JP3478276B2 - 高速重切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】この発明は、特に鋼や鋳鉄な
どの切削加工を、高送りや高切込みなどの重切削条件
で、かつ高速で行った場合に、切刃部がすぐれた耐チッ
ピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具（以
下、被覆超硬工具という）に関するものである。 【０００２】 【従来の技術】一般に、切削工具には、各種の鋼や鋳鉄
などの被削材の旋削加工や平削り加工にバイトの先端部
に着脱自在に取り付けて用いられるスローアウエイチッ
プ、前記被削材の穴あけ切削加工などに用いられるドリ
ルやミニチュアドリル、さらに前記被削材の面削加工や
溝加工、肩加工などに用いられるソリッドタイプのエン
ドミルなどがあり、また前記スローアウエイチップを着
脱自在に取り付けて前記ソリッドタイプのエンドミルと
同様に切削加工を行うスローアウエイエンドミル工具な
どが知られている。 【０００３】また、一般に、例えば図１に概略説明図で
示される物理蒸着装置の１種であるアークイオンプレー
ティング装置を用い、基本的に、ヒータで装置内を、例
えば雰囲気を１．３×１０^-3Ｐａの真空として、５００
℃の温度に加熱した状態で、アノード電極と所定組成を
有するＴｉ−Ａｌ合金がセットされたカソード電極（蒸
発源）との間に、例えば電圧：３５Ｖ、電流：１００Ａ
の条件でアーク放電を発生させ、同時に装置内に反応ガ
スとして窒素ガスを導入し、一方炭化タングステン（以
下、ＷＣで示す）基超硬合金または炭窒化チタン（以
下、ＴｉＣＮで示す）基サーメットからなる基体（以
下、これらを総称して超硬基体と云う）には、例えば−
１００Ｖのバイアス電圧を印加した条件で、前記超硬基
体の表面に、例えば特開昭６２−５６５６５号公報に記
載されるように、ＴｉとＡｌの複合窒化物［以下、（Ｔ
ｉ，Ａｌ）Ｎで示す］で構成された硬質被覆層を０．８
〜１５μｍの平均層厚で蒸着することにより被覆超硬工
具を製造することが知られている。 【０００４】 【発明が解決しようとする課題】近年の切削加工装置の
高性能化はめざましく、一方で切削加工に対する省力化
および省エネ化、さらに低コスト化の要求も強く、これ
に伴い、切削加工は、高送りや高切込みなどの重切削条
件で、かつ高速で行なわれる傾向にあるが、上記の従来
被覆超硬工具においては、これを鋼や鋳鉄などの通常の
条件での切削加工に用いた場合には問題はないが、これ
を特に高送りや高切込みなどの重切削条件での高速切削
加工に用いた場合には、切刃部にチッピング（微小欠
け）が発生し易く、これが原因で比較的短時間で使用寿
命に至るのが現状である。 【０００５】 【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は、
上述のような観点から、特に鋼や鋳鉄などの高速重切削
加工に用いた場合にも、すぐれた耐チッピング性を発揮
する被覆超硬工具を開発すべく研究を行った結果、 （ａ）例えば原料粉末として、Ｔｉ粉末およびＡｌ粉
末、さらに窒化アルミニウム（以下、ＡｌＮで示す）粉
末を用い、これら原料粉末を所定の配合割合に配合し、
混合した後、圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を、通
常の条件、例えば真空雰囲気中、５００〜６００℃の範
囲内の所定の温度に所定時間保持の条件で焼結して、所
定の組成をもった焼結体を形成し、この焼結体をカソー
ド電極（蒸発源）として用いて、例えばアークイオンプ
レーティング装置にて、反応ガスとして窒素ガスを導入
して、上記超硬基体表面に硬質被覆層を形成すると、形
成された硬質被覆層は、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎの素地にＡｌ
Ｎ相が分散分布した組織をもつものとなること。 （ｂ）上記（ａ）で得られた被覆超硬工具の硬質被覆層
の素地を、組成式：（Ｔｉ_1-XＡｌ_X）Ｎで表わした場
合、原子比で、Ｘ：０．４５〜０．７５を満足する組成
に特定した上で、かつ前記素地に分散分布するＡｌＮ相
の割合をオージェ分光分析装置による面分析で５〜４０
面積％とすると、この結果の硬質被覆層には前記素地に
よってすぐれた靭性と高温硬さ、そして前記ＡｌＮ相に
よってすぐれた高温強度（高温靭性）と耐熱性が確保さ
れることから、前記被覆超硬工具は、これを特に高温強
度および耐熱性が要求される高速重切削加工に用いても
切刃にチッピングの発生なく、すぐれた耐摩耗性を長期
に亘って発揮するようになること。 以上（ａ）および（ｂ）に示される研究結果を得たので
ある。 【０００６】この発明は、上記の研究結果に基づいてな
されたものであって、超硬基体の表面に、組成式：（Ｔ
ｉ_1-XＡｌ_X）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．４５〜
０．７５）を有する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎからなる素地に、
ＡｌＮ相が、オージェ分光分析装置による面分析で５〜
４０面積％の割合で分散分布した組織を有する硬質被覆
層を０．８〜１５μｍの平均層厚で物理蒸着してなる、
高速重切削加工ですぐれた耐チッピング性を発揮する被
覆超硬工具に特徴を有するものである。 【０００７】なお、この発明の被覆超硬工具において、
硬質被覆層の素地を構成する（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎにおける
ＡｌはＴｉＮに対して高温硬さを向上させるために固溶
するものであり、したがって組成式：（Ｔｉ_1-XＡｌ_X）
ＮのＸ値が原子比で０．４５未満では所望の高温硬さを
確保することができず、一方その値が同０．７５を越え
ると、ＴｉＮによってもたらされるすぐれた靭性が急激
に低下するようになり、切刃部にチッピングが発生し易
くなるという理由で、Ｘ値を原子比で０．４５〜０．７
５、望ましくは０．５〜０．７と定めた。 【０００８】また、硬質被覆層の素地に分散分布するＡ
ｌＮ相は、上記の通り硬質被覆層にすぐれた高温強度
（高温靭性）と耐熱性を付与し、もって高い発熱を伴な
う、高速重切削でも硬質被覆層がすぐれた耐チッピング
性を発揮するようにする作用をもつが、硬質被覆層にお
けるＡｌＮ相の割合が、オージェ分光分析装置による面
分析で５面積％未満では前記作用に所望の効果が得られ
ず、一方同割合が４０面積％を超えると素地によっても
たらされる高温硬さが急激に低下し、摩耗進行が促進す
るようになることから、ＡｌＮ相の硬質被覆層における
割合を５〜４０面積％、望ましくは１０〜３０面積％と
定めた。 【０００９】さらに、硬質被覆層の平均層厚を０．８〜
１５μｍとしたのは、その層厚が０．８μｍでは所望の
すぐれた耐摩耗性を長期に亘って確保することができ
ず、一方その層厚が１５μｍを越えると、切刃部にチッ
ピングが発生し易くなるという理由によるものである。 【００１０】 【発明の実施の形態】つぎに、この発明の被覆超硬工具
を実施例により具体的に説明する。 （実施例１）原料粉末として、いずれも１〜３μｍの平
均粒径を有するＷＣ粉末、ＴｉＣ粉末、ＺｒＣ粉末、Ｖ
Ｃ粉末、ＴａＣ粉末、ＮｂＣ粉末、Ｃｒ₃ Ｃ₂ 粉末、Ｔ
ｉＮ粉末、ＴａＮ粉末、およびＣｏ粉末を用意し、これ
ら原料粉末を、表１に示される配合組成に配合し、ボー
ルミルで７２時間湿式混合し、乾燥した後、１００ＭＰ
ａ の圧力で圧粉体にプレス成形し、この圧粉体を６Ｐ
ａの真空中、温度：１４００℃に１時間保持の条件で焼
結し、焼結後、切刃部分にＲ：０．０５のホーニング加
工を施してＩＳＯ規格・ＣＮＭＧ１２０４０８の形状を
もったＷＣ基超硬合金製のチップ超硬基体Ａ１〜Ａ１０
を形成した。 【００１１】また、原料粉末として、いずれも０．５〜
２μｍの平均粒径を有するＴｉＣＮ（重量比でＴｉＣ／
ＴｉＮ＝５０／５０）粉末、Ｍｏ₂ Ｃ粉末、ＺｒＣ粉
末、ＮｂＣ粉末、ＴａＣ粉末、ＷＣ粉末、Ｃｏ粉末、お
よびＮｉ粉末を用意し、これら原料粉末を、表２に示さ
れる配合組成に配合し、ボールミルで２４時間湿式混合
し、乾燥した後、１００ＭＰａの圧力で圧粉体にプレス
成形し、この圧粉体を２ｋＰａの窒素雰囲気中、温度：
１５００℃に１時間保持の条件で焼結し、焼結後、切刃
部分にＲ：０．０３のホーニング加工を施してＩＳＯ規
格・ＣＮＭＧ１２０４０８の形状をもったＴｉＣＮ系サ
ーメット製のチップ超硬基体Ｂ１〜Ｂ６を形成した。 【００１２】さらに、原料粉末として、Ｔｉ粉末および
Ａｌ粉末、さらにＡｌＮ粉末を用い、これら原料粉末を
所定の配合組成に配合し、ボールミルで７２時間湿式混
合し、乾燥した後、１００ＭＰａ の圧力で圧粉体にプ
レス成形し、この圧粉体を６Ｐａの真空中、５００〜６
００℃の範囲内の所定の温度に１時間保持の条件で焼結
して、Ｔｉ、Ａｌ、およびＡｌＮの含有割合を所定の含
有割合とした種々のカソード電極用焼結体（本発明硬質
被覆層形成用）を製造した。また、別途従来硬質被覆層
形成用カソード電極として、ＴｉとＡｌの含有割合が異
なる各種のＴｉ−Ａｌ合金も用意した。 【００１３】ついで、これらチップ超硬基体Ａ１〜Ａ１
０およびＢ１〜Ｂ６を、アセトン中で超音波洗浄し、乾
燥した状態で、それぞれ図１に例示される通常のアーク
イオンプレーティング装置に装入し、一方カソード電極
（蒸発源）用の焼結体またはＴｉ−Ａｌ合金を装着し、
装置内を排気して１．３×１０^-3Ｐａの真空に保持しな
がら、ヒーターで装置内を５００℃に加熱した後、Ａｒ
ガスを装置内に導入して２．５ＰａのＡｒ雰囲気とし、
この状態で超硬基体に−８００Ｖのバイアス電圧を印加
して超硬基体表面をＡｒガスボンバート洗浄し、ついで
装置内を２．５Ｐａの窒素ガス（反応ガス）の雰囲気と
すると共に、前記超硬基体に印加するバイアス電圧を−
１００Ｖに下げて、前記カソード電極とアノード電極と
の間にアーク放電を発生させ、もって前記超硬基体Ａ１
〜Ａ１０およびＢ１〜Ｂ６のそれぞれの表面に、表３、
４に示される目標組成および目標層厚の硬質被覆層を蒸
着することにより、本発明被覆超硬工具としての本発明
表面被覆超硬合金製スローアウエイチップ（以下、本発
明被覆超硬チップと云う）１〜２０、および従来被覆超
硬工具としての従来表面被覆超硬合金製スローアウエイ
チップ（以下、従来被覆超硬チップと云う）１〜１９を
それぞれ製造した。 【００１４】なお、この結果得られた本発明被覆超硬チ
ップ１〜２０および従来被覆超硬チップ１〜１９の硬質
被覆層について、その厚さ断面中央部をオージェ分光分
析装置を用いて、素地のＸ値およびＡｌＮ相の分布割合
を測定したところ、それぞれ表３、４に示される素地の
目標Ｘ値およびＡｌＮ相の目標割合と実質的に同じ値を
示し、また、その厚さを、走査型電子顕微鏡を用いて断
面測定したところ、いずれも同じく表３、４に示される
目標層厚と実質的に同じ平均値（５点測定の平均値）を
示した。 【００１５】つぎに、上記本発明被覆超硬チップ１〜２
０および従来被覆超硬チップ１〜１９について、これを
工具鋼製バイトの先端部に固定治具にてネジ止めした状
態で、本発明被覆超硬チップ１〜１２および従来被覆超
硬チップ１〜１２ついては、 被削材：ＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の丸棒、 切削速度：２００ｍ／ｍｉｎ．、 切り込み：４ｍｍ、 送り：０．３５ｍｍ／ｒｅｖ．、 切削時間：１０分、 の条件での合金鋼の乾式高速高切込み連続旋削加工試
験、 被削材：ＪＩＳ・ＳＵＳ３０４の長さ方向等間隔４本縦
溝入り丸棒、 切削速度：１８０ｍ／ｍｉｎ．、 切り込み：１．５ｍｍ、 送り：０．３６ｍｍ／ｒｅｖ．、 切削時間：３分、 の条件でのステンレス鋼の乾式高速高送り断続旋削加工
試験を行い、また本発明被覆超硬チップ１３〜２０およ
び従来被覆超硬チップ１３〜１９ついては、 被削材：ＪＩＳ・Ｓ４５Ｃの丸棒、 切削速度：２１０ｍ／ｍｉｎ．、 切り込み：２．０ｍｍ、 送り：０．６ｍｍ／ｒｅｖ．、 切削時間：１０分、 の条件での炭素鋼の乾式高速高送り連続旋削加工試験、 被削材：ＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の長さ方向等間隔４本縦
溝入り丸棒、 切削速度：２００ｍ／ｍｉｎ．、 切り込み：２．５ｍｍ、 送り：０．２ｍｍ／ｒｅｖ．、 切削時間：３分、 の条件での合金鋼の乾式高速高切込み断続旋削加工試験
を行い、いずれの旋削加工試験でも切刃部の逃げ面摩耗
幅を測定した。この測定結果を表３、４に示した。 【００１６】 【表１】 【００１７】 【表２】 【００１８】 【表３】【００１９】 【表４】【００２０】（実施例２）原料粉末として、平均粒径：
５．５μｍを有する中粗粒ＷＣ粉末、同０．８μｍの微
粒ＷＣ粉末、同１．３μｍのＴａＣ粉末、同１．２μｍ
のＮｂＣ粉末、同１．２μｍのＺｒＣ粉末、同２．３μ
ｍのＣｒ₃Ｃ₂粉末、同１．５μｍのＶＣ粉末、同１．０
μｍの（Ｔｉ，Ｗ）Ｃ粉末、および同１．８μｍのＣｏ
粉末を用意し、これら原料粉末をそれぞれ表５に示され
る配合組成に配合し、さらにワックスを加えてアセトン
中で２４時間ボールミル混合し、減圧乾燥した後、１０
０ＭＰａの圧力で所定形状の各種の圧粉体にプレス成形
し、これらの圧粉体を、６Ｐａの真空雰囲気中、７℃／
分の昇温速度で１３７０〜１４７０℃の範囲内の所定の
温度に昇温し、この温度に１時間保持後、炉冷の条件で
焼結して、直径が８ｍｍ、１３ｍｍ、および２６ｍｍの
３種の超硬基体形成用丸棒焼結体を形成し、この３種の
丸棒焼結体から、研削加工にて、表５に示される組み合
わせで、切刃部の直径×長さが、それぞれ６ｍｍ×１３
ｍｍ、１０ｍｍ×２２ｍｍ、および２０ｍｍ×４５ｍｍ
の寸法をもった６枚刃スクエア形状のエンドミル超硬基
体ａ〜ｈをそれぞれ製造した。 【００２１】ついで、これらのエンドミル超硬基体ａ〜
ｈのそれぞれを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥した
状態で、同じく図１に例示される通常のアークイオンプ
レーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条件
で、表６、７に示される目標組成および目標層厚をもっ
た硬質被覆層を蒸着することにより、本発明被覆超硬工
具としての本発明表面被覆超硬合金製エンドミル（以
下、本発明被覆超硬エンドミルと云う）１〜１６および
従来被覆超硬工具としての従来表面被覆超硬合金製エン
ドミル（以下、従来被覆超硬エンドミルと云う）１〜８
をそれぞれ製造した。 【００２２】また、この結果得られた本発明被覆超硬エ
ンドミル１〜１６および従来被覆超硬エンドミル１〜８
の硬質被覆層について、その厚さ断面中央部をオージェ
分光分析装置を用いて、素地のＸ値およびＡｌＮ相の分
布割合を測定したところ、それぞれ表６、７に示される
素地の目標Ｘ値およびＡｌＮ相の目標割合と実質的に同
じ値を示し、また、その厚さを、走査型電子顕微鏡を用
いて断面測定したところ、いずれも同じく表６、７に示
される目標層厚と実質的に同じ平均値（５点測定の平均
値）を示した。 【００２３】つぎに、上記本発明被覆超硬エンドミル１
〜１６および従来被覆超硬エンドミル１〜８のうち、本
発明被覆超硬エンドミル１〜６および従来被覆超硬エン
ドミル１〜３ついては、 被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５
０ｍｍのＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の板材、 切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ．、 半径方向切込み：０．３ｍｍ、 軸方向切込み：９ｍｍ、 テーブル送り：８ｍ／分、 形態：乾式（エアーブロー）、 の条件での合金鋼の高速高送り側面切削加工試験、本発
明被覆超硬エンドミル７〜１２および従来被覆超硬エン
ドミル４〜６については、 被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５
０ｍｍのＪＩＳ・ＳＫＤ６１（ＨＲＣ５２）の板材、 切削速度：３００ｍ／ｍｉｎ．、 半径方向切込み：０．６ｍｍ、 軸方向切込み：１５ｍｍ、 テーブル送り：６ｍ／分、 形態：乾式（エアーブロー）、 の条件での焼入れ鋼の高速高切込み側面切削加工試験、
本発明被覆超硬エンドミル１３〜１６、および従来被覆
超硬エンドミル７〜８については、 被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：５
０ｍｍのＪＩＳ・ＳＫＤ１１（ＨＲＣ６０）の板材、 切削速度：３０ｍ／ｍｉｎ．、 軸方向切込み：１．２ｍｍ×１０回での溝加工、 テーブル送り：０．０７０ｍ／分、 形態：乾式（エアーブロー）、 の条件での焼入れ鋼の高速高切込み溝切削加工試験、を
それぞれ行い、いずれの切削加工試験でも外周刃の逃げ
面摩耗幅が使用寿命の目安とされる０．１ｍｍに至るま
での切削長を測定した。この測定結果を表６、７にそれ
ぞれ示した。 【００２４】 【表５】 【００２５】 【表６】【００２６】 【表７】 【００２７】（実施例３）上記の実施例２で製造した直
径が８ｍｍ（超硬基体ａ〜ｃ形成用）、１３ｍｍ（超硬
基体ｄ〜ｆ形成用）、および２６ｍｍ（超硬基体ｇ、ｈ
形成用）の３種の丸棒焼結体を用い、この３種の丸棒焼
結体から、研削加工にて、溝形成部の直径×長さがそれ
ぞれ４ｍｍ×１３ｍｍ（超硬基体ａ’〜ｃ’）、８ｍｍ
×２２ｍｍ（超硬基体ｄ’〜ｆ’）、および１６ｍｍ×
４５ｍｍ（超硬基体ｇ’、ｈ’）の寸法をもったドリル
超硬基体ａ’〜ｈ’をそれぞれ製造した。 【００２８】ついで、これらのドリル超硬基体ａ’〜
ｈ’のそれぞれを、アセトン中で超音波洗浄し、乾燥し
た状態で、同じく図１に例示される通常のアークイオン
プレーティング装置に装入し、上記実施例１と同一の条
件で、表８、９に示される目標組成および目標層厚をも
った硬質被覆層を蒸着することにより、本発明被覆超硬
工具としての本発明表面被覆超硬合金製ドリル（以下、
本発明被覆超硬ドリルと云う）１〜１６、および従来被
覆超硬工具としての従来表面被覆超硬合金製ドリル（以
下、従来被覆超硬ドリルと云う）１〜８をそれぞれ製造
した。 【００２９】さらに、この結果得られた本発明被覆超硬
ドリル１〜１６および従来被覆超硬ドリル１〜８の硬質
被覆層についても、その厚さ断面中央部をオージェ分光
分析装置を用いて、素地のＸ値およびＡｌＮ相の分布割
合を測定したところ、それぞれ表８、９に示される素地
の目標Ｘ値およびＡｌＮ相の目標割合と実質的に同じ値
を示し、また、その厚さを、走査型電子顕微鏡を用いて
断面測定したところ、いずれも同じく表８、９に示され
る目標割合および目標層厚と実質的に同じ平均値（５点
測定の平均値）を示した。 【００３０】つぎに、上記本発明被覆超硬ドリル１〜１
６および従来被覆超硬ドリル１〜８のうち、本発明被覆
超硬ドリル１〜６および従来被覆超硬ドリル１〜３につ
いては、 被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０厚さ：８ｍｍの
ＪＩＳ・Ｓ５５Ｃの板材、 切削速度：２００ｍ／ｍｉｎ．、 送り：０．１６ｍｍ／ｒｅｖ、 の条件での炭素鋼の湿式高速高送り穴あけ切削加工試験
（水溶性切削油使用）、本発明被覆超硬ドリル７〜１２
よび従来被覆超硬ドリル４〜６については、 被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：１
６ｍｍのＪＩＳ・ＳＣＭ４４０の板材、 切削速度：１５０ｍ／ｍｉｎ．、 送り：０．２０ｍｍ／ｒｅｖ、 の条件での合金鋼の湿式高速高送り穴あけ切削加工試験
（水溶性切削油使用）、本発明被覆超硬ドリル１３〜１
６および従来被覆超硬ドリル７、８については、 被削材：平面寸法：１００ｍｍ×２５０ｍｍ、厚さ：３
２ｍｍのＪＩＳ・ＳＳ４００の板材、 切削速度：１５０ｍ／ｍｉｎ．、 送り：０．３０ｍｍ／ｒｅｖ、 の条件での構造用鋼の湿式高速高送り穴あけ切削加工試
験（水溶性切削油使用）、をそれぞれ行い、いずれの湿
式高速高送り穴あけ切削加工試験でも先端切刃面の逃げ
面摩耗幅が０．３ｍｍに至るまでの穴あけ加工数を測定
した。この測定結果を表８、９にそれぞれ示した。 【００３１】 【表８】 【００３２】 【表９】【００３３】 【発明の効果】表３〜９に示される結果から、（Ｔｉ，
Ａｌ）Ｎの素地にＡｌＮ相が分散分布した組織を有する
硬質被覆層を形成してなる本発明被覆超硬工具は、いず
れも鋼の切削加工を高い発熱を伴う高速重切削条件で行
っても、切刃部にチッピングの発生なく、すぐれた耐摩
耗性を示すのに対して、硬質被覆層が（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ
だけで構成された従来被覆超硬工具においては、高速重
切削加工では切刃部にチッピングの発生は避けられず、
この結果比較的短時間で使用寿命に至ることが明らかで
ある。上述のように、この発明の被覆超硬工具は、各種
の鋼や鋳鉄などの通常の条件での切削加工は勿論のこ
と、特に高送りや高切込みなどの重切削条件で、かつ高
速で切削加工を行なってもすぐれた切削性能を長期に亘
って発揮するものであるから、切削加工装置の高性能
化、並びに切削加工の省力化および省エネ化、さらに低
コスト化に十分満足に対応できるものである。

【図面の簡単な説明】 【図１】アークイオンプレーティング装置の概略説明図
である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田中 裕介 兵庫県明石市魚住町金ヶ崎西大池179番 地１ エムエムシーコベルコツ−ル株式 会社内 (56)参考文献 特開 平９−170067（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−194159（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−295204（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B23B 27/14 B23B 51/00 B23C 5/16 C23C 14/06

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 炭化タングステン基超硬合金基体または
   炭窒化チタン系サーメット基体の表面に、組成式：（Ｔ
   ｉ_1-XＡｌ_X）Ｎ（ただし、原子比で、Ｘは０．４５〜
   ０．７５を示す）を有するＴｉとＡｌの複合窒化物から
   なる素地に、窒化アルミニウム相が、オージェ分光分析
   装置による面分析で５〜４０面積％の割合で分散分布し
   た組織を有する硬質被覆層を０．８〜１５μｍの平均層
   厚で物理蒸着してなる高速重切削加工ですぐれた耐チッ
   ピング性を発揮する表面被覆超硬合金製切削工具。