CN1606785A - 馈送装置 - Google Patents
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Abstract
一种馈送装置，通过具有伸缩变形部(23)和剪切变形部(24)的驱动脚(21、22)来馈送可动元件(27)，在向驱动脚(21、22)的伸缩变形部(23)和剪切变形部(24)分别施加正弦波状的驱动电压，而可高速化的同时，将平均电压大致设为0。
Description
技术领域
本发明涉及馈送装置，尤其涉及包括具有伸缩变形部和剪切变形部的驱动脚、并利用该驱动脚的伸缩变形部和剪切变形部的变形来馈送可动元件的馈送装置。
背景技术
特公平3-81119号公报中公开了包括具有伸缩变形部和剪切变形部的驱动脚、伸长伸缩变形部以驱动脚的前端部接触可动元件或固定侧的状态沿馈送方向或反方向使剪切变形部剪切变形而馈送可动元件的馈送装置。
这种馈送装置通过与人脚的步行原理类似的方法来馈送可动元件，当驱动脚的前端侧部分与可动元件或固定侧相接触而产生剪切变形时，通过在驱动脚的前端部与可动元件或固定侧间所产生的摩擦力来馈送可动元件。
图21表示分别向具有两种驱动脚，即具有A脚和B脚的馈送装置的伸缩变形部和剪切变形部所施加的电压。这里，分别向伸缩变形部和剪切变形部施加矩形波状驱动电压，驱动电压以6相为60度的相位差来控制整体的循环，故分别平均重叠30度。但是，由于构成伸缩变形部和剪切变形部的压电元件是电容，故实际上为梯形波状电压。
在这种馈送装置中，在馈送速度高的情况下，提高了施加给剪切变形部的电压，而不改变驱动电压的频率。但是，若电压变高，构成剪切变形部的压电元件作用为电容，由于其时间常数，剪切变形时间变长。因此，设置了这种剪切变形部的驱动脚在没有接触可动元件时，也产生剪切变形，或者在另一驱动脚没有完全与可动元件分离的状态下也产生了剪切变形。因此，其妨碍了馈送速度的高速化。
另外，在图21所示的驱动电压施加给驱动脚的情况下，通过正负电压而使由压电元件形成的伸缩变形部或剪切变形部的充放电时间常数不同，且由于为序列，故伸长的时间和缩短的时间并不必然相等，对这些变形部施加的电压改变如图22所示。这里，若积分施加给变形部的电压，则积分值、即电压的平均值为负值。因此其成为构成驱动脚的伸缩变形部和剪切变形部的压电元件去极化的因素，而成为限制压电元件寿命的原因。
发明内容
本发明鉴于上述问题而作出，其目的是提供一种可高速驱动、且可避免去极化原因的馈送装置。
本发明的另一目的是在可通过简单电路构成的驱动电路施加驱动电压的同时，不对高速馈送的驱动电路或电源产生大的负担，而可进行稳定动作。
本发明的又一个目的是实现在通过驱动脚的变形馈送可动部的馈送装置中，防止驱动脚不必要滑动的同时，实现了驱动电压的负载减小。
本发明的又一个目的是可动元件由其两侧配置的驱动脚夹持着的状态下向馈送方向馈送，而可实现可靠地馈送。
本发明的一个发明涉及一种馈送装置，包括具有伸缩变形部和剪切变形部的驱动脚，伸长所述伸缩变形部，而使所述驱动脚的前端部与可动元件或固定侧相接触，使所述剪切变形部沿馈送方向或其反方向剪切变形而馈送可动元件，分别向所述伸缩变形部和所述剪切变形部施加正弦波状的驱动电压，这里，向伸缩变形部施加的正弦波状的驱动电压和向剪切变形部施加的正弦波状的驱动电压的相位可以大致偏差90度。另外，具有n种驱动脚，向各种驱动脚的伸缩变形部和剪切变形部施加的驱动电压的相位可以偏差360度/n。
另外，在具有两种驱动脚的馈送装置的情况下，向这两种驱动脚的伸缩变形部和剪切变形部施加的驱动电压的相位偏差180度，同时，向各个驱动脚的伸缩变形部和剪切变形部所施加的驱动电压的相位也可以大致偏差90度。另外，在具有三种驱动脚的输送装置情况下，向这三种驱动脚的伸缩变形部和剪切变形部所施加的驱动电压的相位大致偏差120度，同时，向各个驱动脚的伸缩变形部和剪切变形部所施加的驱动电压的相位也可以大致偏差90度。
本申请的另一发明涉及一种馈送装置，包括具有伸缩变形部和剪切变形部的驱动脚，伸长所述伸缩变形部，而使所述驱动脚的前端部与可动元件或固定侧相接触，使所述剪切变形部沿馈送方向或其反方向剪切变形而馈送可动元件，向所述伸缩变形部和所述剪切变形部分别施加正弦波状的驱动电压，而使所述驱动脚的前端部沿大致椭圆轨迹运动。
本申请的又一发明涉及一种馈送装置，包括具有伸缩变形部和剪切变形部的驱动脚，伸长所述伸缩变形部，而使所述驱动脚的前端部与可动元件或固定侧相接触，使所述剪切变形部沿馈送方向或其反方向剪切变形而馈送可动元件，向所述伸缩变形部和所述剪切变形部分别施加正弦波状的驱动电压，同时，相对可动元件在两侧配置所述驱动脚，使其在与其馈送方向大致为直角的方向上彼此大致相对，边通过所述两侧驱动脚夹着所述可动元件，边进行驱动。
这里，在将所述驱动脚安装在基底侧的同时，也可以在相对基底沿馈送方向可移动支撑的台面上设置所述可动元件。另外，也可以进行配置，使得X轴台面和Y轴台面相重叠地同时，X轴台面和Y轴台面可分别在X轴方向和Y轴方向上可移动地支撑，并通过X轴方向的驱动脚和Y轴方向的驱动脚分别驱动所述X轴台面和所述Y轴台面。
本申请的主要发明的优选方式是包括由层积压电元件构成的一对驱动脚，向各个驱动脚的伸缩变形部和剪切变形部施加彼此偏差90度相位的正弦波状的驱动电压，且分别向一对驱动脚的伸缩变形部和剪切变形部施加彼此偏差180度相位的正弦波来进行驱动，一对驱动脚的前端部的轨道为椭圆，且交互进行一对驱动脚的前端部的运动。由此，使与一对驱动脚的前端部接触的可动元件移动。另外，在驱动脚为三种或三种以上的情况下，通过对相应的变形部以360度/种类数的相位差来驱动各个变形部，由此可边约束可动元件边高速馈送可动元件。
现有的馈送装置在由矩形波来进行驱动的情况下，正负电压的平均值偏向负值，因此，成为了构成驱动脚的伸缩变形部和剪切变形部的压电元件去极化的因素。但是，根据本方式，平均电压为0。因此，去极化的因素降低。另外，与矩形波驱动电压的情况相比，若为正弦波，还减轻了驱动电路和电源的功率。另外，在通过两种驱动脚来驱动的情况下，在其切换时发生不约束可动元件的状态。与此相反，可在设置了三种以上的驱动脚的情况下，消除了上述的不方便，而可一直约束可动元件。因此，与驱动脚为两种的情况相比，在其为三种的情况下改善了可动元件的位置精度。
根据本申请的主要发明，包括具有伸缩变形部和剪切变形部的驱动脚，伸长所述伸缩变形部，而使所述驱动脚的前端部与可动元件或固定侧相接触，使所述剪切变形部沿馈送方向或其反方向剪切变形而馈送可动元件，分别向所述伸缩变形部和所述剪切变形部施加正弦波状的驱动电压。
因此，根据这种结构的馈送装置，可通过简单电路结构的驱动电路来施加驱动电压，同时，即使进行高速馈送也不会对驱动电路或电压产生大的负担，并可稳定动作。
根据本申请的另一主要发明，包括具有伸缩变形部和剪切变形部的驱动脚，伸长所述伸缩变形部，而使所述驱动脚的前端部与可动元件或固定侧相接触，使所述剪切变形部沿馈送方向或其反方向剪切变形而馈送可动元件，向所述伸缩变形部和所述剪切变形部分别施加正弦波状的驱动电压，而使所述驱动脚的前端部沿大致椭圆轨迹运动。
因此，通过使端部大致沿椭圆状轨迹运动的驱动脚交互动作，而形成在剪切变形之际其驱动脚的剪切变形部大致伸长得充分长的状态，使得一只驱动脚可馈送可动元件。另外，这时相对侧的驱动脚的伸缩变形部大致完全收缩前端部从可动部离开。由此，在防止了不必要的滑动的同时，减小了驱动电源的负担。
根据本申请的又一个主要发明，包括具有伸缩变形部和剪切变形部的驱动脚，伸长所述伸缩变形部，而使所述驱动脚的前端部与可动元件或固定侧相接触，使所述剪切变形部沿馈送方向或其反方向剪切变形而馈送可动元件，向所述伸缩变形部和所述剪切变形部分别施加正弦波状的驱动电压，同时，相对可动元件在两侧配置所述驱动脚，使其在与其馈送方向大致为直角的方向种彼此大致相对，边通过所述两侧驱动脚夹着所述可动元件，边进行驱动。
因此，根据这种馈送装置，可动元件通过在其两侧配置的驱动脚来夹着的状态而向馈送方向馈送，可以实现可靠地馈送。
附图说明
图1是X-Y台面的分解立体图；
图2是X轴台面装置的基底的平面图；
图3是X轴台面装置的图2中的A-A线截面图；
图4是X轴台面的底面图；
图5是X轴台面装置的图2中的B-B线截面图；
图6是Y轴台面装置的基底的平面图；
图7是Y轴台面装置的图6中的C-C线截面图；
图8是Y轴台面的底面图；
图9是表示Y轴台面装置的图6中的D-D线截面图；
图10是驱动驱动单元的驱动电路的框图；
图11是表示控制电路的结构的框图；
图12是2脚一组的驱动脚的正弦波驱动的框图；
图13是3脚一组的驱动脚的正弦波驱动的框图；
图14是2脚一组的正弦波驱动的波形图；
图15是3脚一组的正弦波驱动的波形图；
图16是正弦波的波形图；
图17是表示2脚一组的驱动脚的动作的正面图；
图18是表示同一驱动电压的波形图；
图19是表示3脚一组的驱动脚的动作的正面图；
图20是同一驱动电压的波形图；
图21是表示现有的馈送装置的驱动脚的电压变化的波形图；
图22是表示电压变化的放大波形图。
具体实施方式
下面，根据所图示的一实施方式说明本发明。本实施方式涉及精密馈送用的X-Y台面装置。该台面装置如图1所示，由X轴基底8、X轴台面9、Y轴基底10和Y轴台面11构成。在X轴基底8上沿X轴方向可移动地支撑有X轴台面9。并且，将Y轴基底10固定在X轴台面9上。并且，在Y轴基底10上沿Y轴方向可移动地支撑有Y轴台面11。通过这种结构，可以成为双轴台面，即X-Y台面。
图2～图5表示X轴基底8和X轴台面9的组合，即在X轴基底8上可将X轴台面9沿X轴方向移动用的机构。与此相对，图6～图9表示了可将Y轴台面11相对Y轴基底10沿Y轴方向可移动地支撑的机构。由于这些X轴方向的馈送机构和Y轴方向的馈送机构具有相同结构，所以这里说明图6～图9所示的Y轴台面11的移动机构。
在Y轴基底10上在其两侧设置了一对轨道12。与此相对，尤其如图8和图9所示，在Y轴台面11的下面在其两侧设置轨道13。尤其如图9所示，基底10侧的轨道12和台面11侧的轨道13，使其侧面彼此相对，且这些轨道12、13间安装转动元件14。并且，通过轨道12、13和转动元件14构成所谓的横轧辊，并通过这种横轧辊Y轴台面11在Y轴基底10上沿轨道12、13的长度方向即Y轴方向可滑动地支撑。
如图6和图9所示，在基底10上配置彼此相对的一对驱动单元18。这些驱动单元18通过压板19将其两侧部分固定在基底10上。并且，该一对驱动单元18具有驱动脚21、22。这些驱动脚21、22如图10所示，分别具有伸缩变形部23和剪切变形部24。伸缩变形部23沿其伸缩方向、即长度方向极化，与此相对，剪切变形部24沿横向极化。
在台面11的下面安装图6和图9所示的由形成为四棱柱状的陶瓷板形成的可动元件27，使其通过驱动单元18的驱动脚21、22相夹。因此，通过由驱动单元18的驱动脚21、22馈送这种可动元件27，使得安装了可动元件27的台面11边在轨道12、13上滑动，边沿可动元件27的长度方向即Y轴方向移动。
通过图7～图9所示的线性定标器(scaler)28检测这种台面11或可动元件27的移动。将线性定标器28固定在上述可动元件27的下面。并且，将检测这种线性定标器28的检测头29安装在基底10上。即，在将检测头29保持在头基底30上的同时，安装该头基底30，使其与基底10的开口31面对。
接着，说明检测该台面11的冲程(stroke)的检测装置。在基底10上，如图6所示，在接近于轨道12的位置上设置极限传感器(limitsensor)35。并且，该极限传感器35如图9所示，光学检测出在台面11的下面经支架36安装的被检测板37。
如上所述，图2～图5所示的X轴台面9的移动机构也与Y轴台面11的上述移动机构为大致相同的结构。尤其由于这里在X轴台面9上装载Y轴基底10和Y轴台面11，故增大了馈送时的负担。对应于这种负担增大，如图2所示，为驱动可动元件27，也可在其两侧分别设置一对驱动单元18。除此之外的结构与上述Y轴台面11的驱动机构相同。
接着，通过图10说明上述驱动单元18的驱动电路的结构。驱动单元18的驱动脚21、22经控制电路41和对应驱动电路42、43进行驱动。经控制电路41通过驱动电路42、43分别向驱动单元18的驱动脚21、22的伸缩变形部23和剪切变形部24施加预定正弦波形状的驱动电压，从而驱动脚21、22产生驱动力，并根据该驱动力使可动元件27向馈送方向驱动，并使安装了该可动元件27的台面11沿馈送方向移动。并且，通过线性定标器28和检测头29检测出这时的移动量，并通过检测电路53反馈到控制电路41中。因此，控制电路41边反馈控制台面11的移动量，边向预定位置馈送。
接着，说明上述控制电路41的具体结构，该控制电路41如图11所示，包括基波产生电路47、相位比较器48、低通滤波器49、电压控制振荡器50和倍增电路51，尤其由相位比较器48、低通滤波器49、电压控制振荡器50和倍增电路51构成PLL52。
进一步，控制电路41包括计数器54、加法电路55、相位差信号产生电路56、ROM/RAM57和速度信号产生电路58。
下面说明上面这样构成的台面装置在Y轴基底10上的Y轴台面的馈送动作。图10原理性表示由在基底10上设置的驱动单元18来驱动台面11的机构。这里，彼此反相且交互动作驱动单元18的驱动脚21、22的伸缩变形部23和剪切变形部24，而沿Y轴方向馈送台面11，使得该一对驱动脚21、22的前端部踢台面1的可动元件27。
这里，若向驱动脚21的伸缩变形部23施加电压，则其伸长，该驱动脚21的前端侧部分与可动元件27相接触。并且，在该状态中通过剪切变形剪切变形部24，使驱动脚21的前端部沿馈送方向给可动元件提供驱动力。这时，由于相对侧的驱动脚22的伸缩变形部23收缩，所以驱动脚22的前端部离开可动元件27。并且，这样，前端侧离开可动元件27的驱动脚22的剪切变形部24在下一驱动中沿反方向进行剪切变形。
通过在两个驱动脚21、22上相互且依次重复这种动作，使具有可动板27的Y轴台面11在图10中向箭头所示的Y轴方向移动。另外，这时，通过轨道12和转动元件14进行台面11的滑动。
通过由这种驱动单元18的驱动脚21、22产生的可动元件27的驱动，在图6～图8中，安装了可动元件27的Y轴台面11沿横方向即Y轴方向移动。并且，通过在基底10的开口31部分经头基底30安装了可动元件27的底部安装的线性定标器28的刻盘的检测头29来读取这种台面11的移动。
因此，通过线性定标器28和检测头29检测出由驱动单元18移动的台面11的位置。另外，将这时台面11的最大冲程限制由基底10侧设置的一对极限传感器35所检测的位置上。若台面11沿Y轴方向大大移动，则通过极限传感器35检测出被检测板37，并在其位置上停止台面11的驱动。因此，由此，不会使在构成横轧辊的一对轨道12、13间配置的转动元件14脱落。
虽然上述动作是Y轴台面11的驱动动作，但是也同样驱动图2～图5所示的X轴台面9。即，通过在基底8上设置的平均左右各一对、总共4个的驱动脚18(参照图2)而沿X轴方向驱动X轴台面9，从而使X轴台面9沿X轴方向驱动。因此，通过这种X轴台面9的X轴方向驱动和Y轴台面11的Y轴方向的驱动，而构成了X-Y台面，而使其定位在X轴方向和Y轴方向的任意位置上。
在驱动这种Y轴台面11或X轴台面9的驱动用驱动脚21、22时，通过图10和图11所示的电路而分别向驱动脚21、22的伸缩变形部23和剪切变形部24施加正弦波驱动电压。
图11中基波产生电路47例如产生1MHz的脉冲，并将该脉冲施加给相位比较器48。相位比较器48比较上述基波和由低倍电路51产生的例如25MHz的脉冲相位，并通过低通滤波器49去除高频部分后施加给压控振荡器50。这里，在振荡器50的相位有偏差的情况下，在改变其频率的同时，向低倍电路51提供其输出。
同时，压控振荡器50将其输出作为脉冲提供给计数器54。因此，计数器54计数振荡器50输出的脉冲，并通过该计数值生成加/减信号，而形成例如30KHz的锯齿波。将这种锯齿波提供给加法电路55，这里，根据从相位差信号产生电路56所施加的相位差信号改变相位，作出90度、210度等相位差。并且，向ROM/RAM57施加相位改变了预定相位差的锯齿波。
ROM/RAM57构成具有锯齿波电平和正弦波电平相对应表的波形整形电路，并将锯齿波变换为正弦波。由此，由ROM/RAM57产生正弦波，并由放大器42放大该正弦波，而作为正弦波输出。且从速度信号产生电路58将速度信号施加给放大器42。由此，放大器42产生对应于速度信号的电压的正弦波输出。如图10所示，向驱动脚21、22的伸缩变形部23和剪切变形部24施加。因此，在这种驱动脚21、22的伸缩变形部23依次进行伸缩变形的同时，剪切变形部24依次进行剪切变形。
这里，在馈送可动元件27的驱动脚21、22为一对，即两种的情况下，如图12所示，施加给各种驱动脚21、22的伸缩变形部23和剪切变形部24的驱动电压的相位差偏移90度。另外，施加给A脚21的伸缩变形部23的驱动电压和施加给B脚22的伸缩变形部23的驱动电压彼此偏差180度。另外，施加给A脚21的剪切变形部24的驱动电压和施加给B脚22的剪切变形部24的驱动电压彼此偏差180度。因此，图14表示施加给A脚和B脚的伸缩变形部23和剪切变形部24的驱动电压的改变。
图13表示使用三种驱动脚来作为馈送可动元件27的驱动脚的情况。这里，施加给各种驱动脚的伸缩变形部23的驱动电压和施加给剪切变形部24的驱动电压的相位差为90度。且三种驱动脚的伸缩变形部23间的相位差为120度。另外，施加给三种驱动脚的剪切变形部24的驱动电压的相位差偏差120度。因此，这时，图15表示分别施加给三种驱动脚、即A脚、B脚和C脚的伸缩变形部23和剪切变形部24的驱动电压的改变。
这样，若施加给两种或三种驱动脚的伸缩变形部23和剪切变形部24的驱动电压为正弦波，则如图16所示，在压电元件23、24的充放电时间常数的影响减小的同时，伸长时间和缩短时间相等，施加给驱动脚的伸缩变形部23或剪切变形部24的电压的积分值、即电压的平均值大致等于0。因此，不可能成为压电元件23、24去极化的因素。因此，实现了驱动脚的伸缩变形部23和剪切变形部24的长寿命，并由此改善了馈送装置的可靠性。
图17和图18表示向构成驱动脚的A脚21和B脚22的伸缩变形部23和剪切变形部24施加图14所示的正弦波的电压时的举动。这里，应注意的是，各个驱动脚21、22的前端侧部分沿椭圆状轨道运动。由于进行这种椭圆状运动，所以一个驱动脚21在为馈送可动元件27而剪切变形时，其驱动脚21的伸缩变形部23成为大致充分伸长的状态。另外，这时，相对侧的驱动脚22的伸缩变形部23大致完全收缩，前端部离开可动元件。因此，防止了不必要的滑动，而减轻了驱动电源的负担。
图19和图20表示具有三种驱动脚，即A脚、B脚和C脚，而向这些驱动脚的伸缩变形部23和剪切变形部24施加图15所示的正弦波状电压时的状态。这里，这三种驱动脚的前端侧部分为椭圆轨道。且这里，三种驱动脚内其中一个驱动脚需要与可动元件27接触，由此，可动元件27不会成为没有约束的状态。因此，在可进行高速馈送的同时，且不会损害精度。
由此，根据图19和图20所示的馈送装置，通过简单电路构成的驱动电压向各个驱动脚施加正弦波状的驱动电压，且尤其通过使施加给剪切变形部24的电压变高，加大馈送方向的变形量，从而使高速馈送成为可能。另外，即使进行高速馈送，可动元件27通常与其中一个驱动脚相接触而受约束，由此，可维持高的位置控制性。且这里占空比为1比1，所以排除了去极化的因素，因此，实现了驱动脚的长寿命化。
虽然通过图示的实施方式说明了上述发明，但是本发明并非由上述实施方式所限定，可在本申请所包含的发明的技术思想范围内进行各种变更。例如，在上述实施方式中，虽然通过施加给驱动脚21、22的剪切变形部24的电压大小来改变馈送速度，但是也可通过改变施加给伸缩变形部23和剪切变形部24的驱动电压的频率来改变馈送速度。另外，驱动脚的种类不一定限制在两种或三种，也可具有四种以上的驱动脚。
本发明的馈送装置可广泛用作各种激励器的驱动源。另外，本申请的馈送装置可用作在加工装置中装载工作的定位用台面的驱动单元。尤其可适用于电子束描绘装置的台面、扫描型电子显微镜试料台的馈送机构、离子束照射装置的工作定位用台面的各个定位用驱动装置。
Claims (9)
1.一种馈送装置，包括具有伸缩变形部和剪切变形部的驱动脚，伸长所述伸缩变形部，而使所述驱动脚的前端部与可动元件或固定侧相接触，使所述剪切变形部沿馈送方向或其反方向剪切变形而馈送可动元件，其特征在于：分别向所述伸缩变形部和所述剪切变形部施加正弦波状的驱动电压。
2.根据权利要求1所述的馈送装置，其特征在于：向伸缩变形部施加的正弦波状驱动电压和向剪切变形部施加的正弦波状驱动电压的相位大致偏差90度。
3.根据权利要求2所述的馈送装置，其特征在于：具有n种驱动脚，向各种驱动脚的伸缩变形部和剪切变形部施加的驱动电压的相位偏差360度/n。
4.根据权利要求1-3的其中之一所述的馈送装置，其特征在于：具有两种驱动脚，向这两种驱动脚的伸缩变形部和剪切变形部施加的驱动电压的相位偏差180度，同时，向各个驱动脚的伸缩变形部和剪切变形部所施加的驱动电压的相位大致偏差90度。
5.根据权利要求1-3的其中之一所述的馈送装置，其特征在于：具有三种驱动脚，向这三种驱动脚的伸缩变形部和剪切变形部所施加的驱动电压的相位大致偏差120度，同时，向各个驱动脚的伸缩变形部和剪切变形部所施加的驱动电压的相位偏差大致90度。
6.一种馈送装置，包括具有伸缩变形部和剪切变形部的驱动脚，伸长所述伸缩变形部，而使所述驱动脚的前端部与可动元件或固定侧相接触，使所述剪切变形部沿馈送方向或其反方向剪切变形而馈送可动元件，其特征在于：向所述伸缩变形部和所述剪切变形部分别施加正弦波状的驱动电压，而使所述驱动脚的前端部大致沿椭圆轨迹运动。
7.一种馈送装置，包括具有伸缩变形部和剪切变形部的驱动脚，伸长所述伸缩变形部，而使所述驱动脚的前端部与可动元件或固定侧相接触，使所述剪切变形部沿馈送方向或其反方向剪切变形而馈送可动元件，其特征在于：向所述伸缩变形部和所述剪切变形部分别施加正弦波状的驱动电压，同时，相对可动元件在两侧配置所述驱动脚，使其在与其馈送方向大致为直角的方向中彼此大致相对，边通过所述两侧驱动脚夹着所述可动元件，边进行驱动。
8.根据权利要求7所述的馈送装置，其特征在于：在将所述驱动脚安装在基底侧的同时，在相对所述基底沿馈送方向自由移动支撑的台面上设置所述可动元件。
9.根据权利要求8所述的馈送装置，其特征在于：进行配置，使得X轴台面和Y轴台面相重叠地同时，X轴台面和Y轴台面分别在X轴方向和Y轴方向上可移动地支撑，并通过X轴方向的驱动脚和Y轴方向的驱动脚分别驱动所述X轴台面和所述Y轴台面。
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