JP2002189137A - 光配線基板 - Google Patents

光配線基板

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JP2002189137A
JP2002189137A JP2000387190A JP2000387190A JP2002189137A JP 2002189137 A JP2002189137 A JP 2002189137A JP 2000387190 A JP2000387190 A JP 2000387190A JP 2000387190 A JP2000387190 A JP 2000387190A JP 2002189137 A JP2002189137 A JP 2002189137A
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optical
optical waveguide
wiring board
waveguide component
package
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JP2000387190A
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Yuzo Ishii
雄三 石井
Yoshimitsu Arai
芳光 新井
Nobuyuki Tanaka
伸幸 田中
Takeshi Sakamoto
健 坂本
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Nippon Telegraph and Telephone Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】電気信号および光学的信号の入出力機構を有す
る半導体装置を搭載する光配線基板であって、多数の光
パッケージを搭載することができ、また、取り扱いの容
易な光配線基板を提供すること。 【解決手段】貫通孔16が形成されたプリント基板14
aの上面に光パッケージ11が搭載され、基板14aの
下面に光導波路部品15が設けられ、光パッケージ11
と光導波路部品15との間の光結合が貫通孔16を通過
する光ビームによって行われることを特徴とする光配線
基板を構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は光配線基板に関し、
特に、電気信号および光学的信号の入出力機構および伝
搬機構を有する配線基板に関する。
【0002】
【従来の技術】図4は、電気信号および光学的信号の入
出力機構を有する半導体装置(以下、光パッケージと称
す)30を搭載することのできる光配線基板に関する既
提案の従来例(特願平11−138605号)を示すも
のである。
【0003】この従来例においては、図4に示したよう
に、プリント基板39上の光パッケージ30搭載側の表
面に光導波路37を表面実装しており、この光導波路3
7により複数の光パッケージ間を光学的に接続すること
を可能としている。
【0004】光パッケージ30は、LSIチップ31と
インターポーザ34と面型光素子アレイ32とを透明樹
脂33によってパッケージして作製され、フラットリー
ド35によってプリント基板39上に実装されている。
【0005】光パッケージ30内に配備された面型光素
子アレイ32(ここでは、発光素子アレイとして説明す
る)から出射された光ビームは、光パッケージ30下面
に形成されたマイクロレンズアレイ36aによってコリ
メート(平行光化)され、プリント基板39に対して垂
直方向に伝搬し、光導波路37の上面に形成されたマイ
クロレンズアレイ36bによって光導波路コアに集光さ
れる。光導波路コアの端面にはミラー(平面鏡、以下同
様)38が形成されており、集光ビームは90度の光路
変換がなされたのちに光導波路の各コアに導光される。
光導波路37の反対側端面にもミラー(図示せず)が形
成されており、コア中を伝搬した光ビームは、再び90
度の光路変換によりプリント基板39から垂直方向に出
射され、別の光パッケージ(図示せず)に到達する。
【0006】通信装置やコンピュータの分野において
は、半導体集積回路の高集積化に伴い処理能力は飛躍的
に向上しており、半導体集積回路間の配線にも同様の高
速化が求められている。プリント基板上に実装された複
数の半導体集積回路チップ間は一般的には、電気配線に
よって接続されるが、信号の高速化、多数化に伴い、近
年、電気配線の帯域、コネクタ密度、消費電力といった
電気インタコネクション自身の有する本質的な問題がボ
トルネックとして顕在化しつつある。そこで、複数の半
導体集積回路チップ間を光配線によって接続する、いわ
ゆるチップレベル光インタコネクションが有力視されて
いる。
【0007】そして、チップ間の光インタコネクション
化が進むにつれて、プリント基板上に搭載される光パッ
ケージ数も増加する。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記既
提案の従来例(図4)においては、プリント基板39の
光パッケージ30搭載面に同じく光導波路37を有する
光導波路部品40を搭載している。従って、光導波路部
品40が搭載されている領域には、その他の光パッケー
ジ部品を搭載できない。光パッケージ30を多数搭載す
る場合には、それらを接続するための光導波路部品40
をも多数必要とするため、限られたプリント基板39領
域上において光導波路部品40の占める面積が、プリン
ト基板39に搭載可能な光パッケージ数を制限してしま
う可能性がある。
【0009】また光導波路部品は、衝撃、負荷により傷
つきやすく、また、光入出力部へのゴミや異物の付着は
光結合効率を低下させ、散乱や反射によるクロストーク
を生じるなど、深刻な事態を引き起こしかねないセンシ
ティブな部品であるが、このような部品がプリント基板
39の最表面に配置された本従来例では、このような問
題を解決しえない。
【0010】上述の既提案の従来例においては、光学的
信号の入出力機構を有する半導体装置(光パッケージ3
0)を搭載するプリント基板39上において、光導波路
部品40は光パッケージ30搭載面と同じ面上に搭載さ
れていた。従って、プリント基板39上において、光導
波路部品40が搭載された領域では、光パッケージ30
を搭載することができず、プリント基板39上に多数の
光パッケージ30を搭載することができないという問題
が生じていた。
【0011】さらに、プリント基板39の最表層に光導
波路部品が置かれてしまうために、実装工程およびユー
ザにとって、取り扱いに細心の注意が必要となるという
問題も生じていた。
【0012】本発明は、上述のような事情に鑑みてなさ
れたものであって、その目的とするところは、電気信号
および光学的信号の入出力機構を有する半導体装置を搭
載する光配線基板であって、多数の光パッケージを搭載
することができ、また、取り扱いの容易な光配線基板を
提供することである。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明においては、請求項1に記載のように、電気
信号および光学的信号の入出力機構を有する素子または
該素子を内蔵するパッケージと、電気回路基板と、光導
波路部品とを有する光配線基板であって、該電気回路基
板の一方の面には該素子または該パッケージが搭載さ
れ、他方の面には該光導波路部品が設けられ、該電気回
路基板には貫通孔または該貫通孔に充填された透明物質
が設けられ、該光学的信号が該素子から該光導波路部品
へ伝達される場合には、該光学的信号に応じた光ビーム
が該素子から出射され、該貫通孔または該透明物質を通
過したのちに該光導波路部品に入射し、該光学的信号が
該光導波路部品から該素子へ伝達される場合には、該光
学的信号に応じた光ビームが該光導波路部品から出射さ
れ、該貫通孔または該透明物質を通過したのちに該素子
に入射する構成を有することを特徴とする光配線基板を
構成する。
【0014】また、本発明においては、請求項2に記載
のように、請求項1に記載の光配線基板おいて、上記光
導波路部品は複数本の光ファイバを互いに平行に配列さ
せたファイバアレイを構成要素とし、該ファイバアレイ
は該光ファイバに平行な方向を長手方向としてシート状
もしくはフィルム状に成形され、該ファイバアレイの一
端面は、上記光ビームを光路変換するためのミラーとな
っているか、もしくは、レンズ機能あるいは反射機能を
有する光学部品と一体化されていることを特徴とする光
配線基板を構成する。
【0015】また、本発明においては、請求項3に記載
のように、請求項1または請求項2に記載の光配線基板
において、上記光導波路部品の両端面のうちの上記素子
または上記パッケージから遠い側の端面に単芯もしくは
多芯型の光コネクタが接続されていることを特徴とする
光配線基板を構成する。
【0016】
【発明の実施の形態】本発明に係る光配線基板において
は、光導波路部品を、光パッケージの搭載面だけでな
く、電気配線基板の裏面にも形成するので、多数の光パ
ッケージを搭載することが可能となる。すなわち、本発
明の実施によって、電気信号および光学的信号の入出力
機構を有する半導体装置を多数搭載可能な配線基板を提
供することができる。さらに、扱いに注意を要する光導
波路部品を、プリント基板の内層に配置できるので、取
り扱い性に優れた光配線基板を提供することができる。
【0017】なお、請求項1に記載の素子は、光学的信
号を発する機能および受ける機能のうちの少なくとも1
つの機能を有するものとする。
【0018】以下に、本発明の実施の形態を例示し、図
1〜図3を用いて、さらに詳細に説明する。 〔実施の形態例1〕図1は、本発明の第1の実施の形態
例を示す模式図である。
【0019】本実施の形態例において、半導体集積回路
を有するLSIチップ11aと面発光素子11bと面受
光素子11cとをパッケージ内に収納することにより、
電気信号および光学的信号の入出力機能を持たせた半導
体装置すなわち光パッケージ11は、プリント基板14
a上に搭載されている。光パッケージ11およびプリン
ト基板14aは、それぞれ、請求項1に記載のパッケー
ジおよび電気回路基板に該当する。
【0020】光パッケージ11において、LSIチップ
11aと面発光素子11bおよび面受光素子11cとは
はんだバンプ11dによって連結されていて、これらは
すべて透明な封止樹脂11fによって封止され、一体化
している。
【0021】光パッケージ11の電気リードフレーム1
1eが、プリント基板14a上に形成されている電極パ
ッド13に接続されることにより、この光パッケージ1
1は、プリント基板14aに電気的に連結し、機械的に
固定されている。
【0022】また、面発光素子11bの出力光は、透明
な封止樹脂11fを透過し、マイクロレンズ17によっ
てコリメートされ、出力光ビーム12となって光パッケ
ージ11から出射されている。
【0023】プリント基板14aには、貫通孔16が形
成されており、このコリメートされた出力光ビーム12
は、この貫通孔16内を通過し、光導波路部品15に光
結合される。光導波路部品15は、透明基板15aと、
ミラー15b、光導波路コア15c、光導波路クラッド
15dおよびマイクロレンズ15eから構成されてお
り、光ビーム12はマイクロレンズ15eによって集光
されたのち、ミラー15bによって90度の光路変換が
なされ、コア15cに光結合される。コア15c中を伝
搬した光ビーム12は、別の光パッケージ(図示せず)
に達し、その光パッケージ内の受光素子に、上記のプロ
セスと逆のプロセスによって伝搬され、光パッケージ間
の光学的接続が実現する。このような逆のプロセスによ
って、面受光素子アレイ11cに、別の光パッケージ
(図示せず)から光ビームが入力されるときには、その
光ビームはマイクロレンズ11gによって集光されて面
受光素子アレイ11cに入射する。
【0024】本実施の形態例においては、光パッケージ
11として、リードフレームタイプのパッケージを用い
たが、これははんだバンプを用いたエリアアレイタイプ
のパッケージでも構わない。また、同様に、ピングリッ
ドアレイタイプの光パッケージであっても構わない。
【0025】本実施の形態例において、光導波路部品1
5は、プリント基板14aおよびプリント基板14bの
間に挟まれた形で用いられている。これにより、プリン
ト基板14aおよびプリント基板14bの最表面に光導
波路部品が露出することはなく、光導波路部品15は損
傷の原因となる衝撃、負荷に対して保護されているの
で、この光配線基板の取り扱いは容易となっている。
【0026】なお、この光導波路部品15は、主にフォ
トリソグラフィー技術によって作製されるが、そのべー
ス基板である透明基板15aとして透明なガラス基板を
用いることによって、リジッドな光導波路部品が作製さ
れ、扱いやすさが向上する。続いて、接着剤やはんだバ
ンプなどを用いて、光導波路部品15をプリント基板1
4aと貼り合わせることによって、光導波路部品15が
一体化された光配線基板を作製することができる。この
場合に、透明基板15aに代えて、光ビーム12の通路
に当たる部分に貫通孔を設けたプリント基板を用いるこ
とによっても、光導波路部品が一体形成された光配線基
板が作製されるが、このような構成を用いれば、一層低
コストで、光配線基板を作製することが可能となる。
【0027】特に、光パッケージ11と光導波路部品1
5との位置ずれ精度が光学的に重要であり、この精度を
高めるためには、はんだバンプを用いた構成(図2の
(a))や、共通のピンもしくはピン孔を利用したPG
Aタイプの構成が有効である。
【0028】いずれにしろ、本実施の形態例において
は、光導波路部品15を(プリント基板14aおよびプ
リント基板14bを合わせて1枚の配線基板と考えたと
きの)電気配線層の内層として形成することができるた
め、プリント基板14aの最表面には、多数の光パッケ
ージを搭載できることになる。また、図1から明らかな
ように、プリント基板14a側だけでなく、プリント基
板14b裏面側にも同様に光パッケージを搭載できるこ
とはいうまでもない。
【0029】また、ここで用いられてきた貫通孔16
は、光ビーム12が透過できるに十分な大きさを有して
いればいいため、その孔加工精度は低くても構わない。
このことは、低コストにプリント基板を作製する上で重
要な要素である。
【0030】また、本実施の形態例に示されているマイ
クロレンズ15eの作製方法としては、様々な方式が利
用できる。例えば、透明基板の光入出力部分に、紫外線
硬化型樹脂液をディスペンサや、あるいはインクジェッ
ト方式によって滴下し、その液の表面張力によって出現
する球面を保持させたまま樹脂を硬化してレンズとする
などの方法が、形成の簡便さと形成の自由度の点から特
に有効である。また、あるいは透明基板15aに対し
て、リソグラフィー技術によってモノリシックにマイク
ロレンズを形成することも可能であり、さらには、平板
マイクロレンズアレイのような、あらかじめマイクロレ
ンズアレイが形成されたガラス基板を光導波路部品15
の透明基板15aとして利用することによっても作製可
能である。
【0031】また、本実施の形態例においては、貫通孔
16は空気層であるが、透明物質、例えば透明樹脂によ
ってこの孔を塞ぐこともまた考えられる。微小孔を塞ぐ
ことによって、異物やゴミなどの混入を防ぎ、光パッケ
ージ11と光導波路部品15間の光結合の信頼性を高め
る効果が期待でき、さらには、その透明物質の最表面を
平坦化し、マイクロレンズアレイを形成することも可能
である。 〔実施の形態例2〕図2の(a)は、本発明に係る光配
線基板の第2の実施の形態例を示す模式図である。
【0032】本実施の形態例が実施の形態例1と異なる
点は、光パッケージの構造と基板への固定方法、および
光導波路部品の構成にある。
【0033】本実施の形態例においては、面発光素子1
1bと面受光素子11cとはインタポーザ11hにはん
だバンプ11dによって連結され、光パッケージ11は
バンプ11kによってプリント基板側の電極パッド13
に固定されている。そして、LSIチップ11aと面発
光素子11bおよび面受光素子11cとの電気的接続
は、インタポーザ11hとはんだバンプ11dとを介し
て行われ、LSIチップ11aとプリント基板14aと
の電気的接続は、インタポーザ11hとメタルポスト1
1mとはんだバンプ11dkとを介して行われる。
【0034】本実施の形態例において、実施の形態例1
における光導波路部品15に該当するものは、数ミクロ
ン程度の極細径の光ファイバを数千本から数万本配列さ
せたファイバアレイから構成される。このようなファイ
バアレイを、光ファイバに平行な方向を長手方向として
シート状もしくはフィルム状に加工してイメージファイ
バシート21とし、その一つの端面を45度に加工して
ミラー22を形成している。この45度面には、金属薄
膜を形成してもよく、あるいはそのままTIR(Total
Internal Reflection、内面全反射)ミラーとして用い
ることもできる。イメージファイバシート21は請求項
1に記載の光導波路部品に該当する。このような極細径
のファイバアレイは一般にイメージファイバと呼ばれ、
ファイバスコープなどに利用されている。
【0035】イメージファイバシート21は、プリント
基板14aおよびプリント基板14bの間に挟まれる状
態(すなわち、プリント基板14aおよびプリント基板
14bを合わせて1枚の配線基板と考えたときの該配線
基板の内層に形成された状態)とで使用されており、こ
れにより、実施の形態例1の場合と同様に、プリント基
板14aおよびプリント基板14bの最表面にイメージ
ファイバシート21が露出していないので、多数の光パ
ッケージの搭載が可能となり、しかも、イメージファイ
バシート21が外部要因によって損傷を受けることが防
がれている。
【0036】このような光導波路部品を用いると、入射
位置ずれに対するトレランスが大幅に拡大される。例え
ば、マイクロレンズ11gを通過した光ビーム12のビ
ーム径が200ミクロンとすると、200ミクロン径の
光ビームがほぼコリメート光としてイメージファイバシ
ート21に直交して入射される場合を考えると、イメー
ジファイバシート21端面に形成されたミラー22によ
って90度の光路変換がなされたのちに、数百から千本
程度の極細径ファイバ群に分割して光結合される。おの
おのの極細径ファイバに結合した光ビームは、それぞれ
のファイバ中を全反射を繰り返しながら伝搬し、イメー
ジファイバシート21の反対側端面に到達する。反対側
端面にもTIRミラーが形成されているとすると、再び
90度の光路変換が行われた光ビームはおおよそ200
ミクロン径の光ビームとして出射されることになる。こ
れはイメージファイバシート21が長い場合にも全く同
様であり、伝搬距離にほとんど依存しないという特徴と
なる。すなわち、このようなイメージファイバシート2
1を用いることによって、入射時の光ビーム径が保存さ
れて出射側まで伝搬される。そして、入射位置がプリン
ト基板面と平行な面内においてずれたとしても、光は極
細径のファイバ群に分割されて伝搬されるために、イメ
ージファイバシート21の厚みを大きくすることで、そ
の影響を受けなくすることが可能である。
【0037】また、実施の形態例1にて記載した光導波
路部品(図1における15)と比べた場合、本実施の形
態例においては、光を光導波路コア層(図1における1
5c)に集光する必要がないため、図1におけるマイク
ロレンズ15eが不要となり、作製コストを低減するこ
とができる。
【0038】また、図2の(b)に示すように、イメー
ジファイバシート21端面をミラー付き透明光学部品2
3に接続させた構造も有効である。このミラー付き透明
光学部品23は透明樹脂をモールドして容易に作製する
ことのできる部品であるが、ミラー(図中、斜めの直線
で示された面)と反対側の面には、イメージファイバシ
ート21が接着剤などによって固定されている。このよ
うな光学部品は、図2の(b)に示したミラー機能のみ
ならず、例えば、プリント基板14aと接続するための
接着層やはんだバンプなどの機能を持たせることができ
る。また、光ビーム12の入射位置は均一な透明光学部
品であるために、図2の(a)に示した構造で懸念され
る極細径ファイバ外周での反射・散乱などの問題から解
放され、より高い光結合効率を期待できる。
【0039】一方、光ビーム12の出射側を考えると、
各極細径ファイバのもつNA(Numerical Aperture、開
口数)によって規定される広がり角をもって光ビームは
出射する。従って、90度の光路変換が行われた後に、
図2の(c)に示すように、ミラー付き透明光学部品2
3にマイクロレンズ24を一体化することで、その広が
り角を抑え、コリメート光を光パッケージ側へ伝搬する
ことが可能となる。
【0040】入射側においてはコリメート光入射である
ことを考えると、ここで用いるイメージファイバにNA
が小さいものが好ましいといえる。ファイバイメージシ
ート21出射後の空間光伝搬長が短い場合には、NAの
小さなイメージファイバを利用することで、前述のマイ
クロレンズ24を不要にすることも可能である。
【0041】また、プリント基板14a、14b間に形
成される光配線は、この光配線が光路によって構成され
ていると考えたときに、前述の光導波路部品15やイメ
ージファイバシート21によって物理的に接続、連結さ
れている必要もない。NAの小さいイメージファイバシ
ート21を用いれば、図3(図2続き)の(d)に示す
ような、自由空間を介した光配線も可能である。
【0042】また、NAの大きいイメージファイバを用
いる場合や、イメージファイバシート21の代わりに実
施の形態例1にて記述した光導波路部品15を用いる場
合には、図2の(e)に示すように、イメージファイバ
シート21の光入出力部分に、ミラー無し透明光学部品
25とレンズ24(あるいはマイクロレンズアレイ)と
を一体化したものを取り付けることによって、その入出
力光ビームをコリメートすることができる。
【0043】また、上記自由空間(空隙)が短い場合に
は、図3(図2続き)の(f)に示すように、空気層の
代わりに、屈折率の高い透明樹脂26等でその空隙を充
填することによって光ビームの広がりを抑えることもま
た有効である。
【0044】さらには、光導波路部品間に設けられた上
記の空隙には、様々な光学部品を配置することが可能で
ある。その空隙に挿入配置する光学部品としては、例え
ば、合波器、分波器、波長フィルター、光アンプ、光ス
イッチなどが考えられる。
【0045】なお、上記の実施の形態例において、上記
光導波路部品15あるいはイメージファイバシート21
の、光パッケージ11から出力される光ビーム12が入
射する側とは反対側の端面に単芯もしくは多芯型の光コ
ネクタを接続し、本発明に係る光配線基板の光の入出力
を、該光コネクタを介して行うことも有用である。
【0046】なお、上記の実施の形態例においては、光
パッケージを基板に搭載して用いているが、この光パッ
ケージに代えて、電気信号および光学的信号の入出力機
構を有する素子そのものを基板に搭載して用いてもよ
い。
【0047】
【発明の効果】本発明の実施により、電気信号および光
学的信号の入出力機構を有する半導体装置を搭載する光
配線基板であって、多数の光パッケージを搭載すること
ができ、また、取り扱いの容易な光配線基板を提供する
ことが可能となる。
【0048】本発明に係る光配線基板においては、電気
配線基板の最表面に光導波路部品を露出させないことが
可能となるので、多数の光パッケージの搭載が可能とな
り、しかも、外的要因によって損傷し易い光導波路部品
を保護することができるので、多数の光パッケージを搭
載し、扱い易さすが格段に向上した光配線基板を提供す
ることが可能となり、通信装置やコンピュータの分野に
おける信号処理能力の向上に貢献するところ大なるもの
がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示した光配線基板
の模式図である。
【図2】本発明の第2の実施の形態を示した光配線基板
の模式図である。
【図3】図2の続きである。
【図4】既提案の従来例における光配線基板を模式的に
示した図である。
【符号の説明】
11…光パッケージ、11a…LSIチップ、llb…
面発光素子アレイ、llc…面受光素子アレイ、lld
…はんだバンプ、11e…リードフレーム、11f…封
止樹脂、llg…マイクロレンズ、llh…インターポ
ーザ、llk…はんだバンプ、llm…メタルポスト、
12…面発光素子からの出力光ビーム、13…プリント
基板側の電極パッド、14a…プリント基板(電気配線
層)、14b…プリント基板(電気配線層)、15…光
導波路部品、15a…透明基板、15b…ミラー、15
c…光導波路コア、15d…光導波路クラッド、15e
…マイクロレンズ、16…貫通孔、17…マイクロレン
ズ、21…イメージファイバシート、22…ミラー、2
3…ミラー付き透明光学部品、24…レンズ、25…ミ
ラーなし透明光学部品、26…充填樹脂、31…LSI
チップ、32…面型光素子、33…透明樹脂、34…イ
ンターポーザ、35…フラットリード、36a、b…マ
イクロレンズアレイ、37…光導波路、38…ミラー、
39…プリント基板、40…光導波路部品。
フロントページの続き (72)発明者 田中 伸幸 東京都千代田区大手町二丁目3番1号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 坂本 健 東京都千代田区大手町二丁目3番1号 日 本電信電話株式会社内 Fターム(参考) 2H037 AA01 BA03 BA05 BA12 BA14 CA01 CA10 CA37 2H047 KA03 KA11 LA09 MA07 5F073 AB14 FA07 FA16 FA30 5F088 BA16 BB01 JA03 JA14 JA20 5F089 AA01 AC07 AC10 AC17 AC23 CA20 EA08 GA01

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】電気信号および光学的信号の入出力機構を
    有する素子または該素子を内蔵するパッケージと、電気
    回路基板と、光導波路部品とを有する光配線基板であっ
    て、該電気回路基板の一方の面には該素子または該パッ
    ケージが搭載され、他方の面には該光導波路部品が設け
    られ、該電気回路基板には貫通孔または該貫通孔に充填
    された透明物質が設けられ、 該光学的信号が該素子から該光導波路部品へ伝達される
    場合には、該光学的信号に応じた光ビームが該素子から
    出射され、該貫通孔または該透明物質を通過したのちに
    該光導波路部品に入射し、 該光学的信号が該光導波路部品から該素子へ伝達される
    場合には、該光学的信号に応じた光ビームが該光導波路
    部品から出射され、該貫通孔または該透明物質を通過し
    たのちに該素子に入射する構成を有することを特徴とす
    る光配線基板。
  2. 【請求項2】請求項1に記載の光配線基板おいて、上記
    光導波路部品は複数本の光ファイバを互いに平行に配列
    させたファイバアレイを構成要素とし、該ファイバアレ
    イは該光ファイバに平行な方向を長手方向としてシート
    状もしくはフィルム状に成形され、該ファイバアレイの
    一端面は、上記光ビームを光路変換するためのミラーと
    なっているか、もしくは、レンズ機能あるいは反射機能
    を有する光学部品と一体化されていることを特徴とする
    光配線基板。
  3. 【請求項3】請求項1または請求項2に記載の光配線基
    板において、上記光導波路部品の両端面のうちの上記素
    子または上記パッケージから遠い側の端面に単芯もしく
    は多芯型の光コネクタが接続されていることを特徴とす
    る光配線基板。
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