平均層厚が10μmを越えると、
切削時に発生する高熱によって熱塑性変形を起し、切刃
に偏摩耗が発生し、これが原因で摩耗進行が急激に促進
されるようになることから、その平均層厚を0.1〜1
0μmと定めた。 (b)強靭性被覆層 その平均層厚が0.5μm未満では所望のすぐれた強靭
性を確保することができず、この結果切刃に欠けやチッ
ピング(微小欠け)が発生し易くなり、一方その層厚が
15μmを越えると、上記の密着性下地被覆層の層厚と
相俟って、切削時の熱塑性変形が一段と起り易くなり、
これが原因の切刃偏摩耗によって使用寿命が短縮化する
ようになることから、その平均層厚を0.5〜15μm
と定めた。 (c)潤滑性被覆層 その平均層厚が0.5μm未満では所望のすぐれた潤滑
性を確保することができず、一方その平均層厚が15μ
mを越えると切刃に偏摩耗が発生し易くなり、これが摩
耗進行を促進するようになることから、その平均層厚を
0.5〜15μmと定めた。なお、上記の潤滑性被覆層
の上に、必要に応じてTiN層を0.1〜2μmの平均
層厚で形成してもよく、これはTiN層が黄金色の色調
を有し、この色調によって切削工具の使用前と使用後の
識別が容易になるという理由からで、この場合その層厚
が0.1μm未満では前記色調の付与が不十分であり、
一方前記色調の付与は2μmまでの平均層厚で十分であ
る。
【0008】
【発明の実施の形態】ついで、この発明の被覆超硬切削
工具を実施例により具体的に説明する。 (実施例1)原料粉末として、いずれも1〜3μmの平
均粒径を有するWC粉末、TiC粉末、ZrC粉末、V
C粉末、TaC粉末、NbC粉末、Cr3 2 粉末、T
iN粉末、TaN粉末、およびCo粉末を用意し、これ
ら原料粉末を、表1に示される配合組成に配合し、ボー
ルミルで72時間湿式混合し、乾燥した後、100MP
a の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を6P
aの真空中、温度:1400℃に1時間保持の条件で焼
結し、焼結後、切刃部分にR:0.05のホーニング加
工を施してISO規格・CNMG120408のチップ
形状をもったWC基超硬合金製の超硬基体A1〜A10
を形成した。
【0009】また、原料粉末として、いずれも0.5〜
2μmの平均粒径を有するTiCN(重量比でTiC/
TiN=50/50)粉末、Mo2 C粉末、ZrC粉
末、NbC粉末、TaC粉末、WC粉末、Co粉末、お
よびNi粉末を用意し、これら原料粉末を、表2に示さ
れる配合組成に配合し、ボールミルで24時間湿式混合
し、乾燥した後、100MPaの圧力で圧粉体にプレス
成形し、この圧粉体を2kPaの窒素雰囲気中、温度:
1500℃に1時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃
部分にR:0.03のホーニング加工を施してISO規
格・CNMG120408のチップ形状をもったTiC
N系サーメット製の超硬基体B1〜B6を形成した。
【0010】ついで、これら超硬基体A1〜A10およ
びB1〜B6を、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した
状態で、それぞれ図1に例示される通常のアークイオン
プレーティング装置に装入し、一方カソード電極(蒸発
源)として、それぞれ金属Ti、並びに種々の成分組成
をもったTi−Al合金を装着し、装置内を排気して
0.5Paの真空に保持しながら、ヒーターで装置内を
500℃に加熱した後、Arガスを装置内に導入して1
0PaのAr雰囲気とし、この状態で超硬基体に−80
0Vのバイアス電圧を印加して超硬基体表面をArガス
ボンバート洗浄し、ついで装置内に反応ガスとして、メ
タンガスおよび/または窒素ガスを導入して6Paの反
応雰囲気とすると共に、前記超硬基体に印加するバイア
ス電圧を−200Vに下げて、前記カソード電極とアノ
ード電極との間にアーク放電を発生させ、もって前記超
硬基体A1〜A10およびB1〜B6のそれぞれの表面
に、表3、4に示される目標組成および目標層厚の密着
性下地被覆層および強靭性被覆層を蒸着することによ
り、図2(a)に概略斜視図で、同(b)に概略縦断面
図で示される形状を有する従来被覆超硬工具としての従
来表面被覆超硬合金製スローアウエイチップ(以下、従
来被覆超硬チップと云う)1〜22をそれぞれ製造し
た。
【0011】ついで、これら従来被覆超硬チップ1〜2
2のそれぞれの表面に、同じく図1のアークイオンプレ
ーティング装置にて、カソード電極(蒸発源)として、
金属Zrを装着し、装置内を排気して1.3×10-3
aの真空に保持しながら、ヒーターで装置内を620〜
720℃の範囲内の所定の温度に加熱した状態で、超硬
基体に印加するパルスバイアス電圧を−350Vとし、
ついで装置内に反応ガスとして酸素ガスを導入しなが
ら、前記カソード電極とアノード電極との間にアーク放
電を発生させ、もって表5に示される目標層厚の潤滑性
被覆層を形成することにより同じく図2に示される形状
をもった本発明被覆超硬工具としての本発明表面被覆超
硬合金製スローアウエイチップ(以下、本発明被覆超硬
チップと云う)1〜22をそれぞれ製造した。
【0012】なお、この結果得られた各種の被覆超硬チ
ップについて、これを構成する各種被覆層の組成および
層厚を、オージェ分光分析装置および走査型電子顕微鏡
を用いて測定したところ、表3〜5の目標組成および目
標層厚と実質的に同じ組成および平均層厚(任意5ヶ所
測定の平均値)を示した。
【0013】ついで、この結果得られた各種の被覆超硬
チップのうち、本発明被覆超硬切削工具1〜16および
従来被覆超硬切チップ1〜16について、 被削材:JIS・SUS304の丸棒、 切削速度:250m/min.、 切り込み:1.5mm、 送り:0.25mm/rev.、 切削時間:10分、の条件でのステンレス鋼の乾式高速
連続旋削加工試験、 被削材:JIS・SUS304の長さ方向等間隔4本縦
溝入り丸棒、 切削速度:200m/min.、 切り込み:1.5mm、 送り:0.20mm/rev.、 切削時間:3分、の条件でのステンレス鋼の乾式高速断
続旋削加工試験、さらに、 被削材:JIS・S15Cの長さ方向等間隔4本縦溝入
り丸棒、 切削速度:320m/min.、 切り込み:2.0mm、 送り:0.25mm/rev.、 切削時間:5分、の条件での軟鋼の乾式高速断続旋削加
工試験を行い、いずれの旋削加工試験でも切刃の逃げ面
摩耗幅を測定した。
【0014】また、本発明被覆超硬チップ17〜22お
よび従来被覆超硬チップ17〜22については、 被削材:JIS・SUS304の丸棒、 切削速度:240m/min.、 切り込み:1.5mm、 送り:0.25mm/rev.、 切削時間:10分、の条件でのステンレス鋼の乾式高速
連続旋削加工試験、 被削材:JIS・SUS304の長さ方向等間隔4本縦
溝入り丸棒、 切削速度:220m/min.、 切り込み:1.5mm、 送り:0.20mm/rev.、 切削時間:3分、の条件でのステンレス鋼の乾式高速断
続旋削加工試験、さらに、 被削材:JIS・S15Cの長さ方向等間隔4本縦溝入
り丸棒、 切削速度:270m/min.、 切り込み:2.0mm、 送り:0.25mm/rev.、 切削時間:5分、の条件での軟鋼の乾式高速断続旋削加
工試験を行い、いずれの旋削加工試験でも切刃部の逃げ
面摩耗幅を測定した。この測定結果を表6に示した。
【0015】
【表1】
【0016】
【表2】
【0017】
【表3】
【0018】
【表4】
【0019】
【表5】
【0020】
【表6】
【0021】(実施例2)原料粉末として、平均粒径:
5.5μmを有する中粗粒WC粉末、同0.8μmの微
粒WC粉末、同1.3μmのTaC粉末、同1.2μm
のNbC粉末、同1.2μmのZrC粉末、同2.3μ
mのCr32粉末、同1.5μmのVC粉末、同1.0
μmの(Ti,W)C粉末、同1.8μmのCo粉末、
および同1.2μmの炭素(C)粉末を用意し、これら
原料粉末をそれぞれ表7に示される配合組成に配合し、
さらにワックスを加えてアセトン中で24時間ボールミ
ル混合し、減圧乾燥した後、100MPaの圧力で所定
形状の各種の圧粉体にプレス成形し、これらの圧粉体
を、6Paの真空雰囲気中、7℃/分の昇温速度で13
70〜1470℃の範囲内の所定の温度に昇温し、この
温度に1時間保持後、炉冷の条件で焼結して、直径が8
mm、13mm、および26mmの3種の超硬基体形成
用丸棒焼結体を形成し、さらに前記の3種の丸棒焼結体
から、研削加工にて、表7に示される組合せで、切刃部
の直径×長さがそれぞれ6mm×13mm、10mm×
22mm、および20mm×45mmの寸法をもった超
硬基体(エンドミル)a〜hをそれぞれ製造した。
【0022】ついで、これらの超硬基体(エンドミル)
a〜hの表面に、ホーニングを施し、アセトン中で超音
波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図1に例示される通
常のアークイオンプレーティング装置に装入し、上記実
施例1と同一の条件で、表8に示される目標組成および
目標層厚の密着性下地被覆層および強靭性被覆層を蒸着
することにより、図3(a)に概略正面図で、同(b)
に切刃部の概略横断面図で示される形状を有する従来被
覆超硬工具としての従来表面被覆超硬合金製エンドミル
(以下、従来被覆超硬エンドミルと云う)1〜8をそれ
ぞれ製造した。
【0023】さらに、上記の従来被覆超硬エンドミル1
〜8の表面に、同じくアークイオンプレーティング装置
にて、上記実施例1と同一の条件で、表9に示される目
標層厚の潤滑性被覆層を形成することにより同じく図3
に示される形状をもった本発明被覆超硬工具としての本
発明表面被覆超硬合金製エンドミル(以下、本発明被覆
超硬エンドミルと云う)1〜8をそれぞれ製造した。
【0024】また、この結果得られた各種の被覆超硬エ
ンドミルについて、これを構成する各種被覆層の組成お
よび層厚を、オージェ分光分析装置および走査型電子顕
微鏡を用いて測定したところ、表8、9の目標組成およ
び目標層厚と実質的に同じ組成および平均層厚(任意5
ヶ所測定の平均値との比較)を示した。
【0025】つぎに、上記本発明被覆超硬エンドミル1
〜8および従来被覆超硬エンドミル1〜8のうち、本発
明被覆超硬エンドミル1〜3および従来被覆超硬エンド
ミル1〜3については、 被削材:平面寸法:100mm×250mm、厚さ:5
0mmのJIS・SUS304の板材、 切削速度:70m/min.、 溝深さ(切込み):3mm、 テーブル送り:200mm/分、の条件でのステンレス
鋼の湿式高速溝切削加工試験(水溶性切削油使用)、本
発明被覆超硬エンドミル4〜6および従来被覆超硬エン
ドミル4〜6については、 被削材:平面寸法:100mm×250mm、厚さ:5
0mmのJIS・S15C板材、 切削速度:90m/min.、 溝深さ(切込み):6mm、 テーブル送り:400mm/分、の条件での軟鋼の乾式
高速溝切削加工試験、本発明被覆超硬エンドミル7,8
および従来被覆超硬エンドミル7,8については、 被削材:平面寸法:100mm×250mm、厚さ:5
0mmのJIS・SUS304の板材、 切削速度:70m/min.、 溝深さ(切込み):1.5mm、 テーブル送り:200mm/分、の条件でのステンレス
鋼の湿式高速溝切削加工試験(水溶性切削油使用)、を
それぞれ行い、いずれの溝切削加工試験でも外周刃の逃
げ摩耗量が使用寿命の目安とされる0.1mmに至るま
での切削溝長を測定した。この測定結果を表8、9にそ
れぞれ示した。
【0026】
【表7】
【0027】
【表8】
【0028】
【表9】
【0029】(実施例3)上記の実施例2で製造した直
径が8mm(超硬基体a〜c形成用)、13mm(超硬
基体d〜f形成用)、および26mm(超硬基体g、h
形成用)の3種の丸棒焼結体を用い、この3種の丸棒焼
結体から、研削加工にて、溝形成部の直径×長さがそれ
ぞれ4mm×13mm(超硬基体a‘〜c’)、8mm
×22mm(超硬基体d‘〜f’)、および16mm×
45mm(超硬基体g‘、h’)の寸法をもった超硬基
体(ドリル)a‘〜h’をそれぞれ製造した。
【0030】ついで、これらの超硬基体(ドリル)a
‘〜h’の表面に、ホーニングを施し、アセトン中で超
音波洗浄し、乾燥した状態で、同じく図1に例示される
通常のアークイオンプレーティング装置に装入し、上記
実施例1と同一の条件で、表10に示される目標組成お
よび目標層厚の密着性下地被覆層および強靭性被覆層を
蒸着することにより、図4(a)に概略正面図で、同
(b)に溝形成部の概略横断面図で示される形状を有す
る従来被覆超硬工具としての従来表面被覆超硬合金製ド
リル(以下、従来被覆超硬ドリルと云う)1〜8をそれ
ぞれ製造した。
【0031】さらに、上記の従来被覆超硬ドリル1〜8
の表面に、同じくアークイオンプレーティング装置に
て、上記実施例1と同一の条件で、表11に示される目
標層厚の潤滑性被覆層を形成することにより、同じく図
4に示される形状をもった本発明被覆超硬工具としての
本発明表面被覆超硬合金製ドリル(以下、本発明被覆超
硬ドリルと云う)1〜8をそれぞれ製造した。
【0032】さらに、この結果得られた各種の被覆超硬
ドリルについて、これを構成する各種被覆層の組成およ
び層厚を、オージェ分光分析装置および走査型電子顕微
鏡を用いて測定したところ、表10、11の目標組成お
よび目標層厚と実質的に同じ組成および平均層厚(任意
5ヶ所測定の平均値との比較)を示した。
【0033】つぎに、上記本発明被覆超硬ドリル1〜8
および従来被覆超硬ドリル1〜8のうち、本発明被覆超
硬ドリル1〜3および従来被覆超硬ドリル1〜3につい
ては、 被削材:平面寸法:100mm×250厚さ:50mm
のJIS・SUS304板材、 切削速度:30m/min.、 送り:0.10mm/rev、の条件でのステンレス鋼
の湿式高速穴あけ切削加工試験、本発明被覆超硬ドリル
4〜6および従来被覆超硬ドリル4〜6については、 被削材:平面寸法:100mm×250mm、厚さ:5
0mmのJIS・SUS304の板材、 切削速度:40m/min.、 送り:0.15mm/rev、の条件でのステンレス鋼
の湿式高速穴あけ切削加工試験、本発明被覆超硬ドリル
7,8および従来被覆超硬ドリル7,8については、 被削材:平面寸法:100mm×250mm、厚さ:5
0mmのJIS・S15Cの板材、 切削速度:70m/min.、 送り:0.35mm/rev、の条件での軟鋼の湿式高
速穴あけ切削加工試験、をそれぞれ行い、いずれの湿式
(水溶性切削油使用)高速穴あけ切削加工試験でも先端
切刃面の逃げ面摩耗幅が0.3mmに至るまでの穴あけ
加工数を測定した。この測定結果を表10、11にそれ
ぞれ示した。
【0034】
【表10】
【0035】
【表11】
【0036】
【発明の効果】表3〜11に示される結果から、本発明
被覆超硬切削工具は、いずれも潤滑性被覆層としてのZ
rO2層によって切刃表面にすぐれた潤滑性が確保され
ることから、ステンレス鋼や軟鋼の切削加工を高い発熱
を伴う高速で行っても、高温に加熱された切粉が前記Z
rO2層に溶着することがなく、切刃は常にすぐれた表
面潤滑性を維持することから、切刃への切粉溶着が原因
のチッピングが切刃に発生することがなく、すぐれた耐
摩耗性を発揮するのに対して、前記ZrO2層の形成の
ない従来被覆超硬工具においては、切粉が強靭性被覆層
である(Ti,Al)N層および(Ti,Al)CN層
に溶着し易く、これが原因で前記被覆層が局部的に剥が
し取られることから、切刃にチッピングが発生し、比較
的短時間で使用寿命に至ることが明らかである。上述の
ように、この発明の被覆超硬工具は、各種の鋼や鋳鉄な
どの通常の条件での切削加工は勿論のこと、特に粘性が
高く、切粉が切刃表面に溶着し易いステンレス鋼や軟鋼
などの切削加工を高速で行っても切粉に対してすぐれた
表面潤滑性を発揮し、汎用性のある切削性能を示すもの
であるから、切削加工装置のFA化並びに切削加工の省
力化および省エネ化、さらに低コスト化に十分満足に対
応できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】アークイオンプレーティング装置の概略説明図
である。
【図2】(a)は被覆超硬チップの概略斜視図、(b)
は被覆超硬チップの概略縦断面図である。
【図3】(a)は被覆超硬エンドミル概略正面図、
(b)は同切刃部の概略横断面図である。
【図4】(a)は被覆超硬ドリルの概略正面図、(b)
は同溝形成部の概略横断面図である。
フロントページの続き Fターム(参考) 3C037 CC02 CC04 CC09 CC10 3C046 FF03 FF05 FF10 FF11 FF13 FF16 FF19 FF25 4K029 AA04 BA54 BA55 BA60 BD05 CA04 DD06 EA01 FA04

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 炭化タングステン基超硬合金または炭窒
    化チタン基サーメットで構成された工具基体の表面に、
    0.1〜10μmの平均層厚を有するTiの炭化物層、
    窒化物層、および炭窒化物層のうちの1種の単層または
    2種の複層からなる密着性下地被覆層を介して、Tiと
    Alの複合窒化物層および複合炭窒化物層のうちの1種
    の単層または2種の複層からなる強靭性被覆層を0.5
    〜15μmの平均層厚で物理蒸着してなる表面被覆超硬
    合金製切削工具において、 上記強靭性被覆層の表面に、酸化ジルコニウム層からな
    る潤滑性被覆層を0.5〜15μmの平均層厚で物理蒸
    着したことを特徴とする切粉に対する表面潤滑性にすぐ
    れた表面被覆超硬合金製切削工具。
JP2001048329A 2001-02-23 2001-02-23 切粉に対する表面潤滑性にすぐれた表面被覆超硬合金製切削工具 Pending JP2002254206A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11248289B2 (en) * 2017-11-10 2022-02-15 Dallas Thin Films Multilayered corrosion and anti-galling coating for threads and wearable materials

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