JP2002187092A - 送り装置 - Google Patents
送り装置Info
- Publication number
- JP2002187092A JP2002187092A JP2000388565A JP2000388565A JP2002187092A JP 2002187092 A JP2002187092 A JP 2002187092A JP 2000388565 A JP2000388565 A JP 2000388565A JP 2000388565 A JP2000388565 A JP 2000388565A JP 2002187092 A JP2002187092 A JP 2002187092A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- drive
- legs
- leg
- driving
- shearing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010008 shearing Methods 0.000 claims description 38
- 230000008602 contraction Effects 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 10
- 230000028161 membrane depolarization Effects 0.000 description 5
- 230000005489 elastic deformation Effects 0.000 description 4
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 description 2
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 2
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 2
- RRLHMJHRFMHVNM-BQVXCWBNSA-N [(2s,3r,6r)-6-[5-[5-hydroxy-3-(4-hydroxyphenyl)-4-oxochromen-7-yl]oxypentoxy]-2-methyl-3,6-dihydro-2h-pyran-3-yl] acetate Chemical compound C1=C[C@@H](OC(C)=O)[C@H](C)O[C@H]1OCCCCCOC1=CC(O)=C2C(=O)C(C=3C=CC(O)=CC=3)=COC2=C1 RRLHMJHRFMHVNM-BQVXCWBNSA-N 0.000 description 1
- 230000002999 depolarising effect Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/028—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors along multiple or arbitrary translation directions, e.g. XYZ stages
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/021—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors using intermittent driving, e.g. step motors, piezoleg motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/06—Drive circuits; Control arrangements or methods
Landscapes
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
って可動子を送るようにした送り装置において、高速化
を可能にするとともに、平均電圧を0にする。 【解決手段】駆動脚21、22の伸縮変形部23と剪断
変形部24とにそれぞれ正弦波状の駆動電圧を印加す
る。
Description
くに伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、
このような駆動脚の伸縮変形部と剪断変形部の変形を利
用して可動子を送るようにした送り装置に関する。
変形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、伸縮変形
部を伸長させて駆動脚の先端部を可動子または固定側に
接触させた状態で剪断変形部を送り方向または逆方向に
剪断変形させて可動子を送るようにした送り装置が開示
されている。
行の原理と類似の方法によって可動子を送るものであっ
て、駆動脚の先端側の部分を可動子または固定側と接触
させて剪断変形を起させると、駆動脚の先端部と可動子
または固定側との間に発生する摩擦力によって可動子が
送られるものである。
よびB脚を有する送り装置の伸縮変形部と剪断変形部と
にそれぞれ印加される電圧を示している。ここでは伸縮
変形部と剪断変形部とにそれぞれ矩形波状の駆動電圧を
印加しており、駆動電圧は全体の循環が6相で60度の
位相差で制御されており、それぞれ30度ずつオーバラ
ップしている。ところが伸縮変形部および剪断変形部を
構成する圧電素子がコンデンサになるために、実際には
台形波状の電圧になる。
おいて、送り速度を高くする場合には、駆動電圧の周波
数を変えることなくしかも剪断変形部に加えられる電圧
を高くする。ところが電圧を高くすると剪断変形部を構
成する圧電素子がコンデンサとして作用し、その時定数
によって剪断変形時間が長くなる。するとこの剪断変形
部が設けられている駆動脚が可動子に接触していないと
きにも剪断変形を起したり、他方の駆動脚が完全に可動
子から離れていない状態で剪断変形を起すことになる。
従ってこのことから送り速度の高速化が妨げられる。
に印加した場合に、電圧がプラスとマイナスとで圧電素
子から成る伸縮変形部あるいは剪断変形部の充放電の時
定数が異なり、しかもシーケンスであるために伸ばして
いる時間と縮めている時間とが必ずしも等しくないため
に、これらの変形部に加わる電圧の変化は図22に示す
ようになる。ここで変形部に加わる電圧を積分すると、
積分値、すなわち電圧の平均値はマイナスになる。従っ
てこのことから、駆動脚を構成する伸縮変形部および剪
断変形部の圧電素子の脱分極化要因となり、圧電素子の
寿命を制限する原因になる。
たものであって、高速駆動が可能であって、しかも脱分
極化の原因を回避することが可能な送り装置を提供する
ことを目的とする。
形部と剪断変形部とを有する駆動脚を備え、前記伸縮変
形部を伸長させて前記駆動脚の先端部を可動子または固
定側と接触させ、前記剪断変形部を送り方向または逆方
向に剪断変形させて可動子を送るようにした送り装置に
おいて、前記伸縮変形部と前記剪断変形部とにそれぞれ
正弦波状の駆動電圧を印加するようにした送り装置に関
するものである。
駆動電圧と剪断変形部に印加される正弦波状の駆動電圧
の位相がほぼ90度ずれていてよい。またn種類の駆動
脚を有し、それぞれの種類の駆動脚の伸縮変形部と剪断
変形部とに印加される駆動電圧の位相が360度/nず
れていてよい。
合には、これら2種類の駆動脚の伸縮変形部と剪断変形
部とに印加される駆動電圧の位相がほぼ180度ずれる
とともに、それぞれの駆動脚の伸縮変形部と剪断変形部
とに印加される駆動電圧の位相がほぼ90度ずれていて
よい。また3種類の駆動脚を有する送り装置の場合に
は、これら3種類の駆動脚の伸縮変形部と剪断変形部と
に印加される駆動電圧の位相がほぼ120度ずれるとと
もに、それぞれの駆動脚の伸縮変形部と剪断変形部とに
印加される駆動電圧の位相がほぼ90度ずれるようにし
てよい。
圧電素子から成る一対の駆動脚を具備し、それぞれの駆
動脚の伸縮変形部と剪断変形部とに互いに90度位相が
ずれた正弦波状の駆動電圧を印加し、しかも一対の駆動
脚の伸縮変形部と剪断変形部とにそれぞれ互いに180
度位相がずれた正弦波を印加して駆動するようにしたも
のであって、一対の駆動脚の先端部の軌道を楕円とし、
一対の駆動脚の先端部の運動を交互に行なわせるように
する。これによって一対の駆動脚の先端部に接触する可
動子を移動させる。また駆動脚を3種類あるいはそれ以
上にした場合には、対応する変形部に対して360度/
種類数の位相差でそれぞれの変形部を駆動することによ
って、常時可動子を拘束しながらしかも可動子を高速送
りすることが可能になる。
の場合には、正負の電圧の平均値が負に偏っており、こ
れによって駆動脚の伸縮変形部および剪断変形部を構成
する圧電素子の脱分極の要因になる。ところが本態様に
よれば、平均電圧が0になる。従って脱分極の要因が低
下する。また矩形波状の駆動電圧の場合と比べて、正弦
波であれば駆動回路と電源の電力も軽減される。また2
種類の駆動脚によって駆動する場合には、その切換え時
に可動子が拘束されない状態が僅かであるが発生する。
これに対して3種類以上の駆動脚を設けた場合には、上
記のような不具合が解消され、可動子を常に拘束するこ
とができる。従って可動子の位置精度は駆動脚が2種類
の場合よりも3種類の場合の方が改善される。
によって説明する。本実施の形態は、精密送りのための
X−Yステージ装置に関するものである。このステージ
装置は図1に示すようにX軸ベース8と、X軸ステージ
9と、Y軸ベース10と、Y軸ステージ11とから構成
されている。X軸ステージ9はX軸ベース8上において
X軸方向に移動可能に支持されている。そしてX軸ステ
ージ9上にY軸ベース10が固定されている。そしてY
軸ステージ11はY軸ベース10にY軸方向に移動可能
に支持されている。このような構成によって、2軸ステ
ージ、すなわちX−Yステージを可能にしている。
9との組合わせ、すなわちX軸ベース8上においてX軸
ステージ9をX軸方向に移動するための機構を示してい
る。これに対して図6〜図9はY軸ステージ11をY軸
ベース10に対してY軸方向に移動可能に支持する機構
を示している。これらX軸方向の送り機構およびY軸方
向の送り機構は同様の構造をなしているので、ここでは
図6〜図9に示すY軸ステージ11の移動機構について
説明する。
レール12が設けられている。これに対してY軸ステー
ジ11の下面にはとくに図8および図9に示すように、
その両側にレール13が設けられている。ベース10側
のレール12とステージ11側のレール13とはとくに
図9に示すように、その側面が互いに対向するように位
置し、しかもこれらのレール12、13間に転動子14
が介装されるようになっている。そしてレール12、1
3、および転動子14によっていわゆるクロスローラが
構成されるようになっており、このようなクロスローラ
によってY軸ステージ11はY軸ベース10上をレール
12、13の長さ方向すなわちY軸方向に摺動可能に支
持される。
うに、互いに対向するように一対の駆動ユニット18が
配される。これらの駆動ユニット18はその両側の部分
を押え板19によってベース10に固定される。そして
これら一対の駆動ユニット18は駆動脚21、22を有
している。なおこれらの駆動脚21、22はそれぞれ図
10に示すように、伸縮変形部23と剪断変形部24と
を備えている。伸縮変形部23はその伸縮方向、すなわ
ち長さ方向に分極され、これに対して剪断変形部24は
横方向に分極されている。
2によって挟着されるように、ステージ11の下面には
図6および図9に示す角柱状をなすセラミック板から成
る可動子27が取付けられている。従ってこのような可
動子27を駆動ユニット18の駆動脚21、22によっ
て送ることにより、可動子27が取付けられているステ
ージ11がレール12、13に案内されながら可動子2
7の長さ方向すなわちY軸方向に移動するようになる。
7の移動を図7〜図9に示すリニアスケール28で検出
するようにしている。リニアスケール28は上記可動子
27の下面に固着されている。そしてこのようなリニア
スケール28を検出する検出ヘッド29がベース10上
に取付けられている。すなわち検出ヘッド29はヘッド
ベース30に保持されるとともに、このヘッドベース3
0がベース10の開口31に臨むように取付けられてい
る。
を検出する検出装置について説明する。ベース10上に
は図6に示すように、レール12に近接する位置にリミ
ットセンサ35が設けられている。そしてこのリミット
センサ35は図9に示すように、ステージ11の下面に
ブラケット36を介して取付けられている被検出板37
を光学的に検出するようになっている。
9の移動機構もY軸ステージ11の上述の移動機構とほ
ぼ同一の構成になっている。なおここでとくにX軸ステ
ージ9上にはY軸ベース10とY軸ステーシ11とが載
置されるために送りの際の負荷が増大する。このような
負荷の増大に対応して、図2に示すように、可動子27
を駆動するために、その両側にそれぞれ一対ずつの駆動
ユニット18を設けるようにしている。それ以外の構成
は上記Y軸ステージ11の駆動機構と同様である。
成を図10によって説明する。駆動ユニット18の駆動
脚21、22は制御回路41および対応する駆動回路4
2、43を介して駆動されるようになっている。制御回
路41を介して駆動回路42、43により駆動ユニット
18の駆動脚21、22の伸縮変形部23および剪断変
形部24にそれぞれ所定の正弦波状の駆動電圧を加える
ことによって、駆動脚21、22が駆動力を発生し、こ
のような駆動力に基いて可動子27が送り方向に駆動さ
れ、この可動子27が取付けられているステージ11が
送り方向に移動される。そしてこのときの移動量がリニ
アスケール28および検出ヘッド29によって検出さ
れ、検出回路53を通して制御回路41にフィードバッ
クされる。従って制御回路41はステージ11の移動量
をフィードバック制御しながら所定の位置へ送るように
なる。
いて説明すると、この制御回路41は図11に示すよう
に基本周波数発生回路47と、位相比較器48と、ロー
パスフィルタ49と、電圧制御発振器50と、てい倍回
路51とを備えており、とくに位相比較器48、ローパ
スフィルタ49、電圧制御発振器50、およびてい倍回
路51によってPLL52が構成されている。
回路55、位相差信号発生回路56、ROM/RAM5
7、および速度信号発生回路58を備えている。
軸ベース10上のY軸ステージ11の送り動作について
説明する。図10はベース10上に設けられている駆動
ユニット18によってステージ11を駆動する機構を原
理的に示している。ここで駆動ユニット18の駆動脚2
1、22の伸縮変形部23および剪断変形部24は互い
に逆相でかつ交互に作動されるようになっており、これ
ら一対の駆動脚21、22の先端部がステージ11の可
動子27を蹴るようにしてステージ11をY軸方向に送
るようにしている。
が加えられると伸長し、この駆動脚21の先端側の部分
が可動子27に接触する。そしてこの状態において剪断
変形部24を剪断変形させることによって、駆動脚21
の先端部が送り方向に可動子27に駆動力を与える。な
おこのときに反対側の駆動脚22の伸縮変形部23が収
縮しているために、駆動脚22はその先端部が可動子2
7から離間している。そしてこのように先端部が可動子
27から離間している駆動脚22の剪断変形部24は、
次の駆動に備えて逆方向に剪断変形を行なっている。
に交互にかつ順次繰返されることによって、可動板27
を有するY軸ステージ11が図10において矢印で示す
Y軸方向に移動される。なおこのときにレール12およ
び転動子14によってステージ11の案内が行なわれ
る。
1、22による可動子27の駆動によって、可動子27
が取付けられているY軸ステージ11が図6〜図8にお
いて横方向、すなわちY軸方向に移動される。そしてこ
のようなステージ11の移動は、可動子27の底部に取
付けられているリニアスケール28の目盛をベース10
の開口31の部分にヘッドベース30を介して取付けて
いる検出ヘッド29によって読取られるようになる。
よって移動されるステージ11の位置がリニアスケール
28および検出ヘッド29によって検出される。またこ
のときのステージ11の最大ストロークは、ベース10
側に設けられている一対のリミットセンサ35によって
検出される位置で規制される。Y軸方向にステージ11
が大きく移動すると、被検出板37がリミットセンサ3
5によって検出され、その位置でステージ11の駆動が
停止する。従ってこれにより、クロスローラを構成する
一対のレール12、13間に配されている転動子14が
脱落することがない。
であるが、図2〜図5に示すX軸ステージ9も同様に駆
動される。すなわちベース8上に設けられている左右一
対ずつであって合計4個の駆動脚18(図2参照)によ
ってX軸ステージ9をX軸方向に駆動することによっ
て、X軸ステージ9がX軸方向に駆動されるようにな
る。従ってこのようなX軸ステージ9のX軸方向の駆動
とY軸ステージ11のY軸方向の駆動とによって、X−
Yステージが構成され、X軸方向およびY軸方向の任意
の位置決めが行なわれる。
ステージ9の駆動のための駆動脚21、22の駆動の際
に、図10および図11に示す回路によって駆動脚2
1、22の伸縮変形部23および剪断変形部24にそれ
ぞれ正弦波の駆動電圧が加えられる。
例えば1MHzのパルスを発生し、このパルスが位相比
較器48に加えられる。位相比較器48は上述の基本周
波数とてい倍回路51によって発生される例えば25M
Hzのパルスの位相を比較し、ローパスフィルタ49に
よって高域成分をカットして電圧制御発振器50に印加
する。ここで発振器50は位相がずれている場合にはそ
の周波数を変換するとともにてい倍回路51にその出力
を供給する。
ウンタ54にパルスとして供給する。従ってカウンタ5
4は発振器50が出力するパルスをカウントし、そのカ
ウントに基いてアップ/ダウン信号を作って例えば30
KHzの三角波を形成する。このような三角波が加算回
路55に供給され、ここで位相差信号発生回路56から
加えられる位相差信号に応じて位相を変化させ90度、
210度等の位相差を作出する。そして位相が所定の位
相差に変化された三角波がROM/RAM57に印加さ
れる。
弦波のレベルとの対応テーブルを有する波形整形回路を
構成しており、三角波を正弦波に変換する。従ってこれ
により、ROM/RAM57で正弦波が発生し、このよ
うな正弦波が増幅器42に増幅され、正弦波出力とな
る。しかも増幅器42には速度信号発生回路58から速
度信号が印加される。よって増幅器42は速度信号に応
じた電圧の正弦波状の出力を生ずる。このような正弦波
出力が図10に示すように、駆動脚21、22の伸縮変
形部23および剪断変形部24に印加される。従ってこ
れらの駆動脚21、22の伸縮変形部23は伸縮変形を
順次行なうとともに、剪断変形部24が剪断変形を順次
行なう。
が一対、すなわち2種類の場合には、図12に示すよう
にそれぞれの種類の駆動脚21、22の伸縮変形部23
と剪断変形部24とに加える駆動電圧の位相差を90度
ずらす。またA脚21の伸縮変形部23に加えられる駆
動電圧とB脚22の伸縮変形部23に加えられる駆動電
圧を互いに180度ずらす。またA脚21の剪断変形部
24に加えられる駆動電圧とB脚22の剪断変形部24
に加えられる駆動電圧とを互いに180度ずらす。従っ
てA脚とB脚の伸縮変形部23と剪断変形部24に加え
られる駆動電圧の変化が図14に示すようになる。
動脚を用いた場合には図13に示すようになる。ここで
はそれぞれの種類の駆動脚の伸縮変形部23に加えられ
る駆動電圧と剪断変形部24に加えられる駆動電圧とは
90度の位相差になる。しかも3種類の駆動脚の伸縮変
形部23間の位相差は120度になる。また3種類の駆
動脚の剪断変形部24に加えられる駆動電圧の位相差は
120度ずつになる。従ってこの場合には3種類の駆動
脚、すなわちA脚、B脚、およびC脚の伸縮変形部23
と剪断変形部24とにそれぞれ加えられる駆動電圧の変
化が図15に示すようになる。
の伸縮変形部23および剪断変形部24に印加する駆動
電圧を正弦波にすると、図16に示すように、圧電素子
23、24の充放電の時定数の影響が少なくなるととも
に、伸ばしている時間と縮めている時間とが等しくな
り、駆動脚の伸縮変形部23あるいは剪断変形部24に
加えられる電圧の積分値、すなわち電圧の平均値がほぼ
0に等しくなる。このことから圧電素子23、24の脱
分極の要因をなくすことが可能になる。従ってこのこと
から、駆動脚の伸縮変形部23および剪断変形部24の
長寿命化が図られ、これによって送り装置の信頼性が改
善される。
脚21およびB脚22の伸縮変形部23および剪断変形
部24に図14に示すような正弦波状の電圧を加えたと
きの挙動を示している。ここで注意すべきは、それぞれ
の駆動脚21、22の先端側の部分が楕円状の軌道に沿
った運動を行なうことである。このような楕円状の運動
を行なうことから、一方の駆動脚21が可動子27を送
るように剪断変形している際におけるその駆動脚21の
伸縮変形部23はほぼ十分に伸長した状態になってい
る。またこのときに反対側の駆動脚22の伸縮変形部2
3はほぼ完全に収縮しており、先端部が可動子から離れ
ている。このことから不要なスリップが防止され、駆動
電源への負担が減少する。
なわちA脚、B脚、およびC脚を具備し、これらの駆動
脚の伸縮変形部23および剪断変形部24に図15に示
すような正弦波状の電圧を印加したときの状態を示して
いる。ここでもこれら3種類の駆動脚の先端側の部分は
楕円軌道を描く。しかもここでは3種類の駆動脚の内の
何れかの駆動脚が必ず可動子27と接触しており、これ
によって可動子27が無拘束の状態がなくなる。従って
高速送りを可能にしながらしかも精度を損うことがなく
なる。
装置によれば、簡単な回路構成の駆動電圧によってそれ
ぞれの駆動脚に正弦波状の駆動電圧を加え、しかもとく
に剪断変形部24に加える電圧を高くすることによって
送り方向のひずみ量を大きくすることにより高速送りが
可能になる。また高速送りを行なっても可動子27が常
に何れかの駆動脚と接触して拘束され、これによって高
い位置制御性を維持することが可能になる。しかもここ
でもデューティ比が1対1であるために、脱分極の要因
が排除され、このために駆動脚の長寿命化が図られるこ
とになる。
て説明したが、本願の発明は上記実施の形態によって限
定されることなく、本願に含まれる発明の技術的思想の
範囲内において各種の変更が可能である。例えば上記実
施の形態においては、駆動脚21、22の剪断変形部2
4に加えられる電圧の大きさによって送り速度を変化さ
せるようにしているが、伸縮変形部23および剪断変形
部24に加えられる駆動電圧の周波数を変えて送り速度
を変更するようにしてもよい。また駆動脚の種類も必し
も2種類、あるいは3種類に限らず、4種類以上の駆動
脚を備えてもよい。
変形部とを有する駆動脚を備え、伸縮変形部を伸長させ
て駆動脚の先端部を可動子または固定側と接触させ、剪
断変形部を送り方向または逆方向に剪断変形させて可動
子を送るようにした送り装置において、伸縮変形部と剪
断変形部とにそれぞれ正弦波状の駆動電圧を印加するよ
うにしたものである。
ば、簡単な回路構成の駆動回路によって駆動電圧を印加
することが可能になるとともに、高速送りを行なっても
駆動回路あるいは電源に大きな負担を生ずることがな
く、安定な動作が可能になる。
図である。
図である。
図である。
図である。
図である。
である。
である。
る。
る。
波形図である。
Claims (5)
- 【請求項1】伸縮変形部と剪断変形部とを有する駆動脚
を備え、前記伸縮変形部を伸長させて前記駆動脚の先端
部を可動子または固定側と接触させ、前記剪断変形部を
送り方向または逆方向に剪断変形させて可動子を送るよ
うにした送り装置において、 前記伸縮変形部と前記剪断変形部とにそれぞれ正弦波状
の駆動電圧を印加することを特徴とする送り装置。 - 【請求項2】伸縮変形部に印加される正弦波状の駆動電
圧と剪断変形部に印加される正弦波状の駆動電圧の位相
がほぼ90度ずれていることを特徴とする請求項1に記
載の送り装置。 - 【請求項3】n種類の駆動脚を有し、それぞれの種類の
駆動脚の伸縮変形部と剪断変形部とに印加される駆動電
圧の位相が360度/nずれていることを特徴とする請
求項1または請求項2に記載の送り装置。 - 【請求項4】2種類の駆動脚を有し、これら2種類の駆
動脚の伸縮変形部と剪断変形部とに印加される駆動電圧
の位相がほぼ180度ずれるとともに、それぞれの駆動
脚の伸縮変形部と剪断変形部とに印加される駆動電圧の
位相がほぼ90度ずれることを特徴とする請求項1〜請
求項3の何れかに記載の送り装置。 - 【請求項5】3種類の駆動脚を有し、これら3種類の駆
動脚の伸縮変形部と剪断変形部とに印加される駆動電圧
の位相がほぼ120度ずれるとともに、それぞれの駆動
脚の伸縮変形部と剪断変形部とに印加される駆動電圧の
位相がほぼ90度ずれることを特徴とする請求項1〜請
求項3の何れかに記載の送り装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000388565A JP2002187092A (ja) | 2000-12-21 | 2000-12-21 | 送り装置 |
US10/502,626 US6982535B2 (en) | 2000-12-21 | 2002-06-28 | Feeder |
PCT/JP2002/006551 WO2004003930A1 (ja) | 2000-12-21 | 2002-06-28 | 送り装置 |
CN02825737.5A CN1606785A (zh) | 2000-12-21 | 2002-06-28 | 馈送装置 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000388565A JP2002187092A (ja) | 2000-12-21 | 2000-12-21 | 送り装置 |
PCT/JP2002/006551 WO2004003930A1 (ja) | 2000-12-21 | 2002-06-28 | 送り装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002187092A true JP2002187092A (ja) | 2002-07-02 |
Family
ID=32299849
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000388565A Pending JP2002187092A (ja) | 2000-12-21 | 2000-12-21 | 送り装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6982535B2 (ja) |
JP (1) | JP2002187092A (ja) |
CN (1) | CN1606785A (ja) |
WO (1) | WO2004003930A1 (ja) |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3641927A (en) * | 1969-08-19 | 1972-02-15 | Wesley D Ballard | Multiple-blade junked metal shear |
US3699808A (en) * | 1971-10-13 | 1972-10-24 | Gen Tire & Rubber Co | Dynamic testing device for visco-elastic materials |
US4027213A (en) * | 1974-03-28 | 1977-05-31 | Valroger Pierre Albert Marie D | Electronic switching arrangement for energizing electric motors |
CH643397A5 (de) * | 1979-09-20 | 1984-05-30 | Ibm | Raster-tunnelmikroskop. |
US4506154A (en) * | 1982-10-22 | 1985-03-19 | Scire Fredric E | Planar biaxial micropositioning stage |
US4618938A (en) * | 1984-02-22 | 1986-10-21 | Kla Instruments Corporation | Method and apparatus for automatic wafer inspection |
US4902944A (en) * | 1986-11-20 | 1990-02-20 | Staubli International Ag. | Digital robot control having an improved current sensing system for power amplifiers in a digital robot control |
JP2903615B2 (ja) * | 1990-04-10 | 1999-06-07 | 日本電気株式会社 | リニア型超音波モータ |
US5103095A (en) * | 1990-05-23 | 1992-04-07 | Digital Instruments, Inc. | Scanning probe microscope employing adjustable tilt and unitary head |
JPH05137352A (ja) | 1991-11-15 | 1993-06-01 | Ricoh Co Ltd | 駆動機構 |
US5319960A (en) * | 1992-03-06 | 1994-06-14 | Topometrix | Scanning force microscope |
JPH06165567A (ja) * | 1992-11-17 | 1994-06-10 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置 |
JPH079266A (ja) | 1993-06-30 | 1995-01-13 | Nippondenso Co Ltd | 放電加工用電極送り装置 |
US6091215A (en) * | 1998-06-02 | 2000-07-18 | Switched Reluctance Drives Limited | Trajectory controller |
JP2000156053A (ja) * | 1998-11-20 | 2000-06-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光ピック送り装置 |
JP3436899B2 (ja) * | 1999-09-10 | 2003-08-18 | 義昭 垣野 | 工具異常検出装置及びこれを備えた数値制御装置 |
JP4771603B2 (ja) | 2000-03-24 | 2011-09-14 | 清彦 魚住 | 送り装置 |
JP2001293630A (ja) * | 2000-04-14 | 2001-10-23 | Japan Science & Technology Corp | 送り装置 |
-
2000
- 2000-12-21 JP JP2000388565A patent/JP2002187092A/ja active Pending
-
2002
- 2002-06-28 US US10/502,626 patent/US6982535B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-06-28 WO PCT/JP2002/006551 patent/WO2004003930A1/ja active Application Filing
- 2002-06-28 CN CN02825737.5A patent/CN1606785A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2004003930A1 (ja) | 2004-01-08 |
US6982535B2 (en) | 2006-01-03 |
CN1606785A (zh) | 2005-04-13 |
US20050218851A1 (en) | 2005-10-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7187104B2 (en) | Vibration-type driving device, control apparatus for controlling the driving of the vibration-type driving device, and electronic equipment having the vibration-type driving device and the control apparatus | |
JP2723333B2 (ja) | 超音波モータの制御装置 | |
US20130140951A1 (en) | Piezoelectric motor, drive unit, robot hand, robot, electronic component transporting apparatus, electronic component inspecting apparatus, and printer | |
CN109217723B (zh) | 结构一体化原位驱动全位移放大式压电尺蠖直线平台 | |
WO2004012279A3 (en) | High resolution piezoelectric motor | |
JP2014107906A (ja) | 振動型アクチュエータの駆動装置及び駆動制御方法 | |
US9823543B2 (en) | Driver of vibrator, method of driving the same, lens driver, vibration device, and imaging device | |
JP2002187092A (ja) | 送り装置 | |
JP2005237144A (ja) | 圧電アクチュエータ | |
Simu et al. | Evaluation of a monolithic piezoelectric drive unit for a miniature robot | |
JPH06105569A (ja) | 超音波アクチュエータ | |
KR100439908B1 (ko) | 정전형 미세 구동기 | |
JP2015144557A (ja) | 超音波モータの駆動制御方法及び超音波モータの駆動制御装置 | |
JP2012120300A (ja) | 超音波モータの駆動回路および駆動方法 | |
KR20050025130A (ko) | 이송장치 | |
JP2015144558A (ja) | 超音波モータの駆動制御方法 | |
JP2001293630A (ja) | 送り装置 | |
KR100809754B1 (ko) | 구동장치 | |
JPH0732610B2 (ja) | 圧電モータの制御方法 | |
JP2003164173A (ja) | 駆動装置 | |
JP3933460B2 (ja) | 駆動装置 | |
Shafik et al. | A new servo control drive for electro discharge texturing system industrial applications using ultrasonic technology | |
JP3834545B2 (ja) | 送り装置 | |
JP2004274837A (ja) | 超音波モータの駆動方法および駆動装置 | |
KR200234402Y1 (ko) | 압전소자를 이용한 부품공급기 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20040412 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050308 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050509 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051122 |