JP2002210966A - 静電アクチュエータ及びアクチュエータ装置、インクジェットヘッド並びにインクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【課題】 チャンネル間のクロストークを低減した静電
アクチュエータ及びこの静電アクチュエータを備えたア
クチュエータ装置、インクジェットヘッド並びにインク
ジェット記録装置の提供。 【解決手段】 導電性の電極基板４２と振動板５０と
を、振動板短手方向（ノズル列方向）の端部に幅が広い
領域（幅広部分）４１ａ、４２ａを設け、この幅広部分
４１ａ、４２ａで振動板５０と電極基板４２とを静電容
量結合で電気的に接続するための領域６０を形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は静電アクチュエータ及び
アクチュエータ装置、インクジェットヘッド並びにイン
クジェット記録装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プ
ロッタ等の画像記録装置（画像形成装置）として用いる
インクジェット記録装置において使用するインクジェッ
トヘッドとして、インク滴を吐出するノズルと、このノ
ズルが連通するインク流路（吐出室、圧力室、加圧液
室、液室等とも称される。）と、このインク流路内の壁
面の一部を形成する振動板及びこの振動板に対向する電
極を有する静電アクチュエータを備え、振動板を静電気
力で変形変位させてインク流路内インクを加圧してノズ
ルからインク滴を吐出させる静電型インクジェットヘッ
ドがある。

【０００３】静電型インクジェットヘッドは、静電気力
を用いるために、同じ体積に蓄えるエネルギーが小さ
く、アクチュエータ手段としてピエゾ素子や発熱抵抗体
を用いる他の形式のインクジェットヘッドに比べて、低
消費電力化、多数ノズルの同時駆動による高速化を図る
ことできる。すなわち、静電型以外のヘッドでは、イン
ク滴の運動エネルギーよりも数桁大きいエネルギーを使
用してインク滴を吐出させるために、余分なエネルギー
はヘッド或いはドライバＩＣ（駆動回路）で発熱するこ
とになり、蓄熱等の影響で同時に駆動できるノズル数や
駆動周波数に限界がある。

【０００４】このような静電型インクジェットヘッドと
しては、例えば特開平６−７１８８２号公報に記載され
ているように、振動板（第１電極を兼ねる）及び液室を
形成したシリコン基板からなる第１基板と、絶縁層であ
るシリコン酸化膜に凹部を形成して、この凹部底面に第
１電極（振動板）に所定のギャップをおいて対向する第
２電極を設けたシリコン基板からなる第２基板と、ノズ
ルを形成した第３基板とをシリコン−シリコンの直接接
合法で接合したものが知られている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上述した静
電型インクジェットヘッドのように第２電極を絶縁膜を
介してシリコン基板などの導電性基板に設けた場合、第
２電極と導電性基板（第２基板）との間に容量カップリ
ングが生じることから、１又は複数の第２電極に駆動電
圧を印加したとき、他の駆動電圧を印加していない非駆
動チャンネルの第２電極にも容量カップリングによって
分圧され（クロストークが生じ）、非駆動チャンネルの
振動板の不必要な振動やインク吐出が引き起こされ、噴
射特性が変動するという現象が生じ、特に、多数のノズ
ルから同時にインク滴を吐出させようとする場合にその
影響が大きくなり、信頼性の低下や画像品質の低下を招
くという課題がある。

【０００６】本発明は上記の課題に鑑みてなされたもの
であり、チャンネル間のクロストークを低減した静電ア
クチュエータ及びこの静電アクチュエータを備えたアク
チュエータ装置、インクジェットヘッド並びにインクジ
ェット記録装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、本発明に係る静電アクチュエータは、第１電極に対
向する第２電極を設けた導電性基板上を、接地する部材
と電気的に接続したものである。

【０００８】ここで、接地する部材は第１電極であるこ
とが好ましい。この場合、導電性基板と第１電極とを静
電容量結合で電気的に接続することができる。このと
き、導電性基板と第１電極との間の静電容量が導電性基
板と第２電極との間の静電容量の５倍以上であることが
好ましい。また、導電性基板と第１電極とは第２電極の
幅よりも幅の広い対向部分で対向していることが好まし
い。

【０００９】また、導電性基板と第１電極とは直流的な
電気的接続とすることができる。さらに、導電性基板と
第１電極とは流路面に形成した導電性膜で電気的に接続
することができる。さらにまた、導電性基板と第１電極
とはインクを介して電気的に接続することができる。こ
の場合、導電性基板及び第１電極の流路面には導電性膜
を形成することが好ましい。

【００１０】さらに、接地する部材は絶縁層上に形成し
た第３電極とすることができる。この場合、第３電極は
第２電極と同じ層構成とすることが好ましい。また、導
電性基板と第３電極とは絶縁層に形成したコンタクトホ
ールを介して接続することが好ましい。この場合、導電
性基板のコンタクトホールに臨む部分には酸化膜が形成
されていないことが好ましい。また、第３電極の最下層
には酸素原子をゲッターリングする効果のある金属層を
形成することが好ましい。この金属層はＴｉ又はＣｒか
らなることが好ましい。

【００１１】本発明に係るアクチュエータ装置は、第１
電極に対向する第２電極を絶縁層を介して設けた導電性
基板を接地する部材に電気的に接続した本発明に係る静
電アクチュエータを搭載し、この静電アクチュエータの
接地する部材を接地したものである。

【００１２】本発明に係るアクチュエータ装置は、第１
電極に対向する第２電極を絶縁層を介して設けた導電性
基板を第１電極に電気的に接続した本発明に係る静電ア
クチュエータを搭載し、この静電アクチュエータの第１
電極を接地したものである。

【００１３】本発明に係るアクチュエータ装置は、第１
電極に対向する第２電極を絶縁層を介して設けた導電性
基板を第３電極に電気的に接続した静電アクチュエータ
を搭載し、この静電アクチュエータの第３電極を接地し
たものである。

【００１４】本発明に係るインクジェットヘッドは、イ
ンク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出
室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ねる第１
電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を
絶縁層を介して導電性基板上に設け、導電性基板を接地
する部材に電気的に接続した本発明に係る静電アクチュ
エータとを備えたものである。

【００１５】本発明に係るインクジェットヘッドは、イ
ンク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出
室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ねる第１
電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を
絶縁層を介して導電性基板上に設け、導電性基板を第１
電極に電気的に接続した本発明に係る静電アクチュエー
タを備えたものである。

【００１６】本発明に係るインクジェットヘッドは、イ
ンク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐出
室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ねる第１
電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極を
絶縁層を介して導電性基板上に設け、導電性基板を第３
電極に電気的に接続した本発明に係る静電アクチュエー
タを備えたものである。

【００１７】本発明に係るインクジェット記録装置は、
導電性基板を接地する部材を電気的に接続した本発明に
係るインクジェットヘッドを備え、接地する部材を接地
したものである。

【００１８】本発明に係るインクジェット記録装置は、
導電性基板を第１電極に電気的に接続した本発明に係る
インクジェットヘッドを備え、第１電極を接地したもの
である。

【００１９】本発明に係るインクジェット記録装置は、
導電性基板を第３電極に電気的に接続した本発明に係る
インクジェットヘッドを備え、第３電極を接地したもの
である。

【００２０】本発明に係るアクチュエータ装置は、振動
板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向
する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設けた静
電アクチュエータを搭載し、この静電アクチュエータの
導電性基板を接地したものである。

【００２１】本発明に係るインクジェット記録装置は、
インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通する吐
出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ねる第
１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２電極
を絶縁層を介して導電性基板上に設けた本発明に係る静
電アクチュエータとを備えたインクジェットヘッドを搭
載し、このインクジェットヘッドの導電性基板を接地し
たものである。

【００２２】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面を参照して説明する。先ず、本発明に係るインクジ
ェット記録装置の機構部について図１及び図２を参照し
て説明する。なお、図１は同記録装置の機構部の概略斜
視説明図、図２は同機構部の側面説明図である。

【００２３】このインクジェット記録装置は、記録装置
本体１の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ、キ
ャリッジに搭載したインクジェットヘッドからなる記録
ヘッド、記録ヘッドへのインクを供給するインクカート
リッジ等で構成される印字機構部２等を収納し、給紙カ
セット４或いは手差しトレイ５から給送される用紙３を
取り込み、印字機構部２によって所要の画像を記録した
後、後面側に装着された排紙トレイ６に排紙する。

【００２４】印字機構部２は、図示しない左右の側板に
横架したガイド部材である主ガイドロッド１１と従ガイ
ドロッド１２とでキャリッジ１３を主走査方向（図２で
紙面垂直方向）に摺動自在に保持し、このキャリッジ１
３にはイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ
（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する
インクジェットヘッドからなるヘッド１４をインク滴吐
出方向を下方に向けて装着し、キャリッジ１３の上側に
はヘッド１４に各色のインクを供給するための各インク
タンク（インクカートリッジ）１５を交換可能に装着し
ている。

【００２５】ここで、キャリッジ１３は後方側（用紙搬
送方向下流側）を主ガイドロッド１１に摺動自在に嵌装
し、前方側（用紙搬送方向上流側）を従ガイドロッド１
２に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ
１３を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ１
７で回転駆動される駆動プーリ１８と従動プーリ１９と
の間にタイミングベルト２０を張装し、このタイミング
ベルト２０をキャリッジ１３に固定している。

【００２６】また、記録ヘッドとしてここでは各色のヘ
ッド１４を用いているが、各色のインク滴を吐出するノ
ズルを有する１個のヘッドでもよい。さらに、ヘッド１
４としては、後述するように、インク流路の壁面の少な
くとも一部を形成する振動板とこれに対向する電極とを
備え、静電力で振動板を変形変位させてインク滴を吐出
する静電型インクジェットヘッドを用いている。

【００２７】一方、給紙カセット４にセットした用紙３
をヘッド１４の下方側に搬送するために、給紙カセット
４から用紙３を分離給装する給紙ローラ２１及びフリク
ションパッド２２と、用紙３を案内するガイド部材２３
と、給紙された用紙３を反転させて搬送する搬送ローラ
２４と、この搬送ローラ２４の周面に押し付けられる搬
送コロ２５及び搬送ローラ２４からの用紙３の送り出し
角度を規定する先端コロ２６とを設けている。搬送ロー
ラ２４は副走査モータ２７によってギヤ列を介して回転
駆動される。

【００２８】そして、キャリッジ１３の主走査方向の移
動範囲に対応して搬送ローラ２４から送り出された用紙
３を記録ヘッド１４の下方側で案内する用紙ガイド部材
である印写受け部材２９を設けている。この印写受け部
材２９の用紙搬送方向下流側には、用紙３を排紙方向へ
送り出すために回転駆動される搬送コロ３１、拍車３２
を設け、さらに用紙３を排紙トレイ６に送り出す排紙ロ
ーラ３３及び拍車３４と、排紙経路を形成するガイド部
材３５，３６とを配設している。

【００２９】また、キャリッジ１３の移動方向右端側に
はヘッド１４の信頼性を維持、回復するための信頼性維
持回復機構（以下「サブシステム」という。）３７を配
置している。キャリッジ１３は印字待機中にはこのサブ
システム３７側に移動されてキャッピング手段などでヘ
ッド１４をキャッピングされる。

【００３０】次に、このインクジェット記録装置のヘッ
ド１４を構成する本発明に係る静電アクチュエータを含
む本発明に係るアクチュエータ装置でもあるインクジェ
ットヘッドの第１実施形態について図３乃至図５を参照
して説明する。なお、図３はインクジェットヘッドの分
解斜視説明図、図４は同ヘッドの振動板長手方向に沿う
断面説明図、図５は同ヘッドの振動板短手方向に沿う要
部拡大断面図である。

【００３１】インクジェットヘッド４０は、結晶面方位
（１１０）の単結晶シリコン基板、ＳＯＩ基板などのシ
リコン基板等を用いた第１基板である流路基板４１と、
この流路基板４１の下側に設けたシリコン基板を用いた
第２基板である電極基板４２と、流路基板４１の上側に
設けた第３基板であるノズル板４３とを備え、インク滴
を吐出する複数のノズル４４、各ノズル４４が連通する
インク流路である加圧室４６、各加圧室４６にインク供
給路を兼ねた流体抵抗部４７を介して連通する共通液室
流路４８などを形成している。

【００３２】流路基板４１には加圧室４６及びこの加圧
室４６の壁面である底部をなす第１電極を兼ねた振動板
５０を形成する凹部及び共通液室流路４８を形成する貫
通部を形成している。この流路基板４１は、例えば単結
晶シリコン基板を用いた場合、予め振動板厚さにボロン
を注入してエッチングストップ層となる高濃度ボロン層
を形成し、電極基板４２と接合した後、加圧室４６とな
る凹部をＫＯＨ水溶液などのエッチング液を用いて異方
性エッチングすることにより、このとき高濃度ボロン層
がエッチングストップ層となって振動板５０が高精度に
形成される。また、シリコンのベース基板に酸化層を介
してシリコンの活性層を接合したＳＯＩ基板を用いる場
合には、活性層で振動板５０を形成する。なお、このヘ
ッドでは、振動板５０は第１電極を兼ねているが、振動
板５０とは別に第１電極を振動板５０と一体に形成する
こともできる。

【００３３】また、電極基板４２には導電性基板である
結晶面方位（１００）に単結晶シリコン基板を用いて、
このシリコン基板に熱酸化法などで絶縁層であるシリコ
ン酸化膜層５２を形成し、この酸化膜層５２の部分に凹
部５４を形成して、この凹部５４底面に振動板５０に対
向する第２電極である対向電極５５を設け、振動板５０
と対向電極５５との間にギャップ５６を形成し、これら
の振動板５０と対向電極５５とによって本発明に係る静
電アクチュエータを構成している。

【００３４】この対向電極５５の表面にはＳiＯ_２膜な
どの酸化膜系絶縁膜、Ｓi₃Ｎ_４膜などの窒化膜系絶縁膜
からなる電極保護膜５７を成膜しているが、対向電極５
５の表面に電極保護膜５７を形成しないで、振動板５０
側に絶縁膜を形成することもできる。また、対向電極５
５は外部に延設して接続部（電極パッド部）５５ａとし
ている。さらに、電極基板４２には、共通液室流路４８
に連通するインク供給口５９を形成している。

【００３５】また、電極基板４２の対向電極５５として
は、ＴｉＮを用いているが、この他、通常半導体素子の
形成プロセスで一般的に用いられるＡｌ、Ｃｒ、Ｎｉ等
の金属材料や、Ｔｉ、Ｗ等の高融点金属、または不純物
により低抵抗化した多結晶シリコン材料などを用いるこ
とができる。また、電極基板４２にシリコン基板を用い
る場合、対向電極５５としては、不純物拡散領域を用い
ることができる。この場合、拡散に用いる不純物は基板
シリコンの導電型と反対の導電型を示す不純物を用い、
拡散領域周辺にｐｎ接合を形成し、対向電極５５と電極
基板４２とを電気的に絶縁する。

【００３６】この電極基板４２として用いる単結晶シリ
コン基板としては通常のシリコンウエハを用いることが
できる。その厚さはシリコンウエハの直径で異なるが、
直径４インチのシリコンウエハであれば厚さが５００μ
ｍ程度、直径６インチのシリコンウエハであれば厚さは
６００μｍ程度であることが多い。シリコンウエハ以外
の材料を選択する場合には、流路基板４１のシリコンと
熱膨張係数の差が小さい方が振動板５０と接合する場合
に信頼性を向上できる。

【００３７】これらの流路基板４１と電極基板４２との
接合は、接着剤による接合も可能であるが、より信頼性
の高い物理的な接合、例えば電極基板４２がシリコン基
板で形成される場合、酸化膜を介した直接接合法を用い
ることができる。この直接接合は１０００℃程度の高温
化で実施する。また、電極基板４２をシリコン基板で形
成して、電極基板４２と流路基板４１との間にパイレッ
クス（登録商標）ガラスを成膜し、この膜を介して陽極
接合を行うこともできる。さらに、流路基板４１と電極
基板４２にシリコン基板を使用して金等のバインダーを
接合面に介在させた共晶接合で接合することもできる。

【００３８】ここで、流路基板４１と電極基板４２と
は、図５に示すように、振動板短手方向（ノズル列方
向）の端部に幅が広い領域（幅広部分）４１ａ、４２ａ
を設け、この幅広部分４１ａ、４２ａで振動板５０と電
極基板４２とを静電容量結合で電気的に接続するための
領域６０を形成する。この幅広部分４１ａ、４２ａのノ
ズル列方向の幅は対向電極５５の幅よりも大きく（広
く）している。

【００３９】ノズル板４３は多数のノズル４４を二列配
置して形成するとともに、共通液室流路４８と加圧室４
６とを連通する流体抵抗部４７となる溝を形成し、ま
た、吐出面には撥水処理を施している。このノズル板４
３としては、例えば、Ｎｉ電鋳工法で製作しためっき
膜、シリコン基板、ＳＵＳなどの金属、樹脂とジルコニ
アなどの金属層の複層構造のものなども用いることがで
きる。ここでは、ノズル板４３は流路基板４１に接着剤
にて接合している。

【００４０】このインクジェットヘッド４０ではノズル
４４を二列配置し、この各ノズル４４に対応して加圧室
４６、振動板５０、対向電極５５なども二列配置し、各
ノズル列の中央部に共通液室流路４８を配置して、左右
の加圧室４６にインクを供給する構成を採用している。
これにより、簡単なヘッド構成で多数のノズルを有する
マルチノズルヘッドを構成することができる。

【００４１】このインクジェットヘッドを駆動制御する
ヘッド駆動制御部について図６を参照して簡単に説明す
る。このヘッド駆動制御部は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ
及び周辺回路等を含む主制御部６１と、波形生成回路６
２と、アンプ６３と、駆動回路（ドライバＩＣ）６４等
とを備えている。

【００４２】主制御部６１は、波形生成回路６２に対し
てインクジェットヘッド４０を駆動するための駆動電圧
データを与え、ドライバＩＣ６４に対して印字信号（シ
リアルデータである）ＳＤ、シフトクロックＣＬＫ、ラ
ッチ信号ＬＡＴなどを与える。波形生成回路６２は、主
制御部６１からの駆動電圧データをＤ／Ａ変換してパル
ス状の駆動波形をアンプ６３を介してドライバＩＣ６４
に出力する。

【００４３】ドライバＩＣ６３は、印字信号ＳＤに応じ
て波形生成回路６２から与えられる駆動波形を選択して
インクジェットヘッド４０の各個別電極５５に与える。
このドライバＩＣ６４は、例えば、主制御部６１からの
シリアルクロックＣＬＫ及び印字信号であるシリアルデ
ータＳＤを入力するシフトレジスタ６５と、シフトレジ
スタ６５のレジスト値を主制御部６１からのラッチ信号
ＬＡＴでラッチするラッチ回路６６と、ラッチ回路６６
の出力値をレベル変化するレベル変換回路６７と、この
レベル変換回路６７でオン／オフが制御されるアナログ
スイッチアレイ９８とからなる。アナログスイッチアレ
イ６８は、インクジェットヘッド４０のｍ個（ノズル数
をｍ個とする。）の個別対向電極５５に接続したアナロ
グスイッチＡＳ１〜ＡＳｍからなる。なお、インクジェ
ットヘッド４０の共通電極となる第１電極を兼ねる振動
板５０は接地している。

【００４４】以上のように構成したインクジェット記録
装置においては、ヘッド駆動制御部から印字信号ＳＤに
応じてアナログスイッチＡＳｎをオン／オフ制御して、
印字データに対応するチャンネルのインクジェットヘッ
ド４０の個別対向電極５５に対して駆動波形（駆動電
圧）を印加する。

【００４５】このインクジェットヘッド４０において
は、振動板５０と対向電極５５との間に駆動波形が印加
されることによって、振動板５０と対向電極５５との間
に静電気力が発生して、この静電気力によって振動板５
０が対向電極５５側に変形変位し、この状態から駆動電
圧が立ち下がって振動板５０と対向電極５５間の電荷が
放電されると、振動板５０が復帰変形して、加圧室４６
の内容積（体積）／圧力が変化し、これによってノズル
４４からインク滴が吐出される。

【００４６】すなわち、個別電極とする対向電極５５に
パルス状の駆動波形が印加されると、接地された共通電
極となる振動板５０との間に電位差が生じて、対向電極
５５と振動板５０の間に静電力が生じる。この結果、振
動板５０は印加した電圧の大きさに応じて変位する。そ
の後、印加したパルス電圧を立ち下げることで、振動板
５０の変位が復元して、その復元力により加圧室４６内
の圧力が高くなり、ノズル４４からインク滴が吐出され
る。

【００４７】ここで、インクジェットヘッド４０は前述
した図５に示すように導電性基板である電極基板４２と
振動板５０とを幅広部分４１ａ、４２ａによる領域６０
によって静電容量結合で電気的に接続しているので、電
極基板４２に導電性基板を用いた場合のクロストークを
低減して安定したインク滴吐出特性を得ることができ
る。

【００４８】すなわち、このインクジェットヘッド４０
を静電容量の面から等価的に見ると、図７に示すよう
に、振動板５０とｍ個の対向電極５５との間でそれぞれ
静電容量Ｃｘｍ（ｍ＝１〜ｍ）が形成されるとともに、
電極基板４２として導電性基板を用いているため、絶縁
膜であるシリコン酸化膜５２を介してｍ個の対向電極５
５と電極基板４２との間でそれぞれ静電容量Ｃｓｍ（ｍ
＝１〜ｍ）が形成されることになり、各対向電極５５の
位置を示す点Ｐｍ（ｍ＝１〜ｍ）は静電容量Ｃｓｍを介
して電極基板４２に容量結合された状態にある。

【００４９】しかしながら、このインクジェットヘッド
４０では流路基板４１と電極基板４２との幅広部分４１
ａ、４２ａで振動板５０と電極基板４２とを静電容量結
合で電気的に接続するための領域６０を形成しているの
で、この領域６０によって、振動板５０と電極基板４２
との間で静電容量Ｃｘｍよりも大きな静電容量Ｃｏが形
成され、電極基板４２は静電容量Ｃｏ及び振動板５０を
介して接地されていることになる。

【００５０】これにより、同図で例えば電極Ｐ１、Ｐ
２、Ｐ３のうちの１つのチャンネルの電極Ｐ２に駆動波
形Ｐｖを印加した場合、この駆動波形Ｐｖは静電容量Ｃ
ｓ２を介して電極基板４２にも印加されるが、電極基板
４２が静電容量Ｃｏ及び振動板５０を介して接地されて
いるので、駆動波形Ｐｖが他のチャンネルの電極Ｐ１、
Ｐ３に分圧されて印加されることがなくなる。

【００５１】この場合、振動板５０と電極基板４２との
間で形成される静電容量Ｃｏは振動板５０と各対向電極
５５との間で形成される静電容量Ｃｘｎ（ｎ＝１〜ｍの
いずれか）に対して十分に大きい方が好ましく、実験に
よると、静電容量Ｃｏを静電容量Ｃｘｎに対して５倍以
上、好ましくは１０倍以上になるように振動板５０と電
極基板４２の幅広部分４１ａ、４２ａを形成する。

【００５２】つまり、図８に示すように、本発明に係る
インクジェットヘッド４０のように幅広部分４１ａ、４
２ａを持たないインクジェットヘッドの構成を等価的に
見ると、図９に示すようにインクジェットヘッド４０の
静電容量Ｃｏの相当する回路が存在しないことになる。
そのため、電極基板４２がフローティング状態にあり、
１つのチャンネルの電極Ｐｎは、導電性の電極基板４２
及び静電容量Ｃｓｍを介して他のチャンネルの電極Ｐｍ
と静電容量結合で電気的に接続された状態になる。

【００５３】したがって、図９で例えば電極Ｐ１、Ｐ
２、Ｐ３のうちの１つのチャンネルの電極Ｐ２に駆動波
形Ｐｖを印加した場合、この駆動波形Ｐｖは静電容量Ｃ
ｓ２を介して電極基板４２にも印加され、他のチャンネ
ルの静電容量Ｃｓ１、Ｃｓ３を介して他の非吐出のチャ
ンネルの電極Ｐ１、Ｐ３に分圧される（クロストークが
生じる）ことになり、非吐出のチャンネルの振動板５０
の不必要な振動や場合によってはインク滴吐出が引き起
こされ、インク滴吐出が不安定になって信頼性が低下
し、地汚れなどが生じることになる。

【００５４】これに対して、本発明のように導電性基板
である電極基板４２を静電容量Ｃｏによる静電容量結合
によって接地される部材である振動板５０に電気的に接
続することにより、上述したようにクロストークを防止
でき、インク滴吐出が安定して信頼性が高くなり、地汚
れなどが生じることがなく、画像品質が向上する。

【００５５】そして、振動板（第１電極）５０を接地す
る部材として導電性基板である電極基板４２と電気的に
接続することによって、簡単な構成で電極基板４２を接
地することができるようになる。この場合、導電性基板
である電極基板４２を、接地する部材である振動板５０
と静電容量結合によって電気的に接続することにより、
導電性基板に接地のためのコンタクトをとるための工程
を付加する必要もなく、一層簡単な構成で導電性基板を
接地することができる。

【００５６】次に、本発明に係るインクジェットヘッド
の第２実施形態について図１０を参照して説明する。な
お、同図は同実施形態に係るインクジェットヘッドの振
動板短手方向の断面説明図である。この実施形態では、
導電性基板からなる電極基板４２の下面にＡｌ膜などの
導電性膜（導体膜）７１を成膜したインクジェットヘッ
ドを搭載し、導電性膜７１と振動板５０とを直流的に電
気的に接続し、このインクジェットヘッドの導電性膜７
１を接地している。

【００５７】このインクジェットヘッドを静電容量の面
から等価的に見ると、図１１に示すように、振動板５０
と各対向電極５５との間で静電容量Ｃｘｍ（ｍ＝１〜
ｍ）が形成されるとともに、電極基板４２として導電性
基板を用いているため、絶縁膜であるシリコン酸化膜５
２を介して各対向電極５５と電極基板４２との間で静電
容量Ｃｓｍ（ｍ＝１〜ｍ）が形成されることになり、各
対向電極５５の位置を示す点Ｐｍ（ｍ＝１〜ｍ）は静電
容量Ｃｓｍを介して電極基板４２に容量結合された状態
にある。

【００５８】しかしながら、電極基板４２に成膜した導
電性膜７１を介して電極基板４２を接地しているので、
電極Ｐｍ間の静電容量Ｃｓｍを介しての容量結合がなく
なる。したがって、前述したように各対向電極５５と導
電性の電極基板４２との間の静電容量Ｃｓｍによるクロ
ストークを防止することができる。

【００５９】そして、このように導電性基板である電極
基板４２と振動板（第１電極）５０との間で直流的な電
気的接続を行うことによって、振動板５０と対向電極５
５に接続するＦＰＣケーブルなどの接続手段を電極基板
４２に接続するための電極パッドを設けることなく接地
することができ、素子の面積を増加することなく、導電
性基板を接地することができるようになる。

【００６０】次に、本発明に係るインクジェットヘッド
の第３実施形態について図１２乃至図１５参照して説明
する。なお、図１２は同実施形態に係るインクジェット
ヘッドの分解斜視説明図、図１３は同ヘッドの第２電極
部分における振動板長手方向の断面説明図、図１４は同
ヘッドの第３電極部分における振動板長手方向の断面説
明図、図１５は同ヘッドの振動板短手方向の断面説明図
である。

【００６１】このインクジェットヘッドにおいては、電
極基板４２のシリコン酸化膜５２に、第２電極である対
向電極５５を形成するための電極形成用溝（凹部）５４
を形成するとともに、ノズル列方向の両端部に第３電極
７５を形成するための電極形成溝（凹部）７４を形成し
ている。

【００６２】そして、この電極形成溝（凹部）７４の底
部の一部のシリコン酸化膜５２を除去して導電性基板で
ある電極基板４２を露出させるコンタクトホール７６を
形成し、このコンタクトホール７６を含めて第３電極７
５を形成することにより、第３電極７５と電極基板４２
とを電気的に接続している。この第３電極７５は対向電
極５５及び振動板５０に接続するＦＰＣケーブル７７な
どの接続手段の１つのラインを介して接地している。

【００６３】ここで、コンタクトホール７６を形成した
後、コンタクトホール７６内の電極基板４２上に形成さ
れる自然酸化膜を除去した上で第３電極７５を形成する
ことによって、第３電極７５と電極基板４２との間に酸
化膜がない状態にしている。

【００６４】このように、電極基板４２を第３電極７５
に電気的に接続し、この第３電極７５を接地することで
電極基板４２を接地することにより、対向電極５５と電
極基板４２との間の静電容量による容量結合によって生
じるクロストークを防止することができる。

【００６５】そして、導電性基板である電極基板４２を
接地するための第３電極７５を設けて接地することによ
り、電極基板４２を確実に電気的に接地することがで
き、電気的信頼性が向上する。この場合、対向電極５５
と第３電極７５とを導電性基板である電極基板４２上に
形成する、つまり対向電極５５と第３電極７５とを略同
一平面に隣接して形成することによって、対向電極５５
と第３電極７５とを同一のＦＰＣケーブルなどの接続手
段に実装することができるようになり、実装信頼性が向
上し、低コスト化を図れる。

【００６６】また、対向電極５５と第３電極７５とを同
じ層構成とすることにより、同一の工程で形成すること
ができ、コンタクトホール７６を形成する工程を追加す
るだけで電極基板４２を接地することができ、工程増加
も比較的少なくなる。さらに、第３電極７５をノズル列
方向で対向電極５５の列の両側又は片側に配置すること
により、ノズルピッチが不揃いになることがなくなる。

【００６７】さらに、第３電極７５と電極基板４２との
間に酸化膜がない状態にすることにより、第３電極７５
と電極基板４２との電気的な接続特性を良好な状態に保
つことができ、電極基板４２を高い信頼性で接地するこ
とができる。

【００６８】次に、本発明に係るインクジェットヘッド
の第４実施形態について図１６乃至図１８を参照して説
明する。なお、図１６は同ヘッドの振動板長手方向の断
面説明図、図１７は同ヘッドの第３電極部分での振動板
長手方向の断面説明図、図１８は同ヘッドの振動板短手
方向の断面説明図である。

【００６９】この実施形態では、電極５５及び第３電極
７５として、電極基板４２上に形成したＴｉ層７７とこ
のＴｉ層７７上に形成したＴｉＮ層７８の２層構造とし
ている。ＴｉＮ層７８の下層としてＴｉ層７７を設ける
ことによってＴｉＮ層７８の密着強度を向上するととも
に、電気的な信頼性が向上する。

【００７０】そこで、上記第３実施形態のインクジェッ
トヘッドの電極基板の製造工程について図１９乃至図２
１を参照して説明する。なお、図１９及び図２０は同製
造工程を説明する平面説明図、図２１は同製造工程を説
明する振動板短手方向での断面説明図である。

【００７１】先ず、図１９（ａ）及び図２１（ａ）に示
すように、ｐ型の導電型を有し、（１００）の面方位で
あるシリコン基板である電極基板４２上に熱酸化によっ
て膜厚１〜２μｍ程度のシリコン酸化膜５２を形成し、
この酸化膜５２に電極５５及び第３電極７５を形成する
ための溝状の凹部５４、７４を通常のフォトリソとウェ
ットエッチングによって深さ０．６μｍに形成する。

【００７２】その後、図１９（ｂ）及び図２１（ｂ）に
示すように、第３電極７５を形成するための凹部７４に
通常のフォトリソとウェットエッチングによってシリコ
ン基板４０に達するまでエッチングを行い、コンタクト
ホール７６を形成する。

【００７３】次に、図２０（ａ）及び図２１（ｃ）に示
すように、電極基板４２の全面に電極材料としてのＴｉ
Ｎを反応性スパッタリング法を用いて０．２μｍ成膜
し、通常のフォトリソ技術とドライエッチング技術を用
いてパターニングし、凹部５４の底面に電極５５を、コ
ンタクトホール７６に電極基板４２に接する第３電極７
５を形成する。このとき、ＴｉＮ膜を成膜する前に、ウ
ェットエッチング液に浸し、コンタクトホール７６内の
電極基板４２表面に形成された自然酸化膜を除去する。
これにより、電極基板４２と第３電極７５の電気的な接
続特性を良好な状態に保つことができる。

【００７４】そして、図２０（ｂ）及び図２１（ｄ）に
示すように、ＴＥＯＳを原料に用いたプラズマＣＶＤ法
を用い、全面に０．２μｍの厚さでＳｉＯ₂膜を成膜
し、通常のフォトリソ技術とドライエッチング技術を用
いてパターニングし、電極５５及び第３電極７５を覆い
隠すように電極保護膜５７を形成する。なお、前記第４
実施形態のインクジェットヘッドを製造する場合には電
極をＴｉ層及びＴｉＮ層の順に成膜して、電極５５及び
第３電極７５の形状にパターニングすればよい。

【００７５】次に、本発明に係るインクジェットヘッド
の第５実施形態について図２２及び図２３を参照して説
明する。なお、図２２は同ヘッドの振動板長手方向の断
面説明図、図２３は同ヘッドの振動板短手方向の断面説
明図である。このインクジェットヘッドにおいては、振
動板５０の加圧室４６側の面を含めて流路基板４１の内
面及びインク供給口４９の壁面には例えばＴｉＮからな
る導電性膜８０、８１を成膜している。

【００７６】したがって、このインクジェットヘッドに
インク８２が充填されたとき、インク８２は導電性を有
するので、電極基板４２と振動板５０とは導電性膜８
０、インク８２及び導電性膜８１を介して電気的に接続
されることになり、振動板５０は接地されるので、電極
基板４２も電気的に接地されることになる。

【００７７】このインクジェットヘッドを静電容量の面
から等価的に見ると、図２４に示すように、振動板５０
とｍ個の対向電極５５との間でそれぞれ静電容量Ｃｘｍ
（ｍ＝１〜ｍ）が形成されるとともに、電極基板４２と
して導電性基板を用いているため、絶縁膜であるシリコ
ン酸化膜５２を介して各対向電極５５と電極基板４２と
の間でそれぞれ静電容量Ｃｓｍ（ｍ＝１〜ｍ）が形成さ
れることになり、各対向電極５５の位置を示す点Ｐｍ
（ｍ＝１〜ｍ）は静電容量Ｃｓｍを介して電極基板４２
に容量結合された状態にある。

【００７８】しかしながら、電極基板４２は導電性膜８
０、インク８２及び導電性膜８１で構成される接続路８
３を介して振動板５０に電気的に接続され、振動板５０
は接地されているので電極基板４２が電気的に接地され
ることになる。したがって、前述したように各対向電極
５５と導電性の電極基板４２との間の静電容量Ｃｓｍに
よるクロストークを防止することができる。

【００７９】このように導電性基板を接地するための特
別な電極を用いることなく、導電性基板を接地すること
ができて、素子面積の増大なく、導電性基板を接地して
クロストークを防止することができる。なお、流路内面
に一体の導電性膜を形成して、電極基板４２と振動板５
０とを電気的に接続することもできる。

【００８０】なお、上記各実施形態においては、静電型
インクジェットヘッドの振動板と電極の平面形状を矩形
とした例で説明したが、平面形状を台形、三角形とする
こともできる。また、上記各実施形態ではインクジェッ
トヘッドは振動板と液室とを流路基板として同一部材か
ら形成しているが、振動板と液室形成部材とを別部材で
形成して接合することもできる。

【００８１】また、上記実施形態におけるノズル、加圧
室、流体抵抗部、共通液室流路の形状、配置、形成方法
は適切に変更することができる。例えば、上記実施形態
においては、ノズルは振動板の変位方向にインク滴が吐
出するように形成したサイドシュータ方式のインクジェ
ットヘッドであるが、ノズルを振動板の変位方向と交差
する方向にインク滴が吐出するように形成したエッジシ
ュータ方式のインクジェットヘッドでもよい。

【００８２】さらに、上記実施形態においては、本発明
に係る静電アクチュエータをインクジェットヘッドのア
クチュエータ部に適用した例で説明したが、マイクロモ
ータ、マイクロポンプ、マイクロアクチュエータなどの
他のアクチュエータ装置のアクチュエータ部に適用する
こともできる。また、インク滴を吐出するインクジェッ
トヘッド以外にも液体レジストなどの液滴を吐出させる
液滴吐出ヘッドにも同様に適用することができる。

【００８３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る静電
アクチュエータによれば、第１電極に対向する第２電極
を絶縁層を介して設けた導電性基板を、接地する部材と
電気的に接続したので、第２電極の基板に導電性基板を
用いた場合のクロストークを防止することができるよう
になり、信頼性を向上させることができる。

【００８４】ここで、接地する部材を第１電極とするこ
とによって簡単な構成で導電性基板を接地することがで
きるようになる。この場合、導電性基板と第１電極とを
静電容量結合で電気的に接続することで、構成が一層簡
単になる。このとき、導電性基板と第１電極との間の静
電容量を導電性基板と第２電極との間の静電容量の５倍
以上にすることで、確実にクロストークを防止すること
ができる。また、導電性基板と第１電極とは第２電極の
幅よりも幅の広い対向部分で対向させることで簡単な構
成で第１電極と導電性基板との静電容量結合を行うこと
ができる。

【００８５】また、導電性基板と第１電極とを直流的な
電気的接続とすることで、導電性基板の面積を増加する
ことなく、導電性基板を接地することができる。

【００８６】さらに、導電性基板と第１電極とは流路面
に形成した導電性膜で電気的接続をとることで、簡単な
構成で、素子面積を増加することなく、導電性基板を接
地することができるようになる。

【００８７】さらにまた、導電性基板と第１電極とはイ
ンクを介して電気的接続がなされるようにすることで、
簡単な構成で導電性基板を接地することができる。この
場合、導電性基板及び第１電極の流路面に導電性膜を形
成することでより確実に導電性基板と第１電極とを電気
的に接続することができる。

【００８８】さらに、接地する部材を絶縁層上に形成さ
れた第３電極とすることにより、電極形成工程で接地す
る部材を形成することができるようになり、コスト増加
を最小限に抑え、接地のための実装が容易なる。

【００８９】この場合、第３電極は第２電極と同じ層構
成とすることにより、コスト増加を招くことなく第３電
極を形成することができる。また、導電性基板と第３電
極とは絶縁層に形成したコンタクトホールを介して接続
することで、導電性基板と第３電極とを確実に電気的に
接続することができる。この場合、導電性基板のコンタ
クトホールに臨む部分には酸化膜が形成されていないこ
とで、電気的接続が安定的に確保できる。また、第３電
極のコンタクトホール側面には酸素原子をゲッターリン
グする効果のある金属層を形成することで、第３電極と
絶縁層の密着強度が増加して剥がれ等の不良が防止さ
れ、安定した電気的接続を確保できる。この金属層はＴ
ｉ又はＣｒとすることにより、簡単なプロセスで形成す
ることができる。

【００９０】本発明に係るアクチュエータ装置によれ
ば、第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して設け
た導電性基板を接地する部材に電気的に接続した静電ア
クチュエータを搭載し、この静電アクチュエータの接地
する部材を接地しているので、導電性基板を用いた場合
のクロストークを防止することができ、信頼性が向上す
る。

【００９１】本発明に係るアクチュエータ装置によれ
ば、第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して設け
た導電性基板を第１電極に電気的に接続した静電アクチ
ュエータを搭載し、この静電アクチュエータの第１電極
を接地したので、導電性基板を用いた場合のクロストー
クを簡単な構成で防止することができ、信頼性が向上す
る。

【００９２】本発明に係るアクチュエータ装置によれ
ば、第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して設け
た導電性基板を第３電極に電気的に接続した静電アクチ
ュエータを搭載し、この静電アクチュエータの第３電極
を接地したので、導電性基板を用いた場合のクロストー
クを高い信頼性で大幅な構成の複雑化を招くことなく防
止することができ、信頼性が向上する。

【００９３】本発明に係るインクジェットヘッドによれ
ば、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通す
る吐出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ね
る第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２
電極を絶縁層を介して設けた導電性基板を、接地する部
材に電気的に接続した静電アクチュエータとを備えたの
で、第２電極の基板に導電性基板を用いた場合のクロス
トークを防止することができ、インク滴吐出が安定し、
信頼性及び画像品質が向上する。

【００９４】本発明に係るインクジェットヘッドによれ
ば、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通す
る吐出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ね
る第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２
電極を絶縁層を介して設けた導電性基板を第１電極に電
気的に接続した静電アクチュエータを備えたので、第２
電極の基板に導電性基板を用いた場合のクロストークを
簡単な構成で防止することができ、インク滴吐出が安定
し、信頼性及び信頼性が向上する。

【００９５】本発明に係るインクジェットヘッドによれ
ば、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通す
る吐出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼ね
る第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第２
電極を絶縁層を介して設けた導電性基板を第３電極に電
気的に接続した静電アクチュエータを備えたので、第２
電極の基板に導電性基板を用いた場合のクロストークを
高い信頼性で大幅な構成の複雑化を招くことなく防止す
ることができ、インク滴吐出が安定し、信頼性が向上す
る。

【００９６】本発明に係るインクジェット記録装置によ
れば、導電性基板を接地する部材を電気的に接続したイ
ンクジェットヘッドを備え、接地する部材を接地したの
で、第２電極の基板に導電性基板を用いた場合のクロス
トークが防止され、安定したインク滴吐出を行うことが
できて画像品質が向上する。

【００９７】本発明に係るインクジェット記録装置によ
れば、導電性基板を第１電極に電気的に接続したインク
ジェットヘッドを備え、第１電極を接地したので、第２
電極の基板に導電性基板を用いた場合のクロストークが
簡単な構成で防止され、安定したインク滴吐出を行うこ
とができて画像品質が向上する。

【００９８】本発明に係るインクジェット記録装置によ
れば、導電性基板を第３電極に電気的に接続したインク
ジェットヘッドを備え、第３電極を接地したので、第２
電極の基板に導電性基板を用いた場合のクロストークが
高い信頼性で大幅な工程増加を招くことなく防止され、
安定したインク滴吐出を行うことができて画像品質が向
上する。

【００９９】本発明に係るアクチュエータ装置によれ
ば、振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電
極に対向する第２電極を絶縁層を介して設けた導電性基
板を接地したので、第２電極の基板に導電性基板を用い
た場合のクロストークが防止され、信頼性が向上する。

【０１００】本発明に係るインクジェット記録装置によ
れば、インク滴を吐出するノズルと、このノズルが連通
する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する振動板を兼
ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に対向する第
２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設けた静電アク
チュエータとを備えたインクジェットヘッドを搭載し、
このインクジェットヘッドの導電性基板を接地したの
で、第２電極の基板に導電性基板を用いた場合のクロス
トークが防止され、安定したインク滴吐出を行うことが
できて画像品質が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るインクジェット記録装置の機構部
の概略斜視説明図

【図２】同機構部の側面説明図

【図３】本発明に係るインクジェットヘッドの第１実施
形態の分解斜視説明図

【図４】同ヘッドの振動板長手方向の断面説明図

【図５】同ヘッドの振動板短手方向の断面説明図

【図６】同記録装置のヘッド駆動制御部の一例を示すブ
ロック図

【図７】同ヘッドの等価回路を説明する説明図

【図８】比較例に係るインクジェットヘッドの振動板短
手方向の断面説明図

【図９】同比較例のヘッドの等価回路を説明する説明図

【図１０】本発明に係るインクジェットヘッドの第２実
施形態の振動板短手方向の断面説明図

【図１１】同ヘッドの等価回路を説明する説明図

【図１２】本発明に係るインクジェットヘッドの第３実
施形態の分解斜視説明図

【図１３】同ヘッドの振動板長手方向の断面説明図

【図１４】同ヘッドの第３電極部分における振動板長手
方向の断面説明図

【図１５】同ヘッドの振動板短手方向の断面説明図

【図１６】本発明に係るインクジェットヘッドの第４実
施形態の振動板長手方向の断面説明図

【図１７】同ヘッドの第３電極部分における振動板長手
方向の断面説明図

【図１８】同ヘッドの振動板短手方向の断面説明図

【図１９】第３実施形態のインクジェットヘッドの電極
基板の製造工程を説明する上面説明図

【図２０】図１９に続く工程を説明する上面説明図

【図２１】同製造工程を説明する断面説明図

【図２２】本発明に係るインクジェットヘッドの第５実
施形態の振動板長手方向の断面説明図

【図２３】同ヘッドの振動板短手方向の断面説明図

【図２４】同ヘッドの等価回路を説明する説明図

【符号の説明】

１３…キャリッジ、１４…ヘッド、２４…搬送ローラ、
３３…排紙ローラ、４０…インクジェットヘッド、４１
…流路基板、４２…電極基板（導電性基板）、４３…ノ
ズル板、４４…ノズル、４６…加圧室、４７…流体抵抗
部、４８…共通流路液室、５０…振動板、５５…電極、
５６…ギャップ、６０…静電容量結合領域、７１…導電
性膜、７５…第３電極、７６…コンタクトホール、８
０、８１…導電性膜、８２…インク。

Claims (26)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一
   体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導電
   性基板上に設け、前記振動板を静電気力で変形させる静
   電アクチュエータにおいて、前記導電性基板を、接地す
   る部材と電気的に接続したことを特徴とする静電アクチ
   ュエータ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の静電アクチュエータに
   おいて、前記接地する部材が前記第１電極であることを
   特徴とする静電アクチュエータ。
3. 【請求項３】 請求項２に記載の静電アクチュエータに
   おいて、前記導電性基板と前記第１電極とを静電容量結
   合で電気的に接続していることを特徴とする静電アクチ
   ュエータ。
4. 【請求項４】 請求項３に記載の静電アクチュエータに
   おいて、前記導電性基板と前記第１電極との間の静電容
   量が前記導電性基板と前記第２電極との間の静電容量の
   ５倍以上であることを特徴と静電アクチュエータ。
5. 【請求項５】 請求項３又は４に記載の静電アクチュエ
   ータにおいて、前記導電性基板と前記第１電極とは前記
   第２電極の面積よりも面積の広い対向部分で対向してい
   ることを特徴とする静電アクチュエータ。
6. 【請求項６】 請求項２に記載の静電アクチュエータに
   おいて、前記導電性基板と前記第１電極とは直流的な電
   気的接続がなされていることを特徴とする静電アクチュ
   エータ。
7. 【請求項７】 請求項２に記載の静電アクチュエータに
   おいて、前記導電性基板と前記第１電極とは素子表面に
   形成した導電性膜で電気的接続がなされていることを特
   徴とする静電アクチュエータ。
8. 【請求項８】 請求項２に記載の静電アクチュエータに
   おいて、前記導電性基板と前記第１電極とはインクを介
   して電気的接続がなされることを特徴とする静電アクチ
   ュエータ。
9. 【請求項９】 請求項８に記載の静電アクチュエータに
   おいて、前記導電性基板及び前記第１電極の素子表面に
   は導電性膜が形成されていることを特徴とする静電アク
   チュエータ。
10. 【請求項１０】 請求項１に記載の静電アクチュエータ
    において、前記接地する部材が前記絶縁層上に形成され
    た第３電極であることを特徴とする静電アクチュエー
    タ。
11. 【請求項１１】 請求項１０に記載の静電アクチュエー
    タにおいて、前記第３電極は前記第２電極同じ層構成で
    あることを特徴とする静電アクチュエータ。
12. 【請求項１２】 請求項１１又は１２に記載の静電アク
    チュエータにおいて、前記導電性基板と前記第３電極と
    は前記絶縁層に形成したコンタクトホールを介して接続
    されていることを特徴とする静電アクチュエータ。
13. 【請求項１３】 請求項１２に記載の静電アクチュエー
    タにおいて、前記導電性基板の前記コンタクトホールが
    臨む部分には酸化膜が形成されていないことを特徴とす
    る静電アクチュエータ。
14. 【請求項１４】 請求項１２又は１３に記載の静電アク
    チュエータにおいて、前記第３電極の最下層には酸素原
    子をゲッターリングする効果のある金属層が形成されて
    いることを特徴とする静電アクチュエータ。
15. 【請求項１５】 請求項１４に記載の静電アクチュエー
    タにおいて、前記金属層がＴｉ又はＣｒからなることを
    特徴とする静電アクチュエータ。
16. 【請求項１６】 振動板を兼ねる第１電極又は振動板と
    一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導
    電性基板上に設け、前記振動板を静電気力で変形させる
    静電アクチュエータを搭載したアクチュエータ装置にお
    いて、前記静電アクチュエータが前記請求項１に記載の
    静電アクチュエータであり、この静電アクチュエータの
    導電性基板を電気的に接続した接地する部材を接地して
    いることを特徴とするアクチュエータ装置。
17. 【請求項１７】 振動板を兼ねる第１電極又は振動板と
    一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導
    電性基板上に設け、前記振動板を静電気力で変形させる
    静電アクチュエータを搭載したアクチュエータ装置にお
    いて、前記静電アクチュエータが前記請求項２乃至９の
    いずれかに記載の静電アクチュエータであり、この静電
    アクチュエータの第１電極を接地していることを特徴と
    するアクチュエータ装置。
18. 【請求項１８】 振動板を兼ねる第１電極又は振動板と
    一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導
    電性基板上に設け、前記振動板を静電気力で変形させる
    静電アクチュエータを搭載したアクチュエータ装置にお
    いて、前記静電アクチュエータが前記請求項１０乃至１
    ５のいずれかに記載の静電アクチュエータであり、この
    静電アクチュエータの第３電極を接地していることを特
    徴とするアクチュエータ装置。
19. 【請求項１９】 インク滴を吐出するノズルと、このノ
    ズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する
    振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に
    対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設
    け、前記振動板を静電気力で変形させる静電アクチュエ
    ータとを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記静
    電アクチュエータが前記請求項１に記載の静電アクチュ
    エータであることを特徴とするインクジェットヘッド。
20. 【請求項２０】 インク滴を吐出するノズルと、このノ
    ズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する
    振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に
    対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設
    け、前記振動板を静電気力で変形させる静電アクチュエ
    ータとを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記静
    電アクチュエータが前記請求項２乃至９のいずれかに記
    載の静電アクチュエータであることを特徴とするインク
    ジェットヘッド。
21. 【請求項２１】 インク滴を吐出するノズルと、このノ
    ズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する
    振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に
    対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に設
    け、前記振動板を静電気力で変形させる静電アクチュエ
    ータとを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記静
    電アクチュエータが前記請求項１０乃至１５のいずれか
    に記載の静電アクチュエータであることを特徴とするイ
    ンクジェットヘッド。
22. 【請求項２２】 インク滴を吐出する静電型インクジェ
    ットヘッドを搭載したインクジェット記録装置におい
    て、前記静電型インクジェットヘッドが前記請求項１９
    に記載のインクジェットヘッドであり、このインクジェ
    ットヘッドの接地する部材を接地していることを特徴と
    するインクジェット記録装置。
23. 【請求項２３】 インク滴を吐出する静電型インクジェ
    ットヘッドを搭載したインクジェット記録装置におい
    て、前記静電型インクジェットヘッドが前記請求項２０
    に記載のインクジェットヘッドであり、このインクジェ
    ットヘッドの第１電極を接地していることを特徴とする
    インクジェット記録装置。
24. 【請求項２４】 インク滴を吐出する静電型インクジェ
    ットヘッドを搭載したインクジェット記録装置におい
    て、前記静電型インクジェットヘッドが前記請求項２１
    に記載のインクジェットヘッドであり、このインクジェ
    ットヘッドの第３電極を接地していることを特徴とする
    インクジェット記録装置。
25. 【請求項２５】 振動板を兼ねる第１電極又は振動板と
    一体の第１電極に対向する第２電極を絶縁層を介して導
    電性基板上に形成し、前記振動板を静電気力で変形させ
    る静電アクチュエータを搭載したアクチュエータ装置に
    おいて、前記静電アクチュエータの導電性基板を電気的
    に接地していることを特徴とするアクチュエータ装置。
26. 【請求項２６】 インク滴を吐出するノズルと、このノ
    ズルが連通する吐出室と、この吐出室の壁面を形成する
    振動板を兼ねる第１電極又は振動板と一体の第１電極に
    対向する第２電極を絶縁層を介して導電性基板上に形成
    し、前記振動板を静電気力で変形させる静電アクチュエ
    ータとを備えたインクジェットヘッドを搭載したインク
    ジェット記録装置において、前記インクジェットヘッド
    の導電性基板を電気的に接地していることを特徴とする
    インクジェット記録装置。