JP2002195911A - 画像濃淡ムラ領域検出方法及びこの装置 - Google Patents

画像濃淡ムラ領域検出方法及びこの装置

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JP2002195911A
JP2002195911A JP2000392236A JP2000392236A JP2002195911A JP 2002195911 A JP2002195911 A JP 2002195911A JP 2000392236 A JP2000392236 A JP 2000392236A JP 2000392236 A JP2000392236 A JP 2000392236A JP 2002195911 A JP2002195911 A JP 2002195911A
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JP2000392236A
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Junichi Saito
純一 斉藤
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Toppan Printing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】濃度ムラ検出処理の感度を向上させること、特
にモヤを持つカラーフィルターにおいてもモヤ部分を誤
検出すること無く、目的とするムラのみを検出させるこ
とが可能なムラ領域検出装置を提供する。 【解決手段】検査対象物を照射する光源50と、検査対
象物を撮像する撮像部51と、この撮像部で得られた受
光光量値を記憶するメモリ62と、該受光光量値の標準
偏差を算出する標準偏差算出手段63と、該標準偏差か
ら閾値を算出する閾値算出部64と、近傍メモリアドレ
スに記憶している受光光量値の平均を算出する受光光量
平均化手段65と、受光光量平均値と受光光量の差の絶
対値が、閾値より大きい場合には1(黒)、小さい場合
には0(白)にする2値化手段66と、該2値化データ
を表示するディスプレイ70と、を具備するムラ領域検
出装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は検査領域内全域にお
いて一定濃度であることが期待される検査対象物に生じ
た部分的な濃淡を撮影画像から解析、検出する画像処理
方法に関するものであり、特にカラーフィルターなどの
ムラ検査において用いられる画像処理方法に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】カラー液晶表示装置の色表示用のカラー
フィルターやカラービデオカメラの色分解用カラーフィ
ルターの製品検査として画像解析装置を用いたムラの検
査が行われている。この画像解析装置は通常、画像入力
装置、コンピュータ、照明および付属装置類からなり、
カラーフィルターを透過光撮影することによって画像デ
ータを得た後、コンピュータによって画像処理を行い、
ムラ領域を特定している。これに用いられる画像処理方
法としては、画像データの1画素(ピクセル)毎にデジ
タルフィルタ、2次微分処理等を施した後、別途設定し
た閾値と比較して閾値を越えた部分をムラ領域として特
定するというものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、製造プ
ロセス上の避けられない要因からカラーフィルターには
全面に対してモヤモヤとした薄いムラ(モヤ)が生じる
ことがありこれを皆無にすることは現状では不可能であ
る。また、この種のムラは人間の視覚特性上全面に同様
に広がっている場合や一端では濃く、他端に向かうに従
って徐々に薄くなって行くような場合には認識されづら
いという特性を持つことが判っている。
【0004】そのため濃度の小さいムラは同じ濃度であ
ってもモヤと重なっている場合には認識されないが、モ
ヤの少ない場合には認識されるという特徴を持つ。従来
の方法では濃度の小さいムラを検出するため閾値を低め
に設定するとモヤ部分を誤検出しがちであり、逆に誤検
出の発生しない閾値では明らかに認識できるムラをも見
逃してしまうという問題があった。本発明はこのような
従来の課題に鑑みなされたものであり、従来の技術で説
明した製品検査の画像処理部分に対する解決手段を提供
するものである。本発明の目的とするところは、カラー
フィルターなどの検査に適用して濃度ムラ検出処理の感
度を向上させること、特にモヤを持つカラーフィルター
においてもモヤ部分を誤検出すること無く、目的とする
ムラのみを検出させることにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
なされた請求項1に記載の本発明は、検査対象物を撮影
して得られた2次元濃淡画像を解析し、部分的に濃度が
高いあるいは低い領域(ムラ領域)を特定する画像解析
において、画像内で複数のサンプル点を選んで画像の濃
淡に対応した受光光量値の標準偏差Vを求め、これと別
途入力する係数Aを用いて求められる閾値S=A×Vを
用いて画像に対してアンシャープマスキング法による2
値化を行ないムラ領域を検出する検出方法である。
【0006】また請求項2に記載の本発明は、請求項1
の検出方法で、画像を予め縦横の格子状に数個〜10数
個の画像に分割した後、各分割画像に対して請求項1の
検出処理を施し、2値化された各分割画像を分割時の位
置に合わせて再度合成し、ムラ領域を検出する検出方法
である。
【0007】また請求項3に記載の本発明は、少なくと
も2以上の口径の異なるアパチュアを切り換えることが
可能な機能を有し、検査対象物の濃淡画像に応じた光量
を受光する受光部と、検査対象物の測定点の座標を決定
するために、X,Y方向に移動させるアクチュエータを
制御するXY制御部と、アパチュアの切り換えに対応し
受光光量測定部を切り換えるスウィッチと、上記のXY
制御部に対応した検出対象物の各測定点の1次受光光量
(小さな口径のアパチュアで得られた受光光量)をA/
Dコンバータでデジタル化し、該デジタル受光光量値か
ら標準偏差(V)を算出する標準偏差算出手段と、該標
準偏差(V)から、閾値(S=A×V、係数Aは別途入
力)を算出する閾値算出部と、上記のXY制御部に対応
した検出対象物の各測定点の2次受光光量(大きな口径
のアパチュアで得られた受光光量)をA/Dコンバータ
でデジタル化し、該デジタル濃度値と1次受光光量のデ
ジタル濃度値との差の絶対値が、上記閾値(S)より大
きい場合には1(黒)、小さい場合には0(白)に2値
化する2値化手段と、2値化データをメモリに記憶さ
せ、この2値化データを表示するディスプレイと、を少
なくとも具備することを特徴とするムラ領域検出装置で
ある。
【0008】また請求項4に記載の発明は、検査対象物
を照射する光源と、検査対象物を撮像する撮像部と、こ
の撮像部で得られた受光光量値をA/Dコンバータでピ
クセル単位でデジタル化し、この受光光量値のデジタル
データを記憶するメモリと、メモリアドレスを指定し
て、該メモリに記憶している受光光量値のデジタルデー
タを呼び出し、標準偏差(V)を算出する標準偏差算出
手段と、該標準偏差(V)から、閾値(S=A×V、係数
Aは別途入力)を算出する閾値算出部と、更に、前記メ
モリアドレスの近傍メモリアドレスに記憶している前記
受光光量値のデジタルデータを呼び出し平均値を算出す
る受光光量平均化手段と、受光光量平均値と受光光量と
の差の絶対値が上記閾値(S)より大きい場合には1
(黒)、小さい場合には0(白)に2値化する2値化手
段と、2値化データをメモリに記憶させ、この2値化デ
ータを表示するディスプレイと、を少なくとも具備する
ことを特徴とするムラ領域検出装置である。
【0009】すなわち、本発明の要旨は、検査対象物を
照射し、検査対象物に形成されている各画像の濃淡に対
応した光量を受光部で受け光量(光強弱)を測定する。
受光光量値としては、一般的に人間の視感度とほぼ比例
する濃度値が用いられるが、本発明においては単に画像
の濃淡に対応した受光光量値が取得できればよく、特に
濃度値に限定する必要はなく輝度値のようなものであっ
も構わない。
【0010】受光光量は、検査対象物の画像内で複数の
点、例えば数10〜数100点のサンプル点を選び、次
に画像の濃淡に応じた受光光量値の標準偏差(V)を求
める。サンプル点の点数は本発明が想定している画像デ
ータのサイズ(200×200 dot〜2000×2
000 dot程度)から最小限必要と思われる点数で
あり、画像データのサイズが大幅に異なる場合や時間
的、計算能力的制限が異なる場合にはこれ以外の値であ
ってもかまわない。この標準偏差(V)と別途入力する
係数Aとを用いて閾値(S)=A×Vを求める。ついで
この閾値(S)を用いて画像に対してアンシャープマス
キング法による2値化を行ない、値が1となった部分をム
ラであると判定する。
【0011】また、モヤが一端では濃く、他端に向かう
に従って徐々に薄くなって行くような場合には、画像を
予め縦横の格子状に数個〜10数個の画像に分割した
後、各分割画像に対して上記の検出処理を施す。しかる
後に2値化された各分割画像を分割時の位置に合わせて
再度合成し、値が1となった部分をムラであると判定す
る。
【0012】
【作用】上述の手段において各画像毎のムラやモヤの光
量に合わせて閾値(S)を変化させることにより、モヤ
部分を誤検出すること無く濃度の小さいムラを検出する
ことが可能となるという作用をもたらす。閾値(S)の
大小に依存して、検出されるムラ濃淡差が変わる。すな
わち、閾値を小さくするとムラの濃淡差が小さくともム
ラとして、反対に閾値を大きくするとムラの濃淡差が大
きいものが検出される。従って、要求される品質に応じ
て閾値を設定する。
【0013】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて詳細に説明する。
【0014】図1は、検査対象物であるカラーフィルタ
ー(10)にムラ(11)が存在する場合をモデル化し
た平面図である。また、図2は、図1のカラーフィルタ
ーをアンシャープマスキング法によってムラ検出し表示
させた場合の平面図である。
【0015】図3は、図1に示したカラーフィルターの
ムラを検出する方法を説明する図である。図3(B)
は、図3(A)のX−X部に於ける受光光量値を口径
(d)の小さいアパチュア(例えば口径d=0.4m
m)で測定し、受光光量値を縦軸に、測定点位置を横軸
にしてグラフ化したものである。次に図3(B)で得ら
れた受光光量値に下記の数1を適用し標準偏差(V)を
算出する。
【0016】
【数1】
【0017】この標準偏差値Vと、別途に検出するムラ
の品質レベルに応じて入力された係数Aに基づいて、閾
値S=A×Vを算出する。
【0018】図3(C)は、図3(A)のX−X部に於
ける受光光量値を口径(d)の大きな(例えば口径d=
2.0mm)アパチュアで測定し、受光光量値を縦軸
に、測定点位置を横軸にしてグラフ化したものである。
このように大きな口径を有するアパチュアで取り込む方
法を、画像がぼけることからアンシャープマスキング法
と称されている。
【0019】図3(C)で得られた受光光量値と図3
(B)の受光光量値の差の絶対値が、前記閾値S以上の
場合には1(黒画像)、前記閾値S未満の場合は0(白
画像、画像が無い)と2値化すると図3(D)に示すよ
うなグラフが得られ、この2値化で1となった領域を黒
画像と表示させると前記図2に示すようなムラ領域が検
出される。
【0020】このような方法に基づいて、ムラを検出す
る装置が図4及び図5に示すものである。
【0021】図4において、図示しない保持枠に検査対
象物(10)であるカラーフィルターが保持され、下方
に設けられた光源(21)より光を照射し上方に設置さ
れてフォトマル等の光電素子で構成されている受光部
(22)で受光光量を測定する。検査対象物の各光量測
定点はXY制御部(35)で制御され、X方向,Y方向
に移動するアクチュエータ(24)で移動され、検査対
象物の測定点に対応した受光光量が得られるようになっ
ている。
【0022】第1ステップとして、受光部(22)にお
いて口径(d)の小さいアパチュア(例えばd=0.4
mm)で測定し、この受光光量を1次受光光量(D1)
測定部(31)に送信するようにSW(23)で切り換
える。1次受光光量(D1)測定部(31)で得られた
データをA/Dコンバータ(32)でデジタル化し、上
記数1に基づいた標準偏差(V)算出手段(33)で標
準偏差(V)を算出する。この標準偏差(V)を基準と
して閾値(S)を閾値算出部(34)で決定する。この
閾値は、S=A×Vで算出し、係数Aは受光光量値、及
び検査対象物の要求品質レベルの応じて適宜決定される
ものである。例えば検査対象物がカラーフィルターであ
り、カラーフィルターの濃淡を256階調の輝度値で常
光光量を測定した場合において、A=3にすると濃度ム
ラを過不足なく検出できる。
【0023】第2ステップとして、受光部(22)にお
いて口径(d)の大きなアパチュア(例えばd=2.0
mm)で測定し、この受光光量を2次受光光量(D2)
測定部(36)に送信するようにSW(23)で切り換
える。2次受光光量(D2)測定部(36)で得られた
データをA/Dコンバータ(37)でデジタル化し、上
記2次受光光量(D2)測定部で得られた受光光量値と
1次受光光量(D1)で得られた受光光量の差の絶対値
が、上記閾値(S)より大きい場合には1(黒)に、閾
値(S)より小さい場合には0(白)と2値化してメモ
リに記憶させ、この2値化データをディスプレイ(4
0)に表示するすると図2に示すようなムラが表示され
る。
【0024】図5に示すムラ検出装置は、図4に於ける
ムラ検出装置に於いて検査対象物をCCDカメラ等の撮
像部(51)で撮影して得られた受光光量値を演算処理
コンピュータのメモリ(62)に格納し、このメモリア
ドレスに基づいてアンシャープマスキング法の画像処理
を施して、上記の口径の大きなアパチュアで測定したこ
とと同等なことが得られるように、測定点のメモリアド
レスの受光光量値データと近傍メモリアドレスの受光光
量値データとを平均化することで実現させる。すなわ
ち、測定点のメモリアドレスの受光光量値データと近傍
メモリアドレスの受光光量値データとを平均化すること
は、図3(C)に示すグラフが得られることと同等な処
理である。
【0025】このCCDカメラ等の撮像部(51)で撮
影された測定点の位置とメモリアドレスとを対応させる
ことで検査対象物の測定点に対応した受光光量値データ
がメモリアドレスに格納される。
【0026】上記の如く、CCDカメラ等で検査対象物
を撮影し、測定点の位置座標と受光光量値データとメモ
リアドレスとを関連付けることで、受光光量の測定は1
回で済み且つ、XY軸の移動制御も不要となる。
【0027】
【実施例】以下に、 本発明の実施例を説明する。
【0028】[実施例1]図6は検査対象物となる80
0×600 dot、256階調の単色濃淡画像であ
る。上記濃淡画像に対して測定点(サンプル点)100
点(Xは8Dot、Yは6Dot間隔)を等間隔の格子
状に設定し、画像に対する輝度値の標準偏差Vを前述の
数1より算出した。上式により標準偏差V=8と求まっ
た。また、係数A=3と設定したので閾値S=24とな
る。ついでこれを用いて画像に対してアンシャープマス
キング法による2値化を行なう。マスクサイズをK×L Do
t(K=5、L=5)として処理した結果が図7であり、黒
く表示された部分がムラであると判定されたことにな
る。
【0029】[実施例2]また以下に、 本発明の別の
実施例を説明する。図8は検査対象となる800×60
0 dot、256階調の単色濃淡画像である。上記濃
淡画像を400×300 dotの画像4枚に分割した状
態を示したのが図9である。以下、各分割画像に対して
実施例1のごとき処理を行ない、4枚の2値画像を得た
(図10)。これを分割画像の位置関係を保つようにし
て張り合わせた結果が図11である。
【0030】
【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の処
理によれば、各画像毎のモヤの光量を基に閾値を変化さ
せることにより、モヤ部分を誤検出すること無く濃度の
小さいムラを検出することが可能となるという効果を奏
する。
【図面の簡単な説明】
【図1】検査対象物に濃淡ムラが存在する場合を模式化
した平面図である。
【図2】図1の濃淡ムラを検出し表示させた場合の平面
図である。
【図3】本発明のムラ検出方法を説明するものであり、
(A)は検査対象物の平面図、(B)は(A)のX−X
部を小さな口径のアパチュアで得られた受光光量を縦軸
に、測定点位置を横軸にして得られたグラフ、(C)は
(A)のX−X部を大きな口径のアパチュアで得られた
受光光量を縦軸に、測定点位置を横軸にして得られたグ
ラフ、(D)は(C)の受光光量値と(B)の受光光量
値との差の絶対値を閾値Sで2値化した場合を示すグラ
フをそれぞれ示す。
【図4】本発明の濃淡ムラ領域検出装置を説明するブロ
ック図である。
【図5】他の本発明の濃淡ムラ領域検出装置を説明する
ブロック図である
【図6】実施例1の検査対象となる800×600 d
ot、256階調の単色濃淡画像を示す説明図である。
【図7】図6の画像に本発明の処理を施してムラ部分を
検出した状態を示す説明図である。
【図8】実施例2の検査対象となる800×600 d
ot、256階調の単色濃淡画像を示す説明図である。
【図9】図8の画像を4分割した分割画像を示す説明図
である。
【図10】図9の各部分画像に本発明の処理を施した状
態を示す説明図である。
【図11】図10の画像に張り合わせを施して図8に対
応するムラ部分を検出した状態を示す説明図である。
【符号の説明】
10…検査対象物 11…濃淡ムラ 21…光源 22…受光部 23…スウィッチ 24…アクチュエータ 30…演算処理コンピュータ 31…1次受光光量測定部 32…A/Dコンバータ 33…標準偏差算出手段 34…閾値算出部 35…XY制御部 36…2次受光光量測定部 37…A/Dコンバータ 38…2値化手段 39…メモリ 40…ディスプレイ 51…光源 52…撮像部 60…演算処理コンピュータ 61…A/Dコンバータ 62…メモリ 63…標準偏差算出手段 64…閾値算出部 65…受光光量平均化手段 66…2値化手段 67…メモリ 70…ディスプレイ AP…アパチュア

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】検査対象物を撮影して得られた2次元濃淡
    画像を解析し、部分的に濃度が高いあるいは低い領域
    (ムラ領域)を特定する画像解析において、画像内で複
    数のサンプル点を選んで画像の濃淡に対応した受光光量
    値の標準偏差Vを求め、これと別途入力する係数Aを用
    いて求められる閾値S=A×Vを用いて画像に対してア
    ンシャープマスキング法による2値化を行ないムラ領域
    を検出する検出方法。
  2. 【請求項2】請求項1の検出方法で、画像を予め縦横の
    格子状に数個〜10数個の画像に分割した後、各分割画
    像に対して請求項1の検出処理を施し、2値化された各分
    割画像を分割時の位置に合わせて再度合成し、ムラ領域
    を検出する検出方法。
  3. 【請求項3】検査対象物を照射する光源と、少なくとも
    2以上の口径の異なるアパチュアを切り換えることが可
    能な機能を有し、検査対象物の濃淡画像に応じた光量を
    受光する受光部と、検査対象物の測定点の座標を決定す
    るために、X,Y方向に移動させるアクチュエータを制
    御するXY制御部と、アパチュアの切り換えに対応し受
    光光量測定部を切り換えるスウィッチと、上記のXY制
    御部に対応した検出対象物の各測定点の1次受光光量
    (小さな口径のアパチュアで得られた受光光量)をA/
    Dコンバータでデジタル化し、該デジタル受光光量値か
    ら標準偏差(V)を算出する標準偏差算出手段と、該標
    準偏差(V)から、閾値(S=A×V、係数Aは別途入
    力)を算出する閾値算出部と、上記のXY制御部に対応
    した検出対象物の各測定点の2次受光光量(大きな口径
    のアパチュアで得られた受光光量)をA/Dコンバータ
    でデジタル化し、該デジタル濃度値と1次受光光量のデ
    ジタル値との差の絶対値が上記閾値(S)より大きい場
    合には1(黒)、小さい場合には0(白)に2値化する
    2値化手段と、2値化データをメモリに記憶させ、この
    2値化データを表示するディスプレイと、を少なくとも
    具備することを特徴とするムラ領域検出装置。
  4. 【請求項4】検査対象物を照射する光源と、検査対象物
    を撮像する撮像部と、この撮像部で得られた受光光量値
    をA/Dコンバータでピクセル単位でデジタル化し、こ
    の受光光量値のデジタルデータを記憶するメモリと、メ
    モリアドレスを指定して、該メモリに記憶している受光
    光量値のデジタルデータを呼び出し、標準偏差(V)を
    算出する標準偏差算出手段と、該標準偏差(V)から、
    閾値(S=A×V、係数Aは別途入力)を算出する閾値算
    出部と、更に、前記メモリアドレスの近傍メモリアドレ
    スに記憶している前記受光光量値のデジタルデータを呼
    び出し平均値を算出する受光光量平均化手段と、受光光
    量平均値と受光光量値との差の絶対値が上記閾値(S)
    より大きい場合には1(黒)、小さい場合には0(白)
    に2値化する2値化手段と、2値化データをメモリに記
    憶させ、この2値化データを表示するディスプレイと、
    を少なくとも具備することを特徴とするムラ領域検出装
    置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006275609A (ja) * 2005-03-28 2006-10-12 Toppan Printing Co Ltd 周期性パターンのムラ検査装置及びムラ検査方法

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006275609A (ja) * 2005-03-28 2006-10-12 Toppan Printing Co Ltd 周期性パターンのムラ検査装置及びムラ検査方法

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