JP2002181549A - リング型振動式角速度センサ - Google Patents
リング型振動式角速度センサInfo
- Publication number
- JP2002181549A JP2002181549A JP2000376078A JP2000376078A JP2002181549A JP 2002181549 A JP2002181549 A JP 2002181549A JP 2000376078 A JP2000376078 A JP 2000376078A JP 2000376078 A JP2000376078 A JP 2000376078A JP 2002181549 A JP2002181549 A JP 2002181549A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ring
- vibration
- angular velocity
- velocity sensor
- vibrating
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 リング振動部を径方向の振動モードの定在波
に電磁的に励振するリング型振動式角速度センサを提供
する。 【解決手段】 振動体８のリング振動部８０を径方向の
定在波に駆動励振し、入力角速度が印加されることによ
るコリオリ力により生ずる共振周波数より９０°位相を
異にする出力振動成分を検出するリング型振動式角速度
センサにおいて、リング振動部８０は巻枠８０２とこれ
に巻回される駆動巻線８０１より成り、リング振動部８
０の共振周波数に等しい周波数を有する交流の電圧信号
を発生する励振器４を具備し、リング振動部８０の定在
波の少なくとも１個の振動の腹の位置に対応して駆動巻
線８０１の軸方向に平行な定常磁界を発生する磁界発生
器を具備するリング型振動式角速度センサ。
に電磁的に励振するリング型振動式角速度センサを提供
する。 【解決手段】 振動体８のリング振動部８０を径方向の
定在波に駆動励振し、入力角速度が印加されることによ
るコリオリ力により生ずる共振周波数より９０°位相を
異にする出力振動成分を検出するリング型振動式角速度
センサにおいて、リング振動部８０は巻枠８０２とこれ
に巻回される駆動巻線８０１より成り、リング振動部８
０の共振周波数に等しい周波数を有する交流の電圧信号
を発生する励振器４を具備し、リング振動部８０の定在
波の少なくとも１個の振動の腹の位置に対応して駆動巻
線８０１の軸方向に平行な定常磁界を発生する磁界発生
器を具備するリング型振動式角速度センサ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、リング型振動式
角速度センサに関し、特に、振動体のリング振動部を径
方向の振動モードの定在波に電磁的に励振し、入力角速
度が印加されることによるコリオリ力により生ずる定在
波より９０°位相を異にする出力振動成分を検出するリ
ング型振動式角速度センサに関する。
角速度センサに関し、特に、振動体のリング振動部を径
方向の振動モードの定在波に電磁的に励振し、入力角速
度が印加されることによるコリオリ力により生ずる定在
波より９０°位相を異にする出力振動成分を検出するリ
ング型振動式角速度センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】振動体のリング振動部を径方向の振動モ
ードの定在波に励振し、入力角速度が印加されることに
よるコリオリ力により生ずる定在波より９０°位相を異
にする出力振動成分を検出するリング型振動式角速度セ
ンサの動作原理を圧電駆動の先行例を参照して説明す
る。図４はリング型振動式角速度センサのリング型の振
動体８を示す図である。リング型の振動体８としては、
リング振動部８０が薄肉円筒、薄肉半球或いは薄肉円環
より成る振動体が使用される。８３は円筒フレクチュア
部であり、リング振動部８０を支える支持部を構成して
いる。８２は円筒フレクチュア部８３が取り付けられる
台座である。この先行例はリング型の振動体８を構成す
る原材料として、以下の通り圧電セラミックスを使用し
ている。
ードの定在波に励振し、入力角速度が印加されることに
よるコリオリ力により生ずる定在波より９０°位相を異
にする出力振動成分を検出するリング型振動式角速度セ
ンサの動作原理を圧電駆動の先行例を参照して説明す
る。図４はリング型振動式角速度センサのリング型の振
動体８を示す図である。リング型の振動体８としては、
リング振動部８０が薄肉円筒、薄肉半球或いは薄肉円環
より成る振動体が使用される。８３は円筒フレクチュア
部であり、リング振動部８０を支える支持部を構成して
いる。８２は円筒フレクチュア部８３が取り付けられる
台座である。この先行例はリング型の振動体８を構成す
る原材料として、以下の通り圧電セラミックスを使用し
ている。
【０００３】図５をも参照するに、圧電セラミックスよ
り成る薄肉円筒のリング振動部８０のＡ点の外表面およ
び内表面に対向して電極を形成し、これら両電極間に交
流電圧を印加して圧電駆動することにより、リング振動
部８０に振動モード１の振動を生起することができる。
即ち、リング振動部８０の中心軸を構成する円筒フレク
チュア部８３に直交すると共に互いに直交する２方向に
リング振動部８０を屈曲振動させることができる。リン
グ振動部８０の振動モード１の振動状態において、リン
グ振動部８０に円筒フレクチュア部８３を入力軸とする
円周方向の角速度が入力されると、振動モード１を生起
する力と直交する方向にコリオリ力が作用し、振動モー
ド１の方向から４５°回転したＢ点の位置において振動
モード２の矢印方向の振動が発生する。その結果、鎖線
で示される振動モード１の定在波が入力角速度の向きお
よび大きさに応じて円弧の矢印で示される方向に変位
し、結局、これが振動モード２の振動である。即ち、振
動モード２の振動の腹および節の位置は、それぞれ、振
動モード１の振動の腹および節の位置から変位する。振
動モード２の方向の力の大きさ、即ち振動モード１の振
動の節の位置の変位を知ることにより入力角速度の値を
検出することができる。以下、図６を参照してこの検出
の仕方を更に詳しく説明する。
り成る薄肉円筒のリング振動部８０のＡ点の外表面およ
び内表面に対向して電極を形成し、これら両電極間に交
流電圧を印加して圧電駆動することにより、リング振動
部８０に振動モード１の振動を生起することができる。
即ち、リング振動部８０の中心軸を構成する円筒フレク
チュア部８３に直交すると共に互いに直交する２方向に
リング振動部８０を屈曲振動させることができる。リン
グ振動部８０の振動モード１の振動状態において、リン
グ振動部８０に円筒フレクチュア部８３を入力軸とする
円周方向の角速度が入力されると、振動モード１を生起
する力と直交する方向にコリオリ力が作用し、振動モー
ド１の方向から４５°回転したＢ点の位置において振動
モード２の矢印方向の振動が発生する。その結果、鎖線
で示される振動モード１の定在波が入力角速度の向きお
よび大きさに応じて円弧の矢印で示される方向に変位
し、結局、これが振動モード２の振動である。即ち、振
動モード２の振動の腹および節の位置は、それぞれ、振
動モード１の振動の腹および節の位置から変位する。振
動モード２の方向の力の大きさ、即ち振動モード１の振
動の節の位置の変位を知ることにより入力角速度の値を
検出することができる。以下、図６を参照してこの検出
の仕方を更に詳しく説明する。
【０００４】図６において、励振器４から供給される駆
動信号Ｖd はリング振動部８０の共振周波数に等しい周
波数を有する交流の電圧信号であり、リング振動部８０
のＡ点の位置に設置される駆動電極Ｅa に印加される。
その結果、リング振動部８０は、先に述べた振動モード
１で振動するに到る。なお、１０は励振器４の発振周波
数を規定する発振回路である。Ａ点と丁度１８０°回転
したＣ点の位置の両面に設置される振幅検知素子Ｅc は
静電容量式振幅検出器２の一部を構成するモニタ電極で
あり、振動モード１を検出するる。この振幅検知素子Ｅ
c から得られる振動情報は直流信号Ｖp に変換され、差
動増幅器３において基準信号源５２の出力する基準信号
Ｖr と比較される。差動増幅器３より得られる差信号Ｖ
e は積分器により構成されたループフイルタ３１に入力
される。ループフイルタ３１より得られる出力Ｖcontは
励振器４に供給され、静電容量式振幅検出器２から出力
される直流信号Ｖp が基準信号Ｖr と等しくなり差動増
幅器３の差信号Ｖe をゼロとすべく、駆動信号Ｖd の振
幅を制御する。即ち、リング振動部８０の駆動信号Ｖd
を一定に制御することによりリング振動部８０の振動振
幅を常時一定に保持している。
動信号Ｖd はリング振動部８０の共振周波数に等しい周
波数を有する交流の電圧信号であり、リング振動部８０
のＡ点の位置に設置される駆動電極Ｅa に印加される。
その結果、リング振動部８０は、先に述べた振動モード
１で振動するに到る。なお、１０は励振器４の発振周波
数を規定する発振回路である。Ａ点と丁度１８０°回転
したＣ点の位置の両面に設置される振幅検知素子Ｅc は
静電容量式振幅検出器２の一部を構成するモニタ電極で
あり、振動モード１を検出するる。この振幅検知素子Ｅ
c から得られる振動情報は直流信号Ｖp に変換され、差
動増幅器３において基準信号源５２の出力する基準信号
Ｖr と比較される。差動増幅器３より得られる差信号Ｖ
e は積分器により構成されたループフイルタ３１に入力
される。ループフイルタ３１より得られる出力Ｖcontは
励振器４に供給され、静電容量式振幅検出器２から出力
される直流信号Ｖp が基準信号Ｖr と等しくなり差動増
幅器３の差信号Ｖe をゼロとすべく、駆動信号Ｖd の振
幅を制御する。即ち、リング振動部８０の駆動信号Ｖd
を一定に制御することによりリング振動部８０の振動振
幅を常時一定に保持している。
【０００５】Ａ点から４５°回転した位置であるＢ点に
設置される信号検知素子Ｅb は入力角速度ωにより発生
する振動モード２を検出する出力信号振幅検出器５の一
部を構成し、この検出器５から得られる振動情報は、同
期検波回路６により振動の大きさに対応した直流信号に
変換される。同期検波回路６の出力をそのまま振動の大
きさの検出出力として使用すればオープンループ信号処
理の角速度センサが形成され、その出力はＶO1になる。
一方、クローズドループ信号処理の角速度センサは、点
線で示される回路を付加することにより構成される。
設置される信号検知素子Ｅb は入力角速度ωにより発生
する振動モード２を検出する出力信号振幅検出器５の一
部を構成し、この検出器５から得られる振動情報は、同
期検波回路６により振動の大きさに対応した直流信号に
変換される。同期検波回路６の出力をそのまま振動の大
きさの検出出力として使用すればオープンループ信号処
理の角速度センサが形成され、その出力はＶO1になる。
一方、クローズドループ信号処理の角速度センサは、点
線で示される回路を付加することにより構成される。
【０００６】即ち、同期検波回路６の出力は、積分器に
より構成されるループフイルタ３２に供給され、第２ル
ープフイルタ３２から得られる出力はフィードバック信
号発生回路６１に供給される。フィードバック信号発生
回路６１は、第２ループフイルタ３２から得られる信号
と発信回路１０から供給されるクロックＣＫが入力さ
れ、出力信号振幅検出器５から得られる振動モード２の
振動とは周波数が同一で極性が逆の信号を発生する回路
である。このフィードバック信号発生回路６１の出力
は、Ｂ点に対して１８０°回転した位置に設置されるフ
イードバック電極Ｅｄに印加され、振動モード２の動き
を逆向きに抑制する。その結果、角速度センサに角速度
が入力され、振動モード２が発生しても振動モード２は
実質的にゼロに抑制されるクローズドループ信号処理を
していることになる。このクローズドループ信号処理に
おける角速度センサ出力としては、電圧Ｖf と比例関係
にあるループフイルタ３２の直流出力を角速度センサ出
力ＶO2として使用する。
より構成されるループフイルタ３２に供給され、第２ル
ープフイルタ３２から得られる出力はフィードバック信
号発生回路６１に供給される。フィードバック信号発生
回路６１は、第２ループフイルタ３２から得られる信号
と発信回路１０から供給されるクロックＣＫが入力さ
れ、出力信号振幅検出器５から得られる振動モード２の
振動とは周波数が同一で極性が逆の信号を発生する回路
である。このフィードバック信号発生回路６１の出力
は、Ｂ点に対して１８０°回転した位置に設置されるフ
イードバック電極Ｅｄに印加され、振動モード２の動き
を逆向きに抑制する。その結果、角速度センサに角速度
が入力され、振動モード２が発生しても振動モード２は
実質的にゼロに抑制されるクローズドループ信号処理を
していることになる。このクローズドループ信号処理に
おける角速度センサ出力としては、電圧Ｖf と比例関係
にあるループフイルタ３２の直流出力を角速度センサ出
力ＶO2として使用する。
【０００７】図４の先行例はリング振動部８０を圧電セ
ラミックスにより構成し、これを交流の電圧信号により
圧電駆動する先行例である。なお、リング振動部８０を
比重の大きい金属材料により構成し、これに圧電素子を
貼り付ける。そして、この圧電素子に交流の電圧信号を
印加して圧電効果によりリング振動部８０を駆動励振す
ることができる。リング型振動式角速度センサにおい
て、リング振動部８０を駆動励振する仕方としては、圧
電駆動する例の他に電磁石駆動するものが知られてい
る。これは、磁性材料により構成されたリング振動部の
腹の部分に僅かの間隙を設けて巻線を配置し、この巻線
に交流電流を流通して電磁石的にリング振動部を駆動励
振するものである（詳細は、国際公開番号 ＷＯ９７／
１２２０４号 参照）。
ラミックスにより構成し、これを交流の電圧信号により
圧電駆動する先行例である。なお、リング振動部８０を
比重の大きい金属材料により構成し、これに圧電素子を
貼り付ける。そして、この圧電素子に交流の電圧信号を
印加して圧電効果によりリング振動部８０を駆動励振す
ることができる。リング型振動式角速度センサにおい
て、リング振動部８０を駆動励振する仕方としては、圧
電駆動する例の他に電磁石駆動するものが知られてい
る。これは、磁性材料により構成されたリング振動部の
腹の部分に僅かの間隙を設けて巻線を配置し、この巻線
に交流電流を流通して電磁石的にリング振動部を駆動励
振するものである（詳細は、国際公開番号 ＷＯ９７／
１２２０４号 参照）。
【０００８】更なる従来例として、シリコンウェハに微
細加工技術を適用して微細なリング振動部を形成し、こ
の微細リング振動部の表面に金属蒸着技術により電流路
を形成する。この微細リング振動部を永久磁石により形
成される磁界内に配置し、電流路に交流電流を流通して
電磁的にリング振動部を駆動励振するものである（詳細
は、特許第２８７２２１３号明細書 参照）。
細加工技術を適用して微細なリング振動部を形成し、こ
の微細リング振動部の表面に金属蒸着技術により電流路
を形成する。この微細リング振動部を永久磁石により形
成される磁界内に配置し、電流路に交流電流を流通して
電磁的にリング振動部を駆動励振するものである（詳細
は、特許第２８７２２１３号明細書 参照）。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところで、先のリング
振動部を圧電駆動するリング型振動式角速度センサはリ
ング振動部の振動の腹および節のところに電極或いは圧
電素子を貼り付ける構成を採用しているが、この貼り付
け作業は複雑であるのでこれを適切に実施するには多く
の困難を伴い、製造コストの増大につながる。特に、リ
ング振動部に対する圧電素子の貼り付けは、リング振動
部に質量分布、剛性の分布にバラツキを与える原因とな
り、リング型振動式角速度センサの性能、信頼性の向上
に不利を招きかねない。
振動部を圧電駆動するリング型振動式角速度センサはリ
ング振動部の振動の腹および節のところに電極或いは圧
電素子を貼り付ける構成を採用しているが、この貼り付
け作業は複雑であるのでこれを適切に実施するには多く
の困難を伴い、製造コストの増大につながる。特に、リ
ング振動部に対する圧電素子の貼り付けは、リング振動
部に質量分布、剛性の分布にバラツキを与える原因とな
り、リング型振動式角速度センサの性能、信頼性の向上
に不利を招きかねない。
【００１０】そして、リング振動部を電磁石的に駆動す
るリング型振動式角速度センサは、特に、電磁石として
動作する巻線を複数個形成する場合、角速度センサの外
形寸法を電磁石により過大なものとされる。そして、電
磁石駆動の場合、リング振動部と電磁石巻線との間に作
用する力は吸引力のみで反発力は作用しないので、磁性
体のヒステリシスの影響を蒙り易く、高い性能要求を満
足するリング型振動式角速度センサを構成し難い。
るリング型振動式角速度センサは、特に、電磁石として
動作する巻線を複数個形成する場合、角速度センサの外
形寸法を電磁石により過大なものとされる。そして、電
磁石駆動の場合、リング振動部と電磁石巻線との間に作
用する力は吸引力のみで反発力は作用しないので、磁性
体のヒステリシスの影響を蒙り易く、高い性能要求を満
足するリング型振動式角速度センサを構成し難い。
【００１１】また、微細リング振動部の表面に電流路を
形成する構成のリング型振動式角速度センサは、寸法上
の制約から電流路をリング振動部の一部にしか形成する
ことができず、発生する磁気力を大きくすることはでき
ない。この発明は、上述の問題を解消したリング型振動
式角速度センサを提供するものである。
形成する構成のリング型振動式角速度センサは、寸法上
の制約から電流路をリング振動部の一部にしか形成する
ことができず、発生する磁気力を大きくすることはでき
ない。この発明は、上述の問題を解消したリング型振動
式角速度センサを提供するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１：振動体８のリ
ング振動部８０を径方向の定在波に駆動励振し、入力角
速度が印加されることによるコリオリ力により生ずる共
振周波数より９０°位相を異にする出力振動成分を検出
するリング型振動式角速度センサにおいて、リング振動
部８０は巻枠８０２とこれに巻回される駆動巻線８０１
より成り、リング振動部８０の共振周波数に等しい周波
数を有する交流の電圧信号を発生する励振器４を具備
し、リング振動部８０の定在波の少なくとも１個の振動
の腹の位置に対応して駆動巻線８０１の軸方向に平行な
定常磁界を発生する磁界発生器を具備するリング型振動
式角速度センサを構成した。
ング振動部８０を径方向の定在波に駆動励振し、入力角
速度が印加されることによるコリオリ力により生ずる共
振周波数より９０°位相を異にする出力振動成分を検出
するリング型振動式角速度センサにおいて、リング振動
部８０は巻枠８０２とこれに巻回される駆動巻線８０１
より成り、リング振動部８０の共振周波数に等しい周波
数を有する交流の電圧信号を発生する励振器４を具備
し、リング振動部８０の定在波の少なくとも１個の振動
の腹の位置に対応して駆動巻線８０１の軸方向に平行な
定常磁界を発生する磁界発生器を具備するリング型振動
式角速度センサを構成した。
【００１３】そして、請求項２：請求項１に記載される
リング型振動式角速度センサにおいて、リング振動部８
０の振動の腹の位置に対応して振動の振幅を検出する振
幅検出器２の一部を構成する振幅検知素子Ｅc を配置
し、振幅検出器２から出力される信号に基づいて励振器
４から出力される電圧信号の振幅を制御する励振制御回
路部を具備するリング型振動式角速度センサを構成し
た。また、請求項３：請求項１および請求項２の内の何
れかに記載されるリング型振動式角速度センサにおい
て、リング振動部８０の振動の節の位置に対応して入力
角速度ωにより発生する振動を検出する出力信号振幅検
出器５の一部を構成する信号検知素子Ｅb を配置し、出
力信号振幅検出器５から得られる振動情報に基づいて入
力角速度ωを求めるリング型振動式角速度センサを構成
した。
リング型振動式角速度センサにおいて、リング振動部８
０の振動の腹の位置に対応して振動の振幅を検出する振
幅検出器２の一部を構成する振幅検知素子Ｅc を配置
し、振幅検出器２から出力される信号に基づいて励振器
４から出力される電圧信号の振幅を制御する励振制御回
路部を具備するリング型振動式角速度センサを構成し
た。また、請求項３：請求項１および請求項２の内の何
れかに記載されるリング型振動式角速度センサにおい
て、リング振動部８０の振動の節の位置に対応して入力
角速度ωにより発生する振動を検出する出力信号振幅検
出器５の一部を構成する信号検知素子Ｅb を配置し、出
力信号振幅検出器５から得られる振動情報に基づいて入
力角速度ωを求めるリング型振動式角速度センサを構成
した。
【００１４】更に、請求項４：求項３に記載されるリン
グ型振動式角速度センサにおいて、リング振動部８０の
振動の節に対応する位置に電磁石９２１ないし９２４を
具備し、出力信号振幅検出器５から得られる振動情報を
電磁石９２１ないし９２４に印加して入力角速度ωによ
り発生する振動を逆向きに抑制するリング型振動式角速
度センサを構成した。そして、請求項５：請求項１ない
し請求項４の内の何れないし請求項４の内の何れかかに
記載されるリング型振動式角速度センサにおいて、磁界
発生器はヨーク９０と、リング振動部８０の振動の腹の
位置に対応して磁極を上下にしてヨーク９０に取り付け
られた永久磁石９１１ないし９１４より成るものである
リング型振動式角速度センサを構成した。
グ型振動式角速度センサにおいて、リング振動部８０の
振動の節に対応する位置に電磁石９２１ないし９２４を
具備し、出力信号振幅検出器５から得られる振動情報を
電磁石９２１ないし９２４に印加して入力角速度ωによ
り発生する振動を逆向きに抑制するリング型振動式角速
度センサを構成した。そして、請求項５：請求項１ない
し請求項４の内の何れないし請求項４の内の何れかかに
記載されるリング型振動式角速度センサにおいて、磁界
発生器はヨーク９０と、リング振動部８０の振動の腹の
位置に対応して磁極を上下にしてヨーク９０に取り付け
られた永久磁石９１１ないし９１４より成るものである
リング型振動式角速度センサを構成した。
【００１５】また、請求項６：請求項４および請求項５
の内の何れかに記載されるリング型振動式角速度センサ
において、電磁石９２１ないし９２４をヨーク９０に取
り付けたリング型振動式角速度センサを構成した。更
に、請求項７：請求項４ないし請求項６の内の何れかに
記載されるリング型振動式角速度センサにおいて、電磁
石９２１ないし９２４は非磁性材料より成る電磁石保持
板９９を具備してこれに取り付けたリング型振動式角速
度センサを構成した。
の内の何れかに記載されるリング型振動式角速度センサ
において、電磁石９２１ないし９２４をヨーク９０に取
り付けたリング型振動式角速度センサを構成した。更
に、請求項７：請求項４ないし請求項６の内の何れかに
記載されるリング型振動式角速度センサにおいて、電磁
石９２１ないし９２４は非磁性材料より成る電磁石保持
板９９を具備してこれに取り付けたリング型振動式角速
度センサを構成した。
【００１６】
【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図１およ
び図２を参照して説明する。振動体８の薄肉円筒或いは
薄肉円環より成るリング振動部８０は円筒フレクチュア
部８３を介して台座８２に一体結合している。円筒フレ
クチュア部８３は、リング振動部８０と比較して更に薄
く、リング振動部８０および台座８２と同一材料でリン
グ振動部８０と台座８２の間に一体に形成されている。
リング振動部８０は駆動巻線８０１と巻枠８０２より成
る。駆動巻線８０１は巻枠８０２の周囲に多数回巻回さ
れ、交流電流により駆動されて強い磁束を発生する。
び図２を参照して説明する。振動体８の薄肉円筒或いは
薄肉円環より成るリング振動部８０は円筒フレクチュア
部８３を介して台座８２に一体結合している。円筒フレ
クチュア部８３は、リング振動部８０と比較して更に薄
く、リング振動部８０および台座８２と同一材料でリン
グ振動部８０と台座８２の間に一体に形成されている。
リング振動部８０は駆動巻線８０１と巻枠８０２より成
る。駆動巻線８０１は巻枠８０２の周囲に多数回巻回さ
れ、交流電流により駆動されて強い磁束を発生する。
【００１７】図１（ｂ）はヨーク９０を下から視たとこ
ろを示す図である。振動の腹に対応するヨーク９０の下
面の０゜のところには定常磁界を発生する永久磁石９１
１がＮ極を下、Ｓ極を上にして固定され、同様に振動の
腹に対応する１８０゜のところにも定常磁界を発生する
永久磁石９１３がＮ極を下、Ｓ極を上にして固定されて
いる。ここで、永久磁石９１１および永久磁石９１３は
磁束をリング振動部８０内側において駆動巻線８０１の
軸方向下向きに出射している。振動の腹に対応するヨー
ク９０の下面の９０゜のところには定常磁界を発生する
永久磁石９１２がＳ極を下、Ｎ極を上にして固定され、
同様に振動の腹に対応する２７０゜のところにも定常磁
界を発生する永久磁石９１４がＳ極を下、Ｎ極を上にし
て固定されている。ここで、逆に、永久磁石９１２およ
び永久磁石９１４は磁束をリング振動部８０内側におい
て駆動巻線８０１の軸方向上向きに入射している。な
お、図示説明の都合上、駆動巻線８０１の軸心方向の高
さを大きく拡大して図示しているが、実際はこれより低
く設計されているので、永久磁石９１１ないし永久磁石
９１４の発生する定常磁界は一方の磁極から駆動巻線８
０１の内側を軸心方向に通過してそれぞれの他方の磁極
に回帰することができる。これら永久磁石９１１ないし
９１４は、リング振動部８０の定在波共振による腹の部
分に非接触で僅かに間隙を設けた状態で、巻枠８０２の
上側および下側の一方或いは双方に配置する。図示され
る状態は、ヨーク９０に担持されて巻枠８０２の上側に
配置された状態である。ここで、永久磁石は４箇所の振
動の腹の全てに対応して設置しているが、４箇所の振動
の腹の内の１箇所ないし３箇所を適宜に選択し、これに
対応して永久磁石を設置することによってもリング振動
部８０を充分に駆動励振することができる。
ろを示す図である。振動の腹に対応するヨーク９０の下
面の０゜のところには定常磁界を発生する永久磁石９１
１がＮ極を下、Ｓ極を上にして固定され、同様に振動の
腹に対応する１８０゜のところにも定常磁界を発生する
永久磁石９１３がＮ極を下、Ｓ極を上にして固定されて
いる。ここで、永久磁石９１１および永久磁石９１３は
磁束をリング振動部８０内側において駆動巻線８０１の
軸方向下向きに出射している。振動の腹に対応するヨー
ク９０の下面の９０゜のところには定常磁界を発生する
永久磁石９１２がＳ極を下、Ｎ極を上にして固定され、
同様に振動の腹に対応する２７０゜のところにも定常磁
界を発生する永久磁石９１４がＳ極を下、Ｎ極を上にし
て固定されている。ここで、逆に、永久磁石９１２およ
び永久磁石９１４は磁束をリング振動部８０内側におい
て駆動巻線８０１の軸方向上向きに入射している。な
お、図示説明の都合上、駆動巻線８０１の軸心方向の高
さを大きく拡大して図示しているが、実際はこれより低
く設計されているので、永久磁石９１１ないし永久磁石
９１４の発生する定常磁界は一方の磁極から駆動巻線８
０１の内側を軸心方向に通過してそれぞれの他方の磁極
に回帰することができる。これら永久磁石９１１ないし
９１４は、リング振動部８０の定在波共振による腹の部
分に非接触で僅かに間隙を設けた状態で、巻枠８０２の
上側および下側の一方或いは双方に配置する。図示され
る状態は、ヨーク９０に担持されて巻枠８０２の上側に
配置された状態である。ここで、永久磁石は４箇所の振
動の腹の全てに対応して設置しているが、４箇所の振動
の腹の内の１箇所ないし３箇所を適宜に選択し、これに
対応して永久磁石を設置することによってもリング振動
部８０を充分に駆動励振することができる。
【００１８】振動の節に対応するヨーク９０の下面の４
５゜のところにはトルカーとして動作する電磁石９２１
が形成され、同様に振動の節に対応する１３５゜、２２
５゜および３１５゜のところにもトルカーとして動作す
る電磁石９２２、９２３、９２４が形成されている。こ
れら電磁石は軸心をリング振動部８０の駆動巻線８０１
の軸心に平行に巻回されている。この場合、電磁石９２
１と９２３は互いに同相で駆動されると共に、電磁石９
２２と９２４は互いに同相で駆動される。そして、電磁
石９２１および９２３と、電磁石９２２および９２４と
は互いに逆相に駆動される。これら電磁石の駆動につい
ては後で更に説明する。電磁石についても、永久磁石の
場合と同様に、これら全てのところに設置することなし
に、設置箇所を適宜に選択し、これに対応して電磁石を
設置する。
５゜のところにはトルカーとして動作する電磁石９２１
が形成され、同様に振動の節に対応する１３５゜、２２
５゜および３１５゜のところにもトルカーとして動作す
る電磁石９２２、９２３、９２４が形成されている。こ
れら電磁石は軸心をリング振動部８０の駆動巻線８０１
の軸心に平行に巻回されている。この場合、電磁石９２
１と９２３は互いに同相で駆動されると共に、電磁石９
２２と９２４は互いに同相で駆動される。そして、電磁
石９２１および９２３と、電磁石９２２および９２４と
は互いに逆相に駆動される。これら電磁石の駆動につい
ては後で更に説明する。電磁石についても、永久磁石の
場合と同様に、これら全てのところに設置することなし
に、設置箇所を適宜に選択し、これに対応して電磁石を
設置する。
【００１９】以上において、リング振動部８０を駆動す
る構成が説明されたが、リング振動部８０には、更にリ
ング振動部８０の振動振幅を検知する振幅検出器が具備
される。即ち、振動の腹の内の１箇所である２７０°の
位置の両面に設置される振幅検知素子Ｅc である電極は
振幅検出器２の一部を構成するモニタ電極であり、振動
モード１の振幅を検出する。リング振動部８０の振動の
節に対応する４５°の位置に設置される信号検知素子Ｅ
b は入力角速度ωにより発生する振動モード２を検出す
る出力信号振幅検出器５の一部を構成し、検出器５から
得られる振動情報は、同期検波回路６により振動の大き
さに対応した直流信号に変換される。
る構成が説明されたが、リング振動部８０には、更にリ
ング振動部８０の振動振幅を検知する振幅検出器が具備
される。即ち、振動の腹の内の１箇所である２７０°の
位置の両面に設置される振幅検知素子Ｅc である電極は
振幅検出器２の一部を構成するモニタ電極であり、振動
モード１の振幅を検出する。リング振動部８０の振動の
節に対応する４５°の位置に設置される信号検知素子Ｅ
b は入力角速度ωにより発生する振動モード２を検出す
る出力信号振幅検出器５の一部を構成し、検出器５から
得られる振動情報は、同期検波回路６により振動の大き
さに対応した直流信号に変換される。
【００２０】振動体８の駆動励振を図１および図２を参
照して説明するに、励振器４から供給される駆動信号Ｖ
d はリング振動部８０の共振周波数に等しい周波数を有
する交流の電圧信号であり、リング振動部８０に巻回さ
れる駆動巻線８０１に印加される。リング振動部８０の
振動の腹に対応する位置には上述した通りの定常磁界が
永久磁石９１１ないし永久磁石９１４により駆動巻線８
０１の軸方向に発生せしめられているので、駆動巻線８
０１が駆動信号Ｖd により励磁された結果軸方向に発生
せしめられる磁束と永久磁石の定常磁界とが相互作用し
て駆動巻線８０１はローレンツ力により振動の腹の部分
において外側に反発、内側に吸引され、これに対応して
リング振動部８０は振動モード１の定在波で振動するに
到る。なお、１０は励振器４の発振周波数を規定する発
振回路である。振動の腹の内の１箇所である２７０°の
位置に設置される振幅検知素子Ｅc は振幅検出器２の一
部を構成するモニタ電極であり、振動モード１の振幅を
検出する。ここで、振幅検出器２、基準信号源５２、差
動増幅器３、ループフイルタ３１は励振制御回路部を構
成している。振幅検知素子Ｅc から得られる振動情報は
直流信号Ｖp に変換され、差動増幅器３において基準信
号源５２の出力する基準信号Ｖr と比較される。差動増
幅器３より得られる差信号Ｖe は積分器により構成され
たループフイルタ３１に入力される。ループフイルタ３
１より得られる出力Ｖcontは励振器４に供給され、振幅
検出器２から出力される直流信号Ｖp が基準信号Ｖr と
等しくなり差動増幅器３の差信号Ｖe をゼロとすべく駆
動信号Ｖd の振幅を制御する。即ち、リング振動部８０
の駆動信号Ｖd を一定に制御することによりリング振動
部８０の振動振幅を常時一定に保持している。
照して説明するに、励振器４から供給される駆動信号Ｖ
d はリング振動部８０の共振周波数に等しい周波数を有
する交流の電圧信号であり、リング振動部８０に巻回さ
れる駆動巻線８０１に印加される。リング振動部８０の
振動の腹に対応する位置には上述した通りの定常磁界が
永久磁石９１１ないし永久磁石９１４により駆動巻線８
０１の軸方向に発生せしめられているので、駆動巻線８
０１が駆動信号Ｖd により励磁された結果軸方向に発生
せしめられる磁束と永久磁石の定常磁界とが相互作用し
て駆動巻線８０１はローレンツ力により振動の腹の部分
において外側に反発、内側に吸引され、これに対応して
リング振動部８０は振動モード１の定在波で振動するに
到る。なお、１０は励振器４の発振周波数を規定する発
振回路である。振動の腹の内の１箇所である２７０°の
位置に設置される振幅検知素子Ｅc は振幅検出器２の一
部を構成するモニタ電極であり、振動モード１の振幅を
検出する。ここで、振幅検出器２、基準信号源５２、差
動増幅器３、ループフイルタ３１は励振制御回路部を構
成している。振幅検知素子Ｅc から得られる振動情報は
直流信号Ｖp に変換され、差動増幅器３において基準信
号源５２の出力する基準信号Ｖr と比較される。差動増
幅器３より得られる差信号Ｖe は積分器により構成され
たループフイルタ３１に入力される。ループフイルタ３
１より得られる出力Ｖcontは励振器４に供給され、振幅
検出器２から出力される直流信号Ｖp が基準信号Ｖr と
等しくなり差動増幅器３の差信号Ｖe をゼロとすべく駆
動信号Ｖd の振幅を制御する。即ち、リング振動部８０
の駆動信号Ｖd を一定に制御することによりリング振動
部８０の振動振幅を常時一定に保持している。
【００２１】リング振動部８０の振動の節に対応する４
５°の位置に設置される信号検知素子Ｅb であるモニタ
電極は入力角速度ωにより発生する振動モード２を検出
する出力信号振幅検出器５の一部を構成し、この検出器
５から得られる振動情報は、同期検波回路６により振動
の大きさに対応した直流信号に変換される。同期検波回
路６の出力をそのまま振動の大きさの検出出力として使
用すればオープンループ信号処理の角速度センサが形成
され、その出力はＶO1になる。一方、クローズドループ
信号処理の角速度センサは、点線で示される回路を付加
することにより構成される。
５°の位置に設置される信号検知素子Ｅb であるモニタ
電極は入力角速度ωにより発生する振動モード２を検出
する出力信号振幅検出器５の一部を構成し、この検出器
５から得られる振動情報は、同期検波回路６により振動
の大きさに対応した直流信号に変換される。同期検波回
路６の出力をそのまま振動の大きさの検出出力として使
用すればオープンループ信号処理の角速度センサが形成
され、その出力はＶO1になる。一方、クローズドループ
信号処理の角速度センサは、点線で示される回路を付加
することにより構成される。
【００２２】即ち、同期検波回路６の出力は、積分器に
より構成されるループフイルタ３２に供給され、第２ル
ープフイルタ３２から得られる出力はフィードバック信
号発生回路６１に供給される。フィードバック信号発生
回路６１は、第２ループフイルタ３２から得られる信号
と発信回路１０から供給されるクロックＣＫが入力さ
れ、出力信号振幅検出器５から得られる振動モード２の
振動とは周波数が同一で極性が逆の信号を発生する回路
である。このフィードバック信号発生回路６１の出力
は、リング振動部８０の振動の節に対応する位置に設置
される電磁石９２１ないし９２４に印加され、振動モー
ド２の動きを逆向きに抑制する。その結果、角速度セン
サに角速度が入力され、振動モード２が発生しても振動
モード２は実質的にゼロに抑制されるクローズドループ
信号処理がなされる。このクローズドループ信号処理に
おける角速度センサ出力としては、電圧Ｖf と比例関係
にあるループフイルタ３２の直流出力を角速度センサ出
力ＶO2として使用する。
より構成されるループフイルタ３２に供給され、第２ル
ープフイルタ３２から得られる出力はフィードバック信
号発生回路６１に供給される。フィードバック信号発生
回路６１は、第２ループフイルタ３２から得られる信号
と発信回路１０から供給されるクロックＣＫが入力さ
れ、出力信号振幅検出器５から得られる振動モード２の
振動とは周波数が同一で極性が逆の信号を発生する回路
である。このフィードバック信号発生回路６１の出力
は、リング振動部８０の振動の節に対応する位置に設置
される電磁石９２１ないし９２４に印加され、振動モー
ド２の動きを逆向きに抑制する。その結果、角速度セン
サに角速度が入力され、振動モード２が発生しても振動
モード２は実質的にゼロに抑制されるクローズドループ
信号処理がなされる。このクローズドループ信号処理に
おける角速度センサ出力としては、電圧Ｖf と比例関係
にあるループフイルタ３２の直流出力を角速度センサ出
力ＶO2として使用する。
【００２３】以上の説明において、振幅検知素子Ｅc お
よび信号検知素子Ｅb として電極が使用されているが、
この他に渦電流式の検知素子を使用することができる。
図３は他の実施例を説明する図である。この実施例は電
磁石９２１ないし９２４を担持する電磁石保持板９９を
ヨーク９０とは別に設けた。即ち、ヨーク９０と同形状
の非磁性材料より成る十字状の電磁石保持板９９をヨー
ク９０の下面に接合固定し、十字状の先端下面に電磁石
９２１ないし９２４を取り付けた。これにより、永久磁
石９１１ないし９１４の形成する磁路、および電磁石９
２１ないし９２４の形成する磁路を独立させ適正に形成
することができる。
よび信号検知素子Ｅb として電極が使用されているが、
この他に渦電流式の検知素子を使用することができる。
図３は他の実施例を説明する図である。この実施例は電
磁石９２１ないし９２４を担持する電磁石保持板９９を
ヨーク９０とは別に設けた。即ち、ヨーク９０と同形状
の非磁性材料より成る十字状の電磁石保持板９９をヨー
ク９０の下面に接合固定し、十字状の先端下面に電磁石
９２１ないし９２４を取り付けた。これにより、永久磁
石９１１ないし９１４の形成する磁路、および電磁石９
２１ないし９２４の形成する磁路を独立させ適正に形成
することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上の通りであって、この発明によれ
ば、リング振動部８０の巻枠８０２を原材料としてアル
ムニウム合金或いはステンレス鋼を使用して構成し、こ
れに駆動巻線８０１として密度の高い銅線を巻回する。
即ち、密度の高い銅線を駆動巻線８０１として巻枠８０
２に巻回してリング振動部８０を構成することにより、
巻回された駆動巻線８０１の質量の分だけリング振動部
８０の質量をに大きくすることができ、小型でありなが
ら角運動量の大きいの振動体８を構成することができ
る。
ば、リング振動部８０の巻枠８０２を原材料としてアル
ムニウム合金或いはステンレス鋼を使用して構成し、こ
れに駆動巻線８０１として密度の高い銅線を巻回する。
即ち、密度の高い銅線を駆動巻線８０１として巻枠８０
２に巻回してリング振動部８０を構成することにより、
巻回された駆動巻線８０１の質量の分だけリング振動部
８０の質量をに大きくすることができ、小型でありなが
ら角運動量の大きいの振動体８を構成することができ
る。
【００２５】そして、以上のリング振動部８０の構造
上、駆動巻線８０１の巻回数を充分に多く取ることがで
きるので、小電流で強い磁束を発生することができ、消
費電力の少ないリング型振動式角速度センサを構成する
ことができる。また、リング型振動式角速度センサとし
ての要求性能を達成するに重要な役割を果たすリング振
動部８０は、巻枠８０２に駆動巻線８０１を巻回する単
純な構造で、２本の配線を介して励振器４から供給され
る駆動信号Ｖd により励磁されるものである。角速度セ
ンサは、リング振動部８０に接続される配線の変形に起
因しての性能特性が変化するが、配線の本数は２本に過
ぎないのでこの恐れは小さい。
上、駆動巻線８０１の巻回数を充分に多く取ることがで
きるので、小電流で強い磁束を発生することができ、消
費電力の少ないリング型振動式角速度センサを構成する
ことができる。また、リング型振動式角速度センサとし
ての要求性能を達成するに重要な役割を果たすリング振
動部８０は、巻枠８０２に駆動巻線８０１を巻回する単
純な構造で、２本の配線を介して励振器４から供給され
る駆動信号Ｖd により励磁されるものである。角速度セ
ンサは、リング振動部８０に接続される配線の変形に起
因しての性能特性が変化するが、配線の本数は２本に過
ぎないのでこの恐れは小さい。
【図１】実施例を説明する図。
【図２】実施例の動作を説明する図。
【図３】他の実施例を説明する図。
【図４】先行例を説明する図。
【図５】リング振動部の振動を説明する図。
【図６】先行例の動作を説明する図。
１０ 発振回路 ２ 振幅検出器 ３ 差動増幅器 ３１ ループフイルタ ３２ 第２ループフイルタ ４ 励振器 ５ 出力信号振幅検出器 ５２ 基準信号源 ６ 同期検波回路 ６１ フィードバック信号発生回路 ８０ リング振動部 ８０１ 駆動巻線 ８０２ 巻枠 ８２ 台座 ８３ 円筒フレクチュア部 ９０ ヨーク ９１１ないし９１４ 永久磁石 ９２１ないし９２４ 電磁石 Ｅc 振幅検知素子 Ｅb 信号検知素子 ９９ 電磁石保持板
Claims (7)
- 【請求項１】 振動体のリング振動部を径方向の振動
モードの定在波に駆動励振し、入力角速度が印加される
ことによるコリオリ力により生ずる共振周波数より９０
°位相を異にする出力振動成分を検出するリング型振動
式角速度センサにおいて、 リング振動部は巻枠とこれに巻回される駆動巻線より成
り、 リング振動部の共振周波数に等しい周波数を有する交流
の電圧信号を発生する励振器を具備し、 リング振動部の定在波の少なくとも１個の振動の腹の位
置に対応して駆動巻線の軸方向に平行な定常磁界を発生
する磁界発生器を具備することを特徴とするリング型振
動式角速度センサ。 - 【請求項２】 請求項１に記載されるリング型振動式
角速度センサにおいて、 リング振動部の振動の腹の位置に対応して振動の振幅を
検出する振幅検出器の一部を構成する振幅検知素子を配
置し、 振幅検出器から出力される信号に基づいて励振器から出
力される電圧信号の振幅を制御する励振制御回路部を具
備することを特徴とするリング型振動式角速度センサ。 - 【請求項３】 請求項１および請求項２の内の何れか
に記載されるリング型振動式角速度センサにおいて、 リング振動部の振動の節の位置に対応して入力角速度に
より発生する振動を検出する出力信号振幅検出器５の一
部を構成する信号検知素子を配置し、出力信号振幅検出
器から得られる振動情報に基づいて入力角速度を求める
ことを特徴とするリング型振動式角速度センサ。 - 【請求項４】 請求項３に記載されるリング型振動式
角速度センサにおいて、 リング振動部の振動の節に対応する位置に電磁石を具備
し、 出力信号振幅検出器から得られる振動情報を電磁石に印
加して入力角速度により発生する振動を逆向きに抑制す
ることを特徴とするリング型振動式角速度センサ。 - 【請求項５】 請求項１ないし請求項４の内の何れな
いし請求項４の内の何れかかに記載されるリング型振動
式角速度センサにおいて、 磁界発生器はヨークと、リング振動部の振動の腹の位置
に対応して磁極を上下にしてヨークに取り付けられた永
久磁石より成るものであることを特徴とするリング型振
動式角速度センサ。 - 【請求項６】 請求項４および請求項５の内の何れか
に記載されるリング型振動式角速度センサにおいて、 電磁石をヨークに取り付けたことを特徴とするリング型
振動式角速度センサ。 - 【請求項７】 請求項４ないし請求項６の内の何れか
に記載されるリング型振動式角速度センサにおいて、 電磁石は非磁性材料より成る電磁石保持板を具備してこ
れに取り付けたことを特徴とするリング型振動式角速度
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000376078A JP2002181549A (ja) | 2000-12-11 | 2000-12-11 | リング型振動式角速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000376078A JP2002181549A (ja) | 2000-12-11 | 2000-12-11 | リング型振動式角速度センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002181549A true JP2002181549A (ja) | 2002-06-26 |
Family
ID=18844993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000376078A Withdrawn JP2002181549A (ja) | 2000-12-11 | 2000-12-11 | リング型振動式角速度センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002181549A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007052013A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-03-01 | Litton Syst Inc | 円筒状リングサスペンションを有するリング共振器ジャイロスコープ |
| CN106441263A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-22 | 武汉长盈通光电技术有限公司 | 一种减小光纤陀螺偏振误差的光纤环骨架及其绕制光纤环圈的方法 |
| CN108571959A (zh) * | 2017-03-10 | 2018-09-25 | 住友精密工业株式会社 | 振动型角速度传感器 |
-
2000
- 2000-12-11 JP JP2000376078A patent/JP2002181549A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007052013A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-03-01 | Litton Syst Inc | 円筒状リングサスペンションを有するリング共振器ジャイロスコープ |
| CN106441263A (zh) * | 2016-08-31 | 2017-02-22 | 武汉长盈通光电技术有限公司 | 一种减小光纤陀螺偏振误差的光纤环骨架及其绕制光纤环圈的方法 |
| CN108571959A (zh) * | 2017-03-10 | 2018-09-25 | 住友精密工业株式会社 | 振动型角速度传感器 |
| CN108571959B (zh) * | 2017-03-10 | 2023-08-18 | 住友精密工业株式会社 | 振动型角速度传感器 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7219547B2 (en) | Angular velocity sensor and angular velocity detector | |
| Maenaka et al. | Design, fabrication and operation of MEMS gimbal gyroscope | |
| JP2000171481A (ja) | コ―ム構造物，アクチュエ―タ及び慣性感知センサ― | |
| TW200521438A (en) | Angular velocity detector, angular velocity detection method by angular velocity detector and production method of angular velocity detector | |
| JP2002181549A (ja) | リング型振動式角速度センサ | |
| JPH11351878A (ja) | 振動型角速度センサ | |
| US20230243653A1 (en) | Vibrating-type gyroscope element and angular velocity sensor comprising same | |
| JPH0618543A (ja) | 速度センサ | |
| JP2003348888A (ja) | リニアアクチュエータの駆動制御装置およびそれを用いたリニアアクチュエータ | |
| JP2002016125A (ja) | 基板回転装置 | |
| JP2004340792A (ja) | 角速度センサおよび角速度検出装置 | |
| Choi et al. | A magnetically excited and sensed MEMS-based resonant compass | |
| JP2004191224A (ja) | 角速度センサ、その製造方法および該角速度センサを用いて角速度を測定する方法 | |
| JP2006234411A (ja) | 振動型ジャイロセンサ | |
| JP2000329560A (ja) | 角速度センサおよびその検出回路 | |
| JP7402341B2 (ja) | 振動型ジャイロ素子及びこれを備えた角速度センサ | |
| JP4895442B2 (ja) | リニア振動モータ | |
| JPH02201217A (ja) | 振動ジャイロ | |
| JP2003185438A (ja) | 回転振動ジャイロの駆動方法及び振動子構造 | |
| RU2466411C1 (ru) | Способ измерения параметров углового движения контролируемых объектов | |
| JP2009074948A (ja) | 揺動体装置、及びそれを用いた電位測定装置、画像形成装置 | |
| JP2004085314A (ja) | 振動型ジャイロセンサ | |
| JP2001272235A (ja) | リング型振動式角速度センサ | |
| KR101214662B1 (ko) | 이동 진동파를 구현하는 햅틱 액추에이터 | |
| JPH01142477A (ja) | 磁化検出用加振器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20060329 |
|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080304 |