JP2002200419A - 真空処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 バルブ開−バルブ旋回−バルブ閉の一連の動
作において各動作が完了したことを確認する必要のな
い、複数の真空室を有する真空処理装置を提供する。 【解決手段】 回転テーブル１５に設けられた複数のバ
ルブ板２６を駆動するバルブ開閉機構２７と、回転テー
ブル１５を回転駆動するテーブル駆動機構７０と、バル
ブ開閉機構２７とテーブル駆動機構７０との間で共用さ
れるモータ８０と、２つの出力軸８３、８４を有し、モ
ータ８０からの動力が入力されるインデックスユニット
８２と、を有する。一方の出力軸８３の動力で回転テー
ブル１５が回転され、他方の出力軸８４の動力で円筒カ
ム６１が回転される。バルブ開閉機構２７の各カムフォ
ロア６０が円筒カム６１のカム溝６２で同時に操作さ
れ、複数のバルブ板２６が同時に開閉動作する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被処理物に対して
成膜処理等の真空処理を施すための真空処理装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】この種の真空処理装置は、半導体製造工
程、液晶表示パネル製造工程、或いは光ディスク製造工
程等の各種の工程において、ディスクやシリコンウエハ
等の被処理物の表面処理を行うために使用され、真空空
間内に配置された被処理物に対してスパッタリング、エ
ッチング、ベーキング、或いはアッシング等の処理を行
って、被処理物の表面に薄膜を形成したり、被処理物表
面に形成された薄膜に微細加工を施したりする。

【０００３】同一出願人による特願平１０−２７８２４
５号（特開平１１−１６５０５８号）には、複数の真空
処理室を備えた従来の真空処理装置の一例が示されてい
る。

【０００４】図６は、特開平１１−１６５０５８号に記
載の装置と同種の装置を示しており、この装置は、内部
を真空排気可能な真空搬送室１００と、この真空搬送室
１００に対向する面に開口部１０１を有し真空搬送室１
００の外周に沿って配置された複数の真空処理室１０２
と、真空搬送室１００の内部に半径方向に移動自在に設
けられた複数のバルブ板１０３と、バルブ板１０３に回
転可能に設けられ、被処理物（ディスク）を保持するた
めのディスクホルダー１０４と、バルブ板１０３に連結
されバルブ板１０３を半径方向に移動させて真空処理室
１０２の開口部１０１を開閉するためのバルブ開閉機構
１０５とを有する。バルブ板１０３の前面にはＯリング
１０６が設けられている。

【０００５】バルブ開閉機構１０５は、外周に大歯車１
０７を有する回転テーブル１０８に配置されたリンク機
構１０９を有し、このリンク機構１０９の自由端がスラ
イドブロック１１０に接続され、スライドブロック１１
０にバルブ板１０３が固着されている。リンク機構１０
９には被駆動ロッド１１１の上端が接続されており、被
駆動ロッド１１１の下端には略Ｃ型の部材から成る取付
けブロック１１２が設けられている。

【０００６】また、図６において符号１１３はエアシリ
ンダを示し、このエアシリンダ１１３はピストンロッド
１１４を昇降駆動する。ピストンロッド１１４の上端に
は係合部１１５が設けられ、回転テーブル１０８と共に
被駆動ロッド１１１が回転することにより、取付けブロ
ック１１２と係合部１１５とが分離可能に連結される。
この状態でエアシリンダ１１３を駆動してピストンロッ
ド１１４を昇降させることにより、リンク機構１０９を
介してバルブ板１０３が開閉駆動される。

【０００７】大歯車１０７には小歯車１１６が噛み合っ
ており、モータ１１７の駆動力をインデックス１１８及
び駆動軸１１９を介して小歯車１１６に伝達するように
構成されている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】図６に示した従来の真
空処理装置においては、回転テーブル１０８及びバルブ
板１０３の旋回動作をモータ１１７及びインデックスユ
ニット１１８により行い、バルブ板１０３の開閉動作を
エアシリンダ１１３により行うようにしている。このよ
うにバルブ板１０３の旋回動作と開閉動作とを、互いに
独立した駆動機構によって行うようにしているので、バ
ルブ開−バルブ旋回−バルブ閉の一連の動作において、
各動作が完了したことを確認するための時間が必要とな
り、被処理物の搬送シーケンスに要する時間が長期化し
てしまうという問題がある。

【０００９】また、複数のバルブ板１０３を同時に開閉
動作するために複数のバルブ開閉機構１０５の各リンク
機構１０９を同時に駆動させようとしても、バルブ開閉
機構１０５同士の間で動作時間にバラツキが発生してし
まい、複数のバルブ板１０３を同時に開閉できないとい
う問題がある。

【００１０】さらに、従来の真空処理装置においては、
バルブ板１０３の開閉に際して加減速動作を行うことが
できず、このため、バルブ開閉時の衝撃が大きくなって
しまい、被処理物の脱落やパーティクルの発生等が引き
起こされるという問題がある。

【００１１】本発明は、上述した事情を考慮してなされ
たもので、第１の目的は、バルブ開−バルブ旋回−バル
ブ閉の一連の動作において各動作が完了したことを確認
する必要のない、複数の真空室を有する真空処理装置を
提供することにあり、第２の目的は、複数のバルブ体を
同時に開閉動作させることができる真空処理装置を提供
することにあり、第３の目的は、バルブ体の開閉時の衝
撃を軽減することができるバルブ開閉機構を備えた真空
処理装置を提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、内部を真空排気可能な真空搬送室と、前
記真空搬送室に対向する面に開口部を有し、前記真空搬
送室の外周に沿って配置された複数の真空室と、前記真
空搬送室の内部に配置され、外周にテーブル用大歯車が
設けられた回転テーブルと、前記回転テーブルにその半
径方向に沿って直動可能に配置され、前記各開口部を封
止できると共に被処理物を保持できる各バルブ体と、前
記各バルブ体を開閉駆動するバルブ開閉機構と、前記テ
ーブル用大歯車に噛み合わされた小歯車を有し、前記回
転テーブルを回転駆動するテーブル駆動機構と、を備え
た真空処理装置において、前記バルブ開閉機構は、前記
各バルブ体を直動させるために一端が前記バルブ体に接
続され他端が前記回転テーブルに接続された各リンク機
構と、一端が前記リンク機構に接続され他端に被駆動側
連結部が形成された各被駆動ロッドと、前記回転テーブ
ルの回転によって前記被駆動側連結部が分離可能に連結
される駆動側連結部を一端に有する各駆動ロッドと、前
記各駆動ロッドに連結された各カムフォロアと、前記回
転テーブルと同心にて回転可能であり、前記各カムフォ
ロアが係合するカム溝が形成された円筒カムであって、
前記カム溝は、前記円筒カムの回転によって前記各カム
フォロアが同時に操作されて前記各駆動ロッドが駆動さ
れ、これにより前記複数のバルブ体が同時に開閉駆動さ
れるようなカム曲線を成している円筒カムと、前記円筒
カムに設けられたカム用大歯車と、を有し、前記真空処
理装置は、さらに、前記バルブ開閉機構と前記テーブル
駆動機構との間で共用されるモータと、２つの出力軸を
有し、前記モータからの動力が入力されるインデックス
ユニットと、を有し、前記インデックスユニットの一方
の前記出力軸の動力は前記小歯車に伝達され、他方の前
記出力軸の動力は前記カム用大歯車に伝達されることを
特徴とする。

【００１３】また、好ましくは、前記各駆動ロッドと前
記各カムフォロアとの間に配置された各エアシリンダを
さらに有し、前記各カムフォロアは前記各エアシリンダ
の本体側に設けられ、前記各駆動ロッドは前記各エアシ
リンダの出力軸側に連結され、前記各エアシリンダを個
別に駆動することにより前記各バルブ体を個別に開閉駆
動できるようにする。

【００１４】また、好ましくは、前記カム溝は、前記複
数のバルブ体を加減速制御しながら開閉動作させるよう
なカム曲線を成している。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施形態につい
て図１乃至図５を参照して説明する。図１は本発明によ
る真空処理装置の一実施形態の平面図を示し、図１にお
いて符号１０は平面形状がほぼ八角形のハウジングを示
す。八角形ハウジング１０の内側には真空排気可能な真
空搬送室３が形成されている。

【００１６】八角形ハウジング１０には、８辺の内の１
辺に、真空搬送室３の内部に被処理物Ｗを搬入し又は搬
出するための真空室であるロードロック室１が形成さ
れ、残りの７辺に真空室である７個の真空処理室２Ａ、
２Ｂ…２Ｇが形成されている。真空処理室２Ａ、２Ｂ…
２Ｇの内部において被処理物（例えばディスク）Ｗに対
してスパッタリング、エッチング、ベーキング、或いは
アッシング等の真空処理が実施される。

【００１７】ロードロック室１の真空搬送室３に面する
側には被処理物Ｗを出し入れするための開口部１ａが形
成されている。真空処理室２Ａ、２Ｂ…２Ｇの真空搬送
室３に面する側にも被処理物Ｗを出し入れするための開
口部２ａが形成されている。各真空処理室２Ａ、２Ｂ…
２Ｇには図示しないターボ分子ポンプが接続されてい
る。ターボ分子ポンプは各真空処理室２Ａ、２Ｂ…２Ｇ
の内部空間を真空排気するために作用する。各真空処理
室２Ａ、２Ｂ…２Ｇには所定の真空処理を行うための加
工装置（例えばスパッタ源）１４Ａ、１４Ｂ…１４Ｇが
それぞれ設置されている。

【００１８】真空搬送室３の内部には、環状の回転テー
ブル１５が回転可能に配置されている。この回転テーブ
ル１５は外周に大歯車１８を有し、回転テーブル１５に
設けた大歯車１８には小歯車１９が噛み合っている。回
転テーブル１５の上面側には、ロードロック室１と７個
の真空処理室２Ａ、２Ｂ…２Ｇに対応して８つのバルブ
板２６が周方向に間隔を置いて配置されている。これら
のバルブ板２６は、ロードロック室１の開口部１ａ及び
真空処理室２Ａ、２Ｂ…２Ｇの開口部２ａを封止可能で
ある。各バルブ板２６は、ロードロック室１及び真空処
理室２Ａ、２Ｂ…２Ｇに面する内面２６ａを有し、この
内面２６ａに被処理物Ｗを保持するための保持手段であ
る４個のディスクホルダ２８が回転（自転）可能に設け
られている。

【００１９】また、ロードロック室１の搬入側には、被
処理物Ｗをロードロック室１内に搬入するための搬送装
置２９が設けられている。この搬送装置２９は、ロード
ロック室１の内部に４枚一組で被処理物Ｗを搬入し又は
搬出する。

【００２０】図２及び図３に示したように、バルブ開閉
機構２７は、各バルブ板２６に対応して、バルブ板２６
の背面に固定された受けブロック３０と、この受けブロ
ック３０を取付けた第１スライドブロック３１と、この
第１スライドブロック３１より半径方向内側に間隔を置
いて配置された第２スライドブロック３２とを有する。
第１スライドブロック３１と第２スライドブロック３２
は、回転テーブル１５の上面に固定された支持板３３に
半径方向にスライド自在に支持されている。

【００２１】支持板３３にスライド自在に支持された第
１スライドブロック３１と第２スライドブロック３２
は、コイルばね手段３４により連結され、互いに近付く
方向にばね付勢されている。第２スライドブロック３２
にはエンドブロック３５が取付けられている。第１スラ
イドブロック３１に固定された受けブロック３０と第２
スライドブロックに取付けられたエンドブロック３５は
リンク機構３６により連結されている。

【００２２】各リンク機構３６は、一対のリンク３６
ａ，３６ｂと、一対のリンク３６ａ，３６ｂの端部を互
いに枢着する軸３７とから形成されている。リンク機構
３６のリンク３６ａの自由端は軸３８を介して受けブロ
ック３０に枢着され、リンク３６ｂの自由端は軸３９を
介してエンドブロック３５に枢着されている。各リンク
機構３６のリンク３６ｂの長手方向中間部に開口が設け
られている。リンク３６ｂは、開口に装着される軸受の
機能を兼ねた軸４０により互いに連結されている。この
軸４０に長孔４１を備えたハウジング４２が取付けられ
ている。

【００２３】軸４０に連結されたハウジング４２の下部
に被駆動ロッド４３が取付けられている。被駆動ロッド
４３の下端には連結手段として作用する被駆動側連結部
５０が形成されている。被駆動側連結部５０は略Ｃ型の
ブロック部材によって構成されている。

【００２４】さらに、図２及び図４に示したように回転
テーブル１５には座板５２が配置されている。この座板
５２にエンドブロック３５が当接する。この座板５２
は、バルブ板２６がロードロック室１の開口部１ａまた
は真空処理室２Ａ、２Ｂ…２Ｇの開口部２ａを封止した
時にエンドブロック３５の反力を受ける。また、第１ス
ライドブロック３１にはリンク機構３６の一対のリンク
３６ａ，３６ｂの端部を互いに枢着する軸３７に対応し
てリンクストッパ５３が配置されている。なお、バルブ
板２６の前面にはＯリング２５が設けられている。

【００２５】図５に示したように、複数のバルブ板駆動
ロッド４９が周方向に所定間隔にて配置されており、各
バルブ板駆動ロッド４９は、回転テーブル１５の回転に
よって被駆動側連結部５０に分離可能に連結される駆動
側連結部４５を一端に有する。駆動側連結部４５は、被
駆動側連結部５０との連結が円滑に成されるようにコロ
部材を有している。バルブ板駆動ロッド４９はシャフト
ガイド４８に挿通されている。

【００２６】各バルブ板駆動ロッド４９は各エアシリン
ダ４６の出力軸４７に連結されていおり、一方、各エア
シリンダ４６の本体側には各カムフォロア６０が設けら
れている。回転テーブル１５と同心にて回転可能となる
ように円筒カム６１が設けられており、この円筒カム６
１の外周面には、各カムフォロア６０が係合するカム溝
６２が形成されている。

【００２７】カム溝６２は、円筒カム６１の回転によっ
て各カムフォロア６０が同時に操作されて各エアシリン
ダ４６及び各バルブ板駆動ロッド４９が同時に昇降駆動
され、これにより複数のバルブ板２６が同時に開閉駆動
されるようなカム曲線を成している。このカム曲線は、
複数のバルブ板２６を加減速制御しながら開閉動作させ
るようにカムフォロア６０を操作するような曲線を成し
ていることが好ましい。円筒カム６１にはカム用大歯車
６３が設けられている。

【００２８】図５において符号７０は、回転テーブル１
５を回転駆動するためのテーブル駆動機構を示し、この
テーブル駆動機構７０は、テーブル用大歯車１８に噛み
合わされた小歯車１９と、この小歯車１９に動力を伝達
するための小歯車駆動ロッド７１と、を有する。小歯車
駆動ロッド７１は、シャフトガイド７２に挿通されてい
る。

【００２９】本実施形態による真空処理装置は、さら
に、バルブ開閉機構２７とテーブル駆動機構７０との間
で共用されるモータ８０と、このモータ８０の出力軸８
１が接続されたインデックスユニット８２とを有する。
ここで、一般にインデックスユニットは入力軸と出力軸
とを有し、一定回転数の動力を入力軸に与えることによ
り、出力軸に間欠のピッチ動作を行わせるようにした装
置である。本実施形態におけるインデックスユニット８
２は２つの出力軸８３、８４を有し、一方の出力軸８３
は小歯車駆動ロッド７１に連結され、他方の出力軸８４
には小歯車８５が設けられ、この小歯車８５はカム用大
歯車６３と噛み合っている。

【００３０】次に、本実施形態による真空処理装置の作
用について説明する。まず、４枚一組の被処理物Ｗを搬
送装置２９によってロードロック室１内に搬入し、ロー
ドロック室１の内部を真空排気した後、搬入した各被処
理物Ｗをロードロック室１の開口部１ａを封止している
バルブ板２６に受け渡す。バルブ板２６のディスクホル
ダ２８に被処理物Ｗを受け渡した段階では、バルブ板２
６はロードロック室１の開口部１ａを封止しており、こ
の状態では、バルブ開閉機構２７は、図２に示すよう
に、リンク機構３６のリンク３６ａ，３６ｂをほぼ一線
上に位置する死点位置に維持している。

【００３１】バルブ板２６をロードロック室１からロー
ドロック室１に隣接した真空処理室２Ａまで移送するに
は、バルブ板２６をバルブ開閉機構２７によりロードロ
ック室１の開口部１ａを開く方向に駆動し、駆動したバ
ルブ板２６を回転テーブル１５により所定量だけ回転す
ることで行う。

【００３２】すなわち、図４に示したバルブ板２６を閉
じた状態から、モータ８０を駆動することにより、まず
初めにインデックスユニット８２の一方の出力軸８４が
回転を開始し、その動力が小歯車８５を介してカム用大
歯車６３に伝達され、円筒カム６１が回転駆動される。
円筒カム６１が回転駆動されることにより、カム溝６２
に係合している各カムフォロア６０が上昇駆動され、こ
れにより、各エアシリンダ４６及び各バルブ板駆動ロッ
ド４９が上昇駆動され、その結果、複数のバルブ板２６
が同時に開放駆動される。

【００３３】そして、複数のバルブ板２６が十分に開放
されると、続いてインデックスユニット８２の他方の出
力軸８３が回転を開始し、その動力が小歯車駆動ロッド
７１を介して小歯車１９に伝達され、小歯車１９の回転
により回転テーブル１５が回転駆動される。

【００３４】回転テーブル１５が所定量だけ回転して、
各バルブ板２６が所望の真空処理室２Ａ、２Ｂ…２Ｇ及
びロードロック室１に対向する位置まで来たら、インデ
ックスユニット８２の一方の出力軸８３はその回転を停
止し、回転テーブル１５の回転が停止される。続いて、
インデックスユニット８２の他方の出力軸８４の回転に
より円筒カム６１が回転駆動されて各カムフォロア６０
が下降駆動され、これにより、各エアシリンダ４６及び
各バルブ板駆動ロッド４９が下降駆動され、その結果、
複数のバルブ板２６が同時に閉じられる。

【００３５】なお、カムフォロア６０が操作されてエア
シリンダ４６及びバルブ板駆動ロッド４９が昇降駆動さ
れるタイミングは、被駆動側連結部５０と駆動側連結部
４５とが連結状態にあるときである。

【００３６】また、上述した通常のバルブ開閉操作にお
いては、すべてのエアシリンダ４６の出力軸４７は常に
引き側に位置している。つまり、バブル開閉に際してエ
アシリンダ４６自体は駆動されない。そして、何らかの
事情により特定のバルブ板２６のみを開閉操作したい場
合には、円筒カム６１を動かすことなく、当該バルブ板
２６に対応するエアシリンダ４６を駆動することによ
り、当該バルブ板２６のみを開閉操作することができ
る。

【００３７】以上述べたように本実施形態による真空処
理装置によれば、共通のインデックスユニット８２によ
ってバルブ旋回動作及びバルブ開閉動作の両方を行うよ
うにしたので、バルブ開−バルブ旋回−バルブ閉の一連
の動作において各動作が完了したことを確認する必要が
なく、その結果、被処理物の搬送シーケンスに要する時
間を短縮することができる。

【００３８】また、共通の円筒カム６１によって複数の
カムフォロア６０を操作するようにしたので、複数のリ
ンク機構３６を同時に駆動して複数のバルブ板２６の開
閉動作を同時に行うことができる。

【００３９】さらに、円筒カム６１のカム溝６２のカム
曲線を、複数のバルブ板２６を加減速制御しながら開閉
動作させるようにカムフォロア６０を操作するような曲
線としたので、バルブ板２６の開閉時の衝撃を低減する
ことができる。

【００４０】

【発明の効果】以上述べたように本発明による真空処理
装置によれば、共通のインデックスユニットによってバ
ルブ旋回動作及びバルブ開閉動作の両方を行うようにし
たので、バルブ開−バルブ旋回−バルブ閉の一連の動作
において各動作が完了したことを確認する必要がなく、
その結果、被処理物の搬送シーケンスに要する時間を短
縮することができる。

【００４１】また、共通の円筒カムによって複数のカム
フォロアを操作するようにしたので、複数のリンク機構
を同時に駆動して複数のバルブ板の開閉動作を同時に行
うことができる。

【００４２】さらに、円筒カムのカム溝のカム曲線を、
複数のバルブ体を加減速制御しながら開閉動作させるよ
うにカムフォロアを操作するような曲線としたので、バ
ルブ体の開閉時の衝撃を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態による真空処理装置の概略
構成を示した平面図。

【図２】図１に示した真空処理装置のバルブ開閉機構の
主要部を示した斜視図。

【図３】図１に示した真空処理装置のバルブ開閉機構の
主要部及びバルブ板を示した斜視図。

【図４】図１に示した真空処理装置のバルブ開閉機構に
よりバルブ板が真空処理室を封止した状態を示した図。

【図５】図１に示した真空処理装置の主要部を示した側
断面図。

【図６】従来の真空処理装置を示した側断面図。

【符号の説明】

１ ロードロック室（真空室） ２Ａ、２Ｂ…２Ｇ 真空処理室（真空室） ３ 真空搬送室 １９ 小歯車 ２６ バルブ板 ２７ バルブ開閉機構 ３６ リンク機構 ４３ 被駆動ロッド ４５ 駆動側連結部 ４６ エアシリンダ装置 ４７ 出力軸 ４９ バルブ板駆動ロッド ５０ 被駆動側連結部 ６０ カムフォロア ６１ 円筒カム ６２ カム溝 ６３ カム用大歯車 ７０ テーブル駆動機構 ７１ 小歯車駆動ロッド ８０ モータ ８２ インデックスユニット ８３，８４ 出力軸 ８５ 小歯車

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｂ６５Ｇ 49/00 Ｂ６５Ｇ 49/00 Ｃ Ｃ２３Ｃ 14/56 Ｃ２３Ｃ 14/56 Ｇ Ｇ１１Ｂ 7/26 ５３１ Ｇ１１Ｂ 7/26 ５３１ Ｈ０１Ｌ 21/203 Ｈ０１Ｌ 21/203 Ｓ 21/3065 21/302 Ｂ

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】内部を真空排気可能な真空搬送室と、前記
   真空搬送室に対向する面に開口部を有し、前記真空搬送
   室の外周に沿って配置された複数の真空室と、前記真空
   搬送室の内部に配置され、外周にテーブル用大歯車が設
   けられた回転テーブルと、前記回転テーブルにその半径
   方向に沿って直動可能に配置され、前記各開口部を封止
   できると共に被処理物を保持できる各バルブ体と、前記
   各バルブ体を開閉駆動するバルブ開閉機構と、前記テー
   ブル用大歯車に噛み合わされた小歯車を有し、前記回転
   テーブルを回転駆動するテーブル駆動機構と、を備えた
   真空処理装置において、 前記バルブ開閉機構は、前記各バルブ体を直動させるた
   めに一端が前記バルブ体に接続され他端が前記回転テー
   ブルに接続された各リンク機構と、一端が前記リンク機
   構に接続され他端に被駆動側連結部が形成された各被駆
   動ロッドと、前記回転テーブルの回転によって前記被駆
   動側連結部が分離可能に連結される駆動側連結部を一端
   に有する各駆動ロッドと、前記各駆動ロッドに連結され
   た各カムフォロアと、前記回転テーブルと同心にて回転
   可能であり、前記各カムフォロアが係合するカム溝が形
   成された円筒カムであって、前記カム溝は、前記円筒カ
   ムの回転によって前記各カムフォロアが同時に操作され
   て前記各駆動ロッドが駆動され、これにより前記複数の
   バルブ体が同時に開閉駆動されるようなカム曲線を成し
   ている円筒カムと、前記円筒カムに設けられたカム用大
   歯車と、を有し、 前記真空処理装置は、さらに、前記バルブ開閉機構と前
   記テーブル駆動機構との間で共用されるモータと、２つ
   の出力軸を有し、前記モータからの動力が入力されるイ
   ンデックスユニットと、を有し、前記インデックスユニ
   ットの一方の前記出力軸の動力は前記小歯車に伝達さ
   れ、他方の前記出力軸の動力は前記カム用大歯車に伝達
   されることを特徴とする真空処理装置。
2. 【請求項２】前記各駆動ロッドと前記各カムフォロアと
   の間に配置された各エアシリンダをさらに有し、前記各
   カムフォロアは前記各エアシリンダの本体側に設けら
   れ、前記各駆動ロッドは前記各エアシリンダの出力軸側
   に連結され、前記各エアシリンダを個別に駆動すること
   により前記各バルブ体を個別に開閉駆動できるようにし
   たことを特徴とする請求項１記載の真空処理装置。
3. 【請求項３】前記カム溝は、前記複数のバルブ体を加減
   速制御しながら開閉動作させるようなカム曲線を成して
   いることを特徴とする請求項１又は２に記載の真空処理
   装置。