JP2002245454A - 画像マッチング方法、画像マッチング装置及びウェハ処理装置 - Google Patents

画像マッチング方法、画像マッチング装置及びウェハ処理装置

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JP2002245454A
JP2002245454A JP2001043235A JP2001043235A JP2002245454A JP 2002245454 A JP2002245454 A JP 2002245454A JP 2001043235 A JP2001043235 A JP 2001043235A JP 2001043235 A JP2001043235 A JP 2001043235A JP 2002245454 A JP2002245454 A JP 2002245454A
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JP
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Masamichi Ichikawa
雅理 市川
Kazuyuki Maruo
和幸 丸尾
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Original Assignee
Advantest Corp
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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 画像マッチングを迅速に行う。 【解決手段】 ウェハ処理装置１０は、予め与えられた
テンプレート画像に近似した近似部分領域を入力画像か
ら検出するマッチング装置２０を有する。マッチング装
置２０は、入力画像の画素値を第１軸上及び第２軸上に
それぞれ投影した第１入力信号及び第２入力信号を形成
する入力信号形成手段２４と、入力画像から第１軸方向
における近似部分領域を含む第１軸第１部分を検出する
第１軸第１部分検出手段２６と、第２軸方向における近
似部分領域を含む第２軸第１部分を検出する第２軸第１
部分検出手段２８と、第１軸第１部分及び第２軸第１部
分により特定される入力画像における候補領域画像の画
素値を第１軸上に投影した第３入力信号を形成する候補
領域信号形成手段と、第１軸方向における近似部分領域
を含む第１軸第２部分を検出する第１軸第２部分検出手
段３０とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、画像マッチング方
法、画像マッチング装置及びウェハ処理装置に関する。
特に本発明は、迅速に画像をマッチングすることが可能
な画像マッチング方法、画像マッチング装置及びウェハ
処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体基板等のウェハに回路パターンを
露光する場合には、正確な位置合わせを行うために、ウ
ェハの所定の位置に予め位置合わせ用のマークを描画
し、ウェハにおけるマークの位置を検出する。そして、
検出されたマークの位置を基準としてウェハに所定のパ
ターンを露光する。ウェハのマークの位置を検出するた
めに、画像マッチング技術が用いられる。従来の画像マ
ッチング技術においては、ウェハのマークを含む画像を
入力画像として取得し、その入力画像の画素値をテンプ
レート画像の画素値と二次元的に比較していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、通常、入力画
像におけるマークの位置を検出するためには、複雑な計
算式を用いて正規化された相互相関値等を求めるため、
入力画像の画素値をテンプレート画像の画素値と二次元
的に比較していたのでは、膨大な回数の計算をする必要
があった。そのため、ウェハのマークの位置を検出する
ために多大な時間を要し、迅速なウェハ露光処理を行う
のが困難であった。
【０００４】そこで本発明は、上記の課題を解決するこ
とのできる画像マッチング方法、画像マッチング装置及
びウェハ処理装置を提供することを目的とする。この目
的は特許請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み
合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる
有利な具体例を規定する。
【０００５】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明の第１の形
態によると、予め与えられたテンプレート画像に近似し
た近似部分領域を入力画像から検出する画像マッチング
方法であって、入力画像の画素値を第１軸及び第１軸に
実質的に垂直な第２軸にそれぞれ投影した第１入力信号
及び第２入力信号を形成する入力信号形成ステップと、
テンプレート画像の画素値を第１軸に投影した第１テン
プレート信号と第１入力信号とに基づいて、第１軸方向
における近似部分領域を含む第１軸第１部分を検出する
第１軸第１部分検出ステップと、テンプレート画像の画
素値を第２軸に投影した第２テンプレート信号と第２入
力信号とに基づいて、第２軸方向における近似部分領域
を含む第２軸第１部分を検出する第２軸第１部分検出ス
テップと、第１軸第１部分及び第２軸第１部分により特
定される入力画像における候補領域画像の画素値を第１
軸に投影した第３入力信号を形成する候補領域信号形成
ステップと、第１テンプレート信号と第３入力信号とに
基づいて、第１軸方向における近似部分領域を含む第１
軸第２部分を検出する第１軸第２部分検出ステップとを
備えることを特徴とする画像マッチング方法を提供す
る。
【０００６】候補領域信号形成ステップは、候補領域画
像の画素値を第２軸に投影した第４入力信号を形成する
ステップを有してもよく、画像マッチング方法は、第２
テンプレート信号と第４入力信号とに基づいて、第２軸
方向における近似部分領域を含む第２軸第２部分を検出
する第２軸第２部分検出ステップをさらに備えてもよ
い。
【０００７】画像マッチング方法は、テンプレート画像
の画素値をテンプレート画像の第１軸及び第２軸にそれ
ぞれ投影することにより第１テンプレート信号及び第２
テンプレート信号を形成するテンプレート信号形成ステ
ップをさらに備えてもよい。
【０００８】第１軸第１部分検出ステップは、第１テン
プレート信号における画素値のレベルが大きく変化する
エッジ領域を抽出する第１テンプレートエッジ領域抽出
ステップと、第１入力信号における画素値のレベルが大
きく変化するエッジ領域を抽出する第１入力信号エッジ
領域抽出ステップとを有し、第１テンプレート信号にお
けるエッジ領域の信号値と第１入力信号におけるエッジ
領域の信号値とに基づいて、第１軸第１部分を検出して
もよく、第２軸第１部分検出ステップは、第２テンプレ
ート信号における画素値のレベルが大きく変化するエッ
ジ領域を抽出する第２テンプレートエッジ領域抽出ステ
ップと、第２入力信号における画素値のレベルが大きく
変化するエッジ領域を抽出する第２入力信号エッジ領域
抽出ステップとを有し、第２テンプレート信号における
エッジ領域の信号値と第２入力信号におけるエッジ領域
の信号値とに基づいて、第２軸第１部分を検出してもよ
い。
【０００９】第１テンプレートエッジ領域抽出ステップ
は、第１テンプレート信号の信号値を微分し、当該微分
した１次微分値の絶対値が所定の値より大きい座標をエ
ッジ領域として抽出するステップを有してもよく、第１
入力信号エッジ領域抽出ステップは、第１入力信号の信
号値を微分し、当該微分した１次微分値の絶対値が所定
の値より大きい座標をエッジ領域として抽出するステッ
プを有してもよい。また、第２テンプレートエッジ領域
抽出ステップは、第２テンプレート信号の信号値を微分
し、当該微分した１次微分値の絶対値が所定の値より大
きい座標をエッジ領域として抽出するステップを有して
もよく、第２入力信号エッジ領域抽出ステップは、第２
入力信号の信号値を微分し、当該微分した１次微分値の
絶対値が所定の値より大きい座標をエッジ領域として抽
出するステップを有してもよい。
【００１０】第１テンプレートエッジ領域抽出ステップ
は、第１テンプレート信号の信号値を微分し、微分した
１次微分値が極値となる１次極値座標を検出するステッ
プと、１次微分値をさらに微分し、１次極値座標を挟む
微分した２次微分値が極小となる座標から２次微分値が
極大となる座標までをエッジ領域として抽出するステッ
プを有してもよく、第１入力信号エッジ領域抽出ステッ
プは、第１入力信号の信号値を微分し、微分した１次微
分値が極値となる１次極値座標を検出するステップと、
１次微分値をさらに微分し、１次極値座標を挟む微分し
た２次微分値が最小となる座標から２次微分値が最大と
なる座標までをエッジ領域として抽出するステップを有
してもよい。また、第２テンプレートエッジ領域抽出ス
テップは、第２テンプレート信号の信号値を微分し、微
分した１次微分値が極値となる１次極値座標を検出する
ステップと、１次微分値をさらに微分し、１次極値座標
を挟む微分した２次微分値が最小となる座標から２次微
分値が最大となる座標までをエッジ領域として抽出する
ステップを有してもよく、第２入力信号エッジ領域抽出
ステップは、第２入力信号の信号値を微分し、微分した
１次微分値が極値となる１次極値座標を検出するステッ
プと、１次微分値をさらに微分し、１次極値座標を挟む
微分した２次微分値が最小となる座標から２次微分値が
最大となる座標までをエッジ領域として抽出するステッ
プを有してもよい。
【００１１】第１軸第２部分検出ステップは、第３入力
信号における画素値のレベルが大きく変化するエッジ領
域を抽出する第３入力信号エッジ領域抽出ステップを有
し、第１テンプレート信号におけるエッジ領域の信号値
と第３入力信号におけるエッジ領域の信号値とに基づい
て、第１軸第２部分を検出してもよい。
【００１２】第２軸第２部分検出ステップは、第４入力
信号における画素値のレベルが大きく変化するエッジ領
域を抽出する第４入力信号エッジ領域抽出ステップを有
し、第２テンプレート信号におけるエッジ領域の信号値
と第４入力信号におけるエッジ領域の信号値とに基づい
て、第２軸第２部分を検出してもよい。
【００１３】第１テンプレートエッジ領域抽出ステップ
は、第１テンプレート信号の信号値を微分し、当該微分
した１次微分値の絶対値が所定の値より大きい座標をエ
ッジ領域として抽出するステップを有し、第３入力信号
エッジ領域抽出ステップは、第３入力信号の信号値を微
分し、当該微分した１次微分値の絶対値が所定の値より
大きい座標をエッジ領域として抽出するステップを有し
てもよい。
【００１４】第２テンプレートエッジ領域抽出ステップ
は、第２テンプレート信号の信号値を微分し、当該微分
した１次微分値の絶対値が所定の値より大きい座標をエ
ッジ領域として抽出するステップを有してもよく、第４
入力信号エッジ領域抽出ステップは、第４入力信号の信
号値を微分し、当該微分した１次微分値の絶対値が所定
の値より大きい座標をエッジ領域として抽出するステッ
プを有してもよい。
【００１５】第１テンプレートエッジ領域抽出ステップ
は、第１テンプレート信号の信号値を微分し、微分した
１次微分値が極値となる１次極値座標を検出するステッ
プと、１次微分値をさらに微分し、１次極値座標を挟む
微分した２次微分値が極小となる座標から２次微分値が
極大となる座標までをエッジ領域として抽出するステッ
プを有してもよく、第３入力信号エッジ領域抽出ステッ
プは、第３入力信号の信号値を微分し、微分した１次微
分値が極値となる１次極値座標を検出するステップと、
１次微分値をさらに微分し、１次極値座標を挟む微分し
た２次微分値が極小となる座標から２次微分値が極大と
なる座標までをエッジ領域として抽出するステップを有
してもよい。
【００１６】第２テンプレートエッジ領域抽出ステップ
は、第２テンプレート信号の信号値を微分し、微分した
１次微分値が極値となる１次極値座標を検出するステッ
プと、１次微分値をさらに微分し、１次極値座標を挟む
微分した２次微分値が極小となる座標から２次微分値が
極大となる座標までをエッジ領域として抽出するステッ
プを有してもよく、第４入力信号エッジ領域抽出ステッ
プは、第４入力信号の信号値を微分し、微分した１次微
分値が極値となる１次極値座標を検出するステップと、
１次微分値をさらに微分し、１次極値座標を挟む微分し
た２次微分値が極小となる座標から２次微分値が極大と
なる座標までをエッジ領域として抽出するステップを有
してもよい。
【００１７】第１軸第１部分検出ステップは、第１入力
信号における画素値のレベルが大きく変化するエッジ領
域を抽出するステップと、第１入力信号における複数の
エッジ領域間の距離をそれぞれ算出するステップと、第
１入力信号における算出したエッジ領域間の距離が許容
範囲に含まれるエッジ領域の組み合わせを求めるステッ
プと、第１テンプレート信号における画素値のレベルが
大きく変化する複数のエッジ領域を抽出するステップ
と、第１テンプレート信号における複数のエッジ領域間
の距離をそれぞれ算出するステップと、第１テンプレー
ト信号における算出したエッジ領域間の距離が許容範囲
となるエッジ領域の組み合わせを求めるステップと、第
１入力信号におけるエッジ領域の組み合わせの中心を、
第１テンプレート信号におけるエッジ領域の組み合わせ
の中心と合わせるステップとを有してもよい。
【００１８】第２軸第１部分検出ステップは、第２入力
信号における画素値のレベルが大きく変化するエッジ領
域を抽出するステップと、第２入力信号における複数の
エッジ領域間の距離をそれぞれ算出するステップと、第
２入力信号における算出したエッジ領域間の距離が許容
範囲に含まれるエッジ領域の組み合わせを求めるステッ
プと、第２テンプレート信号における画素値のレベルが
大きく変化する複数のエッジ領域を抽出するステップ
と、第２テンプレート信号における複数のエッジ領域間
の距離をそれぞれ算出するステップと、第２テンプレー
ト信号における算出したエッジ領域間の距離が許容範囲
となるエッジ領域の組み合わせを求めるステップと、第
２入力信号におけるエッジ領域の組み合わせの中心を、
第２テンプレート信号におけるエッジ領域の組み合わせ
の中心と合わせるステップとを有してもよい。
【００１９】第１軸第１部分検出ステップは、第１軸方
向におけるテンプレート画像の幅の範囲毎に第１入力信
号を走査して第１テンプレート信号と第１入力信号とを
比較し、第１テンプレート信号と第１入力信号との相関
を示す第１相関値を算出するステップを有し、第１相関
値に基づいて、第１軸第１部分を検出してもよく、第２
軸第１部分検出ステップは、第２軸方向におけるテンプ
レート画像の幅の範囲毎に第２入力信号を走査して第２
テンプレート信号と第２入力信号とを比較し、第２テン
プレート信号と第２入力信号との相関を示す第２相関値
を算出するステップを有し、第２相関値に基づいて、第
２軸第１部分を検出してもよい。
【００２０】第１軸第１部分検出ステップは、第１相関
値が極大値を示す第１軸上の座標を第１軸第１部分とし
て検出してよく、第２軸第１部分検出ステップは、第２
相関値が極大値を示す第２軸上の座標を第２軸第１部分
として検出してよい。
【００２１】第１軸第１部分検出ステップは、第１相関
値が極大値を示す座標中で、極大値が所定のしきい値よ
り大きい座標を第１軸第１部分として検出してよく、第
２軸第１部分検出ステップは、第２相関値が極大値を示
す座標中で、極大値が所定のしきい値より大きい座標を
第２軸第１部分として検出してよい。
【００２２】第１軸第２部分検出ステップは、第１軸方
向におけるテンプレート画像の幅の範囲毎に第３入力信
号を走査して第１テンプレート信号と第３入力信号とを
比較し、第１テンプレート信号と第３入力信号との相関
を示す第３相関値を算出するステップを有し、第３相関
値に基づいて、第１軸第２部分を検出してもよい。
【００２３】第１軸第２部分検出ステップは、第１軸方
向におけるテンプレート画像の幅の範囲毎に第３入力信
号を走査して第１テンプレート信号と第３入力信号とを
比較し、第１テンプレート信号と第３入力信号との相関
を示す第３相関値を算出するステップを有し、第３相関
値に基づいて、第１軸第２部分を検出してよく、第２軸
第２部分検出ステップは、第２軸方向におけるテンプレ
ート画像の幅の範囲毎に第４入力信号を走査して第２テ
ンプレート信号と第４入力信号とを比較し、第２テンプ
レート信号と第４入力信号との相関を示す第４相関値を
算出するステップを有し、第４相関値に基づいて、第２
軸第２部分を検出してよい。
【００２４】第１軸第２部分検出ステップは、第３相関
値が極大値を示す第１軸上の座標を第１軸第２部分とし
て検出してもよい。第２軸第２部分検出ステップは、第
４相関値が極大値を示す第２軸上の座標を第２軸第２部
分として検出してもよい。
【００２５】第１軸第２部分検出ステップは、第３相関
値が極大値を示す座標中で、極大値が所定のしきい値よ
り大きい座標を第１軸第２部分として検出してもよい。
第２軸第２部分検出ステップは、第４相関値が極大値を
示す座標中で、極大値が所定のしきい値より大きい座標
を第２軸第２部分として検出してもよい。
【００２６】本発明の第２の形態によると、予め与えら
れたテンプレート画像に近似した近似部分領域を入力画
像から検出する画像マッチング装置であって、入力画像
の画素値を第１軸及び第１軸に実質的に垂直な第２軸に
それぞれ投影した第１入力信号及び第２入力信号を形成
する入力信号形成手段と、テンプレート画像の画素値を
第１軸に投影した第１テンプレート信号と第１入力信号
とに基づいて、第１軸方向における近似部分領域を含む
第１軸第１部分を検出する第１軸第１部分検出手段と、
テンプレート画像の画素値を第２軸に投影した第２テン
プレート信号と第２入力信号とに基づいて、第２軸方向
における近似部分領域を含む第２軸第１部分を検出する
第２軸第１部分検出手段と、第１軸第１部分及び第２軸
第１部分により特定される入力画像における候補領域画
像の画素値を第１軸に投影した第３入力信号を形成する
候補領域信号形成手段と、第１テンプレート信号と第３
入力信号とに基づいて、第１軸方向における近似部分領
域を含む第１軸第２部分を検出する第１軸第２部分検出
手段とを備えることを特徴とする画像マッチング装置を
提供する。
【００２７】候補領域信号形成手段は、候補領域画像の
画素値を第２軸に投影した第４入力信号を形成してもよ
く、画像マッチング装置は、第２テンプレート信号と第
４入力信号とに基づいて、第２軸方向における近似部分
領域を含む第２軸第２部分を検出する第２軸第２部分検
出手段をさらに備えてもよい。
【００２８】画像マッチング装置は、テンプレート画像
の画素値を当該テンプレート画像の第１軸及び第２軸に
それぞれ投影した第１テンプレート信号及び第２テンプ
レート信号を形成するテンプレート信号形成手段をさら
に備えてもよい。
【００２９】本発明の第３の形態によると、ウェハに回
路パターンを露光するウェハ処理装置であって、ウェハ
に設けられたマークを含む画像を入力画像として取得す
る入力画像取得手段と、テンプレート画像を記憶する記
憶手段と、記憶手段に記憶されたテンプレート画像の画
素値を当該画像の第１軸及び第１軸に実質的に垂直な第
２軸にそれぞれ投影した第１テンプレート信号及び第２
テンプレート信号を形成するテンプレート信号形成手段
と、入力画像の画素値を第１軸及び第２軸にそれぞれ投
影した第１入力信号及び第２入力信号を形成する入力信
号形成手段と、第１テンプレート信号及び第１入力信号
に基づいて、第１軸方向におけるテンプレート画像を含
む第１軸第１部分を検出する第１軸第１部分検出手段
と、第２テンプレート信号及び第２入力信号とに基づい
て、第２軸方向におけるテンプレート画像を含む第２軸
第１部分を検出する第２軸第１部分検出手段と、第１軸
第１部分及び第２軸第１部分により特定される入力画像
における候補領域画像の画素値を第１軸に投影した第３
入力信号を形成する候補領域信号形成手段と、第１テン
プレート信号及び第３入力信号に基づいて、第１軸方向
におけるテンプレート画像を含む第１軸第２部分を検出
する第１軸第２部分検出手段と、第１軸第１部分により
特定される入力画像における決定領域画像をテンプレー
ト画像とマッチングし、ウェハにおけるマークの位置に
基づいてウェハの位置を検出するマッチング手段と、検
出されたウェハの位置に基づいて、ウェハを移動させる
移動手段とを備えることを特徴とするウェハ処理装置を
提供する。
【００３０】候補領域信号形成手段は、候補領域画像の
画素値を第２軸に投影した第４入力信号を形成してもよ
く、ウェハ処理装置は、第２テンプレート信号と第４入
力信号とに基づいて、第２軸方向における近似部分領域
を含む第２軸第２部分を検出する第２軸第２部分検出手
段をさらに備えてもよい。
【００３１】なお上記の発明の概要は、本発明の必要な
特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群の
サブコンビネーションも又発明となりうる。
【００３２】
【発明の実施の形態】以下、発明の実施の形態を通じて
本発明を説明するが、以下の実施形態はクレームにかか
る発明を限定するものではなく、又実施形態の中で説明
されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に
必須であるとは限らない。
【００３３】図１は、本発明の一実施形態に係るウェハ
処理装置を示すブロック図である。ウェハ処理装置１０
は、ウェハに回路パターンを露光する。ウェハ処理装置
１０は、ウェハに設けられたマークを含む画像を入力画
像として取得する入力画像取得手段１４と、テンプレー
ト画像を記憶するテンプレート画像記憶手段１２と、予
め与えられたテンプレート画像に近似した近似部分領域
をマークとして入力画像から検出するマッチング装置２
０と、検出されたマークをテンプレート画像とマッチン
グし、ウェハにおけるマークの位置に基づいてウェハの
位置を検出するマッチング手段と、検出されたウェハの
位置に基づいて、ウェハを移動させるウェハ移動手段４
２とを有する。ウェハ処理装置１０は、例えば電子ビー
ム露光装置等のウェハ露光装置であってよい。この場合
ウェハ処理装置１０は、電子ビームを発生する電子銃
と、電子ビームを収束し、焦点位置を調整する電子レン
ズと、電子ビームを偏向する偏向部とをさらに有してよ
い。
【００３４】マッチング装置２０は、テンプレート信号
形成手段２２と、入力信号形成手段２４と、第１軸第１
部分検出手段２６と、第２軸第１部分検出手段２８と、
第１軸第２部分検出手段３０と、第２軸第２部分検出手
段３２と、候補領域信号形成手段３４と、マッチング手
段４０とを有する。
【００３５】テンプレート信号形成手段２２は、テンプ
レート画像記憶手段１２に記憶されたテンプレート画像
の画素値を当該画像の第１軸上及び第１軸と異なる第２
軸上にそれぞれ投影した第１テンプレート信号及び第２
テンプレート信号を形成する。第２軸は第１軸に実質的
に垂直であるのが好ましい。入力信号形成手段２４は、
入力画像取得手段１４が取得した入力画像の画素値を第
１軸上及び第２軸上にそれぞれ投影した第１入力信号及
び第２入力信号を形成する。
【００３６】第１軸第１部分検出手段２６は、第１テン
プレート信号及び第１入力信号に基づいて、第１軸方向
における近似部分領域を含む第１軸第１部分を検出す
る。第１軸第１部分検出手段２６は、第１テンプレート
信号における画素値のレベルが大きく変化するエッジ領
域を抽出してもよく、第１入力信号における画素値のレ
ベルが大きく変化するエッジ領域を抽出してもよい。こ
の場合、第１軸第１部分検出手段２６は、第１テンプレ
ート信号におけるエッジ領域の信号値と第１入力信号に
おけるエッジ領域の信号値とに基づいて、第１軸第１部
分を検出するのが好ましい。
【００３７】第２軸第１部分検出手段２８は、第２テン
プレート信号及び第２入力信号とに基づいて、第２軸方
向における近似部分領域を含む第２軸第１部分を検出す
る。第２軸第１部分検出手段２８は、第２テンプレート
信号における画素値のレベルが大きく変化するエッジ領
域を抽出してもよく、第２入力信号における画素値のレ
ベルが大きく変化するエッジ領域を抽出してもよい。こ
の場合、第２軸第１部分検出手段２８は、第２テンプレ
ート信号におけるエッジ領域の信号値と第２入力信号に
おけるエッジ領域の信号値とに基づいて、第２軸第１部
分を検出するのが好ましい。
【００３８】本実施形態に係るウェハ処理装置１０は、
第１軸第１部分検出手段２６及び第２軸第１部分検出手
段２８がそれぞれ第１軸方向における第１軸第１部分及
び第２軸方向における第２軸第１部分を一次元的に検出
するため、入力画像から近似部分領域が含まれる可能性
の高い候補領域を迅速に特定することができる。
【００３９】また、第１軸第１部分検出手段２６及び第
２軸第１部分がそれぞれエッジ領域の信号値に基づいて
第１軸第１部分及び第２軸第１部分を検出することによ
り、ウェハの状態によって生じる入力画像の画像値の局
所的な変動に影響されることなく入力画像中のマークを
精度良く検出することができる。
【００４０】次に、第１軸第１部分検出手段２６及び第
２軸第１部分検出手段２８がエッジ領域を抽出するステ
ップの一例を説明する。第１軸第１部分検出手段２６
は、第１テンプレート信号の信号値を微分し、当該微分
した１次微分値の絶対値が所定の値より大きい座標をエ
ッジ領域として抽出する。次に、第１軸第１部分検出手
段２６は、第１入力信号の信号値を微分し、当該微分し
た１次微分値の絶対値が所定の値より大きい座標をエッ
ジ領域として抽出する。
【００４１】同様に、第２軸第１部分検出手段２８は、
第２テンプレート信号の信号値を微分し、当該微分した
１次微分値の絶対値が所定の値より大きい座標をエッジ
領域として抽出する。次に、第２軸第１部分検出手段２
８は、第２入力信号の信号値を微分し、当該微分した１
次微分値の絶対値が所定の値より大きい座標をエッジ領
域として抽出する。
【００４２】次に、第１軸第１部分検出手段２６及び第
２軸第１部分検出手段２８がエッジ領域を抽出するステ
ップの他の例を説明する。第１軸第１部分検出手段２６
は、第１テンプレート信号及び第１入力信号の信号値を
それぞれ微分し、微分した１次微分値が極値となる１次
極値座標を検出する。次に、第１軸第１部分検出手段２
６は、第１テンプレート信号及び第１入力信号の１次微
分値をさらにそれぞれ微分し、１次極値座標を挟む微分
した２次微分値が極小となる座標から２次微分値が極大
となる座標までをエッジ領域としてそれぞれ抽出する。
【００４３】同様に、第２軸第１部分検出手段２８は、
第２テンプレート信号及び第２入力信号の信号値をそれ
ぞれ微分し、微分した１次微分値が極値となる１次極値
座標を検出する。次に、第２軸第１部分検出手段２８
は、第２テンプレート信号及び第２入力信号の１次微分
値をさらにそれぞれ微分し、１次極値座標を挟む微分し
た２次微分値が極小となる座標から２次微分値が極大と
なる座標までをエッジ領域としてそれぞれ抽出する。
【００４４】本実施形態に係るウェハ処理装置１０は、
第１軸第１部分検出手段２６及び第２軸第１部分検出手
段２８がエッジ領域を抽出するので、より迅速に候補領
域を特定することができる。
【００４５】候補領域信号形成手段３４は、第１軸第１
部分及び第２軸第１部分により特定される入力画像にお
ける候補領域画像の画素値を第１軸上に投影した第３入
力信号を形成する。候補領域信号形成手段３４は、さら
に、候補領域画像の画素値を第２軸上に投影した第４入
力信号を形成してもよい。
【００４６】第１軸第２部分検出手段３０は、第１テン
プレート信号及び第３入力信号に基づいて、第１軸方向
における近似部分領域を含む第１軸第２部分を検出す
る。第１軸第２部分検出手段３０は、第３入力信号にお
ける画素値のレベルが大きく変化するエッジ領域を抽出
してもよい。この場合、第１軸第２部分検出手段３０
は、第１軸第１部分検出手段２６により抽出された第１
テンプレート信号におけるエッジ領域の信号値と第３入
力信号におけるエッジ領域の信号値とに基づいて、第１
軸第２部分を検出するのが好ましい。
【００４７】第２軸第２部分検出手段３２は、第２テン
プレート信号及び第４入力信号とに基づいて、第２軸方
向における近似部分領域を含む第２軸第２部分を検出す
る。第２軸第２部分検出手段３２は、第４入力信号にお
ける画素値のレベルが大きく変化するエッジ領域を抽出
してもよい。この場合、第２軸第２部分検出手段３２
は、第２軸第１部分検出手段２８により抽出された第２
テンプレート信号におけるエッジ領域の信号値と第４入
力信号におけるエッジ領域の信号値とに基づいて、第２
軸第２部分を検出するのが好ましい。
【００４８】本実施形態に係るウェハ処理装置１０は、
第１軸第２部分検出手段３０及び第２軸第２部分検出手
段３２がそれぞれ第１軸方向における第１軸第２部分及
び第２軸方向における第２軸第２部分を一次元的に検出
するため、候補領域から近似部分領域を迅速に特定する
ことができる。
【００４９】次に、第１軸第２部分検出手段３０及び第
２軸第２部分検出手段３２がエッジ領域を抽出するステ
ップの一例を説明する。第１軸第２部分検出手段３０
は、第１テンプレート信号の信号値を微分し、当該微分
した１次微分値の絶対値が所定の値より大きい座標をエ
ッジ領域として抽出する。次に、第１軸第２部分検出手
段３０は、第３入力信号の信号値を微分し、当該微分し
た１次微分値の絶対値が所定の値より大きい座標をエッ
ジ領域として抽出する。
【００５０】第２軸第２部分検出手段３２は、第２テン
プレート信号の信号値を微分し、当該微分した１次微分
値の絶対値が所定の値より大きい座標をエッジ領域とし
て抽出する。次に、第２軸第２部分検出手段３２は、第
４入力信号の信号値を微分し、当該微分した１次微分値
の絶対値が所定の値より大きい座標をエッジ領域として
抽出する。
【００５１】次に、第１軸第２部分検出手段３０及び第
２軸第２部分検出手段３２がエッジ領域を抽出するステ
ップの他の例を説明する。第１軸第２部分検出手段３０
は、第３入力信号の信号値を微分し、微分した１次微分
値が極値となる１次極値座標を検出する。次に、第１軸
第２部分検出手段３０は、第３入力信号の１次微分値を
さらに微分し、１次極値座標を挟む微分した２次微分値
が極小となる座標から２次微分値が極大となる座標まで
をエッジ領域として抽出する。
【００５２】第２軸第２部分検出手段３２は、第４入力
信号の信号値を微分し、微分した１次微分値が極値とな
る１次極値座標を検出する。次に、第２軸第２部分検出
手段３２は、第４入力信号の１次微分値をさらに微分
し、１次極値座標を挟む微分した２次微分値が極小とな
る座標から２次微分値が極大となる座標までをエッジ領
域として抽出する。
【００５３】本実施形態に係るウェハ処理装置１０は、
第１軸第２部分検出手段３０及び第２軸第２部分検出手
段３２がエッジ領域を抽出するので、より迅速に近似部
分領域を特定することができる。
【００５４】さらに、マッチング手段４０は、第１軸第
２部分及び第２軸第２部分により特定される入力画像に
おける決定領域画像をテンプレート画像とマッチングし
てもよい。マッチング手段４０は、第１軸第２部分及び
第２軸第２部分により特定される入力画像における決定
領域画像の画素値を第１軸上に投影した第５入力信号と
第２軸上に投影した第６入力信号とを形成してもよい。
【００５５】マッチング手段４０は、第５入力信号にお
ける画素値のレベルが大きく変化する複数のエッジ領域
を抽出してもよい。さらに、マッチング手段４０は、第
５入力信号における複数のエッジ領域間の距離をそれぞ
れ算出し、算出したエッジ領域間の距離が許容範囲に含
まれるエッジ領域の組み合わせを求めてもよい。マッチ
ング手段４０は、第１テンプレート信号における画素値
のレベルが大きく変化する複数のエッジ領域を抽出して
もよい。さらに、マッチング手段４０は、第１テンプレ
ート信号における複数のエッジ領域間の距離をそれぞれ
算出し、算出したエッジ領域間の距離が許容範囲となる
エッジ領域の組み合わせを求めてもよい。
【００５６】マッチング手段４０は、第５入力信号にお
けるエッジ領域の組み合わせの中心を、第１テンプレー
ト信号におけるエッジ領域の組み合わせの中心と合わせ
ることにより、決定領域画像をテンプレート画像とマッ
チングしてよい。
【００５７】マッチング手段４０は、第６入力信号にお
ける画素値のレベルが大きく変化する複数のエッジ領域
を抽出してもよい。さらに、マッチング手段４０は、第
６入力信号における複数のエッジ領域間の距離をそれぞ
れ算出し、算出したエッジ領域間の距離が許容範囲とな
るエッジ領域の組み合わせを求めてもよい。マッチング
手段４０は、第２テンプレート信号における画素値のレ
ベルが大きく変化する複数のエッジ領域を抽出してもよ
い。さらに、マッチング手段４０は、第２テンプレート
信号における複数のエッジ領域間の距離をそれぞれ算出
し、算出したエッジ領域間の距離が許容範囲となるエッ
ジ領域の組み合わせを求めてもよい。
【００５８】マッチング手段４０は、第６入力信号にお
けるエッジ領域の組み合わせの中心を、第２テンプレー
ト信号におけるエッジ領域の組み合わせの中心と合わせ
ることにより、決定領域画像をテンプレート画像とマッ
チングしてよい。
【００５９】本実施形態に係るウェハ処理装置１０は、
マッチング手段４０が上記の方法で決定領域画像とテン
プレート画像とをマッチングするので、テンプレート画
像及び入力画像の取得状況に関わらず、入力画像中のマ
ークを精度良く検出することができる。
【００６０】図２は、本実施形態に係るウェハ処理装置
１０が入力画像から近似部分領域を検出する各ステップ
を示すフローチャートである。本実施形態において、ま
ず、入力信号形成手段２４が、第１入力信号及び第２入
力信号を形成する（Ｓ１０）。次に、第１軸第１部分検
出手段２６及び第２軸第１部分検出手段２８が、それぞ
れ第１軸第１部分及び第２軸第１部分を検出する（Ｓ１
２、Ｓ１４）。続いて、候補領域信号形成手段３４が、
第１軸第１部分及び第２軸第１部分により特定される候
補領域画像を検出する（Ｓ１６）。次に、第１軸第２部
分検出手段３０及び第２軸第２部分検出手段３２が、そ
れぞれ第１軸第２部分及び第２軸第２部分を検出する
（Ｓ２０、Ｓ２２）。次に、マッチング手段４０が、第
１軸第２部分及び第２軸第２部分により特定される決定
領域画像を検出する（Ｓ２４）。
【００６１】以下に、各ステップの詳細を図を用いて説
明する。図３は、本発明の一実施形態に係るウェハ処理
装置により、ウェハの入力画像からマークを検出する手
順を示す模式図である。
【００６２】図３（ａ）は、予め与えられたテンプレー
ト画像を示す。本実施形態におけるテンプレート画像
は、第１軸方向に平行な２本の線と第２軸方向に平行な
３本の線とを含む模様を有する。この模様はウェハ上に
エッチングで形成された凹凸により構成されてよい。こ
の場合、例えばＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅｄ Ｃｏｕｐｌｅ
ｄ Ｄｅｖｉｃｅ）等で撮影されたテンプレート画像の
模様部分は、その他の部分とコントラストが異なり、画
素値も異なる。また、テンプレート画像は、予めテンプ
レート画像記憶手段１２に記憶されたデータであっても
よい。
【００６３】テンプレート信号形成手段２２は、テンプ
レート画像の画素値を第１軸上及び第２軸上にそれぞれ
投影する。第１軸上及び第２軸上に投影された第１テン
プレート信号及び第２テンプレート信号は、テンプレー
ト画像の模様の部分の画素値が他の部分の画素値と異な
る。従って、第１テンプレート信号及び第２テンプレー
ト信号は、それぞれテンプレート画像の模様を反映した
パターンを有する。
【００６４】図３（ｂ）は、入力画像取得手段１４によ
り取得された入力画像を示す。本実施例における入力画
像は、テンプレート画像と実質的に同一の近似部分領域
であるマークを含む。入力画像に含まれるマークは、ウ
ェハ上にエッチングで形成された凹凸により構成され
る。そのため、例えばＣＣＤ等で撮影された入力画像の
マークは、その他の部分とコントラストが異なり、画素
値も異なる。
【００６５】入力信号形成手段２４は、入力画像の画素
値を第１軸上及び第２軸上にそれぞれ投影する。第１軸
上及び第２軸上に投影された第１入力信号及び第２入力
信号は、入力画像のマーク部分の画素値が他の部分の画
素値と異なる。従って、第１入力信号及び第２入力信号
は、それぞれマークの模様を反映したパターンを有す
る。
【００６６】第１軸第１部分検出手段２６は、テンプレ
ート画像の第１テンプレート信号を入力画像の第１入力
信号上で走査させる。具体的には、第１軸第１部分検出
手段２６は、第１テンプレート信号を第１軸方向におけ
るテンプレート画像の幅の範囲毎に第１入力信号上で走
査して第１テンプレート信号と第１入力信号とを比較し
てもよい。第１軸第１部分検出手段２６は、第１テンプ
レート信号と第１入力信号との相関を示す第１相関値を
算出してもよく、第１相関値に基づいて、第１軸第１部
分を検出してよい。第１軸第１部分検出手段２６は、第
１テンプレート信号及び第１入力信号からそれぞれエッ
ジ領域を検出し、エッジ領域における各信号の画素値と
座標とに基づいて、第１相関値を算出してもよい。
【００６７】第１相関値は、以下の式（１）〜式（３）
に基づいて算出される正規化相関値であってよい。本実
施形態においては、第１テンプレート信号及び第１入力
信号のエッジ領域の座標の信号値のみを用いて正規化相
関値を算出する。
【００６８】数１は第１テンプレート信号の信号値を算
出する式である。
【数１】 ここで、Ｔ（ｍ，ｎ）は、テンプレート画像の第１軸方
向の座標ｍ、第２軸方向の座標ｎにおける画素値であ
る。Ｎは、テンプレート画像における第２軸方向の画素
の画素数である。Ｔｘ（ｍ）は、第１軸方向の座標ｎに
おける第１テンプレート信号の信号値である。信号値Ｔ
ｘ（ｍ）から第１テンプレート信号におけるエッジ領域
の座標を検出する。
【００６９】数２は第１入力信号の信号値を算出する式
である。
【数２】 ここで、Ｘ（ｉ，ｊ）は、入力画像の第１軸方向の座標
ｉ、第２軸方向の座標ｊにおける画素値である。Ｊは、
入力画像における第２軸方向の画素の画素数である。Ｘ
ｘ（ｉ）は、第１軸方向の座標ｉにおける第１入力信号
の信号値である。信号値Ｘｘ（ｉ）から第１入力信号に
おけるエッジ領域の座標を検出する。
【００７０】数３は、正規化相関値を算出する式であ
る。
【数３】 ここで、Ｍ’は、第１テンプレート信号Ｔｘ（ｍ）から
検出したエッジ領域の画素の画素数である。
【００７１】第１軸第１部分検出手段２６は、第１相関
値が極大値を示す第１軸上の座標を第１軸第１部分とし
て検出するのが好ましい。さらに、第１軸第１部分検出
手段２６は、第１相関値が極大値を示す座標中で、極大
値が所定のしきい値より大きい座標を第１軸第１部分と
して検出してよい。また、第１軸第１部分検出手段２６
は、極大値を有する座標付近の座標のうち、所定のしき
い値より大きい第１相関値を有する座標を第１軸第１部
分として検出してもよい。第１軸第１部分検出手段２６
は、複数の座標を第１軸第１部分として検出してよい。
本実施形態において、第１軸第１部分検出手段２６は、
２つの座標１００及び１０２を第１軸第１部分として検
出する。
【００７２】第２軸第１部分検出手段２８は、テンプレ
ート画像の第２テンプレート信号を入力画像の第２入力
信号上で走査させる。具体的には、第２軸第１部分検出
手段２８は、第２テンプレート信号を第２軸方向におけ
るテンプレート画像の幅の範囲毎に第２入力信号上で走
査して第２テンプレート信号と第２入力信号とを比較し
てもよい。第２軸第１部分検出手段２８は、第２テンプ
レート信号と第２入力信号との相関を示す第２相関値を
算出してもよく、第２相関値に基づいて、第２軸第１部
分を検出してよい。第２軸第１部分検出手段２８は、第
２テンプレート信号及び第２入力信号からそれぞれエッ
ジ領域を検出し、エッジ領域における各信号の画素値と
座標とに基づいて、第２相関値を算出してもよい。第２
相関値は、上述したように、第１相関値と同様の式に基
づいて算出される正規化相関値であってよい。
【００７３】第２軸第１部分検出手段２８は、第２相関
値が極大値を示す第２軸上の座標を第２軸第１部分とし
て検出するのが好ましい。第２軸第１部分検出手段２８
は、第２相関値が極大値を示す座標中で、極大値が所定
のしきい値より大きい座標を第２軸第１部分として検出
してよい。さらに、第２軸第１部分検出手段２８は、第
２相関値が極大値を示す座標中で、極大値が所定のしき
い値より大きい座標を第２軸第１部分として検出してよ
い。また、第２軸第１部分検出手段２８は、極大値を有
する座標付近の座標のうち、所定のしきい値より大きい
第２相関値を有する座標を第２軸第１部分として検出し
てよい。第２軸第１部分検出手段２８は、複数の座標を
第２軸第１部分として検出してよい。本実施形態におい
て、第２軸第１部分検出手段２８は、２つの座標１０４
及び１０６を第２軸第１部分として検出する。
【００７４】以上のようにして、第１軸第１部分検出手
段２６により検出された第１軸第１部分及び第２軸第１
部分検出手段２８により検出された第２軸第１部分とか
ら候補領域が特定される。候補領域は、テンプレート画
像とほぼ等しい大きさであってよい。また、候補領域
は、テンプレート画像より大きく、入力画像より小さく
てもよい。候補領域信号形成手段３４は、第１軸第１部
分検出手段２６及び第２軸第１部分検出手段２８が、複
数の第１軸第１部分及び第２軸第１部分をそれぞれ検出
した場合、複数の第１軸第１部分及び第２軸第１部分に
よりそれぞれ特定される複数の候補領域を選出してよ
い。本実施形態において、候補領域信号形成手段３４
は、第１軸第１部分検出手段２６及び第２軸第１部分検
出手段２８により検出された２つの第１軸第１部分１０
０及び１０２と、２つの第２軸第１部分１０４及び１０
６とによりそれぞれ特定される４つの候補領域１０８、
１１０、１１２及び１１４を選出する。
【００７５】図３（ｃ）は、第１軸第１部分及び第２軸
第１部分により特定される候補領域を示す。候補領域信
号形成手段３４は、第１軸第１部分検出手段２６及び第
２軸第１部分検出手段２８により特定された候補領域の
画素値を第１軸上及び第２軸上にそれぞれ投影した第３
入力信号及び第４入力信号を形成する。候補領域信号形
成手段３４は、第３入力信号又は第４入力信号のいずれ
か一方のみを形成してもよい。本実施形態において、候
補領域信号形成手段３４は、４つの候補領域１０８、１
１０、１１２及び１１４のそれぞれの画素値を第１軸上
に投影した第３入力信号を形成する。
【００７６】第１軸第２部分検出手段３０は、第１テン
プレート信号を第１軸方向におけるテンプレート画像の
幅の範囲毎に第３入力信号上で走査して第１テンプレー
ト信号と第３入力信号とを比較してもよい。第１軸第２
部分検出手段３０は、第１テンプレート信号と第３入力
信号との相関を示す第３相関値を算出してもよく、第３
相関値に基づいて、第１軸第２部分を検出してよい。第
１軸第２部分検出手段３０は、第１テンプレート信号及
び第３入力信号からそれぞれエッジ領域を検出し、エッ
ジ領域における各信号の画素値と座標とに基づいて、第
３相関値を算出してもよい。第３相関値は、上述したよ
うに、第１相関値と同様の式に基づいて算出される正規
化相関値であってよい。
【００７７】第１軸第２部分検出手段３０は、第３相関
値が最大となる第１軸上の座標を第１軸第２部分として
検出するのが好ましい。本実施形態において、第１軸第
２部分検出手段３０は、複数の候補領域１０８、１１
０、１１２及び１１４のそれぞれから形成される複数の
第３信号の中で最も大きい第３相関値を与える第３信号
に対応する座標を第１軸第２部分として検出する。本実
施形態において、候補領域１１４から形成される第３信
号が最も大きい第３相関値を与えることとする。このと
き、第１軸第２部分検出手段３０は、第１軸第１部分１
０２を第１軸第２部分として検出する。
【００７８】他の例において、候補領域信号形成手段３
４は、複数の候補領域１０８、１１０、１１２及び１１
４を含むテンプレート画像より大きい領域を候補領域と
して選択してもよい。この場合、候補領域信号形成手段
３４は、選択した候補領域の画素値を第１軸上及び第２
軸上にそれぞれ投影した第３入力信号及び第４入力信号
を形成する。第１軸第２部分検出手段３０は、上述した
方法と同様にして第１軸第２部分を検出する。この場
合、第１軸第２部分検出手段３０は、第３相関値が極大
値を示す第１軸上の座標を第１軸第２部分として検出す
るのが好ましい。第１軸第２部分検出手段３０は、第３
相関値が極大値を示す座標中で、極大値が所定のしきい
値より大きい座標を第１軸第２部分として検出するのが
好ましい。本実施形態において、第１軸第２部分検出手
段３０は、第３相関値が最大となる第１軸上の座標を第
１軸第２部分として検出する。本実施形態において、第
１軸第２部分検出手段３０は、第１軸第１部分１０２に
対応する部分を第１軸第２部分として検出することとす
る。
【００７９】第２軸第２部分検出手段３２は、第２テン
プレート信号を第２軸方向におけるテンプレート画像の
幅の範囲毎に第４入力信号上で走査して第２テンプレー
ト信号と第４入力信号とを比較してもよい。第２軸第２
部分検出手段３２は、第２テンプレート信号と第４入力
信号との相関を示す第４相関値を算出してもよく、第４
相関値に基づいて、第２軸第２部分を検出してよい。第
２軸第２部分検出手段３２は、第２テンプレート信号及
び第４入力信号からそれぞれエッジ領域を検出し、エッ
ジ領域における各信号の画素値と座標とに基づいて、第
４相関値を算出してもよい。第４相関値は、上述したよ
うに、第１相関値と同様の式に基づいて算出される正規
化相関値であってよい。
【００８０】第２軸第２部分検出手段３２は、第４相関
値が極大値を示す第２軸上の座標を第２軸第２部分とし
て検出するのが好ましい。第２軸第２部分検出手段３２
は、第４相関値が極大値を示す座標中で、極大値が所定
のしきい値より大きい座標を第２軸第２部分として検出
するのが好ましい。本実施形態において、第２軸第２部
分検出手段３２は、第４相関値が最大となる第２軸上の
座標を第２軸第２部分として検出する。本実施形態にお
いて、第２軸第２部分検出手段３２は、第２軸第１部分
１０６に対応する部分を第２軸第２部分として検出する
こととする。
【００８１】図３（ｄ）は、入力画像において、第１軸
第２部分と第２軸第２部分とから特定される決定領域画
像を示す。マッチング手段４０は、決定領域画像をテン
プレート画像とマッチングする。
【００８２】図４は、テンプレート画像を第１軸上及び
第２軸上に投影させた第１テンプレート信号及び第２テ
ンプレート信号を示す模式図である。図４（ａ）におい
て、第１軸を横軸とし、第２軸を縦軸とする。他の例に
おいて、第１軸をＹ軸とし、第２軸をＸ軸としてもよ
く、第１軸及び第２軸はどのような方向であってもよ
い。
【００８３】図４（ｂ）は、第１軸方向における座標と
第１テンプレート信号の信号値との関係を示す。第１テ
ンプレート信号は、テンプレート画像の模様を反映した
パターンを示す。本実施形態において、テンプレート画
像は第１軸方向に平行な２本の線と第２軸方向に平行な
３本の線とを含む模様を有する。そのため、第１テンプ
レート信号は第２軸に平行な３本の線を反映したエッジ
を有する。
【００８４】図４（ｃ）は、第２軸方向における座標と
第２テンプレート信号の信号値との関係を示す。第２テ
ンプレート信号は、テンプレート画像の模様を反映した
パターンを示す。本実施形態において、第２テンプレー
ト信号は第１軸に平行な２本の線を反映したエッジを有
する。
【００８５】第１軸第１部分検出手段２６及び第２軸第
１部分検出手段２８は、エッジ部分の座標と、当該座標
に対応する第１テンプレート信号及び第２テンプレート
信号の信号値に基づいて第１軸第１部分及び第２軸第１
部分を検出してよい。
【００８６】第１入力信号、第２入力信号、第３入力信
号、第４入力信号、第５入力信号及び第６入力信号のエ
ッジ領域も、同様の方法により検出されるのが好まし
い。
【００８７】図５は、各信号において、エッジ領域を抽
出するステップを示すチャートである。図５（ａ）〜図
５（ｃ）は、立ち下がり部分のエッジ領域を検出するス
テップを示す。図５（ａ）は、第１テンプレート信号の
座標に対する信号値を示す。
【００８８】第１軸第１部分検出手段２６は、第１テン
プレート信号を微分して１次微分値を算出する。次に、
第１軸第１部分検出手段２６は、第１テンプレート信号
の１次微分値をさらに微分して２次微分値を算出する。
図５（ｂ）は、第１テンプレート信号の座標に対する１
次微分値及び２次微分値を示す。第１軸第１部分検出手
段２６は、１次微分値が極小値となる１次極値座標を検
出する。図５（ｃ）に示すように、第１軸第１部分検出
手段２６は、１次極値座標を挟む微分した２次微分値が
極小となる座標から２次微分値が極大となる座標までを
第１テンプレート信号の立ち下がりのエッジ領域として
抽出する。
【００８９】図５（ｄ）〜図５（ｆ）は、立ち上がり部
分のエッジ領域を検出するステップを示す。図５（ｄ）
は、第１テンプレート信号の座標に対する信号値を示
す。第１軸第１部分検出手段２６は、第１テンプレート
信号を微分して１次微分値を算出する。次に、第１軸第
１部分検出手段２６は、第１テンプレート信号の１次微
分値をさらに微分して２次微分値を算出する。図５
（ｅ）は、第１テンプレート信号の座標に対する１次微
分値及び２次微分値を示す。第１軸第１部分検出手段２
６は、１次微分値が極大値となる１次極値座標を検出す
る。図５（ｆ）に示すように、第１軸第１部分検出手段
２６は、１次極値座標を挟む微分した２次微分値が極大
となる座標から２次微分値が極小となる座標までを第１
テンプレート信号の立ち上がりのエッジ領域としてそれ
ぞれ抽出する。
【００９０】他の例において、第１軸第１部分検出手段
２６は、第１入力信号における画素値のレベルが大きく
変化するエッジ領域を抽出してもよい。さらに、第１軸
第１部分検出手段２６は、第１入力信号における複数の
エッジ領域間の距離をそれぞれ算出し、第１入力信号に
おける算出したエッジ領域間の距離が許容範囲に含まれ
るエッジ領域の組み合わせを求めてもよい。第１軸第１
部分検出手段２６は、第１テンプレート信号における画
素値のレベルが大きく変化する複数のエッジ領域を抽出
してよい。さらに、第１軸第１部分検出手段２６は、第
１テンプレート信号における複数のエッジ領域間の距離
をそれぞれ算出し、第１テンプレート信号における算出
したエッジ領域間の距離が許容範囲となるエッジ領域の
組み合わせを求めてもよい。第１軸第１部分検出手段２
６は、第１入力信号におけるエッジ領域の組み合わせの
中心を、第１テンプレート信号におけるエッジ領域の組
み合わせの中心と合わせることにより、第１軸第１部分
を検出してもよい。また、第２軸第１部分検出手段２８
は、第２入力信号における画素値のレベルが大きく変化
するエッジ領域を抽出してよい。さらに、第２軸第１部
分検出手段２８は、第２入力信号における複数のエッジ
領域間の距離をそれぞれ算出し、第２入力信号における
算出したエッジ領域間の距離が許容範囲に含まれるエッ
ジ領域の組み合わせを求めてもよい。第２軸第１部分検
出手段２８は、第２テンプレート信号における画素値の
レベルが大きく変化する複数のエッジ領域を抽出するス
テップと、第２テンプレート信号における複数のエッジ
領域間の距離をそれぞれ算出し、第２テンプレート信号
における算出したエッジ領域間の距離が許容範囲となる
エッジ領域の組み合わせを求めてもよい。第２入力信号
におけるエッジ領域の組み合わせの中心を、第２テンプ
レート信号におけるエッジ領域の組み合わせの中心と合
わせることにより、第２軸第１部分を検出してもよい。
第１軸第２部分検出手段３０及び第２軸第２部分検出手
段３２も、第１軸第１部分検出手段２６及び第２軸第１
部分検出手段２８と同様の処理を行うことにより、それ
ぞれ第１軸第２部分及び第２軸第２部分を検出してよ
い。
【００９１】本実施形態に係るウェハ処理装置１０は、
入力画像から第１軸第１部分及び第２軸第１部分を一次
元的に検出するので、近似部分領域が含まれる可能性の
高い候補領域を迅速に特定することができる。
【００９２】さらに、本実施形態に係るウェハ処理装置
１０は、候補領域から第１軸第２部分を検出することに
より、近似部分領域を特定することができるので、迅速
に画像マッチングを行うことができる。
【００９３】また、本実施形態に係るウェハ処理装置１
０は、候補領域及び近似部分領域をエッジ領域の信号値
に基づいて検出することにより、ウェハの状態によって
生じる入力画像の画像値の局所的な変動に影響されるこ
となく入力画像中のマークを精度良く検出することがで
きる。
【００９４】さらに、本実施形態に係るウェハ処理装置
１０は、まず、入力画像から近似部分領域が含まれる可
能性の高い候補領域を検出した後に当該候補領域から近
似部分領域を特定するので、入力画像中のマークを効率
良く検出することができる。
【００９５】以上、本発明を実施の形態を用いて説明し
たが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範
囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更又
は改良を加えることができる。その様な変更又は改良を
加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、
特許請求の範囲の記載から明らかである。
【００９６】
【発明の効果】上記説明から明らかなように、本発明に
よれば画像マッチングを迅速に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係るウェハ処理装置を示
すブロック図である。
【図２】本実施形態に係るウェハ処理装置が入力画像か
ら近似部分領域を検出する各ステップを示すフローチャ
ートである。
【図３】本発明の一実施形態に係るウェハ処理装置によ
り、ウェハの入力画像からマークを検出する手順を示す
模式図である。
【図４】テンプレート画像を第１軸上及び第２軸上に投
影させた第１テンプレート信号及び第２テンプレート信
号を示す模式図である。
【図５】各信号において、エッジ領域を抽出する手順を
示すチャートである。
【符号の説明】
１０…ウェハ処理装置、１２…テンプレート画像記憶手
段、１４…入力画像取得手段、２０…マッチング装置、
２２…テンプレート信号形成手段、２４…入力信号形成
手段、２６…第１軸第１部分検出手段、２８…第２軸第
１部分検出手段、３０…第１軸第２部分検出手段、３２
…第２軸第２部分検出手段、３４…候補領域信号形成手
段、４０…マッチング手段、４２…ウェハ移動手段
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/30 ５２１ Ｆターム(参考） 5B057 AA03 BA02 CA12 CA16 DA07 DB02 DC19 5F046 AA25 FC03 FC04 5L096 CA02 FA38 FA69 JA09 JA11 LA01

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 予め与えられたテンプレート画像に近似
    した近似部分領域を入力画像から検出する画像マッチン
    グ方法であって、 前記入力画像の画素値を第１軸及び前記第１軸に実質的
    に垂直な第２軸にそれぞれ投影した第１入力信号及び第
    ２入力信号を形成する入力信号形成ステップと、 前記テンプレート画像の画素値を前記第１軸に投影した
    第１テンプレート信号と前記第１入力信号とに基づい
    て、前記第１軸方向における前記近似部分領域を含む第
    １軸第１部分を検出する第１軸第１部分検出ステップ
    と、 前記テンプレート画像の画素値を前記第２軸に投影した
    第２テンプレート信号と前記第２入力信号とに基づい
    て、前記第２軸方向における前記近似部分領域を含む第
    ２軸第１部分を検出する第２軸第１部分検出ステップ
    と、 前記第１軸第１部分及び前記第２軸第１部分により特定
    される前記入力画像における候補領域画像の画素値を前
    記第１軸に投影した第３入力信号を形成する候補領域信
    号形成ステップと、 前記第１テンプレート信号と前記第３入力信号とに基づ
    いて、前記第１軸方向における前記近似部分領域を含む
    第１軸第２部分を検出する第１軸第２部分検出ステップ
    とを備えることを特徴とする画像マッチング方法。
  2. 【請求項２】 前記候補領域信号形成ステップは、前記
    候補領域画像の画素値を前記第２軸に投影した第４入力
    信号を形成するステップを有し、 画像マッチング方法は、前記第２テンプレート信号と前
    記第４入力信号とに基づいて、前記第２軸方向における
    前記近似部分領域を含む第２軸第２部分を検出する第２
    軸第２部分検出ステップをさらに備えることを特徴とす
    る請求項１に記載の画像マッチング方法。
  3. 【請求項３】 前記テンプレート画像の画素値を前記テ
    ンプレート画像の前記第１軸及び前記第２軸にそれぞれ
    投影することにより前記第１テンプレート信号及び前記
    第２テンプレート信号を形成するテンプレート信号形成
    ステップをさらに備えることを特徴とする請求項１又は
    ２に記載の画像マッチング方法。
  4. 【請求項４】 前記第１軸第１部分検出ステップは、前
    記第１テンプレート信号における画素値のレベルが大き
    く変化するエッジ領域を抽出する第１テンプレートエッ
    ジ領域抽出ステップと、前記第１入力信号における画素
    値のレベルが大きく変化するエッジ領域を抽出する第１
    入力信号エッジ領域抽出ステップとを有し、前記第１テ
    ンプレート信号におけるエッジ領域の信号値と前記第１
    入力信号におけるエッジ領域の信号値とに基づいて、前
    記第１軸第１部分を検出し、 前記第２軸第１部分検出ステップは、前記第２テンプレ
    ート信号における画素値のレベルが大きく変化するエッ
    ジ領域を抽出する第２テンプレートエッジ領域抽出ステ
    ップと、前記第２入力信号における画素値のレベルが大
    きく変化するエッジ領域を抽出する第２入力信号エッジ
    領域抽出ステップとを有し、前記第２テンプレート信号
    におけるエッジ領域の信号値と前記第２入力信号におけ
    るエッジ領域の信号値とに基づいて、前記第２軸第１部
    分を検出することを特徴とする請求項１又は２に記載の
    画像マッチング方法。
  5. 【請求項５】 前記第１テンプレートエッジ領域抽出ス
    テップは、前記第１テンプレート信号の信号値を微分
    し、当該微分した１次微分値の絶対値が所定の値より大
    きい座標を前記エッジ領域として抽出するステップを有
    し、 前記第１入力信号エッジ領域抽出ステップは、前記第１
    入力信号の信号値を微分し、当該微分した１次微分値の
    絶対値が所定の値より大きい座標を前記エッジ領域とし
    て抽出するステップを有し、 前記第２テンプレートエッジ領域抽出ステップは、前記
    第２テンプレート信号の信号値を微分し、当該微分した
    １次微分値の絶対値が所定の値より大きい座標を前記エ
    ッジ領域として抽出するステップを有し、 前記第２入力信号エッジ領域抽出ステップは、前記第２
    入力信号の信号値を微分し、当該微分した１次微分値の
    絶対値が所定の値より大きい座標を前記エッジ領域とし
    て抽出するステップを有することを特徴とする請求項４
    に記載の画像マッチング方法。
  6. 【請求項６】 前記第１テンプレートエッジ領域抽出ス
    テップは、前記第１テンプレート信号の信号値を微分
    し、前記微分した１次微分値が極値となる１次極値座標
    を検出するステップと、前記１次微分値をさらに微分
    し、前記１次極値座標を挟む前記微分した２次微分値が
    極小となる座標から前記２次微分値が極大となる座標ま
    でを前記エッジ領域として抽出するステップを有し、 前記第１入力信号エッジ領域抽出ステップは、前記第１
    入力信号の信号値を微分し、前記微分した１次微分値が
    極値となる１次極値座標を検出するステップと、前記１
    次微分値をさらに微分し、前記１次極値座標を挟む前記
    微分した２次微分値が最小となる座標から前記２次微分
    値が最大となる座標までを前記エッジ領域として抽出す
    るステップを有し、 前記第２テンプレートエッジ領域抽出ステップは、前記
    第２テンプレート信号の信号値を微分し、前記微分した
    １次微分値が極値となる１次極値座標を検出するステッ
    プと、前記１次微分値をさらに微分し、前記１次極値座
    標を挟む前記微分した２次微分値が最小となる座標から
    前記２次微分値が最大となる座標までを前記エッジ領域
    として抽出するステップを有し、 前記第２入力信号エッジ領域抽出ステップは、前記第２
    入力信号の信号値を微分し、前記微分した１次微分値が
    極値となる１次極値座標を検出するステップと、前記１
    次微分値をさらに微分し、前記１次極値座標を挟む前記
    微分した２次微分値が最小となる座標から前記２次微分
    値が最大となる座標までを前記エッジ領域として抽出す
    るステップを有することを特徴とする請求項４に記載の
    画像マッチング方法。
  7. 【請求項７】 前記第１軸第２部分検出ステップは、前
    記第３入力信号における画素値のレベルが大きく変化す
    るエッジ領域を抽出する第３入力信号エッジ領域抽出ス
    テップを有し、前記第１テンプレート信号におけるエッ
    ジ領域の信号値と前記第３入力信号におけるエッジ領域
    の信号値とに基づいて、前記第１軸第２部分を検出する
    ことを特徴とする請求項１又は２に記載の画像マッチン
    グ方法。
  8. 【請求項８】 前記第１テンプレートエッジ領域抽出ス
    テップは、前記第１テンプレート信号の信号値を微分
    し、当該微分した１次微分値の絶対値が所定の値より大
    きい座標を前記エッジ領域として抽出するステップを有
    し、 前記第３入力信号エッジ領域抽出ステップは、前記第３
    入力信号の信号値を微分し、当該微分した１次微分値の
    絶対値が所定の値より大きい座標を前記エッジ領域とし
    て抽出するステップを有することを特徴とする請求項７
    に記載の画像マッチング方法。
  9. 【請求項９】 前記第１テンプレートエッジ領域抽出ス
    テップは、前記第１テンプレート信号の信号値を微分
    し、前記微分した１次微分値が極値となる１次極値座標
    を検出するステップと、前記１次微分値をさらに微分
    し、前記１次極値座標を挟む前記微分した２次微分値が
    極小となる座標から前記２次微分値が極大となる座標ま
    でを前記エッジ領域として抽出するステップを有し、 前記第３入力信号エッジ領域抽出ステップは、前記第３
    入力信号の信号値を微分し、前記微分した１次微分値が
    極値となる１次極値座標を検出するステップと、前記１
    次微分値をさらに微分し、前記１次極値座標を挟む前記
    微分した２次微分値が極小となる座標から前記２次微分
    値が極大となる座標までを前記エッジ領域として抽出す
    るステップを有することを特徴とする請求項７に記載の
    画像マッチング方法。
  10. 【請求項１０】 前記第１軸第１部分検出ステップは、
    前記第１軸方向における前記テンプレート画像の幅の範
    囲毎に前記第１入力信号を走査して前記第１テンプレー
    ト信号と前記第１入力信号とを比較し、前記第１テンプ
    レート信号と前記第１入力信号との相関を示す第１相関
    値を算出するステップを有し、前記第１相関値に基づい
    て、前記第１軸第１部分を検出し、 前記第２軸第１部分検出ステップは、前記第２軸方向に
    おける前記テンプレート画像の幅の範囲毎に前記第２入
    力信号を走査して前記第２テンプレート信号と前記第２
    入力信号とを比較し、前記第２テンプレート信号と前記
    第２入力信号との相関を示す第２相関値を算出するステ
    ップを有し、前記第２相関値に基づいて、前記第２軸第
    １部分を検出することを特徴とする請求項１又は２に記
    載の画像マッチング方法。
  11. 【請求項１１】 前記第１軸第１部分検出ステップは、
    前記第１相関値が極大値を示す前記第１軸上の座標を前
    記第１軸第１部分として検出し、 前記第２軸第１部分検出ステップは、前記第２相関値が
    極大値を示す前記第２軸上の座標を前記第２軸第１部分
    として検出することを特徴とする請求項１０に記載の画
    像マッチング方法。
  12. 【請求項１２】 前記第１軸第１部分検出ステップは、
    前記第１相関値が極大値を示す前記座標中で、前記極大
    値が所定のしきい値より大きい座標を前記第１軸第１部
    分として検出し、 前記第２軸第１部分検出ステップは、前記第２相関値が
    極大値を示す前記座標中で、前記極大値が所定のしきい
    値より大きい座標を前記第２軸第１部分として検出する
    ことを特徴とする請求項１０に記載の画像マッチング方
    法。
  13. 【請求項１３】 前記第１軸第２部分検出ステップは、
    前記第１軸方向における前記テンプレート画像の幅の範
    囲毎に前記第３入力信号を走査して前記第１テンプレー
    ト信号と前記第３入力信号とを比較し、前記第１テンプ
    レート信号と前記第３入力信号との相関を示す第３相関
    値を算出するステップを有し、前記第３相関値に基づい
    て、前記第１軸第２部分を検出することを特徴とする請
    求項１に記載の画像マッチング方法。
  14. 【請求項１４】 前記第１軸第２部分検出ステップは、
    前記第１軸方向における前記テンプレート画像の幅の範
    囲毎に前記第３入力信号を走査して前記第１テンプレー
    ト信号と前記第３入力信号とを比較し、前記第１テンプ
    レート信号と前記第３入力信号との相関を示す第３相関
    値を算出するステップを有し、前記第３相関値に基づい
    て、前記第１軸第２部分を検出し、前記第２軸第２部分
    検出ステップは、前記第２軸方向における前記テンプレ
    ート画像の幅の範囲毎に前記第４入力信号を走査して前
    記第２テンプレート信号と前記第４入力信号とを比較
    し、前記第２テンプレート信号と前記第４入力信号との
    相関を示す第４相関値を算出するステップを有し、前記
    第４相関値に基づいて、前記第２軸第２部分を検出する
    ことを特徴とする請求項２に記載の画像マッチング方
    法。
  15. 【請求項１５】 予め与えられたテンプレート画像に近
    似した近似部分領域を入力画像から検出する画像マッチ
    ング装置であって、 前記入力画像の画素値を前記第１軸及び前記第１軸に実
    質的に垂直な前記第２軸にそれぞれ投影した第１入力信
    号及び第２入力信号を形成する入力信号形成手段と、 前記テンプレート画像の画素値を前記第１軸に投影した
    第１テンプレート信号と前記第１入力信号とに基づい
    て、前記第１軸方向における前記近似部分領域を含む第
    １軸第１部分を検出する第１軸第１部分検出手段と、 前記テンプレート画像の画素値を前記第２軸に投影した
    第２テンプレート信号と前記第２入力信号とに基づい
    て、前記第２軸方向における前記近似部分領域を含む第
    ２軸第１部分を検出する第２軸第１部分検出手段と、 前記第１軸第１部分及び前記第２軸第１部分により特定
    される前記入力画像における候補領域画像の画素値を前
    記第１軸に投影した第３入力信号を形成する候補領域信
    号形成手段と、 前記第１テンプレート信号と前記第３入力信号とに基づ
    いて、前記第１軸方向における前記近似部分領域を含む
    第１軸第２部分を検出する第１軸第２部分検出手段とを
    備えることを特徴とする画像マッチング装置。
  16. 【請求項１６】 前記候補領域信号形成手段は、前記候
    補領域画像の画素値を前記第２軸に投影した第４入力信
    号を形成し、 画像マッチング装置は、前記第２テンプレート信号と前
    記第４入力信号とに基づいて、前記第２軸方向における
    前記近似部分領域を含む第２軸第２部分を検出する第２
    軸第２部分検出手段をさらに備えることを特徴とする請
    求項１５に記載の画像マッチング装置。
  17. 【請求項１７】 前記テンプレート画像の画素値を当該
    テンプレート画像の前記第１軸及び前記第２軸にそれぞ
    れ投影した第１テンプレート信号及び第２テンプレート
    信号を形成するテンプレート信号形成手段をさらに備え
    ることを特徴とする請求項１５又は１６に記載の画像マ
    ッチング装置。
  18. 【請求項１８】 ウェハに回路パターンを露光するウェ
    ハ処理装置であって、 前記ウェハに設けられたマークを含む画像を入力画像と
    して取得する入力画像取得手段と、 テンプレート画像を記憶する記憶手段と、 前記記憶手段に記憶された前記テンプレート画像の画素
    値を当該画像の第１軸及び前記第１軸に実質的に垂直な
    第２軸にそれぞれ投影した第１テンプレート信号及び第
    ２テンプレート信号を形成するテンプレート信号形成手
    段と、 前記入力画像の画素値を前記第１軸及び前記第２軸にそ
    れぞれ投影した第１入力信号及び第２入力信号を形成す
    る入力信号形成手段と、 前記第１テンプレート信号及び前記第１入力信号に基づ
    いて、前記第１軸方向における前記テンプレート画像を
    含む第１軸第１部分を検出する第１軸第１部分検出手段
    と、 前記第２テンプレート信号及び前記第２入力信号とに基
    づいて、前記第２軸方向における前記テンプレート画像
    を含む第２軸第１部分を検出する第２軸第１部分検出手
    段と、 前記第１軸第１部分及び前記第２軸第１部分により特定
    される前記入力画像における候補領域画像の画素値を前
    記第１軸に投影した第３入力信号を形成する候補領域信
    号形成手段と、 前記第１テンプレート信号及び前記第３入力信号に基づ
    いて、前記第１軸方向における前記テンプレート画像を
    含む第１軸第２部分を検出する第１軸第２部分検出手段
    と、 前記第１軸第１部分により特定される前記入力画像にお
    ける決定領域画像を前記テンプレート画像とマッチング
    し、前記ウェハにおける前記マークの位置に基づいて前
    記ウェハの位置を検出するマッチング手段と、 前記検出された前記ウェハの位置に基づいて、前記ウェ
    ハを移動させる移動手段とを備えることを特徴とするウ
    ェハ処理装置。
  19. 【請求項１９】 前記候補領域信号形成手段は、前記候
    補領域画像の画素値を前記第２軸に投影した第４入力信
    号を形成し、 ウェハ処理装置は、前記第２テンプレート信号と前記第
    ４入力信号とに基づいて、前記第２軸方向における前記
    近似部分領域を含む第２軸第２部分を検出する第２軸第
    ２部分検出手段をさらに備えることを特徴とする請求項
    １８に記載のウェハ処理装置。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4616120B2 (ja) * 2005-08-08 2011-01-19 株式会社日立ハイテクノロジーズ 画像処理装置及び検査装置
JP4834567B2 (ja) * 2006-03-29 2011-12-14 株式会社アドバンテスト パターン測定装置及びパターン測定方法
JP4470930B2 (ja) * 2006-09-21 2010-06-02 ソニー株式会社 画像処理装置、画像処理方法、及び、プログラム
JP5254270B2 (ja) * 2010-04-09 2013-08-07 株式会社ニューフレアテクノロジー 検査方法および検査装置
CN105447845B (zh) * 2014-08-25 2019-01-15 联想(北京)有限公司 一种数据处理方法及电子设备
US9740918B1 (en) * 2015-05-20 2017-08-22 Amazon Technologies, Inc. Detecting objects in multiple images using integral images
US9740919B1 (en) * 2015-05-20 2017-08-22 Amazon Technologies, Inc. Detecting objects in multiple images using integral images

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DD158824A1 (de) * 1980-11-03 1983-02-02 Adelbrecht Schorcht Anordnung zur automatischen justierung mindestens eines gegenstandes
JPS6281036A (ja) * 1985-10-04 1987-04-14 Hitachi Ltd パタ−ン認識方法
JP2851023B2 (ja) * 1992-06-29 1999-01-27 株式会社鷹山 Ｉｃの傾き検査方法
US5859923A (en) * 1992-12-29 1999-01-12 Cognex Corporation Mark quality inspection apparatus and method
JPH07152912A (ja) * 1993-12-01 1995-06-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd パターンマッチング方法
JP3555230B2 (ja) * 1994-05-18 2004-08-18 株式会社ニコン 投影露光装置
US5661548A (en) * 1994-11-30 1997-08-26 Nikon Corporation Projection exposure method and apparatus including a changing system for changing the reference image-formation position used to generate a focus signal
US5862305A (en) * 1996-09-26 1999-01-19 Xerox Corporation Logic filters for resolution conversion of digital images
US5758034A (en) * 1996-09-26 1998-05-26 Xerox Corporation Video path architecture including logic filters for resolution conversion of digital images
JP3524819B2 (ja) * 1999-07-07 2004-05-10 株式会社日立製作所 画像比較によるパターン検査方法およびその装置

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