JP2002229205A - 着色感光性樹脂組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 着色剤（Ａ）を高濃度で含有させても、耐溶
剤性に優れた着色パターンを形成しうる感光性樹脂組成
物を提供する。 【解決手段】 一般式（１） 〔式中、Ｒ¹は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ²は炭
素数１〜２０のアルキレン基を示し、Ｒ³は炭素数１〜
２０のアルキリデン基または炭素数３〜２０のシクロア
ルキリデン基を示す。〕で示される化合物および該化合
物と共重合可能な他の化合物の共重合体（Ｂ）、光重合
性化合物（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）を含有する感
光性樹脂組成物。この感光性樹脂組成物をパターンニン
グして着色パターンの形成し、カラーフィルターを製造
できる。カラーフィルターの表面にこの感光性樹脂組成
物からなる層を形成し、該層の前面に亙って光線を照射
して保護層を形成することもできる。この感光性樹脂組
成物をパターンニングしてスペーサを形成することもで
きる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、感光性樹脂組成物
に関する。

【０００２】

【従来の技術】着色剤を含有していて着色している感光
性樹脂組成物（レジスト）は着色感光性樹脂組成物（カ
ラーレジスト）とも呼ばれていて、カラーフィルター
（６）を構成する着色パターン（５）を形成するための
原材料として有用である。ここで、カラーフィルターと
は、例えばカラー液晶表示装置に組み込まれて表示画像
をカラー化するために用いられたり、カラー固体撮像素
子に組み込まれてカラー画像を得るために用いられるフ
ィルターである。また、着色パターンとは、例えば色画
素（５Ｒ、５Ｇ、５Ｂ）、ブラックマトリックス（５Ｂ
Ｍ）などである。色画素は着色された透明な層である。
ブラックマトリックスは、光を遮蔽する層である。これ
ら色画素およびブラックマトリックスは通常、基板
（２）上に形成されて、カラーフィルター（６）を構成
する（図１(a)）。ここで、色画素（５Ｒ、５Ｇ、５
Ｒ）は透明で着色されているので、これを透過した光は
それぞれの色画素の色を呈する。また、ブラックマトリ
ックス（５ＢＭ）は、光を遮蔽する層であり、黒色に見
える。

【０００３】着色感光性組成物としては、例えばバイン
ダーポリマー（Ｂ’）、光重合性化合物（Ｃ）および光
重合開始剤（Ｄ）を含有する感光性樹脂組成物に、着色
剤（Ａ）を含有させたものが知られており、バインダー
ポリマー（Ｂ’）としてはアルカリ可溶性樹脂が通常用
いられている。

【０００４】かかる着色感光性樹脂組成物を用いてカラ
ーフィルターを製造する方法としては、例えば着色感光
性樹脂組成物からなる層（１）を基板（２）の表面に形
成し（図２(a)）、該層（１）を露光したのち（図２
(b)）、現像する方法が知られている。着色感光性樹脂
組成物層（１）のうち、露光において光線（４）が照射
されなかった未照射領域（１１）は、次の現像で除去さ
れる。その一方で、露光において光線（４）が照射され
た照射領域（１２）は、次の現像で除去されることなく
残って着色パターン（５）を形成する（図２(c)）。形
成された着色パターン（５）の機械的強度を向上するた
めに、現像後、通常は加熱処理が行われている。

【０００５】着色感光性樹脂組成物に含まれる着色剤
（Ａ）の色を替えて基板（２）の表面に着色感光性樹脂
組成物層（１’）を再び形成し（図３(a)）、該層
（１’）を露光したのち（図３(b)）、現像することに
よって（図３(c)）、着色パターン（５’）を形成する
ことができる。

【０００６】着色感光性樹脂組成物に含まれる顔料
（Ｂ）の色を替えながら上記操作を繰り返し行うことに
よって（図４）、着色パターン（５、５’、５”）を順
次形成することができる。

【０００７】かくして得られたカラーフィルター（６）
は、その表面に保護層（７）が形成されることもある。
カラーフィルター(６)の表面に保護層（７）を形成する
ことにより、カラーフィルターを保護することができ
る。保護層としては、透明で無着色のものが好ましく、
例えばバインダーポリマー（Ｂ’）、光重合性化合物
（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）を含有する感光性樹脂
組成物からなる層（１）をカラーフィルター（６）の表
面に形成した後、光線を全面に照射する方法により形成
することができる。

【０００８】また、カラーフィルター（６）にスペーサ
（８）が形成されることもある（図１(c)）。スペーサ
（８）は、例えばバインダーポリマー（Ｂ’）、光重合
性化合物（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）を含有する感
光性樹脂組成物からなる層（１）をカラーフィルター
（６）の表面に形成した後、該層（１）にフォトマスク
（３）を介して光線（４）を照射して露光したのち、現
像する方法により形成することができ、現像後、通常は
加熱処理が行なわれている。

【０００９】かかるカラーフィルター（６）を構成する
着色パターン（５）は、その厚みが薄いものが好まし
い。厚みが薄くても充分に着色された着色パターンを得
るためには、着色剤（Ａ）を高濃度で含有する着色感光
性組成物を使用すればよい。しかし、従来のバインダー
ポリマー（Ｂ’）を含有する感光性樹脂組成物に高濃度
で着色剤（Ａ）を含有させた着色感光性樹脂組成物は、
これを用いて形成される着色パターン（５）の耐溶剤性
が低下するという問題があった。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】そこで本発明者は、着
色剤（Ａ）を高濃度で含有させても、耐溶剤性に優れた
着色パターンを形成しうる感光性樹脂組成物を開発する
べく鋭意検討した結果、一般式（１） 〔式中、Ｒ¹は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ²は炭
素数１〜２０のアルキレン基を示し、Ｒ³は炭素数１〜
２０のアルキリデン基または炭素数３〜２０のシクロア
ルキリデン基を示す。〕で示される化合物（以下、化合
物（１）とする。）および該化合物と共重合可能な他の
化合物（以下、化合物（２）とする。）の共重合体
（Ｂ）をバインダーポリマー（Ｂ’）として含有する着
色感光性樹脂組成物を用いて形成される着色パターン
は、着色剤を高濃度で含有していても耐溶剤性に優れて
いることを見出し、本発明に至った。

【００１１】

【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、化合
物（１）および化合物（２）の共重合体（Ｂ）、光重合
性化合物（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）を含有する感
光性樹脂組成物を提供するものである。

【００１２】

【発明の実施の形態】共重合体（Ｂ）は化合物（１）お
よび化合物（２）の共重合体である。化合物（１）にお
いて、一般式（１）におけるＲ²で示される炭素数１〜
２０のアルキレン基としては、例えばメチレン基、ジメ
チレン基、トリメチレン基などが挙げられる。

【００１３】Ｒ³における炭素数１〜２０のアルキリデ
ン基としては、例えばメチリデン基、エチリデン基、プ
ロピリデン基、メチルプロピリデン基、ブチリデン基、
ペンチリデン基などが、炭素数３〜２０のシクロアルキ
リデン基としては、例えばシクロペンチリデン基、シク
ロヘキシリデン基などが挙げられる。

【００１４】かかる共重合体（Ｂ）としては、例えばア
クリル酸２−（Ｏ−［１’−メチリデンアミノ］カルボ
キシアミノ）メチル、アクリル酸２−（Ｏ−［１’−メ
チリデンアミノ］カルボキシアミノ）エチル、アクリル
酸２−（Ｏ−［１’−メチリデンアミノ］カルボキシア
ミノ）プロピル、アクリル酸２−（Ｏ−［１’−エチリ
デンアミノ］カルボキシアミノ）メチル、アクリル酸２
−（Ｏ−［１’−エチリデンアミノ］カルボキシアミ
ノ）エチル、アクリル酸２−（Ｏ−［１’−エチリデン
アミノ］カルボキシアミノ）プロピル、アクリル酸２−
（Ｏ−［１’−プロピリデンアミノ］カルボキシアミ
ノ）メチル、アクリル酸２−（Ｏ−［１’−プロピリデ
ンアミノ］カルボキシアミノ）エチル、アクリル酸２−
（Ｏ−［１’−プロピリデンアミノ］カルボキシアミ
ノ）プロピル、アクリル酸２−（Ｏ−［１’−メチルプ
ロピリデンアミノ］カルボキシアミノ）メチル、アクリ
ル酸２−（Ｏ−［１’−メチルプロピリデンアミノ］カ
ルボキシアミノ）エチル、アクリル酸２−（Ｏ−［１’
−メチルプロピリデンアミノ］カルボキシアミノ）プロ
ピル、アクリル酸２−（Ｏ−［１’−シクロヘキシリデ
ンアミノ］カルボキシアミノ）メチル、アクリル酸２−
（Ｏ−［１’−シクロヘキシリデンアミノ］カルボキシ
アミノ）エチル、アクリル酸２−（Ｏ−［１’−シクロ
ヘキシリデンアミノ］カルボキシアミノ）プロピル、

【００１５】メタクリル酸２−（Ｏ−［１’−メチリデ
ンアミノ］カルボキシアミノ）メチル、メタクリル酸２
−（Ｏ−［１’−メチリデンアミノ］カルボキシアミ
ノ）エチル、メタクリル酸２−（Ｏ−［１’−メチリデ
ンアミノ］カルボキシアミノ）プロピル、メタクリル酸
２−（Ｏ−［１’−エチリデンアミノ］カルボキシアミ
ノ）メチル、メタクリル酸２−（Ｏ−［１’−エチリデ
ンアミノ］カルボキシアミノ）エチル、メタクリル酸２
−（Ｏ−［１’−エチリデンアミノ］カルボキシアミ
ノ）プロピル、メタクリル酸２−（Ｏ−［１’−プロピ
リデンアミノ］カルボキシアミノ）メチル、メタクリル
酸２−（Ｏ−［１’−プロピリデンアミノ］カルボキシ
アミノ）エチル、メタクリル酸２−（Ｏ−［１’−プロ
ピリデンアミノ］カルボキシアミノ）プロピル、メタク
リル酸２−（Ｏ−［１’−メチルプロピリデンアミノ］
カルボキシアミノ）メチル、メタクリル酸２−（Ｏ−
［１’−メチルプロピリデンアミノ］カルボキシアミ
ノ）エチル〔「カレンズＭＯＩ−ＢＭ」（昭和電工(株)
製）として市販されている〕、メタクリル酸２−（Ｏ−
［１’−メチルプロピリデンアミノ］カルボキシアミ
ノ）プロピル、メタクリル酸２−（Ｏ−［１’−シクロ
ヘキシリデンアミノ］カルボキシアミノ）メチル、メタ
クリル酸２−（Ｏ−［１’−シクロヘキシリデンアミ
ノ］カルボキシアミノ）エチル、メタクリル酸２−（Ｏ
−［１’−シクロヘキシリデンアミノ］カルボキシアミ
ノ）プロピルなどが挙げられ、これらはそれぞれ単独で
または２種以上を組み合わせて用いられる。

【００１６】化合物（２）は、化合物（１）と共重合可
能な化合物であって、例えば重合性炭素−炭素不飽和結
合を有する化合物が挙げられる。かかる化合物は、例え
ばカルボキシル基を有する化合物（以下、化合物（２−
１）とする。）であってもよい。

【００１７】化合物（２−１）としては、例えばアクリ
ル酸、メタクリル酸、クロトン酸などの分子中に１個の
カルボキシル基を有する化合物である不飽和モノカルボ
ン酸類、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸などの分子
中に２個のカルボキシル基を有する化合物である不飽和
ジカルボン酸類などのような、分子中に１個以上のカル
ボキシル基を有する不飽和カルボン酸類などが挙げられ
る。

【００１８】化合物（２）は、例えばスチレン、α−メ
チルスチレン、ビニルトルエンなどの芳香族ビニル化合
物、メチルアクリレート、エチルアクリレート、ブチル
アクリレート、２−ヒドロキシエチルアクリレート、ベ
ンジルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルメ
タクリレート、ブチルメタクリレート、２−ヒドロキシ
エチルメタクリレート、ベンジルメタクリレートなどの
不飽和カルボン酸エステル類、アミノエチルアクリレー
トなどの不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類、
グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレートな
どの不飽和カルボン酸グリシジルエステル類、オキセタ
ン骨格を有するオキセチル（メタ）アクリレート化合
物、酢酸ビニル、プロピオン酸ビニルなどのカルボン酸
ビニルエステル類、アクリロニトリル、メタクリロニト
リル、α−クロロアクリロニトリルなどのシアン化ビニ
ル化合物、Ｎ−フェニルマレイミドなどのＮ−置換マレ
イミド化合物などであってもよい。

【００１９】化合物（２）はそれぞれ単独でまたは２種
以上を組み合わせて用いられる。

【００２０】共重合体（Ｂ）は、かかる化合物（１）お
よび化合物（２）の共重合体であるが、該共重合体にお
いて、化合物（１）から導かれる単量体単位の含有量は
質量分率で通常３％以上、好ましくは５％以上であり、
通常９５％以下、好ましくは９０％以下である。また、
化合物（２）として化合物（２−１）を用いる場合、共
重合体における、該化合物（２−１）から導かれる単量
体単位の含有量は質量分率で通常５％以上、好ましくは
１０％以上であり、通常５０％以下、好ましくは４０％
以下である。

【００２１】かかる共重合体（Ｂ）としては、例えばメ
タクリル酸２−（Ｏ−［１’−メチルプロピリデンアミ
ノ］カルボキシアミノ）エチル／ベンジルメタクリレー
ト／メタクリル酸共重合体、メタクリル酸２−（Ｏ−
［１’−メチルプロピリデンアミノ］カルボキシアミ
ノ）エチル／ベンジルメタクリレート／メタクリル酸／
スチレン共重合体などが挙げられる。

【００２２】共重合体（Ｂ）は、重量平均分子量（Ｍ
ｗ）が３０００以上、さらには１００００以上であるこ
とが好ましく、また４０００００以下、さらには３００
０００以下の範囲であることが好ましい、ここでＭｗは
ポリスチレンを標準としてゲルパーミエーションクロマ
トグラフィー（ＧＰＣ）によって求められる値である。

【００２３】共重合体（Ｂ）は、例えば化合物（１）お
よび化合物（２）を共重合させる方法により製造するこ
とができる。化合物(１)および化合物（２）を共重合さ
せるには、例えば溶媒中で重合開始剤とともに化合物
（１）および化合物（２）を混合すればよい。共重合
後、得られた共重合体（Ｂ）は、共重合後の反応混合物
から取り出されてもよいし、反応混合物から取り出すこ
となく、該反応混合物に含有されたままで感光性樹脂組
成物の製造に用いられてもよい。

【００２４】かかる本発明の共重合体は、一般式（１−
１） 〔式中、Ｒ¹、Ｒ²およびＲ³はそれぞれ前記と同じ意味
を示す。〕で示される構造単位を有している。

【００２５】共重合体（Ｂ）、光重合性化合物（Ｃ）お
よび光重合開始剤（Ｄ）を含有する組成物は、感光性樹
脂組成物として有用である。かかる感光性樹脂組成物に
おける本発明の共重合体（Ｂ）の含有量は、感光性樹脂
組成物の全固形分に対して質量分率で通常５％以上、好
ましくは２０％以上であり、通常９０％以下、好ましく
は７０％以下である。

【００２６】光重合性化合物（Ｃ）は、光を照射される
ことによって光重合開始剤（Ｄ）から発生した活性ラジ
カル、酸などによって重合し得る化合物であって、例え
ば重合性炭素−炭素不飽和結合を有する化合物が挙げら
れる。かかる化合物は、単官能の光重合性化合物であっ
てもよいし、２官能または３官能以上の多官能の光重合
性化合物であってもよい。

【００２７】単官能光重合性化合物としては、例えばノ
ニルフェニルカルビトールアクリレート、２−ヒドロキ
シ−３−フェノキシプロピルアクリレート、２−エチル
ヘキシルカルビトールアクリレート、２−ヒドロキシエ
チルアクリレート、Ｎ−ビニルピロリドンなどが挙げら
れる。２官能光重合性化合物としては、例えば１，６−
ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、エチレング
リコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコ
ールジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコール
ジ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡのビス（ア
クリロイロキシエチル）エーテル、３−メチルペンタン
ジオールジ（メタ）アクリレートなどが挙げられる。３
官能以上の多官能光重合性化合物としては、例えばトリ
メチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタ
エリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリ
スリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリ
スリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリ
スリトールヘキサ（メタ）アクリレートなどが挙げられ
る。

【００２８】かかる光重合性化合物はそれぞれ単独でま
たは２種以上を組み合わせて用いられるが、２官能以上
の多官能光重合性化合物が好ましく用いられ、２種以上
の光重合性化合物を用いる場合には１種以上の多官能光
重合性化合物を用いることが好ましい。

【００２９】感光性樹脂組成物における光重合性化合物
（Ｃ）の含有量は、共重合体（Ｂ）および光重合性化合
物（Ｃ）の合計量１００質量部あたり通常０．１質量部
以上、好ましくは１質量部以上であり、通常７０質量部
以下、６０質量部以下である。

【００３０】光重合開始剤（Ｄ）は、光を照射されるこ
とによって活性ラジカルを発生する活性ラジカル発生
剤、光を照射されることによって酸を発生する酸発生剤
などが挙げられ、例えば活性ラジカル発生剤としては、
アセトフェノン系光重合開始剤、ベンゾイン系光重合開
始剤、ベンゾフェノン系光重合開始剤、チオキサントン
系光重合開始剤、トリアジン系光重合開始剤などが挙げ
られる。

【００３１】アセトフェノン系光重合開始剤としては、
例えばジエトキシアセトフェノン、２−ヒドロキシ−２
−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、ベンジル
ジメチルケタール、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−
〔４−（２−ヒドロキシエトキシ）フェニル〕プロパン
−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケ
トン、２−メチル−２−モルホリノ−１−（４−メチル
チオフェニル）プロパン−１−オン、２−ベンジル−２
−ジメチルアミノ−１−（４−モルホリノフェニル）ブ
タン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−
〔４−（１−メチルビニル）フェニル〕プロパン−１−
オンのオリゴマーなどが挙げられる。ベンゾイン系光重
合開始剤としては、例えばベンゾイン、ベンゾインメチ
ルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイ
ソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルな
どが挙げられる。

【００３２】ベンゾフェノン系光重合開始剤としては、
例えばベンゾフェノン、ｏ−ベンゾイル安息香酸メチ
ル、４−フェニルベンゾフェノン、４−ベンゾイル−
４’−メチルジフェニルサルファイド、３，３’，４，
４’−テトラ（ｔｅｒｔ−ブチルパーオキシカルボニ
ル）ベンゾフェノン、２，４，６−トリメチルベンゾフ
ェノンなどが挙げられる。

【００３３】チオキサントン系光重合開始剤としては、
例えば２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロ
ピルチオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン
〔商品名「ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ−Ｓ」として日
本化薬(株)より市販されている。〕、２，４−ジクロロ
チオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサ
ントンなどが挙げられる。

【００３４】トリアジン系光重合開始剤としては、例え
ば２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メト
キシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビ
ス（トリクロロメチル）−６−（４−メトキシナフチ
ル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリク
ロロメチル）−６−ピペロニル−１，３，５−トリアジ
ン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（４−メ
トキシスチリル）−１，３，５−トリアジン、２，４−
ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−（５−メチルフ
ラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリアジ
ン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−
（フラン−２−イル）エテニル〕−１，３，５−トリア
ジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−〔２−
（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニ
ル〕−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリク
ロロメチル）−６−〔２−（３，４−ジメトキシフェニ
ル）エテニル〕−１，３，５−トリアジンなどが挙げら
れる。

【００３５】活性ラジカル発生剤として、例えば２，
４，６−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオ
キサイド、２，２’−ビス（ｏ−クロロフェニル）−
４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイ
ミダゾール、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、２
−エチルアントラキノン、ベンジル、９，１０−フェナ
ンスレンキノン、カンファーキノン、フェニルグリオキ
シル酸メチル、チタノセン化合物などを用いることもで
きる。活性ラジカル発生剤として、市販のものを用いる
こともできる。市販の光重合開始剤としては、例えば商
品名「Ｉｒｇａｃｕｒｅ−９０７」（アセトフェノン系
光重合開始剤、ＣＩＢＡ−ＧＥＩＧＹ社製）などが挙げ
られる。

【００３６】酸発生剤としては、例えば４−ヒドロキシ
フェニルジメチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナー
ト、４−ヒドロキシフェニルジメチルスルホニウムヘキ
サフルオロアンチモネート、４−アセトキシフェニルジ
メチルスルホニウムｐ−トルエンスルホナート、４−ア
セトキシフェニル・メチル・ベンジルスルホニウムヘキ
サフルオロアンチモネート、トリフェニルスルホニウム
ｐ−トルエンスルホナート、トリフェニルスルホニウム
ヘキサフルオロアンチモネート、ジフェニルヨードニウ
ムｐ−トルエンスルホナート、ジフェニルヨードニウム
ヘキサフルオロアンチモネートなどのオニウム塩類や、
ニトロベンジルトシレート類、ベンゾイントシレート類
などを挙げることができる。また、活性ラジカル発生剤
として上記した化合物の中には、活性ラジカルと同時に
酸を発生する化合物もあり、例えばトリアジン系光重合
開始剤は、酸発生剤としても使用され得る。

【００３７】これらの光重合開始剤はそれぞれ単独でま
たは２種以上を組み合わせて用いることができる。

【００３８】本発明の着色感光性組成物は、光重合開始
助剤を含有していてもよい。光重合開始助剤は、光重合
開始剤と組み合わせて、光重合開始剤によって開始した
光重合性化合物（Ｃ）の重合を促進するために用いられ
る化合物である。光重合開始助剤としては、例えばアミ
ン系光重合開始助剤、アルコキシアントラセン系光重合
開始助剤などが挙げられる。

【００３９】アミン系光重合開始助剤としては、例えば
トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、ト
リイソプロパノールアミン、４−ジメチルアミノ安息香
酸メチル、４−ジメチルアミノ安息香酸エチル、４−ジ
メチルアミノ安息香酸イソアミル、安息香酸２−ジメチ
ルアミノエチル、４−ジメチルアミノ安息香酸２−エチ
ルヘキシル、Ｎ，Ｎ−ジメチルパラトルイジン、４，
４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（通称ミ
ヒラーズケトン）、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）
ベンゾフェノン、４，４’−ビス（エチルメチルアミ
ノ）ベンゾフェノンなどが挙げられる。

【００４０】アルコキシアントラセン系光重合開始助剤
としては、例えば９，１０−ジメトキシアントラセン、
２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９，
１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０
−ジエトキシアントラセンなどが挙げられる。

【００４１】光重合開始助剤として市販のものを用いる
こともでき、市販の光重合開始助剤としては、例えば商
品名「ＥＡＢ−Ｆ」（保土谷化学工業(株)製）などが挙
げられる。かかる光重合開始助剤を用いる場合、その含
有量は光重合開始剤１モルあたり通常１０モル以下、好
ましくは０．０１モル以上５モル以下である。

【００４２】感光性樹脂組成物における光重合開始剤
（Ｄ）および光重合開始助剤の含有量は、光重合開始剤
（Ｄ）および光重合開始助剤の合計量が共重合体（Ｂ）
および光重合性化合物（Ｃ）の合計量１００質量部に対
して通常３質量部以上、好ましくは５質量部以上であ
り、通常３０質量部以下、好ましくは２５質量部以下で
ある。

【００４３】かかる感光性樹脂組成物は、溶剤（Ｅ）で
希釈されていてもよい。溶剤としては、通常の感光性組
成物に用いられると同様の溶剤が用いられ、例えばエチ
レングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコー
ルモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピ
ルエーテルおよびエチレングリコールモノブチルエーテ
ルなどのエチレングリコールモノアルキルエーテル類、
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレング
リコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプ
ロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテ
ルなどのジエチレングリコールジアルキルエーテル類、

【００４４】メチルセロソルブアセテート、エチルセロ
ソルブアセテートなどのエチレングリコールアルキルエ
ーテルアセテート類、プロピレングリコールモノメチル
エーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチル
エーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピ
ルエーテルアセテート、メトキシブチルアセテート、メ
トキシペンチルアセテートなどのアルキレングリコール
アルキルエーテルアセテート類、

【００４５】ベンゼン、トルエン、キシレンなどの芳香
族炭化水素類、メチルエチルケトン、アセトン、メチル
アミルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサ
ノンなどのケトン類、エタノール、プロパノール、ブタ
ノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレン
グリコール、グリセリンなどのアルコール類、３−エト
キシプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メ
チルなどのエステル類、γ−ブチロラクトンなどの環状
エステル類などが挙げられる。

【００４６】かかる溶剤は、それぞれ単独でまたは２種
類以上を組み合わせて用いることができ、溶剤で希釈さ
れた状態の感光性組成物における溶剤の含有量が質量分
率で通常５０％以上、好ましくいは６０％以上、通常９
０％以下、好ましくは８５％以下となるように使用され
る。

【００４７】感光性樹脂組成物は、添加剤（Ｆ）を含有
していてもよい。添加剤としては、例えば充填剤、バイ
ンダーポリマー（Ａ）以外の高分子化合物、顔料分散
剤、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収
剤、凝集防止剤、有機酸、有機アミノ化合物、硬化剤な
どが挙げられる。

【００４８】充填剤としては、例えばガラス、アルミナ
などが挙げられる。高分子化合物としては、例えばポリ
ビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリ
コールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアク
リレートなどが挙げられる。界面活性剤としては、例え
ばノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニ
オン系界面活性剤などが挙げられる。

【００４９】密着促進剤としては、例えばビニルトリメ
トキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリ
ス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノ
エチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラ
ン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルト
リメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシ
ラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、
３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２
−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメト
キシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラ
ン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタ
クリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプ
トプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。

【００５０】酸化防止剤としては、例えば２，２−チオ
ビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，
６−ジ−ｔ−ブチルフェノールなどが挙げられる。紫外
線吸収剤としては、例えば２−（３−ｔ−ブチル−５−
メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾ
トリアゾール、アルコキシベンゾフェノンなどが挙げら
れる。凝集防止剤としては、例えばポリアクリル酸ナト
リウムなどが挙げられる。

【００５１】有機酸としては、例えばぎ酸、酢酸、プロ
ピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエ
チル酢酸、エナント酸、カプリル酸などの脂肪族モノカ
ルボン酸類、しゅう酸、マロン酸、こはく酸、グルタル
酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン
酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチル
マロン酸、ジメチルマロン酸、メチルこはく酸、テトラ
メチルこはく酸、シクロヘキサンジカルボン酸、イタコ
ン酸、シトラコン酸、マレイン酸、フマル酸、メサコン
酸などの脂肪族ジカルボン酸類、トリカルバリル酸、ア
コニット酸、カンホロン酸などの脂肪族トリカルボン酸
類、安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メ
シチレン酸などの芳香族モノカルボン酸類、フタル酸、
イソフタル酸、テレフタル酸などの芳香族ジカルボン酸
類、トリメリット酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピ
ロメリット酸などの芳香族ポリカルボン酸類などが挙げ
られる。

【００５２】有機アミノ化合物としては、例えばｎ―プ
ロピルアミン、ｉ−プロピルアミン、ｎ−ブチルアミ
ン、ｉ−ブチルアミン、ｓｅｃ−ブチルアミン、ｔ−ブ
チルアミン、ｎ−ペンチルアミン、ｎ−ヘキシルアミ
ン、ｎ−ヘプチルアミン、ｎ−オクチルアミン、ｎ−ノ
ニルアミン、ｎ−デシルアミン、ｎ−ウンデシルアミ
ン、ｎ−ドデシルアミン、シクロヘキシルアミン、２−
メチルシクロヘキシルアミン、３−メチルシクロヘキシ
ルアミン、４−メチルシクロヘキシルアミンなどのモノ
（シクロ）アルキルアミン類、メチルエチルアミン、ジ
エチルアミン、メチルｎ−プロピルアミン、エチルｎ−
プロピルアミン、ジｎ−プロピルアミン、ジｉ−プロピ
ルアミン、ジｎ−ブチルアミン、ジｉ−ブチルアミン、
ジｓｅｃ−ブチルアミン、ジｔ−ブチルアミン、ジｎ−
ペンチルアミン、ジｎ−ヘキシルアミン、メチルシクロ
ヘキシルアミン、エチルシクロヘキシルアミン、ジシク
ロヘキシルアミンなどのジ（シクロ）アルキルアミン
類、ジメチルエチルアミン、メチルジエチルアミン、ト
リエチルアミン、ジメチルｎ−プロピルアミン、ジエチ
ルｎ−プロピルアミン、メチルジｎ−プロピルアミン、
エチルジｎ−プロピルアミン、トリｎ−プロピルアミ
ン、トリｉ−プロピルアミン、トリｎ−ブチルアミン、
トリｉ−ブチルアミン、トリｓｅｃ−ブチルアミン、ト
リｔ−ブチルアミン、トリｎ−ペンチルアミン、トリｎ
−ヘキシルアミン、ジメチルシクロヘキシルアミン、ジ
エチルシクロヘキシルアミン、メチルジシクロヘキシル
アミン、エチルジシクロヘキシルアミン、トリシクロヘ
キシルアミンなどのトリ（シクロ）アルキルアミン類、
２−アミノエタノール、３−アミノ−１−プロパノー
ル、１−アミノ−２−プロパノール、４−アミノ−１−
ブタノール、５−アミノ−１−ペンタノール、６−アミ
ノ−１−ヘキサノール、４−アミノ−１−シクロヘキサ
ノールなどのモノ（シクロ）アルカノールアミン類、ジ
エタノールアミン、ジｎ−プロパノールアミン、ジｉ−
プロパノールアミン、ジｎ−ブタノールアミン、ジｉ−
ブタノールアミン、ジｎ−ペンタノールアミン、ジｎ−
ヘキサノールアミン、ジ（４−シクロヘキサノール）ア
ミンなどのジ（シクロ）アルカノールアミン類、トリエ
タノールアミン、トリｎ−プロパノールアミン、トリｉ
−プロパノールアミン、トリｎ−ブタノールアミン、ト
リｉ−ブタノールアミン、トリｎ−ペンタノールアミ
ン、トリｎ−ヘキサノールアミン、トリ（４−シクロヘ
キサノール）アミンなどのトリ（シクロ）アルカノール
アミン類、３−アミノ−１，２−プロパンジオール、２
−アミノ−１，３−プロパンジオール、４−アミノ−
１，２−ブタンジオール、４−アミノ−１，３−ブタン
ジオール、４−アミノ−１，２−シクロヘキサンジオー
ル、４−アミノ−１，３−シクロヘキサンジオール、３
−ジメチルアミノ−１，２−プロパンジオール、３−ジ
エチルアミノ−１，２−プロパンジオール、２−ジメチ
ルアミノ−１，３−プロパンジオール、２−ジエチルア
ミノ−１，３−プロパンジオールなどのアミノ（シク
ロ）アルカンジオール類、１−アミノシクロペンタノン
メタノール、４−アミノシクロペンタノンメタノール、
１−アミノシクロヘキサノンメタノール、４−アミノシ
クロヘキサノンメタノール、４−ジメチルアミノシクロ
ペンタンメタノール、４−ジエチルアミノシクロペンタ
ンメタノール、４−ジメチルアミノシクロヘキサンメタ
ノール、４−ジエチルアミノシクロヘキサンメタノール
などのアミノ基含有シクロアルカンメタノール類、β−
アラニン、２−アミノ酪酸、３−アミノ酪酸、４−アミ
ノ酪酸、２−アミノイソ酢酸、３−アミノイソ酢酸、２
−アミノ吉草酸、５−アミノ吉草酸、６−アミノカプロ
ン酸、１−アミノシクロプロパンカルボン酸、１−アミ
ノシクロヘキサンカルボン酸、４−アミノシクロヘキサ
ンカルボン酸などのアミノカルボン酸類、

【００５３】アニリン、ｏ−メチルアニリン、ｍ−メチ
ルアニリン、ｐ−メチルアニリン、ｐ−エチルアニリ
ン、ｐ−ｎ−プロピルアニリン、ｐ−ｉ−プロピルアニ
リン、ｐ−ｎ−ブチルアニリン、ｐ−ｔ−ブチルアニリ
ン、１−ナフチルアミン、２−ナフチルアミン、Ｎ，Ｎ
−ジメチルアニリン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアニリン、ｐ−
メチル−Ｎ，Ｎ−ジメチルアニリンなどの芳香族アミン
類、ｏ−アミノベンジルアルコール、ｍ−アミノベンジ
ルアルコール、ｐ−アミノベンジルアルコール、ｐ−ジ
メチルアミノベンジルアルコール、ｐ−ジエチルアミノ
ベンジルアルコールなどのアミノベンジルアルコール
類、ｏ−アミノフェノール、ｍ−アミノフェノール、ｐ
−アミノフェノール、ｐ−ジメチルアミノフェノール、
ｐ−ジエチルアミノフェノールなどのアミノフェノール
類、ｍ−アミノ安息香酸、ｐ−アミノ安息香酸、ｐ−ジ
メチルアミノ安息香酸、ｐ−ジエチルアミノ安息香酸な
どのアミノ安息香酸類などが挙げられる。

【００５４】硬化剤は、感光性樹脂組成物をパターンニ
ングする際に、現像後、加熱処理することによって、着
色パターンなどを硬化させてその機械的強度を向上する
ために用いられる。かかる硬化剤としては、例えばエポ
キシ化合物、オキセタン化合物、ジブチル錫ジラウレー
トなどが挙げられる。

【００５５】かかる感光性樹脂組成物は、カラーフィル
ター（６）の表面に形成される保護層（７）や、スペー
サー（８）などを形成するための原材料としても有用で
あるが（図１(b)、(c)）、着色剤（Ａ）を含有させるこ
とによって、着色パターン（５）を形成するための着色
感光性樹脂組成物として好適に使用することができる
（図１(a)）。

【００５６】着色剤（Ａ）は、有機物である有機着色剤
であってもよいし、無機物である無機着色剤であっても
よい。有機着色剤は、顔料であってもよいし、染料であ
ってもよいし、天然色素であってもよい。無機着色剤
は、金属酸化物、金属錯塩、硫酸バリウムの無機塩（体
質顔料）などの無機顔料であってもよい。かかる着色剤
のなかでも、耐熱性、発色性に優れる点で、有機着色
剤、さらには有機顔料が好ましく用いられる。

【００５７】有機顔料として具体的には、カラーインデ
ックス（The Society of Dyers andColourists出版）で
ピグメント（Pigment）に分類されている化合物が挙げ
られる。具体的にはＣ．Ｉ．ピグメントイエロー１、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイ
エロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３、Ｃ．
Ｉ．ピグメントイエロー１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエ
ロー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６、Ｃ．Ｉ．
ピグメントイエロー１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー
２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２４、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントイエロー３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー５
３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントイエロー８６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９３、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９４、Ｃ．Ｉ．ピグメント
イエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１０、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１７、Ｃ．Ｉ．ピグメン
トイエロー１２５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２
８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３７、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１
３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４７、Ｃ．Ｉ．ピ
グメントイエロー１４８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー
１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５３、Ｃ．Ｉ．
ピグメントイエロー１５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロ
ー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７３、

【００５８】Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、Ｃ．
Ｉ．ピグメントオレンジ３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレ
ンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８、Ｃ．Ｉ．
ピグメントオレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ
４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントオレンジ５１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５
５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５９、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントオレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４、
Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６５、Ｃ．Ｉ．ピグメント
オレンジ７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７３、

【００５９】Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド９、Ｃ．Ｉ．ピ
グメントレッド９７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１０
５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントレッド１２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４４、
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメント
レッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８、Ｃ．
Ｉ．ピグメントレッド１７６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッ
ド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８０、Ｃ．Ｉ．
ピグメントレッド１９２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２
１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１６、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４
２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ンレッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６５、

【００６０】Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．
ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー
１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．
Ｉ．ピグメントブルー６０、

【００６１】Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、Ｃ．
Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメント
バイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２
９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピ
グメントバイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオ
レット３８、

【００６２】Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．
ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン
２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７など
が挙げられる。これらの有機顔料は、それぞれ単独で用
いてもよいし、２種以上を混合して用いてもよい。

【００６３】有機顔料は必要に応じて、ロジン処理、酸
性基または塩基性基が導入された顔料誘導体などを用い
た表面処理、高分子化合物などによる顔料表面へのグラ
フト処理、硫酸微粒化法などによる微粒化処理、あるい
は不純物を除去するための有機溶剤や水などによる洗浄
処理が施されていてもよい。

【００６４】着色感光性樹脂組成物における着色剤
（Ａ）の含有量は、全固形分に対して質量分率で通常５
％以上、好ましくは１０％以上であり、通常６０％以
下、好ましくは５０％以下の範囲で用いられるが、かか
る着色感光性樹脂組成物は、本発明の共重合体（Ｂ）を
含有するので、着色剤（Ａ）の含有量が全固形分に対し
て、例えば２０％以上、さらには３０％以上であって
も、耐溶剤性に優れた着色パターンを形成することがで
きる。また、着色剤（Ａ）として有機顔料を用いる場
合、該有機顔料の使用量は着色剤（Ａ）の全量に対して
質量分率で通常５０％以上、好ましくは５５％以上であ
る。

【００６５】かかる着色感光性樹脂組成物をパターンニ
ングして着色パターンを形成するには、例えば着色感光
性樹脂組成物からなる層（１）を基板（２）上に形成し
（図２(a)）、該層（１）を露光したのち（図２(b)）、
現像すればよい。

【００６６】基板（２）としては、例えばガラス板、シ
リコンウェハー、プラスチック板などが挙げられる。基
板としてシリコンウエハーなどを用いる場合、該シリコ
ンウェハーの表面には電荷結合素子（ＣＣＤ）などが形
成されていてもよい。

【００６７】着色感光性樹脂組成物からなる層（１）を
基板（２）上に形成するには、例えば溶剤で希釈された
着色感光性樹脂組成物を回転塗布法（スピンコート法）
により基板上に塗布し、次いで溶剤を揮発させればよ
い。

【００６８】次いで、着色感光性樹脂組成物層（１）を
露光する。露光するには、例えばフォトマスク（３）を
介して光線（４）を照射すればよい。光線（４）として
は通常、ｇ線（波長４３６ｎｍ）、ｉ線（波長３６５ｎ
ｍ）などの紫外線が用いられる。光線は、フォトマスク
（３）を介して照射されるが、ここでフォトマスクは、
例えばガラス板（３１）の表面に光線を遮蔽する遮光層
（３２）が設けられたものである。光線（４）は遮光層
（３２）によって遮蔽される。ガラス板（３１）のうち
の遮光層が設けられていない部分は光線が透過する透光
部（３３）であって、この透光部（３３）のパターンに
従って着色感光性樹脂組成物層（２）が露光される。光
線の照射量は、用いた共重合体（Ｂ）の種類や含有量、
着色剤（Ａ）の色や含有量、光重合性化合物（Ｃ）の種
類や含有量、光重合開始剤（Ｄ）の種類や含有量などに
応じて適宜選択される。

【００６９】露光後、現像する。現像するには、例えば
露光後の着色感光性樹脂組成物層を現像液に浸漬すれば
よい。現像液としては、例えば炭酸ナトリム、水酸化ナ
トリウム、水酸化カリウム、炭酸カリウム、テトラメチ
ルアンモニウムハイドロオキサイドなどのアルカリ性化
合物の水溶液が用いられる。

【００７０】現像によって、着色感光性組成物層のうち
の光線が照射されない光線未照射領域（１１）は除去さ
れる。その一方で光線が照射された光線照射領域（１
２）は残って着色パターン（５）を構成する。

【００７１】現像後、通常は水洗し乾燥することによ
り、目的とする着色パターン（５）を得ることができる
が、乾燥後、加熱処理をしてもよい。加熱処理をするこ
とにより、形成された着色パターン（５）が硬化して、
その機械的強度が向上する。着色感光性組成物として硬
化剤を含有するものを用いた場合には、加熱処理によっ
て着色パターン（５）の機械的強度をより向上できるの
で、好ましい。加熱温度は通常１８０℃以上であり、好
ましくは２００℃以上２５０℃以下程度である。

【００７２】着色感光性樹脂組成物に含まれる着色剤
（Ａ）の色を替えて基板（２）の表面に着色感光性樹脂
組成物層（１’）を再び形成し（図３(a)）、該層
（１’）にフォトマスク（３）を介して光線（４）を照
射して露光したのち（図３(b)）、現像することによっ
て、さらに着色パターン（５’）を形成することができ
る。着色感光性樹脂組成物に含まれる顔料（Ｂ）の色を
代えながら上記操作を繰り返し行うことによって（図
４）、さらに着色パターン（５”）を形成することがで
き、目的とするカラーフィルター（６）を得る。

【００７３】かくして得られるカラーフィルター（６）
は着色パターン（５）からなり、該着色パターン（５）
は、着色感光性組成物が光線を照射されてなるものであ
って、耐溶剤性に優れている。

【００７４】かくして得られたカラーフィルター（６）
の表面に保護層（７）を形成してもよい。保護層を形成
することで、カラーフィルターを保護することができ
る。カラーフィルターの表面に保護層を形成するには、
例えばバインダーポリマー（Ｂ’）、光重合性化合物
（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）を含有し、着色剤
（Ａ）を実質的に含有しない感光性樹脂組成物からなる
層（１）をカラーフィルターの表面に形成し、該層
（１）の全面に亙って光線（４）を照射すればよく、光
線を照射した後、加熱処理をしてもよい。かくして、透
明で実質的に無着色の保護層（８）を形成することがで
きる（図１(b)）。本発明の感光性樹脂組成物は、かか
る保護層を形成するための感光性樹脂組成物としても有
用である。

【００７５】また、カラーフィルター（６）の表面にス
ペーサ（８）を形成してもよい。スペーサ（８）を形成
するには、例えばバインダーポリマー（Ｂ’）、光重合
性化合物（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）を含有し、着
色剤（Ａ）を実質的に含有しない感光性樹脂組成物をパ
ターンニングすればよく、具体的には該着色感光性樹脂
組成物からなる層（１）をカラーフィルターの表面に形
成し、該層（１）を露光すればよい。着色感光性樹脂組
成物層（１）を露光するには、例えば該層（１）にフォ
トマスク（３）を介して光線（４）を照射すればよい。
露光後、現像することにより、スペーサ（８）を形成す
ることができる。現像後、加熱処理をしてもよい。かく
して透明で実質的に無着色のスペーサ（８）を形成する
ことができる（図１(C)）。共重合体（Ｂ）を含有する
本発明の感光性樹脂組成物は、かかるスペーサを形成す
るための感光性樹脂組成物としても有用である。

【００７６】

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物は、着色剤を
高濃度で含有しても、耐溶剤性に優れた着色パターンを
形成するので、かかる着色パターンからなるカラーフィ
ルターは、耐溶剤性に優れている。

【００７７】

【実施例】以下、実施例によって本発明をより詳細に説
明するが、本発明はかかる実施例によって限定されるも
のではない。

【００７８】実施例１ （共重合体Ｂ−１の製造）メタクリル酸２−（Ｏ−
［１’−メチルプロピリデンアミノ］カルボキシアミ
ノ）エチル４８．４ｇ、メタクリル酸２５．８ｇ、ベン
ジルメタクリレート８８．１ｇ、アゾビスイソブチロニ
トリル（重合開始剤）１４．５ｇおよびプロピレングリ
コールモノメチルエーテルアセテート３０１．５ｇを窒
素気流下で攪拌し、窒素気流下で攪拌しながら６５℃〜
７５℃の温度範囲に５時間保温して、共重合体Ｂ−１
（約１６２．３ｇ）を含む混合物（プロピレングリコー
ルモノメチルエーテルアセテートを含む）を得た。この
共重合体Ｂ−１は、メタクリル酸２−（Ｏ−［１’−メ
チルプロピリデンアミノ］カルボキシアミノ）エチル／
ベンジルメタクリレート／メタクリル酸共重合体であ
り、ほぼ仕込どおりの比率で共重合していた。この共重
合体のＭｗは２９０００であった。

【００７９】（着色感光性樹脂組成物の製造）上記で得
た混合物に、表１に記載の顔料（Ａ）、光重合性化合物
（Ｃ）、重合開始剤（Ｄ）および溶剤（Ｅ）を、それぞ
れの成分が表１に示す組成となるように加えて、青色の
着色感光性樹脂組成物を得た。

【００８０】

【表１】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 共重合体Ｂ−１ ５．００質量部 顔料（Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６） ４．７５質量部 光重合性化合物（シ゛ヘ゜ンタエリスリトールヘキサアクリレート） ５．８６質量部 光重合開始剤 （「Ｉｒｇａｃｕｒｅ−９０７」） １．３０質量部 光重合開始剤 （「ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ−Ｓ」） ０．６５質量部 顔料分散剤 １．４４質量部 プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ８１ 質量部 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

【００８１】（着色パターンの形成）ガラス基板〔コー
ニング社製、「＃７０５９」〕（２）の表面上に上記で
得た着色感光性組成物をスピンコート法によって塗布し
た後、１００℃で３分間乾燥して着色感光性組成物層
（１）を形成した。冷却後、形成された着色感光性組成
物層（１）にフォトマスク（３）を介してｉ線（波長３
６５ｎｍ）を照射した。ｉ線の光源には超高圧水銀ラン
プを用い、照射光量は１５０ｍＪ／ｃｍ²とした。次い
で、現像液（質量分率で水酸化カリウムを０．０５％お
よびブチルナフタレンスルホン酸ナトリウムを０．２％
それぞれ含む水溶液）に浸漬して現像し、純水で洗浄し
たのち、２３０℃で２０分間加熱して、青色画素（５）
を形成した。得られた青色画素は、目的とするパターン
のとおりであった。

【００８２】（評価） １．耐溶剤性 フォトマスクを介することなくｉ線を照射する以外は上
記と同様に操作して、ガラス板（２）の全面に亙って着
色層を形成した。この着色層のうえにＮ−メチル−２−
ピロリドン（ＮＭＰ）（２ｃｍ³）を滴下し、２３℃で
３０分間放置した後表面をＮＭＰ（２ｃｍ³）で洗浄
し、洗液を目視で観察したところ、洗液に着色は認めら
れなかった。ＮＭＰで洗浄後の着色層を水洗し、乾燥し
た後、反射型光学顕微鏡で着色層の表面を観察したとこ
ろ、平滑であった。 ２．剥離試験 ＪＩＳ Ｋ５４００に記載の方法に従い、耐溶剤性試験
後の着色層を１ｍｍ□の碁盤目状に１００個にクロスカ
ットし、その上からセロハンテープを用いてピーリング
試験を行なったところ、基板からの着色層の剥離は認め
られなかった。

【００８３】比較例１ （共重合体Ｂ−２の製造）メタクリル酸２−（Ｏ−
［１’−メチルプロピリデンアミノ］カルボキシアミ
ノ）エチルを用いないで、ベンジルメタクリレートの使
用量を１２４．１ｇとした以外は実施例１と同様に操作
して、共重合体Ｂ−２（約１６２．３ｇ）を含む混合物
（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
を含む）を得た。この共重合体Ｂ−２はベンジルメタク
リレート／メタクリル酸共重合体であり、ほぼ仕込み比
のとおりの比率で共重合していた。この共重合体Ｂ−２
のＭｗは３００００であった。

【００８４】（着色感光性樹脂組成物の製造および着色
パターンの形成）共重合体Ｂ−１を含む混合物に代え
て、上記で得た混合物を、着色感光性樹脂組成物におけ
る共重合体Ｂ−２の組成比が５．００質量部となるよう
に用いた以外は実施例１と同様に操作して、青色の着色
感光性樹脂組成物を得、着色パターンを形成した。この
着色感光性樹脂組成物の組成を表２に示す。

【００８５】

【表２】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 共重合体Ｂ−２ ５．００質量部 顔料（Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６） ４．７５質量部 光重合性化合物（シ゛ヘ゜ンタエリスリトールヘキサアクリレート） ５．８６質量部 光重合開始剤 （「Ｉｒｇａｃｕｒｅ−９０７」） １．３０質量部 光重合開始剤 （「ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ−Ｓ」） ０．６５質量部 顔料分散剤 １．４４質量部 プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ８１ 質量部 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

【００８６】（評価）実施例１で得た着色感光性樹脂組
成物に代えて、上記で得た着色感光性樹脂組成物を用い
る以外は実施例１と同様に操作して、ガラス板（２）の
全面に亙って着色層を形成し、実施例１と同様に評価し
た。耐溶剤性試験で洗液を目視で観察したところ、洗液
に着色が認められた。ＮＭＰで洗浄後の着色層を水洗
し、乾燥した後、反射型光学顕微鏡で着色層の表面を観
察したところ、表面に細かな凹凸が認められた。なお、
剥離試験では、基板からの剥離は認められなかった。

【００８７】実施例２ 共重合体Ｂ−１を含む混合物を、感光性樹脂組成物にお
ける共重合体Ｂ−１の含有量が１１．１９質量部となる
ように用い、し、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６を
使用せず、顔料分散剤を使用しない以外は実施例１と同
様に操作して、感光性樹脂組成物を得た。この感光性樹
脂組成物の組成を表３に示す。

【００８８】

【表３】 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━ 共重合体Ｂ−１ １１．１９質量部 光重合性化合物（シ゛ヘ゜ンタエリスリトールヘキサアクリレート） ５．８６質量部 光重合開始剤 （「Ｉｒｇａｃｕｒｅ−９０７」） １．３０質量部 光重合開始剤 （「ＫＡＹＡＣＵＲＥ ＤＥＴＸ−Ｓ」） ０．６５質量部 プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート ８１ 質量部 ━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━━

【００８９】上記で得た感光性樹脂組成物を実施例１と
同様にして評価したところ、感光性樹脂組成物から形成
された層（保護層）は、耐溶剤性試験の後、透明であ
り、その表面は平滑であった。なお、剥離試験では、基
板からの剥離は認められなかった。

【図面の簡単な説明】

【図１】カラーフィルターの構造を示す模式図である。

【図２】着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを
形成する工程を示す模式図である。

【図３】着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを
形成する工程を示す模式図である。

【図４】着色感光性樹脂組成物を用いて着色パターンを
形成する工程を示す模式図である。

【符号の説明】

１ ：着色感光性樹脂組成物層 ２ ：基板 ３ ：フォトマスク ３１：ガラス板 ３２：遮光層 ３３：透光部 ４ ：光線 ５ ：着色パターン（色画素またはブラックマトリック
ス） ５’：着色パターン（色画素またはブラックマトリック
ス） ５”：着色パターン（色画素またはブラックマトリック
ス） ５ＢＭ：ブラックマトリックス ５Ｒ：赤色画素 ５Ｇ：緑色画素 ５Ｂ：青色画素 ６ ：カラーフィルター ７ ：保護層 ８ ：スペーサー

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｂ 5/20 １０１ Ｇ０２Ｂ 5/20 １０１ Ｇ０３Ｆ 7/004 ５０５ Ｇ０３Ｆ 7/004 ５０５ 7/027 ５０２ 7/027 ５０２ 7/028 7/028 Ｆターム(参考） 2H025 AA06 AB13 AC01 AD01 BC32 BC42 CA01 CA27 CA28 CB14 CC11 FA03 FA17 2H048 BA11 BA45 BA47 BA48 BB37 BB42 4J011 PA69 PC02 QA01 QA02 QA03 QA05 QA09 QA12 QA23 QA24 QA33 QA34 QA37 QA38 QA39 SA01 SA06 SA21 SA31 SA36 SA51 SA64 SA78 UA01 WA01 4J026 AA17 AA43 AA45 BA27 BA28 BA30 GA07 4J100 AB02Q AB03Q AB04Q AG02Q AG04Q AJ01Q AJ02Q AJ08Q AJ09Q AL03Q AL08P AL08Q AL08R AL09Q AL09R AL10Q AL62R AL63R AL66R AL67R AM02Q AM03Q AM48Q BA02R BA04P BA04R BA08R BA29Q BA38P BA46P BB01Q BC43Q BC43R CA05 JA38

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】一般式（１） 〔式中、Ｒ¹は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ²は炭
   素数１〜２０のアルキレン基を示し、Ｒ³は炭素数１〜
   ２０のアルキリデン基または炭素数３〜２０のシクロア
   ルキリデン基を示す。〕で示される化合物およびこれと
   共重合可能な他の化合物との共重合体（Ｂ）、光重合性
   化合物（Ｃ）および光重合開始剤（Ｄ）を含有する感光
   性樹脂組成物。
2. 【請求項２】共重合体（Ｂ）における一般式（１）で示
   される化合物から導かれる単量体単位の含有量が質量分
   率で５％以上９５％以下である請求項１に記載の感光性
   樹脂組成物。
3. 【請求項３】他の化合物が、重合性炭素−炭素不飽和結
   合を有する化合物である請求項１に記載の着色感光性樹
   脂組成物。
4. 【請求項４】共重合体（Ｂ）の含有量が、全固形分に対
   して質量分率で５％以上９０％以下である請求項１に記
   載の感光性樹脂組成物。
5. 【請求項５】着色剤（Ａ）を含有する請求項１〜請求項
   ４のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
6. 【請求項６】着色剤の含有量が、全固形分に対して質量
   分率で５％以上６０％以下である請求項５に記載の感光
   性樹脂組成物。
7. 【請求項７】請求項５または請求項６のいずれかに記載
   の感光性樹脂組成物をパターンニングする着色パターン
   の形成方法。
8. 【請求項８】着色パターンを請求項７に記載の方法で形
   成するカラーフィルターの製造方法。
9. 【請求項９】請求項５または請求項６に記載の感光性樹
   脂組成物が光線を照射されてなる着色パターン。
10. 【請求項１０】請求項９に記載の着色パターンからなる
    カラーフィルター。
11. 【請求項１１】カラーフィルターの表面に請求項１〜請
    求項４のいずれかに記載の感光性樹脂組成物からなる層
    を形成し、該層の前面に亙って光線を照射する、保護層
    の形成方法。
12. 【請求項１２】請求項１〜請求項４のいずれかに記載の
    感光性樹脂組成物をパターンニングする、スペーサの形
    成方法。