JP2002197730A - 光学式記録媒体等の計測方法並びに光学式記録媒体等の計測装置 - Google Patents
光学式記録媒体等の計測方法並びに光学式記録媒体等の計測装置Info
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- JP2002197730A JP2002197730A JP2000399518A JP2000399518A JP2002197730A JP 2002197730 A JP2002197730 A JP 2002197730A JP 2000399518 A JP2000399518 A JP 2000399518A JP 2000399518 A JP2000399518 A JP 2000399518A JP 2002197730 A JP2002197730 A JP 2002197730A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 主にＤＶＤディスクの変位と接着層（接着
層）関係を明らかにする光学式記録媒体等の計測方法及
び光学式記録媒体等の計測装置を提供する。 【解決手段】 変位読取りモードで光学式センサー８か
ら計測光線１２が反射する第１ディスク層２のディスク
層第１反射面ａからの反射光線１２ａを検出してディス
ク層第１反射面の変位値Ａを計測し、次に自動的に厚み
読取りモードに切り替わり、光学式センサー８はディス
ク層２第１反射面ａを計測出来ない部位まで移動（ディ
スク面に近づく）し、ディスク層第２反射面ｂ（＝接着
層３第１反射面ｂ）までの距離であるディスク層第２反
射面の変位値Ｂ（＝接着層第１反射面の変位値Ｂ）と接
着層第２反射面ｃまでの距離である接着層第２反射面の
変位値Ｃを計測し、接着層３の厚みＥを算出する。
層）関係を明らかにする光学式記録媒体等の計測方法及
び光学式記録媒体等の計測装置を提供する。 【解決手段】 変位読取りモードで光学式センサー８か
ら計測光線１２が反射する第１ディスク層２のディスク
層第１反射面ａからの反射光線１２ａを検出してディス
ク層第１反射面の変位値Ａを計測し、次に自動的に厚み
読取りモードに切り替わり、光学式センサー８はディス
ク層２第１反射面ａを計測出来ない部位まで移動（ディ
スク面に近づく）し、ディスク層第２反射面ｂ（＝接着
層３第１反射面ｂ）までの距離であるディスク層第２反
射面の変位値Ｂ（＝接着層第１反射面の変位値Ｂ）と接
着層第２反射面ｃまでの距離である接着層第２反射面の
変位値Ｃを計測し、接着層３の厚みＥを算出する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光透過性板を光透過
性接着剤により接着してなる主にディスク部材、その中
でもＤＶＤディスクなどの光学式記録媒体の光学式記録
媒体等の計測方法、光学式記録媒体等の計測装置並びに
これらの計測に適したレーザーフォーカス変位センサー
に関する。
性接着剤により接着してなる主にディスク部材、その中
でもＤＶＤディスクなどの光学式記録媒体の光学式記録
媒体等の計測方法、光学式記録媒体等の計測装置並びに
これらの計測に適したレーザーフォーカス変位センサー
に関する。
【０００２】
【従来技術】従来技術において、ＤＶＤディスクの検査
や解析に必要なデーターを得るために変位（凸凹）、加
速度（凸凹の幅）、チルト（傾き）、中心ズレなどの計
測が行われてきた。
や解析に必要なデーターを得るために変位（凸凹）、加
速度（凸凹の幅）、チルト（傾き）、中心ズレなどの計
測が行われてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術の計
測内容だけでは、ＤＶＤディスクの基準に合格したもの
であっても、Ａ社製のＤＶＤディスクがＢ社製のＤＶＤ
ディスク読取り装置で使用すると、使用不能ディスクに
なってしまうという問題（課題）が生じている。また、
変位（凸凹）、加速度（凸凹の幅）、チルト（傾き）な
どがどうして起こるのかという根本的な原因の究明が課
題となっている。前述した課題の原因を探求した結果、
接着層の厚みが何らかの影響をおよぼしているとの結論
に達した。光ディスクの高密度化（大容量化）につれ、
上記原因により不良要因となる事態はいっそう深刻な問
題となるものと考えられ、不良ディスクとならない接着
層の構造や機能のあり方とその製造方法の確立、製造さ
れた不良ディスクの摘出などのために、新たな計測方法
とその装置の開発が必要となっている。
測内容だけでは、ＤＶＤディスクの基準に合格したもの
であっても、Ａ社製のＤＶＤディスクがＢ社製のＤＶＤ
ディスク読取り装置で使用すると、使用不能ディスクに
なってしまうという問題（課題）が生じている。また、
変位（凸凹）、加速度（凸凹の幅）、チルト（傾き）な
どがどうして起こるのかという根本的な原因の究明が課
題となっている。前述した課題の原因を探求した結果、
接着層の厚みが何らかの影響をおよぼしているとの結論
に達した。光ディスクの高密度化（大容量化）につれ、
上記原因により不良要因となる事態はいっそう深刻な問
題となるものと考えられ、不良ディスクとならない接着
層の構造や機能のあり方とその製造方法の確立、製造さ
れた不良ディスクの摘出などのために、新たな計測方法
とその装置の開発が必要となっている。
【０００４】本発明の目的は、主にＤＶＤディスクの変
位と接着層（接着層）関係を明らかにする光学式記録媒
体等の計測方法、光学式記録媒体等の計測装置並びにこ
れらの計測に適した光学式センサーを提供するにある。
位と接着層（接着層）関係を明らかにする光学式記録媒
体等の計測方法、光学式記録媒体等の計測装置並びにこ
れらの計測に適した光学式センサーを提供するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ために本発明は次のようになっている。 ＜請求項１記載の光学式記録媒体等の計測方法の発明＞
少なくとも第１ディスク層と第２ディスク層と、該第１
ディスク層と該第２ディスク層を接合する透過性の接着
層を有するＤＶＤディスクなどの光学式記録媒体に、レ
ーザーフォーカス変位センサーなどの光学式センサーか
ら照射されたレーザー光線などの計測光線を照射してそ
の計測値（変位値）に基づいて計測する方法であって、
前記第１ディスク層側に前記計測光線を照射し、この計
測光線が反射する前記第１ディスク層のディスク層第１
反射面の変位値及びディスク層第２反射面の変位値（＝
接着層第１反射面の変位値）あるいはいずれか一方の変
位値を計測するディスク層変位計測段階と、前記ディス
ク層反射面の変位値の計測位置と殆ど同一軸上（第１反
射面の変位計測位置あるいはディスク層第２反射面の変
位計測位置と殆ど同一軸上）において計測光線を照射
し、該計測光線が反射する接着層第１反射面の変位値と
接着層第２反射面の変位値を計測する接着層変位計測段
階と、以上の計測段階を有することを特徴とする。「殆
ど同一軸上」の「殆ど」は、一般的には円盤状のディス
クの場合、ディスクを回転させながら円軌条の多数箇所
の変位値を計測して行くが、ディスクが回転しているた
めに主にレーザーフォーカスセンサーの場合は、前方反
射面の変位値を計測してその後から後方反射面の変位値
を計測するので、その間僅かな時間がかかり、その時間
分だけ回転するディスクにより計測位置が微細ではある
がずれることを考慮し、完全停止状態で計測することと
区別したものである。実際の計測は、円盤状のディスク
の場合、ディスクを回転させながら複数の円軌条の多数
箇所を計測して、ディスクの全体の変位を計測すること
が一般的である。
ために本発明は次のようになっている。 ＜請求項１記載の光学式記録媒体等の計測方法の発明＞
少なくとも第１ディスク層と第２ディスク層と、該第１
ディスク層と該第２ディスク層を接合する透過性の接着
層を有するＤＶＤディスクなどの光学式記録媒体に、レ
ーザーフォーカス変位センサーなどの光学式センサーか
ら照射されたレーザー光線などの計測光線を照射してそ
の計測値（変位値）に基づいて計測する方法であって、
前記第１ディスク層側に前記計測光線を照射し、この計
測光線が反射する前記第１ディスク層のディスク層第１
反射面の変位値及びディスク層第２反射面の変位値（＝
接着層第１反射面の変位値）あるいはいずれか一方の変
位値を計測するディスク層変位計測段階と、前記ディス
ク層反射面の変位値の計測位置と殆ど同一軸上（第１反
射面の変位計測位置あるいはディスク層第２反射面の変
位計測位置と殆ど同一軸上）において計測光線を照射
し、該計測光線が反射する接着層第１反射面の変位値と
接着層第２反射面の変位値を計測する接着層変位計測段
階と、以上の計測段階を有することを特徴とする。「殆
ど同一軸上」の「殆ど」は、一般的には円盤状のディス
クの場合、ディスクを回転させながら円軌条の多数箇所
の変位値を計測して行くが、ディスクが回転しているた
めに主にレーザーフォーカスセンサーの場合は、前方反
射面の変位値を計測してその後から後方反射面の変位値
を計測するので、その間僅かな時間がかかり、その時間
分だけ回転するディスクにより計測位置が微細ではある
がずれることを考慮し、完全停止状態で計測することと
区別したものである。実際の計測は、円盤状のディスク
の場合、ディスクを回転させながら複数の円軌条の多数
箇所を計測して、ディスクの全体の変位を計測すること
が一般的である。
【０００６】＜請求項２記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明＞請求項１記載の発明において、接着層第１
反射面の変位値と接着層第２反射面の変位値とから前記
接着層の厚みを算出する接着層厚み算出段階を設けてな
ることを特徴とする。
方法の発明＞請求項１記載の発明において、接着層第１
反射面の変位値と接着層第２反射面の変位値とから前記
接着層の厚みを算出する接着層厚み算出段階を設けてな
ることを特徴とする。
【０００７】＜請求項３記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明＞請求項１記載の発明において、光学式セン
サーが変位読取りモードと厚み読取りモードを切替えて
計測するものであり、計測対象が光学記録ディスクが円
盤ディスクであり、前記変位読取りモードで第１デスク
層反射面の同一円周軌条の一周分の変位計測位置（０．
１．２・・・・．ｎ）の変位値を計測し、変位読取りモ
ードによる読取りが完了したら前記厚み読取りモード
（接着層第１反射面の変位値と接着層第２反射面の変位
値を殆ど同時に計測してその差から接着層の厚みを算出
して出力するようになっている。）で前記変位計測位置
の接着層の厚みを出力するようにしてなることを特徴と
する。
方法の発明＞請求項１記載の発明において、光学式セン
サーが変位読取りモードと厚み読取りモードを切替えて
計測するものであり、計測対象が光学記録ディスクが円
盤ディスクであり、前記変位読取りモードで第１デスク
層反射面の同一円周軌条の一周分の変位計測位置（０．
１．２・・・・．ｎ）の変位値を計測し、変位読取りモ
ードによる読取りが完了したら前記厚み読取りモード
（接着層第１反射面の変位値と接着層第２反射面の変位
値を殆ど同時に計測してその差から接着層の厚みを算出
して出力するようになっている。）で前記変位計測位置
の接着層の厚みを出力するようにしてなることを特徴と
する。
【０００８】＜請求項４記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明＞請求項１、２又は３記載の発明において、
光学光センサーが接着層第１反射面の変位値と接着層第
２反射面の変位値を殆ど同時に計測し、この計測した該
接着層第１反射面の変位値と接着層第２反射面の変位値
を出力するようになっていて、この出力変位値にもとづ
いてコンピューター側で接着層第１反射面（＝ディスク
層第２反射面）の変位値と接着層第２反射面の変位値あ
るいは接着層の厚みを算出するようにしてなることを特
徴とする。すなわち、少なくとも、殆ど同時に計測した
２箇所の変位値を出力する読取り複数変位値出力モード
ということができる。もちろん、このような切り換えモ
ードをセンサーに設けるのもよい。また、３箇所、４箇
所等の同時計測とそれら全ての読取り変位値の出力を行
うものも、２箇所の計測とその２箇所の変位値の出力を
含むものであるから、本発明の技術的範囲に含まれるも
のである。
方法の発明＞請求項１、２又は３記載の発明において、
光学光センサーが接着層第１反射面の変位値と接着層第
２反射面の変位値を殆ど同時に計測し、この計測した該
接着層第１反射面の変位値と接着層第２反射面の変位値
を出力するようになっていて、この出力変位値にもとづ
いてコンピューター側で接着層第１反射面（＝ディスク
層第２反射面）の変位値と接着層第２反射面の変位値あ
るいは接着層の厚みを算出するようにしてなることを特
徴とする。すなわち、少なくとも、殆ど同時に計測した
２箇所の変位値を出力する読取り複数変位値出力モード
ということができる。もちろん、このような切り換えモ
ードをセンサーに設けるのもよい。また、３箇所、４箇
所等の同時計測とそれら全ての読取り変位値の出力を行
うものも、２箇所の計測とその２箇所の変位値の出力を
含むものであるから、本発明の技術的範囲に含まれるも
のである。
【０００９】＜請求項５記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明＞請求項１、２、３又は４記載の発明におい
て、光センサーがディスク層第１反射面の変位値、ディ
スク層第２反射面の変位値（＝接着層第１反射面の変位
値）及び接着層第２反射面の変位値を殆ど同時に計測
し、この計測した該ディスク層第１反射面の変位値、該
ディスク層第２反射面の変位値及び該接着層第２反射面
の変位値を出力するようになっていて、この出力値にも
とづいてコンピュータ側で必要とする変位値を選択して
必要なデーターを作成するようにしてなることを特徴と
する。
方法の発明＞請求項１、２、３又は４記載の発明におい
て、光センサーがディスク層第１反射面の変位値、ディ
スク層第２反射面の変位値（＝接着層第１反射面の変位
値）及び接着層第２反射面の変位値を殆ど同時に計測
し、この計測した該ディスク層第１反射面の変位値、該
ディスク層第２反射面の変位値及び該接着層第２反射面
の変位値を出力するようになっていて、この出力値にも
とづいてコンピュータ側で必要とする変位値を選択して
必要なデーターを作成するようにしてなることを特徴と
する。
【００１０】＜請求項６記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明＞請求項１、２、３、４又は５記載の発明に
おいて、前もって特定されている第１ディスク層の基準
変位値（ディスク層第１反射面の基準変位値及びディス
ク層第２反射面の基準変位値あるいはいずれか一方の基
準変位値）と接着層基準値（接着層第１反射面の基準変
位値及び接着層第２反射面の基準変位値あるいは接着層
基準厚み）とからなる比較基準値と、計測した前記第１
ディスク層反射面の変位値（ディスク層第１反射面の変
位値及び）ディスク層第２反射面の変位値あるいはいず
れか一方の変位値）及び前記接着層第１反射面の変位値
及び接着層第２の反射面の変位値あるいは接着層の厚み
とを比較する比較段階を設けたことを特徴とする。
方法の発明＞請求項１、２、３、４又は５記載の発明に
おいて、前もって特定されている第１ディスク層の基準
変位値（ディスク層第１反射面の基準変位値及びディス
ク層第２反射面の基準変位値あるいはいずれか一方の基
準変位値）と接着層基準値（接着層第１反射面の基準変
位値及び接着層第２反射面の基準変位値あるいは接着層
基準厚み）とからなる比較基準値と、計測した前記第１
ディスク層反射面の変位値（ディスク層第１反射面の変
位値及び）ディスク層第２反射面の変位値あるいはいず
れか一方の変位値）及び前記接着層第１反射面の変位値
及び接着層第２の反射面の変位値あるいは接着層の厚み
とを比較する比較段階を設けたことを特徴とする。
【００１１】＜請求項７記載の光学式記録媒体等の計測
装置の発明＞少なくとも第１ディスク層と第２ディスク
層と、該第１ディスク層と該第２ディスク層を接合する
透過性接着層とを有するＤＶＤディスクなどの光学式記
録媒体をセットするディスクセット部と、このディスク
セット部にセットされた前記光学式記録媒体の変位を計
測するためのレーザーフォーカス変位センサーなどの光
学式センサーと、この光学式センサーあるいは前記ディ
スクセット部を計測駆動するための計測駆動手段と、こ
の計測駆動手段及び前記光学式センサーを制御する制御
部とからなり、前記光学式センサーから計測光線を照射
し、この計測光線が反射する前記第１ディスク層のディ
スク層第１反射面の変位値、ディスク層第２反射面の変
位値（＝接着層第１反射面の変位値）及び接着層第２反
射面の変位値を殆ど同一軸上で計測するようにしてなる
ことを特徴とする。
装置の発明＞少なくとも第１ディスク層と第２ディスク
層と、該第１ディスク層と該第２ディスク層を接合する
透過性接着層とを有するＤＶＤディスクなどの光学式記
録媒体をセットするディスクセット部と、このディスク
セット部にセットされた前記光学式記録媒体の変位を計
測するためのレーザーフォーカス変位センサーなどの光
学式センサーと、この光学式センサーあるいは前記ディ
スクセット部を計測駆動するための計測駆動手段と、こ
の計測駆動手段及び前記光学式センサーを制御する制御
部とからなり、前記光学式センサーから計測光線を照射
し、この計測光線が反射する前記第１ディスク層のディ
スク層第１反射面の変位値、ディスク層第２反射面の変
位値（＝接着層第１反射面の変位値）及び接着層第２反
射面の変位値を殆ど同一軸上で計測するようにしてなる
ことを特徴とする。
【００１２】＜請求項８記載の光学式記録媒体等のレー
ザーフォーカス変位センサーの発明＞複数の透過性層を
有する被測定体（二層の場合の反射面は第１層第１反射
面、第１層第２反射面（＝第２層第１反射面）及び第２
層第２反射面の３つの反射面を有する。）の各反射面の
変位値を殆ど同時に計測し、計測した３つの変位値をコ
ンピューターに出力できるようにしてなることを特徴と
する。
ザーフォーカス変位センサーの発明＞複数の透過性層を
有する被測定体（二層の場合の反射面は第１層第１反射
面、第１層第２反射面（＝第２層第１反射面）及び第２
層第２反射面の３つの反射面を有する。）の各反射面の
変位値を殆ど同時に計測し、計測した３つの変位値をコ
ンピューターに出力できるようにしてなることを特徴と
する。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
しながら説明する。 ＜実施の形態１＞図１は本発明の実施の形態１の光学式
記録媒体等の計測装置の概念図、図２は同じ実施の形態
１のディスク層第１反射面計測モードでの計測を示す概
念図、図３は同じ実施の形態１のディスク層第２反射面
計測モードでの計測を示す概念図である。光学式記録媒
体等の計測装置１は、透過性の第１ディスク層２と透過
性の第２ディスク層３と、第１ディスク層２と第２ィス
ク層３を接合する透過性接着層４とを有するＤＶＤディ
スクからなる光学式記録媒体６をセットするクランプな
どからなるディスクセット部７と、このディスクセット
部７にセットされた記光学式記録媒体６の変位を計測す
るための、レーザーフォーカス変位センサーからなり垂
直移動制御されるようにしてなる光学式センサー８と、
ディスクセット部７にセットされた光学式記録媒体６を
計測回転させるために、ディスクセット部を計測駆動す
る駆動モーターからなる計測駆動手段９と、ディスクセ
ット部７にセットされた光学式記録媒体６の測定位置を
中心に向かって変えることができるように、光学式記録
媒体６を光学式センサー８に対して水平に移動させるた
めの、ディスクセット部７を水平移動する水平移動手段
１０と、計測駆動手段９、水平移動手段１０、光学式セ
ンサー８を制御し計測結果の表示、演算、判定表示等を
する制御部１１とからなっている。光学式センサー８の
計測モードは図２に示すディスク層第１反射面計測モー
ドと図３に示すディスク層第２反射面計測モードを選択
できるようになっている。また、１計測位置の計測は第
１ディスク層の変位を計測する変位計測モードで第１計
測位置の計測点の全計測を完了してから、自動的に透過
性接着層（中間層４）の厚みを計測する厚み計測モード
による計測点の全計測を行うようになっている。すなわ
ち２回計測を行っている。一回計測は出発点は計測でき
ないし、ディスクの回転を止めないで厚み測定モードに
切り替えて測定を連続的に続行するので、一回の回転で
は計測できない計測点が生じるので２回の回転により全
ての計測点の計測を行うようになっている。すなわち、
１計測位置の計測はディスクを４回転させて行うもので
ある。
しながら説明する。 ＜実施の形態１＞図１は本発明の実施の形態１の光学式
記録媒体等の計測装置の概念図、図２は同じ実施の形態
１のディスク層第１反射面計測モードでの計測を示す概
念図、図３は同じ実施の形態１のディスク層第２反射面
計測モードでの計測を示す概念図である。光学式記録媒
体等の計測装置１は、透過性の第１ディスク層２と透過
性の第２ディスク層３と、第１ディスク層２と第２ィス
ク層３を接合する透過性接着層４とを有するＤＶＤディ
スクからなる光学式記録媒体６をセットするクランプな
どからなるディスクセット部７と、このディスクセット
部７にセットされた記光学式記録媒体６の変位を計測す
るための、レーザーフォーカス変位センサーからなり垂
直移動制御されるようにしてなる光学式センサー８と、
ディスクセット部７にセットされた光学式記録媒体６を
計測回転させるために、ディスクセット部を計測駆動す
る駆動モーターからなる計測駆動手段９と、ディスクセ
ット部７にセットされた光学式記録媒体６の測定位置を
中心に向かって変えることができるように、光学式記録
媒体６を光学式センサー８に対して水平に移動させるた
めの、ディスクセット部７を水平移動する水平移動手段
１０と、計測駆動手段９、水平移動手段１０、光学式セ
ンサー８を制御し計測結果の表示、演算、判定表示等を
する制御部１１とからなっている。光学式センサー８の
計測モードは図２に示すディスク層第１反射面計測モー
ドと図３に示すディスク層第２反射面計測モードを選択
できるようになっている。また、１計測位置の計測は第
１ディスク層の変位を計測する変位計測モードで第１計
測位置の計測点の全計測を完了してから、自動的に透過
性接着層（中間層４）の厚みを計測する厚み計測モード
による計測点の全計測を行うようになっている。すなわ
ち２回計測を行っている。一回計測は出発点は計測でき
ないし、ディスクの回転を止めないで厚み測定モードに
切り替えて測定を連続的に続行するので、一回の回転で
は計測できない計測点が生じるので２回の回転により全
ての計測点の計測を行うようになっている。すなわち、
１計測位置の計測はディスクを４回転させて行うもので
ある。
【００１４】計測手順は、ディスクセット部７に光学式
記録媒体６をセットしスタピライザー（重石）５を載せ
押さえる。計測モードを選択し計測間隔（計測点間の距
離）を設定あるいは選択（固定の場合もある）する。水
平移動手段１０を動作させて光学式センサー８の測定部
位まで光学式記録媒体６の第１計測位置を移動させる。
計測駆動手段９を動作させ光学式記録媒体６を４回転
（同一円周測定軌条）させ第１計測位置の計測を行う。
水平移動手段１０を動作させて光学式センサーの測定部
位まで光学式記録媒体６の第２計測位置を持って行き前
述と同じように４回転計測による第２計測位置の計測を
行う。こうして全ての計測位置の計測を行う。
記録媒体６をセットしスタピライザー（重石）５を載せ
押さえる。計測モードを選択し計測間隔（計測点間の距
離）を設定あるいは選択（固定の場合もある）する。水
平移動手段１０を動作させて光学式センサー８の測定部
位まで光学式記録媒体６の第１計測位置を移動させる。
計測駆動手段９を動作させ光学式記録媒体６を４回転
（同一円周測定軌条）させ第１計測位置の計測を行う。
水平移動手段１０を動作させて光学式センサーの測定部
位まで光学式記録媒体６の第２計測位置を持って行き前
述と同じように４回転計測による第２計測位置の計測を
行う。こうして全ての計測位置の計測を行う。
【００１５】図２において、ディスク層第１反射面計測
モードによる計測方法を説明する。図２及び以下に述べ
る図において、レーザー光線からなる計測光線１２は光
学式センサー（レーザーフォーカス変位センサー）８で
は、垂直に測定位置に照射されてその反射光線１２ａ、
１２ｂ、１２ｃは垂直に光学式センサー８に入射される
ものであるが、説明便宜上斜めに図示して説明する。変
位読取りモードで、光学式センサー８から計測光線１２
を照射し、この計測光線１２が反射する第１ディスク層
２のディスク層第１反射面ａからの反射光線１２ａを検
出して、光学式センサー８とディスク層第１反射面ａと
の距離からなるのディスク層第１反射面の変位値Ａ（計
測点Ａ１．Ａ２・・・Ａｎ箇所）を計測するディスク層
変位計測段階Ｈと、このディスク層変位計測段階Ｈ完了
後に回転を止めることなく自動的に厚み読取りモードに
切り替わり、光学式センサー８はディスク層第１反射面
ａを計測出来ない部位まで移動（ディスク面に近づく）
し、ディスク層第２反射面ｂ（＝接着層第１反射面ｂ）
までの距離であるディスク層第２反射面の変位値Ｂ（＝
接着層第１反射面の変位値Ｂ）と接着層第２反射面ｃま
での距離である接着層第２反射面の変位値Ｃを計測し、
光学式センサー８でＣ−Ｂ演算を行い接着層の厚みＥを
算出する接着層厚み計測段階Ｉと、ディスク層第１反射
面の変位値Ａと接着層の厚みＥを制御部１１に出力する
センサーからの出力段階Ｊと、制御部１１の記憶部（図
示せず）に前もって記憶されている基準変位値及び基準
厚み（絶対的な基準と相対的な基準の組合せ）からなる
基準値と比較する比較判定段階Ｋと、比較判定結果をモ
ニター（図示せず）などに出力する比較データー出力段
階Ｌと、以上のようになっている。
モードによる計測方法を説明する。図２及び以下に述べ
る図において、レーザー光線からなる計測光線１２は光
学式センサー（レーザーフォーカス変位センサー）８で
は、垂直に測定位置に照射されてその反射光線１２ａ、
１２ｂ、１２ｃは垂直に光学式センサー８に入射される
ものであるが、説明便宜上斜めに図示して説明する。変
位読取りモードで、光学式センサー８から計測光線１２
を照射し、この計測光線１２が反射する第１ディスク層
２のディスク層第１反射面ａからの反射光線１２ａを検
出して、光学式センサー８とディスク層第１反射面ａと
の距離からなるのディスク層第１反射面の変位値Ａ（計
測点Ａ１．Ａ２・・・Ａｎ箇所）を計測するディスク層
変位計測段階Ｈと、このディスク層変位計測段階Ｈ完了
後に回転を止めることなく自動的に厚み読取りモードに
切り替わり、光学式センサー８はディスク層第１反射面
ａを計測出来ない部位まで移動（ディスク面に近づく）
し、ディスク層第２反射面ｂ（＝接着層第１反射面ｂ）
までの距離であるディスク層第２反射面の変位値Ｂ（＝
接着層第１反射面の変位値Ｂ）と接着層第２反射面ｃま
での距離である接着層第２反射面の変位値Ｃを計測し、
光学式センサー８でＣ−Ｂ演算を行い接着層の厚みＥを
算出する接着層厚み計測段階Ｉと、ディスク層第１反射
面の変位値Ａと接着層の厚みＥを制御部１１に出力する
センサーからの出力段階Ｊと、制御部１１の記憶部（図
示せず）に前もって記憶されている基準変位値及び基準
厚み（絶対的な基準と相対的な基準の組合せ）からなる
基準値と比較する比較判定段階Ｋと、比較判定結果をモ
ニター（図示せず）などに出力する比較データー出力段
階Ｌと、以上のようになっている。
【００１６】図３においての、ディスク層第２反射面計
測モードによる計測方法は、前述したディスク層第１反
射面モードによる計測方法のディスク層第１反射面の変
位値Ａの計測に変わって、ディスク層第２反射面の変位
値Ｂを計測し、光学式センサー８の垂直移動はせずに厚
み読取りモードに切り替わり接着層第１反射面の変位値
Ｂと接着層第２反射面Ｃとを計測し接着層厚みＥ（Ｃ−
Ｂ）を算出し、制御部１１に出力するものである。ディ
スク層第１反射面計測モードによる計測なのか、ディス
ク層第２反射面計測モードによる計測なのかは選択する
ことができるようになっている。以下に述べる実施の形
態の説明において、前述した実施の形態の構成と同じ構
成には同じ符号を付しその説明を省略する。
測モードによる計測方法は、前述したディスク層第１反
射面モードによる計測方法のディスク層第１反射面の変
位値Ａの計測に変わって、ディスク層第２反射面の変位
値Ｂを計測し、光学式センサー８の垂直移動はせずに厚
み読取りモードに切り替わり接着層第１反射面の変位値
Ｂと接着層第２反射面Ｃとを計測し接着層厚みＥ（Ｃ−
Ｂ）を算出し、制御部１１に出力するものである。ディ
スク層第１反射面計測モードによる計測なのか、ディス
ク層第２反射面計測モードによる計測なのかは選択する
ことができるようになっている。以下に述べる実施の形
態の説明において、前述した実施の形態の構成と同じ構
成には同じ符号を付しその説明を省略する。
【００１７】＜実施の形態２＞図４は本発明の実施の形
態２の計測装置による計測方法を示す概念図である。計
測装置１５は、計測装置１の光学式センサー８をレーザ
ーフォーカス変位センサーからなる光学式センサー１６
に変え、それに伴い計測方法を変えたものである。光学
式センサー８は、ディスク層第２反射面の変位値Ｂと接
着層第２反射面の変位値Ｃを同時に計測し、ディスク層
第２反射面の変位値Ｂと接着層第２反射面の変位値Ｃを
制御部（コンピューター）１１に出力するというもので
ある。ディスク層第２反射面の変位値Ｂと接着層第２反
射面の変位値Ｃから厚みＥを算出して使用するのか、そ
のまま変位値のみで行うのかは制御部１１側で処理する
ようにしているものである。このようにすることによ
り、１計測位置の計測を２回転計測で行う変位・厚み同
時読取りモードとすることができ、計測時間を計測装置
１の半分とすることができる。
態２の計測装置による計測方法を示す概念図である。計
測装置１５は、計測装置１の光学式センサー８をレーザ
ーフォーカス変位センサーからなる光学式センサー１６
に変え、それに伴い計測方法を変えたものである。光学
式センサー８は、ディスク層第２反射面の変位値Ｂと接
着層第２反射面の変位値Ｃを同時に計測し、ディスク層
第２反射面の変位値Ｂと接着層第２反射面の変位値Ｃを
制御部（コンピューター）１１に出力するというもので
ある。ディスク層第２反射面の変位値Ｂと接着層第２反
射面の変位値Ｃから厚みＥを算出して使用するのか、そ
のまま変位値のみで行うのかは制御部１１側で処理する
ようにしているものである。このようにすることによ
り、１計測位置の計測を２回転計測で行う変位・厚み同
時読取りモードとすることができ、計測時間を計測装置
１の半分とすることができる。
【００１８】＜実施の形態３＞図５は本発明の実施の形
態３の計測装置による計測方法を示す概念図である。計
測装置２０は、計測装置１５の光学式センサー８をレー
ザーフォーカス変位センサーからなる光学式センサー２
１に変え、それに伴い計測方法を変えたものである。光
学式センサー２１は、ディスク層第１の反射面の変位値
Ａと、ディスク層第２反射面の変位値Ｂと接着層第２反
射面の変位値Ｃを同時に計測し、ディスク層第１の反射
面の変位値Ａとディスク層第２反射面の変位値Ｂと接着
層第２反射面の変位値Ｃ（全計測変位値出力モード２
２）を制御部（コンピューター）１１に出力するという
ものである。これにより、全ての反射面の変位値及び第
１デスク層の厚みＤ及び接着層の厚みＥを制御部１１側
で自在に演算・使用することができ、目的に応じたり、
より複雑な因果関係を解明するデーターを得ることがで
き、またより精密な検査を行うことができるものであ
る。
態３の計測装置による計測方法を示す概念図である。計
測装置２０は、計測装置１５の光学式センサー８をレー
ザーフォーカス変位センサーからなる光学式センサー２
１に変え、それに伴い計測方法を変えたものである。光
学式センサー２１は、ディスク層第１の反射面の変位値
Ａと、ディスク層第２反射面の変位値Ｂと接着層第２反
射面の変位値Ｃを同時に計測し、ディスク層第１の反射
面の変位値Ａとディスク層第２反射面の変位値Ｂと接着
層第２反射面の変位値Ｃ（全計測変位値出力モード２
２）を制御部（コンピューター）１１に出力するという
ものである。これにより、全ての反射面の変位値及び第
１デスク層の厚みＤ及び接着層の厚みＥを制御部１１側
で自在に演算・使用することができ、目的に応じたり、
より複雑な因果関係を解明するデーターを得ることがで
き、またより精密な検査を行うことができるものであ
る。
【００１９】光学式センサー２１に全変位値・演算値出
力モード２３を設けて、全変位値・全厚みを出力するよ
うにしてなるものもよい。光学式センサー２１に出力選
択値モード２４を設けて、出力内容を自由に選択出来る
ようにするのもよい。 ＜付記＞第１ディスク層と第２ディスク層と、該第１デ
ィスク層と該第２ディスク層を接合する透過性の接着層
を有するＤＶＤディスクなどの光学式記録媒体を計測す
るのに適した光学式センサーであって、複数の透過性層
を有する被測定体（二層の場合の反射面は第１層第１反
射面、第１層第２反射面（＝第２層第１反射面）及び第
２層第２反射面の３つの反射面を有する。）の各反射面
の変位値を殆ど同時に計測し、計測した３つの変位値を
コンピューター等に出力できるようにしてなることを特
徴とするレーザーフォーカス変位センサー。請求項４又
は５に記載の発明を実現することができるという効果を
奏する。本発明は、第１ディスク層と第２ディスク層
と、該第１ディスク層と該第２ディスク層を接合する透
過性の接着層を有するＤＶＤディスクなどの光学式記録
媒体を計測するのに適したレーザーフォーカス変位セン
サーに関する。従来技術のＤＶＤディスクなどの光学式
記録媒体を計測するーザーフォーカス変位センサーは、
変位値計測モードと厚み計測モードを切り替えて計測す
るものであった。このため、１計測位置を計測するのに
ディスクを４回転させなければならず、計測時間がかか
るという問題を持つものであった。また、計測データー
項目が不足してしまうという問題があった。本発明は、
従来技術の以上のような問題点に鑑みてなされたもので
あって、その目的は、計測時間を短くできると共に計測
データー項目が多く得られるレーザーフォーカス変位セ
ンサーを提供するにある。
力モード２３を設けて、全変位値・全厚みを出力するよ
うにしてなるものもよい。光学式センサー２１に出力選
択値モード２４を設けて、出力内容を自由に選択出来る
ようにするのもよい。 ＜付記＞第１ディスク層と第２ディスク層と、該第１デ
ィスク層と該第２ディスク層を接合する透過性の接着層
を有するＤＶＤディスクなどの光学式記録媒体を計測す
るのに適した光学式センサーであって、複数の透過性層
を有する被測定体（二層の場合の反射面は第１層第１反
射面、第１層第２反射面（＝第２層第１反射面）及び第
２層第２反射面の３つの反射面を有する。）の各反射面
の変位値を殆ど同時に計測し、計測した３つの変位値を
コンピューター等に出力できるようにしてなることを特
徴とするレーザーフォーカス変位センサー。請求項４又
は５に記載の発明を実現することができるという効果を
奏する。本発明は、第１ディスク層と第２ディスク層
と、該第１ディスク層と該第２ディスク層を接合する透
過性の接着層を有するＤＶＤディスクなどの光学式記録
媒体を計測するのに適したレーザーフォーカス変位セン
サーに関する。従来技術のＤＶＤディスクなどの光学式
記録媒体を計測するーザーフォーカス変位センサーは、
変位値計測モードと厚み計測モードを切り替えて計測す
るものであった。このため、１計測位置を計測するのに
ディスクを４回転させなければならず、計測時間がかか
るという問題を持つものであった。また、計測データー
項目が不足してしまうという問題があった。本発明は、
従来技術の以上のような問題点に鑑みてなされたもので
あって、その目的は、計測時間を短くできると共に計測
データー項目が多く得られるレーザーフォーカス変位セ
ンサーを提供するにある。
【００２０】
【発明の効果】本発明は以上のようになっているので次
に述べるような効果を奏する。 ＜請求項１記載の光学式記録媒体等の計測方法の発明の
効果＞殆ど同軸上位置の第１ディスク層の反射面変位値
（ディスク層第１反射面の変位値及びディスク層第２反
射面の変位値あるいはいずれか一方の変位値）と、接着
層の第１反射面変位値及び接着層の第２反射面変位値を
得ることができるものであるので、同一場所の接着層の
厚み（接着層第２反射面の変位値−接着層第１反射面の
変位値）と第１ディスク層の変位を得ることができると
いう効果を奏する。
に述べるような効果を奏する。 ＜請求項１記載の光学式記録媒体等の計測方法の発明の
効果＞殆ど同軸上位置の第１ディスク層の反射面変位値
（ディスク層第１反射面の変位値及びディスク層第２反
射面の変位値あるいはいずれか一方の変位値）と、接着
層の第１反射面変位値及び接着層の第２反射面変位値を
得ることができるものであるので、同一場所の接着層の
厚み（接着層第２反射面の変位値−接着層第１反射面の
変位値）と第１ディスク層の変位を得ることができると
いう効果を奏する。
【００２１】＜請求項２記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明の効果＞このようにしても請求項１に記載の
発明と同じ効果を奏する。
方法の発明の効果＞このようにしても請求項１に記載の
発明と同じ効果を奏する。
【００２２】＜請求項３記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明の効果＞このようにしても請求項１に記載の
発明と同じ効果を奏する。
方法の発明の効果＞このようにしても請求項１に記載の
発明と同じ効果を奏する。
【００２３】＜請求項４記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明の効果＞請求項１、２又は３記載の発明の効
果に加えて、特に請求項３記載の発明においては少なく
とも計測開始出発点は計測漏れとなるので、一周の全計
測位置を計測するには２周しなければならず、それをモ
ードを変えてもう一回（計２回）計測するので４周する
ことになり時間がかかるが、本請求項の発明は「計測し
た該接着層第１反射面の変位値と接着層第２反射面の変
位値を出力する」ので、請求項３記載の発明の半分の２
周で計測ができ、計測時間を短縮できるという効果を奏
する。
方法の発明の効果＞請求項１、２又は３記載の発明の効
果に加えて、特に請求項３記載の発明においては少なく
とも計測開始出発点は計測漏れとなるので、一周の全計
測位置を計測するには２周しなければならず、それをモ
ードを変えてもう一回（計２回）計測するので４周する
ことになり時間がかかるが、本請求項の発明は「計測し
た該接着層第１反射面の変位値と接着層第２反射面の変
位値を出力する」ので、請求項３記載の発明の半分の２
周で計測ができ、計測時間を短縮できるという効果を奏
する。
【００２４】＜請求項５記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明の効果＞請求項１、２、３又は４記載の発明
の効果に加えて、３箇所の反射面の変位値を殆ど同時に
計測し、その３箇所の変位値を出力してコンピューター
側で、それに基づいたデーターを自由に作成できるとい
う効果を奏する。特に、第１ディスク層の厚み、接着層
の厚み、第１ディスク層の変位の関係を解析するデータ
ーが得られるという効果を奏する。
方法の発明の効果＞請求項１、２、３又は４記載の発明
の効果に加えて、３箇所の反射面の変位値を殆ど同時に
計測し、その３箇所の変位値を出力してコンピューター
側で、それに基づいたデーターを自由に作成できるとい
う効果を奏する。特に、第１ディスク層の厚み、接着層
の厚み、第１ディスク層の変位の関係を解析するデータ
ーが得られるという効果を奏する。
【００２５】＜請求項６記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明の効果＞請求項１、２、３、４又は５記載の
発明に加えて、比較基準値と計測データーを比較して、
製品の良否判定が行えるという効果を奏する。
方法の発明の効果＞請求項１、２、３、４又は５記載の
発明に加えて、比較基準値と計測データーを比較して、
製品の良否判定が行えるという効果を奏する。
【００２６】＜請求項７記載の光学式記録媒体等の計測
装置の発明の効果＞請求項１記載の発明の効果と同じ効
果を奏する。
装置の発明の効果＞請求項１記載の発明の効果と同じ効
果を奏する。
【図１】本発明の実施の形態１の光学式記録媒体等の計
測装置の概念図。
測装置の概念図。
【図２】本発明の実施の形態１のディスク層第１反射面
計測モードでの計測を示す概念図。
計測モードでの計測を示す概念図。
【図３】本発明の実施の形態１のディスク層第２反射面
計測モードでの計測を示す概念図。
計測モードでの計測を示す概念図。
【図４】本発明の実施の形態２の計測装置による計測方
法を示す概念図。
法を示す概念図。
【図５】本発明の実施の形態３の計測装置による計測方
法を示す概念図。
法を示す概念図。
ａ・・・・・ディスク層第１反射面 ｂ・・・・・ディスク層第２反射面ｂ（＝接着層第１反
射面ｂ） ｃ・・・・・接着層第２反射面 Ａ・・・・・ディスク層第１反射面の変位値 Ｂ・・・・・ディスク層第２反射面の変位値Ｂ（＝接着
層第１反射面の変位値Ｂ） Ｃ・・・・・接着層第２反射面の変位値 Ｄ・・・・・接着層の厚み Ｅ・・・・・第１ディスク層の厚み １・・・・・計測装置 ２・・・・・第１ディスク層 ３・・・・・第２ディスク層 ４・・・・・透過性接着層 ５・・・・・スタピライザー ６・・・・・光学式記録媒体 ７・・・・・ディスクセット部 ８・・・・・光学式センサー ９・・・・・計測駆動手段 １０・・・・・水平移動手段 １１・・・・・制御部 １２・・・・・照射光線 １２ａ・・・・反射光線 １２ｂ・・・・反射光線 １２ｃ・・・・反射光線 １５・・・・・計測装置 １６・・・・・光学式センサー ２０・・・・・計測装置 ２１・・・・・光学式センサー ２２・・・・・全計測変位値出力モード ２３・・・・・全変位値・演算値出力モード ２４・・・・・出力選択値モード ２５・・・・・記憶演算部
射面ｂ） ｃ・・・・・接着層第２反射面 Ａ・・・・・ディスク層第１反射面の変位値 Ｂ・・・・・ディスク層第２反射面の変位値Ｂ（＝接着
層第１反射面の変位値Ｂ） Ｃ・・・・・接着層第２反射面の変位値 Ｄ・・・・・接着層の厚み Ｅ・・・・・第１ディスク層の厚み １・・・・・計測装置 ２・・・・・第１ディスク層 ３・・・・・第２ディスク層 ４・・・・・透過性接着層 ５・・・・・スタピライザー ６・・・・・光学式記録媒体 ７・・・・・ディスクセット部 ８・・・・・光学式センサー ９・・・・・計測駆動手段 １０・・・・・水平移動手段 １１・・・・・制御部 １２・・・・・照射光線 １２ａ・・・・反射光線 １２ｂ・・・・反射光線 １２ｃ・・・・反射光線 １５・・・・・計測装置 １６・・・・・光学式センサー ２０・・・・・計測装置 ２１・・・・・光学式センサー ２２・・・・・全計測変位値出力モード ２３・・・・・全変位値・演算値出力モード ２４・・・・・出力選択値モード ２５・・・・・記憶演算部
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１２年１２月２７日（２０００．１２．
２７）
２７）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 光学式記録媒体等の計測方法並びに光
学式記録媒体等の計測装置
学式記録媒体等の計測装置
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は光透過性板を光透過
性接着剤により接着してなる主にディスク部材、その中
でもＤＶＤディスクなどの光学式記録媒体等の計測方法
並びに光学式記録媒体等の計測装置に関する。
性接着剤により接着してなる主にディスク部材、その中
でもＤＶＤディスクなどの光学式記録媒体等の計測方法
並びに光学式記録媒体等の計測装置に関する。
【０００２】
【従来技術】従来技術において、ＤＶＤディスクの検査
や解析に必要なデーターを得るために変位（凸凹）、加
速度（凸凹の幅）、チルト（傾き）、中心ズレなどの計
測が行われてきた。
や解析に必要なデーターを得るために変位（凸凹）、加
速度（凸凹の幅）、チルト（傾き）、中心ズレなどの計
測が行われてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来技術の計
測内容だけでは、ＤＶＤディスクの基準に合格したもの
であっても、Ａ社製のＤＶＤディスクがＢ社製のＤＶＤ
ディスク読取り装置で使用すると、使用不能ディスクに
なってしまうという問題（課題）が生じている。また、
変位（凸凹）、加速度（凸凹の幅）、チルト（傾き）な
どがどうして起こるのかという根本的な原因の究明が課
題となっている。前述した課題の原因を探求した結果、
接着層の厚みが何らかの影響をおよぼしているとの結論
に達した。光ディスクの高密度化（大容量化）につれ、
上記原因により不良要因となる事態はいっそう深刻な問
題となるものと考えられ、不良ディスクとならない接着
層の構造や機能のあり方とその製造方法の確立、製造さ
れた不良ディスクの摘出などのために、新たな計測方法
とその装置の開発が必要となっている。
測内容だけでは、ＤＶＤディスクの基準に合格したもの
であっても、Ａ社製のＤＶＤディスクがＢ社製のＤＶＤ
ディスク読取り装置で使用すると、使用不能ディスクに
なってしまうという問題（課題）が生じている。また、
変位（凸凹）、加速度（凸凹の幅）、チルト（傾き）な
どがどうして起こるのかという根本的な原因の究明が課
題となっている。前述した課題の原因を探求した結果、
接着層の厚みが何らかの影響をおよぼしているとの結論
に達した。光ディスクの高密度化（大容量化）につれ、
上記原因により不良要因となる事態はいっそう深刻な問
題となるものと考えられ、不良ディスクとならない接着
層の構造や機能のあり方とその製造方法の確立、製造さ
れた不良ディスクの摘出などのために、新たな計測方法
とその装置の開発が必要となっている。
【０００４】本発明の目的は、主にＤＶＤディスクの変
位と接着層（接着層）関係を明らかにする光学式記録媒
体等の計測方法並びに光学式記録媒体等の計測装置を提
供するにある。
位と接着層（接着層）関係を明らかにする光学式記録媒
体等の計測方法並びに光学式記録媒体等の計測装置を提
供するにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上述した目的を達成する
ために本発明は次のようになっている。 ＜請求項１記載の光学式記録媒体等の計測方法の発明＞
少なくとも第１ディスク層と第２ディスク層と、該第１
ディスク層と該第２ディスク層を接合する透過性の接着
層を有するＤＶＤディスクなどの光学式記録媒体に、レ
ーザーフォーカス変位センサーなどの光学式センサーか
ら照射されたレーザー光線などの計測光線を照射してそ
の計測値（変位値）に基づいて計測する方法であって、
前記第１ディスク層側に前記計測光線を照射し、この計
測光線が反射する前記第１ディスク層のディスク層第１
反射面の変位値及びディスク層第２反射面の変位値（＝
接着層第１反射面の変位値）あるいはいずれか一方の変
位値を計測するディスク層変位計測段階と、前記ディス
ク層反射面の変位値の計測位置と殆ど同一軸上（第１反
射面の変位計測位置あるいはディスク層第２反射面の変
位計測位置と殆ど同一軸上）において計測光線を照射
し、該計測光線が反射する接着層第１反射面の変位値と
接着層第２反射面の変位値を計測する接着層変位計測段
階と、以上の計測段階を有することを特徴とする。「殆
ど同一軸上」の「殆ど」は、一般的には円盤状のディス
クの場合、ディスクを回転させながら円軌条の多数箇所
の変位値を計測して行くが、ディスクが回転しているた
めに主にレーザーフォーカスセンサーの場合は、前方反
射面の変位値を計測してその後から後方反射面の変位値
を計測するので、その間僅かな時間がかかり、その時間
分だけ回転するディスクにより計測位置が微細ではある
がずれることを考慮し、完全停止状態で計測することと
区別したものである。実際の計測は、円盤状のディスク
の場合、ディスクを回転させながら複数の円軌条の多数
箇所を計測して、ディスクの全体の変位を計測すること
が一般的である。
ために本発明は次のようになっている。 ＜請求項１記載の光学式記録媒体等の計測方法の発明＞
少なくとも第１ディスク層と第２ディスク層と、該第１
ディスク層と該第２ディスク層を接合する透過性の接着
層を有するＤＶＤディスクなどの光学式記録媒体に、レ
ーザーフォーカス変位センサーなどの光学式センサーか
ら照射されたレーザー光線などの計測光線を照射してそ
の計測値（変位値）に基づいて計測する方法であって、
前記第１ディスク層側に前記計測光線を照射し、この計
測光線が反射する前記第１ディスク層のディスク層第１
反射面の変位値及びディスク層第２反射面の変位値（＝
接着層第１反射面の変位値）あるいはいずれか一方の変
位値を計測するディスク層変位計測段階と、前記ディス
ク層反射面の変位値の計測位置と殆ど同一軸上（第１反
射面の変位計測位置あるいはディスク層第２反射面の変
位計測位置と殆ど同一軸上）において計測光線を照射
し、該計測光線が反射する接着層第１反射面の変位値と
接着層第２反射面の変位値を計測する接着層変位計測段
階と、以上の計測段階を有することを特徴とする。「殆
ど同一軸上」の「殆ど」は、一般的には円盤状のディス
クの場合、ディスクを回転させながら円軌条の多数箇所
の変位値を計測して行くが、ディスクが回転しているた
めに主にレーザーフォーカスセンサーの場合は、前方反
射面の変位値を計測してその後から後方反射面の変位値
を計測するので、その間僅かな時間がかかり、その時間
分だけ回転するディスクにより計測位置が微細ではある
がずれることを考慮し、完全停止状態で計測することと
区別したものである。実際の計測は、円盤状のディスク
の場合、ディスクを回転させながら複数の円軌条の多数
箇所を計測して、ディスクの全体の変位を計測すること
が一般的である。
【０００６】＜請求項２記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明＞請求項１記載の発明において、接着層第１
反射面の変位値と接着層第２反射面の変位値とから前記
接着層の厚みを算出する接着層厚み算出段階を設けてな
ることを特徴とする。
方法の発明＞請求項１記載の発明において、接着層第１
反射面の変位値と接着層第２反射面の変位値とから前記
接着層の厚みを算出する接着層厚み算出段階を設けてな
ることを特徴とする。
【０００７】＜請求項３記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明＞請求項１記載の発明において、光学式セン
サーが変位読取りモードと厚み読取りモードを切替えて
計測するものであり、計測対象が光学記録ディスクが円
盤ディスクであり、前記変位読取りモードで第１デスク
層反射面の同一円周軌条の一周分の変位計測位置（０．
１．２・・・・．ｎ）の変位値を計測し、変位読取りモ
ードによる読取りが完了したら前記厚み読取りモード
（接着層第１反射面の変位値と接着層第２反射面の変位
値を殆ど同時に計測してその差から接着層の厚みを算出
して出力するようになっている。）で前記変位計測位置
の接着層の厚みを出力するようにしてなることを特徴と
する。
方法の発明＞請求項１記載の発明において、光学式セン
サーが変位読取りモードと厚み読取りモードを切替えて
計測するものであり、計測対象が光学記録ディスクが円
盤ディスクであり、前記変位読取りモードで第１デスク
層反射面の同一円周軌条の一周分の変位計測位置（０．
１．２・・・・．ｎ）の変位値を計測し、変位読取りモ
ードによる読取りが完了したら前記厚み読取りモード
（接着層第１反射面の変位値と接着層第２反射面の変位
値を殆ど同時に計測してその差から接着層の厚みを算出
して出力するようになっている。）で前記変位計測位置
の接着層の厚みを出力するようにしてなることを特徴と
する。
【０００８】＜請求項４記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明＞請求項１、２又は３記載の発明において、
光学光センサーが接着層第１反射面の変位値と接着層第
２反射面の変位値を殆ど同時に計測し、この計測した該
接着層第１反射面の変位値と接着層第２反射面の変位値
を出力するようになっていて、この出力変位値にもとづ
いてコンピューター側で接着層第１反射面（＝ディスク
層第２反射面）の変位値と接着層第２反射面の変位値あ
るいは接着層の厚みを算出するようにしてなることを特
徴とする。すなわち、少なくとも、殆ど同時に計測した
２箇所の変位値を出力する読取り複数変位値出力モード
ということができる。もちろん、このような切り換えモ
ードをセンサーに設けるのもよい。また、３箇所、４箇
所等の同時計測とそれら全ての読取り変位値の出力を行
うものも、２箇所の計測とその２箇所の変位値の出力を
含むものであるから、本発明の技術的範囲に含まれるも
のである。
方法の発明＞請求項１、２又は３記載の発明において、
光学光センサーが接着層第１反射面の変位値と接着層第
２反射面の変位値を殆ど同時に計測し、この計測した該
接着層第１反射面の変位値と接着層第２反射面の変位値
を出力するようになっていて、この出力変位値にもとづ
いてコンピューター側で接着層第１反射面（＝ディスク
層第２反射面）の変位値と接着層第２反射面の変位値あ
るいは接着層の厚みを算出するようにしてなることを特
徴とする。すなわち、少なくとも、殆ど同時に計測した
２箇所の変位値を出力する読取り複数変位値出力モード
ということができる。もちろん、このような切り換えモ
ードをセンサーに設けるのもよい。また、３箇所、４箇
所等の同時計測とそれら全ての読取り変位値の出力を行
うものも、２箇所の計測とその２箇所の変位値の出力を
含むものであるから、本発明の技術的範囲に含まれるも
のである。
【０００９】＜請求項５記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明＞請求項１、２、３又は４記載の発明におい
て、光センサーがディスク層第１反射面の変位値、ディ
スク層第２反射面の変位値（＝接着層第１反射面の変位
値）及び接着層第２反射面の変位値を殆ど同時に計測
し、この計測した該ディスク層第１反射面の変位値、該
ディスク層第２反射面の変位値及び該接着層第２反射面
の変位値を出力するようになっていて、この出力値にも
とづいてコンピュータ側で必要とする変位値を選択して
必要なデーターを作成するようにしてなることを特徴と
する。
方法の発明＞請求項１、２、３又は４記載の発明におい
て、光センサーがディスク層第１反射面の変位値、ディ
スク層第２反射面の変位値（＝接着層第１反射面の変位
値）及び接着層第２反射面の変位値を殆ど同時に計測
し、この計測した該ディスク層第１反射面の変位値、該
ディスク層第２反射面の変位値及び該接着層第２反射面
の変位値を出力するようになっていて、この出力値にも
とづいてコンピュータ側で必要とする変位値を選択して
必要なデーターを作成するようにしてなることを特徴と
する。
【００１０】＜請求項６記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明＞請求項１、２、３、４又は５記載の発明に
おいて、前もって特定されている第１ディスク層の基準
変位値（ディスク層第１反射面の基準変位値及びディス
ク層第２反射面の基準変位値あるいはいずれか一方の基
準変位値）と接着層基準値（接着層第１反射面の基準変
位値及び接着層第２反射面の基準変位値あるいは接着層
基準厚み）とからなる比較基準値と、計測した前記第１
ディスク層反射面の変位値（ディスク層第１反射面の変
位値及び）ディスク層第２反射面の変位値あるいはいず
れか一方の変位値）及び前記接着層第１反射面の変位値
及び接着層第２の反射面の変位値あるいは接着層の厚み
とを比較する比較段階を設けたことを特徴とする。
方法の発明＞請求項１、２、３、４又は５記載の発明に
おいて、前もって特定されている第１ディスク層の基準
変位値（ディスク層第１反射面の基準変位値及びディス
ク層第２反射面の基準変位値あるいはいずれか一方の基
準変位値）と接着層基準値（接着層第１反射面の基準変
位値及び接着層第２反射面の基準変位値あるいは接着層
基準厚み）とからなる比較基準値と、計測した前記第１
ディスク層反射面の変位値（ディスク層第１反射面の変
位値及び）ディスク層第２反射面の変位値あるいはいず
れか一方の変位値）及び前記接着層第１反射面の変位値
及び接着層第２の反射面の変位値あるいは接着層の厚み
とを比較する比較段階を設けたことを特徴とする。
【００１１】＜請求項７記載の光学式記録媒体等の計測
装置の発明＞少なくとも第１ディスク層と第２ディスク
層と、該第１ディスク層と該第２ディスク層を接合する
透過性接着層とを有するＤＶＤディスクなどの光学式記
録媒体をセットするディスクセット部と、このディスク
セット部にセットされた前記光学式記録媒体の変位を計
測するためのレーザーフォーカス変位センサーなどの光
学式センサーと、この光学式センサーあるいは前記ディ
スクセット部を計測駆動するための計測駆動手段と、こ
の計測駆動手段及び前記光学式センサーを制御する制御
部とからなり、前記光学式センサーから計測光線を照射
し、この計測光線が反射する前記第１ディスク層のディ
スク層第１反射面の変位値、ディスク層第２反射面の変
位値（＝接着層第１反射面の変位値）及び接着層第２反
射面の変位値を殆ど同一軸上で計測するようにしてなる
ことを特徴とする。
装置の発明＞少なくとも第１ディスク層と第２ディスク
層と、該第１ディスク層と該第２ディスク層を接合する
透過性接着層とを有するＤＶＤディスクなどの光学式記
録媒体をセットするディスクセット部と、このディスク
セット部にセットされた前記光学式記録媒体の変位を計
測するためのレーザーフォーカス変位センサーなどの光
学式センサーと、この光学式センサーあるいは前記ディ
スクセット部を計測駆動するための計測駆動手段と、こ
の計測駆動手段及び前記光学式センサーを制御する制御
部とからなり、前記光学式センサーから計測光線を照射
し、この計測光線が反射する前記第１ディスク層のディ
スク層第１反射面の変位値、ディスク層第２反射面の変
位値（＝接着層第１反射面の変位値）及び接着層第２反
射面の変位値を殆ど同一軸上で計測するようにしてなる
ことを特徴とする。
【００１２】＜レーザーフォーカス変位センサーの発明
＞複数の透過性層を有する被測定体（二層の場合の反射
面は第１層第１反射面、第１層第２反射面（＝第２層第
１反射面）及び第２層第２反射面の３つの反射面を有す
る。）の各反射面の変位値を殆ど同時に計測し、計測し
た３つの変位値をコンピューターに出力できるようにし
てなることを特徴とする。
＞複数の透過性層を有する被測定体（二層の場合の反射
面は第１層第１反射面、第１層第２反射面（＝第２層第
１反射面）及び第２層第２反射面の３つの反射面を有す
る。）の各反射面の変位値を殆ど同時に計測し、計測し
た３つの変位値をコンピューターに出力できるようにし
てなることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を図面を参照
しながら説明する。 ＜実施の形態１＞図１は本発明の実施の形態１の光学式
記録媒体等の計測装置の概念図、図２は同じ実施の形態
１のディスク層第１反射面計測モードでの計測を示す概
念図、図３は同じ実施の形態１のディスク層第２反射面
計測モードでの計測を示す概念図である。光学式記録媒
体等の計測装置１は、透過性の第１ディスク層２と透過
性の第２ディスク層３と、第１ディスク層２と第２ィス
ク層３を接合する透過性接着層４とを有するＤＶＤディ
スクからなる光学式記録媒体６をセットするクランプな
どからなるディスクセット部７と、このディスクセット
部７にセットされた記光学式記録媒体６の変位を計測す
るための、レーザーフォーカス変位センサーからなり垂
直移動制御されるようにしてなる光学式センサー８と、
ディスクセット部７にセットされた光学式記録媒体６を
計測回転させるために、ディスクセット部を計測駆動す
る駆動モーターからなる計測駆動手段９と、ディスクセ
ット部７にセットされた光学式記録媒体６の測定位置を
中心に向かって変えることができるように、光学式記録
媒体６を光学式センサー８に対して水平に移動させるた
めの、ディスクセット部７を水平移動する水平移動手段
１０と、計測駆動手段９、水平移動手段１０、光学式セ
ンサー８を制御し計測結果の表示、演算、判定表示等を
する制御部１１とからなっている。光学式センサー８の
計測モードは図２に示すディスク層第１反射面計測モー
ドと図３に示すディスク層第２反射面計測モードを選択
できるようになっている。また、１計測位置の計測は第
１ディスク層の変位を計測する変位計測モードで第１計
測位置の計測点の全計測を完了してから、自動的に透過
性接着層（中間層４）の厚みを計測する厚み計測モード
による計測点の全計測を行うようになっている。すなわ
ち２回計測を行っている。一回計測は出発点は計測でき
ないし、ディスクの回転を止めないで厚み測定モードに
切り替えて測定を連続的に続行するので、一回の回転で
は計測できない計測点が生じるので２回の回転により全
ての計測点の計測を行うようになっている。すなわち、
１計測位置の計測はディスクを４回転させて行うもので
ある。
しながら説明する。 ＜実施の形態１＞図１は本発明の実施の形態１の光学式
記録媒体等の計測装置の概念図、図２は同じ実施の形態
１のディスク層第１反射面計測モードでの計測を示す概
念図、図３は同じ実施の形態１のディスク層第２反射面
計測モードでの計測を示す概念図である。光学式記録媒
体等の計測装置１は、透過性の第１ディスク層２と透過
性の第２ディスク層３と、第１ディスク層２と第２ィス
ク層３を接合する透過性接着層４とを有するＤＶＤディ
スクからなる光学式記録媒体６をセットするクランプな
どからなるディスクセット部７と、このディスクセット
部７にセットされた記光学式記録媒体６の変位を計測す
るための、レーザーフォーカス変位センサーからなり垂
直移動制御されるようにしてなる光学式センサー８と、
ディスクセット部７にセットされた光学式記録媒体６を
計測回転させるために、ディスクセット部を計測駆動す
る駆動モーターからなる計測駆動手段９と、ディスクセ
ット部７にセットされた光学式記録媒体６の測定位置を
中心に向かって変えることができるように、光学式記録
媒体６を光学式センサー８に対して水平に移動させるた
めの、ディスクセット部７を水平移動する水平移動手段
１０と、計測駆動手段９、水平移動手段１０、光学式セ
ンサー８を制御し計測結果の表示、演算、判定表示等を
する制御部１１とからなっている。光学式センサー８の
計測モードは図２に示すディスク層第１反射面計測モー
ドと図３に示すディスク層第２反射面計測モードを選択
できるようになっている。また、１計測位置の計測は第
１ディスク層の変位を計測する変位計測モードで第１計
測位置の計測点の全計測を完了してから、自動的に透過
性接着層（中間層４）の厚みを計測する厚み計測モード
による計測点の全計測を行うようになっている。すなわ
ち２回計測を行っている。一回計測は出発点は計測でき
ないし、ディスクの回転を止めないで厚み測定モードに
切り替えて測定を連続的に続行するので、一回の回転で
は計測できない計測点が生じるので２回の回転により全
ての計測点の計測を行うようになっている。すなわち、
１計測位置の計測はディスクを４回転させて行うもので
ある。
【００１４】計測手順は、ディスクセット部７に光学式
記録媒体６をセットしスタピライザー（重石）５を載せ
押さえる。計測モードを選択し計測間隔（計測点間の距
離）を設定あるいは選択（固定の場合もある）する。水
平移動手段１０を動作させて光学式センサー８の測定部
位まで光学式記録媒体６の第１計測位置を移動させる。
計測駆動手段９を動作させ光学式記録媒体６を４回転
（同一円周測定軌条）させ第１計測位置の計測を行う。
水平移動手段１０を動作させて光学式センサーの測定部
位まで光学式記録媒体６の第２計測位置を持って行き前
述と同じように４回転計測による第２計測位置の計測を
行う。こうして全ての計測位置の計測を行う。
記録媒体６をセットしスタピライザー（重石）５を載せ
押さえる。計測モードを選択し計測間隔（計測点間の距
離）を設定あるいは選択（固定の場合もある）する。水
平移動手段１０を動作させて光学式センサー８の測定部
位まで光学式記録媒体６の第１計測位置を移動させる。
計測駆動手段９を動作させ光学式記録媒体６を４回転
（同一円周測定軌条）させ第１計測位置の計測を行う。
水平移動手段１０を動作させて光学式センサーの測定部
位まで光学式記録媒体６の第２計測位置を持って行き前
述と同じように４回転計測による第２計測位置の計測を
行う。こうして全ての計測位置の計測を行う。
【００１５】図２において、ディスク層第１反射面計測
モードによる計測方法を説明する。図２及び以下に述べ
る図において、レーザー光線からなる計測光線１２は光
学式センサー（レーザーフォーカス変位センサー）８で
は、垂直に測定位置に照射されてその反射光線１２ａ、
１２ｂ、１２ｃは垂直に光学式センサー８に入射される
ものであるが、説明便宜上斜めに図示して説明する。変
位読取りモードで、光学式センサー８から計測光線１２
を照射し、この計測光線１２が反射する第１ディスク層
２のディスク層第１反射面ａからの反射光線１２ａを検
出して、光学式センサー８とディスク層第１反射面ａと
の距離からなるのディスク層第１反射面の変位値Ａ（計
測点Ａ１．Ａ２・・・Ａｎ箇所）を計測するディスク層
変位計測段階Ｈと、このディスク層変位計測段階Ｈ完了
後に回転を止めることなく自動的に厚み読取りモードに
切り替わり、光学式センサー８はディスク層第１反射面
ａを計測出来ない部位まで移動（ディスク面に近づく）
し、ディスク層第２反射面ｂ（＝接着層第１反射面ｂ）
までの距離であるディスク層第２反射面の変位値Ｂ（＝
接着層第１反射面の変位値Ｂ）と接着層第２反射面ｃま
での距離である接着層第２反射面の変位値Ｃを計測し、
光学式センサー８でＣ−Ｂ演算を行い接着層の厚みＥを
算出する接着層厚み計測段階Ｉと、ディスク層第１反射
面の変位値Ａと接着層の厚みＥを制御部１１に出力する
センサーからの出力段階Ｊと、制御部１１の記憶部（図
示せず）に前もって記憶されている基準変位値及び基準
厚み（絶対的な基準と相対的な基準の組合せ）からなる
基準値と比較する比較判定段階Ｋと、比較判定結果をモ
ニター（図示せず）などに出力する比較データー出力段
階Ｌと、以上のようになっている。
モードによる計測方法を説明する。図２及び以下に述べ
る図において、レーザー光線からなる計測光線１２は光
学式センサー（レーザーフォーカス変位センサー）８で
は、垂直に測定位置に照射されてその反射光線１２ａ、
１２ｂ、１２ｃは垂直に光学式センサー８に入射される
ものであるが、説明便宜上斜めに図示して説明する。変
位読取りモードで、光学式センサー８から計測光線１２
を照射し、この計測光線１２が反射する第１ディスク層
２のディスク層第１反射面ａからの反射光線１２ａを検
出して、光学式センサー８とディスク層第１反射面ａと
の距離からなるのディスク層第１反射面の変位値Ａ（計
測点Ａ１．Ａ２・・・Ａｎ箇所）を計測するディスク層
変位計測段階Ｈと、このディスク層変位計測段階Ｈ完了
後に回転を止めることなく自動的に厚み読取りモードに
切り替わり、光学式センサー８はディスク層第１反射面
ａを計測出来ない部位まで移動（ディスク面に近づく）
し、ディスク層第２反射面ｂ（＝接着層第１反射面ｂ）
までの距離であるディスク層第２反射面の変位値Ｂ（＝
接着層第１反射面の変位値Ｂ）と接着層第２反射面ｃま
での距離である接着層第２反射面の変位値Ｃを計測し、
光学式センサー８でＣ−Ｂ演算を行い接着層の厚みＥを
算出する接着層厚み計測段階Ｉと、ディスク層第１反射
面の変位値Ａと接着層の厚みＥを制御部１１に出力する
センサーからの出力段階Ｊと、制御部１１の記憶部（図
示せず）に前もって記憶されている基準変位値及び基準
厚み（絶対的な基準と相対的な基準の組合せ）からなる
基準値と比較する比較判定段階Ｋと、比較判定結果をモ
ニター（図示せず）などに出力する比較データー出力段
階Ｌと、以上のようになっている。
【００１６】図３においての、ディスク層第２反射面計
測モードによる計測方法は、前述したディスク層第１反
射面モードによる計測方法のディスク層第１反射面の変
位値Ａの計測に変わって、ディスク層第２反射面の変位
値Ｂを計測し、光学式センサー８の垂直移動はせずに厚
み読取りモードに切り替わり接着層第１反射面の変位値
Ｂと接着層第２反射面Ｃとを計測し接着層厚みＥ（Ｃ−
Ｂ）を算出し、制御部１１に出力するものである。ディ
スク層第１反射面計測モードによる計測なのか、ディス
ク層第２反射面計測モードによる計測なのかは選択する
ことができるようになっている。以下に述べる実施の形
態の説明において、前述した実施の形態の構成と同じ構
成には同じ符号を付しその説明を省略する。
測モードによる計測方法は、前述したディスク層第１反
射面モードによる計測方法のディスク層第１反射面の変
位値Ａの計測に変わって、ディスク層第２反射面の変位
値Ｂを計測し、光学式センサー８の垂直移動はせずに厚
み読取りモードに切り替わり接着層第１反射面の変位値
Ｂと接着層第２反射面Ｃとを計測し接着層厚みＥ（Ｃ−
Ｂ）を算出し、制御部１１に出力するものである。ディ
スク層第１反射面計測モードによる計測なのか、ディス
ク層第２反射面計測モードによる計測なのかは選択する
ことができるようになっている。以下に述べる実施の形
態の説明において、前述した実施の形態の構成と同じ構
成には同じ符号を付しその説明を省略する。
【００１７】＜実施の形態２＞図４は本発明の実施の形
態２の計測装置による計測方法を示す概念図である。計
測装置１５は、計測装置１の光学式センサー８をレーザ
ーフォーカス変位センサーからなる光学式センサー１６
に変え、それに伴い計測方法を変えたものである。光学
式センサー８は、ディスク層第２反射面の変位値Ｂと接
着層第２反射面の変位値Ｃを同時に計測し、ディスク層
第２反射面の変位値Ｂと接着層第２反射面の変位値Ｃを
制御部（コンピューター）１１に出力するというもので
ある。ディスク層第２反射面の変位値Ｂと接着層第２反
射面の変位値Ｃから厚みＥを算出して使用するのか、そ
のまま変位値のみで行うのかは制御部１１側で処理する
ようにしているものである。このようにすることによ
り、１計測位置の計測を２回転計測で行う変位・厚み同
時読取りモードとすることができ、計測時間を計測装置
１の半分とすることができる。
態２の計測装置による計測方法を示す概念図である。計
測装置１５は、計測装置１の光学式センサー８をレーザ
ーフォーカス変位センサーからなる光学式センサー１６
に変え、それに伴い計測方法を変えたものである。光学
式センサー８は、ディスク層第２反射面の変位値Ｂと接
着層第２反射面の変位値Ｃを同時に計測し、ディスク層
第２反射面の変位値Ｂと接着層第２反射面の変位値Ｃを
制御部（コンピューター）１１に出力するというもので
ある。ディスク層第２反射面の変位値Ｂと接着層第２反
射面の変位値Ｃから厚みＥを算出して使用するのか、そ
のまま変位値のみで行うのかは制御部１１側で処理する
ようにしているものである。このようにすることによ
り、１計測位置の計測を２回転計測で行う変位・厚み同
時読取りモードとすることができ、計測時間を計測装置
１の半分とすることができる。
【００１８】＜実施の形態３＞図５は本発明の実施の形
態３の計測装置による計測方法を示す概念図である。計
測装置２０は、計測装置１５の光学式センサー８をレー
ザーフォーカス変位センサーからなる光学式センサー２
１に変え、それに伴い計測方法を変えたものである。光
学式センサー２１は、ディスク層第１の反射面の変位値
Ａと、ディスク層第２反射面の変位値Ｂと接着層第２反
射面の変位値Ｃを同時に計測し、ディスク層第１の反射
面の変位値Ａとディスク層第２反射面の変位値Ｂと接着
層第２反射面の変位値Ｃ（全計測変位値出力モード２
２）を制御部（コンピューター）１１に出力するという
ものである。これにより、全ての反射面の変位値及び第
１デスク層の厚みＤ及び接着層の厚みＥを制御部１１側
で自在に演算・使用することができ、目的に応じたり、
より複雑な因果関係を解明するデーターを得ることがで
き、またより精密な検査を行うことができるものであ
る。
態３の計測装置による計測方法を示す概念図である。計
測装置２０は、計測装置１５の光学式センサー８をレー
ザーフォーカス変位センサーからなる光学式センサー２
１に変え、それに伴い計測方法を変えたものである。光
学式センサー２１は、ディスク層第１の反射面の変位値
Ａと、ディスク層第２反射面の変位値Ｂと接着層第２反
射面の変位値Ｃを同時に計測し、ディスク層第１の反射
面の変位値Ａとディスク層第２反射面の変位値Ｂと接着
層第２反射面の変位値Ｃ（全計測変位値出力モード２
２）を制御部（コンピューター）１１に出力するという
ものである。これにより、全ての反射面の変位値及び第
１デスク層の厚みＤ及び接着層の厚みＥを制御部１１側
で自在に演算・使用することができ、目的に応じたり、
より複雑な因果関係を解明するデーターを得ることがで
き、またより精密な検査を行うことができるものであ
る。
【００１９】光学式センサー２１に全変位値・演算値出
力モード２３を設けて、全変位値・全厚みを出力するよ
うにしてなるものもよい。光学式センサー２１に出力選
択値モード２４を設けて、出力内容を自由に選択出来る
ようにするのもよい。 ＜付記＞第１ディスク層と第２ディスク層と、該第１デ
ィスク層と該第２ディスク層を接合する透過性の接着層
を有するＤＶＤディスクなどの光学式記録媒体を計測す
るのに適した光学式センサーであって、複数の透過性層
を有する被測定体（二層の場合の反射面は第１層第１反
射面、第１層第２反射面（＝第２層第１反射面）及び第
２層第２反射面の３つの反射面を有する。）の各反射面
の変位値を殆ど同時に計測し、計測した３つの変位値を
コンピューター等に出力できるようにしてなることを特
徴とするレーザーフォーカス変位センサー。請求項４又
は５に記載の発明を実現することができるという効果を
奏する。本発明は、第１ディスク層と第２ディスク層
と、該第１ディスク層と該第２ディスク層を接合する透
過性の接着層を有するＤＶＤディスクなどの光学式記録
媒体を計測するのに適したレーザーフォーカス変位セン
サーに関する。従来技術のＤＶＤディスクなどの光学式
記録媒体を計測するーザーフォーカス変位センサーは、
変位値計測モードと厚み計測モードを切り替えて計測す
るものであった。このため、１計測位置を計測するのに
ディスクを４回転させなければならず、計測時間がかか
るという問題を持つものであった。また、計測データー
項目が不足してしまうという問題があった。本発明は、
従来技術の以上のような問題点に鑑みてなされたもので
あって、その目的は、計測時間を短くできると共に計測
データー項目が多く得られるレーザーフォーカス変位セ
ンサーを提供するにある。
力モード２３を設けて、全変位値・全厚みを出力するよ
うにしてなるものもよい。光学式センサー２１に出力選
択値モード２４を設けて、出力内容を自由に選択出来る
ようにするのもよい。 ＜付記＞第１ディスク層と第２ディスク層と、該第１デ
ィスク層と該第２ディスク層を接合する透過性の接着層
を有するＤＶＤディスクなどの光学式記録媒体を計測す
るのに適した光学式センサーであって、複数の透過性層
を有する被測定体（二層の場合の反射面は第１層第１反
射面、第１層第２反射面（＝第２層第１反射面）及び第
２層第２反射面の３つの反射面を有する。）の各反射面
の変位値を殆ど同時に計測し、計測した３つの変位値を
コンピューター等に出力できるようにしてなることを特
徴とするレーザーフォーカス変位センサー。請求項４又
は５に記載の発明を実現することができるという効果を
奏する。本発明は、第１ディスク層と第２ディスク層
と、該第１ディスク層と該第２ディスク層を接合する透
過性の接着層を有するＤＶＤディスクなどの光学式記録
媒体を計測するのに適したレーザーフォーカス変位セン
サーに関する。従来技術のＤＶＤディスクなどの光学式
記録媒体を計測するーザーフォーカス変位センサーは、
変位値計測モードと厚み計測モードを切り替えて計測す
るものであった。このため、１計測位置を計測するのに
ディスクを４回転させなければならず、計測時間がかか
るという問題を持つものであった。また、計測データー
項目が不足してしまうという問題があった。本発明は、
従来技術の以上のような問題点に鑑みてなされたもので
あって、その目的は、計測時間を短くできると共に計測
データー項目が多く得られるレーザーフォーカス変位セ
ンサーを提供するにある。
【００２０】
【発明の効果】本発明は以上のようになっているので次
に述べるような効果を奏する。 ＜請求項１記載の光学式記録媒体等の計測方法の発明の
効果＞殆ど同軸上位置の第１ディスク層の反射面変位値
（ディスク層第１反射面の変位値及びディスク層第２反
射面の変位値あるいはいずれか一方の変位値）と、接着
層の第１反射面変位値及び接着層の第２反射面変位値を
得ることができるものであるので、同一場所の接着層の
厚み（接着層第２反射面の変位値−接着層第１反射面の
変位値）と第１ディスク層の変位を得ることができると
いう効果を奏する。
に述べるような効果を奏する。 ＜請求項１記載の光学式記録媒体等の計測方法の発明の
効果＞殆ど同軸上位置の第１ディスク層の反射面変位値
（ディスク層第１反射面の変位値及びディスク層第２反
射面の変位値あるいはいずれか一方の変位値）と、接着
層の第１反射面変位値及び接着層の第２反射面変位値を
得ることができるものであるので、同一場所の接着層の
厚み（接着層第２反射面の変位値−接着層第１反射面の
変位値）と第１ディスク層の変位を得ることができると
いう効果を奏する。
【００２１】＜請求項２記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明の効果＞このようにしても請求項１に記載の
発明と同じ効果を奏する。
方法の発明の効果＞このようにしても請求項１に記載の
発明と同じ効果を奏する。
【００２２】＜請求項３記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明の効果＞このようにしても請求項１に記載の
発明と同じ効果を奏する。
方法の発明の効果＞このようにしても請求項１に記載の
発明と同じ効果を奏する。
【００２３】＜請求項４記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明の効果＞請求項１、２又は３記載の発明の効
果に加えて、特に請求項３記載の発明においては少なく
とも計測開始出発点は計測漏れとなるので、一周の全計
測位置を計測するには２周しなければならず、それをモ
ードを変えてもう一回（計２回）計測するので４周する
ことになり時間がかかるが、本請求項の発明は「計測し
た該接着層第１反射面の変位値と接着層第２反射面の変
位値を出力する」ので、請求項３記載の発明の半分の２
周で計測ができ、計測時間を短縮できるという効果を奏
する。
方法の発明の効果＞請求項１、２又は３記載の発明の効
果に加えて、特に請求項３記載の発明においては少なく
とも計測開始出発点は計測漏れとなるので、一周の全計
測位置を計測するには２周しなければならず、それをモ
ードを変えてもう一回（計２回）計測するので４周する
ことになり時間がかかるが、本請求項の発明は「計測し
た該接着層第１反射面の変位値と接着層第２反射面の変
位値を出力する」ので、請求項３記載の発明の半分の２
周で計測ができ、計測時間を短縮できるという効果を奏
する。
【００２４】＜請求項５記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明の効果＞請求項１、２、３又は４記載の発明
の効果に加えて、３箇所の反射面の変位値を殆ど同時に
計測し、その３箇所の変位値を出力してコンピューター
側で、それに基づいたデーターを自由に作成できるとい
う効果を奏する。特に、第１ディスク層の厚み、接着層
の厚み、第１ディスク層の変位の関係を解析するデータ
ーが得られるという効果を奏する。
方法の発明の効果＞請求項１、２、３又は４記載の発明
の効果に加えて、３箇所の反射面の変位値を殆ど同時に
計測し、その３箇所の変位値を出力してコンピューター
側で、それに基づいたデーターを自由に作成できるとい
う効果を奏する。特に、第１ディスク層の厚み、接着層
の厚み、第１ディスク層の変位の関係を解析するデータ
ーが得られるという効果を奏する。
【００２５】＜請求項６記載の光学式記録媒体等の計測
方法の発明の効果＞請求項１、２、３、４又は５記載の
発明に加えて、比較基準値と計測データーを比較して、
製品の良否判定が行えるという効果を奏する。
方法の発明の効果＞請求項１、２、３、４又は５記載の
発明に加えて、比較基準値と計測データーを比較して、
製品の良否判定が行えるという効果を奏する。
【００２６】＜請求項７記載の光学式記録媒体等の計測
装置の発明の効果＞請求項１記載の発明の効果と同じ効
果を奏する。
装置の発明の効果＞請求項１記載の発明の効果と同じ効
果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１の光学式記録媒体等の計
測装置の概念図。
測装置の概念図。
【図２】本発明の実施の形態１のディスク層第１反射面
計測モードでの計測を示す概念図。
計測モードでの計測を示す概念図。
【図３】本発明の実施の形態１のディスク層第２反射面
計測モードでの計測を示す概念図。
計測モードでの計測を示す概念図。
【図４】本発明の実施の形態２の計測装置による計測方
法を示す概念図。
法を示す概念図。
【図５】本発明の実施の形態３の計測装置による計測方
法を示す概念図。
法を示す概念図。
【符号の説明】 ａ・・・・・ディスク層第１反射面 ｂ・・・・・ディスク層第２反射面ｂ（＝接着層第１反
射面ｂ） ｃ・・・・・接着層第２反射面 Ａ・・・・・ディスク層第１反射面の変位値 Ｂ・・・・・ディスク層第２反射面の変位値Ｂ（＝接着
層第１反射面の変位値Ｂ） Ｃ・・・・・接着層第２反射面の変位値 Ｄ・・・・・接着層の厚み Ｅ・・・・・第１ディスク層の厚み １・・・・・計測装置 ２・・・・・第１ディスク層 ３・・・・・第２ディスク層 ４・・・・・透過性接着層 ５・・・・・スタピライザー ６・・・・・光学式記録媒体 ７・・・・・ディスクセット部 ８・・・・・光学式センサー ９・・・・・計測駆動手段 １０・・・・・水平移動手段 １１・・・・・制御部 １２・・・・・照射光線 １２ａ・・・・反射光線 １２ｂ・・・・反射光線 １２ｃ・・・・反射光線 １５・・・・・計測装置 １６・・・・・光学式センサー ２０・・・・・計測装置 ２１・・・・・光学式センサー ２２・・・・・全計測変位値出力モード ２３・・・・・全変位値・演算値出力モード ２４・・・・・出力選択値モード ２５・・・・・記憶演算部
射面ｂ） ｃ・・・・・接着層第２反射面 Ａ・・・・・ディスク層第１反射面の変位値 Ｂ・・・・・ディスク層第２反射面の変位値Ｂ（＝接着
層第１反射面の変位値Ｂ） Ｃ・・・・・接着層第２反射面の変位値 Ｄ・・・・・接着層の厚み Ｅ・・・・・第１ディスク層の厚み １・・・・・計測装置 ２・・・・・第１ディスク層 ３・・・・・第２ディスク層 ４・・・・・透過性接着層 ５・・・・・スタピライザー ６・・・・・光学式記録媒体 ７・・・・・ディスクセット部 ８・・・・・光学式センサー ９・・・・・計測駆動手段 １０・・・・・水平移動手段 １１・・・・・制御部 １２・・・・・照射光線 １２ａ・・・・反射光線 １２ｂ・・・・反射光線 １２ｃ・・・・反射光線 １５・・・・・計測装置 １６・・・・・光学式センサー ２０・・・・・計測装置 ２１・・・・・光学式センサー ２２・・・・・全計測変位値出力モード ２３・・・・・全変位値・演算値出力モード ２４・・・・・出力選択値モード ２５・・・・・記憶演算部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA09 AA30 BB03 BB22 CC03 FF44 GG04 HH13 JJ09 MM04 MM07 PP02 PP13 QQ25 2G051 AA71 AB20 BA10 BC05 CB01 CD03 DA08 EA11 EA14 5D121 AA03 AA07 HH04 HH18
Claims (7)
- 【請求項１】 少なくとも第１ディスク層と第２ディス
ク層と、該第１ディスク層と該第２ディスク層を接合す
る透過性の接着層を有するＤＶＤディスクなどの光学式
記録媒体に、レーザーフォーカス変位センサーなどの光
学式センサーから照射されたレーザー光線などの計測光
線を照射してその計測値（変位値）に基づいて計測する
方法であって、 前記第１ディスク層側に前記計測光線を照射し、この計
測光線が反射する前記第１ディスク層のディスク層第１
反射面の変位値及びディスク層第２反射面の変位値（＝
接着層第１反射面の変位値）あるいはいずれか一方の変
位値を計測するディスク層変位計測段階と、 前記ディスク層反射面の変位値の計測位置と殆ど同一軸
上（第１反射面の変位計測位置あるいはディスク層第２
反射面の変位計測位置と殆ど同一軸上）において計測光
線を照射し、該計測光線が反射する接着層第１反射面の
変位値と接着層第２反射面の変位値を計測する接着層変
位計測段階と、 以上の計測段階を有することを特徴とする光学式記録媒
体等の計測方法。 - 【請求項２】 接着層第１反射面の変位値と接着層第２
反射面の変位値とから前記接着層の厚みを算出する接着
層厚み算出段階を設けてなることを特徴とする請求項１
記載の光学式記録媒体等の計測方法。 - 【請求項３】 光学式センサーが変位読取りモードと厚
み読取りモードを切替えて計測するものであり、計測対
象が光学記録ディスクが円盤ディスクであり、前記変位
読取りモードで第１デスク層反射面の同一円周軌条の一
周分の変位計測位置（０．１．２・・・・．ｎ）の変位
値を計測し、変位読取りモードによる読取りが完了した
ら前記厚み読取りモード（接着層第１反射面の変位値と
接着層第２反射面の変位値を殆ど同時に計測してその差
から接着層の厚みを算出して出力するようになってい
る。）で前記変位計測位置の接着層の厚みを出力するよ
うにしてなることを特徴とする請求項１記載の光学式記
録媒体等の計測方法。 - 【請求項４】 光学光センサーが接着層第１反射面の変
位値と接着層第２反射面の変位値を殆ど同時に計測し、
この計測した該接着層第１反射面の変位値と接着層第２
反射面の変位値を出力するようになっていて、この出力
変位値にもとづいてコンピュータ側で接着層第１反射面
（＝ディスク層第２反射面）の変位値と接着層第２反射
面の変位値あるいは接着層の厚みを算出するようにして
なることを特徴とする請求項１、２又は３記載の光学式
記録媒体等の計測方法。 - 【請求項５】 光センサーがディスク層第１反射面の変
位値、ディスク層第２反射面の変位値（＝接着層第１反
射面の変位値）及び接着層第２反射面の変位値を殆ど同
時に計測し、この計測した該ディスク層第１反射面の変
位値、該ディスク層第２反射面の変位値及び該接着層第
２反射面の変位値を出力するようになっていて、この出
力値にもとづいてコンピュータ側で必要とする変位値を
選択して必要なデーターを作成するようにしてなること
を特徴とする請求項１、２、３又は４記載の光学式記録
媒体等の計測方法。 - 【請求項６】 前もって特定されている第１ディスク
層の基準変位値（ディスク層第１反射面の基準変位値及
びディスク層第２反射面の基準変位値あるいはいずれか
一方の基準変位値）と接着層基準値（接着層第１反射面
の基準変位値及び接着層第２反射面の基準変位値あるい
は接着層基準厚み）とからなる比較基準値と、計測した
前記第１ディスク層反射面の変位値（ディスク層第１反
射面の変位値及び）ディスク層第２反射面の変位値ある
いはいずれか一方の変位値）及び前記接着層第１反射面
の変位値及び接着層第２の反射面の変位値あるいは接着
層の厚みとを比較する比較段階を設けたことを特徴とす
る請求項１、２、３、４又は５記載の光学式記録媒体等
の計測方法。 - 【請求項７】 少なくとも第１ディスク層と第２ディス
ク層と、該第１ディスク層と該第２ディスク層を接合す
る透過性接着層とを有するＤＶＤディスクなどの光学式
記録媒体をセットするディスクセット部と、 このディスクセット部にセットされた前記光学式記録媒
体の変位を計測するためのレーザーフォーカス変位セン
サーなどの光学式センサーと、 この光学式センサーあるいは前記ディスクセット部を計
測駆動するための計測駆動手段と、 この計測駆動手段及び前記光学式センサーを制御する制
御部とからなり、 前記光学式センサーから計測光線を照射し、この計測光
線が反射する前記第１ディスク層のディスク層第１反射
面の変位値、ディスク層第２反射面の変位値（＝接着層
第１反射面の変位値）及び接着層第２反射面の変位値を
殆ど同一軸上で計測するようにしてなることを特徴とす
る光学式記録媒体等の計測装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000399518A JP2002197730A (ja) | 2000-12-27 | 2000-12-27 | 光学式記録媒体等の計測方法並びに光学式記録媒体等の計測装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000399518A JP2002197730A (ja) | 2000-12-27 | 2000-12-27 | 光学式記録媒体等の計測方法並びに光学式記録媒体等の計測装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002197730A true JP2002197730A (ja) | 2002-07-12 |
Family
ID=18864286
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000399518A Pending JP2002197730A (ja) | 2000-12-27 | 2000-12-27 | 光学式記録媒体等の計測方法並びに光学式記録媒体等の計測装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002197730A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1655571A1 (en) * | 2004-11-05 | 2006-05-10 | DaTARIUS Technologies GmbH | Device for measuring the thickness of optical media stampers |
| EP1655572A1 (en) * | 2004-11-05 | 2006-05-10 | DaTARIUS Technologies GmbH | Device for measuring surface properties of optical media stampers |
| CN104870933A (zh) * | 2012-11-12 | 2015-08-26 | 索泰克公司 | 用于测量多层半导体结构的层的厚度变化的方法 |
-
2000
- 2000-12-27 JP JP2000399518A patent/JP2002197730A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1655571A1 (en) * | 2004-11-05 | 2006-05-10 | DaTARIUS Technologies GmbH | Device for measuring the thickness of optical media stampers |
| EP1655572A1 (en) * | 2004-11-05 | 2006-05-10 | DaTARIUS Technologies GmbH | Device for measuring surface properties of optical media stampers |
| CN104870933A (zh) * | 2012-11-12 | 2015-08-26 | 索泰克公司 | 用于测量多层半导体结构的层的厚度变化的方法 |
| US9759546B2 (en) | 2012-11-12 | 2017-09-12 | Soitec | Method for measuring thickness variations in a layer of a multilayer semiconductor structure |
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