JP2002254193A - 充填ペースト、充填ペーストの充填方法および充填装置 - Google Patents
充填ペースト、充填ペーストの充填方法および充填装置Info
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Abstract
基板上にスクリーン印刷され得る充填ペーストであっ
て、電子部品の接合強度の低下を招くことなく良好な版
離れが得られる充填ペーストを提供する。 【解決手段】 充填ペーストに含まれる導電性粒状材料
として、複数のピークを有する粒径分布を示すものを用
いる。例えば、第1のピークと、第1のピークの粒径の
1/3〜1/2である第2のピークとを有する粒径分布
を示す粒状材料が挙げられる。充填ペーストは充填後に
このような粒径分布で粒状材料を含んでいればよいた
め、粒径分布が複数のピークを有するように充填前に予
め調製された充填ペーストを開口部に充填してもよく、
あるいは平均粒径の異なる粒状材料を、少なくとも一方
は充填ペーストの形態で別々に開口部に充填してもよ
い。
Description
パターンで設けられた開口部に充填される充填ペース
ト、充填ペーストの充填方法および充填装置に関する。
より詳細には、本発明は、スクリーン版に所定のパター
ンで設けられた開口部に充填され、スクリーン版の下に
配置された基板上に印刷される充填ペースト、充填ペー
ストの印刷方法および印刷装置に関する。
子部品実装プロセスにおいて、基板上に形成された配線
パターンの所定の箇所(例えばランド)に電子部品を接
合する方法の1つに、予め配線パターンが形成された基
板上にクリームはんだを供給し、その後、電子部品を基
板上に配置してリフローすることにより、クリームはん
だの形態で供給されたはんだ材料を介して電子部品を基
板上の配線パターンにはんだ付けする方法がある。この
方法におけるクリームはんだの供給は、スクリーン印刷
法により、以下のようにして実施される。
す。この装置においては、基板61をその上に配置し、
基板61を固定するための固定ブロック62と、固定ブ
ロック62の上方に位置し、開口部(図示せず)が所定
のパターンに従って設けられたスクリーン版63と、基
板61が配置される固定ブロック62を上下に移動させ
る昇降ステージ64と、スクリーン版63の上に供給さ
れるクリームはんだ65をスクリーン版63の開口部に
充填するための、モーター(図示せず)などにより駆動
されてスクリーン版63の上方で左右に往復運動可能な
1対のスキージ66aおよび66bとを備える。図6
は、昇降ステージ64により上下に移動される固定ブロ
ック62が上側位置にあるときを示し、この位置では、
固定ブロック62の上にある基板61が、スクリーン版
63の下面と接触するように配置される。
置にある固定ブロック62の上に、配線パターンが形成
された基板61を配置して固定し、基板61が、その上
方に位置するスクリーン版63に接触するように、基板
61および固定ブロック62が取り付けられた昇降ステ
ージ64を上側位置へと移動させる(図6)。このスク
リーン版63には、所定の印刷パターンに従って所定の
形状の開口部(または貫通穴、図示せず)が所定の箇所
に設けられており、スクリーン版63に設けられた開口
部が基板61上の所定の箇所と一致するように、スクリ
ーン版63および基板61が位置合わせされている。こ
のスクリーン版63は、例えば0.12mmの厚さを有
し得る。
ジ66aおよび66bがスクリーン版63の左側端部上
に位置し、右方向70(左側端部から右側端部に向かう
方向)に移動するように準備されており、また、スキー
ジ66aおよび66bの間に位置するスクリーン版63
の上には、クリームはんだ65が供給されている。そし
て、上記のように基板61がスクリーン版63の直ぐ下
に接触して配置された後、右方向70の移動方向におい
て後方側に位置するスキージ66aをスクリーン版63
に圧接させ、前方側に位置するスキージ66bをスクリ
ーン版63から離した状態で、スクリーン版63の左側
端部からスクリーン版63の右側端部まで、右方向70
に平行移動させる。その結果、移動方向においてスキー
ジ66aの前方にあるクリームはんだ65がローリング
しながら移動し、スクリーン版63に設けられた開口部
に充填される。
かして基板61をスクリーン版63から離して元の下側
位置へ移動させると、開口部に充填されたクリームはん
だはスクリーン版63を通り抜けて、即ち「版抜け」し
て、基板61上の配線パターンの所定の箇所上に付着し
た状態で残る。これにより、クリームはんだが基板上の
所定の箇所にのみ付着し、所望のパターンで基板上に印
刷される。得られた基板61は、その後固定ブロック6
2から取り外され、新たな基板61が固定ブロック62
上に配置される。また、新たな基板61が上側位置へ移
動されてスクリーン版63に接触して配置されると、1
対のスキージ66aおよび66bの移動方向が反転し、
今度は左方向71の移動方向において後方側に位置する
スキージ66bをスクリーン版63に圧接させ、前方側
に位置するスキージ66aをスクリーン版63から離し
た状態で、1対のスキージ66aおよび66bが左方向
71に移動して、上記と同様にクリームはんだ65が印
刷される。
には、スズおよび鉛を主成分とする粒径20〜40μm
のはんだ粒子81で構成される粒状材料と、ロジン、活
性剤および溶剤などから成る液体のフラックス82とを
混合したものが用いられている(図7(a)を参照のこ
と)。
化および高機能化の要求に従って、電子回路基板の更な
る高集積化を図るべく、電子部品の高密度実装化がます
ます進行する方向にあり、より微細な回路実装技術の開
発が求められている。これに伴って、基板に実装される
電子部品の小型化が進む一方で、従来の大型の電子部品
も依然として使用されているため、これら大型部品と小
型部品とを同一基板上に混載した電子回路基板が作製さ
れているという現状がある。
は、大型部品を接合するための開口部および小型部品を
接合するための開口部(以下、それぞれ大型部品用開口
部および小型部品用開口部とも言う)が混在したスクリ
ーン版を用いて、クリームはんだを基板上に印刷してい
る。しかし、スクリーン版の厚さを従来と同程度に維持
したままで、単に大型部品用開口部と、大型部品用開口
部よりも開口面積の小さい小型部品用開口部とをこれに
混在させて用いて、クリームはんだを基板に印刷する
と、小型部品用開口部に充填されたクリームはんだが版
抜けせずに開口部に残留し、基板上に印刷されないもの
があると言う問題がある。
にクリームはんだの充填工程およびいわゆる「版抜け」
工程を経てクリームはんだが供給され、スクリーン版の
1つの開口部を通って基板上に付着・供給されるクリー
ムはんだは、該開口部とほぼ同じ平面サイズを有し、ス
クリーン版63とほぼ同じ厚さ(即ち、開口部とほぼ同
じ高さ)を有する。版抜け工程では、スクリーン版の開
口部に充填されたクリームはんだと基板との密着力と、
該クリームはんだとスクリーン版の開口部壁面との摩擦
力(または付着力)とのバランス(または相対関係)が
重要となり、充填されたクリームはんだがスクリーン版
から良好に離れ得るためには(即ち、良好な「版離れ」
を得るためには)、該密着力のほうが該摩擦力よりも大
きいことが必要である。
ンスは、通常、開口部に充填されたクリームはんだが接
触している基板の面積(即ち、開口面積)ならびに開口
部壁面の面積の大きさのバランスに依存する。よって、
開口部高さ(即ち、スクリーン版厚さ)一定の下で開口
面積を小さくすると、開口面積の減少割合より小さい割
合で開口部壁面の面積が減少するため、密着力と摩擦力
の大きさのバランスが崩れて、やがては摩擦力よりも密
着力のほうが小さくなり、開口部に充填されたクリーム
はんだが版抜けせずに開口部に残留し易くなる。このた
め、大型部品用開口部よりも開口部面積が小さい小型部
品用開口部で、クリームはんだが版抜けせずに開口部に
残留し得ることとなる。
の基板との密着力が開口部壁面との摩擦力に打ち勝ち得
るのに十分な程度に摩擦力を低下させるように、スクリ
ーン版の厚みをより薄くすることも考えられるが、これ
は、以下に詳述するような理由により、大型部品を基板
に十分な強度で接合することができないという新たな問
題を生じ得る。
ち、これに含まれるはんだ粒子のはんだ材料が基板と電
子部品とを接合する役割を果たし、接合部分において十
分な接合強度を得るためにはある程度の量のはんだ材料
を必要とする。所定の組成を有するクリームはんだにお
いて、1つの開口部に充填されるクリームはんだ中のは
んだ材料の量は、開口部の開口面積および高さによって
規定される充填容積に依存する。ここで、開口部の面積
は、電子部品の規格によってある程度決まっているた
め、これを設計変更することは既存設備維持等の観点か
ら好ましくない。よって、開口部面積を変更することな
く、上記のようにスクリーン版の厚みを薄くすれば、開
口部に充填されるクリームはんだの量、ひいてはこれに
含まれるはんだ材料の量が減少して、大型部品と基板と
の間の接合強度の低下を招くことになる。従って、基板
に大型部品を十分な強度で接合するのに必要な量のはん
だ材料を開口部に充填するためには、スクリーン版の厚
さをある程度厚く保つ必要があり、単にスクリーン版の
厚みを薄くすることは十分な解決策ではない。
なされたものであり、本発明の目的は、電子部品を基板
に接合するために利用され、基板上にスクリーン印刷さ
れ得る充填ペーストであって、電子部品の接合強度の低
下を招くことなく良好な版離れが得られる充填ペースト
ならびに充填ペーストの充填方法および充填装置を提供
することにある。
充填されるクリームはんだのうち、これに含まれるはん
だ粒子が開口部を占める割合を増加させ、はんだ粒子以
外の成分が開口部を占める割合(空隙率)を減少させる
ことによって、上述の課題を解決できることを見出し
た。従来のクリームはんだのうち、はんだ粒子81は、
図7(b)に示すように、1つのピークを有する(即ち
「単峰性」の)粒径分布を示し、概略的には正規分布に
近い分布をしていると考えられる。このようなはんだ粒
子81とフラックス82とから成るクリームはんだをス
クリーン版の開口部に充填すると、1つの理想的な態様
においては図7(a)に示すような状態で、はんだ粒子
81とフラックス82とがおよそ1:1の体積比で存在
する。よって、はんだ粒子81によって占められない開
口部の空間の割合(換言すれば、フラックス82が開口
部を占める割合)を空隙率とすれば、約0.5となる。
本発明者らは、空隙率を減少させるためにはんだ粒子の
粒径分布に着目し、本発明を完成させるに至った。
に所定のパターンで設けられた開口部に充填される充填
ペーストであって、複数のピークを有する粒径分布を示
す導電性の粒状材料を含む充填ペーストが提供される。
は、複数のピークを有する(即ち「多峰性」の)粒径分
布を示すので、このような充填ペーストを開口部に充填
すると、1つのピークを有する粒径分布を示す粒子材料
を含む充填ペーストを充填する場合よりも低い空隙率を
得ることが可能となる。尚、本明細書において、用語
「空隙率」とは、充填ペーストが充填される開口部の空
間に対する、粒状材料によって占められない部分の割合
を言うものとし、「充填率」とは、充填ペーストが充填
される開口部の空間に対する、粒状材料によって占めら
れる部分の割合を言うものとする。
粒径分布は第1のピークおよび第2のピークを有し、第
2のピークの粒径を第1のピークの粒径の1/3〜1/
2とすることができる。このような粒径分布を有する充
填ペーストを開口部に充填すると、第1のピークまたは
その近傍の粒径を有する粒子間の隙間に、第2のピーク
またはその近傍の粒径を有する粒子が嵌まり込むため、
より低い空隙率を得ることができる。このとき、第1の
ピークまたはその近傍の粒径を有する粒子と、第2のピ
ークまたはその近傍の粒径を有する粒子との数の比は約
1:1であることが好ましく、この場合には約0.3〜
0.4の空隙率を得ることができ、1つの開口部につ
き、従来よりも約1.2〜1.4倍の量の粒状材料を供
給することができる。
32μmの範囲にあり、第2のピークの粒径が10〜1
6μmの範囲にある粒状材料を含む充填ペーストが挙げ
られる。このような粒状材料は、粒状材料を基準とし
て、例えば、20〜40μmの範囲(20μm以上、4
0μm以下の範囲)にある粒子を83〜95重量%で、
5〜20μmの範囲(5μm以上、20μm未満の範
囲)にある粒子を5〜17重量%で含む。
料の粒径分布は第1のピーク、第2のピークおよび第3
のピークを有し、第2のピークの粒径を第1のピークの
粒径の1/3〜1/2とし、第3のピークの粒径を第1
のピークの粒径の1/5〜1/4とすることができる。
このような粒径分布を有する充填ペーストを開口部に充
填すると、第1のピークまたはその近傍の粒径を有する
粒子間の隙間に、第2のピークまたはその近傍の粒径を
有する粒子が嵌まり込み、更に、第1のピークまたはそ
の近傍の粒径を有する粒子と第2のピークまたはその近
傍の粒径を有する粒子との隙間に、第3のピークまたは
その近傍の粒径を有する粒子が嵌まり込むため、より一
層低い空隙率を得ることができる。このとき、第1のピ
ークまたはその近傍の粒径を有する粒子と、第2のピー
クまたはその近傍の粒径を有する粒子と、第3のピーク
またはその近傍の粒径を有する粒子との数の比は約1:
1:2であることが好ましく、この場合には約0.2〜
0.3の空隙率を得ることができ、1つの開口部につ
き、従来よりも約1.4〜1.6倍の量の粒状材料を供
給することができる。
32μmの範囲にあり、第2のピークの粒径は10〜1
6μmの範囲にあり、第3のピークの粒径は6〜8μm
の範囲にある粒状材料を含む充填ペーストが挙げられ
る。このような粒状材料は、粒状材料を基準として、例
えば、20〜40μmの範囲(20μm以上、40μm
以下の範囲)にある粒子を94〜70重量%で、10〜
20μmの範囲(10μm以上、20μm未満の範囲)
にある粒子を2〜13重量%で、5〜10μmの範囲
(5μm以上、10μm未満の範囲)にある粒子を4〜
17重量%で含む。
体に所定のパターンで設けられた開口部に充填ペースト
を充填する方法であって、上記のように粒径分布が複数
のピークを有するように充填前に予め調製された本発明
の充填ペーストを用いる方法が提供される。ここで、充
填ペーストは常套の方法、例えばスキージまたは密閉式
ヘッドを用いる方法によって被充填体の開口部に充填さ
れ得る。
うな粒径分布で粒状材料を含んでいればよいので、本発
明の上記方法のように、充填前に予め調製された充填ペ
ーストを用いてもよいが、ピーク粒径(即ち粒径分布に
存在するピークの粒径)の異なる粒状材料を、少なくと
も一方は該粒状材料を含む充填ペーストの形態で開口部
に別々に充填しても同様の効果を得ることができる。例
えば、ピーク粒径が大きいほうの第1の導電性粒状材料
をそのままの形態(即ち粉末の形態)とし、ピーク粒径
が小さいほうの導電性粒状材料(第2の導電性粒状材
料、ならびに場合によっては第3の導電性粒状材料)を
充填ペーストの形態で、開口部に別々に充填してよい。
峰性の粒径分布を示すように意図的に調製したものを除
いて、粒状材料の粒径は、一般的には単峰性の正規分布
に近い分布をしていると考えられるので、調製に用いる
第1および第2の導電性粒状材料のピーク粒径、ならび
に場合によっては第3の導電性粒状材料のピーク粒径
は、平均粒径と実質的に同じであると見なすことができ
る。
填体に所定のパターンで設けられた開口部に充填ペース
トを充填する方法であって:(a)第1の導電性粒状材
料または該第1の導電性粒状材料を含む充填ペーストを
開口部に充填する工程と;(b)第1の導電性粒状材料
の粒径分布とピークが異なる粒径分布を有する(また
は、第1の導電性材料と平均粒径が異なる)第2の導電
性粒状材料を含む充填ペーストを該開口部に充填する工
程とを含む方法が提供される。
いずれを先に実施してもよい。また、導電性粒状材料
は、その粒径分布の粒径の上限値(最大値)が開口部の
高さよりも小さければよい。また、第2の導電性粒状材
料のピーク粒径(または平均粒径)は、第1の導電性粒
状材料のピーク粒径(または平均粒径)の1/3〜1/
2であることが好ましく、具体的には、第1の導電性粒
状材料のピーク粒径(または平均粒径)は28〜32μ
mの範囲にあり、第2の導電性粒状材料のピーク粒径
(または平均粒径)は10〜16μmの範囲にあり得
る。
法は、(c)第1の導電性粒状材料および第2の導電性
粒状材料の粒径分布とピークが異なる粒径分布を有する
(または、第1の導電性材料と平均粒径が異なる)第3
の導電性粒状材料を含む充填ペーストを前記開口部に充
填する工程を更に含む。
を実施する順序は特に限定されず、任意の順に実施して
よい。また、第2の導電性粒状材料のピーク粒径(また
は平均粒径)は、第1の導電性粒状材料のピーク粒径
(または平均粒径)の1/3〜1/2であり、第3の導
電性粒状材料のピーク粒径(または平均粒径)は、第1
の導電性材料のピーク粒径(または平均粒径)の1/5
〜1/4であることが好ましく、具体的には、第1の導
電性粒状材料のピーク粒径(または平均粒径)は28〜
32μmの範囲にあり、第2の導電性粒状材料のピーク
粒径(または平均粒径)は10〜16μmの範囲にあ
り、第3の導電性粒状材料のピーク粒径(または平均粒
径)は6〜8μmの範囲にあり得る。
体に所定のパターンで設けられた開口部に充填ペースト
を充填する装置であって、第1の導電性粒状材料または
該第1の導電性粒状材料を含む充填ペーストを開口部に
充填するための1対の第1のスキージと、第1の導電性
粒状材料の粒径分布とピークが異なる粒径分布を有する
第2の導電性粒状材料を含む充填ペーストを該開口部に
充填するための1対の第2のスキージとを備える装置が
提供される。これら第1のスキージおよび第2のスキー
ジのいずれか一方が、他方の1対のスキージの内側に挟
まれて配置されていても、あるいは、他方の1対のスキ
ージの外側に並んで配置されていてもよい。
に所定のパターンで設けられた開口部に充填ペーストを
充填する装置であって、第1の導電性粒状材料または該
第1の導電性粒状材料を含む充填ペーストを収容し、第
1のセルの吐出口から吐出して開口部に充填するための
第1のセルと、第1の導電性粒状材料の粒径分布とピー
クが異なる粒径分布を有する第2の導電性粒状材料を含
む充填ペーストを収容し、第2のセルの吐出口から吐出
して該開口部に充填するための第2のセルとを有するヘ
ッドを備える装置が提供される。これら第1のセルおよ
び第2のセルのいずれか一方が、1対のセルの形態で構
成され、該1対のセルの吐出口の間に、他方のセルの吐
出口が位置するように配置され得る。
な、ピーク粒径(または平均粒径)の異なる粒状材料
を、少なくとも一方は該粒状材料を含む充填ペーストの
形態で別々に開口部に充填するタイプの本発明の方法を
実施するのに好適に利用され得る。尚、本発明の上記充
填装置は、ピーク粒径の異なる2種の粒状材料を充填す
るための装置に関するが、スキージの数またはセルの数
を変更して、3種またはそれ以上のピーク粒径の異なる
粒状材料を開口部に充填するように改変することは、当
業者には容易に想到され得るであろう。
方法および充填装置によれば、いずれも従来より低い空
隙率を得ることができ、1つの開口部につきより多くの
量の粒状材料を充填することが可能となる。
填方法および/または充填装置は、スクリーン版を用い
て充填ペーストを被印刷体上に印刷する印刷方法および
印刷装置に利用できる。本発明の1つの態様では、「被
充填体」をスクリーン版とし、「導電性の粒状材料」を
はんだ粒子とし、「充填ペースト」をはんだ粒子とフラ
ックスとを含むクリームはんだとし、被印刷体である基
板の上にスクリーン版を配置し、クリームはんだをスク
リーン版の開口部に充填し、その後スクリーン版とその
下に配置された基板とを離すことによって、クリームは
んだを基板上に印刷することができる。この場合、従来
のクリームはんだよりも空隙率が小さい(即ち、はんだ
粒子の充填率が高い)ため、被充填体であるスクリーン
版の厚さを従来より薄くしても、電子部品を十分な強度
で接合し得る量のはんだ材料を1つの開口部に供給する
ことができる。例えば、従来は0.12mm程度であっ
たスクリーン版の厚みを0.08mm程度にまで薄くし
ても、従来と同等の量のはんだ材料を供給することがで
きる。よって、電子部品の接合強度の低下を招くことな
く良好な版離れを得ることが可能となり、上述の課題を
解決することができる。尚、本明細書において、「はん
だ粒子」とははんだ材料からなる個々の粒状物を言うも
のとし、スズおよび鉛を主成分とするはんだ材料から成
るもの、ならびに鉛フリーのはんだ材料から成るものを
含むものとする。
ト」はクリームはんだに限定されず、例えば安定した電
気特性、高い接合強度、接合信頼性などを得るために粒
状材料を高密度で充填することが望まれる充填ペースト
に広く解釈されるべきである。例えば、用語「充填ペー
スト」は、はんだ粒子を粒状材料として含むクリームは
んだのみならず、粒状材料としてカーボン粉末またはグ
ラファイト粉末あるいは銀粉末などを含む導電性ペース
トなどを含み得る。
よび充填装置は、被充填体としてスクリーン版を用いて
充填ペースト(例えばクリームはんだ)を基板上に印刷
する場合に利用され得るが、スクリーン版を用いること
なく、被充填体となる回路基板などの開口部および/ま
たは凹部に充填ペーストを充填する場合にも利用可能で
ある。例えば、基板に形成されたビアホールなどに導電
性ペーストを直接的に充填する場合などにも適用でき
る。この場合、導電性ペースト導電性粒状材料の充填率
を高めることができる。
の材料から成る必要はなく、種類の異なる材料から成る
粒状物を含んでいてもよい。例えば、はんだ材料から成
る粒状物(はんだ粒子)と、はんだ材料よりも高融点の
金属材料から成る粒状物との混合物を粒状材料として用
いることもできる。
施形態における充填ペーストについて図面を参照しなが
ら説明する。図1は、本実施形態の充填ペーストを説明
する模式図であり、図1(a)は充填ペーストの1つの
理想的な概略模式断面図、図1(b)は充填ペーストに
含まれる粒状材料の粒径分布を示す図である。
に示すように、はんだ材料から成るはんだ粒子(後述の
はんだ粒子1および2を含む)と、液体のフラックス5
とで構成されるクリームはんだである。このはんだ粒子
は、図1(b)に示すように、28〜32μmの範囲に
ある第1のピークAと、10〜16μmの範囲にある第
2のピークBとの2つのピークを有する粒径分布を示
す。このとき、第2のピークBの粒径は、第1のピーク
Aの粒径の1/3〜1/2の範囲内となる。図1(a)
においては、第1のピークAまたはその近傍の粒径を有
するはんだ粒子1と、第2のピークBまたはその近傍の
粒径を有するはんだ粒子2とを代表的に示すものとす
る。
ト)は、各々ピークの異なる、単峰性の粒径分布を示す
2種のはんだ原料をフラックスと共に混合することによ
って調製することができる。例えば、粒径分布が20〜
40μmの範囲に亘り、そのピーク粒径(および平均粒
径)が約28〜32μm(ピークA)であるのはんだ原
料Xと、粒径分布が5〜20μmの範囲に亘り、そのピ
ーク粒径(および平均粒径)が約10〜16μm(ピー
クB)であるはんだ原料Yとをフラックスと共に混合す
ることによって、本実施形態のクリームはんだを調製す
ることができる。これらは、例えば、はんだ原料Xおよ
びYの粒子数の比が約1:1となるように100重量部
のはんだ原料Xに対してはんだ原料Yを5〜20重量部
とし、はんだ原料の合計に対するフラックスの体積比を
約0.35〜1倍として混合され得る。このようにして
得られたクリームはんだは、粒状材料を基準として、2
0〜40μmの範囲(20μm以上、40μm以下の範
囲)にあるはんだ粒子を83〜95重量%で、5〜20
μmの範囲(5μm以上、20μm未満の範囲)にある
はんだ粒子を5〜17重量%で含み得る。
(クリームはんだ)は、電子部品を基板に実装するため
の接合材料として利用でき、例えば図6を参照しながら
上述した従来のスクリーン印刷方法および印刷装置によ
り、スクリーン版の開口部に充填して、基板上に印刷す
ることができる。このとき、スクリーン版の開口部の高
さ(即ち、スクリーン版の厚さ)が、粒状材料の粒径分
布の最大値(本実施形態では40μm)よりも大きいス
クリーン版を用いる必要がある。
は図1(a)に示すように、はんだ原料Xに由来する第
1のピークAまたはその近傍の粒径を有する粒子1同士
の隙間に、はんだ原料Yに由来する第2のピークBまた
はその近傍の粒径を有する粒子2が嵌まり込む。本実施
形態の充填ペーストによれば、このようにして、より大
きな粒子径を有する粒子の間により小さな粒子径を有す
る粒子が少なくとも部分的に嵌まり込む。このため、従
来の空隙率(約0.5)よりも低い、例えば約0.3〜
0.4の空隙率を得ることができ、粒状材料であるはん
だ粒子の充填率を高くすることができ、具体的には、1
つの開口部につき、従来よりも約1.2〜1.4倍の量
のはんだ材料を供給することができる。これにより、ス
クリーン版に設けられた1つの開口部に充填されるはん
だ材料の量を維持しつつ、スクリーン版の厚みを従来よ
りも薄くでき、例えば、従来は0.12mm程度であっ
たスクリーン版の厚みを0.08mm程度にまで薄くし
ても、従来と同等の量のはんだ材料を供給することがで
きる。よって、大型部品などでも十分な接合強度で基板
に接合することができる量のはんだ材料を開口部に供給
でき、かつ、小型部品などのための小さな開口部におい
ても充填ペーストの良好な版離れが得られる。従って、
本発明の充填ペーストは、特に大型部品および小型部品
の混載に良好に用いられ得る。
態における充填ペーストについて図面を参照しながら説
明する。図2は、本実施形態の充填ペーストを説明する
模式図である。
に示すように、はんだ材料から成るはんだ粒子(後述の
はんだ粒子1、2および3を含む)と、液体のフラック
ス5とで構成されるクリームはんだである。このはんだ
粒子は、図2(b)に示すように、28〜32μmの範
囲にある第1のピークAと、10〜16μmの範囲にあ
る第2のピークBと、6〜8μmの範囲にある第3のピ
ークCの3つのピークを有する粒径分布を示す。このと
き、第2のピークBの粒径は、第1のピークAの粒径の
1/3〜1/2の範囲内となり、第3のピークCの粒径
は、第1のピークAの粒径の1/5〜1/4の範囲内と
なる。図2(a)においては、第1のピークAまたはそ
の近傍の粒径を有するはんだ粒子1と、第2のピークB
またはその近傍の粒径を有するはんだ粒子2と、第3の
ピークCまたはその近傍の粒径を有するはんだ粒子3と
を代表的に示すものとする。
ト)は、実施形態1と同様に、各々ピークの異なる、単
峰性の粒径分布を示す3種のはんだ原料をフラックスと
共に混合することによって調製することができる。例え
ば、粒径分布が20〜40μmの範囲に亘り、そのピー
ク粒径(および平均粒径)が約28〜32μm(ピーク
A)であるはんだ原料Xと、粒径分布が10〜20μm
の範囲に亘り、そのピーク粒径(および平均粒径)が約
10〜16μm(ピークB)であるはんだ原料Y’と、
粒径分布が5〜10μmの範囲に亘り、そのピーク粒径
(および平均粒径)が約6〜8μm(ピークC)である
はんだ原料Zとをフラックスと共に混合することによっ
て、本実施形態のクリームはんだを調製することができ
る。これらは、例えば、はんだ原料X、Y’およびZの
粒子数の比が約1:1:2となるように100重量部の
はんだ原料Xに対してはんだ原料Y’を3〜15重量部
で、はんだ原料Zを5〜20重量部とし、はんだ原料の
合計に対するフラックスの体積比を約0.25〜1倍と
して混合され得る。このようにして得られたクリームは
んだは、粒状材料を基準として、20〜40μmの範囲
(20μm以上、40μm以下の範囲)にあるはんだ粒
子を94〜70重量%で、10〜20μmの範囲(10
μm以上、20μm未満の範囲)にあるはんだ粒子を2
〜13重量%で、5〜10μmの範囲(5μm以上、1
0μm未満の範囲)にあるはんだ粒子を4〜17重量%
で含み得る。
(クリームはんだ)もまた実施形態1と同様に、電子部
品を基板に実装するための接合材料として利用でき、例
えば図6を参照しながら上述した従来のスクリーン印刷
方法および印刷装置により、スクリーン版の開口部に充
填して、基板上に印刷することができる。
は図2(a)に示すように、はんだ原料Xに由来する第
1のピークAまたはその近傍の粒径を有する粒子1同士
の隙間に、はんだ原料Y’に由来する第2のピークBま
たはその近傍の粒径を有する粒子2が嵌まり込み、更
に、はんだ原料Xに由来する第1のピークAまたはその
近傍の粒径を有する粒子1とはんだ原料Yに由来する第
2のピークBまたはその近傍の粒径を有する粒子2との
隙間に、はんだ原料Zに由来する第3のピークCまたは
その近傍の粒径を有する粒子3が嵌まり込む。本実施形
態の充填ペーストによれば、このようにして、より大き
な粒子径を有する粒子の間により小さな粒子径を有する
粒子が少なくとも部分的に嵌まり込む。このため、実施
形態1の空隙率よりも低い、例えば約0.2〜0.3の
空隙率を得ることができ、粒状材料であるはんだ粒子の
充填率を更に高くすることができ、具体的には、1つの
開口部につき、従来よりも約1.4〜1.6倍の量のは
んだ材料を供給することができる。これにより、スクリ
ーン版に設けられた1つの開口部に充填されるはんだ材
料の量を維持しつつ、スクリーン版の厚みを従来よりも
薄くでき、例えば、従来は0.12mm程度であったス
クリーン版の厚みを0.07mm程度にまで更に薄くし
ても、従来と同等の量のはんだ材料を供給することがで
きる。本実施態様によれば、実施形態1の充填ペースト
よりも高い効果を得ることが可能となる。
おける充填ペーストの充填方法および充填装置として、
充填ペーストの印刷方法および印刷装置について図面を
参照しながら以下に説明する。尚、図6を参照しながら
上述した従来の印刷方法および印刷装置と異なる点を中
心に説明するものとする。
がら上述した従来の印刷装置に、1対のスキージの内側
にて、該1対のスキージにより挟まれて配置された別の
もう1対のスキージを更に備える点で異なる。より詳細
には、本実施形態の印刷装置は、図3に示すように、被
印刷体である基板11を固定する固定ブロック12と、
開口部(図示せず)が所定のパターンに従って設けられ
たスクリーン版13と、固定ブロック12を上下に移動
させる昇降ステージ14と、スクリーン版13の上に供
給される第1のクリームはんだ(充填ペースト)15お
よび第2のクリームはんだ(充填ペースト)17をスク
リーン版13の開口部にそれぞれ充填するための、1対
の第1のスキージ16aおよび16bならびに1対の第
2のスキージ18aおよび18bとを備える。第1のス
キージ16aおよび16bならびに第2のスキージ18
aおよび18bは、モーター(図示せず)などの駆動に
よりスクリーン版3の上方で左右に往復運動可能であ
り、第1のスキージ16aおよび16bが第2のスキー
ジ18aおよび18bの内側にて第2のスキージ18a
および18bに挟まれるように配置される。
いて以下に説明する。本実施形態においては、スクリー
ン版13の厚さは約80〜90μmとし、第1のクリー
ムはんだ15に含まれる第1の導電性粒状材料および第
2のクリームはんだ17に含まれる第2の導電性粒状材
料には、実施形態1の充填ペーストを調製するために例
示したはんだ原料XおよびYをそれぞれ用いるものとす
る。即ち、第1のクリームはんだ15に含まれる第1の
導電性粒状材料(はんだ原料X)は、粒径分布が20〜
40μmの範囲に亘り、そのピーク粒径(および平均粒
径)が約28〜32μmであるはんだ粉末とし、第2の
クリームはんだ17に含まれる第2の導電性粒状材料
(はんだ原料Y)は、粒径分布が5〜20μmの範囲に
亘り、そのピーク粒径(および平均粒径)が約10〜1
6μmであるはんだ粉末とする。第1のクリームはんだ
15および第2のクリームはんだ17には、はんだ粉末
とフラックスを例えば1:1の体積比で各々混合したも
のを用い得る。このとき、第2の導電性粒状材料のピー
クの粒径は、第1の導電性粒状材料のピークの粒径の1
/3〜1/2となる。
を用いてスクリーン版13の下に基板11を接触して配
置する。このとき図3では、スキージ16a、16b、
18aおよび18bがスクリーン版13の左側端部の上
に位置し、左側端部から右側端部に向かう右方向20に
移動するように準備されており、また、第1のクリーム
はんだ15を第1のスキージ16aおよび16bの間に
供給し、第2のクリームはんだ17をクリームはんだ1
7aおよび17bとして第1のスキージ16aと第2の
スキージ18aとの間ならびに第1のスキージ16bと
第2のスキージ18bとの間にそれぞれ供給されてい
る。その後、第1のスキージ16aおよび16bと第2
のスキージ18aおよび18bをスクリーン版13に各
々圧接させた状態で右方向20に移動させる。この結
果、まず、第1のクリームはんだ15がローリングしな
がら移動してスクリーン版13の開口部に充填され、次
いで、第2のクリームはんだ17aが同様にして開口部
に充填される。他方、第2のクリームはんだ17bは、
スキージ16bにより掬い上げられつつスクリーン版1
3の上を移動するので、押圧力を受けず、スクリーン版
13の開口部にほとんど充填されない。
んだ15および17aのはんだ粒子の充填率をできるだ
け高くするように、スキージ16aおよび18aの押圧
力や移動速度などを適宜調節する。具体的には、ピーク
粒径の小さいほうの導電性粒状材料(本実施形態では第
2のクリームはんだ17)を充填するためのスキージ
(本実施形態ではスキージ18)の押圧力(または印
圧)をより高くし、そのスキージ角度をより小さくする
ことが好ましい。これにより、実施形態1の充填ペース
トを従来の方法および装置により充填(または印刷)し
た場合と同程度の高い充填率を得ることができる。
ン版13から基板1を離すと、クリームはんだ15およ
び17が混合された状態で基板11上に印刷される。
ならびに第2のスキージ18aおよび18bが右方向2
0に移動する場合について説明したが、第1のスキージ
16aおよび16bならびに第2のスキージ18aおよ
び18bが左方向21に移動する場合には、まず、クリ
ームはんだ15がスクリーン版13の開口部に充填さ
れ、次いで、クリームはんだ17bが充填されるので、
クリームはんだ15および17の充填順序は、スキージ
16a、16b、18aおよび18bが右方向20およ
び左方向21のいずれに移動するかにかかわらず同じで
ある。
ーストを従来の方法および装置により充填(または印
刷)した場合と同程度の充填率を得ることができ、実施
形態1と同様の効果を奏し得る。
には種々の改変がなされ得ることが理解されよう。例え
ば、本実施形態においてはスクリーン版の開口部に第1
の導電性粒状材料を含む充填ペーストを充填してから第
2の導電性粒状材料を含む充填ペーストを充填している
が、本発明はこれに限定されず、充填する順序を逆にし
てもよい。
ージを用いてピークの異なる2種の導電性粒状材料をそ
れぞれ含む充填ペーストを充填しているが、重なって配
置された3対またはそれ以上のスキージを用いてピーク
粒径の異なる3種またはそれ以上の導電性粒状材料をそ
れぞれ含む充填ペーストをそれぞれ充填するようにして
もよい。例えば、3種の導電性粒状材料をそれぞれ含む
充填ペーストを利用する場合、実施形態2の充填ペース
トを調製するために例示したはんだ原料X、Y’および
Zを第1、第2および第3の導電性粒状材料としてそれ
ぞれ含むクリームはんだを用いることができる。即ち、
第1の導電性粒状材料(はんだ原料X)は、粒径分布が
20〜40μmの範囲に亘り、そのピーク粒径(および
平均粒径)が約28〜32μmであるはんだ粉末とし、
第2の導電性粒状材料(はんだ原料Y’)は、粒径分布
が10〜20μmの範囲に亘り、そのピーク粒径(およ
び平均粒径)が約10〜16μmであるはんだ粉末と
し、第3の導電性粒状材料(はんだ原料Z)は、粒径分
布が5〜10μmの範囲に亘り、そのピーク粒径(およ
び平均粒径)が約6〜8μmであるはんだ粉末とする。
クリームはんだには、はんだ粉末とフラックスを例えば
1:1の体積比で各々混合したものを用い得る。このと
き、第2の導電性粒状材料のピークの粒径は、第1の導
電性粒状材料のピークの粒径の1/3〜1/2となり、
第3の導電性粒状材料のピークの粒径は、第1の導電性
材料のピークの粒径の1/5〜1/4となる。
種またはそれ以上の導電性粒状材料は、少なくとも1種
のみが充填ペーストの形態であればよく、他の粒状材料
をそのままの形態で(即ちペースト状にすることなく、
粉末の形態で)用いるようにしてもよい。例えば、第1
の導電性粒状材料および第2の導電性粒状材料のいずれ
か一方を充填ペーストの形態で開口部に充填し、他方を
そのままの形態で開口部に充填することができる。より
低い空隙率(即ちより高い充填率)を得るためには、ま
ずピーク粒径の大きいほうの導電性材料(本実施形態で
は第1の導電性材料)をそのままの(即ち粉末)の形態
で開口部に充填し、次いでピーク粒径のより小さいほう
の導電性粒状材料を充填ペーストの形態で開口部に充填
することが好ましいが、まずピーク粒径の小さいほうの
導電性材料をそのままのの形態で開口部に充填し、次い
でピーク粒径のより大きいほうの導電性粒状材料を充填
ペーストの形態で開口部に充填するようにしてもよい。
形態3の装置を改変したものであり、図4に示すよう
に、1対の第1のスキージ16aおよび16bが、1対
の第2のスキージ18aおよび18bの外側にて第2の
スキージ18aおよび18bと並んで配置される点を除
いて実施形態3の装置と同様である。尚、図4におい
て、図3と同様の部材には同様の参照符号を付すものと
し、説明を省略する。
形態3と同様にしてスキージ16aおよび16bならび
に第2のスキージ18aおよび18bを移動させて、ク
リームはんだなどの充填ペーストを基板の上に印刷する
ことができる。しかし、本実施形態では、第1のスキー
ジ16aおよび16bならびに第2のスキージ18aお
よび18bが右方向20に向かって移動するときは、ス
クリーン版13の開口部(図示せず)に、まず第2の導
電性粒状材料を含む充填ペースト17が充填され、次い
で第1の導電性粒状材料を含む充填ペースト15が充填
され、第1のスキージ16aおよび16bならびに第2
のスキージ18aおよび18bが左方向21に向かって
移動するときは、まず第1の導電性粒状材料を含む充填
ペースト15が充填され、次いで第2の導電性粒状材料
を含む充填ペースト17が充填される。このため、スキ
ージの移動方向(右方向および左方向のいずれか)によ
って導電性粒状材料の充填順序が逆となるが、基板上に
印刷された後の充填ペーストにおける導電性粒状材料の
充填率(または空隙率)に及ぼされる影響は無視できる
程度である。従って、本実施形態の装置を用いてスクリ
ーン版の開口部に充填され、基板上に印刷された充填ペ
ーストもまた、従来よりも高い導電性粒状材料の充填率
を有し、実施形態3の場合と同様の効果を奏することが
できる。
態3と同様に種々の改変がなされ得る。例えば、本実施
形態では2対のスキージを用いてピークの異なる2種の
導電性粒状材料をそれぞれ含む充填ペーストを充填して
いるが、横に並んで配置された3対またはそれ以上のス
キージを用いてピーク粒径の異なる3種またはそれ以上
の導電性粒状材料をそれぞれ含む充填ペーストをそれぞ
れ充填するようにしてもよい。更に、ピーク粒径の異な
る2種もしくは3種またはそれ以上の導電性粒状材料
は、少なくとも1種のみが充填ペーストの形態であれば
よく、他の粒状材料をそのままの形態で(即ちペースト
状にすることなく)用いるようにしてもよいが、より低
い空隙率を得るためには、まずピーク粒径の大きいほう
の導電性材料(本実施形態では第1の導電性材料)をそ
のままの(即ち粉末)の形態で開口部に充填し、次いで
ピーク粒径のより小さいほうの導電性粒状材料を充填ペ
ーストの形態で開口部に充填することが好ましい。
態における充填ペーストの充填方法および充填装置とし
て、充填ペーストの印刷方法および印刷装置について図
面を参照しながら以下に説明する。尚、図6を参照しな
がら上述した従来の印刷方法および印刷装置と異なる点
を中心に説明するものとし、実施形態3と同様の部材に
は同様の番号を付し、特に説明のない限り実施形態3と
同様とする。
のようなスキージの代わりに密閉式のヘッド30(これ
は本実施形態においては印刷用ヘッドであるが、本発明
はこれに限定されない)を用いるものである。このヘッ
ド30においては、1対の第1のセル31aおよび31
bならびに第2のセル32が、1対の第1のセル31a
および31bの各吐出口の間に、第2のセル32の吐出
口が位置するようにストライプ状に配置されている。こ
の第1のセル31aおよび31bには、第1の導電性粒
状材料を含む充填ペースト、例えば上記の第1のクリー
ムはんだ15がクリームはんだ15aおよび15bとし
て収容されており、第2のセル32には、第2の導電性
粒状材料を含む充填ペースト、例えば上記の第2のクリ
ームはんだ17が収容されている。
ムはんだなどの充填ペーストをスクリーン版の開口部に
充填して、基板上に印刷することができる。本実施形態
では、ヘッド30が右方向20に向かって移動するとき
は、第1のセル31b内の第1のクリームはんだ15b
および第2のセル32内の第2のクリームはんだ17に
圧力をかけて吐出させる。このとき、第1のセル31b
内の第1のクリームはんだ15aには圧力をかけない。
これにより、スクリーン版13の開口部(図示せず)
に、まず第1のクリームはんだ(第1の導電性粒状材料
を含む充填ペースト)15bが充填され、次いで第2の
クリームはんだ(第2の導電性粒状材料を含む充填ペー
スト)17が充填される。その後、スクリーン版13と
基板11とを離すと、クリームはんだ15および17が
混合された状態で基板11上に印刷される。
て移動するときは、第1のセル31a内の第1のクリー
ムはんだ15aおよび第2のセル32内の第2のクリー
ムはんだ17に圧力をかけて吐出させることによって、
上記と同様にスクリーン版13の開口部(図示せず)
に、まず第1のクリームはんだ(第1の導電性粒状材料
を含む充填ペースト)15aが充填され、次いで第2の
クリームはんだ(第2の導電性粒状材料を含む充填ペー
スト)17が充填される。その後、スクリーン版13と
基板11とを離すとクリームはんだ15および17が混
合された状態で基板11上に印刷される。
ペーストを従来の方法および装置により充填(または印
刷)した場合と同程度の充填率を得ることができ、実施
形態1と同様の効果を奏し得る。
についても、実施形態3にて上述したような種々の改変
がなされ得ることが理解されよう。例えば、本実施形態
においてはスクリーン版の開口部に第1の導電性粒状材
料を含む充填ペーストを充填してから第2の導電性粒状
材料を含む充填ペーストを充填しているが、本発明はこ
れに限定されず、充填する順序を逆にしてもよい。ま
た、本実施形態においては、ピークの異なる2種の導電
性粒状材料をそれぞれ含む充填ペーストを充填している
が、ピーク粒径の異なる3種またはそれ以上の導電性粒
状材料をそれぞれ含む充填ペーストをそれぞれ充填する
ようにしてもよい。更に、ピーク粒径の異なる2種もし
くは3種またはそれ以上の導電性粒状材料は、少なくと
も1種のみが充填ペーストの形態であればよく、他の粒
状材料をそのままの形態で(即ちペースト状にすること
なく、粉末の形態で)用いるようにしてもよい。
クリーン版(被充填体)の開口部に充填ペーストを充填
し、スクリーン版とその下に配置された基板(被印刷
体)とを離すことによって充填ペーストを基板上に印刷
する場合について詳述したが、本発明はこれに限定され
ず、被充填体の開口部(または凹部)に充填ペーストを
充填する場合に広く適用し得ることが当業者には明白で
あろう。
するために利用され、基板上にスクリーン印刷され得る
充填ペーストであって、電子部品の接合強度の低下を招
くことなく良好な版離れが得られる充填ペーストならび
に充填ペーストの充填方法および充填装置が提供され
る。本発明によれば、はんだ材料から成るはんだ粒子な
どの粒状材料の充填率を高くすることができるので、本
発明において充填ペーストとしてクリームはんだを用い
れば、スクリーン版に設けられた1つの開口部に充填さ
れるはんだ材料の量を維持しつつ、スクリーン版の厚み
を従来よりも薄くできる。よって、大型部品などでも十
分な接合強度で基板に接合することができる量のはんだ
材料を開口部に供給でき、かつ、小型部品などのための
小さな開口部においても充填ペーストの良好な版離れが
得られる。
トを説明する図であり、図1(a)は充填ペーストの1
つの理想的な概略模式断面図、図1(b)は充填ペース
トに含まれる粒状材料の粒径分布を示す図である。
ーストを説明する図であり、図2(a)は充填ペースト
の1つの理想的な概略模式断面図、図2(b)は充填ペ
ーストに含まれる粒状材料の粒径分布を示す図である。
トの印刷装置の概略模式図である。
の印刷装置の概略模式図である。
ストの印刷装置のる概略模式図である。
7(a)は充填ペーストの概略模式断面図、図7(b)
は充填ペーストに含まれる粒状材料の粒径分布を示す図
である。
導電性粒状材料を含む充填ペースト) 16a、16b 第1のスキージ 17、17a、17b 第2のクリームはんだ(第2の
導電性粒状材料を含む充填ペースト) 18a、18b 第2のスキージ 20 右方向 21 左方向 30 ヘッド 31a、31b 第1のセル 32 第2のセル
Claims (21)
- 【請求項1】 被充填体に所定のパターンで設けられた
開口部に充填される充填ペーストであって、複数のピー
クを有する粒径分布を示す導電性の粒状材料を含む充填
ペースト。 - 【請求項2】 粒状材料の粒径分布が第1のピークおよ
び第2のピークを有し、第2のピークの粒径が、第1の
ピークの粒径の1/3〜1/2である、請求項1に記載
の充填ペースト。 - 【請求項3】 第1のピークの粒径が28〜32μmの
範囲にあり、第2のピークの粒径が10〜16μmの範
囲にある、請求項2に記載の充填ペースト。 - 【請求項4】 粒状材料が、20〜40μmの範囲にあ
る粒子を83〜95重量%で、5〜20μmの範囲にあ
る粒子を5〜17重量%で含む、請求項3に記載の充填
ペースト。 - 【請求項5】 粒状材料の粒径分布が第3のピークを更
に有し、第3のピークの粒径が、第1のピークの粒径の
1/5〜1/4である、請求項2に記載の充填ペース
ト。 - 【請求項6】 第1のピークの粒径が28〜32μmの
範囲にあり、第2のピークの粒径が10〜16μmの範
囲にあり、第3のピークの粒径が6〜8μmの範囲にあ
る、請求項5に記載の充填ペースト。 - 【請求項7】 粒状材料が、20〜40μmの範囲にあ
る粒子を94〜70重量%で、10〜20μmの範囲に
ある粒子を2〜13重量%で、5〜10μmの範囲にあ
る粒子を4〜17重量%で含む、請求項6に記載の充填
ペースト。 - 【請求項8】 粒状材料がはんだ材料から成る、請求項
1〜7のいずれかに記載の充填ペースト。 - 【請求項9】 被充填体に所定のパターンで設けられた
開口部に充填ペーストを充填する方法であって、充填ペ
ーストとして、請求項1〜7のいずれかに記載の充填ペ
ーストを用いる方法。 - 【請求項10】 被充填体に所定のパターンで設けられ
た開口部に充填ペーストを充填する方法であって、 第1の導電性粒状材料または該第1の導電性粒状材料を
含む充填ペーストを開口部に充填する工程と、 第1の導電性粒状材料の粒径分布におけるピークとピー
クが異なる粒径分布を有する第2の導電性粒状材料を含
む充填ペーストを該開口部に充填する工程とを含む方
法。 - 【請求項11】 第2の導電性粒状材料のピークの粒径
が、第1の導電性粒状材料のピークの粒径の1/3〜1
/2である、請求項10に記載の方法。 - 【請求項12】 第1の導電性粒状材料のピークの粒径
が28〜32μmの範囲にあり、第2の導電性粒状材料
のピークの粒径が10〜16μmの範囲にある、請求項
11に記載の方法。 - 【請求項13】 第1の導電性粒状材料および第2の導
電性粒状材料の粒径分布とピークが異なる粒径分布を有
する第3の導電性粒状材料を含む充填ペーストを前記開
口部に充填する工程を更に含む、請求項10に記載の方
法。 - 【請求項14】 第2の導電性粒状材料のピークの粒径
が、第1の導電性粒状材料のピークの粒径の1/3〜1
/2であり、第3の導電性粒状材料のピークの粒径が、
第1の導電性材料のピークの粒径の1/5〜1/4であ
る、請求項13に記載の方法。 - 【請求項15】 第1の導電性粒状材料のピークの粒径
が28〜32μmの範囲にあり、第2の導電性粒状材料
のピークの粒径が10〜16μmの範囲にあり、第3の
導電性粒状材料のピークの粒径が6〜8μmの範囲にあ
る、請求項14に記載の方法。 - 【請求項16】 粒状材料がはんだ材料から成る、請求
項10〜15のいずれかに記載の方法。 - 【請求項17】 被充填体に所定のパターンで設けられ
た開口部に充填ペーストを充填する装置であって、 第1の導電性粒状材料または該第1の導電性粒状材料を
含む充填ペーストを開口部に充填するための1対の第1
のスキージと、 第1の導電性粒状材料の粒径分布とピークが異なる粒径
分布を有する第2の導電性粒状材料を含む充填ペースト
を該開口部に充填するための1対の第2のスキージとを
備える装置。 - 【請求項18】 第1のスキージおよび第2のスキージ
の一方が、他方の1対のスキージの内側に挟まれて配置
される、請求項17に記載の装置。 - 【請求項19】 第1のスキージおよび第2のスキージ
の一方が、他方の1対のスキージの外側に並んで配置さ
れる、請求項17に記載の装置。 - 【請求項20】 被充填体に所定のパターンで設けられ
た開口部に充填ペーストを充填する装置であって、 第1の導電性粒状材料または該第1の導電性粒状材料を
含む充填ペーストを収容し、吐出口から吐出して開口部
に充填するための第1のセルと、 第1の導電性粒状材料の粒径分布とピークが異なる粒径
分布を有する第2の導電性粒状材料を含む充填ペースト
を収容し、吐出口から吐出して該開口部に充填するため
の第2のセルとを有するヘッドを備える装置。 - 【請求項21】 第1のセルおよび第2のセルの一方
が、1対のセルの形態で構成され、該1対のセルの吐出
口の間に、他方のセルの吐出口が位置するように配置さ
れる、請求項20に記載の装置。
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