JPH11165058A - 真空処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 バルブ円板による真空処理室の開口部の閉塞
をリンク装置の死点を利用することで、駆動装置を駆動
部の作動ストロークが少なくかつ小出力のものに設定
し、真空処理室のメンテナンスを真空搬送室に損傷を与
えることなく行うことができる。 【解決手段】 内部を真空排気可能な真空搬送室３の内
部に設けられたバルブ円板２６に、一対のリンク３６
ａ，３６ｂを有するリンク装置３６とリンク装置３６の
一方のリンクの中間部に連結された駆動装置４６を備え
たバルブ開閉機構２７を連結して構成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、被処理物の真空処
理を実施するための複数の真空処理室を備えた真空処理
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の真空処理装置は、半導体製造工
程、液晶表示パネル製造工程、或いは光ディスク製造工
程等の各種の工程において、シリコンウエハ等の被処理
物の表面処理を行うために使用され、真空空間内に配置
された被処理物に対してスパッタリング、エッチング、
ベーキング、或いはアッシング等の処理を行って、被処
理物の表面に薄膜を形成したり、被処理物表面に形成さ
れた薄膜に微細加工を施したりする。

【０００３】前記真空処理装置は、図１２に示すよう
に、内部を真空排気可能な真空搬送室１００と、この真
空搬送室１００に対向する面に開口部１０１を有し真空
搬送室１００の外周に沿って配置された真空処理室１０
２と、真空搬送室１００の内部に半径方向に移動自在に
設けられたバルブ円板１０３と、このバルブ円板１０３
に回転可能に設けられた被処理物を保持するための保持
手段１０４と、バルブ円板１０３に連結されバルブ円板
１０３を半径方向に移動させて真空処理室１０２の開口
部１０１を開閉するためのバルブ開閉機構１０５とを有
する。

【０００４】前記バルブ開閉機構１０５は、バルブ円板
１０３の背面に固定された受けブロック１０６と、この
受けブロック１０６から半径方向内方に延びる軸１０７
と、この軸１０７を摺動自在に支持するガイドブロック
１０８と、このガイドブロック１０８を支持する支持板
１０９と、この支持板１０９のガイドブロック１０８よ
り半径方向内方に配置されたエアシリンダ１１０と、こ
のエアシリンダ１１０のピストンロッド１１１と軸１０
７を連結する連結具１１２とから構成されている。

【０００５】前記バルブ開閉機構１０５は、エアシリン
ダ１１０のピストンロッド１１１を引き戻す方向に動か
すことでバルブ円板１０３を真空処理室１０２の開口部
１０１を開く方向に駆動し、エアシリンダ１１０のピス
トンロッド１１１を突き出す方向に動かすことでバルブ
円板１０３を真空処理室１０２の開口部１０１を閉じる
方向に駆動する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】前記形式の真空処理装
置は、エアシリンダのピストンロッドと軸を一線上に配
置し、バルブ開閉機構のエアシリンダでバルブ円板を直
接押すことでバルブ円板による真空処理室の開口部の開
閉を行っている。

【０００７】前記形式の真空処理装置の真空処理室のメ
ンテナンスを行う場合、真空処理室を大気に開放した状
態で行うが、真空処理室を大気に開放することで、真空
処理室の開口部を閉塞するバルブ円板に大気圧が作用
し、真空処理室の開口部を閉塞するバルブ円板をエアシ
リンダの押圧力に抗して真空処理室の開口部から離れる
方向に作用する。そのため、真空搬送室の内部に設置さ
れたエアシリンダは、高出力構造のものにし、大気圧を
受けるバルブ円板の力に抗してバルブ円板を真空処理室
の開口部の閉塞位置に保つ必要がある。

【０００８】しかし、前記形式の真空処理装置におい
て、バルブ開閉機構のエアシリンダを高出力構造にする
ことは、シリンダのボア径が大きいエアシリンダを選定
しなければならず、エアシリンダが大型化し、装置全体
も大型化してしまうという問題点がある。

【０００９】本発明は上記した点を考慮してなされたも
ので、バルブ開閉機構にリンク装置を組み込み、リンク
装置の死点を利用してバルブ円板を押圧することで、駆
動装置を高出力の構造のものにすることなく、真空処理
室のメンテナンスを可能にする真空処理装置を提供する
ことを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明による真空処理装
置は、バルブ開閉機構を一対のリンクを有するリンク装
置とこのリンク装置の一方のリンクの中間部に連結され
た駆動装置を有する構成とし、真空排気可能な真空搬送
室の内部に設けられたバルブ円板に一対のリンクを有す
るリンク装置を連結し、バルブ円板による真空処理室の
開口部の閉塞をリンク装置の一対のリンクが直線上に位
置する死点を利用して行ない、これにより、駆動部を小
出力の構造にし、しかも、駆動部の作動ストロークを少
なく設定でき、真空処理室のメンテナンスを真空搬送室
に損傷を与えることなく行うことを可能にする。

【００１１】本発明による真空処理装置は、受けブロッ
クを第１スライドブロックに支持し、エンドブロックを
第２スライドブロックに支持し、第１スライドブロック
と第２スライドブロックをばね手段で連結することがで
きる。

【００１２】本発明による真空処理装置は、駆動装置を
真空搬送室の下側に固定配置されたエアシリンダと、こ
のエアシリンダから上方に真空シールされたガイドを介
して真空搬送室内に延びるピストンロッドと、このピス
トンロッドの先端部に固定された取付けブロックとで構
成し、作動ロッドを取付けブロックに連結するための連
結手段を作動ロッドの端部に設けた構成とすることがで
きる。

【００１３】本発明による真空処理装置は、連結手段
を、取付けブロックに係合する係合部で構成し、係合部
を填め込むための受入れ空間を取付けブロックに設けた
構成とすることができる。

【００１４】本発明による真空処理装置は、取付けブロ
ックを略Ｃ型部材によって構成し、受入れ空間を略Ｃ型
部材の内側に形成された上方開口の空間とすることがで
きる。

【００１５】本発明による真空処理装置は、係合部を、
受入れ空間に填め込まれる際に転動するコロ部材を有す
るコロ手段によって構成することができる。

【００１６】本発明による真空処理装置は、コロ手段
を、作動ロッドの端部に設けられた支軸と、支軸によっ
て軸支された一対のコロ部材と、によって構成すること
ができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】第１実施形態 以下、本発明の第１実施形態について図面を参照して説
明する。

【００１８】図１は本発明による真空処理装置の一実施
形態の平面図を示し、図１において符号１０は平面形状
がほぼ八角形のハウジングを示す。八角形ハウジング１
０の内側には真空排気可能な真空搬送室３が形成されて
いる。

【００１９】八角形ハウジング１０には、８辺の内の１
辺に真空搬送室３の内部に被処理物Ｗを搬入し又は搬出
するためのロードロック室１が形成され、残りの７辺に
７個の真空処理室２Ａ、２Ｂ…２Ｇが形成されている。
これら真空処理室２Ａ、２Ｂ…２Ｇの内部において被処
理物Ｗに対してスパッタリング、エッチング、ベーキン
グ、或いはアッシング等の真空処理が実施される。

【００２０】ロードロック室１の真空搬送室３に面する
側には被処理物Ｗを出し入れするための開口部１ａが形
成されている。真空処理室２Ａ、２Ｂ…２Ｇの真空搬送
室３に面する側にも被処理物Ｗを出し入れするための開
口部２ａが形成されている。各真空処理室２Ａ、２Ｂ…
２Ｇには図示しないターボ分子ポンプが接続されてい
る。ターボ分子ポンプは各真空処理室２Ａ、２Ｂ…２Ｇ
の内部空間を真空排気するために作用する。各真空処理
室２Ａ、２Ｂ…２Ｇには所定の真空処理を行うための加
工装置１４Ａ、１４Ｂ…１４Ｇがそれぞれ設置されてい
る。

【００２１】真空搬送室３の内側底部には、環状の回転
テーブル１５が回転可能に配置されている。この回転テ
ーブル１５は外周に大歯車１８を有し、回転テーブル１
５に設けた大歯車１８に図示しない駆動装置により駆動
される小歯車１９が噛み合っている。回転テーブル１５
の上面には、ロードロック室１と７個の真空処理室２
Ａ、２Ｂ…２Ｇに対応して８台のバルブ機構２５が周方
向に間隔を置いて配置されている。

【００２２】各バルブ機構２５は、ロードロック室１の
開口部１ａ及び真空処理室２Ａ、２Ｂ…２Ｇの開口部２
ａを閉塞可能なバルブ円板２６と、このバルブ円板２６
を開閉駆動するバルブ開閉機構２７とから構成されてい
る。各バルブ円板２６は、ロードロック室１及び真空処
理室２Ａ、２Ｂ…２Ｇに面する内面２６ａを有し、この
内面２６ａに被処理物Ｗを保持するための保持手段であ
る４個のディスクホルダ２８が回転（自転）可能に設け
られている。

【００２３】また、ロードロック室１の搬入側には、被
処理物Ｗをロードロック室１内に搬入するための搬送装
置２９が設けられている。この搬送装置２９は、ロード
ロック室１の内部に４枚一組で被処理物Ｗを搬入し又は
搬出する。

【００２４】バルブ開閉機構２７は、図２および図３に
示すように、バルブ円板２６の背面に固定された受けブ
ロック３０と、この受けブロック３０を取付けた第１ス
ライドブロック３１と、この第１スライドブロック３１
より半径方向内側に間隔を置いて配置された第２スライ
ドブロック３２とを有する。第１スライドブロック３１
と第２スライドブロック３２は、回転テーブル１５の上
面に固定された支持板３３に半径方向にスライド自在に
支持されている。

【００２５】支持板３３にスライド自在に支持された第
１スライドブロック３１と第２スライドブロック３２
は、コイルばね手段３４により連結され、互いに近付く
方向にばね付勢されている。第２スライドブロック３２
にはエンドブロック３５が取付けられている。第１スラ
イドブロック３１に固定された受けブロック３０と第２
スライドブロックに取付けられたエンドブロック３５は
リンク装置３６により連結されている。

【００２６】各リンク装置３６は、一対のリンク３６
ａ，３６ｂと、一対のリンク３６ａ，３６ｂの端部を互
いに枢着する軸３７とから形成されている。リンク装置
３６のリンク３６ａの自由端は軸３８を介して受けブロ
ック３０に枢着され、リンク３６ｂの自由端は軸３９を
介してエンドブロック３５に枢着されている。各リンク
装置３６のリンク３６ｂの長手方向中間部に開口が設け
られている。リンク３６ｂは、開口に装着される軸受の
機能を兼ねた軸４０により互いに連結されている。この
軸４０に長孔４１を備えたハウジング４２が取付けられ
ている。

【００２７】軸４０に連結されたハウジング４２の下部
に作動ロッド４３が取付けられている。図４，５に示す
この作動ロッド４３は、回転テーブル１５に設けたロッ
ドガイド４４を通って回転テーブル１５の下方に延びて
いる。作動ロッド４３の下端には連結手段として作用す
る係合部４５が形成されている。作動ロッド４３はこの
連結手段を介して駆動装置（エアシリンダ装置４６）に
連結される。

【００２８】エアシリンダ装置４６は、八角形ハウジン
グ１０の下側に固定配置された装置本体４７と、この装
置本体４７から八角形ハウジング１０に真空シールする
ように設けられたシャフトガイド４８を介して上方に延
びるピストンロッド４９と、このピストンロッド４９の
上端に設けられた取付けブロック５０を有する。

【００２９】取付けブロック５０は略Ｃ型部材によって
構成されており、内側に上方開口の受入れ空間５１が形
成されている。この取付けブロック５０の受入れ空間５
１に作動ロッド４３の係合部４５が係合する。これによ
り、ピストンロッド４９に作動ロッド４３が連結され
る。

【００３０】さらに、回転テーブル１５には座板５２が
配置されている。この座板５２にエンドブロック３５が
当接する。この座板５２は、バルブ円板２６がロードロ
ック室１の開口部１ａまたは真空処理室２Ａ、２Ｂ…２
Ｇの開口部２ａを閉塞した時にエンドブロック３５の反
力を受ける。また、第１スライドブロック３１にはリン
ク装置３６の一対のリンク３６ａ，３６ｂの端部を互い
に枢着する軸３７に対応してリンクストッパ５３が配置
されている。

【００３１】つぎに、本実施形態による真空処理装置の
作用について説明する。

【００３２】まず、４枚一組の被処理物Ｗを搬送装置２
９によってロードロック室１内に搬入し、ロードロック
室１の内部を真空排気した後、搬入した各被処理物Ｗを
ロードロック室１の開口部１ａを閉塞しているバルブ円
板２６に受け渡す。

【００３３】バルブ円板２６のディスクホルダ２８に被
処理物Ｗを受け渡した段階では、バルブ円板２６はロー
ドロック室１の開口部１ａを閉塞しており、この状態で
は、バルブ開閉機構２７は、図２に示すように、リンク
装置３６のリンク３６ａ，３６ｂをほぼ一線上に位置す
る死点位置に維持している。

【００３４】バルブ円板２６をロードロック室１からロ
ードロック室１に隣接した真空処理室２Ａまで移送する
には、バルブ円板２６をバルブ開閉機構２７によりロー
ドロック室１の開口部１ａを開く方向に駆動し、駆動し
たバルブ円板２６を回転テーブル１５により所定量だけ
回転することで行う。

【００３５】バルブ円板２６をロードロック室１の開口
部１ａを開く方向に駆動するには、バルブ開閉機構２７
のエアシリンダ装置４６を作動して、図３に示すよう
に、エアシリンダ装置４６のピストンロッド４９を上方
に伸びる方向に動かし、このピストンロッド４９に連結
された作動ロッド４３によりリンク装置３６のリンク３
６ｂを上方に動かす。

【００３６】リンク装置３６は、リンク３６ａとリンク
３６ｂをコイルばね手段３４により互いに近付く方向に
付勢されているので、リンク３６ｂが上方に動かされる
と、リンク装置３６のリンク３６ａとリンク３６ｂは、
図３に示すように、軸３７を中心に略くの字状を呈する
ように回動し、このリンク装置３６の回動により、リン
ク装置３６に連結されたバルブ円板２６は、ロードロッ
ク室１の開口部１ａを開く方向に動かされる。この段階
では、作動ロッド４３は、下端に設けた係合部４５をピ
ストンロッド４９の上端に設けた取付けブロック５０の
受入れ空間５１に係合している。

【００３７】バルブ円板２６がロードロック室１の開口
部１ａを開く方向に駆動すると、バルブ円板２６は、回
転テーブル１５の回転により回転テーブル１５上に配置
されたバルブ開閉機構の構成部材とともに真空処理室２
Ａに対応する位置まで移送される。この際、バルブ開閉
機構２７のエアシリンダ装置４６は八角形ハウジング１
０の下側に固定配置され、その他の構成部材は回転テー
ブル１５に配置されているので、回転テーブル１５上に
配置されたバルブ開閉機構は、回転テーブル１５ととも
に回転する。回転テーブル１５に配置されたロッドガイ
ド４４に連結された作動ロッド４３は回転テーブル１５
とともに回転し、作動ロッド４３は、下端に設けた係合
部４５をピストンロッド４９の上端に設けた取付けブロ
ック５０の受入れ空間５１から離脱する。

【００３８】バルブ円板２６は、回転テーブル１５の回
転により真空処理室２Ａに対応した位置まで移送された
場合、バルブ開閉機構２７は、リンク装置３６のリンク
３６ａとリンク３６ｂを軸３７を中心に略くの字状に維
持しているので、バルブ円板２６は、図５に示すよう
に、真空処理室２Ａの開口部２ａを開いた位置に位置さ
れる。

【００３９】バルブ円板２６が真空処理室２Ａに対応し
た位置まで移送された場合に、真空処理室２Ａに対応し
た位置にもバルブ開閉機構２７が設置されているので、
真空処理室２Ａに対応するバルブ開閉機構２７のエアシ
リンダ装置４６は真空処理室２Ａに対応した八角形ハウ
ジング１０の下側に固定配置されている。そのため、回
転テーブル１５上に配置されたバルブ開閉機構２７の構
成部材である作動ロッド４３が図５に示す位置まで移動
すると、作動ロッド４３は下端に設けた係合部４５をエ
アシリンダ装置４６のピストンロッド４９の上端に設け
た取付けブロック５０の受入れ空間５１に係合する。

【００４０】この段階で、バルブ開閉機構２７のエアシ
リンダ装置４６を作動し、ピストンロッド４９を引き戻
す方向に動かすと、ピストンロッド４９に連結された作
動ロッド４３がハウジングジ４２および軸４０を介して
リンク装置３６のリンク３６ｂを下方に動かす。リンク
装置３６のリンク３６ｂが下方に動かされると、リンク
装置３６のリンク３６ａ，３６ｂは、図５に示す略くの
字位置から徐々に角度を開き、図４に示すほぼ一線位置
に移動し、リンク３６ａ，３６ｂを枢着する軸３７がリ
ンクストッパ５３に当接して停止する。この時、バルブ
円板２６は、真空処理室２Ａの開口部２ａにパッキン２
６ａを押し付け、その反力でエンドブロック３５が座板
５２に当接し、座板５２が反力を受けた状態を維持す
る。これにより、バルブ円板２６は、図４に示すように
真空処理室２Ａの開口部２ａを閉塞する。

【００４１】バルブ円板２６をバルブ開閉機構２７によ
り真空処理室２Ａの開口部２ａを開く方向に駆動するに
は、バルブ開閉機構２７のエアシリンダ装置４６を作動
して、図５に示すように、エアシリンダ装置４６のピス
トンロッド４９を上方に伸びる方向に動かし、このピス
トンロッド４９に連結された作動ロッド４３によりリン
ク装置３６のリンク３６ｂを上方に動かすことで行う。
リンク装置３６のリンク３６ａとリンク３６ｂはコイル
ばね手段３４により互いに近付く方向に付勢されている
ので、リンク３６ｂが上方に動かされると、リンク装置
３６のリンク３６ａとリンク３６ｂは、軸３７を中心に
略くの字状の位置を維持する。

【００４２】バルブ円板２６が真空処理室２Ａの開口部
２ａを開放したら、回転テーブル１５を回転させて次の
真空処理室２Ｂに被処理物Ｗを移送して、上記と同様の
手順によって所定の処理を行い、以後、同様にして他の
真空処理室２Ｃ、２Ｄ…２Ｇにおいて順次所定の処理を
実施する。

【００４３】本実施形態による真空処理装置において、
たとえば、真空処理室２Ａをメンテナンスするには、真
空処理室２Ａの真空を解除して行うが、真空処理室２Ａ
を大気に開放すると、真空処理室２Ａの内部は大気に連
通して大気圧になり、真空処理室２Ａの開口部２ａを閉
塞するバルブ円板２６に大気圧が作用するが、バルブ円
板２６は、バルブ開閉機構２７に設けたリンク装置３６
の直線上に位置する一対のリンク３６ａ，３６ｂにより
真空処理室２Ａの開口部２ａを閉塞する方向に押圧され
ているので、真空処理室２Ａの開口部２ａを閉塞するバ
ルブ円板２６は、大気圧を受けてもその閉塞位置を保つ
ことができ、真空処理室２Ａのメンテナンスを真空搬送
室３に損傷を与えることなく行うことができる。

【００４４】なお、被処理物Ｗは、必ずしも真空処理室
２Ａから２Ｇまで順次搬送して処理を行う必要はなく、
また、必ずしも複数の真空処理室２Ａ、２Ｂ…２Ｇの全
てにおいて処理を行う必要もない。要するに、所望の処
理を実施できるような処理シーケンスを選択して所定の
処理を実施すればよい。

【００４５】上述したように、複数の真空処理室２Ａ、
２Ｂ…２Ｇ間での被処理物Ｗの移送は、被処理物Ｗをバ
ルブ円板２６に保持させた状態で回転テーブル１５を回
転させることによって行うことができるので、真空処理
室２Ａ、２Ｂ…２Ｇ内、或いは真空搬送室３内において
被処理物Ｗの受け渡し動作を行う必要がない。したがっ
て、被処理物Ｗの受け渡しの失敗が無くなると共に、被
処理物Ｗの移送に要する時間が大幅に短縮される。

【００４６】上記の手順によって被処理物Ｗに一連の真
空処理を実施した後、回転テーブル１５を駆動して、処
理済の被処理物Ｗを保持したバルブ円板２６をロードロ
ック室１の前まで移動させ、バルブ開閉機構２７によっ
てバルブ円板２６を閉方向に駆動し、被処理物Ｗをロー
ドロック室１内に搬入し、搬送装置２９を駆動して被処
理物Ｗをロードロック室１から搬出する。

【００４７】第２実施形態 次に、本発明の第２実施形態による真空処理装置につい
て図面を参照して説明する。本実施形態は、上述した第
１実施形態の構成を一部変更したものであり、以下で
は、上記第１実施形態と異なる部分について説明する。

【００４８】上述した第１実施形態においては、図６に
示したように、ピストンロッド４９の上端に設けた取付
けブロック５０の受入れ空間５１に、作動ロッド４３の
下端に設けた略円盤状の係合部４５を係合し、これによ
り、ピストンロッド４９に作動ロッド４３を連結するよ
うにしている。

【００４９】ところで、取付けブロック５０の受入れ空
間５１の中に、作動ロッド４３の係合部４５を確実に填
め込むためには、図７に示したように、係合部４５と取
付けブロック５０との間にある程度の間隙を設ける必要
がある。例えば、上下方向の間隙ｄ１、ｄ２を各３ｍｍ
程度確保する。

【００５０】ところが、係合部４５と取付けブロック５
０の内面との間に、前記の如く上下方向の間隙ｄ１、ｄ
２を設けた場合、バルブ円板２６を閉じるときには特に
問題はないが、バルブ円板２６を開けるときに、以下の
ような不都合が生じる恐れがある。これについて図８を
参照して説明する。

【００５１】図８（ａ）はバルブ円板２６を閉じた状態
を示しているが、この状態においては、係合部４５の下
面と受入れ空間５１の底面との間の間隙ｄ３は６ｍｍ程
度ある。

【００５２】そして、バルブ円板２６を開けるときに
は、図８（ａ）に示した状態から、ピストンロッド４９
を上方に駆動して取付けブロック５０を押し上げる。図
８（ｂ）は、押し上げられた取付けブロック５０の受入
れ空間５１の底面が係合部４５の下面に接触した時点を
示している。この時点では、係合部４５の上面と受入れ
空間５１の上面との間に６ｍｍ程度の間隙ｄ４がある。

【００５３】図８（ｂ）に示した時点までは作動ロッド
４３はバルブ閉時と同じ位置（状態）を保っている。な
ぜなら、図２に示したように、バルブ開閉機構２７のリ
ンク３６ａ、３６ｂは伸びきった状態であり、死点を作
っているためである（図２参照）。

【００５４】図８（ｂ）に示した状態から、さらに取付
けブロック５０を押し上げると、作動ロッド４３が押し
上げられ、バルブ開閉機構２７のリンク３６ａ、３６ｂ
が死点の位置から外れる。

【００５５】すると、伸長状態にあったコイルばね手段
３４（図２参照）が急激に縮み、取付けブロック５０の
上動速度よりも速い速度で作動ロッド４３及び係合部４
５が上動する。このため、図８（ｃ）に示したように、
上動した係合部４５が取付けブロック５０に衝突し、受
入れ空間５１の内部でバウンドしてしまう。

【００５６】このように作動ロッド４３の係合部４５が
受入れ空間５１の内部でバウンドすると、パーティクル
の発生や振動によるバルブ開閉機構２７のネジの緩み、
或いは、バルブ円板２６に保持している被処理物Ｗの落
下による搬送トラブル等が引き起こされる恐れがある。

【００５７】上記の問題は、取付けブロック５０と係合
部４５との間に形成される上下各３ｍｍの間隙ｄ１、ｄ
２にあると考えられるので、本実施形態による真空処理
装置は、これらの間隙を狭くすることができる構成を採
用することとした。

【００５８】すなわち、図９乃至図１１に示したように
本実施形態による真空処理装置においては、図６に示し
た略円盤状の係合部４５に代えて、コロ手段６０により
係合部を構成して作動ロッド４３の下端に設けることと
した。

【００５９】コロ手段６０は、作動ロッド４３の下端の
取付部６１にシャフト（支軸）６２を介して枢着された
一対のコロ部材６３を備えている。図１０に示したよう
に、コロ部材６３と取付部６１との間にはカラー６４が
介装されている。また、シャフト６２の一方の端部には
頭部６５が形成されており、この頭部６５とシャフト６
２の他方の端部に螺着されたネジ６６とによって、コロ
部材６３の横方向の動きを規制している。

【００６０】コロ部材６３の回転軸心は、バルブ開閉機
構２７の旋回方向Ｄ（図９参照）に対して直交してお
り、コロ部材６３は、取付けブロック５０の受入れ空間
５１に填め込まれる際に転動して、ベアリングやカムフ
ォロアの役目を果たす。

【００６１】このようにコロ部材６３がベアリングやカ
ムフォロアの役目を果たすので、上記第１実施形態のよ
うに略円盤状の係合部４５を受入れ空間５１に填め込む
場合に比べて、コロ部材６３と取付けブロック５０との
上下方向の間隙ｄ５、ｄ６（図１０参照）を小さくする
ことができる。これらの間隙ｄ５、ｄ６は例えば０．５
ｍｍ程度にすることができる。

【００６２】以上述べたように本実施形態による真空処
理装置によれば、作動ロッド４３の下端にコロ手段６０
を設け、コロ手段６０のコロ部材６３と取付けブロック
５０との上下方向の間隙ｄ５、ｄ６を小さくしたので、
バルブ円板２６を開ける際の作動ロッド４３の振動を抑
制することができる。

【００６３】このため、パーティクルの発生やネジの緩
み、或いは被処理物Ｗの落下等の問題を防止できると共
に、バルブ開閉機構２７全体の動きが安定するので搬送
系の高速化（タクトタイムの短縮）を図ることができ
る。

【００６４】

【発明の効果】以上述べたように本発明による真空処理
装置によれば、被処理物の搬送機構を兼ねているバルブ
円板をリンク装置を組み込みんだバルブ開閉機構でリン
ク装置の死点を利用して押圧するので、駆動装置を高出
力の構造のものにすることなくバルブ円板による真空処
理室の開口部の閉塞を可能にし、真空搬送室に損傷を与
えることなく真空処理室のメンテナンスを行うことがで
きる。

【００６５】また、リンク装置の一方のリンクの中間部
に軸受機能を兼ねる軸を設け、この軸を作動点としてリ
ンク装置を回動することで、エアシリンダ装置のピスト
ンロッドのストロークを小さくでき、ピストンロッドの
ストロークを小さくしたことで、構造の簡素化を図るこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態による真空処理装置の概
略構成を示した平面図。

【図２】本発明の第１実施形態による真空処理装置のバ
ルブ開閉機構の主要部分の斜視図。

【図３】図２に示すバルブ開閉機構の作用を示す図。

【図４】本発明の第１実施形態による真空処理装置のバ
ルブ開閉機構によりバルブ円板が真空処理室を閉塞した
位置を示す図。

【図５】本発明の第１実施形態による真空処理装置のバ
ルブ開閉機構によりバルブ円板が真空処理室を開いた位
置を示す図。

【図６】本発明の第１実施形態による真空処理装置にお
ける取付けブロック及び係合部の部分を拡大して示した
斜視図。

【図７】本発明の第１実施形態による真空処理装置にお
ける取付けブロック及び係合部の部分を拡大して示した
正面図。

【図８】本発明の第１実施形態による真空処理装置にお
いてバルブ円盤を開ける際の取付けブロック及び係合部
の動作について、（ａ）、（ｂ）、（ｃ）の順に時系列
で示した図。

【図９】本発明の第２実施形態による真空処理装置の取
付けブロック及びコロ手段の部分を拡大して示した斜視
図。

【図１０】本発明の第２実施形態による真空処理装置の
取付けブロック及びコロ手段の部分を拡大して示した正
面図。

【図１１】本発明の第２実施形態による真空処理装置の
取付けブロック及びコロ手段の部分を拡大して示した側
面図。

【図１２】従来の真空処理装置のバルブ開閉機構により
バルブ円板が真空処理室を開いた位置を示す図。

【符号の説明】

１ ロードロック室 ２Ａ、２Ｂ…２Ｇ 真空処理室 ３ 真空搬送室 ２５ バルブ機構 ２６ バルブ円板 ２７ バルブ開閉機構 ３０ 受けブロック ３１ 第１スライドブロック ３２ 第２スライドブロック ３４ コイルばね手段 ３５ エンドブロック ３６ リンク装置 ３６ａ，３６ｂ リンク ４３ 作動ロッド ４６ 駆動装置（エアシリンダ装置） ４９ ピストンロッド ５０ 取付けブロック ５１ 受入れ空間 ６０ コロ手段 ６２ シャフト（支軸） ６３ コロ部材

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 ＦＩ Ｈ０１Ｌ 21/31 Ｈ０１Ｌ 21/31 Ｄ // Ｃ２３Ｃ 14/34 Ｃ２３Ｃ 14/34 Ｔ

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】内部を真空排気可能な真空搬送室と、この
   真空搬送室に対向する面に開口部を有し前記真空搬送室
   の外周に沿って配置された複数の真空処理室と、前記真
   空搬送室の内部に設けられたバルブ円板と、このバルブ
   円板に設けられた被処理物保持手段と、前記バルブ円板
   を前記真空処理室の前記開口部を開閉するように作動す
   るバルブ開閉機構とを有する真空処理装置において、前
   記バルブ開閉機構は、前記バルブ円板の背面に固定され
   た受けブロックと、この受けブロックより半径方向内側
   に配置されたエンドブロックと、端部を互いに枢着した
   一対のリンクから形成され一端を前記受けブロックに枢
   着し他端を前記エンドブロックに枢着したリンク装置
   と、このリンク装置の一方のリンクの中間部に連結され
   た作動ロッドを有する駆動装置とを備えたことを特徴と
   する真空処理装置。
2. 【請求項２】前記受けブロックを第１スライドブロック
   に支持し、前記エンドブロックを第２スライドブロック
   に支持し、前記第１スライドブロックと前記第２スライ
   ドブロックをばね手段で連結したことを特徴とする請求
   項１に記載の真空処理装置。
3. 【請求項３】前記駆動装置は、前記真空搬送室の下側に
   固定配置されたエアシリンダと、このエアシリンダから
   上方に真空シールされたガイドを介して前記真空搬送室
   内に延びるピストンロッドと、このピストンロッドの先
   端部に固定された取付けブロックとを有し、前記作動ロ
   ッドを前記取付けブロックに連結するための連結手段を
   前記作動ロッドの端部に設けたことを特徴とする請求項
   １又は請求項２に記載の真空処理装置。
4. 【請求項４】前記連結手段は、前記取付けブロックに係
   合する係合部を有し、前記係合部を填め込むための受入
   れ空間を前記取付けブロックに形成したことを特徴とす
   る請求項３に記載の真空処理装置。
5. 【請求項５】前記取付けブロックは略Ｃ型部材によって
   構成されており、前記受入れ空間は前記略Ｃ型部材の内
   側に形成された上方開口の空間であることを特徴とする
   請求項４に記載の真空処理装置。
6. 【請求項６】前記係合部は、前記受入れ空間に填め込ま
   れる際に転動するコロ部材を有するコロ手段によって構
   成されていることを特徴とする請求項５に記載の真空処
   理装置。
7. 【請求項７】前記コロ手段は、前記作動ロッドの端部に
   設けられた支軸と、前記支軸によって軸支された一対の
   前記コロ部材と、を備えたことを特徴とする請求項６に
   記載の真空処理装置。