JP2002182157A

JP2002182157A - 照明光学系及びこれを用いたプロジェクター装置、露光装置、光造形装置、画像形成装置

Info

Publication number: JP2002182157A
Application number: JP2000377022A
Authority: JP
Inventors: Toshihiko Omori; 利彦大森; Katsuto Sumi; 克人角
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 2000-12-12
Filing date: 2000-12-12
Publication date: 2002-06-26

Abstract

(57)【要約】【課題】照明光学系において、低いワット数の光源を使
用して簡便に光量を増加させる。【解決手段】非偏光光を発する２つの光源と、前記各光
源からの光を、それぞれ、Ｐ偏光およびＳ偏光に変換す
る偏光変換素子と、前記変換されたＰ偏光およびＳ偏光
の光を偏光合波する偏光素子と、を備えたことを特徴と
する照明光学系を提供することにより前記課題を解決す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶やＤＭＤ（デ
ジタルマイクロミラーデバイス）等の空間光変調素子に
より光像を制御して、光像を投影するプロジェクタや、
光像を感材等に照射する露光装置等に使用され、前記空
間光変調素子を照明する照明光学系に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶プロジェクターは、液晶パネルに照
射された照明光を、表示させたい画像データに応じて変
調し、この変調光をスクリーン上に投影して画像を表示
している。一般に、液晶プロジェクターでは、キセノン
ランプやメタルハライドランプ、水銀ランプ等の非偏光
の光源を使用するが、液晶による光制御は、光の偏光を
利用するため、液晶パネルの入射側に偏光板を配置し
て、光源から射出された非偏光な光をこの偏光板によっ
て直線偏光光としていた。しかし、偏光板を使用する
と、約６０％の光量が偏光板によって吸収されて失われ
るため、光の利用効率が著しく低下する。さらに、吸収
された光が熱に変わり、偏光板の性能を劣化させてしま
う。

【０００３】そこで、光源からの自然光を全て同一方向
に偏光した直線偏光に変換して、光の利用効率を向上さ
せる偏光変換光学系が採用されている。例えば、特開昭
６１−９０５８４号公報、特開平４−３１０９０３号公
報に、偏光ビームスプリッタ等を用いて非偏光の光をＰ
偏光とＳ偏光に分離し、Ｐ偏光またはＳ偏光のどちらか
一方の光を波長板等により偏光面を回転させて両者の偏
光面を一致させる偏光変換系が開示されている。また、
特開平７−１２０７５３号公報、特開平７−２９４９０
６号公報、特開平９−１４６０６４号公報等に、偏光変
換光学系と、均一な照明分布を実現するレンズアレイ板
を用いたインテグレータ光学系を組み合わせた照明光学
系を使用した液晶プロジェクター等が開示されている。
また、最近では、反射型の空間光変調素子であるＤＭＤ
（デジタルマイクロミラーデバイス）を使用したプロジ
ェクターが開発されており、これは偏光に依存しないた
め上記偏光変換光学系は必要とせず、インテグレータ照
明光学系のみを使用したＤＭＤプロジェクターが知られ
ている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、現状で
は、プロジェクター装置の輝度向上の要望はいまだに高
く、輝度向上のためには、非常に高いワット数の光源を
使用しなければならず、様々な問題がある。例えば上記
プロジェクター装置では、光量を増加させるために、大
きなワット数の光源を使用すると、光源のサイズや冷却
部の増大、ひいては装置サイズの増大、コスト高、寿命
の低下を招く等の問題がある。また、必然的に、より点
光源でなくなるため、照明効果が低下し、光源のワット
数を高くしても、光量はほとんど増加しない等の不具合
がある。さらに、前記空間光変調素子を使用した露光装
置等においても、生産性向上のために光量を増加させる
必要があり、やはり非常に高いワット数の光源を使用し
なければならず、前記のプロジェクターと同様に、様々
な問題がある。

【０００５】本発明は、前記従来の問題に鑑みてなされ
たものであり、偏光変換光学系を用いて偏光合波する照
明光学系であって、低いワット数の光源を使用して簡便
に光量を増加させることのできる照明光学系を提供する
ことを課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に、本発明の第一の態様は、非偏光光を発する２つの光
源と、前記各光源からの光を、それぞれ、Ｐ偏光および
Ｓ偏光に変換する偏光変換素子と、前記変換されたＰ偏
光およびＳ偏光の両方の光を偏光合波する偏光素子と、
を備えたことを特徴とする照明光学系を提供する。

【０００７】また、同様に前記課題を解決するために、
本発明の第二の態様は、非偏光光を発する３個以上の光
源と、前記光源のうち、２個の光源からの光を、請求項
１に記載の照明光学系により合波し、該合波した光をＰ
偏光またはＳ偏光に変換する偏光変換光学系と、前記３
個以上の光源のうち、前記２個の光源以外の他の１つの
光源からの光をＳ偏光またはＰ偏光に変換する偏光変換
光学系と、前記他の１つの光源からの光を偏光変換した
偏光との両方の光を再度偏光合波する偏光素子と、さら
に、他の光源が存在する場合には、該他の光源からの光
をＰ偏光またはＳ偏光に変換する偏光変換光学系と、前
記再度偏光合波された光をＳ偏光またはＰ偏光に変換す
る偏光変換光学系と、これらの変換された光を偏光合波
する偏光素子とを有し、同様にして偏光合波を繰り返す
ことにより、３重以上の多重合波を行うことを特徴とす
る照明光学系を提供する。

【０００８】また、前記光源は、メタルハライドラン
プ、キセノンランプまたは水銀ランプ等の放電ランプで
あり、非偏光光を発する光源であることが好ましい。

【０００９】また、同様に前記課題を解決するために、
本発明の第三の態様は、照明光学系として、請求項１〜
７のいずれかに記載の照明光学系を用いたことを特徴と
するプロジェクター装置を提供する。

【００１０】また、同様に前記課題を解決するために、
本発明の第四の態様は、照明光学系として、請求項１〜
７のいずれかに記載の照明光学系を用いたことを特徴と
する露光装置を提供する。

【００１１】また、同様に前記課題を解決するために、
本発明の第五の態様は、照明光学系として、請求項１〜
７のいずれかに記載の照明光学系を用いたことを特徴と
する光造形装置を提供する。

【００１２】また、同様に前記課題を解決するために、
本発明の第六の態様は、照明光学系として、請求項１〜
７のいずれかに記載の照明光学系を用いたことを特徴と
する画像形成装置を提供する。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る照明光学系及
びこれを用いたプロジェクター装置、露光装置、光造形
装置、画像形成装置について、添付の図面に示される好
適実施形態を基に、詳細に説明する。

【００１４】図１は、本発明の第一実施形態として、本
発明に係る照明光学系を用いたプロジェクター装置の概
略を示す構成図である。図１に示すプロジェクター装置
２は、照明光学系として、本発明に係る照明光学系１を
用いたものである。本実施形態の照明光学系１は、非偏
光光を発する２つの光源１０および２０からの光をそれ
ぞれ偏光変換素子１５および２５によりＰ偏光またはＳ
偏光に変換した後、２つの偏光光を偏光合波する偏光素
子である偏光ビームスプリッタ３０によって偏光合波す
るものである。

【００１５】光源１０および２０は、それぞれ、放射状
の非偏光光を発する放射光源としての光源ランプ１１お
よび２１と、光源ランプ１１および２１から射出された
放射光を略平行な光線束として射出するリフレクタ（凹
面鏡）１２および２２とを有している。光源ランプ１１
および２１としては、ハロゲンランプ、メタルハライド
ランプ、キセノンランプまたは水銀ランプ等の放電ラン
プが用いられる。また、リフレクタ１２および２２とし
ては、放物面鏡を用いることが好ましいが、放物面鏡に
限定されるものではなく、楕円面鏡を用いることもでき
る。

【００１６】光源１０および２０から射出された非偏光
の光（ランダム偏光）が、それぞれ偏光変換され、偏光
ビームスプリッタ３０によって合波されるまでの行程は
同じである。光源１０から射出された光は、インテグレ
ータ光学系を構成する第一のレンズアレイ板１３および
第二のレンズアレイ板１４を通過した後、偏光変換素子
１５でＰ偏光に変換される。偏光変換素子１５でＰ偏光
に変換された光は、レンズ１６および１７を透過した
後、偏光ビームスプリッタ３０に入射する。一方、光源
２０から射出された光は、インテグレータ光学系を構成
する第一のレンズアレイ板２３および第二のレンズアレ
イ板２４を通過した後、偏光変換素子２５でＳ偏光に変
換され、レンズ２６およびレンズ２７を透過した後、偏
光ビームスプリッタ３０に入射する。なお、レンズアレ
イ板は、略同一の開口形状のレンズを１次元的または２
次元的に配列して構成されるものである。例えば、略矩
形形状の輪郭を有する平凸状の小レンズを、１次元方向
に、あるいは２次元方向にマトリクス状に配置して構成
される。

【００１７】図２に、偏光変換素子１５の概略構成をそ
の一部を拡大して示す。偏光変換素子１５は、Ｐ偏光と
Ｓ偏光を分離する誘電体多層膜をコーティングした偏光
分離面１５ａおよび全反射面１５ｂとλ／２波長板１５
ｃを有して構成されている。このように、偏光変換素子
１５は、Ｐ偏光とＳ偏光を分離する偏光分離面および全
反射面（または複屈折材料でもよい）からなる分離部
と、λ／２波長板（またはλ／４波長板でもよい）から
なる変換部とからなっている。レンズアレイ板１３、１
４を通過して偏光変換素子１５に入射した光束５０は、
偏光分離面１５ａで、それぞれ互いに直交する２つの直
線偏光成分の光束に分離される。すなわち、光束５０の
うち、Ｐ偏光５１は偏光分離面１５ａを通過し、Ｓ偏光
５２は偏光分離面１５ａで反射される。図２において、
両方むきの矢印の記号および白丸の中に点を打った記号
は、それぞれの光の偏光方向を表したものである。すな
わち、両方むきの矢印記号は、図の左右方向の偏光を表
し、白丸の中に点を打った記号は、図の紙面に垂直な方
向の偏光を表している。

【００１８】偏光分離面１５ａを透過したＰ偏光５１
は、そのまま偏光変換素子１５から射出される。また、
偏光分離面１５ａで反射されたＳ偏光５２は、全反射面
１５ｂで全反射された後、λ／２波長板１５ｃを通過す
ることにより、Ｐ偏光に変換されて、偏光変換素子１５
から射出される。従って、偏光変換素子１５に入射され
る光束５０は、全てＰ偏光の光に変換されて射出される
こととなる。

【００１９】図３に、偏光変換素子２５の概略構成をそ
の一部を拡大して示す。偏光変換素子２５も前記偏光変
換素子１５と同様に、Ｐ偏光とＳ偏光を分離する誘電体
多層膜をコーティングした偏光分離面２５ａおよび全反
射面２５ｂとλ／２波長板２５ｃを有して構成されてい
るが、λ／２波長板２５ｃの設置位置が前記偏光変換素
子１５とは異なっている。レンズアレイ板２３、２４を
通過して偏光変換素子２５に入射した光束６０は、偏光
分離面２５ａで、それぞれ互いに直交する２つの直線偏
光成分の光束に分離される。すなわち、光束６０のう
ち、Ｐ偏光６１は偏光分離面２５ａを通過し、Ｓ偏光６
２は偏光分離面２５ａで反射される。偏光分離面２５ａ
を透過したＰ偏光６１は、λ／２波長板２５ｃを通過す
ることにより、Ｓ偏光に変換されて、偏光変換素子２５
から射出される。また、偏光分離面２５ａで反射された
Ｓ偏光６２は、全反射面２５ｂで全反射され、そのまま
偏光変換素子２５から射出される。従って、偏光変換素
子２５に入射される光束６０は、全てＳ偏光の光に変換
されて射出されることとなる。

【００２０】再び、図１にもどり、光源１０から射出さ
れ偏光変換素子１５でＰ偏光に変換された光、および光
源２０から射出され偏光変換素子２５でＳ偏光に変換さ
れた光は、ともに偏光ビームスプリッタ３０に入射され
る。光源１０からのＰ偏光となった光は、偏光ビームス
プリッタ３０をそのまま透過し、光源２０からのＳ偏光
となった光は、偏光ビームスプリッタ３０で反射され
て、ともに偏光ビームスプリッタ３０を出た後、ミラー
３１で反射され所定の角度で、被照明体であるＤＭＤ３
２に入射される。従って、ＤＭＤ３２は、光源１０から
の光と、光源２０からの光の両方の光で照明されること
となる。このとき、本実施形態では、ＤＭＤ３２を照明
する照明光は、ＤＭＤ３２に略テレセントリックに入射
するように設計されており、偏光ビームスプリッタ３０
での合波効率が低下しないようになされている。

【００２１】ＤＭＤ３２には、図示しない制御手段によ
り、画像を表す変調データが供給され、ＤＭＤ３２によ
って反射された画像を担持する光が、投影レンズ３３を
介して、スクリーン３４に投影され、画像が表示され
る。このように、本実施形態では、レンズアレイ板によ
るインテグレータ光学系と、偏光変換素子を利用した偏
光合波光学系を組み合わせた照明光学系を構成すること
により、均一な照明分布と光量の増大を実現することが
できる。

【００２２】なお、上記実施形態における照明光学系１
においては、インテグレータ照明光学系としてのレンズ
アレイ板が２枚用いられていたが、このレンズアレイ板
は１枚でもよい。また、一対のレンズアレイ板の後方
（光源に対して）に偏光変換素子を設けていたが（例え
ば、レンズアレイ板１３および１４の後方に偏光変換素
子１５を設置）、この一対のレンズアレイ板の間に偏光
変換素子を設けるようにしてもよい。さらに、偏光変換
素子をレンズアレイ板の極近傍に（例えば図１で偏光変
換素子１５をレンズアレイ板１４のすぐ後方に設けたよ
うに）設けるようにしてもよい。また、本実施例では、
ＤＭＤを使用したＤＭＤプロジェクタ装置であるが液晶
プロジェクタ装置にも適用が可能である。すなわち、偏
光合波した光を再度偏光変換系でＰ偏光またはＳ偏光の
どちらかの直線偏光の光に変換させ、この偏光された光
を液晶に入射させれば良い。

【００２３】次に、本発明の第二実施形態について説明
する。本第二実施形態は、本発明の照明光学系を露光装
置に適用したものである。図４に、第二実施形態に係る
露光装置の概略構成を示す。図４に示すように、本実施
形態の露光装置３は、照明光学系として、前記第一実施
形態の照明光学系１を用いたものである。

【００２４】すなわち、照明光学系１は、２つの光源１
０、２０を有し、それぞれの光源１０、２０から射出さ
れ、インテグレータ光学系であるレンズアレイ板１３、
１４および２３、２４を透過した光を、それぞれ偏光変
換素子１５、２５によりＰ偏光およびＳ偏光に変換し、
この２つの偏光を偏光ビームスプリッタ３０で合波する
ものである。

【００２５】偏光ビームスプリッタ３０から射出された
光は、第一実施形態と同様に、ミラー３１で反射され、
ＤＭＤ３２に所定の角度で入射される。ＤＭＤ３２で反
射された、画像を担持する光は、コリメータレンズ３５
およびフォーカシングレンズ３６を介して、回転ドラム
３７の外面に装着された記録媒体３８を露光して画像を
記録する。

【００２６】回転ドラム３７は、円筒状をしており、そ
の中心軸の周りに所定速度で回転している。図４では回
転ドラム３７をその回転軸の方向から見た状態を表して
おり、図の紙面に垂直な方向に回転軸が延在している。
ＤＭＤ３２やレンズ３５、３６を含む照明光学系１は、
前記回転軸に沿って、図の紙面に垂直な方向に移動可能
になっている。照明光学系１により、回転ドラム３７の
回転方向に主走査するとともに、これと略直交する回転
軸に平行な方向に副走査を行い、記録媒体３８を２次元
的に走査露光し、画像を記録する。なお、記録媒体３８
としては、特に限定はなく、感光材料、フィルム、ＰＳ
版等が例示される。

【００２７】次に、本発明の第三実施形態について説明
する。本第三実施形態は、本発明の照明光学系を光造形
装置に適用したものである。図５に、本実施形態の光造
形装置の概略構成を示す。図５に示すように、本実施形
態の光造形装置４は、照明光学系として、前記第一実施
形態の照明光学系１を用いたものである。

【００２８】本実施形態の光造形装置４は、一括面露光
によるワーク引き上げ方式の光造形装置の例である。照
明光学系１から射出された光は、ミラー３１を介し、Ｄ
ＭＤ３２に所定角度で入射され、ＤＭＤ３２で反射さ
れ、投影レンズ３９を介して、投影ガラス４０に光像を
投影する。

【００２９】投影ガラス４０上には、樹脂液槽４１があ
り、光が照射されると硬化する樹脂液４２が満たされて
いる。光が照射され、樹脂液４２が硬化し、ステージ４
３を上方に引き上げると、１層分の、樹脂液４２が硬化
して出来上がった光造形物４４が引き上げられる。これ
を順次繰り返し行うことによって光造形物が作られる。

【００３０】次に、本発明の第四実施形態について説明
する。本第四実施形態は、本発明の照明光学系を画像形
成装置に適用したものである。図６に、本実施形態の画
像形成装置の概略構成を示す。図６に示すように、本実
施形態の画像形成装置５は、照明光学系として、前記第
一実施形態の照明光学系１を用いたものである。

【００３１】図６に示す本実施形態の画像形成装置５
は、電子写真方式の画像形成装置の例である。照明光学
系１から射出された光は、ミラー３１を介して、ＤＭＤ
３２に所定角度で入射される。ＤＭＤ３２で反射された
光は、コリメータレンズ４５、フォーカシングレンズ４
６を介して、帯電された感光体４７を露光する。感光体
４７には、静電潜像が形成され、その後、トナー現像お
よび転写が行われる。

【００３２】最後に、第五実施形態として、他の照明光
学系の例を示す。図７に、本実施形態に係る他の照明光
学系の概略構成を示す。これは、３つの光源からの光を
合波するものであり、一般に、ｎ個の光源からの光を合
波する原理を示すものである。

【００３３】図７に示すように、この照明光学系１００
は、非偏光光を発する３つの光源１１０、１２０、１３
０を有している。また、図７において、符号１１２、１
２２、１２６、１３２で示すブロックは、いずれも、イ
ンテグレータ光学系と偏光変換素子の組み合わせを表し
ており、例えば図１の第一実施形態における一対のレン
ズアレイ板１３、１４および偏光変換素子１５およびレ
ンズ１６、１７等の組み合わせからなる光学系である。
また、符号１２４および１３４はいずれも２つの光の合
波を行う偏光ビームスプリッタである。

【００３４】まず、光源１１０からの光を光学系１１２
により例えばＰ偏光に変換し、光源１２０からの光を光
学系１２２により例えばＳ偏光に変換して、第一実施形
態で説明したように、これら２つの偏光を偏光ビームス
プリッタ１２４で偏光合波する。この偏光合波された光
を再び光学系１２６で、例えばＰ偏光に変換し、一方光
源１３０からの光を光学系１３２で例えばＳ偏光に変換
して、これら２つの光を上と同様に、偏光ビームスプリ
ッタ１３４により偏光合波して射出する。

【００３５】このようにして、光源がいくつあっても偏
光合波を繰り返すことにより光量を増大させることがで
き、一般にｎ重の合波が可能である。また、このように
照明光を合波することにより、低ワット数の光源でも光
量を増加させることが可能であるとともに、光源を２個
以上用いるため、万一一つの光源が何らかの原因で使用
不能となった場合でも、光量は低下するが、装置として
は、使用を続行することが可能である。

【００３６】以上、本発明の各実施形態について詳細に
説明したが、本実施形態によれば、照明光を合波するこ
とができるため、低ワット数の光源で光量を増加させる
ことができ、また、一般に、低ワット数の光源は点光源
に近いため光利用効率が高く、ランプサイズも小さく、
冷却部も小型にできるため、光源を複数個使用しても、
装置のコンパクト化およびコスト低減を図ることができ
る。

【００３７】以上、本発明の照明光学系及びこれを用い
たプロジェクター装置、露光装置、光造形装置、画像形
成装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の例
には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲におい
て、各種の改良や変更を行ってもよいのはもちろんであ
る。

【００３８】

【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、照
明光を合波することができるため、低ワット数の光源で
光量を増加させることができる。また、一般に、低ワッ
ト数の光源は点光源に近いため光利用効率が高く、ラン
プサイズも小さく、冷却部も小型にできるため、光源を
複数個使用しても、装置のコンパクト化およびコスト低
減を図ることができる。また、万一、一つの光源が使用
不可能になった場合でも、光量は低下するが、装置とし
ては使用を続行することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施形態に係る、本発明の照明
光学系を用いたプロジェクター装置の概略を示す構成図
である。

【図２】本実施形態における偏光変換素子の例を示す
構成図である。

【図３】同じく、本実施形態における偏光変換素子の
例を示す構成図である。

【図４】本発明の第二実施形態に係る、本発明の照明
光学系を用いた露光装置の概略を示す構成図である。

【図５】本発明の第三実施形態に係る、本発明の照明
光学系を用いた光造形装置の概略を示す構成図である。

【図６】本発明の第四実施形態に係る、本発明の照明
光学系を用いた画像形成装置の概略を示す構成図であ
る。

【図７】本発明の第五実施形態に係る照明光学系の概
略を示す構成図である。

【符号の説明】

１照明光学系２プロジェクター装置３露光装置４光造形装置５画像形成装置１０、２０光源１１、１２光源ランプ１２、２２リフレクタ１３、２３第一のレンズアレイ板１４、２４第二のレンズアレイ板１５、２５偏光変換素子１５ａ、２５ａ偏光分離面１５ｂ、２５ｂ全反射面１５ｃ、２５ｃ λ／２波長板１６、１７、２６、２７レンズ３０偏光ビームスプリッタ３１ミラー３２ＤＭＤ３３、３９投影レンズ３４スクリーン３５、４５コリメータレンズ３６、４６フォーカシングレンズ３７回転ドラム３８記録媒体４０投影ガラス４１樹脂液槽４２樹脂液４３ステージ４４光造形物４７感光体１００照明光学系１１０、１２０、１３０光源１１２、１２２、１２６、１３２（偏光変換素子等を
含む）光学系１２４、１３４偏光ビームスプリッタ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｈ０４Ｎ 5/74 Ｈ０４Ｎ 5/74 ＢＦターム(参考） 2H099 AA11 BA09 CA02 CA07 CA08 DA05 2H106 BA55 BF00 5C058 AA18 BA05 EA00 EA12 EA13 EA14 EA42 EA51

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】非偏光光を発する２つの光源と、前記各光源からの光を、それぞれ、Ｐ偏光およびＳ偏光
に変換する偏光変換素子と、前記変換されたＰ偏光およびＳ偏光の両方の光を偏光合
波する偏光素子と、を備えたことを特徴とする照明光学系。
【請求項２】非偏光光を発する３個以上の光源と、前記光源のうち、２個の光源からの光を、請求項１に記
載の照明光学系により合波し、該合波した光をＰ偏光ま
たはＳ偏光に変換する偏光変換光学系と、前記３個以上の光源のうち、前記２個の光源以外の他の
１つの光源からの光をＳ偏光またはＰ偏光に変換する偏
光変換光学系と、前記他の１つの光源からの光を変換した偏光との両方の
光を再度偏光合波する偏光素子と、さらに、他の光源が存在する場合には、該他の光源から
の光をＰ偏光またはＳ偏光に変換する偏光変換光学系
と、前記再度偏光合波された光をＳ偏光またはＰ偏光に
変換する偏光変換光学系と、これらの変換された光を偏
光合波する偏光素子とを有し、同様にして偏光合波を繰
り返すことにより、３重以上の多重合波を行うことを特
徴とする照明光学系。
【請求項３】前記偏光変換光学系は、Ｐ偏光とＳ偏光を
分離する偏光分離面および全反射面または複屈折材料か
らなる分離部と、λ／２波長板またはλ／４波長板から
成る変換部とからなる請求項１または２に記載の照明光
学系。
【請求項４】前記偏光変換光学系は、前記分離部と前記
変換部、およびレンズアレイとから成る請求項３に記載
の照明光学系。
【請求項５】請求項１または２に記載の照明光学系であ
って、各光源はそれぞれ一対のレンズアレイ板をもち、
前記偏光変換光学系は、前記一対のレンズアレイ板の間
または一対のレンズアレイ板の後ろである光源とは反対
側に配置されている照明光学系。
【請求項６】前記レンズアレイ板は、略同一の開口形状
のレンズを１次元または２次元的に配列して構成される
請求項１〜５のいずれかに記載の照明光学系。
【請求項７】前記光源は、非偏光光を発する放電ランプ
である請求項１〜６のいずれかに記載の照明光学系。
【請求項８】照明光学系として、請求項１〜７のいずれ
かに記載の照明光学系を用いたことを特徴とするプロジ
ェクター装置。
【請求項９】照明光学系として、請求項１〜７のいずれ
かに記載の照明光学系を用いたことを特徴とする露光装
置。
【請求項１０】照明光学系として、請求項１〜７のいず
れかに記載の照明光学系を用いたことを特徴とする光造
形装置。
【請求項１１】照明光学系として、請求項１〜７のいず
れかに記載の照明光学系を用いたことを特徴とする画像
形成装置。