JP2002201210A - 固体樹脂の製造方法 - Google Patents
固体樹脂の製造方法Info
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- JP2002201210A JP2002201210A JP2001293408A JP2001293408A JP2002201210A JP 2002201210 A JP2002201210 A JP 2002201210A JP 2001293408 A JP2001293408 A JP 2001293408A JP 2001293408 A JP2001293408 A JP 2001293408A JP 2002201210 A JP2002201210 A JP 2002201210A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 析出した樹脂と有機溶媒（Ａ）と溶媒（Ｂ）
からなるスラリーを濾過等による手段で単離するときの
操作が容易で、かつ、電子回路パターンをシリコンウエ
ハー上に形成する際に用いられるフォトレジスト組成物
用の高品質の固体樹脂を製造する方法を提供すること。 【解決手段】 単数又は複数の原料化合物を、有機溶媒
（Ａ）の存在下で反応させて樹脂含有溶液を得、該樹脂
含有溶液を上記有機溶媒とは異なる溶媒（Ｂ）中に添加
して樹脂を析出させ、次いで、析出した樹脂と有機溶媒
（Ａ）と上記有機溶媒とは異なる溶媒（Ｂ）からなるス
ラリーを加熱することを特徴とする固体樹脂の製造方
法。
からなるスラリーを濾過等による手段で単離するときの
操作が容易で、かつ、電子回路パターンをシリコンウエ
ハー上に形成する際に用いられるフォトレジスト組成物
用の高品質の固体樹脂を製造する方法を提供すること。 【解決手段】 単数又は複数の原料化合物を、有機溶媒
（Ａ）の存在下で反応させて樹脂含有溶液を得、該樹脂
含有溶液を上記有機溶媒とは異なる溶媒（Ｂ）中に添加
して樹脂を析出させ、次いで、析出した樹脂と有機溶媒
（Ａ）と上記有機溶媒とは異なる溶媒（Ｂ）からなるス
ラリーを加熱することを特徴とする固体樹脂の製造方
法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体樹脂の製造方
法に関し、詳しくは、フォトレジスト組成物の構成成分
である樹脂等の固体樹脂の製造方法に関するものであ
る。
法に関し、詳しくは、フォトレジスト組成物の構成成分
である樹脂等の固体樹脂の製造方法に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】固体樹脂の製造方法としては、原料化合
物を有機溶媒の存在下で反応させて樹脂含有溶液を得、
該樹脂含有溶液を上記有機溶媒とは異なる溶媒中に添加
して樹脂を析出させる方法が公知である（特開平9-9063
7号公報参照）。
物を有機溶媒の存在下で反応させて樹脂含有溶液を得、
該樹脂含有溶液を上記有機溶媒とは異なる溶媒中に添加
して樹脂を析出させる方法が公知である（特開平9-9063
7号公報参照）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記公
知の方法では、析出した樹脂と有機溶媒と上記有機溶媒
とは異なる溶媒からなるスラリーから固体樹脂を濾過等
の手段で単離する際、反応で副生する不純物等を充分除
去することができず、所望の品質を有する固体樹脂を得
るためには、更に、煩雑な精製操作を要するという問題
点があった。又、固体樹脂を濾過等の手段で単離する際
の所要時間が長いという問題点もあった。本発明の目的
は、所望の品質を有する固体樹脂を容易に且つ比較的短
時間で製造する方法を提供するものである。
知の方法では、析出した樹脂と有機溶媒と上記有機溶媒
とは異なる溶媒からなるスラリーから固体樹脂を濾過等
の手段で単離する際、反応で副生する不純物等を充分除
去することができず、所望の品質を有する固体樹脂を得
るためには、更に、煩雑な精製操作を要するという問題
点があった。又、固体樹脂を濾過等の手段で単離する際
の所要時間が長いという問題点もあった。本発明の目的
は、所望の品質を有する固体樹脂を容易に且つ比較的短
時間で製造する方法を提供するものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者は、単数又は複
数の原料化合物を有機溶媒（Ａ）の存在下で反応させて
樹脂含有溶液を得、該樹脂含有溶液を上記有機溶媒とは
異なる溶媒（Ｂ）中に添加して樹脂を析出させ、次い
で、樹脂が析出したスラリーを加熱すると、上記目的を
達成できることを見出して、本発明を完成するに至っ
た。
数の原料化合物を有機溶媒（Ａ）の存在下で反応させて
樹脂含有溶液を得、該樹脂含有溶液を上記有機溶媒とは
異なる溶媒（Ｂ）中に添加して樹脂を析出させ、次い
で、樹脂が析出したスラリーを加熱すると、上記目的を
達成できることを見出して、本発明を完成するに至っ
た。
【０００５】即ち、本発明は、単数又は複数の原料化合
物を有機溶媒（Ａ）の存在下で反応させて樹脂含有溶液
を得、該樹脂溶液を上記有機溶媒とは異なる溶媒（Ｂ）
中に添加して樹脂を析出させ、次いで、析出した樹脂と
有機溶媒（Ａ）と溶媒（Ｂ）からなるスラリーを加熱す
ることを特徴とする固体樹脂の製造方法を提供するもの
である。以下、本発明を詳細に説明する。
物を有機溶媒（Ａ）の存在下で反応させて樹脂含有溶液
を得、該樹脂溶液を上記有機溶媒とは異なる溶媒（Ｂ）
中に添加して樹脂を析出させ、次いで、析出した樹脂と
有機溶媒（Ａ）と溶媒（Ｂ）からなるスラリーを加熱す
ることを特徴とする固体樹脂の製造方法を提供するもの
である。以下、本発明を詳細に説明する。
【０００６】
【発明の実施の形態】本発明において目的とする固体樹
脂としては、例えば、電子回路パターンをシリコンウエ
ハー上に形成する際に用いられるフォトレジスト組成物
の構成成分である樹脂等が挙げられる。
脂としては、例えば、電子回路パターンをシリコンウエ
ハー上に形成する際に用いられるフォトレジスト組成物
の構成成分である樹脂等が挙げられる。
【０００７】これらの固体樹脂の具体例としては、例え
ば、R.D.Allen, W.Conley and J.D.Gelorme,Proc. SPI
E, 1672, 513(1992)、S.Takechi, M.Takahashi, A.Kota
chi,K.Nozaki, E.Yano and I.Hanyu, J.Photopolym. Sc
i. Technol.,7, 1, 31(1994)、K.Nakano, K.Maeda,S.Iw
ase, and E.Hasegawa, J.Photopolym. Sci. Technol.,1
0, 4, 561(1995)等の文献や、特開2000-137327号公報に
示される樹脂等が挙げられる。これらの固体樹脂は単数
又は複数の原料化合物を重合又は縮合させて得られる
が、原料化合物としては、例えばメタクリレート及びア
クリレートからなる群より選ばれる１種以上の化合物
や、重合開始剤等が挙げられる。又、反応により得られ
る固体樹脂は共重合樹脂であってもよい。
ば、R.D.Allen, W.Conley and J.D.Gelorme,Proc. SPI
E, 1672, 513(1992)、S.Takechi, M.Takahashi, A.Kota
chi,K.Nozaki, E.Yano and I.Hanyu, J.Photopolym. Sc
i. Technol.,7, 1, 31(1994)、K.Nakano, K.Maeda,S.Iw
ase, and E.Hasegawa, J.Photopolym. Sci. Technol.,1
0, 4, 561(1995)等の文献や、特開2000-137327号公報に
示される樹脂等が挙げられる。これらの固体樹脂は単数
又は複数の原料化合物を重合又は縮合させて得られる
が、原料化合物としては、例えばメタクリレート及びア
クリレートからなる群より選ばれる１種以上の化合物
や、重合開始剤等が挙げられる。又、反応により得られ
る固体樹脂は共重合樹脂であってもよい。
【０００８】本発明で用いられる有機溶媒（Ａ）として
は、例えば、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶媒
や、テトラヒドロフラン又はジオキサン等のエーテル系
溶媒等が挙げられる。有機溶媒（Ａ）としては、特にケ
トン系有機溶媒が好ましい。これらの有機溶媒（Ａ）の
使用量は特に限定されないが、本発明における目的物で
ある固体樹脂100重量部当り、200〜1000重量部の範囲が
好ましい。重合反応や反応後の洗浄操作等において比較
的多量の有機溶媒（Ａ）を使用した場合は、例えば濃縮
等の操作により、溶液中の樹脂濃度を２０〜４０重量％
の範囲に調整後、溶媒（Ｂ）中に添加して樹脂を析出さ
せ、得られたスラリーを加熱することがより好ましい。
は、例えば、メチルイソブチルケトン等のケトン系溶媒
や、テトラヒドロフラン又はジオキサン等のエーテル系
溶媒等が挙げられる。有機溶媒（Ａ）としては、特にケ
トン系有機溶媒が好ましい。これらの有機溶媒（Ａ）の
使用量は特に限定されないが、本発明における目的物で
ある固体樹脂100重量部当り、200〜1000重量部の範囲が
好ましい。重合反応や反応後の洗浄操作等において比較
的多量の有機溶媒（Ａ）を使用した場合は、例えば濃縮
等の操作により、溶液中の樹脂濃度を２０〜４０重量％
の範囲に調整後、溶媒（Ｂ）中に添加して樹脂を析出さ
せ、得られたスラリーを加熱することがより好ましい。
【０００９】本発明により得られる固体樹脂がフォトレ
ジスト組成物の構成成分である場合、フォトレジスト組
成物を構成する溶媒成分と上記有機溶媒（Ａ）とは、同
一であってもよいが、異なっている方がより好ましい。
ジスト組成物の構成成分である場合、フォトレジスト組
成物を構成する溶媒成分と上記有機溶媒（Ａ）とは、同
一であってもよいが、異なっている方がより好ましい。
【００１０】本発明で用いられる溶媒（Ｂ）としては、
例えば、ｎ―ヘキサンやｎ―ヘプタン等の脂肪族系有機
溶媒、メタノールやイソプロパノール等のアルコール系
有機溶媒、及び水と前記アルコール系有機溶媒との混合
溶媒等が挙げられる。水とアルコール系有機溶媒の混合
溶媒における割合は、混合溶媒100重量部当り、アルコ
−ル系有機溶媒が60重量部以上であることが好ましく、
70〜90重量部であることが特に好ましい。これらの溶媒
（Ｂ）の使用量は、樹脂溶液100重量部当り、350重量部
以上であることが好ましく、350〜1000重量部の範囲で
あることが特に好ましい。溶媒（Ｂ）としては、固体樹
脂の溶解度が低いという観点から、アルコール系有機溶
媒や、水とアルコール系有機溶媒の混合溶媒が好まし
く、水とアルコール系有機溶媒の混合溶媒が特に好まし
い。樹脂含有溶液を溶媒（Ｂ）中に添加して樹脂を析出
させるときの温度は、１０〜３０℃の範囲が好ましい。
例えば、ｎ―ヘキサンやｎ―ヘプタン等の脂肪族系有機
溶媒、メタノールやイソプロパノール等のアルコール系
有機溶媒、及び水と前記アルコール系有機溶媒との混合
溶媒等が挙げられる。水とアルコール系有機溶媒の混合
溶媒における割合は、混合溶媒100重量部当り、アルコ
−ル系有機溶媒が60重量部以上であることが好ましく、
70〜90重量部であることが特に好ましい。これらの溶媒
（Ｂ）の使用量は、樹脂溶液100重量部当り、350重量部
以上であることが好ましく、350〜1000重量部の範囲で
あることが特に好ましい。溶媒（Ｂ）としては、固体樹
脂の溶解度が低いという観点から、アルコール系有機溶
媒や、水とアルコール系有機溶媒の混合溶媒が好まし
く、水とアルコール系有機溶媒の混合溶媒が特に好まし
い。樹脂含有溶液を溶媒（Ｂ）中に添加して樹脂を析出
させるときの温度は、１０〜３０℃の範囲が好ましい。
【００１１】樹脂含有溶液を溶媒（Ｂ）中に添加して得
た析出した樹脂と有機溶媒（Ａ）と溶媒（Ｂ）からなる
スラリーを加熱する際に、加熱途中の温度及び加熱後の
保温温度は、樹脂を析出させるときの温度よりも高けれ
ばよいが、樹脂の団塊化を防止する観点からは60℃以下
が好ましく、35〜60℃の範囲がより好ましく、40〜50℃
の範囲が特に好ましい。又、加熱時間は、１時間以上が
好ましく、３時間以上が特に好ましい。固体樹脂の単離
方法としては、例えば、濾過による固液分離手段を用い
る方法等が挙げられる。
た析出した樹脂と有機溶媒（Ａ）と溶媒（Ｂ）からなる
スラリーを加熱する際に、加熱途中の温度及び加熱後の
保温温度は、樹脂を析出させるときの温度よりも高けれ
ばよいが、樹脂の団塊化を防止する観点からは60℃以下
が好ましく、35〜60℃の範囲がより好ましく、40〜50℃
の範囲が特に好ましい。又、加熱時間は、１時間以上が
好ましく、３時間以上が特に好ましい。固体樹脂の単離
方法としては、例えば、濾過による固液分離手段を用い
る方法等が挙げられる。
【００１２】
【実施例】以下、実施例等により本発明を更に詳細に説
明するが、本発明はこれらの例により何ら限定されるも
のではない。例中、「部」及び「％」はそれぞれ重量部
及び重量％を表す。
明するが、本発明はこれらの例により何ら限定されるも
のではない。例中、「部」及び「％」はそれぞれ重量部
及び重量％を表す。
【００１３】実施例１ メタクリル酸 ２−エチル−２−アダマンチル1500部、
メタクリル酸 ３−ヒドロキシ−１−アダマンチル717
部、α−メタクリロイロキシ−γ−ブチロラクトン514
部及びメチルイソブチルケトン1980部を混合し、溶解さ
せた。これを、［モノマー溶液１］とする。アゾイソブ
チリロニトリル40部をメチルイソブチルケトン683部に
溶解した。これを、［重合開始剤溶液１］とする。脱気
された87℃のメチルイソブチルケトン4164部中に、［モ
ノマー溶液１］と［重合開始剤溶液１］を、個別に且つ
同時に導入した。導入終了後、87℃で6時間攪拌した。
次いで、60℃に冷却後、メチルイソブチルケトン4096部
を加え、蓚酸20部とイオン交換水2164部からなる蓚酸水
溶液で一度洗浄した。その後、2184部のイオン交換水で
3度洗浄した。これを、＜樹脂溶液１＞とする。この樹
脂溶液１を、メタノール54610部とイオン交換水13650部
からなる２０℃の溶液に導入した。その後、スラリー温
度を45℃まで昇温した。次いで、同温度で２時間攪拌し
た。攪拌終了後に得られたスラリーのうち２５０Ｌを濾
過面積が０．６ｍ2である加圧式濾過機を用い、０．２
５〜０．３Ｋｇ／ｃｍ2の圧力で濾過した。濾過の所要
時間は４分間であった。濾上物を80％メタノールイオン
交換水溶液で３度洗浄した。次いで、残りのスラリーの
全部を上記と同様にして濾過、洗浄し、濾上物を乾燥
後、1420部の樹脂Ａを得た。
メタクリル酸 ３−ヒドロキシ−１−アダマンチル717
部、α−メタクリロイロキシ−γ−ブチロラクトン514
部及びメチルイソブチルケトン1980部を混合し、溶解さ
せた。これを、［モノマー溶液１］とする。アゾイソブ
チリロニトリル40部をメチルイソブチルケトン683部に
溶解した。これを、［重合開始剤溶液１］とする。脱気
された87℃のメチルイソブチルケトン4164部中に、［モ
ノマー溶液１］と［重合開始剤溶液１］を、個別に且つ
同時に導入した。導入終了後、87℃で6時間攪拌した。
次いで、60℃に冷却後、メチルイソブチルケトン4096部
を加え、蓚酸20部とイオン交換水2164部からなる蓚酸水
溶液で一度洗浄した。その後、2184部のイオン交換水で
3度洗浄した。これを、＜樹脂溶液１＞とする。この樹
脂溶液１を、メタノール54610部とイオン交換水13650部
からなる２０℃の溶液に導入した。その後、スラリー温
度を45℃まで昇温した。次いで、同温度で２時間攪拌し
た。攪拌終了後に得られたスラリーのうち２５０Ｌを濾
過面積が０．６ｍ2である加圧式濾過機を用い、０．２
５〜０．３Ｋｇ／ｃｍ2の圧力で濾過した。濾過の所要
時間は４分間であった。濾上物を80％メタノールイオン
交換水溶液で３度洗浄した。次いで、残りのスラリーの
全部を上記と同様にして濾過、洗浄し、濾上物を乾燥
後、1420部の樹脂Ａを得た。
【００１４】参考例１ 実施例１で得た樹脂Ａ中の不純物量を、液体クロマトグ
ラフ法で分析したところ、０．１％であった。この樹脂
Ａを用いて常法によりフォトレジスト組成物を調製し、
シリコンウエハー上に塗布後、常法によりエッチングし
て電子回路パターンを形成してその性能を測定した。樹
脂Ａを用いて調製したフォトレジストから得られるパタ
ーンは、良好な透過度を有していた。
ラフ法で分析したところ、０．１％であった。この樹脂
Ａを用いて常法によりフォトレジスト組成物を調製し、
シリコンウエハー上に塗布後、常法によりエッチングし
て電子回路パターンを形成してその性能を測定した。樹
脂Ａを用いて調製したフォトレジストから得られるパタ
ーンは、良好な透過度を有していた。
【００１５】比較例１ 実施例１と同様にして得た樹脂溶液１を、メタノール54
610部とイオン交換水13650部からなる２０℃の溶液に導
入し、同温度で２時間攪拌した。その後、得られたスラ
リーを実施例１と同様に濾過したところ、所要時間は１
８０分間であった。濾上物を80％メタノールイオン交換
水溶液で３度洗浄した。その後、乾燥し、1420部の樹脂
Ａ'を得た。この樹脂Ａ'の粉末Ｘ線回折図形は、実施例
１で得た樹脂Ａの粉末Ｘ線回折図形と同じであったが、
顕微鏡による観察の結果、樹脂Ａ'の粒子の形状は樹脂
Ａの粒子の形状と異なっていた。
610部とイオン交換水13650部からなる２０℃の溶液に導
入し、同温度で２時間攪拌した。その後、得られたスラ
リーを実施例１と同様に濾過したところ、所要時間は１
８０分間であった。濾上物を80％メタノールイオン交換
水溶液で３度洗浄した。その後、乾燥し、1420部の樹脂
Ａ'を得た。この樹脂Ａ'の粉末Ｘ線回折図形は、実施例
１で得た樹脂Ａの粉末Ｘ線回折図形と同じであったが、
顕微鏡による観察の結果、樹脂Ａ'の粒子の形状は樹脂
Ａの粒子の形状と異なっていた。
【００１６】参考比較例１ 比較例１で得た樹脂Ａ'中の不純物量を、液体クロマト
グラフ法で分析したところ、１．１％であった。樹脂
Ａ'を用いてフォトレジストを調製したが、該フォトレ
ジストから得られるパターンの透過度は十分なものでは
なかった。
グラフ法で分析したところ、１．１％であった。樹脂
Ａ'を用いてフォトレジストを調製したが、該フォトレ
ジストから得られるパターンの透過度は十分なものでは
なかった。
【００１７】実施例２ メタクリル酸 ２−メチル−２−アダマンチル1400部、
メタクリル酸 ３−ヒドロキシ−１−アダマンチル717
部、α−メタクリロイロキシ−γ−ブチロラクトン514
部及びメチルイソブチルケトン1980部を混合し、溶解さ
せた。これを、［モノマー溶液２］とする。アゾイソブ
チリロニトリル40部をメチルイソブチルケトン683部に
溶解した。これを、［重合開始剤溶液２］とする。脱気
された87℃のメチルイソブチルケトン4164部中に、モノ
マー溶液２と重合開始剤溶液２を、個別に且つ同時に導
入した。導入終了後、87℃で6時間攪拌した。次いで、6
0℃に冷却後、メチルイソブチルケトン4096部を加え、
蓚酸20部とイオン交換水2164部からなる蓚酸水溶液で一
度洗浄した。その後、2184部のイオン交換水で3度洗浄
した。これを、＜樹脂溶液２＞とする。この樹脂溶液２
を減圧下に濃縮して、4000部のメチルイソブチルケトン
を留去した。濃縮後の溶液を＜樹脂溶液３＞とする。こ
の樹脂溶液３を、メタノール54610部とイオン交換水136
50部からなる２０℃の溶液に導入した。その後、スラリ
ー温度を45℃まで昇温した。次いで、同温度で２時間攪
拌した。攪拌終了後に得られたスラリーのうち２５０Ｌ
を濾過面積が０．６ｍ2である加圧式濾過機を用い、
０．２５〜０．３Ｋｇ／ｃｍ2の圧力で濾過した。濾過
の所要時間は３分間であった。濾上物を80％メタノール
イオン交換水溶液で３度洗浄した。次いで、残りのスラ
リーの全部を上記と同様にして濾過、洗浄し、濾上物を
乾燥後、1420部の樹脂Ｂを得た。
メタクリル酸 ３−ヒドロキシ−１−アダマンチル717
部、α−メタクリロイロキシ−γ−ブチロラクトン514
部及びメチルイソブチルケトン1980部を混合し、溶解さ
せた。これを、［モノマー溶液２］とする。アゾイソブ
チリロニトリル40部をメチルイソブチルケトン683部に
溶解した。これを、［重合開始剤溶液２］とする。脱気
された87℃のメチルイソブチルケトン4164部中に、モノ
マー溶液２と重合開始剤溶液２を、個別に且つ同時に導
入した。導入終了後、87℃で6時間攪拌した。次いで、6
0℃に冷却後、メチルイソブチルケトン4096部を加え、
蓚酸20部とイオン交換水2164部からなる蓚酸水溶液で一
度洗浄した。その後、2184部のイオン交換水で3度洗浄
した。これを、＜樹脂溶液２＞とする。この樹脂溶液２
を減圧下に濃縮して、4000部のメチルイソブチルケトン
を留去した。濃縮後の溶液を＜樹脂溶液３＞とする。こ
の樹脂溶液３を、メタノール54610部とイオン交換水136
50部からなる２０℃の溶液に導入した。その後、スラリ
ー温度を45℃まで昇温した。次いで、同温度で２時間攪
拌した。攪拌終了後に得られたスラリーのうち２５０Ｌ
を濾過面積が０．６ｍ2である加圧式濾過機を用い、
０．２５〜０．３Ｋｇ／ｃｍ2の圧力で濾過した。濾過
の所要時間は３分間であった。濾上物を80％メタノール
イオン交換水溶液で３度洗浄した。次いで、残りのスラ
リーの全部を上記と同様にして濾過、洗浄し、濾上物を
乾燥後、1420部の樹脂Ｂを得た。
【００１８】実施例３ 実施例２と同様にして樹脂含有溶液２を得た。この樹脂
含有溶液２を、メタノール54610部とイオン交換水13650
部からなる２０℃の溶液に導入した。得られたスラリー
を45℃まで昇温後、同温度で２時間攪拌した。攪拌終了
後、得られたスラリーのうち２５０Ｌを濾過面積が０．
６ｍ2である加圧式濾過機を用い、０．２５〜０．３Ｋ
ｇ／ｃｍ2の圧力で濾過した。濾過の所要時間は１０分
間であった。濾上物を80％メタノールイオン交換水溶液
で３度洗浄した。次いで、残りのスラリーの全部を上記
と同様にして濾過、水洗し、濾上物を乾燥後、1420部の
樹脂Ｂ’を得た。
含有溶液２を、メタノール54610部とイオン交換水13650
部からなる２０℃の溶液に導入した。得られたスラリー
を45℃まで昇温後、同温度で２時間攪拌した。攪拌終了
後、得られたスラリーのうち２５０Ｌを濾過面積が０．
６ｍ2である加圧式濾過機を用い、０．２５〜０．３Ｋ
ｇ／ｃｍ2の圧力で濾過した。濾過の所要時間は１０分
間であった。濾上物を80％メタノールイオン交換水溶液
で３度洗浄した。次いで、残りのスラリーの全部を上記
と同様にして濾過、水洗し、濾上物を乾燥後、1420部の
樹脂Ｂ’を得た。
【００１９】参考例２ 実施例２で得た樹脂Ｂ中の不純物量を液体クロマトグラ
フ法で分析したところ、０．１％であった。この樹脂Ｂ
を用いて常法によりフォトレジスト組成物を調製し、シ
リコンウエハー上に塗布後、常法によりエッチングして
電子回路パターンを形成してその性能を測定した。樹脂
Ｂを用いて調製したフォトレジストから得られるパター
ンは、良好な透過度を有していた。
フ法で分析したところ、０．１％であった。この樹脂Ｂ
を用いて常法によりフォトレジスト組成物を調製し、シ
リコンウエハー上に塗布後、常法によりエッチングして
電子回路パターンを形成してその性能を測定した。樹脂
Ｂを用いて調製したフォトレジストから得られるパター
ンは、良好な透過度を有していた。
【００２０】
【発明の効果】本発明の製造方法によれば、樹脂含有溶
液を溶媒（Ｂ）中に添加して得た析出した樹脂と有機溶
媒（Ａ）と溶媒（Ｂ）からなるスラリーの濾過性が良
く、且つ、良好な品質の固体樹脂が得られる。
液を溶媒（Ｂ）中に添加して得た析出した樹脂と有機溶
媒（Ａ）と溶媒（Ｂ）からなるスラリーの濾過性が良
く、且つ、良好な品質の固体樹脂が得られる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤澤 拓司 大阪市此花区春日出中３丁目１番98号 住 友化学工業株式会社内 Ｆターム(参考） 4J011 HA03 HB05 4J100 AL02P CA04 FA19 FA30 GC07 GC17 GC29 GC35 JA38
Claims (6)
- 【請求項１】単数又は複数の原料化合物を有機溶媒
（Ａ）の存在下で反応させて樹脂含有溶液を得、該樹脂
含有溶液を上記有機溶媒とは異なる溶媒（Ｂ）中に添加
して樹脂を析出させ、次いで、析出した樹脂と有機溶媒
（Ａ）と溶媒（Ｂ）からなるスラリーを加熱することを
特徴とする固体樹脂の製造方法。 - 【請求項２】原料化合物が、メタクリレート及びアクリ
レートからなる群より選ばれる１種以上である請求項１
に記載の方法。 - 【請求項３】有機溶媒（Ａ）が、ケトン系有機溶媒又は
エーテル系有機溶媒である請求項１又は２に記載の方
法。 - 【請求項４】溶媒（Ｂ）が、脂肪族系有機溶媒、アルコ
ール系有機溶媒、及び水とアルコール系有機溶媒との混
合溶媒からなる群より選ばれる１種である請求項１〜３
のいずれかに記載の方法。 - 【請求項５】加熱途中及び加熱後のスラリーの温度が、
樹脂を析出させるときの温度よりも高く、且つ６０℃以
下である請求項１〜４のいずれかに記載の方法。 - 【請求項６】溶媒（Ｂ）中に添加する樹脂含有溶液が、
２０〜４０重量％の樹脂を含有する請求項１〜５のいず
れかに記載の方法。
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