JP2001272235A - リング型振動式角速度センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 励振部を支持するフレクチュアの個数を３個
とし、隣接フレクチュア間に定在波を１周期分存在せし
め、励振部全周で合計３周期分定在波を存在せしめる駆
動励振をする構成および制御回路の極く簡単廉価なリン
グ型振動式角速度センサを提供する。 【解決手段】 リング型の励振部８０を径方向の振動の
定在波に励振し、入力角速度によるコリオリ力により生
ずる定在波より９０゜位相を異にする出力振動成分を検
出するリング型振動式角速度センサにおいて、励振部８
０をそのリングの円周上の３箇所において３個のフレク
チュア８３を介して台座８２に取り付け固定し、隣接す
るフレクチュア８３間に定在波を１周期分存在せしめ、
リングの全周で合計３周期分存在せしめたリング型振動
式角速度センサ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、リング型振動式
角速度センサに関し、特に、振動体の薄肉円筒或いは薄
肉円環より成る励振部を３個所においてフレクチュアに
より支持するリング型振動式角速度センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来例を図６を参照して説明する。図６
において、リング型振動式角速度センサはリング型の振
動体８を有している。このリング型の振動体８として
は、励振部８０が図示される薄肉円筒に構成される振動
体の他に、薄肉半球或いは薄肉円環より成る振動体が使
用される。８３は励振部８０を支えるフレクチュアであ
り、８２はフレクチュア８３が取り付け固定される台座
である。励振部８０は、結局、４本のフレクチュア８３
により台座８２上面に支持されている。リング型振動式
角速度センサの励振部８０を構成する原材料として圧電
セラミックスを採用することができる。

【０００３】図７をも参照して励振部８０の振動につい
て説明するに、圧電セラミックスより成る薄肉円筒の励
振部８０のＡ点の外表面および内表面に１対の電極を対
向して形成し、これら両電極間に交流電圧を印加して圧
電駆動することにより励振部８０に振動モード１の振動
を生起することができる。即ち、励振部８０の中心軸Ｒ
に直交すると共に互いに直交する２方向に励振部８０を
屈曲振動させることができる。これを矢印により振動モ
ード１として図示している。

【０００４】励振部８０の振動モード１の振動状態にお
いて、励振部８０に中心軸Ｒを入力軸とする円周方向の
角速度が入力されると、振動モード１と直交する方向に
コリオリ力が発生する結果、励振部８０に対して励振部
８０の励振位相と電気的に９０゜位相を異にする駆動力
が与えられ、振動モード１の方向から機械的に４５°回
転した角速度入力前は振動の節であったＢ点において矢
印で示される振動モード２の振動が発生する。ここで、
振動モード２の方向の力の大きさを知ることにより入力
角速度の値を検出することができる。以下、図８を参照
してリング型振動式角速度センサの動作を更に具体的に
説明する。

【０００５】図８において、励振器４から供給される駆
動信号Ｖd は励振部８０の１次の共振周波数に等しい周
波数を有する交流の駆動信号であり、励振部８０の振動
の腹であるＡ点に設置される１対の駆動電極Ｅa に印加
される。その結果、励振部８０は、先に述べた振動モー
ド１で振動するに到る。１０は励振器４の発振周波数を
規定する発振回路である。Ａ点と丁度１８０°回転した
振動の腹であるＣ点の両面に設置される１対の電極Ｅc
は静電容量式位置検出器２の一部を構成するモニタ電極
であり、振動モード１を検出する。このモニタ電極Ｅc
から得られる振動情報は直流信号Ｖp に変換され、差動
増幅器３において基準信号源５２の出力する基準信号Ｖ
r と比較される。差動増幅器３より得られる差信号Ｖe
は積分器により構成されたループフイルタ３１に入力さ
れる。ループフイルタ３１より得られる出力Ｖcontは励
振器４に供給され、静電容量式位置検出器２から出力さ
れる直流信号Ｖp が基準信号Ｖr と等しくなって差動増
幅器３の差信号Ｖe をゼロとすべく、駆動信号Ｖd の振
幅を制御する。即ち、薄肉円筒の励振部８０の駆動信号
Ｖd を一定に制御することにより、励振部８０の振動振
幅を常時一定に保持している。

【０００６】Ａ点から４５°回転した振動の節であるＢ
点に設置される電極Ｅb は、入力角速度ωにより発生す
る振動モード２を検出する出力信号検出用位置検出器５
の一部を構成し、この検出器５から得られる振動情報
は、同期検波回路６により振動の大きさに対応した直流
信号に変換される。同期検波回路６の出力をそのまま振
動の大きさの検出出力として使用すればオープンループ
信号処理の角速度センサが形成され、その出力はＶO1に
なる。一方、クローズドループ信号処理の角速度センサ
は、点線で示される回路を付加することにより構成され
る。即ち、同期検波回路６の出力は積分器により構成さ
れる第２ループフイルタ３２に供給され、第２ループフ
イルタ３２から得られる出力はフィードバック信号発生
回路６１に供給される。フィードバック信号発生回路６
１は、第２ループフイルタ３２から得られる信号と発信
回路１０から供給されるクロックＣＫが入力され、出力
信号検出用位置検出器５から得られる振動モード２の振
動とは周波数が同一で極性が逆の信号を発生する回路で
ある。このフィードバック信号発生回路６１の出力はＢ
点に対して１８０°回転した位置に設置されるフイード
バック電極Ｅｄに印加され、振動モード２の動きを逆向
きに抑制する。その結果、角速度センサに角速度が入力
され、振動モード２が発生しても振動モード２は実質的
にゼロに抑制されるクローズドループ信号処理をしてい
ることになる。このクローズドループ信号処理における
角速度センサ出力としては、電圧Ｖf と比例関係にある
ループフイルタ３２の直流出力を角速度センサ出力ＶO2
として使用する。

【０００７】このリング型振動式角速度センサの従来例
の主要な特徴は以下の通りである。図７を参照するに、
リング型励振部８０の１次の定在波或は１次の固有振動
数の波長は、励振部８０の１次の固有振動数に等しい振
動数を有する交流の駆動信号により駆動して、リングの
円周長の１／２に設定している。そして、リング型励振
部８０を支持するフレクチュア８３はリングの円周上に
等間隔に４個所形成されており、各フレクチュア間には
定在波が半周期分で１つ、合計で２周期分の定在波が存
在している。また、リング型励振部８０を支持するフレ
クチュア８３は励振部８０の定在波或いは固有振動数の
腹の部分或いは節の部分に位置決めされている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上述した通り、リング
型振動式角速度センサは、フレクチュア８３をリング型
励振部８０の円周上に等間隔に４個所形成している。即
ち、リング型励振部８０の振動周波数の波長がリングの
円周長の１／２であるので、支持構体であるフレクチュ
アを４個所としている。ここで、フレクチュア８３を固
定支持する基台８２が外部からから加えられる振動、衝
撃、温度変化の如き環境条件の変化に曝されると、４個
のフレクチュア８３に不均等な応力が加え与えられる。
即ち、４個のフレクチュア８３の形状、長さが不均等に
微妙に変化してリング型励振部８０の振動特性が変動す
るに到る。このリング型励振部８０の振動特性の変動は
角速度センサの性能、特に、バイアス安定性を低下する
要因となる。

【０００９】以上のリング型振動式角速度センサは、励
振部８０をセンサ内部において慣性空間的に安定に保持
する必要があるので、励振部８０の支持部であるフレク
チュア８３は柔軟に構成する必要がある一方、励振部８
０に対して外部から加えられる振動、衝撃の如き環境条
件に関してこの影響を蒙らないためには、フレクチュア
８３を或る程度機械的に強固に構成する必要がある。更
に、励振部８０の運動エネルギの外部への漏洩を遮断す
る必要もある。リング型振動式角速度センサにおいて
は、フレクチュア８３に対するこの相矛盾した設計要求
を満足させる必要がある。従って、励振部８０を支持す
るフレクチュア８３を柔軟に構成しながら耐振動性、耐
衝撃性、励振部８０の運動エネルギの漏洩遮断性能を満
足する対策を構ずることにより励振部８０の支持部であ
るフレクチュア８３は必然的に高価な構造を採用せざる
を得なくなる。

【００１０】この発明は、リング型振動式角速度センサ
の励振部８０を支持するフレクチュア８３の個数を３個
とし、隣接フレクチュア８３間に定在波を１周期分存在
せしめ、励振部８０全周で合計３周期分定在波を存在せ
しめる駆動励振をすることにより、構成および制御回路
の極く簡単廉価な、上述の問題を解消したリング型振動
式角速度センサを提供するものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１：薄肉円筒或い
は薄肉円環より成るリング型の励振部８０を径方向の振
動の定在波に励振し、入力角速度によるコリオリ力によ
り生ずる定在波より９０゜位相を異にする出力振動成分
を検出するリング型振動式角速度センサにおいて、リン
グ型の励振部８０をそのリングの円周上の３箇所におい
て３個のフレクチュア８３を介して台座８２に取り付け
固定し、隣接するフレクチュア８３間に定在波を１周期
分存在せしめ、リングの全周で合計３周期分存在せしめ
たリング型振動式角速度センサを構成した。

【００１２】そして、請求項２：請求項１に記載される
リング型振動式角速度センサにおいて、励振部８０の２
次の共振周波数に等しい周波数を有する交流の駆動信号
を発生する励振器４を具備して励振部８０を駆動励振す
るリング型振動式角速度センサを構成した。また、請求
項３：請求項１および請求項２の内の何れかに記載され
るリング型振動式角速度センサにおいて、フレクチュア
８３は励振部８０の振動の定在波の腹の部分に位置決め
したリング型振動式角速度センサを構成した。

【００１３】更に、請求項４：請求項３に記載されるリ
ング型振動式角速度センサにおいて３個のフレクチュア
の設置位置を振動の腹の部分の１つおきに位置決めした
リング型振動式角速度センサを構成した。また、請求項
５：請求項１ないし請求項４の内の何れかに記載される
リング型振動式角速度センサにおいて、フレクチュア８
３は、小径の円柱、励振部８０より厚さの薄い細長片或
は断面円弧状の板の内の何れかであるリング型振動式角
速度センサを構成した。

【００１４】

【発明の実施の形態】この発明の実施の形態を図１の実
施例を参照して説明する。図１はリング型振動体の斜視
図である。実施例において、従来例と共通する部材には
共通する参照符号を付与している。リング型振動体の励
振部８０は薄肉円筒或いは薄肉円環より成る。励振部８
０を支える支持部を構成する薄肉のフレクチュア８３は
台座８２に一体的に取り付けられている。この実施例に
おいて、励振部８０と、フレクチュア８３と、台座８２
の３者は同一の材料により一体に構成されている。図１
（ａ）におけるフレクチュア８３は、径が励振部８０を
構成するリングの厚さより小さい細径の円柱より成る。
図１（ｂ）におけるフレクチュア８３は、厚さが励振部
８０を構成するリングの厚さより更に薄い細長片より成
る。図１（ｃ）におけるフレクチュア８３は、厚さが励
振部８０を構成するリングの厚さより更に薄い断面円弧
状細長片より成る。

【００１５】この実施例においては、リング型振動式角
速度センサの励振部８０を支持する上述した単純な形状
構造のフレクチュア８３の個数を３個とし、励振部８０
の２次の共振周波数に等しい周波数を有する交流の駆動
信号により励振部８０を駆動励振する。これにより、隣
接フレクチュア８３間に２次の定在波或いは固有振動の
１周期分を存在せしめ、励振部８０全周で合計３周期分
の定在波を存在せしめている。３個のフレクチュア８３
は、後で説明される励振部８０の３個の振動の腹の位置
に設置される。これにより、フレクチュア８３は、直接
に台座８２に固定した場合に生起する励振エネルギの漏
洩、外部から加えられる振動衝撃の影響の遮断、減少す
る効果を奏す。

【００１６】図２および図３を参照して励振部の駆動励
振を具体的に説明する。圧電セラミックスより成る円筒
型の励振部８０の振動の腹であるＡ₀ 点の外表面および
内表面に１対の電極Ｅａを対向して従来例と同様に形成
する。これら両電極間に励振部８０の２次の共振周波数
に等しい周波数を有する交流電圧を印加して圧電駆動す
ることにより、励振部８０に上述した２次の定在波或い
は固有振動を生起することができる。即ち、励振器４か
ら供給される駆動信号は、従来例においては励振部８０
の１次の定在波或いは１次の固有振動に等しい周波数の
交流の駆動信号Ｖd であったが、この実施例においては
励振部８０の２次の定在波或いは２次の固有振動に等し
い周波数の駆動信号Ｖd'である。円筒型の励振部８０を
この駆動信号Ｖd'により駆動励振すると、図２（ａ）に
おいて太線により示される２次の固有振動モードの定在
波で振動する。なお、細線は駆動励振していない時の励
振部８０の状態を示し、これは断面円形である。Ａ
₀ 点、Ａ₁₂₀ 点およびＡ₂₄₀ 点は励振部８０の振動の腹
の位置である。励振部８０の中心軸Ｒに関して、Ａ₀ 点
から±３０°、±９０°、±１５０°回転したＢ₃₀点、
Ｂ₉₀点、Ｂ ₁₅₀ 点、Ｂ₂₁₀ 点、Ｂ₂₇₀ 点、Ｂ₃₃₀ 点は励
振部８０の振動の節である。図２（ａ）は励振部８０の
Ａ₀ 点が中心軸Ｒからの距離最大に変位したときの状態
を示す図であり、図２（ｂ）は励振部８０のＡ₀ 点が中
心軸Ｒからの距離最小に変位したときの状態を示す図で
ある。即ち、励振部８０は、これを先の駆動信号Ｖd'に
より駆動励振することにより、図２（ａ）の状態と図２
（ｂ）の状態の間の変位を繰り返えす２次の固有振動モ
ードをとる。

【００１７】２次の固有振動モードの基本波形を図４に
示しておく。図４（ａ）の状態は励振器４から供給され
る駆動信号Ｖd'の位相が０゜の時の状態を示し、励振器
４は変位のない中立の状態にある。図４（ｂ）の状態は
励振器４から供給される駆動信号Ｖd'の位相が９０゜の
時の状態を示し、励振器４は変位のない図４（ａ）の中
立の状態から徐々に変形して最大変位に達した状態にあ
る。図４（ｃ）の状態は励振器４から供給される駆動信
号Ｖd'の位相が１８０゜の時の状態を示し、励振器４は
最大変位した図４（ｂ）の状態から先とは逆向きに徐々
に変形して変位のない中立の状態に復帰した状態にあ
る。図４（ｄ）の状態は励振器４から供給される駆動信
号Ｖd'の位相が２７０゜の時の状態を示し、励振器４は
変位のない図４（ｃ）の中立の状態から徐々に逆向きに
変形して負の最大変位に達した状態にある。

【００１８】図３をも参照して説明するに、励振器４か
ら供給される駆動信号Ｖd'は励振部８０の２次の共振周
波数に等しい周波数を有する交流の駆動信号であり、励
振部８０の振動の腹であるＡ₀ 点に設置される１対の駆
動電極Ｅa に印加される。その結果、励振部８０は、先
に述べた２次の固有振動モードで振動するに到る。Ａ₀
点から１２０°回転した振動の腹であるＡ₁₂₀ 点の両面
に設置される１対の電極Ｅc は静電容量式位置検出器２
の一部を構成するモニタ電極であり、２次の固有振動モ
ードを検出する。電極Ｅc はＡ₁₂₀ 点以外の他の振動の
腹の位置であるＡ₁₈₀ に設置することもできる。モニタ
電極Ｅc から得られる振動情報は直流信号Ｖp に変換さ
れ、差動増幅器３において基準信号源５２の出力する基
準信号Ｖr と比較される。差動増幅器３より得られる差
信号Ｖe は積分器により構成されたループフイルタ３１
に入力される。ループフイルタ３１より得られる出力Ｖ
contは励振器４に供給され、静電容量式位置検出器２か
ら出力される直流信号Ｖp が基準信号Ｖr と等しくなっ
て差動増幅器３の差信号Ｖe をゼロとすべく、駆動信号
Ｖd'の振幅を制御する。即ち、励振部８０の駆動信号Ｖ
d'を一定に制御することにより、励振部８０の振動振幅
を常時一定に保持している。

【００１９】Ａ₀ 点から３０°回転した振動の節である
Ｂ₃₀点に設置される電極Ｅb は、入力角速度ωにより発
生する振動情報を検出する出力信号検出用位置検出器５
の一部を構成し、この検出器５から得られる振動情報
は、同期検波回路６により振動の大きさに対応した直流
信号に変換される。同期検波回路６の出力をそのまま振
動の大きさの検出出力として使用すればオープンループ
信号処理の角速度センサが形成され、その出力はＶO1に
なる。一方、クローズドループ信号処理の角速度センサ
は、点線で示される回路を付加することにより構成され
る。即ち、同期検波回路６の出力は積分器により構成さ
れる第２ループフイルタ３２に供給され、第２ループフ
イルタ３２から得られる出力はフィードバック信号発生
回路６１に供給される。フィードバック信号発生回路６
１は、第２ループフイルタ３２から得られる信号と発信
回路１０から供給されるクロックＣＫが入力され、出力
信号検出用位置検出器５から得られる振動モード２の振
動とは周波数が同一で極性が逆の信号を発生する回路で
ある。このフィードバック信号発生回路６１の出力はＢ
₃₀点に対して１８０°回転した位置に設置されるフイー
ドバック電極Ｅｄに印加され、Ｂ₃₀点に発生する振動を
逆向きに抑制する。その結果、角速度センサに角速度が
入力されて発生した振動は実質的にゼロに抑制されるク
ローズドループ信号処理をしていることになる。このク
ローズドループ信号処理における角速度センサ出力とし
ては、電圧Ｖf と比例関係にあるループフイルタ３２の
直流出力を角速度センサ出力ＶO2として使用する。

【００２０】コリオリ力が生ずると、図２において説明
した励振部８０の振動の節の位置である励振部８０を駆
動励振点であるＡ₀ 点からみて、±３０°、±９０°、
±１５０°回転したＢ₃₀点、Ｂ₉₀点、Ｂ₁₅₀ 点、Ｂ₂₁₀
点、Ｂ₂₇₀ 点、Ｂ₃₃₀ 点に、定在波より±９０°位相を
異にする出力振動成分が、入力角速度に比例した振幅で
発生する。図３の実施例はこの振動の節の位置の内から
選択されたＢ₃₀点に電極Ｅb を設置し、これを出力信号
検出用静電容量式位置検出器５に接続して入力角速度に
比例して発生する振動成分を検出する。この検出振動成
分を同期検波回路６により励振周波数を基準として同期
検波処理し、入力角速度に比例した直流出力信号を得
る。

【００２１】図５はリング型振動式角速度センサの励振
部８０を先の駆動信号Ｖd'により駆動励振して図４に示
される２次の固有振動をしていて、励振部８０の中心軸
Ｒを入力軸として角速度が入力された場合の励振部８０
の振動状態を示す図である。図５（ａ）の状態は励振器
４から供給される駆動信号Ｖd'の位相が０゜の励振器４
が変位のない中立のところで角速度が入力されている時
の状態を示し、節点である各Ｂ点に出力振動成分が発生
しているところが示されている。

【００２２】図５（ｂ）の状態は、励振器４から供給さ
れる駆動信号Ｖd'の位相が９０゜の励振器４が最大変位
に達したところで角速度が入力されている時の状態を示
す。図５（ｂ）の状態は、図４（ｂ）の最大変位の状態
と同様に図示されているが、これは励振器４の駆動励振
の振幅が最大の状態であり、駆動励振の速度は零の状態
であるので、この瞬間はコリオリ力による出力振動成分
は発生されていない状態をしている。

【００２３】図５（ｃ）の状態は励振器４から供給され
る駆動信号Ｖd'の位相が１８０゜の励振器４が変位のな
い中立の状態に復帰したところで角速度が入力されてい
る時の状態を示し、節点である各Ｂ点に出力振動成分が
発生しているところが示されている。出力振動成分は図
５（ａ）の出力振動成分とは逆の極性を示している。図
５（ｄ）の状態は、励振器４から供給される駆動信号Ｖ
d'の位相が２７０゜の励振器４が最小の変位に達したと
ころで角速度が入力されている時の状態を示す。この状
態も、図５（ｂ）の場合と同様に、コリオリ力による出
力振動成分が発生していない状態を示す。

【００２４】

【発明の効果】以上の通りであって、この発明によれ
ば、振動する励振部８０を支持するフレクチュア８３を
３個とすることにより、フレクチュア８３が外部から加
えられる振動、温度変化に起因して相互干渉して励振部
８０の正常な振動に影響を与えることを防止すると共
に、これに伴ってリング型の励振部８０の振動モードを
振動周波数の波長がリング型励振部８０の円周長の１／
２である従来の１次固有振動モードから、振動周波数の
波長がリング型励振部８０の円周長の１／３の２次の固
有振動モードにし、３個のフレクチュアの設置位置を振
動の腹の部分に１つおきに等間隔にすることにより、リ
ング型振動式角速度センサの励振部８０の性能を向上し
ている。

【００２５】物体を３次元空間に固定支持するに、４個
所以上の点で固定支持しようとすると、振動および温度
変化その他の外乱により固定支持部材に位置ずれが生じ
た場合に、固定支持部材から固定支持している物体に歪
み応力が付与されることになる。ここで、相異なる３個
所を固定支持すれば、物体に付与される歪み応力は３個
所の固定支持部材に吸収されて物体に加えられず、好適
であることは一般に良く知られている。これはリング型
振動式角速度センサの場合においても同様であり、リン
グ型励振部８０を支持するフレクチュア８３を従来の如
く４個所から３個所にすることは、リング型励振部８０
を無理なく安定に支持する観点から妥当なことである。
この発明は、このリング型励振部８０を３点支持するこ
とに対応して、リング型励振部８０を２次の固有振動モ
ードで駆動励振してリング型励振部８０内の定在波の波
長をリング円周長の１／３とし、定在波の振動の腹の部
分に等間隔にフレクチュア８３を位置決めしている。

【００２６】ここで、リング型励振部８０の定在波の振
動の節の部分はコリオリ力が加わった場合に極く微弱な
加速度検出信号が現われてこれを検出する部分である。
この極く微弱な加速度検出信号を検出する定在波の振動
の節の位置にフレクチュア８３を位置決め固定すること
は、フレクチュア８３が加速度出力に影響を与えること
を防止する観点から、好ましいことではくなく、従っ
て、この発明はフレクチュア８３をリング型励振部８０
の定在波の振動の腹の部分に位置決め固定する。定在波
の振動の腹の数は励振部８０の円周上に６個所等間隔に
存在するので、フレクチュア８３を振動の腹の１つおき
に位置決めすると好適である。

【００２７】以上の通り、フレクチュアをリング型の励
振部の定在波の腹の部分の３個所に円周方向に等間隔に
設定し、これに見合った励振周波数で駆動励振すること
により、リング型振動式角速度センサの励振を円滑にし
てバイアスの安定性を廉価に実施することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】リング型励振部の実施例の斜視図。

【図２】リング型励振部の振動状態を説明する図。

【図３】実施例の動作を説明する図。

【図４】２次の固有振動モードを示す図。

【図５】コリオリ力による振動が重畳し場合の振動モー
ドを示す図。

【図６】リング型励振部の従来例の斜視図。

【図７】１次の固有振動モードを説明する図。

【図８】従来例の動作を説明する図。

【符号の説明】

４ 励振器 ８０ リング型の励振部 ８２ 台座 ８３ フレクチュア

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 薄肉円筒或いは薄肉円環より成るリン
   グ型の励振部を径方向の振動の定在波に励振し、入力角
   速度によるコリオリ力により生ずる定在波より９０゜位
   相を異にする出力振動成分を検出するリング型振動式角
   速度センサにおいて、 リング型の励振部をそのリングの円周上の３箇所におい
   て３個のフレクチュアを介して台座に取り付け固定し、
   隣接するフレクチュア間に定在波を１周期分存在せし
   め、リングの全周で合計３周期分存在せしめたことを特
   徴とするリング型振動式角速度センサ。
2. 【請求項２】 請求項１に記載されるリング型振動式
   角速度センサにおいて、 励振部の２次の共振周波数に等しい周波数を有する交流
   の駆動信号を発生する励振器を具備して励振部を駆動励
   振することを特徴とするリング型振動式角速度センサ。
3. 【請求項３】 請求項１および請求項２の内の何れか
   に記載されるリング型振動式角速度センサにおいて、 フレクチュアは励振部の振動の定在波の腹の部分に位置
   決めしたことを特徴とするリング型振動式角速度セン
   サ。
4. 【請求項４】 請求項３に記載されるリング型振動式
   角速度センサにおいて、 ３個のフレクチュアの設置位置を振動の腹の部分の１つ
   おきに位置決めしたことを特徴とするリング型振動式角
   速度センサ。
5. 【請求項５】 請求項１ないし請求項４の内の何れか
   に記載されるリング型振動式角速度センサにおいて、 フレクチュアは、小径の円柱、励振部より厚さの薄い細
   長片或は断面円弧状の板の内の何れかであることを特徴
   とするリング型振動式角速度センサ。