JP2002187092A - 送り装置 - Google Patents
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- RRLHMJHRFMHVNM-BQVXCWBNSA-N [(2s,3r,6r)-6-[5-[5-hydroxy-3-(4-hydroxyphenyl)-4-oxochromen-7-yl]oxypentoxy]-2-methyl-3,6-dihydro-2h-pyran-3-yl] acetate Chemical compound C1=C[C@@H](OC(C)=O)[C@H](C)O[C@H]1OCCCCCOC1=CC(O)=C2C(=O)C(C=3C=CC(O)=CC=3)=COC2=C1 RRLHMJHRFMHVNM-BQVXCWBNSA-N 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/028—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors along multiple or arbitrary translation directions, e.g. XYZ stages
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
-
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- H02N2/06—Drive circuits; Control arrangements or methods
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- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚によ
って可動子を送るようにした送り装置において、高速化
を可能にするとともに、平均電圧を０にする。 【解決手段】駆動脚２１、２２の伸縮変形部２３と剪断
変形部２４とにそれぞれ正弦波状の駆動電圧を印加す
る。
って可動子を送るようにした送り装置において、高速化
を可能にするとともに、平均電圧を０にする。 【解決手段】駆動脚２１、２２の伸縮変形部２３と剪断
変形部２４とにそれぞれ正弦波状の駆動電圧を印加す
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は送り装置に係り、と
くに伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、
このような駆動脚の伸縮変形部と剪断変形部の変形を利
用して可動子を送るようにした送り装置に関する。
くに伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、
このような駆動脚の伸縮変形部と剪断変形部の変形を利
用して可動子を送るようにした送り装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】特公平３−８１１１９号公報には、伸縮
変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、伸縮変形
部を伸長させて駆動脚の先端部を可動子または固定側に
接触させた状態で剪断変形部を送り方向または逆方向に
剪断変形させて可動子を送るようにした送り装置が開示
されている。
変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、伸縮変形
部を伸長させて駆動脚の先端部を可動子または固定側に
接触させた状態で剪断変形部を送り方向または逆方向に
剪断変形させて可動子を送るようにした送り装置が開示
されている。
【０００３】このような送り装置は、人間の足による歩
行の原理と類似の方法によって可動子を送るものであっ
て、駆動脚の先端側の部分を可動子または固定側と接触
させて剪断変形を起させると、駆動脚の先端部と可動子
または固定側との間に発生する摩擦力によって可動子が
送られるものである。
行の原理と類似の方法によって可動子を送るものであっ
て、駆動脚の先端側の部分を可動子または固定側と接触
させて剪断変形を起させると、駆動脚の先端部と可動子
または固定側との間に発生する摩擦力によって可動子が
送られるものである。
【０００４】図２１は２種類の駆動脚、すなわちＡ脚お
よびＢ脚を有する送り装置の伸縮変形部と剪断変形部と
にそれぞれ印加される電圧を示している。ここでは伸縮
変形部と剪断変形部とにそれぞれ矩形波状の駆動電圧を
印加しており、駆動電圧は全体の循環が６相で６０度の
位相差で制御されており、それぞれ３０度ずつオーバラ
ップしている。ところが伸縮変形部および剪断変形部を
構成する圧電素子がコンデンサになるために、実際には
台形波状の電圧になる。
よびＢ脚を有する送り装置の伸縮変形部と剪断変形部と
にそれぞれ印加される電圧を示している。ここでは伸縮
変形部と剪断変形部とにそれぞれ矩形波状の駆動電圧を
印加しており、駆動電圧は全体の循環が６相で６０度の
位相差で制御されており、それぞれ３０度ずつオーバラ
ップしている。ところが伸縮変形部および剪断変形部を
構成する圧電素子がコンデンサになるために、実際には
台形波状の電圧になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような送り装置に
おいて、送り速度を高くする場合には、駆動電圧の周波
数を変えることなくしかも剪断変形部に加えられる電圧
を高くする。ところが電圧を高くすると剪断変形部を構
成する圧電素子がコンデンサとして作用し、その時定数
によって剪断変形時間が長くなる。するとこの剪断変形
部が設けられている駆動脚が可動子に接触していないと
きにも剪断変形を起したり、他方の駆動脚が完全に可動
子から離れていない状態で剪断変形を起すことになる。
従ってこのことから送り速度の高速化が妨げられる。
おいて、送り速度を高くする場合には、駆動電圧の周波
数を変えることなくしかも剪断変形部に加えられる電圧
を高くする。ところが電圧を高くすると剪断変形部を構
成する圧電素子がコンデンサとして作用し、その時定数
によって剪断変形時間が長くなる。するとこの剪断変形
部が設けられている駆動脚が可動子に接触していないと
きにも剪断変形を起したり、他方の駆動脚が完全に可動
子から離れていない状態で剪断変形を起すことになる。
従ってこのことから送り速度の高速化が妨げられる。
【０００６】また図２１に示すような駆動電圧を駆動脚
に印加した場合に、電圧がプラスとマイナスとで圧電素
子から成る伸縮変形部あるいは剪断変形部の充放電の時
定数が異なり、しかもシーケンスであるために伸ばして
いる時間と縮めている時間とが必ずしも等しくないため
に、これらの変形部に加わる電圧の変化は図２２に示す
ようになる。ここで変形部に加わる電圧を積分すると、
積分値、すなわち電圧の平均値はマイナスになる。従っ
てこのことから、駆動脚を構成する伸縮変形部および剪
断変形部の圧電素子の脱分極化要因となり、圧電素子の
寿命を制限する原因になる。
に印加した場合に、電圧がプラスとマイナスとで圧電素
子から成る伸縮変形部あるいは剪断変形部の充放電の時
定数が異なり、しかもシーケンスであるために伸ばして
いる時間と縮めている時間とが必ずしも等しくないため
に、これらの変形部に加わる電圧の変化は図２２に示す
ようになる。ここで変形部に加わる電圧を積分すると、
積分値、すなわち電圧の平均値はマイナスになる。従っ
てこのことから、駆動脚を構成する伸縮変形部および剪
断変形部の圧電素子の脱分極化要因となり、圧電素子の
寿命を制限する原因になる。
【０００７】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであって、高速駆動が可能であって、しかも脱分
極化の原因を回避することが可能な送り装置を提供する
ことを目的とする。
たものであって、高速駆動が可能であって、しかも脱分
極化の原因を回避することが可能な送り装置を提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本願の一発明は、伸縮変
形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、前記伸縮変
形部を伸長させて前記駆動脚の先端部を可動子または固
定側と接触させ、前記剪断変形部を送り方向または逆方
向に剪断変形させて可動子を送るようにした送り装置に
おいて、前記伸縮変形部と前記剪断変形部とにそれぞれ
正弦波状の駆動電圧を印加するようにした送り装置に関
するものである。
形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、前記伸縮変
形部を伸長させて前記駆動脚の先端部を可動子または固
定側と接触させ、前記剪断変形部を送り方向または逆方
向に剪断変形させて可動子を送るようにした送り装置に
おいて、前記伸縮変形部と前記剪断変形部とにそれぞれ
正弦波状の駆動電圧を印加するようにした送り装置に関
するものである。
【０００９】ここで伸縮変形部に印加される正弦波状の
駆動電圧と剪断変形部に印加される正弦波状の駆動電圧
の位相がほぼ９０度ずれていてよい。またｎ種類の駆動
脚を有し、それぞれの種類の駆動脚の伸縮変形部と剪断
変形部とに印加される駆動電圧の位相が３６０度／ｎず
れていてよい。
駆動電圧と剪断変形部に印加される正弦波状の駆動電圧
の位相がほぼ９０度ずれていてよい。またｎ種類の駆動
脚を有し、それぞれの種類の駆動脚の伸縮変形部と剪断
変形部とに印加される駆動電圧の位相が３６０度／ｎず
れていてよい。
【００１０】また２種類の駆動脚を有する送り装置の場
合には、これら２種類の駆動脚の伸縮変形部と剪断変形
部とに印加される駆動電圧の位相がほぼ１８０度ずれる
とともに、それぞれの駆動脚の伸縮変形部と剪断変形部
とに印加される駆動電圧の位相がほぼ９０度ずれていて
よい。また３種類の駆動脚を有する送り装置の場合に
は、これら３種類の駆動脚の伸縮変形部と剪断変形部と
に印加される駆動電圧の位相がほぼ１２０度ずれるとと
もに、それぞれの駆動脚の伸縮変形部と剪断変形部とに
印加される駆動電圧の位相がほぼ９０度ずれるようにし
てよい。
合には、これら２種類の駆動脚の伸縮変形部と剪断変形
部とに印加される駆動電圧の位相がほぼ１８０度ずれる
とともに、それぞれの駆動脚の伸縮変形部と剪断変形部
とに印加される駆動電圧の位相がほぼ９０度ずれていて
よい。また３種類の駆動脚を有する送り装置の場合に
は、これら３種類の駆動脚の伸縮変形部と剪断変形部と
に印加される駆動電圧の位相がほぼ１２０度ずれるとと
もに、それぞれの駆動脚の伸縮変形部と剪断変形部とに
印加される駆動電圧の位相がほぼ９０度ずれるようにし
てよい。
【００１１】本願の主要な発明の好ましい態様は、積層
圧電素子から成る一対の駆動脚を具備し、それぞれの駆
動脚の伸縮変形部と剪断変形部とに互いに９０度位相が
ずれた正弦波状の駆動電圧を印加し、しかも一対の駆動
脚の伸縮変形部と剪断変形部とにそれぞれ互いに１８０
度位相がずれた正弦波を印加して駆動するようにしたも
のであって、一対の駆動脚の先端部の軌道を楕円とし、
一対の駆動脚の先端部の運動を交互に行なわせるように
する。これによって一対の駆動脚の先端部に接触する可
動子を移動させる。また駆動脚を３種類あるいはそれ以
上にした場合には、対応する変形部に対して３６０度／
種類数の位相差でそれぞれの変形部を駆動することによ
って、常時可動子を拘束しながらしかも可動子を高速送
りすることが可能になる。
圧電素子から成る一対の駆動脚を具備し、それぞれの駆
動脚の伸縮変形部と剪断変形部とに互いに９０度位相が
ずれた正弦波状の駆動電圧を印加し、しかも一対の駆動
脚の伸縮変形部と剪断変形部とにそれぞれ互いに１８０
度位相がずれた正弦波を印加して駆動するようにしたも
のであって、一対の駆動脚の先端部の軌道を楕円とし、
一対の駆動脚の先端部の運動を交互に行なわせるように
する。これによって一対の駆動脚の先端部に接触する可
動子を移動させる。また駆動脚を３種類あるいはそれ以
上にした場合には、対応する変形部に対して３６０度／
種類数の位相差でそれぞれの変形部を駆動することによ
って、常時可動子を拘束しながらしかも可動子を高速送
りすることが可能になる。
【００１２】従来の送り装置における矩形波による駆動
の場合には、正負の電圧の平均値が負に偏っており、こ
れによって駆動脚の伸縮変形部および剪断変形部を構成
する圧電素子の脱分極の要因になる。ところが本態様に
よれば、平均電圧が０になる。従って脱分極の要因が低
下する。また矩形波状の駆動電圧の場合と比べて、正弦
波であれば駆動回路と電源の電力も軽減される。また２
種類の駆動脚によって駆動する場合には、その切換え時
に可動子が拘束されない状態が僅かであるが発生する。
これに対して３種類以上の駆動脚を設けた場合には、上
記のような不具合が解消され、可動子を常に拘束するこ
とができる。従って可動子の位置精度は駆動脚が２種類
の場合よりも３種類の場合の方が改善される。
の場合には、正負の電圧の平均値が負に偏っており、こ
れによって駆動脚の伸縮変形部および剪断変形部を構成
する圧電素子の脱分極の要因になる。ところが本態様に
よれば、平均電圧が０になる。従って脱分極の要因が低
下する。また矩形波状の駆動電圧の場合と比べて、正弦
波であれば駆動回路と電源の電力も軽減される。また２
種類の駆動脚によって駆動する場合には、その切換え時
に可動子が拘束されない状態が僅かであるが発生する。
これに対して３種類以上の駆動脚を設けた場合には、上
記のような不具合が解消され、可動子を常に拘束するこ
とができる。従って可動子の位置精度は駆動脚が２種類
の場合よりも３種類の場合の方が改善される。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下本発明を図示の一実施の形態
によって説明する。本実施の形態は、精密送りのための
Ｘ−Ｙステージ装置に関するものである。このステージ
装置は図１に示すようにＸ軸ベース８と、Ｘ軸ステージ
９と、Ｙ軸ベース１０と、Ｙ軸ステージ１１とから構成
されている。Ｘ軸ステージ９はＸ軸ベース８上において
Ｘ軸方向に移動可能に支持されている。そしてＸ軸ステ
ージ９上にＹ軸ベース１０が固定されている。そしてＹ
軸ステージ１１はＹ軸ベース１０にＹ軸方向に移動可能
に支持されている。このような構成によって、２軸ステ
ージ、すなわちＸ−Ｙステージを可能にしている。
によって説明する。本実施の形態は、精密送りのための
Ｘ−Ｙステージ装置に関するものである。このステージ
装置は図１に示すようにＸ軸ベース８と、Ｘ軸ステージ
９と、Ｙ軸ベース１０と、Ｙ軸ステージ１１とから構成
されている。Ｘ軸ステージ９はＸ軸ベース８上において
Ｘ軸方向に移動可能に支持されている。そしてＸ軸ステ
ージ９上にＹ軸ベース１０が固定されている。そしてＹ
軸ステージ１１はＹ軸ベース１０にＹ軸方向に移動可能
に支持されている。このような構成によって、２軸ステ
ージ、すなわちＸ−Ｙステージを可能にしている。
【００１４】図２〜図５はＸ軸ベース８とＸ軸ステージ
９との組合わせ、すなわちＸ軸ベース８上においてＸ軸
ステージ９をＸ軸方向に移動するための機構を示してい
る。これに対して図６〜図９はＹ軸ステージ１１をＹ軸
ベース１０に対してＹ軸方向に移動可能に支持する機構
を示している。これらＸ軸方向の送り機構およびＹ軸方
向の送り機構は同様の構造をなしているので、ここでは
図６〜図９に示すＹ軸ステージ１１の移動機構について
説明する。
９との組合わせ、すなわちＸ軸ベース８上においてＸ軸
ステージ９をＸ軸方向に移動するための機構を示してい
る。これに対して図６〜図９はＹ軸ステージ１１をＹ軸
ベース１０に対してＹ軸方向に移動可能に支持する機構
を示している。これらＸ軸方向の送り機構およびＹ軸方
向の送り機構は同様の構造をなしているので、ここでは
図６〜図９に示すＹ軸ステージ１１の移動機構について
説明する。
【００１５】Ｙ軸ベース１０上には、その両側に一対の
レール１２が設けられている。これに対してＹ軸ステー
ジ１１の下面にはとくに図８および図９に示すように、
その両側にレール１３が設けられている。ベース１０側
のレール１２とステージ１１側のレール１３とはとくに
図９に示すように、その側面が互いに対向するように位
置し、しかもこれらのレール１２、１３間に転動子１４
が介装されるようになっている。そしてレール１２、１
３、および転動子１４によっていわゆるクロスローラが
構成されるようになっており、このようなクロスローラ
によってＹ軸ステージ１１はＹ軸ベース１０上をレール
１２、１３の長さ方向すなわちＹ軸方向に摺動可能に支
持される。
レール１２が設けられている。これに対してＹ軸ステー
ジ１１の下面にはとくに図８および図９に示すように、
その両側にレール１３が設けられている。ベース１０側
のレール１２とステージ１１側のレール１３とはとくに
図９に示すように、その側面が互いに対向するように位
置し、しかもこれらのレール１２、１３間に転動子１４
が介装されるようになっている。そしてレール１２、１
３、および転動子１４によっていわゆるクロスローラが
構成されるようになっており、このようなクロスローラ
によってＹ軸ステージ１１はＹ軸ベース１０上をレール
１２、１３の長さ方向すなわちＹ軸方向に摺動可能に支
持される。
【００１６】ベース１０上には図６および図９に示すよ
うに、互いに対向するように一対の駆動ユニット１８が
配される。これらの駆動ユニット１８はその両側の部分
を押え板１９によってベース１０に固定される。そして
これら一対の駆動ユニット１８は駆動脚２１、２２を有
している。なおこれらの駆動脚２１、２２はそれぞれ図
１０に示すように、伸縮変形部２３と剪断変形部２４と
を備えている。伸縮変形部２３はその伸縮方向、すなわ
ち長さ方向に分極され、これに対して剪断変形部２４は
横方向に分極されている。
うに、互いに対向するように一対の駆動ユニット１８が
配される。これらの駆動ユニット１８はその両側の部分
を押え板１９によってベース１０に固定される。そして
これら一対の駆動ユニット１８は駆動脚２１、２２を有
している。なおこれらの駆動脚２１、２２はそれぞれ図
１０に示すように、伸縮変形部２３と剪断変形部２４と
を備えている。伸縮変形部２３はその伸縮方向、すなわ
ち長さ方向に分極され、これに対して剪断変形部２４は
横方向に分極されている。
【００１７】両側の駆動ユニット１８の駆動脚２１、２
２によって挟着されるように、ステージ１１の下面には
図６および図９に示す角柱状をなすセラミック板から成
る可動子２７が取付けられている。従ってこのような可
動子２７を駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２によっ
て送ることにより、可動子２７が取付けられているステ
ージ１１がレール１２、１３に案内されながら可動子２
７の長さ方向すなわちＹ軸方向に移動するようになる。
２によって挟着されるように、ステージ１１の下面には
図６および図９に示す角柱状をなすセラミック板から成
る可動子２７が取付けられている。従ってこのような可
動子２７を駆動ユニット１８の駆動脚２１、２２によっ
て送ることにより、可動子２７が取付けられているステ
ージ１１がレール１２、１３に案内されながら可動子２
７の長さ方向すなわちＹ軸方向に移動するようになる。
【００１８】このようなステージ１１あるいは可動子２
７の移動を図７〜図９に示すリニアスケール２８で検出
するようにしている。リニアスケール２８は上記可動子
２７の下面に固着されている。そしてこのようなリニア
スケール２８を検出する検出ヘッド２９がベース１０上
に取付けられている。すなわち検出ヘッド２９はヘッド
ベース３０に保持されるとともに、このヘッドベース３
０がベース１０の開口３１に臨むように取付けられてい
る。
７の移動を図７〜図９に示すリニアスケール２８で検出
するようにしている。リニアスケール２８は上記可動子
２７の下面に固着されている。そしてこのようなリニア
スケール２８を検出する検出ヘッド２９がベース１０上
に取付けられている。すなわち検出ヘッド２９はヘッド
ベース３０に保持されるとともに、このヘッドベース３
０がベース１０の開口３１に臨むように取付けられてい
る。
【００１９】次にこのようなステージ１１のストローク
を検出する検出装置について説明する。ベース１０上に
は図６に示すように、レール１２に近接する位置にリミ
ットセンサ３５が設けられている。そしてこのリミット
センサ３５は図９に示すように、ステージ１１の下面に
ブラケット３６を介して取付けられている被検出板３７
を光学的に検出するようになっている。
を検出する検出装置について説明する。ベース１０上に
は図６に示すように、レール１２に近接する位置にリミ
ットセンサ３５が設けられている。そしてこのリミット
センサ３５は図９に示すように、ステージ１１の下面に
ブラケット３６を介して取付けられている被検出板３７
を光学的に検出するようになっている。
【００２０】上述の如く図２〜図５に示すＸ軸ステージ
９の移動機構もＹ軸ステージ１１の上述の移動機構とほ
ぼ同一の構成になっている。なおここでとくにＸ軸ステ
ージ９上にはＹ軸ベース１０とＹ軸ステーシ１１とが載
置されるために送りの際の負荷が増大する。このような
負荷の増大に対応して、図２に示すように、可動子２７
を駆動するために、その両側にそれぞれ一対ずつの駆動
ユニット１８を設けるようにしている。それ以外の構成
は上記Ｙ軸ステージ１１の駆動機構と同様である。
９の移動機構もＹ軸ステージ１１の上述の移動機構とほ
ぼ同一の構成になっている。なおここでとくにＸ軸ステ
ージ９上にはＹ軸ベース１０とＹ軸ステーシ１１とが載
置されるために送りの際の負荷が増大する。このような
負荷の増大に対応して、図２に示すように、可動子２７
を駆動するために、その両側にそれぞれ一対ずつの駆動
ユニット１８を設けるようにしている。それ以外の構成
は上記Ｙ軸ステージ１１の駆動機構と同様である。
【００２１】次に上記駆動ユニット１８の駆動回路の構
成を図１０によって説明する。駆動ユニット１８の駆動
脚２１、２２は制御回路４１および対応する駆動回路４
２、４３を介して駆動されるようになっている。制御回
路４１を介して駆動回路４２、４３により駆動ユニット
１８の駆動脚２１、２２の伸縮変形部２３および剪断変
形部２４にそれぞれ所定の正弦波状の駆動電圧を加える
ことによって、駆動脚２１、２２が駆動力を発生し、こ
のような駆動力に基いて可動子２７が送り方向に駆動さ
れ、この可動子２７が取付けられているステージ１１が
送り方向に移動される。そしてこのときの移動量がリニ
アスケール２８および検出ヘッド２９によって検出さ
れ、検出回路５３を通して制御回路４１にフィードバッ
クされる。従って制御回路４１はステージ１１の移動量
をフィードバック制御しながら所定の位置へ送るように
なる。
成を図１０によって説明する。駆動ユニット１８の駆動
脚２１、２２は制御回路４１および対応する駆動回路４
２、４３を介して駆動されるようになっている。制御回
路４１を介して駆動回路４２、４３により駆動ユニット
１８の駆動脚２１、２２の伸縮変形部２３および剪断変
形部２４にそれぞれ所定の正弦波状の駆動電圧を加える
ことによって、駆動脚２１、２２が駆動力を発生し、こ
のような駆動力に基いて可動子２７が送り方向に駆動さ
れ、この可動子２７が取付けられているステージ１１が
送り方向に移動される。そしてこのときの移動量がリニ
アスケール２８および検出ヘッド２９によって検出さ
れ、検出回路５３を通して制御回路４１にフィードバッ
クされる。従って制御回路４１はステージ１１の移動量
をフィードバック制御しながら所定の位置へ送るように
なる。
【００２２】次に上記制御回路４１の具体的な構成につ
いて説明すると、この制御回路４１は図１１に示すよう
に基本周波数発生回路４７と、位相比較器４８と、ロー
パスフィルタ４９と、電圧制御発振器５０と、てい倍回
路５１とを備えており、とくに位相比較器４８、ローパ
スフィルタ４９、電圧制御発振器５０、およびてい倍回
路５１によってＰＬＬ５２が構成されている。
いて説明すると、この制御回路４１は図１１に示すよう
に基本周波数発生回路４７と、位相比較器４８と、ロー
パスフィルタ４９と、電圧制御発振器５０と、てい倍回
路５１とを備えており、とくに位相比較器４８、ローパ
スフィルタ４９、電圧制御発振器５０、およびてい倍回
路５１によってＰＬＬ５２が構成されている。
【００２３】さらに制御回路４１はカウンタ５４、加算
回路５５、位相差信号発生回路５６、ＲＯＭ／ＲＡＭ５
７、および速度信号発生回路５８を備えている。
回路５５、位相差信号発生回路５６、ＲＯＭ／ＲＡＭ５
７、および速度信号発生回路５８を備えている。
【００２４】次に以上のような構成のステージ装置のＹ
軸ベース１０上のＹ軸ステージ１１の送り動作について
説明する。図１０はベース１０上に設けられている駆動
ユニット１８によってステージ１１を駆動する機構を原
理的に示している。ここで駆動ユニット１８の駆動脚２
１、２２の伸縮変形部２３および剪断変形部２４は互い
に逆相でかつ交互に作動されるようになっており、これ
ら一対の駆動脚２１、２２の先端部がステージ１１の可
動子２７を蹴るようにしてステージ１１をＹ軸方向に送
るようにしている。
軸ベース１０上のＹ軸ステージ１１の送り動作について
説明する。図１０はベース１０上に設けられている駆動
ユニット１８によってステージ１１を駆動する機構を原
理的に示している。ここで駆動ユニット１８の駆動脚２
１、２２の伸縮変形部２３および剪断変形部２４は互い
に逆相でかつ交互に作動されるようになっており、これ
ら一対の駆動脚２１、２２の先端部がステージ１１の可
動子２７を蹴るようにしてステージ１１をＹ軸方向に送
るようにしている。
【００２５】ここで駆動脚２１の伸縮変形部２３に電圧
が加えられると伸長し、この駆動脚２１の先端側の部分
が可動子２７に接触する。そしてこの状態において剪断
変形部２４を剪断変形させることによって、駆動脚２１
の先端部が送り方向に可動子２７に駆動力を与える。な
おこのときに反対側の駆動脚２２の伸縮変形部２３が収
縮しているために、駆動脚２２はその先端部が可動子２
７から離間している。そしてこのように先端部が可動子
２７から離間している駆動脚２２の剪断変形部２４は、
次の駆動に備えて逆方向に剪断変形を行なっている。
が加えられると伸長し、この駆動脚２１の先端側の部分
が可動子２７に接触する。そしてこの状態において剪断
変形部２４を剪断変形させることによって、駆動脚２１
の先端部が送り方向に可動子２７に駆動力を与える。な
おこのときに反対側の駆動脚２２の伸縮変形部２３が収
縮しているために、駆動脚２２はその先端部が可動子２
７から離間している。そしてこのように先端部が可動子
２７から離間している駆動脚２２の剪断変形部２４は、
次の駆動に備えて逆方向に剪断変形を行なっている。
【００２６】このような動作が２本の駆動脚２１、２２
に交互にかつ順次繰返されることによって、可動板２７
を有するＹ軸ステージ１１が図１０において矢印で示す
Ｙ軸方向に移動される。なおこのときにレール１２およ
び転動子１４によってステージ１１の案内が行なわれ
る。
に交互にかつ順次繰返されることによって、可動板２７
を有するＹ軸ステージ１１が図１０において矢印で示す
Ｙ軸方向に移動される。なおこのときにレール１２およ
び転動子１４によってステージ１１の案内が行なわれ
る。
【００２７】このような駆動ユニット１８の駆動脚２
１、２２による可動子２７の駆動によって、可動子２７
が取付けられているＹ軸ステージ１１が図６〜図８にお
いて横方向、すなわちＹ軸方向に移動される。そしてこ
のようなステージ１１の移動は、可動子２７の底部に取
付けられているリニアスケール２８の目盛をベース１０
の開口３１の部分にヘッドベース３０を介して取付けて
いる検出ヘッド２９によって読取られるようになる。
１、２２による可動子２７の駆動によって、可動子２７
が取付けられているＹ軸ステージ１１が図６〜図８にお
いて横方向、すなわちＹ軸方向に移動される。そしてこ
のようなステージ１１の移動は、可動子２７の底部に取
付けられているリニアスケール２８の目盛をベース１０
の開口３１の部分にヘッドベース３０を介して取付けて
いる検出ヘッド２９によって読取られるようになる。
【００２８】従ってこのことから、駆動ユニット１８に
よって移動されるステージ１１の位置がリニアスケール
２８および検出ヘッド２９によって検出される。またこ
のときのステージ１１の最大ストロークは、ベース１０
側に設けられている一対のリミットセンサ３５によって
検出される位置で規制される。Ｙ軸方向にステージ１１
が大きく移動すると、被検出板３７がリミットセンサ３
５によって検出され、その位置でステージ１１の駆動が
停止する。従ってこれにより、クロスローラを構成する
一対のレール１２、１３間に配されている転動子１４が
脱落することがない。
よって移動されるステージ１１の位置がリニアスケール
２８および検出ヘッド２９によって検出される。またこ
のときのステージ１１の最大ストロークは、ベース１０
側に設けられている一対のリミットセンサ３５によって
検出される位置で規制される。Ｙ軸方向にステージ１１
が大きく移動すると、被検出板３７がリミットセンサ３
５によって検出され、その位置でステージ１１の駆動が
停止する。従ってこれにより、クロスローラを構成する
一対のレール１２、１３間に配されている転動子１４が
脱落することがない。
【００２９】以上の動作はＹ軸ステージ１１の駆動動作
であるが、図２〜図５に示すＸ軸ステージ９も同様に駆
動される。すなわちベース８上に設けられている左右一
対ずつであって合計４個の駆動脚１８（図２参照）によ
ってＸ軸ステージ９をＸ軸方向に駆動することによっ
て、Ｘ軸ステージ９がＸ軸方向に駆動されるようにな
る。従ってこのようなＸ軸ステージ９のＸ軸方向の駆動
とＹ軸ステージ１１のＹ軸方向の駆動とによって、Ｘ−
Ｙステージが構成され、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の任意
の位置決めが行なわれる。
であるが、図２〜図５に示すＸ軸ステージ９も同様に駆
動される。すなわちベース８上に設けられている左右一
対ずつであって合計４個の駆動脚１８（図２参照）によ
ってＸ軸ステージ９をＸ軸方向に駆動することによっ
て、Ｘ軸ステージ９がＸ軸方向に駆動されるようにな
る。従ってこのようなＸ軸ステージ９のＸ軸方向の駆動
とＹ軸ステージ１１のＹ軸方向の駆動とによって、Ｘ−
Ｙステージが構成され、Ｘ軸方向およびＹ軸方向の任意
の位置決めが行なわれる。
【００３０】このようなＹ軸ステージ１１あるいはＸ軸
ステージ９の駆動のための駆動脚２１、２２の駆動の際
に、図１０および図１１に示す回路によって駆動脚２
１、２２の伸縮変形部２３および剪断変形部２４にそれ
ぞれ正弦波の駆動電圧が加えられる。
ステージ９の駆動のための駆動脚２１、２２の駆動の際
に、図１０および図１１に示す回路によって駆動脚２
１、２２の伸縮変形部２３および剪断変形部２４にそれ
ぞれ正弦波の駆動電圧が加えられる。
【００３１】図１１において基本周波数発生回路４７は
例えば１ＭＨｚのパルスを発生し、このパルスが位相比
較器４８に加えられる。位相比較器４８は上述の基本周
波数とてい倍回路５１によって発生される例えば２５Ｍ
Ｈｚのパルスの位相を比較し、ローパスフィルタ４９に
よって高域成分をカットして電圧制御発振器５０に印加
する。ここで発振器５０は位相がずれている場合にはそ
の周波数を変換するとともにてい倍回路５１にその出力
を供給する。
例えば１ＭＨｚのパルスを発生し、このパルスが位相比
較器４８に加えられる。位相比較器４８は上述の基本周
波数とてい倍回路５１によって発生される例えば２５Ｍ
Ｈｚのパルスの位相を比較し、ローパスフィルタ４９に
よって高域成分をカットして電圧制御発振器５０に印加
する。ここで発振器５０は位相がずれている場合にはそ
の周波数を変換するとともにてい倍回路５１にその出力
を供給する。
【００３２】同時に電圧制御発振器５０はその出力をカ
ウンタ５４にパルスとして供給する。従ってカウンタ５
４は発振器５０が出力するパルスをカウントし、そのカ
ウントに基いてアップ／ダウン信号を作って例えば３０
ＫＨｚの三角波を形成する。このような三角波が加算回
路５５に供給され、ここで位相差信号発生回路５６から
加えられる位相差信号に応じて位相を変化させ９０度、
２１０度等の位相差を作出する。そして位相が所定の位
相差に変化された三角波がＲＯＭ／ＲＡＭ５７に印加さ
れる。
ウンタ５４にパルスとして供給する。従ってカウンタ５
４は発振器５０が出力するパルスをカウントし、そのカ
ウントに基いてアップ／ダウン信号を作って例えば３０
ＫＨｚの三角波を形成する。このような三角波が加算回
路５５に供給され、ここで位相差信号発生回路５６から
加えられる位相差信号に応じて位相を変化させ９０度、
２１０度等の位相差を作出する。そして位相が所定の位
相差に変化された三角波がＲＯＭ／ＲＡＭ５７に印加さ
れる。
【００３３】ＲＯＭ／ＲＡＭ５７は三角波のレベルと正
弦波のレベルとの対応テーブルを有する波形整形回路を
構成しており、三角波を正弦波に変換する。従ってこれ
により、ＲＯＭ／ＲＡＭ５７で正弦波が発生し、このよ
うな正弦波が増幅器４２に増幅され、正弦波出力とな
る。しかも増幅器４２には速度信号発生回路５８から速
度信号が印加される。よって増幅器４２は速度信号に応
じた電圧の正弦波状の出力を生ずる。このような正弦波
出力が図１０に示すように、駆動脚２１、２２の伸縮変
形部２３および剪断変形部２４に印加される。従ってこ
れらの駆動脚２１、２２の伸縮変形部２３は伸縮変形を
順次行なうとともに、剪断変形部２４が剪断変形を順次
行なう。
弦波のレベルとの対応テーブルを有する波形整形回路を
構成しており、三角波を正弦波に変換する。従ってこれ
により、ＲＯＭ／ＲＡＭ５７で正弦波が発生し、このよ
うな正弦波が増幅器４２に増幅され、正弦波出力とな
る。しかも増幅器４２には速度信号発生回路５８から速
度信号が印加される。よって増幅器４２は速度信号に応
じた電圧の正弦波状の出力を生ずる。このような正弦波
出力が図１０に示すように、駆動脚２１、２２の伸縮変
形部２３および剪断変形部２４に印加される。従ってこ
れらの駆動脚２１、２２の伸縮変形部２３は伸縮変形を
順次行なうとともに、剪断変形部２４が剪断変形を順次
行なう。
【００３４】ここで可動子２７を送る駆動脚２１、２２
が一対、すなわち２種類の場合には、図１２に示すよう
にそれぞれの種類の駆動脚２１、２２の伸縮変形部２３
と剪断変形部２４とに加える駆動電圧の位相差を９０度
ずらす。またＡ脚２１の伸縮変形部２３に加えられる駆
動電圧とＢ脚２２の伸縮変形部２３に加えられる駆動電
圧を互いに１８０度ずらす。またＡ脚２１の剪断変形部
２４に加えられる駆動電圧とＢ脚２２の剪断変形部２４
に加えられる駆動電圧とを互いに１８０度ずらす。従っ
てＡ脚とＢ脚の伸縮変形部２３と剪断変形部２４に加え
られる駆動電圧の変化が図１４に示すようになる。
が一対、すなわち２種類の場合には、図１２に示すよう
にそれぞれの種類の駆動脚２１、２２の伸縮変形部２３
と剪断変形部２４とに加える駆動電圧の位相差を９０度
ずらす。またＡ脚２１の伸縮変形部２３に加えられる駆
動電圧とＢ脚２２の伸縮変形部２３に加えられる駆動電
圧を互いに１８０度ずらす。またＡ脚２１の剪断変形部
２４に加えられる駆動電圧とＢ脚２２の剪断変形部２４
に加えられる駆動電圧とを互いに１８０度ずらす。従っ
てＡ脚とＢ脚の伸縮変形部２３と剪断変形部２４に加え
られる駆動電圧の変化が図１４に示すようになる。
【００３５】可動子２７を送る駆動脚として３種類の駆
動脚を用いた場合には図１３に示すようになる。ここで
はそれぞれの種類の駆動脚の伸縮変形部２３に加えられ
る駆動電圧と剪断変形部２４に加えられる駆動電圧とは
９０度の位相差になる。しかも３種類の駆動脚の伸縮変
形部２３間の位相差は１２０度になる。また３種類の駆
動脚の剪断変形部２４に加えられる駆動電圧の位相差は
１２０度ずつになる。従ってこの場合には３種類の駆動
脚、すなわちＡ脚、Ｂ脚、およびＣ脚の伸縮変形部２３
と剪断変形部２４とにそれぞれ加えられる駆動電圧の変
化が図１５に示すようになる。
動脚を用いた場合には図１３に示すようになる。ここで
はそれぞれの種類の駆動脚の伸縮変形部２３に加えられ
る駆動電圧と剪断変形部２４に加えられる駆動電圧とは
９０度の位相差になる。しかも３種類の駆動脚の伸縮変
形部２３間の位相差は１２０度になる。また３種類の駆
動脚の剪断変形部２４に加えられる駆動電圧の位相差は
１２０度ずつになる。従ってこの場合には３種類の駆動
脚、すなわちＡ脚、Ｂ脚、およびＣ脚の伸縮変形部２３
と剪断変形部２４とにそれぞれ加えられる駆動電圧の変
化が図１５に示すようになる。
【００３６】このように２種類あるいは３種類の駆動脚
の伸縮変形部２３および剪断変形部２４に印加する駆動
電圧を正弦波にすると、図１６に示すように、圧電素子
２３、２４の充放電の時定数の影響が少なくなるととも
に、伸ばしている時間と縮めている時間とが等しくな
り、駆動脚の伸縮変形部２３あるいは剪断変形部２４に
加えられる電圧の積分値、すなわち電圧の平均値がほぼ
０に等しくなる。このことから圧電素子２３、２４の脱
分極の要因をなくすことが可能になる。従ってこのこと
から、駆動脚の伸縮変形部２３および剪断変形部２４の
長寿命化が図られ、これによって送り装置の信頼性が改
善される。
の伸縮変形部２３および剪断変形部２４に印加する駆動
電圧を正弦波にすると、図１６に示すように、圧電素子
２３、２４の充放電の時定数の影響が少なくなるととも
に、伸ばしている時間と縮めている時間とが等しくな
り、駆動脚の伸縮変形部２３あるいは剪断変形部２４に
加えられる電圧の積分値、すなわち電圧の平均値がほぼ
０に等しくなる。このことから圧電素子２３、２４の脱
分極の要因をなくすことが可能になる。従ってこのこと
から、駆動脚の伸縮変形部２３および剪断変形部２４の
長寿命化が図られ、これによって送り装置の信頼性が改
善される。
【００３７】図１７および図１８は駆動脚を構成するＡ
脚２１およびＢ脚２２の伸縮変形部２３および剪断変形
部２４に図１４に示すような正弦波状の電圧を加えたと
きの挙動を示している。ここで注意すべきは、それぞれ
の駆動脚２１、２２の先端側の部分が楕円状の軌道に沿
った運動を行なうことである。このような楕円状の運動
を行なうことから、一方の駆動脚２１が可動子２７を送
るように剪断変形している際におけるその駆動脚２１の
伸縮変形部２３はほぼ十分に伸長した状態になってい
る。またこのときに反対側の駆動脚２２の伸縮変形部２
３はほぼ完全に収縮しており、先端部が可動子から離れ
ている。このことから不要なスリップが防止され、駆動
電源への負担が減少する。
脚２１およびＢ脚２２の伸縮変形部２３および剪断変形
部２４に図１４に示すような正弦波状の電圧を加えたと
きの挙動を示している。ここで注意すべきは、それぞれ
の駆動脚２１、２２の先端側の部分が楕円状の軌道に沿
った運動を行なうことである。このような楕円状の運動
を行なうことから、一方の駆動脚２１が可動子２７を送
るように剪断変形している際におけるその駆動脚２１の
伸縮変形部２３はほぼ十分に伸長した状態になってい
る。またこのときに反対側の駆動脚２２の伸縮変形部２
３はほぼ完全に収縮しており、先端部が可動子から離れ
ている。このことから不要なスリップが防止され、駆動
電源への負担が減少する。
【００３８】図１９および図２０は３種類の駆動脚、す
なわちＡ脚、Ｂ脚、およびＣ脚を具備し、これらの駆動
脚の伸縮変形部２３および剪断変形部２４に図１５に示
すような正弦波状の電圧を印加したときの状態を示して
いる。ここでもこれら３種類の駆動脚の先端側の部分は
楕円軌道を描く。しかもここでは３種類の駆動脚の内の
何れかの駆動脚が必ず可動子２７と接触しており、これ
によって可動子２７が無拘束の状態がなくなる。従って
高速送りを可能にしながらしかも精度を損うことがなく
なる。
なわちＡ脚、Ｂ脚、およびＣ脚を具備し、これらの駆動
脚の伸縮変形部２３および剪断変形部２４に図１５に示
すような正弦波状の電圧を印加したときの状態を示して
いる。ここでもこれら３種類の駆動脚の先端側の部分は
楕円軌道を描く。しかもここでは３種類の駆動脚の内の
何れかの駆動脚が必ず可動子２７と接触しており、これ
によって可動子２７が無拘束の状態がなくなる。従って
高速送りを可能にしながらしかも精度を損うことがなく
なる。
【００３９】このように図１９および図２０に示す送り
装置によれば、簡単な回路構成の駆動電圧によってそれ
ぞれの駆動脚に正弦波状の駆動電圧を加え、しかもとく
に剪断変形部２４に加える電圧を高くすることによって
送り方向のひずみ量を大きくすることにより高速送りが
可能になる。また高速送りを行なっても可動子２７が常
に何れかの駆動脚と接触して拘束され、これによって高
い位置制御性を維持することが可能になる。しかもここ
でもデューティ比が１対１であるために、脱分極の要因
が排除され、このために駆動脚の長寿命化が図られるこ
とになる。
装置によれば、簡単な回路構成の駆動電圧によってそれ
ぞれの駆動脚に正弦波状の駆動電圧を加え、しかもとく
に剪断変形部２４に加える電圧を高くすることによって
送り方向のひずみ量を大きくすることにより高速送りが
可能になる。また高速送りを行なっても可動子２７が常
に何れかの駆動脚と接触して拘束され、これによって高
い位置制御性を維持することが可能になる。しかもここ
でもデューティ比が１対１であるために、脱分極の要因
が排除され、このために駆動脚の長寿命化が図られるこ
とになる。
【００４０】以上本願の発明を図示の実施の形態によっ
て説明したが、本願の発明は上記実施の形態によって限
定されることなく、本願に含まれる発明の技術的思想の
範囲内において各種の変更が可能である。例えば上記実
施の形態においては、駆動脚２１、２２の剪断変形部２
４に加えられる電圧の大きさによって送り速度を変化さ
せるようにしているが、伸縮変形部２３および剪断変形
部２４に加えられる駆動電圧の周波数を変えて送り速度
を変更するようにしてもよい。また駆動脚の種類も必し
も２種類、あるいは３種類に限らず、４種類以上の駆動
脚を備えてもよい。
て説明したが、本願の発明は上記実施の形態によって限
定されることなく、本願に含まれる発明の技術的思想の
範囲内において各種の変更が可能である。例えば上記実
施の形態においては、駆動脚２１、２２の剪断変形部２
４に加えられる電圧の大きさによって送り速度を変化さ
せるようにしているが、伸縮変形部２３および剪断変形
部２４に加えられる駆動電圧の周波数を変えて送り速度
を変更するようにしてもよい。また駆動脚の種類も必し
も２種類、あるいは３種類に限らず、４種類以上の駆動
脚を備えてもよい。
【００４１】
【発明の効果】本願の主要な発明は、伸縮変形部と剪断
変形部とを有する駆動脚を備え、伸縮変形部を伸長させ
て駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させ、剪
断変形部を送り方向または逆方向に剪断変形させて可動
子を送るようにした送り装置において、伸縮変形部と剪
断変形部とにそれぞれ正弦波状の駆動電圧を印加するよ
うにしたものである。
変形部とを有する駆動脚を備え、伸縮変形部を伸長させ
て駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させ、剪
断変形部を送り方向または逆方向に剪断変形させて可動
子を送るようにした送り装置において、伸縮変形部と剪
断変形部とにそれぞれ正弦波状の駆動電圧を印加するよ
うにしたものである。
【００４２】従ってこのような構成の送り装置によれ
ば、簡単な回路構成の駆動回路によって駆動電圧を印加
することが可能になるとともに、高速送りを行なっても
駆動回路あるいは電源に大きな負担を生ずることがな
く、安定な動作が可能になる。
ば、簡単な回路構成の駆動回路によって駆動電圧を印加
することが可能になるとともに、高速送りを行なっても
駆動回路あるいは電源に大きな負担を生ずることがな
く、安定な動作が可能になる。
【図１】Ｘ−Ｙステージの分解斜視図である
【図２】Ｘ軸ステージ装置のベースの平面図である。
【図３】Ｘ軸ステージ装置の図２におけるＡ−Ａ線断面
図である。
図である。
【図４】Ｘ軸ステージの底面図である。
【図５】Ｘ軸ステージ装置の図２におけるＢ−Ｂ線断面
図である。
図である。
【図６】Ｙ軸ステージ装置のベースの平面図である。
【図７】Ｙ軸ステージ装置の図６におけるＣ−Ｃ線断面
図である。
図である。
【図８】Ｙ軸ステージの底面図である。
【図９】Ｙ軸ステージ装置の図６におけるＤ−Ｄ線断面
図である。
図である。
【図１０】駆動ユニットを駆動する駆動回路のブロック
図である。
図である。
【図１１】制御回路の構成を示すブロック図である。
【図１２】２脚一組の駆動脚の正弦波駆動のブロック図
である。
である。
【図１３】３脚一組の駆動脚の正弦波駆動のブロック図
である。
である。
【図１４】２脚一組の正弦波駆動の波形図である。
【図１５】３脚一組の正弦波駆動の波形図である。
【図１６】正弦波の波形図である。
【図１７】２脚一組の駆動脚の動作を示す正面図であ
る。
る。
【図１８】同駆動電圧の波形図である。
【図１９】３脚一組の駆動脚の動作を示す正面図であ
る。
る。
【図２０】同駆動電圧の波形図である。
【図２１】従来の送り装置の駆動脚の電圧の変化を示す
波形図である。
波形図である。
【図２２】電圧の変化を示す拡大波形図である。
８ ベース（Ｘ軸） ９ ステージ（Ｘ軸） １０ ベース（Ｙ軸） １１ ステージ（Ｙ軸） １２ レール（ベース側） １３ レール（ステージ側） １４ 転動子 １８ 駆動ユニット １９ 押え板 ２１、２２ 駆動脚 ２３ 伸縮変形部（圧電素子） ２４ 剪断変形部（圧電素子） ２７ 可動子（セラミック板） ２８ リニアスケール ２９ 検出ヘッド ３０ ヘッドベース ３１ 開口 ３５ リミットセンサ ３６ ブラケット ３７ 被検出板 ４１ 制御回路 ４２ 駆動回路 ４３ 駆動回路 ４４ 検出回路 ４７ 基本周波数発生回路 ４８ 位相比較器 ４９ ローパスフィルタ ５０ 電圧制御発振器 ５１ てい倍回路 ５２ ＰＬＬ ５４ カウンタ ５５ 加算回路 ５６ 位相差信号発生回路 ５７ ＲＯＭ／ＲＡＭ（波形整形回路） ５８ 速度信号発生回路
フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F078 CA08 CB02 CB14 CC07 CC18 CC20 3C007 AS00 AS01 CS09 CT03 CT07 CY02 HS02 HS29 HT37 JS01 KS03 KS16 KS29 KS36 KS37 KV05 KX02 KX15 LV15 MS03 MS22 MT02 NS03
Claims (5)
- 【請求項１】伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚
を備え、前記伸縮変形部を伸長させて前記駆動脚の先端
部を可動子または固定側と接触させ、前記剪断変形部を
送り方向または逆方向に剪断変形させて可動子を送るよ
うにした送り装置において、 前記伸縮変形部と前記剪断変形部とにそれぞれ正弦波状
の駆動電圧を印加することを特徴とする送り装置。 - 【請求項２】伸縮変形部に印加される正弦波状の駆動電
圧と剪断変形部に印加される正弦波状の駆動電圧の位相
がほぼ９０度ずれていることを特徴とする請求項１に記
載の送り装置。 - 【請求項３】ｎ種類の駆動脚を有し、それぞれの種類の
駆動脚の伸縮変形部と剪断変形部とに印加される駆動電
圧の位相が３６０度／ｎずれていることを特徴とする請
求項１または請求項２に記載の送り装置。 - 【請求項４】２種類の駆動脚を有し、これら２種類の駆
動脚の伸縮変形部と剪断変形部とに印加される駆動電圧
の位相がほぼ１８０度ずれるとともに、それぞれの駆動
脚の伸縮変形部と剪断変形部とに印加される駆動電圧の
位相がほぼ９０度ずれることを特徴とする請求項１〜請
求項３の何れかに記載の送り装置。 - 【請求項５】３種類の駆動脚を有し、これら３種類の駆
動脚の伸縮変形部と剪断変形部とに印加される駆動電圧
の位相がほぼ１２０度ずれるとともに、それぞれの駆動
脚の伸縮変形部と剪断変形部とに印加される駆動電圧の
位相がほぼ９０度ずれることを特徴とする請求項１〜請
求項３の何れかに記載の送り装置。
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