JP2002204991A - 有機物被覆材の製造方法およびそれに用いる製造装置 - Google Patents

有機物被覆材の製造方法およびそれに用いる製造装置

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JP2002204991A
JP2002204991A JP2001002326A JP2001002326A JP2002204991A JP 2002204991 A JP2002204991 A JP 2002204991A JP 2001002326 A JP2001002326 A JP 2001002326A JP 2001002326 A JP2001002326 A JP 2001002326A JP 2002204991 A JP2002204991 A JP 2002204991A
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Takayuki Nakajima
隆幸 中嶋
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Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、霧状有機物を定量的に気化手段に供
給でき、かつ気化手段の加熱部材上で有機物が熱重合・
固化することなしに的確に気化できるようにし、気化し
た気化状有機物を基材上で凝縮、熱重合させて所望の有
機物被覆層を基材上に均一に形成できるようにした有機
物被覆材の製造方法およびこれに用いる製造装置の提供
を目的とする。 【解決手段】液状有機物を一流体型噴霧装置に供給する
と共に、噴霧装置の電磁弁に周期的開閉の指示を与える
ことにより、霧状有機物を噴霧装置の噴霧口から一定流
量で噴霧する一方、この噴霧された霧状有機物を噴霧口
に対峙して低圧力領域に配置されている気化手段の加熱
部材に誘導して気化させ、さらに気化させた気化状有機
物を基材面まで誘導し、基材上に有機物被覆層を形成す
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は有機物被覆材の製造
方法およびそれに用いる製造装置、特に液状有機物を気
化させ、しかる後気化した気化状有機物をその凝縮点以
下で低圧力領域に保持した基材上に誘導し、基材表面に
凝縮、熱重合させて均一な有機被覆物層を形成すること
を特徴とする所謂フラッシュ蒸着手法による有機物被覆
物材の製造方法およびそれに用いる製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、フラッシュ蒸着手法においては、
液状有機物を安定的に噴霧、供給するための液体噴霧装
置には、例えば自動車の燃料供給系に使用されている定
流量性能に優れる噴霧装置を用い、また液状有機物を噴
霧装置に定量的に供給するための供給手段には定量ポン
プを用いて噴霧量の制御を行ってきた。しかし、定量ポ
ンプを用いた噴霧量の制御ではフラッシュ蒸着が安定し
て実現できていない。
【0003】一般的に、定量ポンプは流量制御を行う為
に液体搬送駆動弁を有しているため、液状有機物を噴霧
装置の噴霧口に搬送する際に脈動等の圧力変動を引き起
こす。特に、フラッシュ蒸着工程においては噴霧口出口
が真空もしくは低圧力領域にあるため、噴霧口の開閉動
作により定量ポンプと噴霧出口の間の液状有機物を搬送
する接続管内の圧力が大きく変動する。すなわち、管内
は噴霧口が解放している時は負圧となり、定量ポンプが
動作している時は陽圧となる。この現象は定量ポンプで
の供給後に必ず発生するため、噴霧口の開閉動作と定量
ポンプの供給動作が無秩序に行われれば、接続管の内部
圧力も無秩序に変動する。また、噴霧の霧化量および粒
径は噴霧弁の開閉時間と接続管内と噴霧口出口との圧力
差に起因するため、接続管内が負圧下にあるときは噴霧
量は少なくなり、接続管内が陽圧下にある時は噴霧量は
多くなる。さらに、霧状になった液状有機物の粒径は接
続管内の圧力に反比例するため、上述したような圧力の
変動があると、霧状有機物の流量も変動するため、蒸発
させるために必要な熱量も変動し、液状有機物を蒸発さ
せるための加熱部材上に有機物が重合・硬化してフラッ
シュ蒸発を安定して実現できず、蒸発量および基材上の
有機物被覆層の膜厚が安定しなくなる。
【0004】また、噴霧液滴群を生成する方法として、
二流体型噴霧装置を使用する方法がある。二流体型噴霧
装置は霧化する液体と気体を用い、それらを噴霧口付近
で高速度で衝突させることにより液体の微粒化を図るも
のであり、比較的容易に霧化でき、衝突時に加えるそれ
ぞれの圧力の相互関係により粒子径を変えずに噴霧量を
変化できるというメリットを有するものの、真空でプロ
セスでは使用できないというデメリットもあった。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明は以上のような
状況に鑑みなされたものであり、霧状の液状有機物を定
量的に気化手段に供給でき、かつ気化手段の加熱部材上
で有機物が熱重合・硬化することなしに的確に気化でき
るようにし、基材上に所望の有機物被覆層を均一に形成
できるようにした有機物被覆材の製造方法およびそれに
用いる製造装置の提供を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上の目的を
達成するためになされたものであり、請求項1に記載の
有機物被覆材の製造方法は、 分解温度以下でかつ重合
温度以下に設定されている液状有機物を一流体型噴霧装
置に加圧供給すると共に、噴霧装置の電磁弁に周期的開
閉の指示を与えることにより、噴霧装置の噴霧口から定
量の霧状有機物を周期的に噴霧する一方、噴霧口に対峙
して低圧力領域に配置され、かつ液状有機物の沸点以上
で分解温度以下に設定されている気化手段の加熱部材に
噴霧口から噴霧されてきた霧状有機物を誘導して気化さ
せ、次いで気化させた気体状有機物を、凝縮点以下に設
定されかつ低圧領域内に連続的に移送されてくる長尺状
の基材上に誘導し、基材上で連続的に凝縮、熱重合さ
せ、有機被覆物層を形成することを特徴とする。
【0007】また、請求項2に記載の有機物被覆材は、
請求項1に記載の有機物被覆材の製造方法において、液
状有機物がモノマ−および/またはオリゴマ−であるこ
とを特徴とする。
【0008】さらにまた、請求項3に記載の有機物被覆
材の製造方法は、請求項1または請求項2に記載の有機
物被覆材の製造方法において、噴霧口から噴霧されてき
た霧状有機物を気化手段の加熱されている金属部材に誘
導して気化させることを特徴とする。
【0009】さらにまた、請求項4に記載の有機物被覆
材の製造方法は、請求項1ないし請求項3のいずれか1
項に記載の有機物被覆材の製造方法において、噴霧口か
らの霧状有機物の周期的で定量の噴霧は電磁弁の周期的
開閉動作に連動して行うことを特徴とする。
【0010】さらにまた、請求項5に記載の有機物被覆
材の製造方法は、請求項1ないし請求項4のいずれか1
項に記載の有機物被覆材の製造方法において、噴霧装置
への液状有機物の加圧供給を電磁弁および噴霧口を冷却
しながら行うことを特徴とする。
【0011】さらにまた、請求項6に記載の有機物被覆
材の製造装置は、少なくとも噴霧口と電磁弁を具備する
一流体型噴霧装置と、噴霧装置に液状有機物を供給する
ための加圧供給手段と、噴霧口から霧状有機物を噴霧さ
せるための電磁弁の周期的開閉動作を制御するための制
御手段と、噴霧口に対峙して設置され、噴霧口から噴霧
される霧状有機物を気化させるための加熱部材を有する
気化手段と、気化手段により得られた気化状有機物を凝
縮、熱重合させてその表面に有機被覆物層を形成させる
ための長尺状の基材を連続的に移送させる移送手段とを
少なくとも具備し、噴霧口と気化手段と有機被覆物層を
形成させる基材の部分は少なくとも吸引手段を備える密
閉槽内に配置されていることを特徴とする。
【0012】さらにまた、請求項7に記載の有機物被覆
材の製造装置は、請求項6に記載の有機物被覆材の製造
装置において、気化手段により気化された気化状有機物
を連続的送出手段により連続的に送出されてくる基材上
へ誘導するための誘導手段を備えていることを特徴とす
る。
【0013】さらにまた、請求項8に記載の有機物被覆
材の製造装置は、請求項6または請求項7のいずれか1
項に記載の有機物被覆材の製造装置において、噴霧装置
は噴霧口の洗浄手段を備えていることを特徴とする。
【0014】さらにまた、請求項9に記載の有機物被覆
材の製造装置は、請求項6ないし請求項8のいずれか1
項に記載の有機物被覆材の製造装置において、気化手段
は金属部材とこの金属部材を加熱するための加熱手段を
少なくとも備えていることを特徴とする。
【0015】さらにまた、請求項10に記載の有機物被
覆材の製造装置は、請求項6ないし請求項9のいずれか
1項に記載の有機物被覆材の製造装置において、噴霧装
置に加圧供給される液状有機物の冷却手段を備えている
ことを特徴とする。
【0016】さらにまた、請求項11に記載の有機物被
覆材の製造装置は、請求項6ないし請求項10のいずれ
か1項に記載の有機物被覆材の製造装置において、噴霧
装置の電磁弁と噴霧口の冷却手段を備えていることを特
徴とする。
【0017】さらにまた、請求項12に記載の有機物被
覆材の製造装置は、請求項6ないし請求項11のいずれ
か1項に記載の有機物被覆材の製造装置において、制御
手段以外が密閉槽内にあることを特徴とする。
【0018】さらにまた、請求項13に記載の有機物被
覆材の製造装置は、請求項6ないし請求項11のいずれ
か1項に記載の有機物被覆材の製造装置において、加圧
供給手段と制御手段以外が真空機構内にあることを特徴
とする。
【0019】さらにまた、請求項14に記載の有機物被
覆材の製造装置は、請求項6ないし請求項13のいずれ
か1項に記載の有機物被覆材の製造装置において、有機
物被覆層を形成する基材を被覆する液状有機物の凝縮点
以下に設定するための温度調整の手段を備えていること
を特徴とする。
【0020】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照にして詳細に説明する。図1は本発明に係る有機
物被覆材の製造装置1の概略を示している。本発明に係
る製造装置1は、基本的には、噴霧口2と電磁弁3を具
備する一流体型噴霧装置4と、噴霧装置4に液状有機物
5を供給するための加圧供給手段と、霧状有機物5を噴
霧口2から噴霧させるための電磁弁3の周期的開閉動作
を制御するための制御手段6と、噴霧口2に対峙して設
置され、噴霧口2から噴霧される霧状有機物を気化させ
るための加熱部材7を有する気化手段9と、気化手段9
により得られた気化状有機物を凝縮、熱重合させてその
表面に有機被覆物層21を形成させるための長尺状の基
材20を連続的に移送させる移送手段22とを少なくと
も具備し、噴霧口2と気化手段9と有機被覆物層21を
形成させる基材20の部分は少なくとも吸引手段27を
備える密閉槽25内に配置されている。
【0021】図示の加圧供給手段は、液状有機物5を貯
留しておくサージタンク30と、このサージタンク30
内に液状有機物を供給するために必要な適正な空気圧を
付与するためのコンプレッサ−31とレギュレータ3
2、ならびにコンプレッサー31から圧送されてくる空
気を浄化するためのフィルター装置33、さらにはサー
ジタンク30に貯留されている液状有機物5をレギュレ
ータ34とフィルター装置35を経由して噴霧装置4に
適正加圧で一定流量で圧送するための圧送手段等が輸送
管で接続されて構成されている。
【0022】一方、噴霧装置4は所謂一流体型の噴霧装
置であり、前記した加圧供給手段から供給される液状有
機物を後述する構成の気化手段9の加熱部材7に噴霧す
るためのものであり、電磁弁3と噴霧口2から少なくと
も構成されている。
【0023】電磁弁3はその周期的な開閉動作が制御手
段6により制御されるようになっており、その周期的開
閉動作中の開口時に噴霧口2から液状有機物が旋回を掛
けられながら高圧で噴射され、その際に流体に生じる強
いせん断力により噴霧液滴群を生じるようになってい
る。噴霧液滴群の噴霧粒径は電磁弁3の開閉のタイミン
グと開閉の数を、開閉のタイミングに関しては、例えば
0.005〜1[S]に調整し、また開閉の数は1〜2
55回に調整することにより、所望の流量を所望の時間
だけ気化手段9の加熱部材7に噴霧することが可能とな
る。
【0024】噴霧装置4は電磁弁3の周期的開閉動作に
より発熱し、供給されてくる液状有機物をその熱で重合
・固化させる恐れがあるため、冷却手段40を備えるこ
とが好ましい。また、噴霧口2から常に的確な噴霧が行
われるように清浄手段を備えていても良い。この製造装
置1においては、コンプレッサ37からレギュレータ3
8、輸送管等を介して圧縮空気が必要なときに噴霧口2
へ送られ、そこを清浄するようになっている。
【0025】この噴霧装置4から噴霧されてくる霧状有
機物を瞬時に気化させるための手段が気化手段9であ
り、その一構成部材である加熱部材7が噴霧装置4の噴
霧口2に対峙して配置されている。この加熱部材7は金
属板やセラミックス板等からなり、付設の加熱手段8に
よりその温度が常に液状有機物の沸点以上でかつ分解温
度以下なるように制御され、そこに向かって噴霧される
霧状有機物が瞬時に気化するようになっている。
【0026】一方、45は気化手段9により気化した気
化状有機物を有機物被覆層21を形成するための基材2
0側に誘導するための誘導手段であり、誘導促進板46
とそれに連設されているスリット47とから構成されて
いる。気化状有機物は後述する密閉槽25に備え付けら
れている吸引手段27による吸引により吸引口26側に
引かれ、かつ誘導促進板46により導かれながらスリッ
ト47に達し、基材20側に向かうように設計されてい
る。
【0027】スリット47の近傍には有機物被覆層21
を形成するための長尺状の基材20が移送手段22によ
り連続的に移送されるようになっている。また、移送さ
れる基材20の近傍には基材20の温度を液状有機物の
凝縮点以下になるようにするための温度調節手段50が
設置されている。従って、このような温度に設定された
基材20にスリット47を経由して気化状有機物が到達
し、接触すると、凝縮、熱重合してその表面に順次有機
物被覆層21が形成されることになる。
【0028】本発明の有機物被覆材の製造装置1は上述
した各手段の内、噴霧口2と気化手段9と有機物被覆層
21を形成させる基材20の部分が少なくとも吸引手段
27を備える密封槽25内に配置され、真空あるいは低
圧力領域で液状有機物の噴霧や気化、さらには気化状有
機物の基材20面への凝縮、熱重合が成されるようにな
っている。
【0029】続いて、図1に示す本発明の有機物被覆材
の製造装置1を使用した有機物被覆材の製造方法を説明
する。まず、加圧供給手段により分解温度以下でかつ重
合温度以下に設定されてサージタンク30内に貯留され
ている液状有機物5を輸送管、フィルター装置等を介し
て噴霧装置4に供給する。
【0030】次に、液状有機物を供給された噴霧装置4
は、制御手段6から電磁弁3の周期的開閉の指示を受
け、その噴霧口2から気化手段9の加熱部材7に向かっ
て霧状有機物を噴霧する。霧状有機物を噴霧される加熱
部材7はその表面温度が常に液状有機物の沸点以上でか
つ分解温度以下になるように加熱手段で調整してあるの
で、液状有機物をその表面に噴霧すると瞬時に気化す
る。
【0031】この際、噴霧装置4からは常に周期的かつ
定量的に霧状有機物が加熱部材7に供給され、しかも加
熱部材7は常にその表面に噴射される霧状有機物が的確
に気化されるよう、その表面温度が制御されているの
で、途中で不用意に熱重合、固化することがなく、基材
20側へ気化状有機物が安定して供給されるようにな
る。
【0032】気化手段9により気化された気化状有機物
は、誘導手段45に導かれて有機物被覆層を形成するた
めの基材20上に誘導される。図示の製造装置1におい
ては、密閉槽25に付設の吸引手段27により密閉槽2
5内が吸引されているため、加熱部材7上で気化された
気化状有機物は密閉槽25の吸引口26側に向かって誘
導されて基材20上に到達するようになっている。この
際、気化状有機物は誘導手段45の誘導促進板46によ
りスリット47に向かって導かれ、さらに基材20上に
効率良く誘導される。
【0033】この基材20は移送手段22により前述の
スリット47の近傍を通過するように移送されている
が、この基材20は温度調整手段50で液状有機物の凝
縮点以下に設定されているため、スリット47の近傍で
気化状有機物が接触するとその表面で凝縮、熱重合がお
き、その表面に均一な有機物被覆層21が順次形成さ
れ、有機物被覆材が得られる。
【0034】
【発明の効果】本発明は以上のようであるので、一流体
型噴霧装置により所望の流量と粒径に制御された霧状有
機物を安定的に気化手段に供給でき、しかも気化時には
気化手段の加熱部材上で熱重合・硬化することがなく、
従って基材上に均一な有機物被覆層が安定して形成でき
るという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る有機物被覆材の製造
装置の概略説明図である。
【符号の説明】
1・・有機物被覆材の製造装置 2・・噴霧口 3・・電磁弁 4・・噴霧装置 5・・液状有機物 6・・制御手段 7・・加熱部材 8・・加熱手段 9・・気化装置 20・・基材 21・・有機物被覆層 22・・移送手段 25・・密閉槽 26・・吸引口 27・・吸引手段 30・・サージタンク 31・・コンプレッサ 40・・冷却手段 50・・温度調整手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B05D 1/02 B05D 1/02 Z 3/00 3/00 B Fターム(参考) 4D073 AA01 BB01 BB03 CA18 CB02 CC07 DD22 DD26 DD32 DD35 4D075 AA01 AA52 AA66 AA76 BB22Y BB23X BB85Z CA48 DA04 EB11 EB24 EB31 EB47 4F033 AA01 BA03 CA01 DA01 EA01 GA07 GA10 HA01 HA05 LA00 LA01 4F035 AA04 BA02 BA06 BA15 BC05 BC06 4F040 AA22 AB20 AC01 BA35 DB02 DB23 DB27

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】分解温度以下でかつ重合温度以下に設定さ
    れている液状有機物を一流体型噴霧装置に加圧供給する
    と共に、噴霧装置の電磁弁に周期的開閉の指示を与える
    ことにより、噴霧装置の噴霧口から定量の霧状有機物を
    周期的に噴霧する一方、噴霧口に対峙して低圧力領域に
    配置され、かつ液状有機物の沸点以上でかつ分解温度以
    下に設定されている気化手段の加熱部材に噴霧口から噴
    霧されてきた霧状有機物を誘導して気化させ、次いで気
    化させた気体状有機物を、凝縮点以下に設定されかつ低
    圧力領域に連続的に移送されてくる長尺状の基材上に誘
    導し、基材上で連続的に凝縮、熱重合させ、その表面に
    有機被覆物層を形成することを特徴とする有機物被覆材
    の製造方法。
  2. 【請求項2】液状有機物がモノマ−および/またはオリ
    ゴマ−であることを特徴とする請求項1に記載の有機物
    被覆材の製造方法。
  3. 【請求項3】噴霧口から噴霧されてきた霧状有機物を気
    化手段の加熱されている金属部材に誘導して気化させる
    ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の有機
    物被覆材の製造方法。
  4. 【請求項4】噴霧口からの霧状有機物の周期的で定量の
    噴霧は電磁弁の周期的開閉動作に連動して行うことを特
    徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載
    の有機物被覆材の製造方法。
  5. 【請求項5】噴霧装置への液状有機物の加圧供給を電磁
    弁および噴霧口を冷却しながら行うことを特徴とする請
    求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の有機物被
    覆材の製造方法。
  6. 【請求項6】少なくとも噴霧口と電磁弁を具備する一流
    体型噴霧装置と、噴霧装置に液状有機物を供給するため
    の加圧供給手段と、噴霧口から霧状有機物を噴霧させる
    ための電磁弁の周期的開閉動作を制御するための制御手
    段と、噴霧口に対峙して設置され、噴霧口から噴霧され
    る霧状有機物を気化させるための加熱部材を有する気化
    手段と、気化手段により得られた気化状有機物を凝縮、
    熱重合させてその表面に有機被覆物層を形成させるため
    の長尺状の基材を連続的に移送させる移送手段とを少な
    くとも具備し、噴霧口と気化手段と有機被覆物層を形成
    させる基材の部分は少なくとも吸引手段を備える密閉槽
    内に配置されていることを特徴とする有機物被覆材の製
    造装置。
  7. 【請求項7】気化手段により気化された気化状有機物を
    有機物被覆層を形成させる基材の部分に誘導するための
    誘導手段を備えていることを特徴とする請求項6に記載
    の有機物被覆材の製造装置。
  8. 【請求項8】噴霧装置は噴霧口の洗浄手段を備えている
    ことを特徴とする請求項6または請求項7に記載の有機
    物被覆材の製造装置。
  9. 【請求項9】気化手段は金属部材からなる加熱部材とこ
    の加熱部材を加熱するための加熱手段を少なくとも備え
    ていることを特徴とする請求項6ないし請求項8のいず
    れか1項に記載の有機物被覆材の製造装置。
  10. 【請求項10】噴霧装置に加圧供給される液状有機物の
    冷却手段を備えていることを特徴とする請求項6ないし
    請求項9のいずれか1項に記載の有機物被覆材の製造装
    置。
  11. 【請求項11】噴霧装置の電磁弁と噴霧口の冷却手段を
    備えていることを特徴とする請求項6ないし請求項10
    のいずれか1項に記載の有機物被覆材の製造装置。
  12. 【請求項12】制御手段以外が密閉槽内にあることを特
    徴とする請求項6ないし請求項11に記載の有機物被覆
    材の製造装置。
  13. 【請求項13】加圧供給手段と制御手段以外が密閉構内
    にあることを特徴とする請求項6ないし請求項12のい
    ずれか1項に記載の有機物被覆材の製造装置。
  14. 【請求項14】有機被覆物層を形成する基材を被覆する
    液状有機物の凝縮点以下に設定するための温度調整手段
    を備えていることを特徴とする請求項6ないし請求項1
    3のいずれか1項に記載の有機物被覆材の製造装置。
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Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH078890A (ja) * 1993-06-21 1995-01-13 Nordson Kk 流体材料を吐出する方法
JP2521555B2 (ja) * 1990-03-26 1996-08-07 株式会社クボタ 発泡ウレタン系シ―ル材の塗布方法
JP2589599B2 (ja) * 1989-11-30 1997-03-12 住友精密工業株式会社 吹出型表面処理装置
JPH09299865A (ja) * 1996-05-08 1997-11-25 Nordson Kk 接着剤塗布装置のノズル洗浄方法
JP2000012532A (ja) * 1998-06-17 2000-01-14 Nec Corp 高分子膜の成長方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2589599B2 (ja) * 1989-11-30 1997-03-12 住友精密工業株式会社 吹出型表面処理装置
JP2521555B2 (ja) * 1990-03-26 1996-08-07 株式会社クボタ 発泡ウレタン系シ―ル材の塗布方法
JPH078890A (ja) * 1993-06-21 1995-01-13 Nordson Kk 流体材料を吐出する方法
JPH09299865A (ja) * 1996-05-08 1997-11-25 Nordson Kk 接着剤塗布装置のノズル洗浄方法
JP2000012532A (ja) * 1998-06-17 2000-01-14 Nec Corp 高分子膜の成長方法

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